TWI250047B - Coating plant with a charging lock and device therefor - Google Patents

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TWI250047B
TWI250047B TW093106817A TW93106817A TWI250047B TW I250047 B TWI250047 B TW I250047B TW 093106817 A TW093106817 A TW 093106817A TW 93106817 A TW93106817 A TW 93106817A TW I250047 B TWI250047 B TW I250047B
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Uwe Schussler
Stefan Bangert
Jurgen Henrich
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Applied Films Gmbh & Co Kg
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Description

案號 93101817 1250047
五 發明說明(1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種冷费< Μ ^ , 共+ _ m 搜塗覆設備,特別係一種直办泠禮 设備,較佳地可用於嬖如 ^ 二塗復
Au 甘4 g 、隹山Γ ★門面上轴等塗覆具有大表面積之 丞材,其包括一進出料雜 _ 5田積‘ 私A 貞、特別地係具有一鎖件口、e P弓 啟與閉合該鎖件口用之一谪“里/、V :仟口、及開 甲邊鎖件口具有至少1 0 0 0八 只Ί〒六 υυυ公厘及更大者的一長度。 【先前技術】 操作在真 進出料鎖,以 已知具有矩形 鎖件具有1 0 0 〇 度。為了確保 係藉一閃鎖來 違擔門或鎖件 寸,一大氣壓 量,而必須由 式閉合的裝置 將基材傳 鎖件擋門 至1 50 0公 緊密、且 緊固該鎖 盤保持於 狀態與另 用於閉合 來吸收。 狀態下之塗覆 應室或 矩形真 厘之一長度、及大 之該鎖 件盤, 基於該 一真空狀態的壓力 該鎖件口、且同時 遞入與出反 或鎖件盤之 吞又侑係利用譬如 為此, 特別係氣密 件擋門或鎖 閉合位置。 塗覆室。 空鎖件, 約5 0公厘 件口閉合 其中該閂 鎖件口之 差,將引 保持該鎖 其中該 之 ,通1 鎖將4 大小} 發大b 件氣ξ 寬 ^ 然而,經由該鎖件實施之基材傳遞,將影響到在塗覆 设備中塗覆時之循環時間。由於除非且直到以一緊密、且 特別係一氣密方式閉合該等適當孔口時,才得起動該鎖件 及/或塗覆室之排空或洩氣,因此必須迅速地開啟與閉合 該鎖件之鎖件口,以節省開啟與閉合步驟之時間。
1250047 -----案號931·17__^月 五、發明說明(2) " 's^ —Jfe
【發明内容J 用於-鎖件itj在:;效利用-塗覆設備及/或 啟,且特別係一;=中;:=吏=件迅速閉合與開 y或-矩形真空鎖件。本發明之另—目ϋ-真空鎖件 置,其具有一長可用壽命,且# 、系3又§十一裝 感,因此得確保安全且可靠之鎖】=二其對環境影響不敏 置應屬結構簡單且操作簡單者。 。除此以外,該裝 可藉由具有如申請專利範圍第 二、及具有如中請專利範圍第18徵^ —塗覆設 本目:蘇可由附屬項申請專利範圍來:二::達成 與閉合’而無需用於目k 了加速一鎖件之開啟 運動之感測器及費時二制^制該鎖件撐門及/或鎖件盤 間獨立運動所需之空“7,則i 該,之 !=r該擋門之相關連步驟=動 控制該兩者時,將可使其最佳=動式運動來機械地推迫與 緣是’在一較佳實施例中,A 閉合期間執行-旋轉或轉^X擒門在該鎖件開啟或 該組合或連結式之浐門盥巧J動寺,可猎-簡單方式獲致 門與該問鎖之運動;』相巧運動。除此以外,倘若該檔 執行旋轉或轉=互:;=連二=㈣ 人有十移或舉升(垂直)運動。該 3039-6220-PF2(N2).ptc 第7頁 1250047 —案號 五、發明說明(3) 閂鎖之 .93106S17 Λη 曰 修正 較 地係一 結式擔 依 以將其 之運動 在其組 分離一 方疋轉或轉動運 可使用一 輪或一轉 佳地 轉動凸 門與閂 據本發 連接至 係互相 合式運 時間偏 該閂鎖 ά». ^ iii ·、、、Hh 來避免 動,而 如此, 路徑, 同理,最 件口某一側上 鎖運動。 明之一實 一驅動裝 相依且因 動期間相 差,使得 則仍保持 任何特殊 該等者在 好提供該 ,而該閂 動亦仍屬較佳者。 傳動機構、特別地係一凸輪、較佳 動-舉升機構,以產生該組合或連 施例, 置或馬 此得連 互干涉 該擋門 不動, 結構的 運動期 擋門, 鎖之旋 该傳動 達;及 結。為 ,該擋 可在閉 且在開 播門或 間互相 其旋轉 轉軸則 機構包括 兩被驅動 了避免該 門與該閂 合相位期 啟程序期 閂鎖、或 干涉。 軸係位於 設於開口 一驅動軸, 軸,該兩軸 擋門與閂鎖 鎖之運動將 間開始運 間則反之。 著該等元件 待閉合之鎖 之相對側 為 該裝置 為傳動 轉動力 可保持 能量中 合裝置 使該孔 合造成 了確保依 設計成’ 者,係可 矩或力量 該鎖件之 斷時亦然 係設什成 口不同侧 貢獻,而 據本發 用於移 自我限 來將該 密封功 。特別 ,可由 之間的 這亦屬 明之裝置安全且可靠地作動,可將 動該擋門及該閂鎖之構件、、 制或自我鎖定。這意味…=別 能,即使供應該裝置或;動 地,當包括有該擋門及該=置之 該孔口兩側施加壓力負^ 士員之閉 麼力差並非必須對該鎖&亦將 較優者。 卞 < 緊密閉
3039-6220-PF2(N2).ptc 第8頁
1250047
------ 931068Π_£ 五、發明說明(4) 依據本發明之另一實施例,該擋門包括至少一舌閥柄 (flap holder) ’及配合入待閉合孔口密封座面中之一密 封元件。較佳地,該密封元件將配置成、且特別地係彈性 預拉伸或支持成,允許其相關於該舌閥柄運動,因此可能 藉由推壓該擔門之密封元件抵住該鎖件口之密封座面,而 獲致一緊密、且特別地係一氣密式開口密封。 可藉由提供一彈簧配置 (承載)於該舌閥柄上,使處 該舌閥柄且因此可抵抗該彈 孔口中,而得達成上述者。 同樣較優者係提供一種 定心該密封元件之構件,使 關於該密封座面之正確位置 來確保將該密封元件彈性支持 於其閉合位置中之該閂鎖推壓 黃之力量來將該擋門推壓入該 用來相關於該鎖件口密封座面 該密封元件恆自動地佔據其相 0 依據一較佳實施例,該密封元件設有—定心部件,盆 具有一圓錐形或錐形外型、自周圍密封表面突 /、 將在閉合位置中藉該密封元件閉合之該鎖件口中。 藉由將該擋門之旋轉軸與該鎖件口之 門之密封表面配置於同一平面中,即可達成一擋 命。這可使該擋門相關於該密封座面; 如。型環等配置於該密封座面或該擋門密封表:中相二於譬 亦可藉由設計該彈菁配置來達用.入 此該密封元件可彈性地支持於該舌閥柄上 元件怪以儘可能平行之方式擠壓環繞著該鎖件口二义封 1250047 五、發明說明(5) 面。特別地, 該密封元件以 可選擇該彈簧 件擋門側上所 門開始擠壓開 藉由調整 然’或著藉由 件、滾子元件 撞門之一互鎖 獲致一較長可
對複數個平行桿彈楚 -夾角擠壓該鎖件:作:交錯配置’可防止 元件在轉動運動首大=擠入其中。例如, 實施之彈性支持,以^開,’於該鎖 口所引發之較高壓力負:及/或防止因該擋 該問鎖之形狀以適應掩 提供可確保閂鎖盥f § 、且反之亦 、或相似之、@ =二易互鎖或接觸之構 ,如此將僅t:例’gp可達成該問鎖與該 用:ί將僅&成微小摩擦及/或磨耗,而得 【實施方式】 第1圖係顯示-傳動機構、且特別為具有— =被,動軸3與4之-往復或擺動式凸輪驅動裝置-中該兩被驅動軸係執行一相依運動。當驅動轴2有 γ、接至譬如-電動馬達等—驅動裝置時’將連接該$ 被驅動軸以作動鎖件之一擋門6及一閂鎖7(請參閱第4 圖)。緣是,驅動軸2、及被驅動軸3與4,皆包括一士 件,以將該等者連接至驅動裝置、擋門6、與閂鎖7,、言^ 由譬如第2圖中之轉軸4最佳地看出。 k 傳動機構可使被驅動軸3與4互相連結,使得轉轴3及4 可在δ亥驅動裝置或馬達驅動該驅動軸2時自動地旋轉戍轉 動。特別地,轉軸3與4之互連運動係互相交錯,這可由第 3圖之運動示意圖看出。緣是,連接至擋門6之轉軸3(第4
1250047
_MM 93106817 五、發明說明(6) 圖)首先係由一第一開啟位置朝向一第二閉合位置之方向 運動,而將擋門6緊固於該閉合位置之閂鎖7(請參閱第4 圖)係先保持於該開啟位置。擋門6或轉軸3經過一既定運 動後’轉軸4將相同地開始旋轉,以使該閂鎖移動至其閉 合位置。由於轉軸3與轉軸4及/或擋門6與閃鎖7之間^相 移’使播門6可先行抵達閉合位置’而該閂鎖將因此可能 緊固該閉合位置。 可將該傳動機構設計成,在開啟期間依相反 動播門6及閂鎖7。在這種情況下,閂鎖7於開始時係朝向 該開啟位置轉動,而播門6則仍保持在該閉合位置二尸^ 定時間。當閂鎖7業已旋轉至釋放擋門6之一位置點時X,_ 門6將因轉軸3之轉動而相同地開始旋轉。由& < —上 " 、ίί王设或擺動 式凸輪驅動裝置之機械結構係使其恒依循相间# 1 j田綠,如此 可機械式地控制被驅動轴3及4,且使該兩者值每 丨叉只万也相同的 反覆運動,因此擋門6與閂鎖7之間不致生碰措。奸Α n。符殊地, 亦可將該往復式凸輪驅動裝置設計成,使驅動轴2彳堇u、八 某一方向旋轉,且被驅動軸3及4將依據給定刑能I " 又3d悲而歷經蘭
合該擋門、及藉由該閂鎖來緊固該擋門,以月t 1 J A及亦可釋放褚 播門且開啟該播門。然而,基於該凸輪驅動步署 " 不"夏,亦可能 使該驅動軸在開啟與閉合期間朝向相反方向遥& 出,在這種情況下,被驅動軸3及4之受控制逯說μ 人捉 擋門6及閂鎖7之一相對應運動,以開啟與閉人兮w 罐保 J 口邊鎖株口 可由第4圖之剖面最清楚地看出,擋門6乃„ w汁口。 容於一外殼5内,該外殼可藉一氣密方式配詈於 你收 夏於—鎖件、
1250047 , __93106817 丰月曰_修正___ 五、發明說明(7) 且特別係一塗覆設備之一真空鎖、或著一反應或塗覆室 中。外殼5包括複數個相對孔口 1 3及1 9,其中孔口 1 3係可 由擋門6封閉著。基於將在稍後作更詳細說明、具有擔門6 及閂鎖7之閉合機構的自我限制結構,因為閉合裝置並未 因壓力差而保持在閉合位置,以致孔口 1 3之兩側將可較位 於另一者上之分離空間承受較大壓力。結果,具有閉合裝 置之外殼5町適合於一般使用:例如,大氣壓狀態可蔓延 第4圖之孔口 1 3左端,而真空狀態則可蔓延至其右端,反 之亦然。 擋門6包括連附至驅動軸3之至少一舌閥柄(f 1 ap holder)9、及一密封元件8,以在閉合位置時提供孔口 13 一氣密式密封。由於鎖件口 1 3較佳地係呈其縱向軸線與第 4圖平面夾直角、且給定一 50公厘寬度的矩形,並延伸至 少1 0 0 0公厘、較佳地超過1 5 0 0公厘、更佳地1 8 〇 〇至2 〇 〇 〇公 厘之一長度,因此密封元件8較佳地應相同地呈現為具有 這種尺寸之單體。是以,較優地係在密封元件8身長上分 佈眾多個舌閥柄9。 密封元件8包括一密封表面15、及可自周圍密封表面 1 5突出之圓錐形或錐形型的一定心部件1 6。 可由第6圖最清楚地看出,當處於閉合位置時,密封 元件8之定心部件係延伸入該鎖件口中,而密封表面^係 與環繞著鎖件口 1 3之一密封座面1 4相接觸。如此,擋門6 密封元件8之接觸表面15將與鎖件口 13密封座面14之^型環 17相接觸,而因此可在閉合位置了,以一氣密方式密封鎖
1250047 案號 93106817 年 月 曰 修正_ 五、發明說明(8) 件口 1 3。 相同地可由第4圖最清楚地看出,驅動軸3之旋轉軸20 係設於鎖件口 1 3密封座面1 4之平面、及擋門6密封元件1 8 之密封表面1 5中。緣是,當閉合該擋門時,可使該密封元 件接近密封座面14及/或密封環17,造成其與密封座面14 及/或密封環1 7相接觸,但不致發生一[後續]轉動或旋轉 運動。特別地,這種配置可確保,當擋門6及/或密封表面 1 5與孔口 1 3之密封座面1 4相接觸時,將不致造成相關於密 封環1 7之擠塞或一移動式運動。更,在孔口丨3兩側上,撞 門6及/或擋門6密封表面丨5之間僅可能有一水平接觸。結田 果,可將相關於密封環1 7之一運動所造成之該密封環負荷 或應力最小化,而得以改良密封環之可用壽命。 這可藉由將密封元件8配置於舌閥柄9上之方式而得確 保,以下將對此作說明。如第4圖之剖面所示,該密封元 件係藉由較佳地由桿彈簧構成之一彈簧配置1〇,而以一活 動方式安裝於舌閥柄9上。因此,當處於閉合位置時, 封元件8將可朝向舌閥柄9、亦即平行於孔口13軸線2ι 向運動。結果’可藉由施加舌閥柄9壓力, :性”厂堅至密封座面14。可由第8圖特別清楚件8 2:當處於閉合位置時,舌閥柄9上之壓力將由= 口J甶弟4圖至第8圖看出,彈笼 其係互相平行地配置、且亦平二配置1Q匕括桿彈簧22, I 丑亦干仃於鎖件口丨3之樅 亦即與圖式平面夾直角。桿彈筹 ^向方向, 汽以之末鈿係延伸入密封元
1250047
案號 93106817 五、發明說明(9) 件8中,位於其中心區域中之鎖定銷23則可將其保持於適 备位置、且朝孔口 1 3方向對其推壓及/或預拉伸(當處於閉 口位置妗)。然而,預拉伸可非常小,使得僅桿彈簧2 2保 持於適g位置中,而未引發任何其他彈性應力。可夢由一 裝部件24,在相對著桿彈簧之鎖定銷23末端▲,緊 =專鎖定銷’其中較佳地係使安裝部件24包括設定桿彈 =22 2拉伸之可能性。亦可將一遮熱板25設於安裝部件24 上。*然可使用緊壓螺釘來取代該等鎖定 :密封元件8身長上之眾多彈簧配置來替代單一彈了簧配 較佳地,桿彈簧22係配置成側邊交錯( 藉鎖定銷23而各自不同地拉伸,因此可(未顯不)及 密封座面14間之一接觸儘可能地平行。呆抢封兀件8 閂鎖7包括一夾板u,閂鎖7 置1之被驅動軸4。較佳地,眾多^將J附至凸輪驅動身 設置,且該被驅動軸係平行於鎖件口沿著被驅動轴4 在閃鎖7夾板U之某一侧上配置—縱軸延伸。 型、特別係-局部球形外型的一喷合·;曲線或球形外 位置時,唾合元件12將與形成於撐門牛2。當處於閉^ 喊合’這可由第8圖看丨。倘若切口18與^9上之切口才 少部份互補外型,則可藉—簡單,、。7G件12的至 其終端位置,其中閃鎖7可將擋門 ^嗜合元件帶3 閱第7圖)。可選擇擋門6、且更 地口於閉合位置(請參 合元件12之設計,使得當該 為切叩及閃鎖h 卞”切D 18嚙合時,对
1250047 五、發明說明(10) 朝孔口 1 3方向推壓9,因此得推壓密封元件8,使密封表面 15抵抗彈簧配置10之彈性回復力,而抵抗密封座面14、及 密封座面14之密封環17 ’且確保一緊密、特別係一氣密式 之孔口 1 3覆蓋。 當處於閉合位置時,該裝置可自我限制或自我鎖定, 而無需藉施加傳動機構1之驅動軸2或被驅動軸3與4任何轉 動力矩,來將該裝置保持於其閉合位置。更,該裝置閂鎖 7係緊固著之事實,將可確保即使該等轉軸處於空轉下, 仍無法由任一側開啟該閉合狀態。 下 依據顯示於第4圖至第9圖之本發明的裝置,係作動如 由第4圖中所示之開啟位置起,首先驅動該驅動軸2, 以經由被驅動軸3而沿第5圖箭頭所指示之朝向孔口 13方向 來轉動擋門6。在被驅動軸3及/或擋門6之某一特定運動 後,閂鎖7將可相同地開始旋轉。當擋門6業已抵達密封元 件8延伸入鎖件口13密封座面14的其最終閉合位置時,閃 鎖7將朝擋門6之方向轉動,而得使其嚙合元件12與擋門6 之切口 1 8嚙合(請參閱第6圖及第7圖)。當閂鎖7業已達到 嚙合元件12收容於舌閥柄9切口18中的其最終位置時,將 朝孔口13:向推壓舌閥柄9,|結果將推壓密封元件8抵住 子口火之密封座面1 4,而得以一氣密方式閉合該孔口。 田奴開啟鎖件口 1 3時,首先必須藉被驅動軸4將閂鎖7 “ 18而该被驅動軸又由驅動軸2所驅動,因此可 能使播門6環繞著被驅動軸3之旋轉軸20轉動。 倘若存在有被驅動軸3與4及/或擋門6與閂鎖7之連結 第15頁 3039-6220-PF2(N2).ptc 1250047 修正 曰 __案號 93106817 五、發明說明(11) 運動,則可能在孔口大小尺寸為5〇χ公厘及更大 f月況下,達成極短暫之鎖件口開啟與閉合 覆基材日^,可能獲致極短暫之操作時間,且甚至當該鎖' 口及/或該密封元件具有至少1〇〇〇公厘或更大者、曰較〃佳地 超過1 500公厘、且特別係18〇〇至2〇〇〇公厘之一 寬度大约為50公厘時亦然。依據本發明之設計亦^能一 :用壽命達超過106次循環週期。此外, 曰加 式控制之擔Η與⑽連結運動,%無^械 擋門與閂鎖之運動。 彳时术凰1 4 第10圖係相似於第4圖中所示者,顯示依據本 口另一實施例。緣是,完全相同之部件係二 同,考代碼心不,而以下僅描述其差異處。 銷7所方示實施例之閃鎖7亦包括一夹板11,藉此閃 鎖7付連附至该凸輪驅動裝置之被驅動軸4。 可提供以可旋轉式支持於轉軸31上的一滾子3〇來代卷 二有曲線、圓柱形或球形外型的靜止喃合元件1 2,苴士 忒轉軸之旋轉軸係與被驅動轴4平行。緣是,可藉一極、 =且和緩之方式來實施嚙合元件12與擋門6切口 18之嚙’ 第11圖中所示之進出料鎖第三實施例不同於前每 、 κ ^ 平移運動的一可轉移或可移位閂鎖7 Q, 代替可在該嚙合位置與該開啟位置之間轉動的先前實施例 3039-6220-PF2(N2). ptc 第16頁 1250047 五、 可 代 或 頭 驅 為了開啟該進出料鎖 來貫施一平移運動。 閂鎖70係由包括有— 動’且該齒輪可與一接 _案號 93106817 车 月 曰 修正 發明說明(12) 旋轉式閃鎖7。緣是,可在擋門6處設置一傾斜面42,以 替切口 1 8。閂鎖7 0包括一相對應傾斜面4 3,其可在閉合 緊固位置處接觸擋門6之傾斜面42。 閂鎖7 0將依據第11圖所示之箭 驅動環或齒輪4 0之被驅動軸4 觸表面或齒條41相接觸。 所 1250047 _案號93〗068Ι7 圖式簡單說明 ±__1 θ 修正 第1圖係依據本發明之裝置的一傳動機構側視圖·, 第2圖係第1圖之傳動機構旋轉90〇後之側視圖; 第3圖係依據本發明較佳實施例之擋門及閂鎖 示意圖; 及期 第4圖係橫截其中配置有擋門及閂鎖之一 圄: 1 ^ 口J現
第5圖至第9圖係依據第4圖之實施例,處於鎖件閉人 與開啟期間之各不同位置時的橫截剖視圖; 才Q 第1 0圖係一進出料鎖之另一實施例的剖視圖;及 第11圖係一進出料鎖之又一實施例的剖視圖。 符號說明 1〜(僅圖示中出現); 2〜驅動軸; 3〜被驅動轴; 4〜被驅動轴; 5〜外殼; 6〜擋門; 7〜閂鎖; 8〜密封元件; 9〜舌閥柄; 1 0〜彈簧配置; 11〜夾板; 1 2〜嚙合元件; 1 3〜鎖件口; 1 4〜密封座面; 1 5〜後、封表面; 1 6〜定心部件; 1 7〜密封環; 1 8〜密封元件; 1 9〜孑L 口 ; 2 0〜旋轉輛; 2 1〜軸線; 22〜桿彈簧; 2 3〜鎖定銷; 24〜安裝部件;
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Claims (1)

  1. 案號 93106817 1250047 Λ —修正 曰 六、申請專利範圍 1 · 一種塗覆設備,特別係一種用於塗覆具有 3;基空塗覆設備,其具有在該塗覆期間收容ί: 才之一塗覆至、及至少一進出料鎖,該基材係經=基 :二:該塗覆室中或自該塗覆室移除,其中該鎖件:括:牛 =鎖(;)擔緊門口(6)】合之一孔口(13),該擔門⑷可由至少可 尸-鎖(7)緊固,其特徵在於設有用於將該擋門(6)及該^ 件,兩二自門:開啟位置移動至-第二閉合位置的—構 牛鏽擋門(1 2)與該閂鎖(7)之運動可互相連結Γ纟人、 得該擋門(6)將在該擋門(6)閉合後由該 ^使 固,且在該擔門⑷開啟前釋放。 )自動地緊 2·如申請專利範圍第丨項所述之塗覆設備,苴 門(6)及該閂鎖(7)之運動係一機械式控制運動。 A為 3·如申請專利範圍第1至2項中任一項所述之塗覆設 備,其中該擋門(6 )之運動係一旋轉或轉動運動,且該 鎖⑺之運動係一旋轉、轉動、或平移運動、或著一舉升 運動。 "4·如申請專利範圍第1項所述之塗覆設備,其中該移 動擋門(6)及閂鎖(7)用構件包括一傳動機構,其在驅動侧 上具有一驅動軸(2),及具有町與該擋門(6)及該閂鎖(7) 相連接之至少兩互相連結之被驅動軸(3、4)。 3039-6220-PF2(N2).ptc 第2〇頁 1 ·如申請專利範圍第4項所述之塗覆設備,其特徵在 於该傳動機構係一凸輪驅動裝置,特別係一往復或轉動式 凸輪驅動裝置或一旋轉—舉升驊動裝置。 2 ·如申睛專利範圍第1項戶斤述之塗覆設備,其中該擔 Μ號 9310RR17 六、申請專利範圍 1250047 曰 門(6 )之運動與該閂鎖( 該閃鎖(7)之運動將在運動係呈相位交錯’特別地係 7.如申請專利範圍° ^延遲且在開啟期間領前。 門(6)及該閂鎖(7)包員所述之塗覆設備,其中該擋 鎖(7)之旋轉軸係設於別旋轉軸,該擂門(6)及該閃 ,⑻及㈣7)用構件、二塗二 Η(6)·^Λ^9^^ 一密封座面(14)的一京#可延伸入且密封該鎖件口(13) 藉由-彈性構二二其中該密封 *阳w Μ η、 特別係較佳地具有複數個桿彈簧之一彈 m 所架置,以相關於該舌閥柄⑻活動 桿彈普係定Λ專利λ圍鎖第塗覆設備’其中該等 Κ干,1 + Ζ 與5亥鎖件口及該密封元件(8)之縱向軸 該鎖件口 (1 門圍第1項所述之塗覆設備,其中該擋 Γ少一 件(8)具有—密封侧,該側包括 邻件πΓ) ft 及延伸入該鎖件口(13)中之一定心 ;孔口(3;二 處於閉合位置時’該密封表面(15)係與 違孔口(13)进封座面(14)之一密封部相接觸。 在於1二申J專利範圍第11項所述之塗覆設備,其特徵 在於a亥擋門(6)具有一旋轉軸(2〇) ’該軸大體上係配置於 第21頁 3039-6220-PF2(N2).ptc 1250047 案號 93106817
    / \ | 口巧 ,1 J 子Ci 1^1 該鎖件口( 1 3 )密封座面(1 4 )、特別係該密封座面(丨4 )密封 部及該播門(6)密封表面(15)之平面中。 一 13.如申請專利範圍第9項所述之塗覆設備,其中該密 封元件(8)及/或a亥禮、封座面(14)包括至少一密封環(I?)。 1 4·如申請專利範圍第丨丨項所述之塗覆設備,其中該 定心部件(1 6 )具有一圓錐形或錐形外型,其中該定心部件 (1 6 )更明確地係自該擋門(6 )周圍密封表面(丨5 )突出。 1 5·如申請專利範圍第丨項所述之塗覆設備,其中該梓 門(6 )及該閂鎖(7 )包括一各別嚙合表面、特別地係一曲線 嚙合表面,其設計成大體上互補,而可能極平滑、且以微 小摩擦及磨耗地互相喃合。 1 6 ·如申請專利範圍第丨項所述之塗覆設備,其中該擋 門(6)及該閂鎖(7)包括以可旋轉式支持著的一滾子,以: 該擋門(6)緊固時,實施與該擋門(6)之一可能的簡單接田 觸0 、,1尺如申請專利範圍第1項所述之塗覆設備,其中該閂 鎖(7)係當處於該第二閉合位置時,推壓該擋門(6 )抵住該 鎖件口( 1 3 )。 1 8· —種用於一鎖件的裝置,其設有用於閉合一鎖件 口( 1 3)之一擋門(6)、及緊固該擋門(6 )之至少一閂鎖 (7) \其特徵在於設有用於將該擋門(6)及該閂鎖(7)兩者 自一第一開啟位置移動至一第二閉合位置的一構件,該 f^6)與該閂鎖(7)之運動可互相連結(組合),使得該擋 )將在該擋門(6 )閉合後由該閂鎖(7)自動地緊固,且在
    1250047 修正 月 曰 案说 93106817 六、申請專利範圍 該播門(6)開啟前釋放。 a d L如申請專利範圍第1 8項所述之裝置,其中該擋門 μ閂鎖(7)之運動係一機械式控制運動。 > π 如申請專利範圍第18或19項所述之裝置,其中該 s 之運動係一旋轉或轉動運動,且該閂鎖(了)之運動 係一旋轉、轉動、或平移運動、或著一舉升運動。 ^如申請專利範圍第18項所述之裝置,其中該移動 ^ 及閂鎖(7)用構件包括一傳動機構,其在驅動側上 ^ 驅動軸(2 ),及具有可與該擋門(6 )及該閂鎖(7 )相 連接之至少兩互相連結之被驅動軸(3、4)。 22·如申請專利範圍第2丨項所述之裝置,其特徵在於 4動機構係一凸輪驅動裝置,特別係一往復或轉動式凸 輪驅動裝置或一旋轉—舉升驅動裝置。 2 3 ·如申請專利範圍第2 2項所述之裝置,盆中哕 r】)鎖 該閃鎖⑺之運動0 、)之運動將在閉合期間延遲且在開啟期間領前。 24.如申請專利範圍第丨8項所述之裝置,i 包括—各別旋轉軸’該擋門(6)及鎖 、u之疑轉軸係設於該鎖件口之相對側端上。 矜請專利範圍第18項所述之裝置’其中該移動 ▲ 1鎖(7)用構件包括一自我限制或自我鎖定裝 置。 ^ 2 6 ·如申請專利範圍第1 8項所述之裝置,其中該擋門 (6)包括一舌閥柄(9)、及可延伸入且密封該鎖件口(13)一 第23頁 3〇39-6220-PF2(N2).ptc 1250047 曰 修正 ------崖號 __年月 六、申請專利範圍 =^ ^面(14)的一密封元件(8),其中該密封元件(8)係藉 一彈性構件、特別係較佳地具有複數個桿彈簧之一彈簧 配置(1 0 )所架置,以相關於該舌閥柄(9 )活動。 时雜^7·如申請專利範圍第26項所述之裝置,其中該等桿 ,貝係疋向成’與該鎖件口及該密封元件(8)之縱向軸平 行’其中可特別地朝該鎖件口( 1 3 )之方向來預拉伸該等桿 彈簧抵住該舌閥柄(9 )。 28·如申請專利範圍第丨8項所述之裝置,其中該擋門 (w6)、+且特別為該密封元件(8)具有一密封側,該側包括至 少一密封表面(1 5 )、及延伸入該鎖件口(丨3 )中之一定心部 件(16) ’其中當處於閉合位置時,該密封表面(15)係與該 孔口( 1 3)密封座面(丨4)之一密封部相接觸。 ^ 29.如申請專利範圍第28項所述之裝置,其特徵在於 該擔門(6)具有一旋轉軸(2〇),該軸大體上係配置於該鎖 件口( 1 3 )密封座面(丨4 )、特別係該密封座面(丨4 )密封部及 該擋門(6)密封表面(15)之平面中。 3 0 ·如申請專利範圍第2 6項所述之裝置,其中該密封 元件(8)及/或該密封座面(14)包括至少一密封環(ι7)。 31 ·如申請專利範圍第2 8項所述之裝置,其中該定心 部件(1 6)具有一圓錐形或錐形外型,其中該定心部件(丨6 ) 更明確地係自該擋門(6 )周圍密封表面(1 5 )突出。 3 2 ·如申請專利範圍第1 §項所述之裝置,其中該擔門 (6 )及該閂鎖(7)包括一各別嚙合表面、特別地係一曲線嚙 合表面’其設計成大體上互補,而可能極平滑、且以微小
    1250047 案號 93106817 曰 六、申請專利範圍 修正 摩擦及磨耗地互相嚙合。 33·如申清專利範園第18項所述之裝置,其中該擋門 (6) 及該閂鎖(7)包括以可旋轉式支持著的一滾子,以當該 擋門(6 )緊固時’實施與該擋門(6 )之一可能的簡單接觸。 34·如申請專利範圍第1 8項所述之裝置,其中該閂鎖 (7) 係當處於該第二閉合位置時,推壓該擋門(6 )抵住該鎖 件口( 1 3 )。 3 5·如申請專利範圍第18項所述之裝置,其中該裝置 包括一外殼(5),其中設有一鎖件口(13)、及亦具有又一 孔口( 1 9 ),且該外殼中收容有該擔門(6 )及該閂鎖(7 )。 3 6·如申請專利範圍第18或35項所述之裝置,其中該 外殼(5 )設有用於密封、特別係用於將部件以氣密式連接 且安裝至相鄰組件的一構件。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8352400B2 (en) 1991-12-23 2013-01-08 Hoffberg Steven M Adaptive pattern recognition based controller apparatus and method and human-factored interface therefore
US7966078B2 (en) 1999-02-01 2011-06-21 Steven Hoffberg Network media appliance system and method
FR2966546B1 (fr) * 2010-10-22 2013-08-23 Snecma Vanne d'isolement commandee a etancheite renforcee
KR102138675B1 (ko) * 2013-11-19 2020-07-28 세메스 주식회사 기판처리장치
FR3032769B1 (fr) * 2015-02-18 2017-10-13 Perolo Sas Clapet de fond de cuve
CN105805321B (zh) * 2016-01-22 2019-03-05 上海鸿研物流技术有限公司 阀门
JP3211970U (ja) * 2016-04-07 2017-08-17 オルボテック リミテッド ドナー取扱装置
CN109844383B (zh) * 2017-09-27 2020-10-09 应用材料公司 用于真空密封的锁定阀、真空腔室以及真空处理系统
WO2019101318A1 (en) * 2017-11-23 2019-05-31 Applied Materials, Inc. Lock valve for vacuum sealing, vacuum chamber and vacuum processing system
CN108745423B (zh) * 2018-06-21 2021-01-26 江苏中科睿赛环境工程有限公司 蜂窝催化剂浸渍晾干系统
US20210047823A1 (en) * 2019-08-16 2021-02-18 Gabe Coscarella Backwater valve

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US774206A (en) * 1904-05-31 1904-11-08 Charles G Seaman Sash-fastener.
US1924557A (en) * 1929-07-22 1933-08-29 Johnson Metal Products Company Casement window operator
US2970347A (en) * 1957-05-16 1961-02-07 Gen Am Transport Hatch plugs
GB1070331A (en) * 1963-05-14 1967-06-01 Allen & Hanburys Ltd Improvements relating to pressure or vacuum vessels
US3539212A (en) * 1968-06-26 1970-11-10 Alexandr Pavlovich Poltorak Lock for a quick opening cover of a pressure-resistant shell
US3837566A (en) * 1972-07-31 1974-09-24 Gte Automatic Electric Lab Inc Self-locking coin receptacle
US5313738A (en) * 1991-01-22 1994-05-24 Mdt Corporation Closure for doors used with small and medium sized pressure vessels
US5184422A (en) * 1991-12-10 1993-02-09 American Ingredients Company Swing away manway assembly
US5752796A (en) * 1996-01-24 1998-05-19 Muka; Richard S. Vacuum integrated SMIF system
TW344847B (en) * 1996-08-29 1998-11-11 Tokyo Electron Co Ltd Substrate treatment system, substrate transfer system, and substrate transfer method
US5815996A (en) * 1997-01-31 1998-10-06 Granger; Timothy L. Interior-mounted cover for roof ventilator
DE59805566D1 (de) * 1997-04-11 2002-10-24 Leybold Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer
DE29706556U1 (de) * 1997-04-11 1997-07-10 Leybold Systems GmbH, 63450 Hanau Handlingsvorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer
DE29716440U1 (de) * 1997-09-12 1997-12-11 Balzers Ag, Balzers Sputterstation
EP1100689B1 (en) * 1998-07-30 2002-11-27 Armando Cauduro Vehicle hatch
GB0005754D0 (en) * 2000-03-11 2000-05-03 Banham Patent Locks Ltd Lock
DE10202826B4 (de) * 2002-01-24 2005-05-04 Wittenstein Motion Control Gmbh Vorrichtung zum Betätigen von Türen von Fahrzeugen
FR2841588B1 (fr) * 2002-06-26 2007-03-16 Airbus France Porte a ouverture rapide

Also Published As

Publication number Publication date
US7479189B2 (en) 2009-01-20
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WO2005064038A1 (en) 2005-07-14
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DE602004028165D1 (de) 2010-08-26
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EP1716268B1 (en) 2010-07-14
CN1745192B (zh) 2010-08-18
US20080086948A1 (en) 2008-04-17

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