JP2005119332A - 複数段に荷物積載可能な無人搬送車 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の大型化、積載量の増大に対応可能な無人搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車1に2段積の棚3,4を設けることにより、製造装置から処理済みカセット回収と、未処理カセットの供給を1回のアクセスで実施する。搬送台車1のカセット棚3,4空間の一部をロボット旋回スペースとして共用し、ロボット2を空の棚位置でのみ旋回させ、その分搬送台車1の小型化を図った。またバッテリー充電プラグ40は車体の傾きに自律的に追随し、確実に結合できるフレキシブル構造とした。
【選択図】図1
Description
(1)ガラス基板積載枚数増強のための搬送台車のカセット積載構造。
(2)大型サイズ基板を多数枚搭載する搬送台車の大型化、重量化を押さえコンパクト化する方法。
(3)充電作業における車体側受電カプラと、地上局側の給電カプラとの結合安定性確保の方法。
まず図1、図2により搬送台車の2段棚構造について説明する。
図1は無人搬送車側面図、図2は上面図である。
1は無人搬送車全体であり、走行方向に長い直方体形状をなす。無人搬送車フレーム6の中央部には移載ロボット2がロボット支持アングル16にロボット固定ボルト19により固定されている。また、ロボット支持アングル16は、垂直方向駆動テーブル10に固定されており、垂直方向駆動テーブル10は図示されていないボールネジにより上下に駆動される。
無人搬送車フレーム6の前後面には緊急時など、台車をマニュアルモードで操作せねばならぬための操作パネルとして、走行前面操作パネル21と走行背面操作パネル22が設けられている。これにより、一方のパネル操作困難な場所に無人搬送車が乗り入れても、他方の操作パネルで容易に操作することが可能である。
ロボット支持アングル16上に固定されている移載ロボット2は、ロボット本体11とこの上に取り付けられた回転テーブル12、さらに1段目アーム13、2段目アーム14、さらにその上部に設けられたテーブル15により構成される。ロボットの回転動作は回転テーブル12で行なわれ、アームの伸縮は1段目アーム13、2段目アーム14、および最上段のテーブルの伸縮にて行なわれる。垂直方向の上下運動は垂直方向駆動テーブル10により行なわれる。
図2にはロボットアーム先端回転軌跡20が図示されているが、図よりカセット載置エリア39と重なっていることが確認される。即ち、棚にカセットを載置した状態で回転テーブル12を回転させると、ロボットアーム先端は載置されたカセットに衝突する。衝突はロボット設置エリア寸法Wをロボットアーム先端とカセットが干渉しない寸法にまで拡大させることより容易に回避できるが、本発明では敢えて干渉の生じる図2の構成を採ることにより、無人搬送台車の外形サイズの縮小化を図っている。
基本的には、カセットが載置された棚でロボットアームは回転させず、カセットが載置されていない棚部のみにて回転を行う方法を採る。具体的には、カセットの有無を検出する上段リミットスイッチ23、23と、下段リミットスイッチ24、24の出力をチェックし、上段透過センサと下段透過センサの出力を監視しながら、垂直方向駆動テーブル10を駆動させ、カセットの載置されていない棚位置までロボット支持アングル16を移動させる。カセットが載置されていない棚位置にロボット支持アングルが到達した時点で垂直方向駆動テーブル10を停止させ、必要に応じて適宜回転を実施する。
図7は無人搬送台車1が液晶製造装置35にアクセスし、搬送して来たカセットを液晶製造装置入出ポート33に載置する状況を示している。この場合、液晶ガラス基板の収納されたカセットの重量は約240kgと、従来の常識では考えられない重さである。通常、これだけの重量がロボットアームの先端に負荷されると、ロボットアームは片持梁構造をなすため、アーム付け根に作用する荷重モーメントも従来では考えられない大きな値となりアームは湾曲してたわむ。
無人搬送台車がカセット2つを上下段棚に積載した状態で台車総重量は約3トンとなる。無人搬送台車の走行安定性を図るためには、走行時の台車重心を可能な限り低位置にする必要がある。本実施例の無人搬送台車では、最も低位置にある走行時位置透過センサ57の位置に移載ロボット2が存在することを確認した後、走行動作に移る。
無人搬送台車は充電装置の設置されたロードポートにアクセスする場合、消費した電力を補充するため、併設された充電ステーション43に位置決めして停止する。給電カプラ41の直結している給電カプラ駆動軸42は駆動モータ49により水平左方向に駆動され、給電カプラ41は無人搬送台車に取り付けられた受電カプラ40とコンタクトする。給電カプラ41と受電カプラ40が正常にコンタクトすると、電圧、電流の時間遷移パターンに従って充電作業が実施される。
充電カプラは受電カプラ40と給電カプラ41とで構成される。さらに受電カプラ40はカプラ端子本体46、受電カプラホルダー47の2つの主要部品で構成されている。このうちカプラ端子本体46は給電電極にコンタクトし充電を受けるための受電側接触電極板52、これに接続一体化される受電極導体バー50が一体化されており、さらに受電側接触電極板52を給電側接触電極板55に圧接するための電極付勢スプリング48及び電極付勢スプリング止め51が組込まれている。
図6に示す給電カプラ本体46の前面には4点で受電カプラ端子本体46に接触する接触面決定ピン54が設けられている。また給電カプラ本体53と給電カプラ駆動軸42の間にバネ45が挿入されているので、接触面決定ピン54を有する給電カプラ本体53が受電カプラ40のカプラ端子本体46に押し当てられると、最初接触する4点のピンで形成される接触面に適合して給電カプラ駆動軸42と直列に取け付けられたバネ45が変形するため、受電カプラ端子本体46と給電カプラ本体53との接触面が平行に保たれ、受電側接触電極板52と給電側接触電極板55とは確実に接触する。
図3において、無人搬送台車1の走行する走行軌道は工程間軌道30、分岐軌道31、工程内軌道32から構成される。25はストッカで分岐軌道31に接続された分岐軌道INポート28、分岐軌道OUTポート29と工程内軌道32に接続された工程内軌道INポート26と工程内軌道OUTポート27がある。また工程内軌道32上には液晶製造装置35があり、工程内軌道32とは液晶製造装置入出ポート33で接続されている。また、充電ステーション43はロードポート35に併設されており、無人搬送台車の充電作業は液晶製造装置入出ポート33への荷物の移載作業と同時に実施される。
カセットを積載せず工程内軌道32上を巡回待機していた無人搬送台車1が図示されていないシステムコントローラよりストッカ25から製造の中間状態にあるガラス液晶基板の収納されたカセットを取り出し、液晶製造装置35に搬送すると同時に、液晶製造装置35で処理の終了したガラス基板の収納されたカセットを受け取り、ストッカ25まで搬送するよう指令を受けたとする。搬送台車1は工程内軌道32上を矢印方向に走行し、工程内軌道OUTポート27に向かう、またシステムコントローラの指令を受けたストッカ25は搬送台車1の到着前に工程内軌道OUTポート27上に指示されたカセットを載置する。工程内軌道OUTポート27に到着した搬送台車1は移載ロボット2を動作させてカセットを下段棚4に積み込む。
工程内軌道OUTポート27に到着した搬送台車1は走行時位置透過センサ57の位置にあったロボット支持アングル16を垂直方向駆動テーブル10の駆動により、下段透過センサ8の位置に移動させる。下段棚4上に設けられた下段リミットスイッチ24の出力信号をチェックし、下段棚4にカセットの存在しないことを確認し、回転テーブル12を時計回りに90度回転させる。このとき、回転テーブル12に取り付けられた落下防止ガード36も同時に回転する。
2 移動ロボット
3 上段棚
4 下段棚
7 上段透過センサ
8 下段透過センサ
11 ロボット本体
12 回転テーブル
18 カセット
23 上段リミットスイッチ
24 下段リミットスイッチ
25 ストッカ
30 工程間軌道
31 分岐軌道
32 工程内軌道
33 液晶製造装置入出ポート
35 液晶製造装置
40 受電カプラ
41 給電カプラ
43 充電ステーション
Claims (4)
- 走行ガイドに沿って走行し物品を搬送するバッテリー駆動の無人搬送台車であって、少なくとも物品搭載用の複数段の棚機構を有し、水平方向に旋回自由、垂直方向に昇降自由、進行方向の左右より物品の移載が可能で伸縮自在なアーム機構を有する移載ロボットを搭載した無人搬送車。
- 請求項1に記載の昇降自由、水平方向に旋回自由なロボットであって、複数段の棚のうち荷物が積載されていない段の棚位置でのみ移載ロボットを旋回させる無人搬送車。
- 地上側に設置されたバッテリー充電装置用給電カプラと、無人搬送車側面に設置されたバッテリー充電装置用受電カプラから構成される無人搬送台車用充電装置であって、前記受電カプラが無人搬送車に設けられた受電カプラ支持部にカプラ端子本体の長手方向両端部にて回転自在にピン支持された構造をなす受電カプラを有する無人搬送車。
- 無人搬送車側面に設置されたバッテリー充電装置用受電カプラに当接し、無人搬送車に搭載されたバッテリーを充電する地上設置バッテリー充電装置の給電カプラであって、前面に一組の接触面決定ピンを有し、バネを介し給電カプラ駆動軸に一体化して組み込まれ、前記駆動軸は連結したモータの回転により水平方向に往復運動し、前記受電カプラに当接する方向への駆動時、前記給電カプラ接触面決定ピンが前記受電カプラ表面に押し当てられ、前記受電カプラと前記給電カプラの対向接触面が自律的に平行に調整される無人搬送車用充電装置。
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