KR101283409B1

KR101283409B1 - 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치

Info

Publication number: KR101283409B1
Application number: KR1020110086222A
Authority: KR
Inventors: 임용철; 장재원; 이해준; 김광민
Original assignee: 크린팩토메이션 주식회사
Priority date: 2011-08-29
Filing date: 2011-08-29
Publication date: 2013-07-08
Also published as: KR20130023455A

Abstract

클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치에 대한 발명이 개시된다. 개시된 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치는, 로봇의 포크부에 지지되어 이송된 수납용 카세트를 안착하는 선반과 선반을 고정하는 고정프레임을 구비하는 장치 본체와, 선반에 일 영역이 안착 지지되어 선반 상의 이물질과 포크부에 다른 영역이 안착 지지되어 포크부 상의 이물질을 제거하도록 충전배터리를 구비하는 클리닝 카세트와, 클리닝 카세트와 고정프레임에 마련되고, 클리닝 카세트가 선반에 안착 상태에서 충전배터리의 충전량 부족이 감지될 때 충전배터리에 전기적으로 연결되어 충전배터리에 전원을 충전시키는 충전연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치{CLEANING CASSETTE AND CASSETTE STORAGE APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 유리기판이 적재되는 카세트를 보관하는 카세트 보관장치의 선반 및 카세트를 이송하는 로봇의 포크부에 잔존하는 이물질을 용이하게 제거하는 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치에 관한 것이다.

일반적으로 플라즈마 디스플레이(PDP), 액정디스플레이(LCD) 및 유기 EL(OLED)과 같은 평판표시소자(FPD)는 유리기판을 보관하는 수납용 카세트의 슬롯에 다수 개가 수납되고, 이러한 수납용 카세트는 로봇 등을 이용하여 보관장치의 선반에 임시 보관하거나 적재한다.

이와 같이, 보관장치의 선반 상에 잔존하는 이물질(Particle) 또는 유리기판이 보관된 수납용 카세트를 선반에 임시 보관하기 위하여 적재하거나 반송하는 로봇의 포크부 상에 잔존하는 이물질을 제거하지 않으면 이물질로 인하여 공정불량이 발생한다.

여기서, 로봇의 포크(Fork)부는 유리기판 또는 유리기판이 다수 개 수납된 수납용 카세트를 지게차의 적재부와 같이 2개의 수평 암으로 들어 올려주는 구성으로서, 적재 및 반송 작업이 빈번하게 작업이 이루어지다 보면, 로봇의 포크부(적재부) 상부면과 수납용 카세트 저면 및 수납용 카세트의 저면과 선반 상면 사이의 마찰로 인하여 이물질이 잔류하고, 이를 제거해야 하는 것이다.

따라서, 이러한 이물질을 효율적으로 제거하기 위하여 클리닝 장치가 필요하나, 기존에는 수작업으로 클리닝하므로 효율성이 저하되어 선반 및 로봇의 적재부에 잔류된 이물질을 효율적으로 제거할 수 있는 클리닝장치가 필요한 실정이다.

최근에는 이를 감안하여 충전과정을 거쳐 진공으로 선반에 잔존하는 이물질을 흡입하는 클리닝 카세트 보관장치가 공개특허공보 제2010-0125029호로 제안된 바 있다.

그런데, 기존의 클리닝 카세트 보관장치는 카세트 하우징의 저면에 구비된 충전단자를 시스템 본체에 구비된 충전스테이션에 클리닝 카세트의 무게를 이용하여 접속시키므로 안착 위치가 부정확하거나 자중이 잘못 전달되는 경우, 단자 간에 접속불량이 발생하여 충전이 제대로 이루어지지 않는 문제점이 있다

또한, 기존의 클리닝 카세트 보관장치는 충전불량이 발생되는 경우, 접속불량을 해소하기 위해 클리닝 카세트를 들어올렸다가 다시 적재하여야 하는 번거로운 문제점이 있다.

또한, 기존의 클리닝 카세트 보관장치는 이물질을 흡입하는 진공 흡입슬롯이 선반 상측에 위치하는 하부프레임에만 형성되므로 로봇의 포크부가 접촉된 부위의 하부프레임에는 진공 흡입슬롯이 구비되지 않아 로봇의 포크부를 이용하여 수납용카세트를 적재 및 반송하는 경우, 로봇 포크부 상측에 잔존하는 이물질은 제거하지 못하는 문제점이 있다.

또한, 기존의 클리닝 카세트 보관장치는 이물질을 걸러주는 흡입유닛이 프레임 내에 4개소에 분산되어 구비되므로 부품 설치공간이 부족해지는 문제점이 있다.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.

본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 유리기판이 적재되는 카세트를 보관하는 카세트 보관장치의 선반 및 카세트를 이송하는 로봇의 포크부에 잔존하는 이물질을 용이하게 제거하는 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치를 제공하는 것이 목적이다.

또한, 본 발명은 클리닝 카세트에 구비된 이동 충전유닛의 이동단자와 장치 본체에 구비된 고정 충전유닛의 고정단자의 접속을 모터, 실린더 등의 구동부의 자동 제어를 이용하여 접속하므로 접속 불량시, 복수의 구동위치검출센서와 충전안전센서의 2단 감지를 통해 반복 접속 시도가 가능함으로써 확실한 접속을 보장해주는 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치를 제공하는 것이 목적이다.

또한, 본 발명은 하부프레임에 형성된 진공 흡입공을 선반 설치 부위뿐만 아니라 로봇의 포크부 상측 부위에도 형성하여 로봇의 포크부 상의 이물질도 제거하므로 이물질 흡입 영역을 확대할 수 있는 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치를 제공하는 것이 목적이다.

또한, 본 발명은 이물질을 흡입하여 저장하는 집진부를 프레임의 중심부에 통합 설치가 가능하므로 부품 설치공간을 최대한 확보할 수 있고 정비 및 수리시 작업이 용이 해지는 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치를 제공하는 것이 목적이다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치는, 로봇의 포크부에 지지되어 이송된 수납용 카세트를 안착하는 선반과 상기 선반을 고정하는 고정프레임을 구비하는 장치 본체; 상기 선반에 일 영역이 안착 지지되어 상기 선반 상의 이물질과 상기 포크부에 다른 영역이 안착 지지되어 상기 포크부 상의 이물질을 제거하도록 충전배터리를 구비하는 클리닝 카세트; 및 상기 클리닝 카세트와 상기 고정프레임에 마련되고, 상기 클리닝 카세트가 상기 선반에 안착된 상태에서 상기 충전배터리의 충전량 부족이 감지될 때 상기 충전배터리에 전기적으로 연결되어 상기 충전배터리에 전원을 충전시키는 충전연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 충전연결부는, 상기 클리닝 카세트에 마련되고, 적어도 하나의 충전봉을 슬라이드 이동가능하게 구비하는 슬라이드충전부; 및 상기 고정프레임에 마련되고, 상기 충전봉과 전기적으로 접속되는 충전단자를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 충전연결부는 상기 충전배터리의 전원 충전량 부족을 감지하는 충전량감지부의 감지신호를 받아들여 상기 충전배터리가 전기적으로 연결되도록 컨트롤러의 제어를 통해 슬라이드충전부를 작동하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 슬라이드충전부는, 바디부; 상기 바디부에 고정되는 구동모터; 상기 구동모터에 고정된 나사축에 나사결합되어 상기 나사축의 회전 동작에 의해 전후 이동하는 이동블럭; 및 상기 이동블럭에 연결되고, 상기 충전봉을 상기 충전단자로 이동시켜 접속시키는 탄성가압부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 탄성가압부재는 상기 이동블럭에 구비되는 연결브라켓; 상기 충전봉의 후방에 형성되는 삽입홀; 상기 충전봉의 삽입홀에 일단이 삽입되고, 타단이 상기 연결브라켓에 고정되는 이동봉; 및 상기 이동봉의 외주면에 구비되고, 상기 연결브라켓의 이동에 의해 상기 충전봉이 상기 충전단자에 접속시, 상기 이동봉이 상기 삽입홀 내에서 이동하면서 상기 충전봉을 상기 충전단자에 탄성 가압되게 밀어주는 탄성스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 슬라이드충전부는 상기 이동블럭과 상기 충전봉의 위치를 감지하고 충전 가능한지 여부를 파악하여 충전을 위한 전기 신호를 발생하는 센서조립체를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 센서조립체는 상기 이동블럭에 구비된 제1센서도그; 상기 제1센서도그와 상호 작용에 의해 상기 이동블럭의 전진 구동위치를 감지하는 제1 구동위치검출센서; 상기 제1센서도그와 상호 작용에 의해 상기 이동블럭의 후진 구동위치를 감지하는 제2 구동위치검출센서; 상기 탄성가압부재의 연결브라켓에 마련되는 제2 센서도그; 및 상기 제1 구동위치검출센서의 감지와 연계하여 상기 탄성스프링의 탄성 압축량에 따라 상기 충전봉이 상기 충전단자에 충전 가능한 접촉상태인지 여부를 파악하기 위해 상기 제2센서도그와 상호 작용에 의해 충전 전기 신호를 발생시키는 충전안전센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 슬라이드충전부는 상기 바디부에 구비되고, 상기 클리닝 카세트와 상기 장치 본체가 서로 충전위치에 있는지 여부를 파악하도록 충전 위치검출센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 클리닝 카세트는, 상기 선반 또는 상기 로봇의 포크부에 선택적으로 안착 지지되는 카세트 프레임; 상기 로봇의 포크부에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 다수 형성되는 제1흡입공; 상기 선반에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 다수 형성되는 제2흡입공; 및 상기 제1,제2흡입공과 연결되며, 상기 충전배터리로부터 인가된 전원에 의해 동작되어 상기 제1,제2흡입공을 통해 상기 포크부와 상기 선반 상의 이물질을 선택적으로 흡입하는 집진부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1,제2흡입공은 상기 카세트 프레임의 두께 방향을 따라 깔때기 형상으로 상협하광(上狹下廣)하게 함몰 형성되고, 상기 카세트 프레임의 일 영역에는 이물질량을 감지하는 파티클 측정기가 구비되며, 상기 카세트 프레임의 상부 일 영역에는 먼지 량을 감시하거나 현장사진을 저장 및 전송할 수 있는 감시카메라가 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 집진부는, 상기 제1,제2흡입공에 연결되고 플렉시블한 연결호스; 상기 연결호스에 결합되는 이물질보관통; 상기 이물질보관통 내부에 구비되고, 흡입공기에 포함된 이물질을 1차로 걸러주는 제1집진필터; 상기 제1집진필터에서 이동하는 흡입공기에 포함된 미세 이물질을 2차로 걸러주는 제2집진필터; 및 상기 제1집진필터와 상기 제2집진필터 사이에 구비되어 진공을 발생하는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 연결호스는 이물질이 묻지 않는 대전 방지기능을 가지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1집진필터, 상기 제2집진필터, 상기 진공펌프는 1개로 통합된 상기 이물질보관통 내의 3개 구역에 각각 1개씩 다수 배치되고, 다수 배치된 상기 진공펌프는 상기 클리닝 카세트가 상기 선반 또는 상기 포크부의 안착 여부에 따라 선택적으로 작동하는 것을 특징으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 클리닝 카세트는, 하단부의 일 영역이 카세트 보관장치의 선반 또는 로봇의 포크부에 선택적으로 안착 지지되고, 격자 또는 캐비닛형상으로 이루어진 카세트 프레임; 상기 로봇의 포크부에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 형성되는 제1흡입공; 상기 선반에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 형성되는 제2흡입공; 및 상기 제1,제2흡입공과 연결되며, 충전배터리로부터 인가된 전원에 의해 동작되어 상기 제1,제2흡입공을 통해 상기 포크부와 상기 선반 상의 이물질을 선택적으로 흡입하는 집진부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1,제2흡입공은 상기 카세트 프레임의 두께 방향을 따라 깔때기 형상으로 상협하광(上狹下廣)하게 함몰 형성되고,

상기 제1,제2흡입공은 상기 카세트 프레임의 두께 방향을 따라 깔때기 형상으로 상협하광(上狹下廣)하게 함몰 형성되고, 상기 카세트 프레임의 일 영역에는 이물질량을 감지하는 파티클 측정기가 구비되며, 상기 카세트 프레임의 상부 일 영역에는 먼지 량을 감시하거나 현장사진을 저장 및 전송할 수 있는 감시카메라가 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1집진필터, 상기 제2집진필터, 상기 진공펌프는 1개로 통합된 상기 이물질보관통 내의 3개 구역에 각각 1개씩 순서대로 배치되고, 상기 진공펌프는 상기 클리닝 카세트가 상기 선반 또는 상기 포크부의 안착 여부에 따라 선택적으로 작동하는 것을 특징으로 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치는, 유리기판이 적재되는 카세트를 보관하는 카세트 보관장치의 선반 및 카세트를 이송하는 로봇의 포크부에 잔존하는 이물질을 용이하게 제거할 수 있다.

또한, 본 발명은 클리닝 카세트에 구비된 이동 충전유닛의 이동단자와 장치 본체에 구비된 고정 충전유닛의 고정단자의 접속을 모터, 실린더 등의 구동부의 자동 제어를 이용하여 접속하므로 접속 불량시, 복수의 구동위치검출센서와 충전안전센서의 2단 감지를 통해 반복 접속 시도가 가능함으로써 확실한 접속을 보장할 수 있다.

또한, 본 발명은 하부프레임에 형성된 진공 흡입공을 선반 설치 부위뿐만 아니라 로봇의 포크부 상측 부위에도 형성하여 로봇의 포크부 상의 이물질도 제거하므로 이물질 흡입 영역을 확대할 수 있다.

또한, 본 발명은 이물질을 흡입하여 저장하는 집진부를 프레임의 중심부에 통합 설치가 가능하므로 부품 설치공간을 최대한 확보할 수 있고, 정비 및 수리시 작업이 용이할 수 있다.

또한, 본 발명은 자중에 의해 무조건 접속이 이루어지는 종래의 전원 연결 유닛의 구성과 달리, 클리닝 카세트가 선반에 안착되더라도 충전배터리의 충전량이 부족해야지만 충전봉과 충전단자가 충전을 위한 접속이 이루어지므로 슬라이드 이동구조, 탄성스프링 등으로 이루어진 충전연결부의 내구성을 장시간 유지할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치에서 로봇의 포크부로 수납용 카세트를 선반에 안착하는 상태도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치의 선반에 클리닝 카세트를 안착한 상태도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클리닝 카세트의 사시도이다.
도 4는 도 3의 클리닝 카세트의 저면 사시도이다.
도 5는 도 3의 클리닝 카세트의 저면도이다.
도 6은 도 3의 클리닝 카세트의 측면도이다.
도 7은 도 4의 A 부 확대도이다.
도 8은 본 발명의 이물질보관통의 사시도이다.
도 9는 도 8의 단면구성도이다.
도 10은 본 발명의 슬라이드충전부와 충전단자 사이의 배치 상태 사시도이다.
도 11은 본 발명의 슬라이드충전부의 요부 분해 사시도이다.
도 12는 본 발명의 슬라이드충전부와 충전단자의 작동전 상태도이다.
도 13은 본 발명의 슬라이드충전부와 충전단자의 작동후 상태도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치에서 충전이 이루어진 과정을 보인 블럭도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 클리닝 카세트 및 그를 구비한 카세트 보관장치를 설명하도록 한다.

이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치에서 로봇의 포크부로 수납용 카세트를 선반에 안착하는 상태도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치의 선반에 클리닝 카세트를 안착한 상태도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클리닝 카세트의 사시도이고, 도 4는 도 3의 클리닝 카세트의 저면 사시도이며, 도 5는 도 3의 클리닝 카세트의 저면도이고, 도 6은 도 3의 클리닝 카세트의 측면도이며, 도 7은 도 4의 A 부 확대도이다.

도 8은 본 발명의 이물질보관통의 사시도이고, 도 9는 도 8의 단면구성도이며, 도 10은 본 발명의 슬라이드충전부와 충전단자 사이의 배치 상태 사시도이고, 도 11은 본 발명의 슬라이드충전부의 요부 분해 사시도이며, 도 12는 본 발명의 슬라이드충전부와 충전단자의 작동전 상태도이고, 도 13은 본 발명의 슬라이드충전부와 충전단자의 작동후 상태도이며, 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치에서 충전이 이루어진 과정을 보인 블럭도이다.

도 1 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 보관장치는, 로봇의 포크부(14)에 지지되어 이송된 수납용 카세트(16)를 안착하는 선반(18)과 선반(18)을 고정하는 고정프레임(12)을 구비하는 장치 본체(10)와, 선반(18)에 일 영역이 안착 지지되어 선반(18) 상의 이물질과 포크부(14)에 다른 영역이 안착 지지되어 포크부(18) 상의 이물질을 제거하기 위한 충전배터리(22)를 구비하는 클리닝 카세트(20)와, 클리닝 카세트(20)와 고정프레임(12)에 마련되고, 클리닝 카세트(20)가 선반(18)에 안착된 상태에서 충전배터리(20)의 충전량 부족이 감지될 때 충전배터리(22)에 전기적으로 연결되어 충전배터리(22)에 전원을 충전시키는 충전연결부(60)를 포함한다.

장치 본체(10)는 본 발명의 카세트 보관장치에서 유리기판이 다수 수납된 수납용 카세트(16) 또는 클리닝 카세트(20)가 안착 지지되는 구성으로서, 클리닝 카세트(20)를 제외한 나머지 구성들을 지칭한다.

즉, 장치 본체(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 고정프레임(12) 구조와 더불어 로봇의 포크부(14)를 포함한다.

장치 본체(10)에 구비된 선반(18)은 한 쌍이 구비된 1개 층을 도시하고 있으나, 필요에 따라, 2개 층 이상을 구비할 수 있다. 예를 들어 장치 본체(10)가 거대 구조물인 경우, 수개 층 내지 수십 층 이상 구비될 수도 있다.

장치 본체(10)의 선반(20)은 도 1에 도시된 바와 같이, 그 내부에 다수의 유리기판이 수납되는 다수의 슬롯(16a)을 구비 수납용 카세트(16)가 안착 지지되도록 구성된다.

앞서도 기술한 바와 같이, 다수의 유리기판이 수납된 수납용 카세트(16)는 어느 한 평판표시소자(FPD) 제조 설비에서 해당 공정이 완료된 후 다음의 평판표시소자 제조 설비로 바로 이송되는 것이 아니라 평판표시소자 제조설비들의 기판 처리 능력 및 시간의 차이에 의해 발생되는 시간 지연문제를 해소하기 위하여 장치 본체(10)의 선반(18)에 임시로 보관되며, 로봇의 포크부(14)에 의해 해당 공정을 수행하는 평판표시소자 제조 설비로 이송되는 것이다.

이때, 로봇의 포크부(14)에 의해 수납용 카세트(16)가 장치 본체(10)의 선반(18)에 적재, 반출되는 과정이 빈번하게 진행될 경우, 수납용 카세트(16)가 안착 지지되는 선반(18)에는 이물질(particle)이 떨어져 잔존될 수 있다. 로봇 포크부(14)의 역시 수납용 카세트(16)와 클리닝 카세트(20)를 빈번하게 이송하면서 포크부(140 상에 이물질이 잔존할 수 있다.

이와 같이, 클리닝 카세트(20)는 로봇의 포크부(14)를 이용하여 수납용 카세트(16) 또는 클리닝 카세트(20)를 선반(18)에 안착 지지하면서 선반(18)에 묻은 이물질과, 로봇의 포크부(14)에 묻은 이물질을 하단부에 마련된 흡입구조를 거쳐 흡입하여 제거한다.

따라서, 클리닝 카세트(20)는 유리기판 수납용 카세트(16)의 크기 및 부피와 거의 유사하게 제작될 것이므로 로봇의 포크부(14)로 수납용 카세트(16)와 클리닝 카세트(20)를 용이하게 다룰 수 있다.

클리닝 카세트(20)는 선반(18) 또는 로봇의 포크부(14)에 선택적으로 안착 지지되는 카세트 프레임(24)과, 카세트 프레임(24)에 구비되는 충전배터리(22)와, 로봇의 포크부(14)에 접촉되는 카세트 프레임(24)의 하단부에 다수 형성되는 제1흡입공(26)과, 선반(18)에 접촉되는 카세트 프레임(24)의 하단부에 다수 형성되는 제2흡입공(28)과, 제1,제2흡입공(26)(28)과 연결되며, 충전배터리(22)로부터 인가된 전원에 의해 동작되어 제1,제2흡입공(26)(28)을 통해 포크부(14)와 선반(18) 상의 이물질을 선택적으로 흡입하는 집진부(30)를 포함한다.

카세트 프레임(24)은 클리닝 카세트(20)의 외형을 형성하는 구성으로서, 상측 프레임, 하측 프레임 및 측면 프레임을 상호 연결하여 구성될 수 있다.

물론, 카세트 프레임(24)은 필요에 따라 박스 또는 캐비닛 구조와 같이 다양한 형상으로 제작되는 것이 가능하다.

카세트 프레임(24)의 일 영역에는 이물질량을 감지하는 파티클 측정기(40)가 구비되고, 상부 일 영역에는 먼지 량을 감시하거나 현장사진을 저장 및 전송할 수 있는 감시카메라(54)가 구비된다.

또한, 카세트 프레임(24)에는 무선통신을 통하여 클리닝 시스템 상태 정보 및 효과적인 운영이 이루어지게 하는 무선통신기(52)가 구비된다.

충전배터리(22)는 전원을 충전하고 충전된 전원을 필요한 수요처로 공급하는 구성으로서, 리튬 폴리머 배터리가 적용되는 것이 바람직하다. 물론, 충전 배터리는 다양한 종류의 배터리를 사용할 수 있으며 권리를 제한할 필요는 없다.

충전배터리(22)는 배터리의 온도를 측정하여 더 이상 충전되는 것을 자동으로 차단하여 화재를 방지할 수 있는 화재방지기능과, 배터리를 보호하는 배터리 보호기능과, 이물질의 클린도에 따라 펌프 흡입속도를 효율적으로 조절하여 배터리 사용 시간을 증대하는 기능 등을 내장할 수 있다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 집진부(30)는 제1,제2흡입공(26)(28)에 연결되고 플렉시블한 연결호스(32)와, 연결호스(32)에 결합되는 이물질보관통(33)과, 이물질보관통(33) 내부에 구비되고, 흡입공기에 포함된 이물질을 1차로 걸러주는 제1집진필터(34)와, 제1집진필터(34)에서 이동하는 흡입공기에 포함된 미세 이물질을 2차로 걸러주는 제2집진필터(36)와, 제1집진필터(34)와 제2집진필터(36) 사이에 구비되어 진공 흡입력을 발생하는 진공펌프(38)를 포함한다.

제1,제2흡입공(26)(28)은 카세트 프레임(24)의 두께 방향을 따라 깔때기 형상으로 상협하광(上狹下廣)하게 함몰 형성된다.

즉, 제1,제2흡입공(26)(28)은 진공펌프(38)의 진공 흡입력에 의해 하측의 넓은 영역에서 이물질을 흡입하여 상측으로 갈수록 빠른 속도로 흡입되어 연결호스(32)를 거쳐 제1집진필터(34)와 제2집진필터(36)에서 이물질이 걸려진 후 깨끗한 청정공기가 외부로 배출되는 것이다.

제1흡입공(26)은 한 쌍의 포크부(14)에 각각 접촉되는 카세트 프레임(24)의 하단부에 형성되는 다수의 이물질 흡입공으로서, 카세트 프레임(24)의 중심부와 양측 가장자리부 사이 저면 영역에 2개소 형성된다.

제2흡입공(28)은 한 쌍의 선반(18)에 접촉되는 카세트 프레임(24)의 하단부에 다수 형성되는 이물질 흡입공으로서, 카세트 프레임(24)의 양측 가장자리부 저면 영역에 형성된다.

연결호스(32)는 이물질이 묻지 않는 대전 방지기능을 가지는 것이 바람직하다.

제1집진필터(34)는 제2집진필터(36)에 비하여 덜 촘촘하게 형성되어 비교적 굵은 이물질을 1차로 걸려주는 역할을 한다.

제2집진필터(36)은 제1집진필터(34)에서 걸러지지 않고 통과한 미세한 이물질을 걸러주는 역할을 한다.

이와 같이, 진공펌프(38)는 제1집진필터(34)와 제2집진필터(36) 사이에 구비되므로 제1집진필터(34)에서 큰 이물질이 미리 걸려지므로 진공펌프(38)에 내장된 모터가 파손되는 것을 방지할 수 있다.

제1집진필터(34), 제2집진필터(36), 진공펌프(38)는 1개로 통합된 이물질보관통(33) 내의 3개 구역에 각각 1개씩 다수 배치된다.

즉, 이물질보관통(33) 내에 3개 배치된 진공펌프(38)는 클리닝 카세트(20)가 선반(18) 또는 포크부(14)의 안착 여부에 따라 선택적으로 작동하도록 구성된다.

즉, 클리닝 카세트(20)가 선반(18)에 안착되는 경우, 제2흡입공(28)에 연결된 다수의 연결호스(32)를 거쳐 이물질보관통(33) 내에서 양측에 마련된 2개의 진공펌프(38)를 가동하여 선반(18) 상의 이물질을 흡입한다.

아울러, 클리닝 카세트(20)가 포크부(14)에 안착되는 경우, 제1흡입공(26)에 연결된 다수의 연결호스(32)를 거쳐 이물질보관통(33) 내에서 중심에 마련된 1개의 진공펌프(38)를 가동하여 포크부(14) 상의 이물질을 흡입한다.

따라서, 진공펌프(38)를 선택적으로 가동하므로 충전배터리(22)의 소모량을 줄여줄 수 있다.

클리닝 카세트(20)를 이용하여 선반(18) 또는 포크부(14) 상의 이물질을 제거하더라도 클리닝 카세트(20)에는 이물질 제거를 위한 전원이 공급되어야 하므로 클리닝 카세트(20)로의 전원 공급 문제가 적절하게 해결되어야 한다.

이러한 전원 공급 문제를 위하여 본 발명의 카세트 보관장치는, 클리닝 카세트(20)와 고정프레임(12)에 마련되고, 클리닝 카세트(20)가 선반(18)에 안착 상태에서 충전배터리(20)의 충전량 부족이 감지될 때 충전배터리(22)에 전기적으로 연결되어 충전배터리(22)에 전원을 충전시키는 충전연결부(60)를 구비한다.

이와 같이, 충전연결부(60)는 클리닝 카세트(20)에 마련되고, 적어도 하나의 충전봉(63)을 슬라이드 이동가능하게 구비하는 슬라이드충전부(62)와, 고정프레임(12)에 마련되고, 충전봉(63)과 전기적으로 접속되는 충전단자(100)를 포함한다.

또한, 충전연결부(60)는 충전배터리(22)의 전원 충전량 부족을 감지하는 충전량감지부(94)의 감지신호를 받아들여 충전배터리(22)가 전기적으로 연결되도록 컨트롤러(50)의 제어를 통해 슬라이드충전부(62)를 작동하도록 한다.

즉, 클리닝 카세트(20)가 장치 본체(10)의 선반(18)에 안착 되면, 무조건 충전이 이루어지게 하는 종래 구성과 달리, 클리닝 카세트(20)가 선반(18)에 안착 되더라도 충전배터리(22)의 충전량이 부족하지 않으면, 충전이 이루어지지 않으므로 충전배터리(22)의 효율적으로 사용할 수 있다.

예를 들어, 충전배터리(22)의 충전량이 50%인 경우, 충전량 부족을 감지한 충전량감지부(94)에서 감지하여 컨트롤러(50)에 보내고 이 감지신호를 통해 컨트롤러(50)에서 슬라이드구동부(62)의 구동모터(66)를 작동함으로써 충전봉(63)이 슬라이드 이동하여 충전단자(100)에 접속되므로 충전이 비로소 이루어진다.

충전량감지부(94)는 충전배터리(22)의 전압과 전류의 차이를 감지하여 충전량 부족을 파악한다. 충전량감지부(94)의 충전량 부족은 필요에 따라 적절한 기준수치로 정하도록 한다.

이와 같이, 클리닝 카세트(20)가 선반(18)에 안착 시 클리닝 카세트(20)의 무게에 의해 무조건 충전이 이루어지는 종래 구성과 달리, 본 발명은 충전배터리(22)의 충전 부족량을 감지를 통해 충전이 이루어지므로 충전배터리(22)를 보호하고, 빈번한 충전으로 인한 내구 수명이 줄어드는 것을 최대한 방지할 수 있다.

충전량감지부(94)는 충전배터리(22) 또는 클리닝 카세트(20)의 카세트 프레임(24) 내부 적소에 구비될 수 있다.

컨트롤러(50)는 카세트 프레임(24)의 상측 중심부에 컨트럴PC 형태로 구비된다. 물론, 카세트 프레임(24)의 다른 위치에 구비될 수 있다.

도 10 내지 도 14를 참조하면, 슬라이드충전부(62)는 바디부(64)와, 바디부(64)에 고정되는 구동모터(66)와, 구동모터(66)에 고정된 나사축(65)에 나사결합되어 나사축(65)의 회전 동작에 의해 전후 이동하는 이동블럭(68)과, 이동블럭(68)에 연결되고, 충전봉(63)을 충전단자(100)로 이동시켜 접속시키는 탄성가압부재(70)를 포함한다.

구동모터(66) 대신에 실린더를 구동체로 사용할 수 있다.

이동블럭(68)은 나사축(65)의 양측에 이동블럭(68)의 이동을 안내하도록 한 쌍의 가이드축(67)이 구비된다.

본 발명의 실시 예에서는 충전봉(63)과 충전단자(100)는 2개씩 구성된 상태를 도시하고 있으며, 필요에 따라 개수는 증감할 수 있다.

탄성가압부재(70)는 이동블럭(68)에 구비되는 연결브라켓(72)과, 충전봉(63)의 후방에 형성되는 삽입홀(74)와, 충전봉(63)의 삽입홀(74)에 일단이 삽입되고, 타단이 연결브라켓(72)에 고정되는 이동봉(76)과, 이동봉(76)의 외주면에 구비되고, 연결브라켓(72)의 이동에 의해 충전봉(63)이 충전단자(100)에 접속시, 이동봉(76)이 충전봉(63)의 삽입홀(74) 내에서 이동하면서 충전봉(63)을 충전단자(100)에 탄성 가압되게 밀어주는 탄성스프링(78)을 포함한다.

충전봉(63)이 충전단자(100)에 정확하고 강력하게 가압 되지 않으면, 충전봉(63)이 충전단자(100)에 약하게 접촉되거나 접촉되는 순간 또는 분리되는 순간 스파크(Spark)가 발생될 수 있다. 이를 해소하기 위해 탄성스프링(78)의 탄성 가압력을 이용하여 강하게 압착하는 것이다.

슬라이드충전부(62)는 이동블럭(68)과 충전봉(63)의 위치를 감지하고 충전 가능한지 여부를 파악하여 충전을 위한 전기신호를 발생하는 센서조립체(80)를 포함한다.

센서조립체(80)는 이동블럭(68)에 구비된 제1센서도그(82)와, 제1센서도그(82)와 상호 작용에 의해 이동블럭(68)의 전진 구동위치를 감지하고 바디부(64)에 구비된 제1 구동위치검출센서(84)와, 제1센서도그(82)와 상호 작용에 의해 이동블럭(68)의 후진 구동위치를 감지하고 바디부(64)에 구비된 제2 구동위치검출센서(86)와, 찬성가압부재(70)의 연결브라켓(72)에 마련되는 제2 센서도그(88)와, 제1 구동위치검출센서(84)의 감지와 연계하여 탄성스프링(78)의 탄성 압축량에 따라 충전봉(63)이 충전단자(100)에 충전 가능한 접촉상태인지 여부를 파악하기 위해 제2센서도그(88)와 상호 작용에 의해 충전 전기신호 신호를 발생시키는 충전안전센서(94)를 포함한다.

충전안전센서(94)는 충전배터리(22)에 충전을 위한 전기기 신호를 발생시키고, 그와 더불어 구동모터(66) 정지신호를 발생시킬 수 있다.

슬라이드충전부(62)는 바디부(64)에 구비되고, 클리닝 카세트(20)와 장치 본체(10)가 서로 충전위치에 있는지 여부를 파악하도록 충전 위치검출센서(92)를 구비할 수 있다. 충전 위치검출센서(92)는 반드시 구비될 필요는 없다.

충전 위치검출센서(92)는 센서에서 조사된 광이 충전단자(100)의 상측에 마련된 반사 테이프(98)에 반사되면서 클리닝 카세트(20)와 장치 본체(10)의 근접 위치를 감지하여 충전 위치 신호를 발생하게 되며, 이를 바탕으로, 충전배터리(22)의 충전량 부족이 충전량감지부(94)에서 감지된 경우 감지신호를 컨트롤러(50)에 보내면, 컨트롤러(50)에서 제어신호를 슬라이드충전부(62)의 구동모터(66)로 보낸다.

이때, 클리닝 카세트(20)가 장치 본체(10)의 선반(18)에 위치를 벗어난 상태로 어긋나게 안착된 경우 충전 위치검출센서(92)에서 조사되는 광이 반사 테이프(98)에 반사되지 않을 것이므로 충전배터리(22)의 충전량 부족이 충전량감지부(94)에서 감지되었더라도 콘트롤러(50)에서 구동모터(66)에 전기 제어신호를 발생하지 않는다.

연이어, 구동모터(66)가 나사축(65)를 회전시키면, 가이드축(67)의 안내를 받으면서 나사결합된 이동블럭(68)이 전방으로 이동한다.

그리고, 이동블럭(68)에 구비된 연결브라켓(72)을 통하여 충전봉(63)을 전방으로 이동시켜 충전단자(100)에 접속시킨다.

이때, 이동블럭(68)에 구비된 제1센서도그(82)가 바디부(64)에 마련된 제1 구동위치검출센서(84)의 발광부와 수광부 사이를 지나면서 제1 구동위치검출센서(84)가 감지신호를 발생하게 된다.

하지만, 제2센서도그(88)가 충전안전센서(90)에서 검출되지 않은 경우, 바로 충전을 위한 전기적인 접점신호를 바로 발생하지는 않는다.

따라서, 구동모터(66)는 더 회전하게 되면서, 이동블럭(68)에 구비된 연결브라켓(72)이 충전봉(63)의 삽입홀(74)에 끼워진 이동봉(76)의 외주면에 구비된 탄성스프링(78)를 가압하면서 압축시킴에 따라, 이동봉(76)이 삽입홀(74) 내로 진입하므로 충전봉(63)이 탄성스프링(78)에 의해 충전단자(100)에 스파크가 방지될 정도의 가압력을 가한 상태로 압착된다.

그리고, 탄성스프링(78)의 압착이 이루어짐에 따라 연결브라켓(72)에 구비된 제2센서도그(88)가 바디부(64)에 마련된 충전안전센서(90)에 감지되면서 2차에 걸친 검출신호를 발생시키게 되고, 최종적인 충전을 위한 전기적인 접점신호를 발생시킨다. 그와 더불어 구동모터(66)의 정지 신호도 발생시켜 구동을 멈춘다.

이와 같이, 충전봉(63)과 충전단자(100)는 안전이 보장된 상태에서 접속이 이루어진 후 비로소 충전 작업이 이루어지므로 스파크로 인한 충전배터리(22)와 기타 여러 회로를 보호할 수 있는 것이다.

물론, 필요에 따라 충전안전센서(90)의 작동 없이 제1 구동위치검출센서(84)의 감지신호만으로 충전을 위한 전기적인 접점신호를 발생하도록 구성할 수도 있다.

한편, 충전배터(22)가 충분하게 충전이 이루어진 후, 충전봉(63)과 충전단자(100)의 접속을 해제하여 충전 작업을 멈추고자 한다면 구동모터(66)를 반대방향으로 회전하여 이동블럭(68)에 구비된 제1센서도그(82)가 후진 이동하게 되고 바디부(64)에 마련된 제2 구동위치검출센서(86)의 발광부와 수광부 사이를 지나면서 제2 구동위치검출센서(86)가 정지를 위한 접점신호를 발생하여 구동모터(66)를 정지하도록 한다.

본 발명의 클리닝 카세트(20)는 충전 상태를 표시하는 충전상태 표시용 시그널타워가 구비되어 여러 색상(그린(양호), 옐로(보통), 레드(부족))의 램프를 이용하여 색상을 표출함으로써 충전 부족 상태 및 충전 완료 상태를 표시할 수 있다.

한편, 종래의 카세트 보관 시스템은 클리닝 카세트가 자중에 의하여 선반에 안착되면 무조건 충전을 위한 접속이 이루어지므로 탄성부재(코일스프링) 등으로 이루어진 전원연결 유닛의 내구성이 약해지는 단점이 있는 반면에, 본 발명의 카세트 보관장치는 클리닝 카세트(20)가 선반(18)에 안착되더라도 충전배터리(22)의 충전량이 부족해야지만 충전을 위한 접속이 이루어지므로 탄성스프링(78) 등으로 이루어진 충전연결부(60)의 내구성을 장시간 유지할 수 있는 장점이 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

10 : 장치본체 12 : 고정프레임
14 : 포크부 16 : 수납용 카세트
18 : 선반 20 : 클리닝 카세트
22 : 충전배터리 24 : 카세트 프레임
26,28 : 제1,제2흡입공 30 : 집진부
32 : 연결호스 34,36 : 제1,제2집진필터
38 : 진공펌프 50 : 컨트롤러
54 : 감시카메라 60 : 충전연결부
62 : 슬라이드충전부 64 : 바디부
66 : 구동모터 65 : 나사축
68 : 이동블럭 70 : 탄성가압부재
72 : 연결브라켓 76 : 이동봉
78 : 탄성스프링 80 : 센서조립체
82 : 제1, 제2센서도그 84 : 제1,제2 구동위치검출센서
90 : 충전안전센서 92 : 충전 위치검출센서
94 : 충전량 감지부 100 : 충전단자

Claims

로봇의 포크부에 지지되어 이송된 수납용 카세트를 안착하는 선반과 상기 선반을 고정하는 고정프레임을 구비하는 장치 본체;
상기 선반에 일 영역이 안착 지지되어 상기 선반 상의 이물질과 상기 포크부에 다른 영역이 안착 지지되어 상기 포크부 상의 이물질을 제거하도록 충전배터리를 구비하는 클리닝 카세트; 및
상기 클리닝 카세트와 상기 고정프레임에 마련되고, 상기 클리닝 카세트가 상기 선반에 안착된 상태에서 상기 충전배터리의 충전량 부족이 감지될 때 상기 충전배터리에 전기적으로 연결되어 상기 충전배터리에 전원을 충전시키는 충전연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 1항에 있어서,
상기 충전연결부는,
상기 클리닝 카세트에 마련되고, 적어도 하나의 충전봉을 슬라이드 이동가능하게 구비하는 슬라이드충전부; 및
상기 고정프레임에 마련되고, 상기 충전봉과 전기적으로 접속되는 충전단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 충전연결부는 상기 충전배터리의 전원 충전량 부족을 감지하는 충전량감지부의 감지신호를 받아들여 상기 충전배터리가 전기적으로 연결되도록 컨트롤러의 제어를 통해 슬라이드충전부를 작동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 2항에 있어서,
상기 슬라이드충전부는,
바디부;
상기 바디부에 고정되는 구동모터;
상기 구동모터에 고정된 나사축에 나사결합되어 상기 나사축의 회전 동작에 의해 전후 이동하는 이동블럭; 및
상기 이동블럭에 연결되고, 상기 충전봉을 상기 충전단자로 이동시켜 접속시키는 탄성가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 4항에 있어서,
상기 탄성가압부재는 상기 이동블럭에 구비되는 연결브라켓;
상기 충전봉의 후방에 형성되는 삽입홀;
상기 충전봉의 삽입홀에 일단이 삽입되고, 타단이 상기 연결브라켓에 고정되는 이동봉; 및
상기 이동봉의 외주면에 구비되고, 상기 연결브라켓의 이동에 의해 상기 충전봉이 상기 충전단자에 접속시, 상기 이동봉이 상기 삽입홀 내에서 이동하면서 상기 충전봉을 상기 충전단자에 탄성 가압되게 밀어주는 탄성스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 4항 또는 제 5항에 있어서,
상기 슬라이드충전부는 상기 이동블럭과 상기 충전봉의 위치를 감지하고 충전 가능한지 여부를 파악하여 충전을 위한 전기신호를 발생하는 센서조립체를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 6항에 있어서,
상기 센서조립체는 상기 이동블럭에 구비된 제1센서도그;
상기 제1센서도그와 상호 작용에 의해 상기 이동블럭의 전진 구동위치를 감지하는 제1 구동위치검출센서;
상기 제1센서도그와 상호 작용에 의해 상기 이동블럭의 후진 구동위치를 감지하는 제2 구동위치검출센서;
상기 탄성가압부재의 연결브라켓에 마련되는 제2 센서도그; 및
상기 제1 구동위치검출센서의 감지와 연계하여 상기 탄성스프링의 탄성 압축량에 따라 상기 충전봉이 상기 충전단자에 충전 가능한 접촉상태인지 여부를 파악하기 위해 상기 제2센서도그와 상호 작용에 의해 충전 전기 신호를 발생시키는 충전안전센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 4항에 있어서,
상기 슬라이드충전부는 상기 바디부에 구비되고, 상기 클리닝 카세트와 상기 장치 본체가 서로 충전위치에 있는지 여부를 파악하도록 충전 위치검출센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 1항에 있어서,
상기 클리닝 카세트는,
상기 선반 또는 상기 로봇의 포크부에 선택적으로 안착 지지되는 카세트 프레임;
상기 로봇의 포크부에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 다수 형성되는 제1흡입공;
상기 선반에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 다수 형성되는 제2흡입공; 및
상기 제1,제2흡입공과 연결되며, 상기 충전배터리로부터 인가된 전원에 의해 동작되어 상기 제1,제2흡입공을 통해 상기 포크부와 상기 선반 상의 이물질을 선택적으로 흡입하는 집진부를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 9항에 있어서,
상기 제1,제2흡입공은 상기 카세트 프레임의 두께 방향을 따라 깔때기 형상으로 상협하광(上狹下廣)하게 함몰 형성되고,
상기 카세트 프레임의 일 영역에는 이물질량을 감지하는 파티클 측정기가 구비되고,
상기 카세트 프레임의 상부 일 영역에는 먼지 량을 감시하거나 현장사진을 저장 및 전송할 수 있는 감시카메라가 구비되는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 9항에 있어서,
상기 집진부는,
상기 제1,제2흡입공에 연결되고 플렉시블한 연결호스;
상기 연결호스에 결합되는 이물질보관통;
상기 이물질보관통 내부에 구비되고, 흡입공기에 포함된 이물질을 1차로 걸러주는 제1집진필터;
상기 제1집진필터에서 이동하는 흡입공기에 포함된 미세 이물질을 2차로 걸러주는 제2집진필터; 및
상기 제1집진필터와 상기 제2집진필터 사이에 구비되어 진공을 발생하는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 11항에 있어서,
상기 연결호스는 이물질이 묻지 않는 대전 방지기능을 가지는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
제 11항에 있어서,
상기 제1집진필터, 상기 제2집진필터, 상기 진공펌프는 1개로 통합된 상기 이물질보관통 내의 3개 구역에 각각 1개씩 다수 배치되고,
다수 배치된 상기 진공펌프는 상기 클리닝 카세트가 상기 선반 또는 상기 포크부의 안착 여부에 따라 선택적으로 작동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트를 구비한 카세트 보관장치.
하단부의 일 영역이 카세트 보관장치의 선반 또는 로봇의 포크부에 선택적으로 안착 지지되고, 격자 또는 캐비닛형상으로 이루어진 카세트 프레임;
상기 로봇의 포크부에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 형성되는 제1흡입공;
상기 선반에 접촉되는 상기 카세트 프레임의 하단부에 형성되는 제2흡입공; 및
상기 제1,제2흡입공과 연결되며, 충전배터리로부터 인가된 전원에 의해 동작되어 상기 제1,제2흡입공을 통해 상기 포크부와 상기 선반 상의 이물질을 선택적으로 흡입하는 집진부를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
제 14항에 있어서,
상기 제1,제2흡입공은 상기 카세트 프레임의 두께 방향을 따라 깔때기 형상으로 상협하광(上狹下廣)하게 함몰 형성되고,
상기 카세트 프레임의 일 영역에는 이물질량을 감지하는 파티클 측정기가 구비되고,
상기 카세트 프레임의 상부 일 영역에는 먼지 량을 감시하거나 현장사진을 저장 및 전송할 수 있는 감시카메라가 구비되는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
제 14항에 있어서,
상기 집진부는,
상기 제1,제2흡입공에 연결되고 플렉시블한 연결호스;
상기 연결호스에 결합되는 이물질보관통;
상기 이물질보관통 내부에 구비되고, 흡입공기에 포함된 이물질을 1차로 걸러주는 제1집진필터;
상기 제1집진필터에서 이동하는 흡입공기에 포함된 미세 이물질을 2차로 걸러주는 제2집진필터; 및
상기 제1집진필터와 상기 제2집진필터 사이에 구비되어 진공을 발생하는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
제 16항에 있어서,
상기 연결호스는 이물질이 묻지 않는 대전 방지기능을 가지는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
제 16항에 있어서,
상기 제1집진필터, 상기 제2집진필터, 상기 진공펌프는 1개로 통합된 상기 이물질보관통 내의 3개 구역에 각각 1개씩 다수 배치되고,
다수 배치된 상기 진공펌프는 상기 클리닝 카세트가 상기 선반 또는 상기 포크부의 안착 여부에 따라 선택적으로 작동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.