KR100691507B1 - 플라스틱 기판의 적층 방법 및 이를 이용한 유연성을 갖는기판의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
플라스틱 기판의 표면에 표시 장치의 배선을 형성하기 위하여 플라스틱 기판을 캐리어 기판상에 적층하는 방법 및 이를 포함하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법이 개시되어 있다. 적층 방법은 캐리어 기판 상에 산화된 표면을 갖는 버퍼막을 형성하는 단계와 표면이 에칭 처리된 플라스틱 기판을 마련하는 단계 및 버퍼막과 에칭 처리된 플라스틱 기판의 표면이 마주보도록 밀착시킴으로서, 버퍼막에 플라스틱 기판이 기계적 및 화학적으로 결합하는 단계를 포함한다. 따라서, 상술한 방법은 캐리어 기판과 플라스틱 기판의 열팽창 계수의 차이로 인해 발생되는 잔류 응력의 완화 및 현재 액정 표시 장치를 양산하는 설비의 변형 없이도 적용된다.
Description
도 1은 본 발명의 버퍼막이 형성된 캐리어 기판 상에 적층되는 플라스틱 기판을 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 버퍼막과 플라스틱 기판의 결합관계를 나타내는 확대도이다.
도 3a 내지 3e는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유연성을 갖는 컬러필터 기판의 형성 방법을 나타내는 공정 단면도들이다.
도 4는 캐리어 기판 상에 형성된 요철 형상의 산화된 표면을 갖는 알루미늄 막을 나타내는 사진이다.
도 5a 내지 5e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유연성을 갖는 어레이 기판의 형성 방법을 나타내는 공정 단면도들이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100 : 캐리어 기판 120 : 버퍼막
130 : 플라스틱 기판 132 : 블랙 매트릭스
134 : 컬러필터 136 : 오버 코팅막
138 : 공통 전극 140 : 컬러필터 기판
160 : 박막트랜지스터 162 : 게이트 절연막
164 : 패시베이션막 166 : 유기막
168 : 화소 전극 170 : 어레이 기판
본 발명은 플라스틱 기판의 적층 방법 및 이를 포함하는 유연성을 갖는 기판의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 응력 완화 및 부착력이 우수한 플라스틱 기판의 적층 방법 및 얇은 두께 및 유연성을 갖는 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 표시 장치는 모니터, 휴대용 정보 단말 디바이스나 휴대용 전화기에서 널리 사용되고 있으나 기술의 발전함에 따라 표시 장치를 더욱 가볍고 얇게 만드는 것이 중요시되고 있는 실정이다.
이러한 문제점을 해결하려는 노력은 유리 기판의 밀도를 감소시키거나 유리 기판의 두께를 얇게 함으로써 활발하게 이루어져왔다. 그러나, 표시 장치, 예를들어,액정 표시 패널에 적용되는 유리 기판의 유리 밀도가 감소될 경우 유리를 주로 구성하는 이산화실리콘(SiO2)이 실질적으로 유리의 모든 물리적 특성 값을 결정하기 때문에 유리 밀도를 더 낮추는 기술은 한계에 직면하여 유리 밀도를 더 낮추기 어 려운 실정이다.
따라서, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 경량으로 얇은 구조를 이루는 액정 표시 패널로는 액정을 구동하기 위한 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 액티브 소자를 사용하지 않는 단순 매트릭스형 단색(simple-matrix-type monochrome) 액정 패널이 예시화 되었다. 이러한 액정 패널에서는 매트릭스를 구성하는 재료가 ITO라 칭하여지는 투명 전극 재료로 형성되고 비교적 낮은 온도에서 형성되므로, 투명 전극 재료가 형성되는 기본 기판으로 플라스틱 기판 등을 사용하는 것이 가능하다. 실제로, 이러한 구성을 갖는 플라스틱 기판은 휴대용 정보 단말 디바이스 및 휴대용 전화기에서 사용되고 있는 실정이다.
그러나, 액정 표시 패널의 경향에서는 최근 휴대용 단말 장비의 성능 개선에 따라 디스플레이 정보로 처리될 수 있는 정보의 양이 증가되고 있고, 디스플레이되는 영상이 흑백 및 정지 화상에서 칼라 및 이동 화상으로 각각 변하고 있는 경향이 관찰된다.
그러나, 단순 매트릭스형 액정 디스플레이 디바이스는 액정 구동 모드로 STN(Super Twisted Nematic) 액정 모드를 사용하므로, 단순 매트릭스형 액정 디스플레이 디바이스는 다음의 불편한 점들을 갖는다. 즉, TN(Twisted Nematic) 액정 모드와 TFT를 사용하고 보편적으로 널리 사용되는 노트북형 개인용 컴퓨터 또는 모니터에 사용되는 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 디바이스와 비교해, 단순 매트릭스형 액정 디스플레이 디바이스는 사용자에게 충분한 화질을 제공하지 못하므로, 계조(gray-scale) 표시가 변형되거나 사용자가 잔상을 느끼게 되는 문제점을 갖는다.
또한, TFT 소자와 같은 액티브 소자들을 얇은 플라스틱 기판 상에 형성하는 방법들이 제시되고 있으나 현재 표시 장치를 양산하는 설비가 대폭 변경되어야 하기 때문에 설비 비용이 증가하는 문제점을 가지고 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위해 캐리어 기판에 플라스틱 기판을 부착시켜 기존의 TFT-LCD 양산설비에 적용하는 방법이 제시되고 있으나 캐리어 기판과 플라스틱 기판과의 접합력이 문제시되고 있는 실정이다.
현재 이를 해결하기 위해 양면 점착제등과 화학적 점착제를 적용하여 캐리어 기판에 플라스틱 기판을 부착시키고 있으나 상기 접착제는 고온에서 화학적 안정성이 떨어지고, 기판사이 계면에서의 기포발생이나, 이 물질 생성되기 때문에 진공공정(화학적 기상 증착, 스퍼터링, 건식식각)하에서 플라스틱 기판과 공정 챔버의 오염 및 플라스틱 기판이 박리되는 문제점을 초래한다.
또한, 플라스틱 기판에 존재하는 오염 물질을 제거에 필수적인 유기세정 공정에서 상기 접착제는 유기 세정액에 쉽게 용해되기 때문에 캐리어 기판은 접착물질의 유실로 오염이 발생하며, 이로 인해 플라스틱 기판과 캐리어 기판의 리프팅 현상이 발생한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 캐리어 기판과 플라스틱 기판에 사이에 발생되는 응력 완화 및 접착력이 우수한 플라스틱 기판의 적층 방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 제2 목적은 현재 표시 장치의 양산 설비에 적용되며, 얇은 두께, 가벼운 무게 및 유연성을 갖는 기판의 제조 방법을 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 제1 목적을 실현하기 위한 플라스틱 기판의 적층 방법은, 캐리어 기판상에 요철 형상의 표면을 갖는 버퍼막을 형성하는 단계; 표면이 에칭 처리된 플라스틱 기판을 마련하는 단계; 및 상기 버퍼막과 상기 에칭 처리된 플라스틱 기판의 표면이 마주보도록 밀착시켜, 상기 버퍼막이 형성된 캐리어 기판에 상기 플라스틱 기판을 기계적 및 화학적으로 결합하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 제2 목적을 실현하기 위한 유연성을 갖는 기판의 제조 방법은, 캐리어 기판의 표면상에 요철 형상의 표면을 갖는 버퍼막을 형성하는 단계; 에칭 처리하여 표면이 요철 형상을 갖는 플라스틱 기판을 형성하는 단계; 상기 버퍼막과 상기 에칭 처리된 플라스틱 기판의 표면이 마주보도록 밀착시킴으로서, 상기 버퍼막이 형성된 캐리어 기판상에 상기 플라스틱 기판을 기계적 및 화학적으로 결합되는 단계; 상기 캐리어 기판에 결합된 플라스틱 기판에 표시 장치의 배선을 형성하는 단계; 및 상기 배선이 형성된 플라스틱 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키는 단계를 포함한다.
따라서, 상술한 플라스틱 기판의 적층 방법 및 유연성을 갖는 기판의 제조 방법은 캐리어 기판과 플라스틱 기판의 열팽창 계수의 차이로 인해 발생되는 잔류 응력의 완화 및 현재 액정 표시 장치를 양산하는 설비의 변형 없이도 적용가능하고, 양산 설비의 오염을 초래하지 않으면서 유연성을 갖는 액정 표시 장치를 제조 할 수 있는 특성을 갖는다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 버퍼막이 형성된 캐리어 기판 상에 적층되는 플라스틱 기판을 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 버퍼막과 플라스틱 기판의 결합을 나타내는 확대도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유연성을 갖는 표시 장치를 형성하기 위해 적용되는 다층 기판은(150)은 캐리어 기판(100), 버퍼막(120) 및 플라스틱 기판(Plastic Plate;130)이 적층된 구조를 갖는다.
캐리어 기판(100)은 플라스틱 기판을 지지하여 현재 양산 설비의 변형 없이 유연성을 갖는 표시 장치를 형성하기 위해 적용되는 지지체 기판으로 유리 기판, 실리콘 기판, 금속 기판 등이 적용된다. 본 발명에서 적용되는 캐리어 기판(150)은 유리 기판이다.
버퍼막(120)은 요철 형상의 산화된 표면을 갖는 금속막(Metal Layer;120)으로서, 금속막 증착 공정 이후 소정의 화학적 식각공정으로 형성된다. 여기서 버퍼막(120)을 형성하는데 적용되는 금속막은 알루미늄막, 알루미늄 합금막, 몰리브덴막, 구리막으로 이루어진 금속들 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상으로 이루어진다.
상기 버퍼막인 요철형상의 산화된 표면을 갖는 금속막(120)은 먼저, 물리적 기상 증착 또는 스퍼터링 방식을 적용하여 캐리어 기판(120) 상에 금속막을 수백 nm의 두께로 증착하고, 캐리어 기판(120) 상에 형성된 금속막을 화학적 식각 처리함으로서 형성된다. 이렇게 형성된 요철형상의 산화된 표면을 갖는 금속막(120)은 플라스틱 기판(130)과의 기계적 접합성 증가 및 산화된 표면을 갖는 금속막(120)과 플라스틱 기판에 존재하는 이온들간의 화학적 결합을 유도하는 역할을 갖는다.
상기 버퍼막의 역할 및 특성을 살펴보면, 1) 상기 버퍼막은 표시 장치의 배선을 형성하는 고온의 화학적 기상 증착 공정시 플라스틱 기판(130)과 캐리어 기판(120)간의 열팽창 계수의 차이에 따른 잔류 응력을 완화시키는 역할을 한다. 2) 상기 버퍼막은 기타 유기물들이 포함되지 않고, 고온에서 안정한 금속으로 형성됨으로 인해 접착제에 비해 상대적으로 열적 안정성(Thermal Stability) 및 내 화학성(Chemical Stability)이 뛰어날 뿐만 아니라 배선형성 공정을 수행하는 챔버의 오염을 줄일 수가 있다. 3) 배선 형성공정 또는 TFT-LCD 어레이 공정 이후에 상기 버퍼막에 화학 용액에 침투시키면, 플라스틱 기판(130)이 캐리어 기판(130)으로부터 손쉽게 분리된다. 또한, 종래의 접착체를 제거하기 위해 유기 용매에 침지시키는 방법에 비해 기판의 손상이 상대적으로 적은 특징을 갖는다.
플라스틱 기판(130)은 유연성을 갖는 표시 장치를 형성하는데 적용되는 기판으로 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에테르술폰(polyethersulfone) 및 폴리아릴레이트(polyarylate) 등의 물질로 형성된다.
상술한 물질로 형성된 플라스틱 기판은 유리 기판 보다 더 작은 무게를 갖기 때문에 이를 적용하는 액정 표시 장치는 더욱더 가벼워질 수 있을 뿐만 아니라 더 얇은 두께로 형성될 수 있다.
일예로 상기 표시장치의 배선이 형성되는 플라스틱 기판은 유연성을 갖는 컬러필터 기판 또는 유연성을 갖는 어레이 기판으로 형성되는 기판이다. 본 발명에 적용되는 플라스틱 기판의 표면은 에칭(Etch) 처리되어 상기 버퍼막의 표면과 대응되는 요철(톱니) 형상을 갖는 표면을 가지고 있다.
따라서, 요철 형상의 산화된 표면을 갖는 버퍼막과 요철 형상의 에칭된 표면을 갖는 플라스틱 기판이 서로 마주보도록 배치된 상태 하에서 밀착 결합되면, 상기 플라스틱 기판과 버퍼막은 기계적 접합성 및 화학적 결합력의 유도에 의해 단단하게 체결되어 표시 장치의 배선을 형성하는 고온의 공정에서 캐리어 기판과 플라스틱 기판이 서로 박리되는 것을 방지할 수 있다.
도 3a 내지 3e는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유연성을 컬러 필터 기판의 형성 방법을 나타내는 공정 단면도들이다.
도 3a를 참조하면, 캐리어 기판인 유리 기판(100) 상에 스퍼터링 방식을 적용하여 알루미늄 막을 500nm의 두께로 증착한다. 이어서, 유리 기판(100) 상에 형성된 알루미늄 막의 표면을 크롬산 화합물 용액으로 산화시켜 후술하는 도 4에 도시된 사진과 같은 요철(톱니)형상의 산화된 표면을 갖는 알루미늄 막(120)을 형성한다. 이하, 산화된 표면을 갖는 알루미늄 막을 버퍼막(Buffer Layer;120)이라 명칭하기로 한다.
여기서, 알루미늄 막 표면의 산화 반응로 인해 형성된 알루미늄 복합 산화물은 하기 반응식(1)과 같이 형성된다.
이렇게 형성된 버퍼막(120)은 이후 플라스틱 기판(130)과의 기계적 접합성이 증가되며, 산화된 표면에 존재하는 복합 산화물로 인해 플라스틱 기판에 존재하는 이온들과 화학적 결합력이 발생된다.
도 3b 및 도 3c를 참조하면, 유리 기판(100) 상에 형성된 버퍼막(120)과 결합되는 요철형상의 에칭된 표면을 갖는 플라스틱 기판(130)을 형성한다.
여기서, 요철 형상의 에칭된 표면을 갖는 플라스틱 기판(130)은 먼저, 300㎛의 균일한 두께를 갖는 베이스 플라스틱 기판을 마련한 후 식각 용액(0.1M의 염산용액)을 이용하여 상기 베이스 플라스틱 기판의 표면을 식각함으로서 형성된다.
이어서, 유리 기판(100) 상에 형성된 버퍼막(120)과 플라스틱 기판(130)의 요철 형상의 식각된 표면을 서로 마주보도록 배치한 후 상기 버퍼막과 플라스틱 기판을 기계적 화학적 밀착 결합되도록 적층시킨다.
따라서, 요철 형상의 산화된 표면을 갖는 버퍼막(120)과 요철 형상을 표면을 갖는 플라스틱 기판(130)이 서로 마주보록 배치된 상태 하에서 밀착 결합되면, 플라스틱 기판(130)과 버퍼막(120)은 기계적 접합성 및 화학적 결합력의 유도에 의해 단단하게 체결되기 때문에 배선을 형성하는 고온의 공정시 유리 기판(100)과 플라스틱 기판(130)이 서로 박리되는 문제점이 사라진다.
도 3d를 참조하면, 버퍼막(130)에 의해 유리 기판(100)상에 부착된 플라스틱 기판(130)의 표면에 컬러필터(134), 블랙 매트릭스(132), 오버 코팅막(136), 공통전극(138)을 형성함으로서 상기 플라스틱 기판을 유리 기판(100) 상에 지지되는 컬러필터 기판(140)으로 형성한다.
여기서, 컬러필터의 형성 방법을 상세히 나타내면, 먼저 적색(R)/녹색(G)/청색(B)컬러수지 중 적색을 띄는 컬러수지를 블랙 매트릭스(132)가 형성된 플라스틱 기판(130)의 전면에 도포한 후 선택적으로 노광한 후 표시 영역에 적색(R) 컬러필터를 형성한다.(이때, 색을 입히는 순서는 임의로 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 순서로 정하여 설명한다.) 이어서, 상기 적색 컬러필터가 형성된 플라스틱 기판(130)의 전면에 녹색 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 녹색 컬러필터를 형성한다. 연속하여, 상기 적색(R) 및 녹색(G) 컬러필터가 형성된 플라스틱 기판(130)의 전면에 청색(B) 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 청색 컬러필터를 형성한다.
이어서, 블랙 매트릭스(132) 및 컬러필터(134)상에 단차를 제거하는 오버 코팅막을 형성한 후 상기 컬러필터가 대응되는 오버 코팅막 상에 공통전극(136)을 형성하여 유리 기판(100)상에 지지되어 있는 컬러필터 기판(140)을 형성한다.
도 3e를 참조하면, 유리 기판(90)과 플라스틱 기판(130)을 서로 밀착시키는 버퍼막(120)을 제거하여 유리 기판(100)을 플라스틱 기판(130)으로부터 분리시킴으로서 유연성을 갖는 컬러필터 기판(140)을 형성한다.
여기서, 도면에 도시하지 않았지만 상기 버퍼막의 제거는 버퍼막이 형성된 유리 기판의 상면과 대응되는 유리 기판의 저면에 버퍼막을 노출시키는 홈을 형성 한 후 상기 홈에 노출된 버퍼막에 화학 용액(산성 용액)을 침투시킴으로서 상기 버퍼막을 용해하여 제거하는 방법이다.
도 5a 내지 5e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유연성을 갖는 어레이 기판의 형성 방법을 나타내는 공정 단면도들이다.
도 5a를 참조하면, 캐리어 기판인 유리 기판(100) 상에 스퍼터링 방식을 적용하여 구리 금속막을 500nm의 두께로 증착한다. 이어서, 유리 기판(100) 상에 형성된 구리 금속막의 표면을 산화합물 용액으로 산화시켜 요철(톱니)형상의 산화된 표면을 갖는 구리 금속막(120)을 형성한다. 이하, 산화된 표면을 갖는 구리 금속막을 버퍼막(Buffer Layer;120)이라 명칭하기로 한다.
이렇게 형성된 버퍼막(120)은 이후 플라스틱 기판(130)과의 기계적 접합성이 증가되어, 상기 산화된 표면에 존재하는 복합 산화물로 인해 플라스틱 기판에 존재하는 이온들과 화학적 결합력이 발생된다.
도 5b 및 도 5c를 참조하면, 유리 기판(100) 상에 형성된 버퍼막(120)과 결합되는 요철형상의 식각된 표면을 갖는 플라스틱 기판(130)을 형성한다.
여기서, 요철 형상의 식각된 표면을 갖는 플라스틱 기판(130)은 먼저, 300㎛의 균일한 두께를 갖는 베이스 플라스틱 기판을 마련한 후 식각 용액(0.1M의 염산용액)을 이용하여 상기 베이스 플라스틱 기판의 표면을 식각함으로서 형성된다.
이어서, 유리 기판(100) 상에 형성된 버퍼막(120)과 플라스틱 기판(130)의 요철 형상의 산화된 표면을 서로 마주보도록 배치한 후 상기 버퍼막(120)과 플라스틱 기판(130)이 서로 밀착되도록 기계적으로 적층시킨다.
이로 인해, 요철 형상의 산화된 표면을 갖는 버퍼막(120)과 요철 형상의식각된 표면을 갖는 플라스틱 기판(130)이 서로 마주보록 배치된 상태 하에서 밀착 결합되면, 플라스틱 기판(130)과 버퍼막(120)은 기계적 접합성 및 화학적 결합력의 유도에 의해 단단히 체결되어 표시장치의 배선을 형성하는 고온의 공정시 유리 기판(100)과 플라스틱 기판(130)이 서로 박리되는 문제점이 사라진다.
도 5d를 참조하면, 버퍼막(120)에 의해 유리 기판(100)상에 부착된 플라스틱 기판(130)의 표면에 스위칭 소자로 동작하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor;160), 게이트 절연막(162), 패시베이션막(164), 유기막(166) 및 화소 전극(168)을 형성함으로서 유리 기판(100) 상에 지지되는 유연성을 갖는 어레이 기판(170)을 형성한다.
어레이 기판(170)을 형성 방법을 구체적으로 나타내면, 먼저 플라스틱 기판(130) 상에 도전성 물질을 증착한 후 상기 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 게이트 전극(160b)을 형성한다.
이후에, 게이트 전극(160b)이 형성된 플라스틱 기판(130)의 전면에 게이트 절연막(162)을 증착한다. 이어서, 아몰퍼스 실리콘 및 N+ 아몰퍼스 실리콘을 증착하고 식각하여 상기 게이트 전극(160b)에 대응하는 게이트 절연막(162)상에 반도체층(도시하지 안음)을 형성한 후 게이트 절연막(162) 상에 도전성 물질을 증착한다. 이후에, 상기 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 소오스 전극(160a) 및 드레인 전극(160c)을 포함하는 박막 트랜지스터(160)를 형성한다.
이어서, 박막 트랜지스터(160)가 형성된 플라스틱 기판(130) 상에 투명한 절 연물질인 실리콘 질화물(SiNx)을 증착하여 패시베이션막(164)을 형성한 후, 패시베이션막의 일부를 제거함으로서 상기 드레인 전극(160c)의 일부를 노출하는 개구부를 형성한다.
이어서, 패시베이션막(164) 상에 유기막을 도포한 후 유기막을 노광 및 현상하여 상기 드레인 전극(160c)의 일부가 개구된 유기막(166)을 형성한다. 이어서, 유기막(166) 및 패시베이션막(164) 상에 투명한 도전성 물질을 증착한 후 투명한 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 화소영역 내에 화소 전극(168)을 형성한다.
도 5e를 참조하면, 유리 기판(100)과 플라스틱 기판(130)을 서로 밀착 및 접착시키는 버퍼막(120)을 제거하여 유리 기판(100)을 플라스틱 기판(130)으로부터 분리시킴으로서 유연성을 갖는 어레이 기판(170)을 형성한다.
여기서, 도면에 도시하지 않았지만 상기 버퍼막의 제거는 버퍼막이 형성된 유리 기판의 상면과 대응되는 유리 기판의 저면에 버퍼막을 노출시키는 홈을 형성한 후 상기 홈에 노출된 버퍼막에 화학 용액(산성 용액)을 침투시킴으로서 상기 버퍼막을 용해시켜 제거하는 방법이 적용된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라스틱 기판의 적층 방법은 버퍼막을 접착제 대용으로 사용하고 있다. 따라서, 표시 장치의 배선을 형성하는 고온의 화학적 기상 증착 공정시 플라스틱 기판과 캐리어 기판간의 열팽창 계수의 차이에 따른 잔류 응력을 완화시킬 수 있다.
또한, 유기물 접착제를 사용하지 않고, 고온에서 안정한 버퍼막을 접착제 대 용으로 적용하고 있다. 따라서, 상대적으로 열적 안정성 및 내 화학성이 뛰어날 뿐만 아니라 배선형성 공정을 수행하는 챔버의 오염을 감소시킬 수 있다.
또한, 배선 형성공정 또는 TFT-LCD 어레이 공정 이후에 화학 용액을 이용하여 플라스틱 기판의 손상 없이 플라스틱 기판을 캐리어 기판으로부터 손쉽게 분리할 수 있는 특성을 갖는다.
또한, 상술한 유연성을 갖는 기판의 제조 방법은 기존의 액정 표시 장치의 생산라인에 설비의 변경 없이 적용되므로 설비투자 없이 가볍고, 유연성을 갖는 표시 장치를 형성할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
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- 캐리어 기판의 표면상에 요철 형상의 표면을 갖는 버퍼막을 형성하는 단계;에칭 처리하여 표면이 요철 형상을 갖는 플라스틱 기판을 형성하는 단계;상기 버퍼막과 상기 에칭 처리된 플라스틱 기판의 표면이 마주보도록 밀착시킴으로서, 상기 버퍼막이 형성된 캐리어 기판상에 상기 플라스틱 기판을 기계적 및 화학적으로 결합시키는 단계;상기 캐리어 기판에 결합된 플라스틱 기판에 표시 장치의 배선을 형성하는 단계; 및상기 배선이 형성된 플라스틱 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키는 단계를 포함하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 버퍼막을 형성하는 단계는,상기 캐리어 기판 상에 버퍼막을 증착하는 단계; 및상기 증착된 버퍼막의 표면이 요철 형상을 갖도록 상기 버퍼막의 표면을 산화시키는 단계를 포함하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 버퍼막은 알루미늄, 알루미늄 합금, 몰리브덴 및 구리로 이루어진 금속막들 중에서 선택된 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 산성용액을 이용하여 상기 버퍼막을 녹여서 상기 플라스틱 기판으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 배선이 형성된 플라스틱 기판은 유연성을 갖는 어레이 기판 또는 유연성을 갖는 컬러필터 기판인 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 버퍼막의 표면 산화는 크롬산 용액에 의해 산화되는 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법.
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