KR20100125029A - 클리닝 카세트 및그를 구비하는 카세트 보관 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 다수의 기판이 수납된 기판 수납용 카세트가 안착 지지되는 다수의 선반을 구비하는 시스템 본체;전원 유닛을 구비하며, 하단부의 적어도 일 영역이 상기 선반에 안착 지지되어 상기 선반 상의 파티클(particle)을 제거하는(cleaning) 클리닝 카세트; 및적어도 어느 한 선반과 상기 클리닝 카세트에 마련되며, 해당 선반에 상기 클리닝 카세트가 안착 지지될 때 상기 전원 유닛에 전기적으로 연결되어 상기 전원 유닛에 전원을 충전시키는 전원 연결 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 전원 연결 유닛은,상기 선반에 마련되되 적어도 하나의 충전 핀을 구비하는 충전 스테이션; 및상기 클리닝 카세트에 마련되어 상기 충전 핀과 전기적으로 연결되는 충전 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 충전 스테이션은,몸체부;상기 충전 핀을 지지하되 상기 몸체부 내에서 충전 핀과 함께 승하강 이동되는 핀 지지블록;상기 핀 지지블록과 연결되어 상기 충전 핀의 승하강 이동 축선을 형성하는 샤프트;상기 샤프트와 이격된 위치에서 상기 샤프트의 하부 영역에 마련되는 센서; 및상기 샤프트의 하단부에 결합되며, 상기 클리닝 카세트의 충전 단자가 상기 선반의 충전 핀에 접촉되어 상기 클리닝 카세트의 무게로 상기 충전 핀을 가압할 때 상기 샤프트와 함께 하향 이동되어 상기 센서와의 상호 작용에 의해 상기 센서가 충전을 위한 전기적인 접점 신호를 발생시키도록 하는 센서 도그(sensor dog)를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제3항에 있어서,상기 충전 스테이션은 상기 샤프트에 결합되어 상기 샤프트의 승하강 이동을 안내하는 엘엠 부시(LM bush)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제4항에 있어서,상기 충전 스테이션은 상기 핀 지지블록과 상기 엘엠 부시에 연결되어 상기 충전 핀이 원위치로 복귀되는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성부재를 더 포함하 는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제5항에 있어서,상기 탄성부재는 압축식 코일 스프링이며,상기 센서는 상기 선반의 센서 브래킷(sensor bracket)에 지지되는 근접 센서이며,상기 충전 단자, 상기 충전 핀, 상기 샤프트, 상기 센서, 상기 센서 도그 및 상기 탄성부재는 3개씩 마련되고, 상기 핀 지지블록과 상기 엘엠 부시는 1개씩 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 클리닝 카세트는,하단부의 일 영역이 상기 선반에 선택적으로 안착 지지되며, 상기 하단부의 일측에 상기 충전 단자가 결합되는 카세트 하우징;상기 선반에 접촉되는 상기 카세트 하우징의 하단부에 형성되는 진공 흡입 슬롯; 및상기 진공 흡입 슬롯과 연결되며, 상기 전원 유닛으로부터 인가된 전원에 의해 동작되면서 상기 진공 흡입 슬롯을 통해 상기 선반 상의 파티클 흡입을 위한 진공 흡입력을 발생시키는 적어도 하나의 흡입 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제7항에 있어서,상기 전원 유닛은 충전 가능한 무정전 전원 유닛(UPS, Uninterruptible Power Supply)이며,상기 클리닝 카세트는 상기 카세트 하우징에 마련되되 상기 전원 유닛과 연결되어 상기 전원 유닛의 충전 상태를 외부로 표시하는 충전 상태 표시용 시그널 타워(signal tower)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제7항에 있어서,상기 카세트 하우징은,격자 형상의 상부 프레임;상기 상부 프레임의 하부 영역에서 상기 상부 프레임과 이격 배치되는 격자 형상의 하부 프레임; 및상기 상부 및 하부 프레임을 연결하는 측부 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제9항에 있어서,상기 진공 흡입 슬롯은 상기 하부 프레임의 밑면에서 상기 하부 프레임의 두께 방향을 따라 함몰되게 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제9항에 있어서,상기 하부 프레임에는 상기 선반의 바코드(bar code)를 판독하는 바코드 판독부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 제7항에 있어서,상기 흡입 유닛과 상기 진공 흡입 슬롯은 플렉시블(flexible)한 흡입 라인에 의해 연결되며,상기 흡입 유닛에는 공기 정화용 필터가 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 보관 시스템.
- 하단부의 일 영역이 카세트 보관 시스템의 선반에 선택적으로 안착 지지되며, 상기 선반에 마련되는 충전 스테이션의 충전 핀과 선택적으로 접촉되어 전기적으로 연결되는 충전 단자가 상기 하단부 일측에 마련되는 카세트 하우징;상기 카세트 하우징의 일측에 결합되는 전원 유닛;상기 선반에 접촉되는 상기 카세트 하우징의 하단부에 형성되는 진공 흡입 슬롯; 및상기 진공 흡입 슬롯과 연결되며, 상기 전원 유닛으로부터 인가된 전원에 의해 동작되면서 상기 진공 흡입 슬롯을 통해 상기 선반 상의 파티클 흡입을 위한 진공 흡입력을 발생시키는 적어도 하나의 흡입 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
- 제13항에 있어서,상기 전원 유닛은 충전 가능한 무정전 전원 유닛(UPS, Uninterruptible Power Supply)이며,상기 카세트 하우징에 마련되되 상기 전원 유닛과 연결되어 상기 전원 유닛의 충전 상태를 외부로 표시하는 충전 상태 표시용 시그널 타워(signal tower)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
- 제13항에 있어서,상기 카세트 하우징은,격자 형상의 상부 프레임;상기 상부 프레임의 하부 영역에서 상기 상부 프레임과 이격 배치되는 격자 형상의 하부 프레임; 및상기 상부 및 하부 프레임을 연결하는 측부 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
- 제15항에 있어서,상기 진공 흡입 슬롯은 상기 하부 프레임의 밑면에서 상기 하부 프레임의 두께 방향을 따라 함몰되게 마련되는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
- 제15항에 있어서,상기 하부 프레임에는 상기 선반의 바코드(bar code)를 판독하는 바코드 판독부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
- 제13항에 있어서,상기 흡입 유닛과 상기 진공 흡입 슬롯은 플렉시블(flexible)한 흡입 라인에 의해 연결되며,상기 흡입 유닛에는 공기 정화용 필터가 마련되는 것을 특징으로 하는 클리닝 카세트.
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