KR100571554B1 - 진공 척장치 - Google Patents

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KR100571554B1
KR100571554B1 KR1020030031416A KR20030031416A KR100571554B1 KR 100571554 B1 KR100571554 B1 KR 100571554B1 KR 1020030031416 A KR1020030031416 A KR 1020030031416A KR 20030031416 A KR20030031416 A KR 20030031416A KR 100571554 B1 KR100571554 B1 KR 100571554B1
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히로미 야마사키
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도시바 기카이 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 진공 척장치의 필터를 청소하기 위해 소재의 기계가공을 정지할 필요가 없게 하여서 공작기계가 연속적으로 오랫동안 작업할 수 있게 하는 진공 척장치에 관한 것으로, 소재를 흡착하여 보유지지하는 상기 진공 척장치는 진공흡입력에 의해 소재로 향하고 있는 접촉면에 소재를 흡착하는 흡착부를 갖춘 척수단과; 흡착부에서 진공흡입력을 생성하는 부압을 발생시키기 위한 공기부압원; 이 공기부압원을 흡착부에 연결하고서 부압을 흡착부에 공급하는 제 1흡인압력공급시스템; 상기 부압을 흡착부에 공급하도록 제 1흡인압력공급시스템과 병렬로 공기부압원에 연결된 제 2흡인압력공급시스템 및; 상기 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템 사이에서 선택적으로 전환되는 스위치수단;을 구비한다.

Description

진공 척장치 {Vacuum chuck apparatus}
도 1은 본 발명에 따른 진공 척장치가 사용되는 공작기계의 전체 구조를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척장치의 회로도,
도 3은 제 1흡인압력공급시스템은 사용상태이고 제 2흡인압력공급시스템은 휴지상태일 때의 회로를 나타내는 진공 척장치의 회로도,
도 4는 제 1흡인압력공급시스템은 휴지상태이고 제 2흡인압력공급시스템은 사용상태일 때의 회로를 나타내는 진공 척장치의 회로도,
도 5는 종래의 진공 척장치의 회로도이다.
본 발명은 진공흡착에 의해 소재를 보유지지하는 진공 척장치에 관한 것이다.
도 5는 종래의 진공 척장치의 회로도로서, 소재(10)는 척본체의 흡착부(12) 의 표면(흡착면)에 흡착되고, 다수의 흡착구멍이 상기 흡착면에 개구되어 있는데, 이들 흡착구멍은 공기를 불어내는 토출구멍으로도 작용한다. 상기 흡착구멍은 회전이음부(42)와 솔레노이드스위치밸브(13)를 매개로 공기흡인용 부압(負壓)을 공급하는 흡인압력공급시스템(46)과, 흡착구멍으로부터 불어나오는 압축공기를 공급하는 정압공기공급시스템(45)에 연결된다.
흡인압력공급시스템(46)은 압축공기원(41a)과 솔레노이드스위치밸브(40), 감압밸브(29), 진공발생기(25), 솔레노이드스위치밸브(23), 필터(21), 솔레노이드스위치밸브(22) 및, 솔레노이드스위치밸브(13)를 구비하되, 이 순서대로 상기 압축공기원(41a)의 하류에 연결된다. 상기 솔레노이드스위치밸브(13)의 하류에 있는 관은 상기 회전이음부(42)를 매개로 하여 척본체에 연결된다. 또한, 그 배수(drainage)를 위해 필터(21)에 압축공기를 공급하는 공기관에는, 압축공기원(41b)과 감압밸브(26) 및 솔레노이드밸브(24)가 순서대로 연결되고, 솔레노이드밸브(24)의 하류에 있는 관은 상기 필터(21)에 연결된다.
진공발생기(25)는 노즐(25a:1차쪽)과 배기쪽에 있는 소음기(25b)를 구비하는데, 이들은 직렬로 연결되어 있으며, 흡인압력공급시스템(46)의 관의 일부(2차쪽)가 연결부에 결합되어 있다. 압축공기가 1차쪽으로부터 공급되면, 노즐(25a)로부터 분사된 압축공기는 팽창되어서, 상기 연결부내의 압력을 떨어뜨리게 된다. 이에 따라 형성된 저압영역으로 2차쪽에 있는 흡인압력공급시스템(46)에서부터 공기가 흐르고, 상기 노즐(25a)로부터 분사된 압축공기와 함께 공기는 소음기(25b)로 배기된다. 이러한 방식으로, 2차쪽에 있는 흡인압력공급시스텝(46)의 공기는 흡입되고 배 기되어서, 척본체의 흡착부(12)로 공급되는 부압이 창출된다.
상기 척본체의 흡착부(12)로 소재(10)를 흡착할 때, 정압공기공급시스템(45)에 구비된 솔레노이드밸브(14)의 솔레노이드(SOL3)는 밸브를 폐쇄하도록 오프(off)로 전환되고, 솔레노이드스위치밸브(40)의 솔레노이드(SOL10)는 압축공기원(41a)으로부터 진공발생기(25)의 1차쪽으로 압축공기를 공급하도록 온(on)으로 전환되면서, 솔레노이드스위치밸브(13)의 솔레노이드(SOL1)와 솔레노이드스위치밸브(22)의 솔레노이드(SOL5) 및 솔레노이드스위치밸브(23)의 솔레노이드(SOL8) 모두는 온으로 전환되어서, 흡인압력공급시스템(46)이 흡착부(12)로 통하게 된다. 따라서, 공기는 흡착부(12)의 흡착면에 형성된 흡착구멍으로 흡입되어 부압을 창출하여서, 소재(10)가 흡착부(12)에 보유지지된다.
한편, 흡착상태에서 소재(10)를 해제할 때에는, 솔레노이드스위치밸브(40)의 솔레노이드(SOL10)는 오프로 전환되고 밸브(40)의 솔레노이드(SOL9)는 온으로 전환되어서, 진공발생기(25)로 압축공기를 공급하는 것을 중지시키게 된다. 또한, 정압공기공급시스템(45)의 솔레노이드밸브(14)의 솔레노이드(SOL3)는 밸브를 개방하도록 온으로 전환되면서 솔레노이드스위치밸브(13)의 솔레노이드(SOL1)는 오프로 전환되고 이 밸브(13)의 솔레노이드(SOL2)가 온으로 전환되어서, 상기 흡인압력공급시스템(46)이 폐쇄되며 정압공기공급시스템(45)이 흡착부(12)로 통하게 된다. 따라서, 압축공기는 흡착부(12)의 표면에 형성된 흡착구멍으로부터 불어나와서, 소재(10)가 흡착상태에서 해제된다.
소재(10)가 흡착부(12)에 흡착될 때, 흡착면에 형성된 흡착구멍으로 공기의 흡입과 더불어, 주위의 냉각수와 절삭칩도 흡입될 수 있다. 따라서, 소재의 흡착과 해제의 반복 후에, 냉각수와 절삭칩은 필터(21)의 필터부재에 유착된다. 필터(21)에 축적된 냉각수는 다음과 같이 배수될 수 있는 바, 소재(10)가 흡착부(12)에 흡착되어 보유지지되어 있지 않을 때, 솔레노이드스위치밸브(22)의 솔레노이드(SOL4)는 온으로 전환되고 이 밸브(22)의 솔레노이드(SOL5)는 오프로 전환되며, 솔레노이드스위치밸브(23)의 솔레노이드(SOL7)는 온으로 전환되고 이 밸브(23)의 솔레노이드(SOL8)는 오프로 전환되면서 솔레노이드밸브(24)의 솔레노이드(SOL6)는 밸브(24)를 개방하도록 온으로 전환되어서, 압축공기가 필터(21)의 배수구에 구비된 첵밸브(27)를 밀어개방시켜, 냉각수가 배출될 수 있다. 한편, 필터(21)에서 냉각수의 배수와는 달리, 필터(21)의 청소는 공작기계의 작동동안 이행될 수 없다. 또한, 필터(21)의 필터부재가 미세한 절삭칩으로 채워지지 않게 되도록 필터(21)의 청소는 주기적으로 이행되어야 한다. 따라서, 필터(21)의 청소를 위해 공작기계를 정지시킴으로써 기계가공작업이 중지되어야 하므로, 필터청소는 공작기계의 연속적인 작업에 장애가 되었다.
따라서, 본 발명의 목적은 진공 척장치의 필터의 청소를 위해 소재의 기계가공을 정지할 필요가 없게 하여서, 공작기계가 연속적으로 작업을 이행할 수 있는 진공 척장치를 제공하는 데에 있다.
이 목적을 성취하기 위해서, 본 발명은 소재를 흡착하여 보유지지하되, 진공 흡입력에 의해 소재로 향하고 있는 접촉면에 소재를 흡착하는 흡착부를 갖춘 척수단과; 흡착부에서 진공흡입력을 생성하는 부압을 발생시키기 위한 공기부압원; 이 공기부압원을 흡착부에 연결하고서 부압을 흡착부에 공급하는 제 1흡인압력공급시스템; 상기 부압을 흡착부에 공급하도록 제 1흡인압력공급시스템과 병렬로 공기부압원에 연결된 제 2흡인압력공급시스템 및; 상기 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템 사이에서 선택적으로 전환되는 스위치수단;을 구비한 진공 척장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 공작기계의 테이블에 소재를 흡착하여 보유지지하되, 진공흡입력에 의해 소재로 향하고 있는 접촉면에 소재를 흡착하는 흡착부를 갖춘 척수단과; 흡착부에서 진공흡입력을 생성하는 부압을 발생시키기 위한 공기부압원; 이 공기부압원을 흡착부에 연결하고서 부압을 흡착부에 공급하는 제 1흡인압력공급시스템; 상기 부압을 흡착부에 공급하도록 제 1흡인압력공급시스템과 병렬로 공기부압원에 연결된 제 2흡인압력공급시스템 및; 상기 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템 사이에서 선택적으로 전환되는 스위치수단;을 구비한 진공 척장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, 2개의 흡인압력공급시스템이 병렬이면서 독립적으로 소재의 흡착부에 연결된다. 필터는 각각의 흡인압력공급시스템에 구비될 수 있다. 2개의 흡인압력공급시스템 중 하나에 있는 필터의 청소는 그 시스템이 휴지(休止)상태에 있을 때 이행될 수 있는 한편, 다른쪽 시스템은 사용상태로 전환되어 진공 척장치가 연속적으로 작동될 수 있다. 따라서, 본 발명은 공작기계의 기계가공작업을 멈추지 않고서 필터의 청소 또는 교환을 이행할 수 있는 진공 척장치를 제공하게 된다.
이제, 본 발명의 바람직한 실시예가 도면을 참조로 하여 더욱 상세히 설명될 것이다. 도 1은 공작기계의 전체 구조를 도시한 도면으로서, 여기서 본 발명에 따른 진공 척장치는 수직선반의 회전테이블에 사용된다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척장치의 회로도이다. 다음 설명에서, 도 5에 도시된 종래의 장치에서와 같은 동일한 부재에는 동일한 참조부호가 부여되는 한편, 새로운 참조부호는 새롭거나 상이한 부재에 부여된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 공작기계(1)는 소위 수직선반에 속하는 것으로, 이 실시예에 따르면 렌즈 등을 위한 사출성형몰드와 같이 소재의 초정밀가공에 이용된다. 공작기계(1)는 베드(2)와, 이 베드(2)상에 장착된 칼럼(3), 이 칼럼(3)상에 장착된 새들(4), 이 새들(4)에 장착되고서 공구대(6)를 갖춘 램(5)을 구비한다. 척수단의 흡착부를 구성하는 흡착패드(8)가 회전테이블(7)에 구비되고, 이 흡착패드(8)가 소재(10)를 흡착하여 보유지지한다. 기계가공작업시, 회전테이블(7)이 회전하면서 소재(10)는 공구대(6)에 장착된 절삭공구(도시되지 않음)로 절삭됨으로써 기계가공된다. 참조부호 9는 진공 척장치의 공기회로, 솔레노이드밸브 등이 수용되는 하우징을 표시한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척장치(11)의 회로의 한 예를 도시한다. 도 2에서, 참조부호 12는 도 1의 흡착패드(8)에 상응한 척수단의 흡착부를 표시하고, 참조부호 16은 절삭공구를 표시한다. 상기 흡착부(12)의 상부면은, 렌즈용 몰드와 같은 디스크 형상의 소재(10)가 위치되는 흡착면(12a)을 구성한다. 참조부호 17은 절삭공구(16)로 소재(10)를 절삭하는 동안 절삭공구(16)의 절삭선단 쪽으로 냉각수를 분무하는 냉각수노즐을 표시한다.
흡착부(12) 본체의 내부에는, 흡입통로(18)가 흡착면(12a) 쪽으로 방사상으로 뻗어 있다. 이 흡입통로(18)는 흡착면(12a)에 개구되어 있는 흡착구멍(19)으로 그 방향이 바뀐다. 상기 흡입통로(18)와 흡착구멍(19)은 흡착상태로부터 소재(10)를 해제할 때, 소재(10)에 압축공기를 불어내는 공기토출통로 및 구멍으로도 작용한다.
도 2에서, 참조부호 42는 회전테이블(7)과 함께 회전하는 흡착부(12)에 관을 연결하는 회전이음부를 표시하고, 참조부호 45는 흡착구멍(19)으로부터 불어나오는 압축공기를 공급하는 정압공기공급시스템을 표시하며, 참조부호 21은 필터를 표시하고, 참조부호 25는 부압을 발생시키는 진공발생기를 표시한다. 진공발생기(25)는 본질적으로 도 5에 도시된 것과 동일하다.
진공발생기(25)에 의해 생성된 부압을 흡착부(12)에 공급하는 흡인압력공급시스템(46)은 병렬로 된 2개의 시스템으로 이루어진다. 따라서, 압축공기원(41a:원압 0.6MPa)과, 솔레노이드스위치밸브(40), 감압밸브(29) 및, 진공발생기(25)는 이 순서대로 압축공기원(41a)의 하류에 연결된다. 이 라인은 진공발생기(25)의 하류에서 2개의 라인으로 갈라진다. 2개의 라인 중 하나에는, 솔레노이드스위치밸브(23) 와, 필터(21), 솔레노이드스위치밸브(22) 및, 솔레노이드스위치밸브(13)가 이 순서대로 진공발생기(25)로부터 연결되어, 제 1흡인압력공급시스템을 구성하게 된다.
다른쪽 라인은 제 2흡인압력공급시스템을 구성하는 바, 이 제 2흡인압력공급시스템은 솔레노이드스위치밸브(33)와, 필터(31), 솔레노이드스위치밸브(32) 및, 솔레노이드스위치밸브(13)로 이루어지고, 이들은 이 순서대로 진공발생기(25)로부터 연결된다. 솔레노이드스위치밸브(22,32)는 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템 중 하나로 선택적으로 전환되는 방향제어밸브이다. 2개의 흡인압력공급시스템은 솔레노이드스위치밸브(22,32)의 상류쪽에 연결되고, 솔레노이드스위치밸브(13)에 연결된다. 연결된 흡인압력공급시스템은 솔레노이드스위치밸브(13)와 회전이음부(42)를 매개로 하여 흡착부(12)에 연결된다.
한편, 참조부호 45는 흡착상태에서 소재(10)를 해제시키도록 흡착구멍들로부터 불어나오는 압축공기를 공급하는 정압공기공급시스템을 표시한다. 이 정압공기공급시스템(45)은 압축공기원(41b)과, 감압밸브(15), 솔레노이드밸브(14) 및, 솔레노이드스위치밸브(13)로 이루어지는데, 이들은 이 순서대로 압축공기원(41b)의 하류에 연결된다. 따라서, 솔레노이드스위치밸브(13)는 흡인압력공급시스템(46)과 정압공기공급시스템(45) 사이에서 이들 시스템 중 하나를 선택적으로 이용하도록 전환되는 방향제어밸브로 작용한다.
제 1흡인압력공급시스템에서, 상기 압축공기원(41b)으로부터 뻗어 있는 공기관(47)은 그 배수를 위해 필터(21)에 압축공기를 공급하도록 필터(21)에 연결된다. 감압밸브(26)와 솔레노이드밸브(24)는 공기관(47)에 구비된다. 솔레노이드밸브(24) 가 개방될 때, 압축공기는 제 1흡인압력공급시스템의 필터(21)에 공기관(47)을 통해 공급되고, 이 압축공기가 배수구의 첵밸브(27)를 밀어 개방시킨다.
마찬가지로, 제 2흡인압력공급시스템에서, 그 배수를 위해 필터(31)에 압축공기를 공급하는 공기관(48)은 감압밸브(26)의 하류에서 공기관(47)으로부터 갈라져, 필터(31)로 뻗어 있다. 솔레노이드밸브(34)가 공기관(48)에 구비된다. 솔레노이드밸브(34)가 개방될 때, 압축공기는 제 2흡인압력공급시스템의 필터(31)로 공급되고, 이 압축공기가 배수구의 첵밸브(37)를 밀어 개방시킨다.
도 2에서, PLC(50)는 프로그램가능 논리제어기로서, 이전에 창출된 시퀀스프로그램에 따라 공작기계(1)와 여러 부속설비의 순차제어를 실행한다. 상기 진공 척장치에 대하여, 제 1흡인압력공급시스템 및 제 2흡인압력공급시스템과 정압공기공급시스템(45)에 구비된 각각의 솔레노이드밸브의 솔레노이드를 온 또는 오프로 전환함으로써, 휴지상태에서 흡인압력공급시스템의 필터로부터 절삭액을 배수하는 순서와, 제 1 및 제 2흡인압력공급시스템 중 하나를 사용상태로 전환하면서 다른쪽 시스템을 휴지상태로 전환하는 순서에 제어가 이루어질 수 있다.
이 실시예에 따른 진공 척장치는 전술된 구조를 갖춘다. 이제, 상기 장치의 작동과 장점에 대하여 설명하기로 한다.
제 1흡인압력공급시스템을 사용상태로 전환
제 1흡인압력공급시스템을 이용하여 흡착부(12)에 소재(10)를 흡착하여 보유지지할 때, PLC(50)는 다음 순서에 따라 각 솔레노이드밸브의 솔레노이드를 온 또는 오프로 제어한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 정압공기공급시스템(45)에 구비되어 있는 솔레노이드밸브(14)의 솔레노이드(SOL3)는 오프로, 즉 솔레노이드밸브(14)는 폐쇄된다. 제 2흡인압력공급시스템을 사용하지 않기 위해서, 솔레노이드스위치밸브(33)의 솔레노이드(SOL15)가 온으로 전환되고, 솔레노이드스위치밸브(32)의 솔레노이드 (SOL12)가 온으로 전환된다. 솔레노이드스위치밸브(32,33)에 의해 흐름경로를 전환함으로써, 제 2흡인압력공급시스템의 흐름경로를 폐쇄시킨다.
다음으로, 솔레노이드스위치밸브(40)의 솔레노이드(SOL10)가 온으로 전환되어서, 압축공기원(41a)으로부터 진공발생기(25)의 1차쪽으로 압축공기를 공급하는 흐름경로로 전환된다. 또한, 솔레노이드스위치밸브(13)의 솔레노이드(SOL1)와 솔레노이드스위치밸브(22)의 솔레노이드(SOL5) 및 솔레노이드스위치밸브(23)의 솔레노이드(SOL8) 모두는 온으로 전환된다. 솔레노이드스위치밸브들에 의해 흐름경로를 전환함으로써, 제 1흡인압력공급시스템이 흡착부(12)로 통하게 되어, 흡착부(12)의 흡착면(12a)에서 개구된 흡착구멍(19)으로 공기가 흡입되고 소재(10)와 흡착면(12a) 사이에 부압을 창출하여서, 소재(10)가 흡착면(12a)에 흡착되어 보유지지된다.
제 2흡인압력공급시스템을 사용상태로 전환
제 2흡인압력공급시스템을 이용하여 흡착부(12)에 소재(10)를 흡착하여 보유지지할 때, PLC(50)는 다음 순서에 따라 각 솔레노이드밸브의 솔레노이드를 온 또는 오프로 제어한다.
제 2흡인압력공급시스템을 이용하여 소재(10)를 흡착할 때, 도 4에 도시된 바와 같이, 정압공기공급시스템(45)에 구비되어 있는 솔레노이드밸브(14)의 솔레노이드(SOL3)는 오프로, 즉 솔레노이드밸브(14)는 폐쇄된다. 제 1흡인압력공급시스템을 사용하지 않기 위해서, 솔레노이드스위치밸브(23)의 솔레노이드(SOL7)가 온으로 전환되고, 이 밸브(23)의 솔레노이드(SOL8)가 오프로 전환되며, 솔레노이드스위치밸브(22)의 솔레노이드(SOL4)가 온으로 전환되고, 이 밸브(22)의 솔레노이드(SOL5)가 오프로 전환된다.
솔레노이드스위치밸브(40)의 솔레노이드(SOL10)가 온으로 유지되어서, 압축공기가 압축공기원(41a)으로부터 진공발생기(25)의 1차쪽으로 공급된다. 솔레노이드스위치밸브(13)의 솔레노이드(SOL1)와 솔레노이드스위치밸브(33)의 솔레노이드 (SOL14) 및 솔레노이드스위치밸브(32)의 솔레노이드(SOL11) 모두는 온으로 전환된다. 솔레노이드스위치밸브들에 의해 흐름경로를 전환함으로써, 제 2흡인압력공급시스템이 흡착부(12)로 통하게 되어, 흡착부(12)의 흡착면(12a)에서 개구된 흡착구멍(19)으로 공기가 흡입되고 소재(10)와 흡착면(12a) 사이에 부압을 창출하여서, 소재(10)가 흡착면(12a)에 흡착되어 보유지지된다.
소재의 해제
흡착부(12)상의 흡착상태에서 소재(10)를 해제할 때, PLC(50)는 다음 순서에 따라 각 솔레노이드밸브의 솔레노이드를 온 또는 오프로 제어한다. 소재의 해제순서는 제 1 및 제 2흡인압력공급시스템 중 어느 하나가 사용되든지 동일하다.
소재(10)의 해제시, 솔레노이드스위치밸브(40)의 솔레노이드(SOL9)는 온으로 전환되고, 이 밸브(40)의 솔레노이드(SOL10)는 오프로 전환되어, 압축공기원(41a) 으로부터 진공발생기(25)로 압축공기가 공급되는 것이 중지된다. 또한, 정압공기공급시스템(45)에 있는 솔레노이드밸브(14)의 솔레노이드(SOL3)는 온으로 전환되어 솔레노이드밸브를 개방하며, 솔레노이드스위치밸브(13)의 솔레노이드(SOL2)는 온으로 전환되고, 이 밸브(13)의 솔레노이드(SOL1)는 오프로 전환되어서, 정압공기공급시스템(45)이 흡착부(12)로 통하게 된다. 따라서, 흡착부(12)의 흡착면(12a)에서 개구된 흡착구멍(19)으로부터 압축공기가 불어나오게 되어서, 소재(10)가 흡착상태에서 해제된다.
필터의 청소
이 실시예의 진공 척장치(11)에 따르면, 흡인압력공급시스템(46)이 필터(21)와 솔레노이드스위치밸브(22,23)를 구비하는 제 1흡인압력공급시스템과, 이와 독립적으로 필터(31)와 솔레노이드스위치밸브(32,33)를 구비하는 제 2흡인압력공급시스템으로 이루어진다. 제 1 및 제 2흡인압력공급시스템은 진공발생기(25)의 출구에서 회로를 갈라놓음으로써 병렬로 구비된다. 이러한 구조로 인하여, 한쪽 흡인압력공급시스템을 이용할 수 있게 되는 한편, 휴지상태에 있는 다른쪽 흡인압력공급시스템의 필터를 청소할 수 있게 된다.
제 1흡인압력공급시스템의 필터의 청소
전술된 방식으로 제 2흡인압력공급시스템을 사용상태로 전환하고 제 1흡인압력공급시스템을 휴지상태로 전환한 후에, 제 1흡인압력공급시스템을 사용하는 동안 필터에 축적된 절삭칩을 제거하거나 새로운 것으로 필터를 교환함으로써 필터(21)의 청소가 이행될 수 있다. 필터(21)의 내부에 있는 필터부재는 꺼내어진 후 청소 되거나 교환된다.
필터(21)에 채워진 냉각수는 소재(10)가 흡착되지 않을 때 또는 제 1흡인압력공급시스템이 휴지상태일 때 배출될 수 있다. 따라서, 솔레노이드스위치밸브(22)의 솔레노이드(SOL4)가 온으로 전환되고, 솔레노이드스위치밸브(23)의 솔레노이드(SOL7)가 온으로 전환되어서, 제 1흡인압력공급시스템을 폐쇄한다. 그 후에, 공기관(47)에 있는 솔레노이드밸브(24)의 솔레노이드(SOL6)가 온으로 전환되어 솔레노이드밸브(24)를 개방시켜서, 압축공기가 압축공기원(41b)으로부터 필터(21)로 공급되고 이 압축공기가 배수구의 첵밸브(27)를 밀어 개방시켜, 축적된 냉각수가 배수될 수 있다.
제 2흡인압력공급시스템의 필터의 청소
전술된 방식으로 제 1흡인압력공급시스템을 사용상태로 전환하고 제 2흡인압력공급시스템을 휴지상태로 전환한 후에, 제 2흡인압력공급시스템을 사용하는 동안 필터에 축적된 절삭칩을 제거하거나 새로운 것으로 필터를 교환함으로써 필터(31)의 청소가 이행될 수 있다. 필터(31)의 내부에 있는 필터부재는 꺼내어진 후 청소되거나 교환된다.
필터(31)에 채워진 냉각수는 소재(10)가 흡착되지 않을 때 또는 제 2흡인압력공급시스템이 휴지상태일 때 배출될 수 있다. 따라서, 솔레노이드스위치밸브(32)의 솔레노이드(SOL12)가 온으로 전환되고, 솔레노이드스위치밸브(33)의 솔레노이드(SOL15)가 온으로 전환되어서, 제 2흡인압력공급시스템을 폐쇄한다. 그 후에, 공기관(48)에 있는 솔레노이드밸브(34)의 솔레노이드(SOL13)가 온으로 전환되어 솔레노이드밸브(34)를 개방시켜서, 압축공기가 압축공기원(41b)으로부터 필터(31)로 공급되고 이 압축공기가 배수구의 첵밸브(37)를 밀어 개방시켜, 축적된 냉각수가 배수될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 흡인압력공급시스템들 중 하나는 사용상태로 되게 할 수 있어서, 소재가 진공 척장치에 의해 보유지지될 수 있고, 다른쪽 흡인압력공급시스템이 휴지상태에 있을 때 냉각수의 배수 또는 필터의 청소를 이행하면서 소재의 기계가공을 이행할 수 있게 된다. 이는 필터의 청소 동안 공작기계를 정지시킬 필요가 없게 하여서, 가공효율성을 현저하게 증가시키는 데에 기여한다. 또한, 본 발명은 이 실시예에서와 같이 초정밀가공에 적용된 수직선반에 사용될 때 필터의 청소를 용이하게 할 뿐만 아니라 흡인압력공급시스템이 흡입된 절삭칩으로 더럽혀지지 않게 되어서, 청결한 조건하에서 고정밀 기계가공을 효율적으로 이행할 수 있게 한다.

Claims (7)

  1. 진공흡입력에 의해 소재로 향하고 있는 접촉면에 소재를 흡착하는 흡착부를 갖춘 척수단과; 상기 흡착부에서 진공흡입력을 생성하는 부압을 발생시키기 위한 공기부압원; 이 공기부압원을 흡착부에 연결하고서 부압을 흡착부에 공급하는 제 1흡인압력공급시스템; 상기 부압을 흡착부에 공급하도록 제 1흡인압력공급시스템과 병렬로 공기부압원에 연결된 제 2흡인압력공급시스템; 상기 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템 사이에서 선택적으로 전환되는 스위치수단; 상기 흡착부에 정압공기를 공급하여 척수단의 흡착부로부터 소재를 해제시키는 정압공기공급시스템 및; 상기 제 1흡인압력공급시스템 및 제 2흡인압력공급시스템 중 하나에 척수단을 연결하거나, 상기 정압공기공급시스템에 척수단을 연결하도록 전환되어서, 부압상태 또는 정압상태로 흡착부를 전환시키는 전환수단;을 구비한, 소재를 흡착하여 보유지지하는 진공 척장치.
  2. 진공흡입력에 의해 소재로 향하고 있는 접촉면에 소재를 흡착하는 흡착부를 갖춘 척수단과; 상기 흡착부에서 진공흡입력을 생성하는 부압을 발생시키기 위한 공기부압원; 이 공기부압원을 흡착부에 연결하고서 부압을 흡착부에 공급하는 제 1흡인압력공급시스템; 상기 부압을 흡착부에 공급하도록 제 1흡인압력공급시스템과 병렬로 공기부압원에 연결된 제 2흡인압력공급시스템; 상기 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템 사이에서 선택적으로 전환되는 스위치수단; 상기 흡착부에 정압공기를 공급하여 척수단의 흡착부로부터 소재를 해제시키는 정압공기공급시스템 및; 상기 제 1흡인압력공급시스템 및 제 2흡인압력공급시스템 중 하나에 척수단을 연결하거나, 상기 정압공기공급시스템에 척수단을 연결하도록 전환되어서, 부압상태 또는 정압상태로 흡착부를 전환시키는 전환수단;을 구비한, 공작기계의 테이블에 소재를 흡착하여 보유지지하는 진공 척장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 제 1흡인압력공급시스템과 제 2흡인압력공급시스템은 각각 냉각수와 절삭칩이 혼합된 공기를 여과시키는 필터수단을 구비하는 진공 척장 치.
  4. 삭제
  5. 제 2항에 있어서, 상기 정압공기공급시스템으로부터 필터수단으로 압축공기를 공급하여 필터수단으로부터 냉각수를 배수하는 공기관과; 이 공기관을 개폐하는 솔레노이드밸브;를 추가로 구비하는 진공 척장치.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2흡인압력공급시스템 중 하나를 사용상태로 전환하면서 다른쪽 시스템을 휴지상태로 전환하는 과정의 순서를 제어하고, 휴지상태에 있는 흡인압력공급시스템의 필터수단을 청소하는 과정의 순서를 제어하는 제어수단을 추가로 구비하는 진공 척장치.
  7. 제 2항에 있어서, 상기 척수단은 수직선반의 회전테이블에 장착되는 흡착패드로 이루어진 진공 척장치.
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008087075A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Trinc:Kk イオナイザー付電磁弁、イオナイザーを配置した真空チャック、およびイオナイザーを配置した受台
KR100832696B1 (ko) * 2008-01-18 2008-05-28 임권현 진공척
TWI409133B (zh) * 2008-06-27 2013-09-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 夾持裝置
KR100903306B1 (ko) * 2008-10-08 2009-06-16 주식회사 아이피에스 진공처리장치
KR101559420B1 (ko) * 2011-01-19 2015-10-13 (주)테크윙 테스트핸들러용 반도체소자 파지 및 파지 해제 압 제공 시스템
WO2013023680A1 (de) * 2011-08-12 2013-02-21 Ev Group E. Thallner Gmbh Aufnahmeeinrichtung zur aufnahme eines strukturierten wafers
JP2014042945A (ja) * 2012-08-24 2014-03-13 Toshiba Mach Co Ltd ワーク保持装置および加工機械
JP2014046431A (ja) * 2012-09-03 2014-03-17 Toshiba Mach Co Ltd ワーク保持装置および加工機械
JP2014233796A (ja) * 2013-06-03 2014-12-15 株式会社ディスコ 加工装置
CN108025422B (zh) * 2015-07-13 2020-03-24 费斯托股份有限两合公司 真空抓取装置和用于运行真空抓取装置的方法
EP3344411B1 (en) * 2015-09-02 2023-06-07 Wielandts UPMT A chuck for a high precision machine tool
TWI711572B (zh) 2015-12-01 2020-12-01 荷蘭商耐克創新有限合夥公司 拾取工具、材料拾取系統以及藉由拾取工具移動材料的方法
CN106002406A (zh) * 2016-07-01 2016-10-12 中航飞机股份有限公司西安飞机分公司 一种柔性数控铣床真空转接平台及使用方法
CN106425527B (zh) * 2016-12-07 2019-02-01 深圳市策维科技有限公司 立体滑台及工件位置调节的方法
CN107420366B (zh) * 2017-06-09 2023-05-30 沈阳机床(集团)有限责任公司 机床设备控制系统中的冷却气动功能自动切换共享阀块
KR101973091B1 (ko) * 2017-09-21 2019-04-26 삼성중공업 주식회사 액화천연가스 화물창
CN107747569B (zh) * 2017-11-20 2024-03-22 深圳市创世纪机械有限公司 一种真空气路及数控机床
US11513372B2 (en) 2018-06-12 2022-11-29 Magic Leap, Inc. Edge sealant application for optical devices
WO2020081672A1 (en) 2018-10-16 2020-04-23 Magic Leap, Inc. Methods and apparatuses for casting polymer products
CN112757181A (zh) * 2019-10-21 2021-05-07 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 吸附控制装置及产品吸附装置
CN111112959B (zh) * 2020-01-09 2021-08-06 大连理工大学 一种低刚度高分子材料密封环的加工方法
CN116715021B (zh) * 2023-07-26 2024-03-15 果栗智造(上海)技术股份有限公司 真空吸附动子

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3332425B2 (ja) * 1992-11-10 2002-10-07 キヤノン株式会社 基板保持装置、並びにこれを用いた露光装置と半導体デバイス製造方法
US6083083A (en) * 1994-04-22 2000-07-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Separation type grinding surface plate and grinding apparatus using same
US5803797A (en) * 1996-11-26 1998-09-08 Micron Technology, Inc. Method and apparatus to hold intergrated circuit chips onto a chuck and to simultaneously remove multiple intergrated circuit chips from a cutting chuck

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