KR100692585B1 - 장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 - Google Patents

장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100692585B1
KR100692585B1 KR1020057013920A KR20057013920A KR100692585B1 KR 100692585 B1 KR100692585 B1 KR 100692585B1 KR 1020057013920 A KR1020057013920 A KR 1020057013920A KR 20057013920 A KR20057013920 A KR 20057013920A KR 100692585 B1 KR100692585 B1 KR 100692585B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shutter
latch
locking device
sealing
movement
Prior art date
Application number
KR1020057013920A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060034621A (ko
Inventor
우베 쉬슬러
스테판 반게르트
위르겐 헨리히
Original Assignee
어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 filed Critical 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
Publication of KR20060034621A publication Critical patent/KR20060034621A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100692585B1 publication Critical patent/KR100692585B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C23C14/566Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/16Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
    • F16K1/18Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
    • F16K1/20Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
    • F16K1/2007Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member specially adapted operating means therefor
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/16Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
    • F16K1/18Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
    • F16K1/20Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
    • F16K1/2042Special features or arrangements of the sealing
    • F16K1/205Special features or arrangements of the sealing the sealing being arranged on the valve member
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/16Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
    • F16K1/18Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
    • F16K1/20Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
    • F16K1/2042Special features or arrangements of the sealing
    • F16K1/2085Movable sealing bodies
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/24Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with valve members that, on opening of the valve, are initially lifted from the seat and next are turned around an axis parallel to the seat
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Operating, Guiding And Securing Of Roll- Type Closing Members (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Lock And Its Accessories (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)
  • Shutters For Cameras (AREA)
  • Photographic Developing Apparatuses (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 코팅 플랜트, 특히 진공 코팅 플랜트에 관한 것으로, 이 플랜트는 장입용 잠금 장치, 특히 코팅실을 위한 직사각형 진공 잠금 장치를 구비하며, 이 잠금 장치는 길이가 적어도 1000mm인 잠금 장치 개구(13)를 갖는다. 코팅 플랜트는 잠금 장치 개구를 개폐하기 위한 셔터(6)와, 이 셔터를 고정시키기 위한 래치(7)를 포함한다. 셔터 및 래치를 제1 개방 위치로부터 제2 폐쇄 위치로, 또한 그 반대로 이동시키기 위한 수단이 제공된다. 이 수단은, 셔터가 폐쇄된 후 셔터(6)가 래치(7)에 의해 자동으로 고정되고, 개방되기 전에 다시 해제되도록 셔터(6) 및 래치(7)의 이동을 서로 결합시킨다.
코팅 플랜트, 진공 잠금 장치, 셔터, 래치, 잠금 장치 개구

Description

장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 {COATING PLANT WITH A CHARGING LOCK AND DEVICE THEREFOR}
본 발명은, 바람직하게는 건물 정면의 투명 유리와 같은 표면적이 큰 기재를 코팅하기 위해 사용되며, 장입용 잠금 장치, 특히 잠금 장치 개구의 길이가 적어도 1000mm인 직사각형 진공 잠금 장치 및 상기 잠금 장치 개구를 개폐하기 위한 적절한 장치를 구비한 코팅 플랜트, 특히 진공 코팅 플랜트에 관한 것이다.
진공 또는 준진공 상태에서 작동하는 코팅 플랜트는, 예를 들면 반응실 또는 코팅실로 기재를 출입시키기 위해 장입용 잠금 장치를 사용한다. 이 목적으로 사용되는, 길이가 1000 내지 1500mm이고 폭이 대략 50mm인 직사각형 잠금 셔터 또는 잠금 디스크를 구비한 직사각형 진공 잠금 장치가 알려져 있다. 잠금 장치 개구를 밀폐 상태, 특히 기밀 상태로 폐쇄할 의도에서, 잠금 셔터 또는 잠금 디스크를 래치로 고정시켜 폐쇄 위치에 유지시키는 것이 보통이다. 잠금 장치 개구의 크기 때문에 생기는 한편의 대기압 상태와 다른편의 진공 상태 사이의 압력차는 상당한 힘을 발생시키는데, 이 힘은 잠금 장치 개구를 폐쇄하기 위한 장치가 잠금 장치를 기밀 폐쇄 상태로 유지하면서 흡수해야 한다.
그러나, 이와 동시에, 잠금 장치를 통해서 기재를 운반하는 것은 코팅 플랜 트 내부에서의 코팅을 위한 사이클 시간에 영향을 준다. 따라서, 잠금 장치의 잠금 장치 개구를 신속히 개폐함으로써 개폐 단계에 드는 시간을 절약해야 하는데, 왜냐하면 해당 개구를 밀폐 상태로, 특히 기밀 상태로 폐쇄한 후에만 잠금 장치 및/또는 코팅실의 배기 또는 환기를 시작할 수 있기 때문이다.
따라서, 본 발명의 목적은 코팅 플랜트 및/또는 잠금 장치, 특히 진공 잠금 장치 및/또는 원하는 크기의 직사각형 진공 잠금 장치를 신속히 개폐할 수 있게 하는 잠금 장치를 위한 적절한 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 사용 기간이 길고 환경의 영향에 둔감해서 잠금 장치를 안전하고 신뢰성 있게 조작할 수 있도록 하는 장치를 제조하는 것이다. 무엇보다도, 이 장치는 구조가 간단하고 조작이 간편해야 한다.
상기 목적은 청구항 1의 특징을 구비한 코팅 플랜트 및 청구항 18의 특징을 구비한 장치에 의해 달성된다. 바람직한 실시예들이 종속항에 기재되어 있다.
본 발명이 기초로 삼고 있는 사상은, 잠금 셔터 및/또는 잠금 디스크의 이동을 감시 및 제어하기 위한 모든 센서 및 시간 소모적인 조절 단계들을 생략하여 셔터와 래치의 독립적인 이동 사이에 휴지 기간을 두지 않을 수 있다면, 잠금 장치의 개폐를 가속화할 수 있다는 것이다. 본원 발명자들은 상기한 두 가지 이동이 자동으로 서로에 대해 결합 또는 조합되는 경우, 특히 확고한 이동(positive movement)이란 의미에서 이들 두 이동이 기계적으로 강제 및 제어되는 경우에 셔터의 개폐 과정 및 이와 관련된 래치에 의한 셔터의 고정 및 분리 단계를 최적화할 수 있다는 사실을 발견하였다.
따라서, 한 가지 바람직한 실시 형태에서는 잠금 장치의 개폐 도중 셔터가 회전 또는 선회 이동하는 경우 셔터와 래치의 이동이 간단히 조합 또는 결합될 수 있다. 무엇보다도, 셔터와 래치의 이동이 서로 조합 및/또는 결합되는 한, 항상 래치가 회전 또는 선회 이동, 병진, 또는 인상 (수직) 이동할 수 있다. 하지만, 래치는 회전 또는 선회 이동하는 것이 바람직하다.
바람직하게는, 셔터와 래치의 이동을 조합 또는 결합시키기 위해 트랜스미션 기어, 특히 캠 구동 장치, 바람직하게는 스윙형 캠 구동 장치 또는 회전/인상형 기어를 사용할 수 있다.
본 발명의 한 가지 실시 형태에 따르면, 상기 트랜스미션 기어는 구동 장치 또는 모터와의 연결을 위한 구동축과, 서로에 대해 의존하여 이동하는, 즉 서로 결합된 2개의 종동축을 포함할 수 있다. 셔터와 래치가 조합되어 이동하는 동안 서로 간섭하는 것을 피하기 위해서, 폐쇄 단계 중에는 셔터가 움직이기 시작하고 래치는 정지해 있으며, 개방 단계 중에는 그 반대가 되도록 시간 전이에 의해 셔터와 래치의 이동을 분리시킬 수 있다. 이 방식에 의하면, 셔터와 래치가 이동 도중에 서로 간섭하는 것을 피하기 위해서 셔터, 래치, 또는 이들 요소의 이동 경로를 위한 어떤 특수한 대책도 불필요하다.
동일한 이유에서, 셔터의 회전 축선을 폐쇄 대상 잠금 장치 개구의 한쪽에 마련하고, 래치의 회전 축선은 그 개구의 반대쪽에 마련하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 장치의 안전하고 신뢰성 있는 작동을 보장하기 위해서, 셔터와 래치 양자를 이동시키는 수단, 특히 트랜스미션이 자기 억제(self-restraining) 또는 자기 잠금(self-locking) 방식이 되도록 장치를 설계할 수 있다. 이는 장치를 폐쇄 위치에 유지하기 위해서 회전 모멘트나 힘이 필요하지 않다는 것을 뜻한다. 결과적으로, 장치나 구동 장치에 대한 에너지 공급이 중단되어도 잠금 장치의 밀봉 기능이 유지될 수 있다. 특히, 압력 부하가 잠금 장치 개구의 양쪽으로부터 인가될 수 있도록 셔터와 래치로 이루어지는 폐쇄 장치를 설계함으로써, 잠금 장치의 밀폐 폐쇄에 기여하기 위해 개구의 다른쪽 사이의 압력차를 이용할 필요가 없는 경우도 마찬가지로 유리하다.
본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 셔터는 적어도 하나의 플랩 홀더와, 폐쇄 대상 개구의 밀봉 시팅(sealing seating)에 끼워맞춰지는 밀봉 요소를 포함한다. 바람직하게는, 밀봉 요소가 플랩 홀더에 대해 이동할 수 있도록 밀봉 요소를 배치, 특히 탄성적으로 예장력을 인가하거나 지지함으로써, 잠금 장치의 밀봉 시팅에 대해 압박되는 셔터의 밀봉 요소에 의해 개구를 밀폐 상태로, 특히 기밀 상태로 밀봉할 수 있게 된다.
이는 스프링 장치를 제공하여 밀봉 요소를 플랩 홀더에 탄성적으로 지지(지탱)함으로써, 래치가 폐쇄 위치에서 스프링의 힘에 대항하여 플랩 홀더를, 그리고 결과적으로 셔터를 개구 안으로 압박하게 함으로써 얻을 수 있다.
잠금 장치 개구의 밀봉 시팅에 대해 밀봉 요소를 중심에 위치시키기 위한 수단을 제공하여, 밀봉 요소가 항상 자동으로 밀봉 시팅에 대해 바른 위치를 취하도록 하는 것도 유리하다.
한 가지 바람직한 실시 형태에 따르면, 둘러싸는 밀봉면으로부터 돌출하는 원추형 또는 테이퍼 형태의 센터링 부재가 밀봉 요소에 마련되며, 이 센터링 부재는 밀봉 요소가 폐쇄 위치에 있을 때 폐쇄되는 잠금 장치 개구 내부로 연장된다.
셔터의 회전 축선을 잠금 장치 개구의 밀봉 시팅 및 셔터의 밀봉면과 동일한 평면에 배치하면 장치의 사용 기간을 연장할 수 있다. 이렇게 하면 셔터의 밀봉 시팅에 대한 상대 이동, 결과적으로는 셔터의 밀봉면 또는 밀봉 시팅에 배치된 O링 등과 같은 밀봉 용품에 대한 셔터의 상대 이동이 최소화되어, 사용 기간이 연장된다.
밀봉 요소를 플랩 홀더에 탄성적으로 지지하는 스프링 장치를 설계함에 있어, 잠금 장치 개구를 둘러싸는 밀봉 시팅에 항상 밀봉 요소가 가능한 한 평행하게 맞닿도록 하는 방식을 취함으로써도 사용 기간을 연장할 수 있다. 특히, 평행한 바 스프링들을 엇갈리게 배치하면, 밀봉 요소가 잠금 장치 개구에 소정 각도로 맞닿거나 그 안에 끼이는 일을 방지할 수 있다. 예를 들면, 선회 이동 도중 개구에 최초로 도달하는 잠금 셔터측 스프링 요소에 의한 탄성 지지를 선택할 때, 셔터가 개구에 맞닿기 시작한다는 사실에 기인한 더 높은 압력 부하를 보상 및/또는 방지하게 할 수 있다.
마찰 및/또는 마모를 약간만 일으키는 래치와 셔터 사이의 상호 잠금 장치로 장치의 사용 기간을 연장할 수 있으며, 이를 위해서 래치의 형상을 셔터에 맞추거나 그 반대로 할 수 있고, 래치와 셔터가 쉽게 서로에 대해 잠기거나 접촉하게 하는 적절한 수단, 예컨대 롤러 요소 또는 유사 요소를 제공할 수 있다.
본 발명의 기타 잇점 및 특장점들은 첨부 도면을 참조로 한 이하의 바람직한 실시 형태의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 트랜스미션 기어의 측면도.
도 2는 도 1의 트랜스미션 기어를 90도 회전시킨 상태의 측면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 형태에 따른 셔터 및 래치의 이동을 도시한 도면.
도 4는 셔터 및 래치를 내장한 하우징의 단면도.
도 5 내지 도 9는 잠금 장치의 개폐 도중 다양한 위치에서의 도 4에 도시된 실시 형태의 단면도.
도 10은 장입용 잠금 장치의 다른 실시 형태의 단면도.
도 11은 장입용 잠금 장치의 또 다른 실시 형태의 단면도.
도 1에는 1개의 구동축(2) 및 서로 의존적으로 이동하는 2개의 종동축(3 및 4)을 구비한 트랜스미션 기어, 특히 왕복형 또는 스윙형 캠 구동 장치의 측면도가 도시되어 있다. 구동축(2)은 구동 장치, 예컨대 전기 모터에 효율적으로 연결되어 있고, 종동축은 조작 목적상 잠금 장치의 셔터(6) 및 래치(7)에 연결되어 있다(도 4 참조). 따라서, 구동축(2)과 종동축(3 및 4) 모두는 구동 장치와 셔터(6) 및 래치(7)와의 결합 수단을 포함하며, 이는 예컨대 종동축(4)과 관련하여 도 2에 잘 도시되어 있다.
트랜스미션 기어는 구동축(2)이 구동 장치나 모터에 의해 구동될 때 종동축(3 및 4)이 자동으로 회전 또는 선회하도록 이들을 서로 연결한다. 특히, 이동을 나타낸 도면인 도 3에 도시된 바와 같이, 종동축(3 및 4)의 결합 이동은 위상이 어긋나 있다. 따라서, 셔터(6)(도 4)에 연결된 종동축(3)이 제1 개방 위치에서 제2 폐쇄 위치로 먼저 이동하며, 셔터(6)를 폐쇄 위치에 고정시키는 래치(7)(도 4)는 처음에는 개방 위치에 머물러 있다. 셔터(6) 또는 종동축(3)의 예정된 이동 후, 래치를 폐쇄 위치로 이동시키기 위하여 종동축(4)이 마찬가지로 회전하기 시작한다. 종동축(3)과 종동축(4) 및/또는 셔터(6)와 래치(7)의 이동 사이의 위상 전이로 인해서, 셔터(6)가 가장 먼저 제2 폐쇄 위치에 도달함으로써 래치가 폐쇄 위치를 유지할 수 있게 한다.
개방 도중 셔터(6)와 래치(7)가 역순으로 구동되도록 트랜스미션 기어가 설계된다. 이 경우, 래치(7)는 개방 위치의 방향으로 선회하기 시작하고, 셔터(6)는 일정 기간 동안 폐쇄 위치에 머무른다. 셔터(6)가 이탈되는 지점까지 래치(7)가 회전하고 나면, 종동축(3)의 선회로 인해서 셔터(6)가 마찬가지로 회전하기 시작한다. 왕복형 또는 스윙형 캠 구동 장치는 그 기계적 구조상 항상 동일한 곡선을 따르도록 되어 있기 때문에, 종동축(3 및 4)이 기계적으로 제어되어 항상 동일한 이동을 반복함으로써 셔터(6)와 래치(7) 사이에는 충돌이 생기지 않게 된다. 특히, 왕복형 캠 구동 장치의 설계에 있어, 구동축(2)은 한 방향으로만 회전할 수 있으며, 종동축(3 및 4)은 주어진 패턴에 따라서 셔터를 폐쇄하고, 래치에 의해 고정시키며, 이탈시키고, 개방시키도록 할 수도 있다. 그러나, 캠 구동 장치로 인해서 구동축이 개폐 도중 전후로 회전, 즉 반대 방향으로 이동하도록 할 수도 있다. 이 경우에도, 종동축(3 및 4)의 제어된 이동에 따라서 셔터(6) 및 래치(7)가 이동하여 잠금 장치 개구를 개폐한다.
도 4의 단면도에 잘 도시된 바와 같이, 셔터(6)와 래치(7)는 잠금 장치, 특히 진공 잠금 장치나 코팅 플랜트의 반응실 또는 코팅실 안에 기밀 상태로 배치될 수 있는 하우징에 수용된다. 이 하우징(5)은 대향하는 개구(13 및 19)를 포함하며, 이중 개구(13)가 셔터(6)에 의해 폐쇄된다. 자세히 후술하겠지만, 셔터(6) 및 래치(7)를 이용한 자기 억제식 폐쇄 기작으로 인해서 개구(13)의 양측에는 나머지 개구에 존재하는 개별 공간에 작용하는 것보다 큰 압력이 작용할 수 있는데, 이는 폐쇄 장치가 압력차에 의해서 폐쇄 위치에 유지되지 않기 때문이다. 결과적으로, 폐쇄 장치를 구비한 하우징(5)은 다목적으로 사용될 수 있다. 예를 들면, 도 4에서 개구(13)의 좌측에는 대기압 상태가, 우측에는 진공 상태가 지배적일 수 있으며, 그 역도 가능하다.
셔터(6)는 구동축(3)에 부착되는 적어도 하나의 플랩 홀더(9)와, 폐쇄 위치에서 개구(13)를 기밀 상태로 밀봉하기 위한 밀봉 요소(8)를 포함한다. 바람직하게는 잠금 장치 개구(13)가 직사각형이고 장축이 도 4의 평면과 직각을 이루며 폭이 50mm, 길이가 적어도 1000mm, 바람직하게는 1500mm 이상, 더욱 바람직하게는 1800 내지 2000mm이기 때문에, 밀봉 요소(8)도 이러한 치수로 된 단일 단편인 것이 바람직하다. 따라서, 밀봉 요소(8)의 길이에 걸쳐 몇 개의 플랩 홀더(9)를 배치하는 것이 유리하다.
밀봉 요소(8)는 밀봉면(15)과, 둘러싸는 이 밀봉면(15)으로부터 돌출하는 원추형 또는 테이퍼 형상의 센터링 부재(16)를 포함한다.
도 6에 잘 도시된 바와 같이, 밀봉 요소(8)의 센터링 부재는 폐쇄 위치에서 잠금 장치 개구 내부로 연장되는 반면, 밀봉면(15)은 잠금 장치 개구(13)를 둘러싸는 밀봉 시팅(14)과 접촉한다. 이 방식으로, 셔터(6)의 밀봉 요소(8)의 밀봉면(15)은 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14)의 O링(17)과 접촉함으로써, 잠금 장치 개구(13)를 폐쇄 위치에서 기밀 상태로 밀봉한다.
도 4에 잘 도시된 바와 같이, 구동축(3)의 회전 축선(20)은 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 및 셔터(6)의 밀봉 요소(18)의 밀봉면(15)의 평면에 위치한다. 따라서, 셔터가 폐쇄될 때, 밀봉 요소는 (후속의) 선회 또는 회전 이동 없이 밀봉 시팅(14) 및/또는 밀봉 링(17)에 접근해서 그와 접촉하게 된다. 특히, 이 구성은 셔터(6) 및/또는 밀봉면(15)이 개구(13)의 밀봉 시팅(14)과 접촉할 때, 밀봉 링(17)과 관련하여 끼이거나 보행식 이동(walking movement)이 일어나지 않게 한다. 오히려, 개구(13)의 양측에서 셔터(6) 및/또는 셔터의 밀봉면(15) 사이에 평행한 접촉만이 있을 수 있다. 결과적으로, 밀봉 링과 관련한 이동으로 인해 밀봉 링(17)에 가해지는 부하나 응력이 최소화되어 밀봉 링의 사용 기간이 연장된다.
이는 밀봉 요소(8)가 플랩 홀더(9)에 배치되는 방식에 의해 이루어지는데, 그에 대해 설명하겠다. 도 4의 단면도에 도시된 바와 같이, 밀봉 요소는 바람직하게는 바 스프링으로 이루어지는 스프링 장치(10)에 의해서 플랩 홀더(9)에 움직일 수 있도록 장착된다. 따라서, 밀봉 요소(8)는 폐쇄 위치에 있을 때 플랩 홀더(9) 의 방향으로, 즉 개구(13)의 축선(21)과 평행하게 이동할 수 있다. 결과적으로, 플랩 홀더(9)에 압력을 가함으로써 밀봉 요소(8)를 밀봉 시팅(14)에 대해 탄성적으로 압박할 수 있다. 폐쇄 위치에 있을 때, 플랩 홀더(9)에 대한 압력은 래치(7)에 의해 인가되며, 이는 도 8에 특히 잘 도시되어 있다.
도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 스프링 장치(10)는 서로에 대해 평행하게, 그리고 잠금 장치 개구(13)의 길이 방향에 대해서도 평행하게 배열된, 즉 도면의 평면과 직각으로 배열된 2개의 바 스프링(22)을 포함한다. 바 스프링(22)의 단부들은 밀봉 요소(8) 내부로 연장되며, 중심 구역에 위치한 잠금 핀(23)이 이들 단부를 제위치에 유지 및/또는 개구(13) 방향으로 예장력을 인가한다(폐쇄 위치에 있을 때). 그러나, 이 경우의 예장력은 바 스프링(22)만 제위치에 유지되고 다른 탄성 응력은 가해지지 않을 정도로 작아도 무방하다. 바 스프링에 대향하여 위치하는 단부에서 잠금 핀(23)을 적절한 장착 부재(24)로 고정시킬 수 있으며, 이 장착 부재(24)는 바 스프링(22)에 예장력을 인가할 수 있는 것이 바람직하다. 장착 부재(24)에 단열재(25)를 마련할 수도 있다. 잠금 핀을 대신하여 고정 나사를 사용할 수도 있으며, 단일의 스프링 장치(10)를 밀봉 요소(8)의 길이에 걸쳐 배열된 몇 개의 스프링 장치로 대체할 수도 있다.
바람직하게는, 바 스프링(22)을 측방향으로 엇갈리게 배열(도시 생략) 및/또는 잠금 핀(23)에 의해 상이한 장력을 받도록 구성하여, 밀봉 요소(8)와 밀봉 시팅(14) 사이가 가능한 한 평행하게 접촉하도록 한다.
래치(7)는 그 래치(7)를 캠 구동 장치(1)의 종동축(4)에 부착시키는 클램프 (11)를 포함한다. 바람직하게는, 잠금 장치 개구(13)의 길이 방향 축선과 평행하게 연장되는 종동축(4)을 따라 몇 개의 래치를 제공한다.
래치(7)의 클램프(11)의 일측부에는 굴곡진 형상 또는 볼 형상인, 특히 부분적으로 볼 형상인 맞물림 요소(12)가 배치되어 있다. 폐쇄 위치에 있을 때, 맞물림 요소(12)는 셔터(6)의 플랩 홀더(9)에 형성된 컷아웃(18)과 맞물리며, 이는 도 8에 도시되어 있다. 컷아웃(18)과 맞물림 요소(12)를 적어도 부분적으로 상보적인 형태로 구성하면 맞물림 요소(12)를 간단하게 최종 위치로 이동시킬 수 있으며, 이 위치에서 래치(7)가 셔터(6)를 폐쇄 위치에 고정시킨다 (도 7 참조). 셔터(6)와, 더 구체적으로 래치(7)의 맞물림 요소(12) 및 컷아웃(18)를 설계함에 있어서는, 맞물림 요소가 컷아웃(18)과 맞물릴 때 플랩 홀더(9)가 개구(13)의 방향으로 압박되도록 함으로써, 밀봉면(15)을 구비한 밀봉 요소(8)를 스프링 장치(10)의 탄성 복원력에 대항하여 밀봉 시팅(14) 및 이 밀봉 시팅(14)의 밀봉 링(17)에 대해 압박해서 개구(13)가 밀폐 상태로, 특히 기밀 상태로 덮이도록 할 수 있다.
본 발명의 장치는 폐쇄 위치에서 자기 억제 또는 자기 잠금되기 때문에, 이 장치를 폐쇄 위치에 유지하기 위해서 트랜스미션 기어(1)의 구동축(2) 또는 종동축(3 및 4)에 회전 모멘트를 가할 필요가 없다. 오히려, 이 장치가 래치(7)에 의해 고정되기 때문에, 축들이 휴지 상태에 있더라도 한쪽이나 반대쪽으로부터 폐쇄 상태가 개방되지 않는다.
도 4 내지 도 9에 도시된 본 발명에 따른 장치의 작동은 다음과 같다. 도 4에 도시된 개방 위치로부터 구동축(2)이 먼저 구동되어, 종동축(3)을 통해 셔터(6) 를 도 5에 화살표로 나타낸 개구(13)의 방향으로 회전시킨다. 종동축(3) 및/또는 셔터(6)의 소정의 이동 후에, 래치(7)도 마찬가지로 회전하기 시작한다. 밀봉 요소(8)가 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 내부로 연장되는 최종 폐쇄 위치에 셔터(6)가 도달하면, 래치(7)가 셔터(6)의 방향으로 선회하여 맞물림 요소(12)가 셔터(6)의 컷아웃(18)과 맞물리게 한다(도 6 및 도 7 참조). 맞물림 요소(12)가 플랩 홀더(9)의 컷아웃(18)에 수용되는 최종 위치에 래치(7)가 도달하면 플랩 홀더(9)가 개구(13)의 방향으로 압박되며, 결과적으로 밀봉 요소(8)가 개구(13)의 밀봉 시팅(14)에 대해 압박되어 개구를 기밀 상태로 폐쇄한다.
잠금 장치 개구(13)를 개방할 때에는, 구동축(2)에 의해 구동되는 종동축(4)을 이용하여 먼저 래치(7)를 컷아웃(18)으로부터 멀어지는 방향으로 회전시켜, 셔터(6)가 종동축(3)의 회전 축선(20)을 중심으로 선회할 수 있게 만든다.
종동축(3 및 4) 및/또는 셔터(6) 및 래치(7)의 이동을 결합시킴으로써 잠금 장치 개구의 개폐 시간을 매우 짧게 할 수 있는데, 구체적으로는 크기가 50x1000mm 이상인 개구의 경우 1초 미만의 범위로 할 수 있다. 따라서, 예를 들면 코팅 기재를 잠금 장치를 통해 운반하기 위한 조작 시간을 매우 짧게 할 수 있으며, 이는 잠금 장치 개구 및/또는 밀봉 요소의 길이가 1000mm 이상, 바람직하게는 1500mm 이상, 특히 1800 내지 2000mm 이고 폭은 대략 50mm인 경우에도 해당한다. 또한, 본 발명에 따라 설계하면 사이클당 사용 기간을 106 이상으로 설정할 수 있다. 그리고, 셔터와 래치의 이동을 기계적으로 제어하면서 결합시킴으로써, 이들의 이동을 감시할 센서가 불필요해진다.
도 10에는 본 발명에 따른 장입용 잠금 장치의 다른 실시 형태가 도시되어 있는데, 이는 도 4에 도시된 것과 유사하다. 따라서, 동일한 구성품에서는 동일한 도면 부호를 지정하고 여기서는 차이점만을 설명하기로 한다.
도 10에 도시된 실시 형태의 래치(7)도 그 래치(7)를 캠 구동 장치의 종동축(4)에 부착시키는 클램프(11)를 포함한다.
굴곡진 형상, 원통형 또는 볼 형상의 고정식 맞물림 요소(12)를 대신해서, 축(31)에 회전 가능하게 지지되는 롤러(30)가 제공되며, 그 회전 축선은 종동축(4)과 평행하다. 따라서, 맞물림 요소(12)가 셔터(6)의 컷아웃(18)과 매우 원활하고 부드럽게 맞물릴 수 있다.
도 11에 도시된 장입용 잠금 장치의 제3 실시 형태는 래치(7)의 설계에 있어 전술한 실시 형태와 상이하다. 선행 실시 형태에서의 맞물림 위치와 개방 위치 사이를 선회하는 회전식 래치(7)를 대신하여, 맞물림 위치와 개방 위치 사이에서 병진 이동하는 재배치 또는 전이 가능한 래치(70)가 제공된다. 따라서, 컷아웃(18) 대신에 셔터(6)에 각진 면(42)이 위치한다. 래치(70)는 폐쇄 또는 개방 위치에서 셔터(6)의 대응하는 각진 면(42)과 접촉하는 각진 면(43)을 포함한다.
장입용 잠금 장치를 개방하기 위해서, 래치(70)가 도 11에 도시된 화살표에 따라 병진 이동을 수행한다.
래치(70)는 접촉면 또는 기어 랙(41)과 맞물리는 구동 링 또는 기어 휠(40)을 포함하는 종동축(4)에 의해 구동된다.

Claims (39)

  1. 코팅 도중 기재를 수용하기 위한 코팅실과, 상기 기재가 상기 코팅실로 도입되고 상기 코팅실로 부터 제거될 때 통과하는 적어도 하나의 장입용 잠금 장치를 구비하며, 상기 잠금 장치는 셔터(6)에 의해 폐쇄될 수 있는 개구(13)를 포함하고, 상기 셔터(6)는 적어도 하나의 래치(7)에 의해 고정될 수 있는 코팅 플랜트에 있어서, 상기 셔터(6)와 래치(7) 양자를 제1 개방 위치로부터 제2 폐쇄 위치로 이동시키기 위한 수단이 제공되며, 상기 셔터(6)를 이동시키기 위한 수단 및 상기 래치(7)를 이동시키기 위한 수단이 서로 결합(조합)됨으로써, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 상기 셔터(6)가 폐쇄된 후 상기 셔터(6)가 상기 래치(7)에 의해 자동으로 고정되도록 야기하고, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 상기 셔터(6)의 개방 전에 상기 래치(7)가 자동으로 상기 셔터(6)를 풀어주도록 야기하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 기계적으로 제어되는 이동인 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  3. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6)의 이동은 회전 또는 선회 이동이고 상기 래치(7)의 이동은 회전, 선회, 또는 병진 이동 또는 인상 이동인 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  4. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 이동시키기 위한 수단은 트랜스미션 기어를 포함하며, 상기 트랜스미션 기어는 구동측에 위치하는 구동축(2)과, 상기 셔터(6) 및 래치(7)와 연결된 적어도 2개의 결합된 종동축(3 및 4)을 구비한 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  5. 제4항에 있어서, 상기 트랜스미션 기어는 캠 구동 장치인 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  6. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6)의 이동과 상기 래치(7)의 이동은 위상이 엇갈리는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  7. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6)와 래치(7) 양자는 각각 회전 축선을 포함하며, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 회전 축선은 상기 잠금 장치 개구의 대향 측부에 위치하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  8. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 이동시키기 위한 수단은 자기 억제식 또는 자기 잠금식 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  9. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6)는 플랩 홀더(9) 및 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 내부로 연장되어 밀봉할 수 있는 밀봉 요소(8)를 포함하며, 상기 밀봉 요소(8)는 상기 플랩 홀더(9)에 대해 이동할 수 있는 방식으로 탄성 수단에 의해 장착되는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  10. 제9항에 있어서, 바 스프링이 상기 잠금 장치 개구 및 밀봉 요소(8)의 길이 방향에 평행하게 배향되고, 상기 바 스프링이 상기 플랩 홀더(9)에 대항하여 예장력 인가받는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  11. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 또는 상기 셔터(6)의 밀봉 요소(8)는 밀봉 측부를 구비하며, 상기 밀봉 측부는 적어도 하나의 밀봉면(15) 및 상기 잠금 장치 개구(13) 내부로 연장되는 센터링 부재(16)를 포함하고, 상기 밀봉면(15)은 폐쇄 위치에서 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14)의 밀봉부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  12. 제11항에 있어서, 상기 셔터(6)는 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 및 상기 셔터(6)의 밀봉면(15)의 평면에 배치된 회전 축선(20)을 갖는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  13. 제9항에 있어서, 상기 밀봉 요소(8) 또는 상기 밀봉 시팅(14)은 적어도 하나의 밀봉 링(17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  14. 제11항에 있어서, 상기 센터링 부재(16)는 원추형 또는 테이퍼 형상이고, 상기 센터링 부재(16)는 상기 셔터(6)의 둘러싸는 밀봉면(15)으로부터 돌출하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  15. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)는 각각 맞물림면을 포함하며, 상기 맞물림면은 서로 맞물릴 수 있도록 서로에 대해 상보적으로 설계된 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  16. 제1항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)는 상기 셔터(6)를 고정시킬 때 상기 셔터(6)와 쉽게 접촉될 수 있도록 하기 위하여 회전 가능하게 지지되는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  17. 제1항에 있어서, 상기 래치(7)는 제2 폐쇄 위치에 있을 때 상기 셔터(6)를 상기 잠금 장치 개구(13)에 대해 압박하는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  18. 잠금 장치 개구(13)를 폐쇄하기 위한 셔터(6)와, 상기 셔터(6)를 고정시키기 위한 적어도 하나의 래치(7)를 구비한 잠금 장치에 있어서, 상기 셔터(6)와 래치(7) 양자를 제1 개방 위치로부터 제2 폐쇄 위치로 이동시키기 위한 수단이 제공되며, 상기 셔터(6)를 이동시키기 위한 수단 및 상기 래치(7)를 이동시키기 위한 수단이 서로 결합(조합)됨으로써, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 상기 셔터(6)가 폐쇄된 후 상기 셔터(6)가 상기 래치(7)에 의해 자동으로 고정되도록 야기하고, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 상기 셔터(6)의 개방 전에 상기 래치(7)가 자동으로 상기 셔터(6)를 풀어주도록 야기하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 잠금 장치 개구(13) 및 추가의 개구(19)가 마련되어 있고 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 수용하는 하우징(5)을 포함하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  20. 제18항 또는 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징(5)에는 기밀 밀봉을 위한 수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  21. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 이동은 기계적으로 제어되는 이동인 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  22. 제18항 또는 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 셔터(6)의 이동은 회전 또는 선회 이동이고 상기 래치(7)의 이동은 회전, 선회, 또는 병진 이동 또는 인상 이동인 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  23. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 이동시키기 위한 수단은 트랜스미션 기어를 포함하며, 상기 트랜스미션 기어는 구동측에 위치하는 구동축(2)과, 상기 셔터(6) 및 래치(7)와 연결된 적어도 2개의 결합된 종동축(3 및 4)을 구비한 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 트랜스미션 기어는 캠 구동 장치인 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 셔터(6)의 이동과 상기 래치(7)의 이동은 위상이 엇갈리는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  26. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6)와 래치(7) 양자는 각각 회전 축선을 포함하며, 상기 셔터(6) 및 래치(7)의 회전 축선은 상기 잠금 장치 개구의 대향 측부에 위치하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  27. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)를 이동시키기 위한 수단은 자기 억제식 또는 자기 잠금식 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  28. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6)는 플랩 홀더(9) 및 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 내부로 연장되어 밀봉할 수 있는 밀봉 요소(8)를 포함하며, 상기 밀봉 요소(8)는 상기 플랩 홀더(9)에 대해 이동할 수 있는 방식으로 탄성 수단에 의해 장착되는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  29. 제18항에 있어서, 상기 밀봉 요소(8)는 바 스프링에 의해 장착되는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  30. 제29항에 있어서, 상기 바 스프링은 상기 잠금 장치 개구 및 밀봉 요소(8)의 길이 방향에 평행하게 배향되고, 상기 바 스프링은 상기 플랩 홀더(9)에 대항하여 예장력 인가받는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  31. 제18에 있어서, 상기 셔터(6) 또는 상기 셔터(6)의 밀봉 요소(8)는 밀봉 측부를 구비하며, 상기 밀봉 측부는 적어도 하나의 밀봉면(15) 및 상기 잠금 장치 개구(13) 내부로 연장되는 센터링 부재(16)를 포함하고, 상기 밀봉면(15)은 폐쇄 위치에서 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14)의 밀봉부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 셔터(6)는 상기 잠금 장치 개구(13)의 밀봉 시팅(14) 의 평면에 배치된 회전 축선(20)를 갖는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  33. 제28항에 있어서, 상기 밀봉 요소(8) 또는 상기 밀봉 시팅(14)은 적어도 하나의 밀봉 링(17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  34. 제31항에 있어서, 상기 센터링 부재(16)는 원추형 또는 테이퍼 형상이고, 상기 센터링 부재(16)는 상기 셔터(6)의 둘러싸는 밀봉면(15)으로부터 돌출하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  35. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)는 각각 맞물림면을 포함하며, 상기 맞물림면은 서로 맞물릴 수 있도록 서로에 대해 상보적으로 설계된 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  36. 제18항에 있어서, 상기 셔터(6) 및 래치(7)는 상기 셔터(6)를 고정시킬 때 상기 셔터(6)와 쉽게 접촉될 수 있도록 하기 위하여 회전 가능하게 지지되는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  37. 제18항에 있어서, 상기 래치(7)는 제2 폐쇄 위치에 있을 때 상기 셔터(6)를 상기 잠금 장치 개구(13)에 대해 압박하는 것을 특징으로 하는 잠금 장치.
  38. 제6항에 있어서, 상기 래치(7)의 이동은 폐쇄 도중 지연되고 개방 도중 진행되는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
  39. 제9항에 있어서, 상기 밀봉 요소(8)는 상기 바 스프링에 의해 장착되는 것을 특징으로 하는 코팅 플랜트.
KR1020057013920A 2003-12-22 2004-03-11 장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치 KR100692585B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
WOPCT/EP03/14749 2003-12-22
EP0314749 2003-12-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060034621A KR20060034621A (ko) 2006-04-24
KR100692585B1 true KR100692585B1 (ko) 2007-03-13

Family

ID=34717119

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020057013920A KR100692585B1 (ko) 2003-12-22 2004-03-11 장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치

Country Status (10)

Country Link
US (2) US7479189B2 (ko)
EP (1) EP1716268B1 (ko)
JP (1) JP4448825B2 (ko)
KR (1) KR100692585B1 (ko)
CN (1) CN1745192B (ko)
AT (1) ATE474073T1 (ko)
DE (1) DE602004028165D1 (ko)
PL (1) PL1716268T3 (ko)
TW (1) TWI250047B (ko)
WO (1) WO2005064038A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8352400B2 (en) 1991-12-23 2013-01-08 Hoffberg Steven M Adaptive pattern recognition based controller apparatus and method and human-factored interface therefore
US7966078B2 (en) 1999-02-01 2011-06-21 Steven Hoffberg Network media appliance system and method
FR2966546B1 (fr) * 2010-10-22 2013-08-23 Snecma Vanne d'isolement commandee a etancheite renforcee
KR102138675B1 (ko) * 2013-11-19 2020-07-28 세메스 주식회사 기판처리장치
FR3032769B1 (fr) * 2015-02-18 2017-10-13 Perolo Sas Clapet de fond de cuve
CN105805321B (zh) * 2016-01-22 2019-03-05 上海鸿研物流技术有限公司 阀门
JP3211970U (ja) * 2016-04-07 2017-08-17 オルボテック リミテッド ドナー取扱装置
CN109844383B (zh) * 2017-09-27 2020-10-09 应用材料公司 用于真空密封的锁定阀、真空腔室以及真空处理系统
WO2019101318A1 (en) * 2017-11-23 2019-05-31 Applied Materials, Inc. Lock valve for vacuum sealing, vacuum chamber and vacuum processing system
CN108745423B (zh) * 2018-06-21 2021-01-26 江苏中科睿赛环境工程有限公司 蜂窝催化剂浸渍晾干系统
US20210047823A1 (en) * 2019-08-16 2021-02-18 Gabe Coscarella Backwater valve

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US774206A (en) * 1904-05-31 1904-11-08 Charles G Seaman Sash-fastener.
US1924557A (en) * 1929-07-22 1933-08-29 Johnson Metal Products Company Casement window operator
US2970347A (en) * 1957-05-16 1961-02-07 Gen Am Transport Hatch plugs
GB1070331A (en) * 1963-05-14 1967-06-01 Allen & Hanburys Ltd Improvements relating to pressure or vacuum vessels
US3539212A (en) * 1968-06-26 1970-11-10 Alexandr Pavlovich Poltorak Lock for a quick opening cover of a pressure-resistant shell
US3837566A (en) * 1972-07-31 1974-09-24 Gte Automatic Electric Lab Inc Self-locking coin receptacle
US5313738A (en) * 1991-01-22 1994-05-24 Mdt Corporation Closure for doors used with small and medium sized pressure vessels
US5184422A (en) * 1991-12-10 1993-02-09 American Ingredients Company Swing away manway assembly
US5752796A (en) * 1996-01-24 1998-05-19 Muka; Richard S. Vacuum integrated SMIF system
TW344847B (en) * 1996-08-29 1998-11-11 Tokyo Electron Co Ltd Substrate treatment system, substrate transfer system, and substrate transfer method
US5815996A (en) * 1997-01-31 1998-10-06 Granger; Timothy L. Interior-mounted cover for roof ventilator
DE59805566D1 (de) * 1997-04-11 2002-10-24 Leybold Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer
DE29706556U1 (de) * 1997-04-11 1997-07-10 Leybold Systems GmbH, 63450 Hanau Handlingsvorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer
DE29716440U1 (de) * 1997-09-12 1997-12-11 Balzers Ag, Balzers Sputterstation
EP1100689B1 (en) * 1998-07-30 2002-11-27 Armando Cauduro Vehicle hatch
GB0005754D0 (en) * 2000-03-11 2000-05-03 Banham Patent Locks Ltd Lock
DE10202826B4 (de) * 2002-01-24 2005-05-04 Wittenstein Motion Control Gmbh Vorrichtung zum Betätigen von Türen von Fahrzeugen
FR2841588B1 (fr) * 2002-06-26 2007-03-16 Airbus France Porte a ouverture rapide

Also Published As

Publication number Publication date
US7479189B2 (en) 2009-01-20
ATE474073T1 (de) 2010-07-15
TWI250047B (en) 2006-03-01
TW200529934A (en) 2005-09-16
KR20060034621A (ko) 2006-04-24
JP2006522727A (ja) 2006-10-05
US20060162659A1 (en) 2006-07-27
JP4448825B2 (ja) 2010-04-14
PL1716268T3 (pl) 2010-12-31
WO2005064038A1 (en) 2005-07-14
EP1716268A1 (en) 2006-11-02
DE602004028165D1 (de) 2010-08-26
CN1745192A (zh) 2006-03-08
EP1716268B1 (en) 2010-07-14
CN1745192B (zh) 2010-08-18
US20080086948A1 (en) 2008-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100692585B1 (ko) 장입용 잠금 장치를 구비한 코팅 플랜트 및 이를 위한 장치
EP1063457B1 (en) Pendulum valve assembly
KR101345165B1 (ko) 슬라이드 밸브
FR2559234A1 (fr) Dispositif d'actionnement de vanne a moteur
CA2120211A1 (en) Rotary Disk Valve
US20090189107A1 (en) Valve device
KR100929718B1 (ko) 볼 커플링을 구비한 밸브 도어
JP2004502105A (ja) 二重ペンドラム弁アセンブリ
JP4763786B2 (ja) 弁体部及びゲートバルブ装置
ES2162387T3 (es) Dispositivo para la liberacion manual de una puerta de un respectivo accionador motorizado.
US7112027B2 (en) Pod cover removing-installing apparatus
JPH11317132A (ja) 安全スイッチ用駆動子
KR20070048936A (ko) 공정챔버
JPH10339376A (ja) ゲートバルブ
JPH1094986A (ja) アームロボット及びその組立方法
SU404984A1 (ru) Запорное устройство
JP2005264596A (ja) 自動ドア開閉装置
JP4978477B2 (ja) 基板搬送装置
JP2024040984A (ja) 質量分析装置
JP2533708Y2 (ja) 処理チューブの開閉装置
EP3653817A1 (en) Locking device for compressed closing of a door
JPS63249958A (ja) カセツト装着装置
JP2015209893A (ja) ピンチバルブ装置
JP2004060228A (ja) ドアクローザのストップ装置
JPH0357671A (ja) 印字装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130222

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140221

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150220

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160218

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170216

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180223

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200220

Year of fee payment: 14