KR100536434B1 - 카세트 보관 시스템 - Google Patents

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KR100536434B1
KR100536434B1 KR1020040116435A KR20040116435A KR100536434B1 KR 100536434 B1 KR100536434 B1 KR 100536434B1 KR 1020040116435 A KR1020040116435 A KR 1020040116435A KR 20040116435 A KR20040116435 A KR 20040116435A KR 100536434 B1 KR100536434 B1 KR 100536434B1
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김성헌
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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이 등 평판표시소자 제조 공정 중에 사용되는 카세트를 임시보관하거나 저장하는 물류시스템인 스토커(stocker)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트에 적재된 기판을 오염시키지 않으면서도 효과적으로 보관할 수 있는 카세트 보관 시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 내부에 소정 공간이 형성되는 박스, 상기 박스 내부 중앙에 형성되는 통로, 상기 통로 양측에 마련되어 기판이 수납된 카세트가 적치되는 선반, 상기 통로를 따라 이동하며 카세트를 운반하는 카세트 운반장치 및 상기 박스내부의 공기를 순환시키는 공기 순환장치를 포함하여 구성되는 카세트 보관 시스템에 있어서,
본 발명은 상부 프레임 및 하부 프레임의 내부에 마련되어 그 내부에서 발생되는 파티클을 제거하는 파티클 제거라인;과 상기 파티클 제거라인과 연결되어 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 덕트;가 더 마련되는 카세트 이송장치가 구비된 카세트 보관 시스템을 제공한다.

Description

카세트 보관 시스템{SYSTEM FOR KEEPING CASSETTE}
본 발명은 액정 디스플레이 등 평판표시소자 제조 공정 중에 사용되는 카세트를 임시보관하거나 저장하는 물류시스템인 스토커(stocker)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트에 적재된 기판을 오염시키지 않으면서도 효과적으로 보관할 수 있는 카세트 보관 시스템에 관한 것이다.
LCD, PDP, OLED 등의 평판표시소자(Flat Panel Display)는 화면 크기의 증가와 해상도 증가에 의해 그 수요 및 이용폭이 대폭 증가하고 있다. 이러한 평판표시소자의 제조공정에는 유리 원판을 취급하므로, 필수적으로 여러장의 기판을 적재하여 동시에 이동시키고 보관할 수 있는 카세트를 사용하게 된다.
그리고 이러한 카세트는 여러 공정을 옮겨 다니면서 각 공정에 유리 원판을 공급하거나 받아오게 되며, 특정한 경우에는 유리 원판을 임시 저장하는 역할을 한다. 이때 유리 원판이 적재된 카세트는 별도의 카세트 보관 시스템에 의하여 보관된다.
평판표시소자는 셀 등이 미세한 먼지나 입자에 의해서도 쉽게 불량이 발생하게 되므로 극도로 청결한 환경이 요구된다. 따라서 개개 미립자로부터 소자의 오염을 막는 것이 원가 절감과 높은 수율 및 효율적인 소자 생산을 위해 매우 절박한 문제이다.
그러므로 기판을 임시보관하기 위한 카세트 보관 시스템에도 미립자 오염을 방지하기 위한 청정 시스템이 마련된다.
이하에서는 도면을 참조하여 종래의 카세트 보관 시스템(1)에 대하여 설명한다.
이 카세트 보관 시스템은, 박스(10), 통로(20), 선반(30), 카세트 이송장치(40), 공기 순환장치(50)로 구성된다. 여기에서 박스(10)는 그 내부에 소정 공간이 형성되도록 하며, 내부를 외부와 차단한다.
이 박스(10) 내부에는 중앙을 가로질러서 통로(20)가 형성되고, 이 통로(20) 양측에는 카세트를 보관할 수 있는 선반(30)이 마련된다. 이 선반(30)에는 다수개의 카세트를 적층시킬 수 있도록 다수개의 카세트 적층 공간이 형성된다. 그리고 상기 통로(20)에는 카세트 이송장치(40)가 배치된다. 따라서 이 통로(20)에는 카세트 이송장치의 이동을 보조하기 위한 레일이 마련되고, 카세트 이송장치(40)는 이 레일과 결합되어 레일을 따라 이동된다. 그러므로 이 카세트 이송장치(40)는 이 레일을 따라 수평 이동하면서 카세트(C)를 선반(30)에 적재하거나 선반에 적재된 카세트(C)를 반출하는 역할을 한다.
이 카세트 이송장치(40)는 하부 프레임(41), 상부 프레임(42), 수직 프레임(43), 로봇암 부(44), 운반대(45), 수직 이동부(46), 수평 이동부(47)로 구성된다. 여기에서 하부 프레임(41)과 상부 프레임(42)은 각각 카세트 이송장치(40)의 하부 및 상부의 외형을 이루는 것으로, 통로(20)에 마련되는 하부 레일(22) 및 상부 레일(24)과 결합되어 카세트 이송장치(40)를 이송시키는 역할을 한다. 그리고 수직 프레임(43)은 하부 프레임(41)과 상부 프레임(42)을 연결하며, 운반대(45)가 수직 방향으로 이동할 수 있는 경로를 제공한다. 다음으로 로봇암 부(44)는 그 상부에 카세트(C)가 놓여지는 구성요소로서, 카세트를 수평방향으로 이동할 수 있는 로봇암이 마련되어 있어서, 그 상부에 놓여지는 카세트를 선반 방향으로 이동시키거나 그 반대 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 그리고 운반대(45)는 상기 로봇암 부(44)가 고정되는 구성요소로서 상기 수직 프레임(43)에 양 측부가 결합되어 수직 방향으로 이동된다. 수직 이동부(46)는 상기 수직 프레임(43) 내부에 마련되어 운반대(45)를 상하 방향으로 이동시킨다. 그리고 수평 이동부(47)은 하부 프레임(41)의 측부에 마련되어 하부 프레임을 수평 방향으로 이동시킨다.
또한 공기 순환장치(50)는 상기 박스(10) 내의 공기를 신선한 공기로 교체함으로써 박스 내의 청정도를 유지하는 구성요소이다. 이 공기 순환장치(50)는 도 2에 도시된 바와 같이, 박스(10)의 상부에서 파티클이 제거된 신선한 공기를 유입시키는 유입부(52), 박스(10)의 하측부 방향으로 박스 내부의 공기를 유출시키는 유출부(54)로 구성된다. 한편 특정한 경우에는 카세트(C)가 적재된 선반 측면에서 신선한 공기가 유입되어 박스의 하측부 방향으로 유출될 수도 있다.
그러나 종래의 카세트 보관 시스템에 있어서는, 기체의 흐름상 A 부분에서는 공기가 순환되지 않고, 와류가 발생하게되어 오염 물질이 제대로 제거되지 않는 문제점이 있다. 더구나 A 부분에서는 수평 이동부(47)의 구동을 위하여 모터와 벨트 등이 사용되므로 많은 파티클이 발생되는 곳이므로 더욱 심각한 문제가 발생된다.
또한 카세트 이송장치(40)의 다른 부분 즉, 수직 프레임(43)과 수직 이동부 (41)등에서도 장치의 구동을 위하여 롤러와 벨트, 모터 등을 사용하므로 다수의 파티클이 발생된다. 그러나 종래의 카세트 보관 시스템(1)에서는 이를 제거하지 못하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 카세트 이송장치에서 발생되는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 카세트 보관 시스템을 제공함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 내부에 소정 공간이 형성되는 박스, 상기 박스 내부 중앙에 형성되는 통로, 상기 통로 양측에 마련되어 기판이 수납된 카세트가 적치되는 선반, 상기 통로를 따라 이동하며 카세트를 운반하는 카세트 운반장치 및 상기 박스내부의 공기를 순환시키는 공기 순환장치를 포함하여 구성되는 카세트 보관 시스템에 있어서,
상기 카세트 운반장치는, 그 상부에 카세트를 탑재하고, 수평 방향으로 구동되는 로봇암 부; 상기 로봇암부의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 로봇암부를 지지하는 운반대; 바닥면에 수직인 상태로 마련되며, 상기 운반대의 양측부와 각각 결합하여 상기 운반대를 수직방향으로 이동시키는 경로를 제공하는 수직 프레임; 바닥면에 수평인 상태로 마련되며, 상기 수직 프레임의 하단과 결합되어 상기 수직 프레임을 지지하는 하부 프레임; 바닥면에 수평인 상태로 마련되며, 상기 수직 프레임의 상단과 결합되어 상기 수직 프레임을 지지하는 상부 프레임; 상기 수직 프레임의 내부 공간에 마련되며, 상기 운반대를 수직방향으로 이동시키는 수직이동부; 상기 하부 프레임의 양 측에 마련되며, 상기 통로의 바닥면에 마련된 레일을 따라 상기 하부 프레임을 수평방향으로 이동시키는 수평 이동부;를 포함하며, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임의 내부에 마련되어 그 내부에서 발생되는 파티클을 제거하는 파티클 제거라인;과 상기 파티클 제거라인과 연결되어 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 덕트;가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템을 제공한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 일 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 카세트 보관 시스템도 박스; 통로; 선반; 카세트 운반장치; 공기 순환장치;를 포함하여 구성된다. 여기에서 박스, 통로, 선반, 공기 순환장치는 종래의 그것과 동일한 구조 및 기능을 가지므로 여기에서 반복하여 설명하지 않는다.
한편 본 실시예에 따른 카세트 이송장치(100)는, 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 로봇암 부(110); 운반대(120); 수직 프레임(130); 하부 프레임(140); 상부 프레임(150); 수직 이동부(160); 수평 이동부(170);를 포함하여 구성된다. 먼저 로봇암 부(110);는 그 상부에 카세트를 적재시킨채로 수평 방향으로 이동가능한 구성요소이다. 따라서 이 로봇암 부(110)는 수평 운동하면서 카세트를 선반에 올려 놓거나 선반에 적재된 카세트를 반출하는 역할을 한다.
다음으로 운반대(120)는 상기 로봇암 부(110)의 하부와 결합되어 마련된다. 따라서 이 운반대(120)는 그 상부에 로봇암 부(110)를 결합한 상태로 상하 방향으로 이동되어, 상기 로봇암 부(110)에 놓여진 카세트(C)를 상하 방향으로 이동되게 한다. 이러한 운반대(120)의 내부에는 로봇암 부(110)를 구동시키기 위한 동력 장치(도면에 미도시) 등이 마련되므로 상당한 양의 파티클이 발생한다. 본 실시예에서는 이 운반대(120) 내부에서 발생되는 파티클을 제거하고, 정화된 공기를 외부로 배출하는 파티클 제거수단이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 파티클 제거수단은 FFU로 마련되어 내부 압력을 낮추어 운반대(120) 내부의 파티클이 외부로 유출되지 않도록 한다. 그리고 이 운반대(120)의 양단은 수직 프레임에 결합되어 수직 방향으로 이동된다.
다음으로 수직 프레임은 바닥면에 수직인 상태로 마련되며, 상기 운반대(120)의 양 측부와 각각 결합하여 상기 운반대(120)를 수직방향으로 이동시키는 경로를 제공한다. 이 수직 프레임(130)의 하단은 하부 프레임(140)과 결합되며, 상단은 상부 프레임(150)과 결합된다. 그리고 이 수직 프레임(130)의 내부에는 운반대(120)를 수직 방향으로 구동시키기 위한 수직 이동부(160)가 마련된다.
다음으로 하부 프레임(140)은 바닥면에 수평인 상태로 마련되며, 상기 수직 프레임(130)의 하단과 결합되어 상기 수직 프레임(130)을 지지하는 구성요소이다. 그리고 상부 프레임(150)은 수평인 상태로 마련되며, 상기 수직 프레임(130)의 상단과 결합되어 상기 수직 프레임(130)을 지지한다.
또한 수직 이동부(160)는 상기 수직 프레임(130)의 내부 공간에 마련되며, 운반대(120)를 수직으로 이동시키는 역할을 한다. 본 실시예에서는 이 수직 이동부(160)가 도 4에 도시된 바와 같이, 롤러(162); 및 벨트(164)로 구성되며, 보조 벨트(166)와 균형추(168)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 따라서 상기 수직 프레임(130)의 내부에는 그 내부 공간을 수직 방향으로 분할 하는 분할 플레이트(132)가 마련되며, 그 분할 플레이트(132)의 상측 및 하측에는 회전가능한 롤러(162)가 마련된다. 그리고 이 롤러(162)에는 벨트(164)가 연결되어 롤러(162)의 회전에 의하여 상하 방향으로 이동된다. 그리고 상기 분할 플레이트(132)에 의해 분할된 운반대(120)측 공간에는 운반대(120)의 측단에 연결되는 운반대 구동블럭(122)이 벨트(164)에 연결되어 상하 방향으로 이동된다. 한편 상기 분할 플레이트(132)에 의해 분할된 외측 공간에는 운반대(120)의 안정적인 상하 구동을 위한 균형추(168)가 벨트(164)에 연결되어 운반대(120)와 반대 방향으로 이동된다. 또한 상기 수직 프레임(130)의 내부에는 운반대(120) 및 균형추(168)의 직선 운동을 보조하기 위한 보조 벨트(166)가 마련된다.
또한 상기 분할 플레이트(132)에는 상기 분할 플레이트(132)를 두께 방향으로 관통하여 압력 조절공(134)이 형성되는 것이 바람직하다. 이 압력 조절공(134)은 상기 분할 플레이트(132)에 형성되어 분할 플레이트에 의하여 분할되는 수직 프레임(130) 내부의 양 공간을 연통시켜 수직 프레임(130) 내부의 각 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 낮도록 하여 수직 프레임(130) 내부의 오염된 공기가 외부로 유출되지 않도록 한다.
다음으로 수평 이동부(170)는 상기 하부 프레임(140)의 양 측에 마련되며, 상기 통로의 바닥면에 마련된 레일(R)을 따라 상기 하부 프레임(140)을 수평방향으로 이동시키는 역할을 한다. 따라서 이 수평 이동부(170)는 하부 프레임(140)의 측부에 결합되어 마련되며, 모터(172)와 바퀴(174)로 구성된다. 모터(172)는 회전 동력을 발생시키며, 이 회전 동력이 동력 전달 수단(176)에 의하여 바퀴(174)에 전달되고, 이 바퀴(174)의 회전에 의하여 하부 프레임(140)이 레일(R)을 따라 수평 이동하는 것이다.
그리고 본 실시예에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 수평 이동부(170)의 외측에 상기 수평 이동부를 감싸는 수평 이동부 커버(178)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 수평 이동부 커버(178)는 상기 수평 이동부(170)를 감싸고, 상기 하부 프레임(140)과 결합되어 마련되며, 상기 수평 이동부(170)에서 발생되는 파티클의 누출을 방지하는 역할을 한다. 이때 이 수평 이동부 커버(178)에는, 상기 하부 프레임(140)과 결합되는 면 중 후술하는 수평 흡입공(184b)과 대응되는 부분을 관통하여 흡입공(도면에 미도시)이 마련되는 것이 바람직하다. 이 흡입공은 수평 흡입공(184b)과 연통되도록 형성되어, 수평 이동부 커버(178) 내의 공기를 하부 프레임(140)으로 보내는 통로 역할을 하는 것이다. 이렇게 수평 이동부 커버(178)를 마련하고, 이 커버 내부의 공기를 별도로 배출하면, 수평 이동부(178)의 구동에 의하여 발생되는 파티클도 효율적으로 외부로 배출시켜 카세트 보관 시스템 내의 공기를 보다 효과적으로 정화할 수 있는 장점이 있다.
그리고 본 실시예에 따른 카세트 이송장치(100)에는 파티클 제거라인(180)과 덕트(190)가 더 마련된다. 이 파티클 제거라인(180)은 카세트 이송장치(100) 자체에서 발생되는 파티클을 제거하기 위한 구성요소로서 카세트 이송장치(100) 내에 마련된다. 그리고 덕트(190)는, 상기 파티클 제거라인(180)에 의하여 제거되는 파티클을 포함한 공기를 외부로 배출하는 구성요소로서, 상기 카세트 이송장치(100)의 하측에 마련된다.
먼저 본 실시예에 따른 파티클 제거라인(180)은, 수직 파티클 제거라인(182)과 수평 파티클 제거라인(184)으로 구성된다. 여기서 수직 파티클 제거라인(182)은, 상기 수직 프레임(130)의 내부 공간에 마련되며, 상기 수직 프레임(130) 내에서 발생되는 파티클을 흡입하여 제거한다.
이때 이 수직 파티클 제거라인(182)은 도 4에 도시된 바와 같이, 신선 공기 흡입공(182a); 흡입팬(182b); 공기 배출공(182c);배기팬(182d);으로 구성되는 것이 바람직하다. 신선 공기 흡입공(182a)은 상기 수직 프레임(130)의 상면을 관통하여 형성되며, 공기 순환장치에서 공급되는 신선한 공기를 수직 프레임(130) 내로 흡입하는 통로 역할을 한다. 흡입팬(182b)은 수직 프레임(130) 내부 공간 중 상기 신선공기 흡입공(182a) 하측에 배치되며, 팬의 회전에 의한 흡입력을 발생시켜, 상기 신선공기 흡입공(182a)을 통하여 신선한 공기가 수직 프레임(130) 내부로 유입되도록 한다. 그리고 공기 배출공(132c)은 상기 수직 프레임(130) 하측면을 관통하여 형성되며, 상기 수직 프레임(130) 내부의 공기를 배출하는 통로 역할을 한다. 즉, 상기 신선공기 유입공(182a)을 통하여 유입된 신선공기가 수직 프레임(130) 내부를 통과하면서 수직 프레임 내부에 존재하는 파티클과 함께 외부로 배출되는 통로 역할을 하는 것이다. 또한 배기팬(182d)은 상기 공기 배출공(182c)의 전방에 마련되며, 상기 수직 프레임(130) 내부의 공기를 배출하는 동력을 제공한다.
한편 본 실시예에서 수직 프레임(130)의 길이가 길어지는 경우에는 흡입팬(182b)과 배기팬(182d) 만으로 수직 프레임(130) 내부의 공기를 원활하게 순환 배출 시키지 못할 수도 있으므로, 상기 수직 프레임(130)의 중간 영역에 수직 프레임 내부의 공기를 정화하여 배출하는 FFU(Fan Filter Unit, 182e)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 따라서 이 FFU(182e)는 자체 정화능력을 이용하여 수직 프레임(130) 내부의 공기를 정화하고, 공기를 외부로 배출한다.
또한 수직 프레임(130) 내부의 소정 부분에 중간팬(도면에 미도시)을 설치하여 수직 프레임(130) 내부에서의 공기의 흐름을 도울 수도 있다. 즉, 이 중간팬이 수직 프레임(130) 내부 소정 부분에서 회전하여 흡입팬(182b)과 배기팬(182d)에 의하여 발생하는 기체의 흐름을 보다 강력하게 하는 것이다.
또한 본 실시예에 따른 수직 프레임(130)에는, 상기 수직 프레임(130)의 내측면에 마련되며, 상기 운반대(120)의 수직 구동시 상기 수직 프레임(130) 내의 파티클이 외부로 누출되는 것을 방지하는 파티클 누출 방지 벨트(136)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 파티클 누출 방지 벨트(136)는 운반대(120)의 측부가 수직 프레임(130) 내부에 마련된 벨트(164)에 결합되어 상하 방향으로 이동할 수 있도록 상기 수직 프레임(130)의 내면에 형성되는 수직 홈을 차단하는 역할을 한다. 다만, 이 수직 홈을 차단함과 동시에 운반대(120)가 상하 방향으로 이동할 수 있도록 중간 부분이 수직 방향으로 절개되어 겹쳐지도록 마련되며, 운반대(120)의 측부를 감싸는 형태로 마련된다. 따라서 이 파티클 누출 방지 벨트(136)는 신축성이 있는 소재로 마련되는 것이 바람직하다.
다음으로 수평 파티클 제거라인(184)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 하부 프레임(140)의 내부 공간에 마련되며, 상기 하부 프레임(140) 및 수직 프레임(130) 내에서 발생되는 파티클을 흡입하여 제거하는 역할을 한다. 이 수평 파티클 제거라인(184)은 수직 흡입공(184a); 수평 흡입공(184b); 배출공(184c);으로 구성된다. 여기에서 수직 흡입공(184a)은, 상기 수직 프레임(130)과 결합되는 면을 관통하여 형성되며, 상기 수직 프레임 내의 공기를 흡입하는 통로 역할을 한다. 따라서 이 수직 흡입공(184a)은 상기 수직 파티클 제거라인(182)의 공기 배출공(182c)과 연통되도록 형성되어 이 공기 배출공을 통해 배출되는 공기를 하부 프레임(140) 내로 유입되도록 한다.
그리고 수평 흡입공(184b)은, 상기 하부 프레임(140)의 양 측면을 관통하여 형성되며, 외부의 공기를 흡입하는 역할을 한다. 한편 배출공(184c)은, 상기 하부 프레임(140)의 하면 소정 부분을 관통하여 형성되며, 상기 하부 프레임(140) 내부의 공기를 외부로 배출하는 역할을 한다. 이때 상기 배출공(184c)에는, 하부 프레임(140) 내부의 공기를 외부로 배출하는 동력을 제공하는 배출팬(도면에 미도시)이 더 마련되는 것이 공기의 원활한 배출을 위하여 바람직하다.
다음으로 덕트(190)는, 도 6, 7에 도시된 바와 같이, 상기 통로의 바닥면에 레일과 평행하게 마련되어 파티클 제거라인(180)에 의하여 제거되는 파티클을 외부로 배출하는 역할을 한다. 이 덕트(190)는 내부에 소정 공간이 형성되며, 그 상면은 길이 방향으로 안내부재 수용틈(192)이 형성된다.
따라서 상기 배출공(184c)의 하부에 바닥면 방향으로 소정 길이 만큼 돌출되어 형성되는 안내부재(194)가 이 안내부재 수용틈(192)에 삽입된 채로 수평이동이 가능하게 되는 것이다. 따라서 이 안내부재(194)가 배출공(184c)을 통해 배출되는 오염된 공기를 외부 유출없이 덕트(190)로 보내는 것이다. 특히, 이 안내부재(194)는 하부 프레임(140)에 결합되어, 하부 프레임(140)의 수평 이동에 의하여 이동되는 상태에서도 덕트(190)와 안정적으로 결합되게 하는 것이다.
또한 이 안내부재 수용틈(192)에는, 신축성 소재로 마련되며, 상기 안내부재(194)를 감싼 상태로 상기 안내부재 수용틈(192)을 패쇄시키는 수용틈 패쇄막(196)이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 수용틈 패쇄막(196)은 안내부재(194)의 수평 이동에도 불구하고 안내부재(194)와 덕트(190) 사이에 외부와 연통되는 틈이 발생하지 않도록 하여 덕트(190)에서 이동되는 공기가 외부로 유출되어 카세트 보관 시스템 내부가 오염되지 않도록 한다.
본 발명에 따르면 카세트 이송장치 내부에 별도의 파티클 제거라인이 마련되어, 카세트 이송장치 내부에서 발생되는 파티클 뿐만아니라, 기존의 공기 순환장치에 의하여 오염물질이 제거되지 않던 사각지대(A)의 오염물질도 효과적으로 제거하여 기판의 오염을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 카세트 보관 시스템의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2는 종래의 카세트 보관 시스템의 공기 순환모습을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 프레임의 내부 구조를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 및 수평 이동부의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임의 구조를 나타내는 부분사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임과 덕트의 결합구조를 나타내는 단면도이다.

Claims (13)

  1. 내부에 소정 공간이 형성되는 박스, 상기 박스 내부 중앙에 형성되는 통로, 상기 통로 양측에 마련되어 기판이 수납된 카세트가 적치되는 선반, 상기 통로를 따라 이동하며 카세트를 운반하는 카세트 운반장치 및 상기 박스내부의 공기를 순환시키는 공기 순환장치를 포함하여 구성되는 카세트 보관 시스템에 있어서,
    상기 카세트 운반장치는,
    그 상부에 카세트를 탑재하고, 수평 방향으로 구동되는 로봇암 부;
    상기 로봇암부의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 로봇암부를 지지하는 운반대;
    바닥면에 수직인 상태로 마련되며, 상기 운반대의 양측부와 각각 결합하여 상기 운반대를 수직방향으로 이동시키는 경로를 제공하는 수직 프레임;
    바닥면에 수평인 상태로 마련되며, 상기 수직 프레임의 하단과 결합되어 상기 수직 프레임을 지지하는 하부 프레임;
    바닥면에 수평인 상태로 마련되며, 상기 수직 프레임의 상단과 결합되어 상기 수직 프레임을 지지하는 상부 프레임;
    상기 수직 프레임의 내부 공간에 마련되며, 상기 운반대를 수직방향으로 이동시키는 수직이동부;
    상기 하부 프레임의 양 측에 마련되며, 상기 통로의 바닥면에 마련된 레일을 따라 상기 하부 프레임을 수평방향으로 이동시키는 수평 이동부;를 포함하며,
    상기 하부 프레임의 내부 공간에 마련되며, 상기 하부 프레임 외부에 존재하는 파티클 및 상기 하부 프레임 내에서 발생되는 파티클을 흡입하여 제거하는 수평 파티클 제거라인; 상기 수평 이동부에 의하여 이동하는 상기 수평 파티클 제거라인과 연결되어 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 덕트;가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수직 프레임의 내부 공간에 마련되며, 상기 수직 프레임 내에서 발생되는 파티클을 흡입하여 제거하는 수직 파티클 제거라인이 더 마련되되,
    상기 수직 파티클 제거라인의 하단은 상기 수평 파티클 제거라인과 연결되어 상기 수직 파티클 제거라인에서 흡입된 파티클이 수평 파티클 제거라인을 통하여 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수직 파티클 제거라인은,
    상기 수직 프레임의 상면을 관통하여 형성되며, 외부의 신선공기가 흡입되는 신선 공기 흡입공;
    상기 수직 프레임 내부 중 상기 신선공기 흡입공 하측에 배치되며, 외부의 신선공기를 흡입하는 동력을 제공하는 흡입팬;
    상기 수직 프레임 하측면을 관통하여 형성되며, 상기 수직 프레임 내부의 공기를 배출하는 공기 배출공;
    상기 공기 배출공의 전방에 마련되며, 상기 수직 프레임 내부의 공기를 배출하는 동력을 제공하는 배기팬;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 수직 프레임의 중간 영역에는, 수직 프레임 내부의 공기를 정화하여 배출하는 FFU(Fan Filter Unit)가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 상기 수직 프레임에는,
    상기 수직 프레임의 내측면에 마련되며, 상기 운반대의 수직 구동시 상기 수직 프레임 내의 파티클이 외부로 누출되는 것을 방지하는 파티클 누출 방지 벨트가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 수평 파티클 제거라인은,
    상기 수직 프레임과 결합되는 면을 관통하여 형성되며, 상기 수직 프레임 내의 공기를 흡입하는 수직 흡입공;
    상기 하부 프레임의 양 측면을 관통하여 형성되며, 외부의 공기를 흡입하는 수평 흡입공;
    상기 하부 프레임의 하면 소정 부분을 관통하여 형성되며, 상기 하부 프레임 내부의 공기를 외부로 배출하는 배출공;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 배출공에는,
    상기 하부 프레임 내부의 공기를 외부로 배출하는 동력을 제공하는 배출팬이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 수평 이동부의 외측에는,
    상기 수평 이동부를 감싸고, 상기 하부 프레임과 결합되어 마련되며, 상기 수평 이동부에서 발생되는 파티클의 누출을 방지하는 수평 이동부 커버가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 수평 이동부 커버에는,
    상기 하부 프레임과 결합되는 면 중 상기 수평 흡입공과 대응되는 부분을 관통하여 형성되며, 상기 수평 이동부 커버 내의 공기를 흡입하는 흡입공이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  10. 제6항에 있어서, 상기 덕트는,
    상기 통로의 바닥면에 레일과 평행하게 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 배출공의 하부에는 바닥면 방향으로 소정 길이 만큼 돌출되어 형성되며, 상기 덕트 내측으로 진입하여 상기 배출공을 통해 배출되는 공기를 덕트로 안내하는 안내부재가 더 마려되고,
    상기 덕트의 상부면에는 상기 안내부재를 수용할 수 있는 간격의 안내부재 수용틈이 상기 덕트의 길이 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 상기 안내부재 수용틈에는,
    신축성 소재로 마련되며, 상기 안내부재를 감싼 상태로 상기 안내부재 수용틈을 패쇄시키는 수용틈 패쇄막이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
  13. 제2항에 있어서, 상기 수직 프레임에는,
    그 내부 공간을 길이 방향으로 분할 하는 분할 플레이트가 마련되며, 상기 분할 플레이트의 소정 부분에는 상기 분할 플레이트를 관통하도록 형성되어 상기 분할 플레이트에 의하여 분할되는 상기 수직 프레임 내부 양 공간사이에 공기가 이동시켜 양 공간 사이에 압력이 동일하도록 하는 압력 조절공이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
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