KR100691481B1 - 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법에 관한 것으로, 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치는 경화방지액을 수용하며, 상기 경화방지액에 접하지 않도록 감광막 코팅 노즐의 슬릿을 수용하는 수용부와, 상기 경화방지액의 일부가 상기 감광막 코팅 노즐의 끝단에 접촉되도록 하는 슬릿접촉부재를 포함한다. 또한, 본 발명 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지방법은 슬릿접촉부재를 이용하여 경화방지액의 일부에서 표면장력을 유도하는 표면장력유도단계와, 상기 표면장력에 의해 돌출된 경화방지액의 일부분에 대기상태의 감광막 코팅 노즐의 슬릿 끝단을 접촉시키는 슬릿접촉단계를 포함한다. 이와 같은 본 발명은 슬릿접촉부재를 두어 소량의 경화방지액이 슬릿의 끝단에 접촉되도록 함으로써, 경화방지액의 사용량을 최소화하며, 교체주기를 연장시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법{Preventing device and method for sensitive-liquid in slit-nozzle}

도 1은 본 발명 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치가 적용된 감광막 코팅 장치의 구성도이다.

도 2는 본 발명에 따른 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치의 단면 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:정반 11:대면적 기판

20:이송부 30:노즐

31:슬릿 40:대기부

41:수용부 42:경화방지액

43:슬릿접촉부재

본 발명은 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 대기상태에서 스핀리스 코팅 노즐의 건조에 의해 토출구가 막히는 것을 방지할 수 있는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 장치의 제조 또는 디스플레이 장치의 제조는 박막의 형성하고, 그 박막에 패턴을 형성하는 반복된 과정을 포함한다.

박막의 일부를 제거하여 패턴을 형성하는 방법으로, 감광막을 이용하는 방법을 주로 사용하고 있으며, 그 감광막을 박막 상에 균일하게 도포하기 위하여 종래에는 기판을 회전시키고, 그 회전하는 기판의 중앙부에 정량의 감광막을 두어 원심력에 의해 균일한 두께의 감광막을 코팅하였다.

그러나, 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 기판이 대면적화되어, 상기와 같은 스핀 코팅(spin coating)을 사용할 수 없게 되었으며, 대면적 기판을 고정해둔 상태에서 노즐을 이용하여 감광막을 그 대면적 기판의 상부에 균일하게 도포하는 스핀리스 코팅(spinless coating) 방식을 사용하고 있다.

이러한 스핀리스 코팅은 정반에 대면적 기판을 로딩한 상태에서, 그 대면적 기판의 상부에서 소정거리 이격되어 균일한 속도로 지나는 노즐에서 감광액을 정량 으로 토출함으로써 이루어진다.

이처럼 종래 스핀리스 코팅 장치는 정반과 감광액을 정량으로 토출하는 노즐 및 그 노즐을 정속으로 이송하는 이송수단을 포함하고 있다.

상기 감광막의 코팅이 완료된 기판은 정반에서 언로딩되며, 새로운 대면적 기판이 정반에 로딩된다.

이와 같이 대면적 기판이 로딩될 때까지 상기 노즐은 대기상태로 있게 되며, 그 대기시간이 길어질수록 상기 노즐에 잔류하는 감광막이 경화되며, 그 경화로 인하여 노즐의 슬릿이 막혀 공정을 진행할 수 없거나, 경화된 경화된 감광막이 토출되어 균일한 감광막 코팅이 불가능한 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 대기상태에서 노즐 내의 감광막이 경화되는 것을 방지할 수 있는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

또한 본 발명은 대기상태에서 노즐 내의 감광막이 경화되는 것을 방지하되, 경화방지에 사용되는 용매 등의 사용량을 현저하게 줄일 수 있는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치는 경화방지액을 수용하며, 상기 경화방지액에 접하지 않도록 감광막 코팅 노즐의 슬릿을 수용하는 수용부와, 상기 경화방지액의 일부가 상기 감광막 코팅 노즐의 끝단에 접촉되도록 하는 슬릿접촉부재를 포함한다.

또한, 본 발명 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지방법은 슬릿접촉부재를 이용하여 경화방지액의 일부에서 표면장력을 유도하는 표면장력유도단계와, 상기 표면장력에 의해 돌출된 경화방지액의 일부분에 대기상태의 감광막 코팅 노즐의 슬릿 끝단을 접촉시키는 슬릿접촉단계를 포함한다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법의 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따르는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치가 적용된 감광막 코팅 장치의 개략적인 구성도이다.

이를 참조하면, 대면적 기판(11)이 로딩되는 정반(10)과, 상기 정반(10)의 양측면에 설치된 이송부(20)와, 상기 이송부(20)에 의해 상기 대면적 기판(11)의 상부에 균일한 감광액을 토출하는 노즐(30)과, 상기 대면적 기판(11)에 감광액을 도포한 후, 노즐(30)이 대기하는 대기부(40)를 포함하여 구성된다.

도 2는 상기 대기부(40)의 단면 구성도이다.

이를 참조하면, 상기 대기부(40)는 노즐(30)의 슬릿(31)을 수용하는 수용부(41)와, 그 수용부(41)의 일부에 상기 슬릿(31)에 닿지 않도록 수용된 경화방지 액(42)와, 상기 수용부(41)의 바닥면 결합되어 상기 수용된 슬릿(31)에 접촉되는 슬릿접촉부재(43)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치의 일실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 정반(10)에 대면적 기판(11)이 로딩된 상태에서, 노즐(30)이 이송부(20)에 의해 이송된다.

이때의 이송 속도는 균일하며, 이송되는 노즐(30)은 그 슬릿(31)을 통해 정량의 감광액을 상기 대면적 기판(11)의 상부에 토출한다.

이와 같이 정속의 이송과 함께 정량의 감광액 토출을 통해 대면적 기판(11)의 상부에 균일한 두께의 감광막을 도포할 수 있게 된다.

상기와 같이 도포가 완료된 후, 노즐(30)은 이송부에 의해 다시 원래의 위치로 되돌아 오며, 다음의 감광액 도포 동작이 있을 때까지 상기 대기부(40)에서 대기하게 된다.

상기 대기부(40)의 상면은 노즐(30)의 하부가 수용될 수 있도록 경사면을 가지고 있으며, 그 경사면 내측에는 경화방지액(42)이 담겨있는 수용부(41)가 구비된다.

상기 경화방지액(42)은 상기 노즐(30)에 존재하는 감광액이 경화되지 않도록 방지할 수 있는 것이며, 감광액에 대한 용매 또는 감광액을 사용할 수 있다.

상기 노즐(30)에 존재하는 감광액은 공기와의 접촉으로 인해 굳어져 경화될 수 있으며, 특히 노즐(30)의 내부보다는 폭이 좁고, 직접외부에 노출되는 슬릿(31) 내에서 쉽게 경화될 수 있다.

이와 같이 상기 슬릿(31)의 내에서 감광액이 경화되면, 슬릿(31)이 막혀 감광액의 도포가 불가능하며, 슬릿(31)의 일부가 막히는 경우 감광막이 불균일하게 코팅된다.

상기와 같이 슬릿(31) 내에 감광액의 경화를 방지하기 위하여 상기 슬릿접촉부재(43)가 슬릿(31)의 끝단의 측면부에 접촉된다.

상기 슬릿접촉부재(43)의 슬릿(31)의 끝단 측면부와 선접촉하도록 경사면을 가지는 형상이다.

상기 슬릿접촉부재(43)의 경사면은 상기 경화방지액(42)의 상부측으로 돌출되어 있는 것이나, 경화방지액(42)이 표면장력에 의해 그 경사면 상에도 위치하게 된다.

상기 슬릿접촉부재(43)의 끝단이 직접 슬릿(31)의 끝단에 접촉되는 경우에는 슬릿(31)의 간격에 변화를 줄 수 있거나, 슬릿(31)의 끝단이 마모되어 공정의 신뢰성이 저하될 수 있다. 이를 방지하기 위하여 상기 슬릿접촉부재(43)는 슬릿(31)에 직접 접하지 않고 그 슬릿(31)의 측면부에 접하도록 한다.

또한, 슬릿(31)을 직접 경화방지액(42)에 담는 경우에는 상기 경화방지액(42)이 쉽게 오염되어 교체주기가 짧아지게 되나, 본 발명에서와 같이 슬릿접촉부재(43)를 사용하여 슬릿(31)의 끝단을 경화방지액(42)에 접촉시키는 경우 슬릿(31) 내에서 감광액(42)이 경화되는 것을 방지함과 아울러 경화방지액(42)의 오염을 줄여 수명을 연장할 수 있다.

또한, 표면장력으로 슬릿접촉부재(43)의 상부에 위치하는 소량의 경화방지액(42)을 사용하여 슬릿(31)의 막힘을 방지하기 때문에 경화방지액(42)의 사용량을 줄일 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법은 대기상태의 감광막 코팅 노즐 내의 감광액이 경화되는 것을 방지하여, 이후의 감광막 코팅과정에서도 균일한 감광막의 코팅이 가능한 효과가 있다.

또한, 본 발명 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치 및 방법은 슬릿접 촉부재를 두어 소량의 경화방지액이 슬릿의 끝단에 접촉되도록 함으로써, 경화방지액의 사용량을 최소화하며, 교체주기를 연장시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 경화방지액을 수용하며, 상기 경화방지액에 접하지 않도록 감광막 코팅 노즐의 슬릿을 수용하는 수용부; 및

   상기 경화방지액의 일부가 상기 감광막 코팅 노즐의 끝단에 접촉되도록 하는 슬릿접촉부재를 포함하는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 슬릿접촉부재는 일단이 상기 수용부의 저면에 고정되며, 타단이 상기 감광막 코팅 노즐 슬릿의 측면에 선접촉될 수 있도록 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 슬릿접촉부재의 경사면은 상기 슬릿의 끝단과 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지장치.
4. 노즐의 대기상태에서,

   표면장력에 의해 경화방지액의 수면 일부가 돌출되도록 유도하고, 그 돌출된 경화방지액의 일부에 노즐의 슬릿 끝단이 접하도록 하여 슬릿 내에서 감광액이 경화되는 것을 방지하는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 표면장력에 의해 돌출되는 경화방지액은,

   경사면을 가지는 슬릿접촉부재를 이용하여, 그 경사면 상에 표면장력에 의해 상기 경화방지액이 위치하도록 하고, 그 경사면에 위치하는 경화방지액에 슬릿이 접하도록 하는 것을 특징으로 하는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지방법.
6. 제5항에 있어서,

   상기 슬릿의 끝단이 상기 슬릿접촉부재에 접촉되지 않으며, 표면장력으로 돌출된 경화방지액에만 접촉되는 것을 특징으로 하는 감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화 방지방법.

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