KR20060071015A - 클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝방법 - Google Patents

클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝방법 Download PDF

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KR20060071015A
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김종욱
이건호
김진희
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Abstract

클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝 방법을 개시한다. 흡입 유닛은 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입한다. 필터 유닛은 흡입 유닛으로부터 흡입되는 파티클을 필터링한다. 진공압 발생 유닛은 흡입 유닛에 진공을 발생시킨다. 제어부는 진공압 발생 유닛을 제어한다. 전원 공급부는 진공압 발생 유닛에 전원을 공급한다. 작업자의 고공의 클리닝 작업 대신에 클리닝 장치를 이용하여 보관 장치를 클리닝함으로써, 효율적인 클리닝이 가능하고, 낙상 등의 안전 사고를 방지할 수 있다.

Description

클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝 방법{CLEANING APPARATUS, STORING APPARATUS HAVING THE SAME AND METHOD OF CLEANING THE STORING APPARATUS}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클리닝 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 보관 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 보관 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 2에 도시한 보관 장치의 클리닝 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 클리닝 장치 110 : 슬롯 감지 센서
120 : 전원 공급부 130 : 흡입부
131 : 진공압 발생 유닛 133 : 흡입 유닛
135 : 필터 유닛 140 : 제어부
200 : 스톡커 210 : 카세트 수납 슬롯
220 : 카세트 보관함 230 : 스택커 로봇
본 발명은 클리닝 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 파티클을 제거하기 위한 클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 박막 트랜지스터 액정표시장치(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display ; TFT LCD)의 제조 공정과 같은 첨단 산업 분야에서 온도, 습도 및 압력의 적절한 조절과 청정 환경은 필수적인 사항이다. 상기 TFT LCD의 제조 공정은 스위칭 소자를 포함하는 TFT 기판을 형성하는 TFT 어레이 공정, 색상을 구현하기 위한 색화소층를 포함하는 컬러 필터 기판을 형성하는 컬러 필터 공정 및 상기 TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정 셀을 형성하는 액정 공정을 포함한다.
상기 공정들 사이에 상기 TFT 기판 또는 컬러 필터 기판을 보관하기 위한 보관 장치로서, 주로 스토커(stocker)가 이용된다. 상기 스토커 내부는 고도의 청정한 상태, 즉 먼지가 없어야 하고 습기, 온도를 일정하게 유지하여야 한다.
본 발명은 상술한 바와 같이 스토커를 청정 상태로 유지하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 스토커 내부의 카세트 수납 선반의 파티클을 제거할 수 있는 클리닝 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 클리닝 장치를 이용하여 카세트 수납 선반의 파티 클을 제거할 수 있는 보관 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 클리닝 장치를 이용하여 카세트 수납 선반의 파티클을 제거하는 보관 장치의 클리닝 방법을 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 클리닝 장치는 흡입부, 전원 공급부 및 제어부를 포함한다. 상기 흡입부는 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 흡입 유닛과, 상기 흡입 유닛으로부터 흡입되는 파티클을 필터링하는 필터 유닛과, 상기 흡입 유닛에 진공을 발생시키는 진공압 발생 유닛을 갖는다. 상기 전원 공급부는 상기 진공압 발생 유닛에 전원을 공급한다. 상기 제어부는 상기 진공압 발생 유닛의 동작을 제어한다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 보관 장치는, 카세트를 이송하는 스택커 로봇과 상기 스택커 로봇을 중심으로 양측에 일렬로 설치된 카세트 수납 슬롯을 포함하여 상기 카세트를 보관하는 스토커 및 상기 스택커 로봇에 의하여 상기 카세트 수납 슬롯에 배치하여, 상기 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 클리닝 장치를 포함한다.
전술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 보관 장치의 클리닝 방법은, 카세트를 이송하는 스택커 로봇, 상기 스택커 로봇을 중심으로 양측에 일렬로 설치된 카세트 수납 슬롯을 포함하여, 상기 카세트를 보관하는 스토커와, 상기 스택커 로봇에 의하여 상기 카세트 수납 슬롯에 배치하여, 상기 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 클리닝 장치를 포함하는 보관 장치의 클리 닝 방법에서, 상기 클리닝 장치를 상기 카세트 수납 슬롯에 로딩하는 단계; 상기 클리닝 장치의 슬롯 감지 센서가 상기 카세트 수납 슬롯을 인식하여 슬롯 감지 신호를 외부의 제어부에 송신하는 단계; 상기 제어부가 진공압 발생 유닛에 가동 신호를 인가하여 흡입 유닛으로 소정 시간 상기 카세트 수납 슬롯의 파티클을 제거하는 단계; 및 상기 클리닝 장치를 언로딩하는 단계를 포함한다.
이러한 클리닝 장치, 이를 갖는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝 방법에 따르면, 스토커 내부의 카세트 수납 슬롯에 클리닝 장치를 이용하여 상기 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 제거할 수 있고, 작업자가 직접 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 제거하기 위하여 고공 작업에 따른 안전 문제를 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들에 따른 클리닝 장치, 클리닝 장치를 포함하는 보관 장치 및 보관 장치의 클리닝 방법을 상세하게 설명한다.
<실시예-1>
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클리닝 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 클리닝 장치(100)는 슬롯 감지 센서(110), 전원 공급부(120), 흡입부(130) 및 제어부(140)를 포함한다.
상기 슬롯 감시 센서(110)는, 상기 흡입부(130)가 카세트 수납 슬롯(210)의 상부에 일정 거리 내로 배치될 때 이를 감지하여 상기 제어부(140)에 슬롯 감지 신호를 전달한다. 이로써, 상기 제어부(140)는 상기 흡입부(130)에 구동 신호를 발생 하게 된다. 상기 슬롯 감지 센서(110)는 흡입부(130)의 하부에 배치될 수 있다.
상기 전원 공급부(120)는 상기 흡입부(130) 등에 전원을 공급한다. 예를 들면, 상기 전원 공급부(120)는 상기 클리닝 장치(100) 내의 배터리일 수 있고, 또는 카세트 수납 슬롯(210) 상에 구비되는 한 쌍의 전극 단자를 통하여 외부의 전원 공급 장치로부터 전원을 공급받을 수 있다.
상기 흡입부(130)는 진공압 발생 유닛(131), 흡입 유닛(133) 및 필터 유닛(135)을 포함한다.
상기 진공압 발생 유닛(131)은 상기 클리닝 장치(100)의 내부에 진공을 발생시키는 모터, 예를 들면 정류자 전동기를 포함한다. 상기 정류자 전동기는 회전 날개를 수 만회 이상 회전시켜 상기 클리닝 장치(100)의 내부를 진공 상태를 만든다. 이로써, 상기 진공압 발생 유닛(131)과 연결되는 흡입 유닛(135)은 상기 카세트 수납 슬롯(210) 상의 파티클을 흡입하게 된다. 상기 진공압 발생 유닛(131)은 상기 필터 유닛(133)을 경유하여 상기 흡입 유닛(133)과 연결된다.
상기 흡입 유닛(133)은 카세트 수납 슬롯(210)에 대응하는 몸체와 파티클을 흡입하는 통로인 복수개의 홈을 가질 수 있다. 상기 흡입 유닛(133)은 상기 흡입 유닛(133)의 내부와 상기 카세트 수납 슬롯(210)의 주변부의 기압차를 이용하여 상기 홈을 통하여 카세트 수납 슬롯(210) 상에 파티클을 흡입한다. 상기 흡입 유닛(133)은 유입관을 통하여 상기 필터 유닛(135)과 연결된다.
상기 필터 유닛(135)은 상기 흡입 유닛(110)을 통하여 흡입되는 파티클을 필터링한다. 상기 필터 유닛(135)은 필터링 효과를 높이기 위하여 복수개의 필터들 을 구비할 수 있다. 또한 상기 필터 유닛(135)은 걸러진 파티클을 모을 수 있는 집진포(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.
상기 제어부(140)는 상기 슬롯 감지 센서(110)로부터 데이터 신호를 수신하고, 상기 진공압 발생 유닛(131)을 구동하기 위한 제어 신호를 송신한다. 상기 제어부(140)는 일정 시간 동안 상기 진공압 발생 유닛(131)을 구동하는 타이머를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제어부(140)는 상기 흡입 장치에 구비되는 파티클 감지 센서로부터의 데이터 신호를 수신하여 상기 카세트 수납 슬롯 상의 오염 정도에 따라 구동 시간을 조절할 수 있다.
상기 클리닝 장치(100)가 카세트 수납 슬롯(210)에 배치될 때, 상기 슬롯 감지 센서(110)는 상기 제어부(140)에 슬롯 감지 신호를 인가한다. 이후 상기 제어부(140)는 상기 진공압 발생 유닛(131)에 구동 신호를 인가한다. 이후, 상기 전원 공급부(120)는 상기 진공압 발생 유닛(131)에 전원을 공급하고, 상기 진공압 발생 유닛(131)은 모터를 구동하여 상기 클리닝 장치(100)의 내부를 진공으로 만든다.
이로써, 상기 흡입 유닛(133)이 상기 클리닝 장치(100)의 내부와 상기 카세트 수납 슬롯(210) 주위부의 기압차로 인하여 상기 카세트 수납 슬롯(210) 상의 파티클을 흡입하게 된다. 흡입된 파티클은 상기 필터 유닛(135)에 의하여 걸러지게 된다. 따라서, 상기 클리닝 장치(100)는 상기 카세트 수납 슬롯(210) 상의 파티클을 제거하게 된다.
<실시예-2>
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리닝 장치를 포함하는 보관 장치 (200)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 보관 장치(200)는 카세트 보관함(220), 스택커 로봇(230) 및 클리닝 장치(100)를 포함한다. 상기 보관 장치(200)는 카세트를 보관 장치(200) 내로 유출입시키는 출입구(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.
상기 카세트 보관함(220)은 기판을 수납하는 카세트를 보관할 수 있도록 공간을 유지한다. 상기 카세트 보관함(220)은 양측에 카세트 수납 슬롯(210)을 포함할 수 있다. 상기 카세트 수납 슬롯(210)은 상기 카세트를 지지한다. 상기 보관 장치(200)의 카세트 수납 슬롯(210)은 상기 클리닝 장치의 흡입 유닛(133)과 대응할 수 있도록 소정의 폭과 길이를 가진다.
상기 스택커 로봇(230)은 보관 장치(200)의 중앙부에 배치되어, 카세트 및 상기 클리닝 장치(100)를 상기 카세트 보관함(220)에 로딩시킨다. 상기 스택커 로봇(230)을 이용하여 카세트 및 클리닝 장치를 모두 이송할 수 있도록 적절한 형태를 갖도록 구비된다.
상기 클리닝 장치(100)는 실시예 1에서 상술하였으므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다. 상기 클리닝 장치(100)는 상기 스택커 로봇(230)에 의하여 상기 카세트 수납 슬롯(210) 상에 안착하여, 상기 카세트 수납 슬롯(210) 상의 파티클을 제거한다.
상기 클리닝 장치(100)를 이용하여 보관 장치(200)의 카세트 수납 슬롯(210)을 클리닝함으로써, 상기 카세트 수납 슬롯(210) 상의 파티클을 제거할 수 있다. 또한, 작업자가 직접 카세트 수납 슬롯(210) 상의 파티클을 제거하기 위하여 고공 작업에 따른 안전 문제를 방지할 수 있다.
<실시예-3>
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 클리닝 장치를 포함하는 보관 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 본 실시예에서 클리닝 장치의 구동 방법을 제외한 나머지 구성 요소들은 상술한 보관 장치의 실시예와 동일하므로 중복된 부분에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.
상기 보관 장치는 카세트 보관함, 스택커 로봇(230) 및 클리닝 장치(100)를 포함한다. 상기 보관 장치(200)는 통신 모듈(240)과 호스트 컴퓨터(250)를 더 포함한다.
상기 통신 모듈(240)은 제어부(140)로부터 송출되는 각종 신호를 상기 호스트 컴퓨터에 경유시킨다. 상기 통신 모듈(240)은 RS-232C 방식 등의 통신 방식을 이용할 수 있다. 특히, 상기 통신 모듈(240)은 슬롯 감지 센서로부터의 슬롯 감지 신호를 제어부로(140)부터 전송받아 상기 호스트 컴퓨터(250)에 중계한다.
상기 호스트 컴퓨터(250)는 상기 통신 모듈(140)을 통하여 입력되는 각종 신호를 비교 및 연산하고, 특히, 현재 클리닝 장치(100)에 관한 모니터링을 수행하고, 상기 클리닝 장치(100)에 대한 구동 명령 신호를 상기 통신 모듈(240)을 통해 인가한다.
상기 클리닝 장치(100)에 구비된 슬롯 감지 센서가 감지 신호를 상기 제어부(140)에 인가하게 된다. 상기 제어부(140)는 통신 모듈(240)을 이용하여 호스트 컴퓨터(250)에 상기 감지 신호를 전송하게 된다. 상기 호스트 컴퓨터(250)는 통신 모 듈(240)을 이용하여 상기 클리닝 장치의 제어부(140)에 클리닝 장치(100)의 구동 명령 신호를 인가한다. 따라서, 상기 제어부(140)는 흡입부를 구동하는 상기 클리닝 장치의 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 제거한다.
<실시예-4>
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 보관 장치의 클리닝 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4를 참조하면, 스택커 로봇 등의 이송 장치를 이용하여 클리닝이 필요한 카세트 수납 선반 상에 클리닝 장치를 로딩한다(단계 S10).
이어서, 클리닝 장치의 흡입 유닛 부위에 배치되어 카세트 수납 슬롯을 감지하는 슬롯 감지 센서가 클리닝 장치의 카세트 수납 슬롯의 안착되는지 여부를 확인한다(단계 S20). 이때 상기 슬롯 감지 센서는 슬롯 감지 신호를 제어부(140)에 전달하게 된다. 만약, 클리닝 장치가 카세트 수납 슬롯에 적절히 로딩되지 않은 경우, 제어부(140)는 상기 이송 장치를 이용하여 상기 클리닝 장치를 재로딩하게 된다.
계속하여, 클리닝 장치는 진공압 유닛을 소정 시간 가동하여 흡입 유닛을 통하여 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 제거한다(단계 S30). 이후, 클리닝 장치를 언로딩한 후(단계 S40), 다른 카세트 보관함의 카세트 수납 슬롯을 클리닝할 수 있다.
본 발명에 따르면, 클리닝 장치를 이용하여 카세트 보관함의 수납 슬롯 상의 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 인력을 이용하여 직접 고공의 클리닝 작업 대신에 클리닝 장치를 이용하여 클리닝함으로써, 낙상 등의 안전 사고를 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (8)

  1. 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 흡입 유닛과, 상기 흡입 유닛으로부터 흡입되는 파티클을 필터링하는 필터 유닛과, 상기 흡입 유닛에 진공을 발생시키는 진공압 발생 유닛을 갖는 흡입부;
    상기 진공압 발생 유닛에 전원을 공급하는 전원 공급부; 및
    상기 진공압 발생 유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 클리닝 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 흡입 유닛은 상기 카세트 수납 슬롯을 감지하여 감지 신호를 상기 제어부에 제공하는 슬롯 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 소정 시간동안 상기 진공압 발생 유닛을 구동하는 타이머를 포함하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전원 공급부는 내부의 배터리 또는 카세트 수납 선반 상에 배치되는 한 쌍의 전극단자와 결합되는 외부의 전원공급장치에 의하여 전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치.
  5. 카세트를 이송하는 스택커 로봇과, 상기 스택커 로봇을 중심으로 양측에 일 렬로 설치된 카세트 수납 슬롯을 포함하여, 상기 카세트를 보관하는 스토커; 및
    상기 스택커 로봇에 의하여 상기 카세트 수납 슬롯에 배치하여, 상기 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 클리닝 장치를 포함하는 보관 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 클리닝 장치는,
    상기 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 흡입 유닛과, 상기 흡입 유닛으로부터 흡입되는 파티클을 필터링하는 필터 유닛과, 상기 흡입 유닛에 진공을 발생시키는 진공압 발생 유닛을 갖는 흡입부;
    상기 진공압 발생 유닛을 제어하는 제어부; 및
    상기 진공압 발생 유닛에 전원을 공급하는 전원 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 보관 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    외부의 호스트 컴퓨터와 상기 제어부 간의 신호를 전송하는 통신 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보관 장치.
  8. 카세트를 이송하는 스택커 로봇, 상기 스택커 로봇을 중심으로 양측에 일렬로 설치된 카세트 수납 슬롯을 포함하여, 상기 카세트를 보관하는 스토커와, 상기 스택커 로봇에 의하여 상기 카세트 수납 슬롯에 배치하여, 상기 카세트 수납 슬롯 상의 파티클을 흡입하는 클리닝 장치를 포함하는 보관 장치의 클리닝 방법에서,
    상기 클리닝 장치를 상기 카세트 수납 슬롯에 로딩하는 단계;
    상기 클리닝 장치의 슬롯 감지 센서가 상기 카세트 수납 슬롯을 인식하여 슬롯 감지 신호를 외부의 제어부에 송신하는 단계;
    상기 제어부가 진공압 발생 유닛에 가동 신호를 인가하여 흡입 유닛으로 소정 시간 상기 카세트 수납 슬롯의 파티클을 제거하는 단계; 및
    상기 클리닝 장치를 언로딩하는 단계를 포함하는 보관 장치의 클리닝 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101042629B1 (ko) * 2009-05-20 2011-06-20 주식회사 에스에프에이 클리닝 카세트 및그를 구비하는 카세트 보관 시스템
KR20200106352A (ko) * 2019-03-04 2020-09-14 주식회사 에스에프에이 선반 클리닝장치 및 이를 구비하는 반송물 이적재 시스템

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