KR100549312B1 - 반도체패키지 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 중앙에 관통부가 형성된 수지층을 기본층으로 상기 제1면과 제2면에 도전성 회로패턴이 형성된 인쇄회로기판과,대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 상기 제2면 중앙에는 다수의 입출력패드가 형성된 동시에, 상기 입출력패드가 상기 인쇄회로기판의 관통부 내측을 향하도록 상기 인쇄회로기판의 제1면에 접착층으로 접착된 제1반도체칩과,상기 제1반도체칩과 인쇄회로기판의 회로패턴을 전기적으로 접속시키는 제1접속수단과,대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 상기 제2면 가장자리에는 다수의 입출력패드가 형성된 동시에, 상기 제1면이 인쇄회로기판의 제2면에 접착층으로 접착된 제2반도체칩과,상기 제2반도체칩과 인쇄회로기판의 회로패턴을 전기적으로 접속시키는 제2접속수단과,상기 제2반도체칩, 제2접속수단 등이 봉지재로 봉지되어 형성된 봉지부와,상기 인쇄회로기판의 회로패턴에 융착된 다수의 도전성볼을 포함하고,상기 제1반도체칩은 제1면이 공기중으로 노출된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제1항에 있어서, 상기 도전성볼은 인쇄회로기판의 제1면 또는 제2면중 어느 한 면에 형성된 회로패턴에 융착된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 중앙에 제1관통부가 형성되고 그 외주연의 대응되는 위치에 일정거리 이격되어 제2관통부가 형성된 수지층을 기본층으로 상기 제1면과 제2면에 도전성 회로패턴이 형성된 인쇄회로기판과,대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 상기 제2면 중앙에는 다수의 입출력패드가 형성된 동시에, 상기 입출력패드가 상기 인쇄회로기판의 제1관통부 내측을 향하도록 상기 인쇄회로기판의 제1면에 접착층으로 접착된 제1반도체칩과,상기 제1반도체칩과 인쇄회로기판의 회로패턴을 전기적으로 접속시키는 제1접속수단과,대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 상기 제1면 가장자리에는 다수의 입출력패드가 형성된 동시에, 상기 입출력패드가 상기 인쇄회로기판의 제2관통부 내측을 향하도록 상기 인쇄회로기판의 제2면에 접착층으로 접착된 제2반도체칩과,상기 제2반도체칩과 인쇄회로기판의 회로패턴을 전기적으로 접속시키는 제2접속수단과,상기 제1반도체칩 및 제2반도체칩의 측면과 인쇄회로기판의 제2관통부에 봉지재가 충진되어 형성된 봉지부와,상기 인쇄회로기판의 회로패턴에 융착된 다수의 도전성볼을 포함하고,상기 제1반도체칩은 제1면이 공기중으로 노출된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제3항에 있어서, 상기 도전성볼은 인쇄회로기판의 제1면 또는 제2면중 어느 한 면에 형성된 회로패턴에 융착된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1반도체칩은 제1면 및 측면이 공기중으로 노출된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 제2반도체칩은 제2면이 공기중으로 노출된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1반도체칩은 제1면에 방열수단이 더 부착된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 제2반도체칩은 제2면에 방열수단이 더 부착된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1접속수단과 제2접속수단은 모두 도전성와이어인 동시에, 상기 제1접속수단은 관통부를 통하여 인쇄회로기판의 제2면에 형성된 회로패턴과 접속된 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1접속수단은 인쇄회로기판의 제1면에 위치된 회로패턴이 관통부 내측으로 일정길이 연장되어 형성된 리드인 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 제2접속수단은 인쇄회로기판의 제2면에 위치된 회로패턴이 제2관통부 내측으로 일정길이 연장되어 형성된 리드인 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 반도체패키지는 적어도 2개 이상이 상,하로 스택되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체패키지.
- 대략 평면인 제1면과 제2면을 갖는 수지층을 기본층으로 상기 제1면과 제2면에 도전성 회로패턴이 형성된 인쇄회로기판을 제공하는 단계와,상기 인쇄회로기판의 제1면중 일정 영역에 접착층을 접착시키는 단계와,상기 인쇄회로기판 및 접착층을 일괄적으로 펀칭하여 일정크기의 관통부를 형성하는 단계와,대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 상기 제2면 중앙에는 다수의 입출력패드가 형성된 제1반도체칩을 상기 접착층에 접착시키되, 상기 입출력패드가 관통부 내측을 향하도록 하고, 상기 입출력패드와 회로패턴을 제1접속수단으로 접속하는 단계와,대략 평면인 제1면과 제2면을 갖고, 상기 제2면 가장자리에는 다수의 입출력패드가 형성된 제2반도체칩을 접착층을 개재하여 상기 제1반도체칩의 위치와 대응하는 상기 인쇄회로기판의 제2면에 접착하고, 상기 입출력패드와 회로패턴을 제2접속수단으로 접속하는 단계와,상기 제2반도체칩, 제2접속수단 등을 봉지재로 봉지하여 일정 모양의 봉지부를 형성하는 단계와,상기 인쇄회로기판의 회로패턴에 다수의 도전성볼을 융착하는 단계를 포함하고,상기 봉지부 형성 단계에서 상기 제1반도체칩의 제1면은 봉지재로 봉지되지 않아 외부로 노출됨을 특징으로 하는 반도체패키지의 제조 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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KR1020000059476A KR100549312B1 (ko) | 2000-10-10 | 2000-10-10 | 반도체패키지 및 그 제조 방법 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020028454A KR20020028454A (ko) | 2002-04-17 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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A201 | Request for examination | ||
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