KR100530898B1 - 섀도마스크용 주조슬래브 열처리방법 및 섀도마스크용 소재 - Google Patents

섀도마스크용 주조슬래브 열처리방법 및 섀도마스크용 소재 Download PDF

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Abstract

본 발명은 주조조직과 응고시의 성분편석(成分偏析)의 관계 및 그 편석상태에 맞는 열처리조건을 발견함으로써 종래의 기술로는 달성할 수 없었던 고도의 편석경감기술, 즉 줄무늬얼룩의 품위가 우수한 섀도마스크용 소재를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해, 본 발명의 섀도마스크용 소재는 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크를 제조하기 위한 주조슬래브(slab)의 조조조직의 99% 이상을 주상정(柱狀晶) 및/또는 칠(chill)정(晶)으로 이루어지는 것으로 하고, 특히 등축정(等軸晶)을 포함하지 않는 주조슬래브가 적합하다. 이를 위해 주조시에는 전자교반(電磁攪拌)을 행하지 않고, 또한 슬래브 내 미응고부의 쇳물온도를 액상선(液相線) 이상으로 유지하면서 조업하는 연속주조법을 이용한다. 또한, 얻어진 주조슬래브를 사용하여 K값을 150㎛ 이상으로 하는 온도 및 시간으로 열처리를 하여 Ni편석을 확산시킨다.

Description

섀도마스크용 주조슬래브 열처리방법 및 섀도마스크용 소재{Casting slab for shadow mask, heat treatment method thereof and material for shadow mask}
본 발명은 에칭시의 줄무늬 얼룩 억제효과가 우수한 Ni-Fe계 합금의 섀도마스크용 주조슬래브 열처리방법 및 섀도마스크용 소재에 관한 것이며, 특히 컬러텔레비젼 브라운관이나 컴퓨터 디스플레이용 브라운관의 섀도마스크로서 적합하게 사용되는 Ni-Fe계 합금의 섀도마스크용 주조슬래브 열처리방법 및 섀도마스크용 소재에 관한 것이다.
대형 컬러텔레비전용 브라운관이나 컴퓨터 디스플레이용의 고정세(高精細) 브라운관의 섀도마스크 소재로서 사용되고 있는 불변강(不變鋼:invar)합금으로 알려진 Ni-Fe합금(특히 Fe36% Ni합금)은 이것을 에칭 천공했을 때에 「줄무늬얼룩」이라고 하는 압연방향과 평행방향으로 줄(線) 모양의 무늬얼룩이 나타나는 결함이 있다. 이 줄무늬얼룩의 발생원인은 주로 에칭에 제공되는 소재판 내에 존재하는 Ni과 Fe의 성분편석이라고 한다. 이 성분편석은 소재를 연속 주조 또는 보통 조괴(造塊)시의 응고편석이 그 후의 열간가공, 냉간가공, 어닐링(annealing) 등을 조합한 공정을 거쳐도 최종 제품판까지 잔류하고 있는 것이다. 응고시의 편석은 준비공정에서 코일의 압연방향으로 연신(延伸)된 상태로 되고, 그 결과 제품판을 에칭했을 때에 압연방향에 평행한 줄 모양의 에칭얼룩으로 나타나게 된다.
종래, 이 에칭시의 줄무늬얼룩의 발생을 억제하기 위한 몇 가지 기술이 제안되어 있으며, 예를 들면 일본국 특허 제2130577호[특공평7(1995)-78270호] 공보에는 응고조직을 제어한 연속주조 슬래브에 대해 일정한 온도, 시간 이상의 열처리를 하여 줄무늬얼룩의 발생을 억제하는 방법이 개시되어 있다.
또 일본국 특허 제2000062호[특공평7(1995)-78270호]공보에는 역시 연속주조 슬래브에 대해 고온 장시간 어닐링하는 방법이 개시되어 있다.
또한 일본국 특허 제195073호[특공평6(1994)-68128호]공보에는 연속주조, 보통 조괴의 구별 없이 일정한 온도와 시간의 관계를 충족시키는 조건 이상의 고온에서 장시간 슬래브를 열처리함으로써 줄무늬얼룩의 발생을 억제하는 방법이 개시되어 있다.
이들 종래의 기술의 기본원리는 고온 장시간 열처리에 의한 슬래브 내부에 존재하는 Ni, C, Si, Mn, Cr 등의 성분편석을 열확산에 의해 균질화하여 에칭얼룩을 방지하는 것을 주요한 골자(主眼)으로 하는 것이다.
일본국 특허 제2130577호 공보에서는 응고조직에 대해서도 언급하고 있으나, 그 의미하는 바는 응고조직의 결정배향이 제품판 내의 결정배향에 미치는 영향과, 그 결정배향에 기인하는 에칭얼룩을 방지하는 데 있었다.
그러나, 종래의 기술에서는 당시의 컬러텔레비전 브라운관이나 컴퓨터디스플레이용 브라운관의 섀도마스크용으로서는 충분한 특성의 제품판을 제조하는 어닐링이 가능하였으나, 최근에는 특히 컴퓨터디스플레이용 브라운관은 대형화, 고정세화가 진척되어 마스크에칭조건이 엄격해졌기 때문에, 종래의 기술로 달성할 수 있었던 정도의 편석경감레벨로는 마스크에칭시에 발생하는 줄무늬얼룩의 억제가 불충분하게 되어, 더 한층 편석의 경감이 요망되고 있다.
본 발명은 이 요구에 부응하기 위하여 종래의 기술에서 고려되지 않았던 주조조직과 응고시의 성분편석의 관계 및 그 편석상태에 맞는 열처리조건을 발견함으로써 종래의 기술로는 달성할 수 없었던 고도의 편석경감기술, 즉 줄무늬얼룩 저감기술을 제공하는 것을 과제로 한다.
도 1은 주조슬래브의 소킹조건을 변화시켰을 때의 K값을 나타낸 그래프이다.
도 2는 주조슬래브의 소킹조건을 변화시켰을 때의 K값을 나타낸 그래프이다.
도 3은 주조슬래브의 소킹조건을 변화시켰을 때의 K값을 나타낸 그래프이다.
도 4는 확산거리 K값을 구하는 관계식이다.
도 5는 슬래브 Ni편석 표준편차와 주조슬래브의 소킹조건의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 6은 슬래브 Ni편석 표준편차와 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)와의 관계를 난타낸 그래프이다.
도 7은 K값과 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명의 주조슬래브와 비교예의 주조슬래브와의 Ni편석을 측정한 결과를 나타낸 그래프이다.
도 9는 본 발명의 주조슬래브의 조직사진이다.
도 10은 비교예의 주조슬래브의 조직사진이다.
본 발명의 섀도마스크용 주조슬래브의 제1의 특징은 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크를 제조하기 위한 주조슬래브이며, 그 주조슬래브는 주조조직의 99% 이상이 주상정 또는 주상정과 칠정(chill zone or chill crystal)으로 이루어지는 줄무늬얼룩 품위가 우수하다는 것이다.
또 본 발명의 주조슬래브의 제2의 특징은 등축정(等軸晶) 을 함유하지 않은 것이다.
본 발명의 주조슬래브의 제3의 특징은 전자교반을 하지 않고 또한 슬래브 내 미응고부의 쇳물온도를 액상선 이상으로 유지하면서 조업하는 연속주조법을 이용하여 얻어진 것이다.
본 발명의 섀도마스크용 주조슬래브의 열처리방법의 특징은 상기한 주조슬래브를 사용하여 K값을 150㎛ 이상으로 하는 온도 및 시간으로 열처리하는 것이다.
본 발명의 섀도마스크용 소재의 특징은 상기한 주조슬래브를 사용하여 열간압연, 냉간압연, 어닐링의 공정을 거쳐 제조되는 것이다.
섀도마스크 소재로서 사용되는 Ni-Fe합금의 「줄무늬얼룩」결함은 주조슬래브 내에 존재하는 Ni의 성분편석이 주요인이라고 이해하고, 이 Ni의 성분편석을 함유하는 주조슬래브의 조직이 주상정(柱狀晶) 또는 주상정과 칠정(chill zone or chill crystal)으로 이루어지는 것이 바람직하다. 주조슬래브의 조직형태가 주상정 또는 주상정과 칠정(chill zone or chill crystal)이 아닌 주조슬래브를 출발원료로서 사용하면, 그 후 주조슬래브를 열간가공, 냉간가공, 어닐링 등을 조합한 공정을 거쳐도 주조슬래브시의 Ni의 성분편석이 해소되지 않고, 최종의 섀도마스크 소재로서의 박판(薄板)으로 가공하여도 「줄무늬얼룩」결함으로 나타나는 것이다.
본 발명이 대상으로 하는 재료는 Ni을 30∼45% 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크용 소재이다. 대부분은 불변강(不變鋼:invar) 합금이라고 하는 주로 36% Ni, 잔부 실질적 Fe로 이루어지는 재료가 사용된다. 또 본 발명의 조성에는 기타 필요에 따라 예를 들면 수% 정도까지의 Nb, Co, Cr 등의 첨가성분을 함유하는 수가 있으나, 본 발명의 효과에는 영향을 미치지 않으며, 본 발명은 이들을 포함하는 것이다
본 발명의 섀도마스크용 슬래브를 그 주조조직의 99% 이상, 바람직하가로는 100%가 주상정 또는 주상정과 칠정(chill zone or chill crystal)으로 이루어지는 연속주조슬래브로 한정한 것은 다음의 이유에 의한다. 즉 슬래브의 응고과정에서, 준비공정에서의 열확산에 의해 성분편석을 저감하는 경우에 가장 지배적인 요인이 되는 것은 편석의 성분변동의 간격이다. 이 간격이 짧을수록 편석 저감에 요하는 가열온도가 낮고, 또 가열시간이 짧아도 된다는 일반적인 식견을 근거로 슬래브의 성분편석과 응고조직과의 관계에 착안하여 상세한 조사를 하였다.
그 결과, 연속주조슬래브 내에 생기는 주상정조직이나 주상정조직과 유사한 응고형태를 가진 칠정(chill zone or chill crystal)조직에 있어서는 다른 응고조직에 비해 특단으로 성분편석의 간격이 짧아져 있다는 것을 발견하였다. 또 이들 응고조직에 있어서의 성분편석의 간격은 그 1차 덴드라이트 암(dendrite arm) 간격에 의존하고 있다는 것도 발견하였다. 2차 및 3차 덴드라이트 암에 기인하는 성분편석은 비교적 단시간의 열처리로 소실하므로 본 발명에서는 특별히 고려하지 않는다.
그래서 본 발명의 섀도마스크용 슬래브의 조직은 주상정조직 또는 주상정조직과 칠정(chill zone or chill crystal)조직을 99% 이상, 바람직하게는 100%로 하는 것이 바람직하다. 칠정(chill zone or chill crystal)조직은 그 발생은 응고시의 몰드에 접한 급냉 응고부에 한정되므로 거의 발생하지 않고, 통상의 연속주조슬래브에서는 그 체적은 전체의 수 %에 불과하다.
칠정(chill zone or chill crystal) 이외의 부분을 될 수 있는 한 주상정 조직으로 하는 것이 바람직하나, 그러기 위해서는 다음과 같은 조업상의 제어에 의해서 달성된다.
첫째로, 통상의 연속주조설비의 조업에서는 슬래브 중심부에 성분편석 또는 수축 캐비티(shrinkage cavity)가 집중하는 것을 피하기 위해 전자교반(EMS)을 하여 쇳물을 교반하면서 주조하고 있지만, 이와 같은 조업방법으로는 슬래브의 중심부는 주상정 조직이 아니라 등축정 조직이 되어버려 바람직하지 않다. 그러므로, 본 발명의 주조슬래브를 얻기 위해서는 의도적으로 EMS를 정지하여 연속주조몰드내의 쇳물의 유동을 극력 억제하는 조업이 필요하다. 또는 EMS를 정지하고 다시 전자브레이크 등으로 쇳물의 유동을 억제하는 방법도 효과적이다.
둘째로, 쇳물의 유동이 없는 경우에도 슬래브 내 미응고부의 쇳물의 온도가 액상선 이하로 된 경우에는 쇳물 내에 등축정의 핵 발생 ·성장이 일어나므로 목적하는 주상정 조직을 얻을 수 없다. 그러므로 조업은 쇳물의 온도를 상태도(狀態圖)에서 액상선 이상, 구체적으로는 액상선으로부터의 괴리도(the degree of seperation,△T)(△T)를 25℃ 이상으로 유지하면서 행하는 것이 바람직하다. △T의 상한은 개개의 연속주조기의 조업조건의 범위에서 다르므로 본 발명에서는 특히 한정할 필요는 없다.
또한 본 발명에서는 특히 슬래브의 가열온도의 상한을 정하지 않으나 소재 융점의 마이너스 10도가 바람직하다.
도 4에 나타낸 관계식은 슬래브 내에 생긴 성분편석이 그 후에 행해지는 주조슬래브의 열처리에 의해서, 슬래브 내에 확산할 수 있는 확산거리를 나타내는 공지의 관계식이다. 이 식(1)에 Ni의 확산활성화 에너지의 값을 대입하고, 대표적인 슬래브열처리시간(소킹시간) 및 열처리온도(소킹온도)를 대입하여 계산해 구한 K값을 하기 표 1에 나타낸다.
표 1. 소킹조건을 바꾸었을 때의 K값
-----------------------------------------------------------------------
온도 열처리시간
---------------------------------------------------------------------
36hr 48hr 60hr 72hr
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1280℃ 93 108 121 132
1300℃ 107 124 138 152
1320℃ 123 142 158 173
1340℃ 140 161 180 198
---------------------------------------------------------------------
표 1에서 나타낸 K값과 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)의 관계를 나타낸 것이 도 7이다. 도 7에서, 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준) C 이상으로 하기 위해서는 K값을 150㎛이 되는 조건으로 열처리하는 것이 바람직하고, 다시 랭크(rank,품질수준) B 이상으로 하기 위해서는 K값을 160㎛, A랭크(rank,품질수준)로 하기 위해서는 K값을 170㎛ 이상이 되는 조건으로 열처리하는 것이 바람직하다는 것을 알 수 있다. 여기서 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)라는 것은 실제로 섀도마스크의 에칭메이커에서 섀도마스크로 한 경우에 줄무늬얼룩의 정도가 실용상 문제를 발생하지 않는 정도를 랭크(rank,품질수준)로 표시한 것이다.
랭크(rank,품질수준) A는 줄무늬얼룩이 전혀 관찰되지 않는 경우를 나타내고, E는 줄무늬얼룩이 매우 심하게 관찰되는 경우를 나타내며, 그 사이를 줄무늬얼룩의 강도에 따라 5단계로 나누었다. 줄무늬얼룩의 정도로서는 랭크(rank,품질수준) C 이상이 바람직하다는 것이 종래 재질(材質)의 경험이나 실적에서 알고 있다. 따라서 랭크(rank,품질수준) C 이상의 섀도마스크소재를 제조하는 것이 바람직하다. 그래서 본 발명자는 줄무늬얼룩과 슬래브 내의 Ni편석과의 관계를 조사하였다.
도 6은 슬래브 Ni편석 표준편차와 줄무늬얼룩과의 관계를 나타낸 그래프이다. 도 6에 나타낸 결과는 슬래브 Ni편석 표준편차가 다른 재료를 섀도마스크소재 제품판 두께까지 공정을 시뮬레이트(simulate)하여 섀도마스크소재를 제조하고, 에칭하여, 그 때에 에칭면에 나타난 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)(줄무늬얼룩의 강도)를 조사한 것이다.
도 6에 의하면, 슬래브 Ni편석 표준편차가 클수록 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)가 낮다(품질이 열악)는 것을 알 수 있다. 즉 줄무늬얼룩랭크(rank,품질수준)를 C 이상으로 올리려고 하면 슬래브 Ni편석 표준편차를 0.07중량% 이하로 하는 것이 바람직하다.
그러면, 슬래브 Ni편석 표준편차를 0.07중량% 이하로 하기 위해서는 어떻게 하면 되는가. 그 결과를 나타낸 그래프가 도 5이다. 즉 도 5에서 열처리를 고온에서 장시간 행하면 Ni편석이 감소하고 있는 경향을 나타낸다는 것을 알았는데, 슬래브 Ni편석 표준편차를 0.07중량% 이하로 하기 위해서는 K값을 150㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하다는 것을 알 수 있다.
도 5는 주조슬래브를 횡축의 K값으로 표시하는 조건으로 슬래브 소킹을 했을 때, 소킹 후의 슬래브 중심 근방의 가장 Ni편석의 간격이 길게 확산이 진행하기 어려운 부분에서의 슬래브 Ni편석 표준편차가 어느 정도로 되는가를 나타내고 있다. 여기서 슬래브 중심 근방이라는 것은 슬래브중심에서 두께방향으로 약 3㎜ 벗어난 위치를 말하며, 샘플링은 이 위치에서 행하였다.
상기 K값을 150㎛ 이상으로 할 수 있는 슬래브 소킹조건을 변화시켜 본 것이 도 1∼3에 나타낸 그래프이다. 도 1∼3에 나타낸 바와 같이, X →Y →Z에 소킹조건을 이행시킬수록, Ni의 확산이 진행하고 있는 것을 나타낸다. 즉 주조슬래브를 열처리에 의해 Ni의 확산을 도모하려고 하면, 도 1의 X경계선을 넘은 영역 O에서 열처리시간과 온도의 조건으로 처리하는 것이 바람직하다. 도 2의 Y경계선을 넘은 영역 P에서 열처리시간과 온도의 조건으로 처리하면 더욱 Ni의 확산을 도모할 수 있다. 또한 도 3의 Z경계선을 넘은 영역 Q에서 열처리시간과 온도의 조건으로 처리하면 더욱 더 Ni의 확산을 도모할 수 있다.
도 1의 O, 도 2의 P, 도 3의 Q로 나타낸 각각의 영역은 도 4의 관계식(1)으로 나타낸 확산거리의 K값이 150㎛ 이상(도 1의 O영역에 대응), 바람직하기로는 170㎛ 이상(도 3의 Q영역에 대응)이 되는 영역을 나타내는 경계선이다.
또한, 본 발명의 과정에서 재료특성의 평가에 사용하고 있는 Ni편석은 모두 다음의 조건으로 측정, 데이터처리를 한 것이다.
측정장치 : 니혼덴시(日本電子)제품 X선 마이크로 분석기 JXA-8600MX
측정방법 : 선분석(線分析)
측정조건 :
Ni편석 측정조건은 다음과 같이 설정하였다.
프로브 경(徑) 100∼300㎚
조사전류 5.0 ×10-7 A
가속전압 20 kV
측정시간 0.5sec/점
측정길이 10㎜
측정간격 2㎛
분광결정 LiF
데이터처리방법 : 상기 측정조건으로 얻어진 5000점의 측정데이터에 대해, 3점 이동평균을 4회 행한 후의 4992점의 데이터의 표준편차를 Ni편석량의 지표로 하여, 도 5의 종축에서 나타낸 슬래브 Ni편석 표준편차로서 표시하였다.
섀도마스크소재의 에칭은 5보메(Baume), 실온의 염화 제2철 용액 내에 20분간 침지하여, 줄무늬얼룩의 발생 정도를 에칭면을 눈으로 보고 랭크(rank,품질수준)표시를 하였다.
도 8에 본 발명의 요건인 99% 이상이 주상정 또는 주상정과 칠정(chill zone or chill crystal)으로 이루어지는 연속주조슬래브와, 비교예로서 슬래브 중심부에 등축정이 30% 정도 생성하고 있는 연속주조슬래브의, 모두 슬래브 중심근방부에 있어서의 1300℃ - 72hr 열처리 후의 Ni편석을 측정한 결과를 나타낸다. 도 8의 횡축은 X선 마이크로 분석기의 선분석에서의 측정거리, 종축은 Ni의 중량%이다. 도 8에서도 명백한 바와 같이, 등축정에서는 Ni편석의 주기가 1000㎛∼2000㎛로 주상정에 비하면 2∼4배 길고, 그 결과 열처리에 의한 편석의 경감이 진행하기 어렵게 되어 있다. 이 등축정율 30%의 슬래브에서 실험실 압연에 의해 제조한 박판 시료를 에칭하여 줄무늬얼룩 판정을 한 결과는 랭크(rank,품질수준) E였다. 따라서 등축정 조직의 주조슬래브는 섀도마스크 소재로서 사용하는 것은 적절하지 않다. 또 도 9에 본 발명의 주조슬래브의 조직사진을 나타낸다. 도 10에 비교예의 주조슬래브의 조직사진을 나타낸다. 이 사진의 에칭조건은 염화제2철 용액(45보메 ·50℃)을 스프레이 에칭을 1분간 실시한 것이다. 또한, 여기서의 주조조직의 비율은 주조방향에 대해 직각 단면에서 관찰되는 면적비율로 나타냈다.
또한, 실제 조업에서는 열처리로(熱處理爐)의 능력이나 생산성 등을 고려하고, 표1에서 원하는 K값을 얻기 위한 슬래브열처리조건을 선택하여, 임의의 에칭시의 줄무늬얼룩 품위를 가진 제품판을 제조하는 것이 가능해진다.
상기 주조슬래브를 2.5㎜의 열연강판으로 하고, 그 후 질산 세정하였다. 다음 공정의 냉간압연시의 가공율은 대개 20∼95%의 범위에서 행하고, 어닐링은 연속식 노(爐)를 사용할 때는 700∼1000℃의 범위에서 행하고, 조질압연(調質壓延)은 가공율 1∼50%의 범위에서 행하는 것이 바람직하다. 이와 같은 공정을 거쳐 0.1∼0.39㎜의 범위내의 판 두께가 다른 섀도마스크 소재를 제조하였다. 이들 섀도마스크 소재를 에칭하여 줄무늬얼룩 품위를 조사한 결과, 도 7에서 나타낸 랭크(rank,품질수준) A, B, C의 영역에 들어가 있었다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 섀도마스크용 주조슬래브를 사용한 섀도마스크용 소재는 종래의 에칭메이커의 요구를 충족하는 정도의 줄무늬얼룩 레벨이므로, 에칭 후에 전혀 줄무늬얼룩의 발생이 없는 초고정세용(超高精細用)으로 사용 가능한 것까지 요구품질에 맞춘 줄무늬얼룩 품위를 가진 재료를 제공하는 것이 가능하다.

Claims (16)

  1. 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크를 제조하기 위한 주조슬래브로서, 그 주조슬래브는 주조조직의 99% 이상이 주상정(柱狀晶) 또는 주상정과 칠정(chill zone or chill crystal)(chill晶)으로 이루어진 줄무늬얼룩 품위가 우수한 것이고, 상기 주조슬래브를 사용하여 K값을 150㎛ 이상으로 하는 온도 및 시간으로 열처리한 섀도마스크용 주조슬래브.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 주조슬래브는 전자교반(電磁攪拌)을 하지 않고, 슬래브 내 미응고부의 쇳물온도를 액상선(液相線) 이상으로 유지하면서 조업하는 연속주조법을 이용하여 얻어진 것을 특징으로 하는 섀도 주조슬래브.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항 또는 제3항에 기재한 주조슬래브를 사용하여, K값을 150㎛ 이상으로 하는 온도 및 시간으로 열처리한 후의 슬래브의 Ni편석 표준편차가 0.07중량% 이하로 되도록 하는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 주조슬래브의 열처리방법.
  7. 제6항에 기재한 열처리방법을 행한 후, 열간압연, 냉간압연, 어닐링의 공정으로 제조하는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 소재의 제조방법.
  8. 제6항에 기재한 열처리방법을 행한 후, 열간압연, 냉간압연, 어닐링의 공정으로 제조하는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 소재.
  9. K값이 150㎛ 이상으로 되도록 열처리를 행하는 주조슬래브로서, 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지고, 주조조직의 99% 이상이 주상(柱狀)조직 또는 주상조직과 칠정(chill zone or chill crystal)으로 이루어지는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 연속주조슬래브.
  10. 제9항에 있어서, 상기 연속주조슬래브가 등축정을 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 섀도마스크용 연속주조슬래브.
  11. 제9항 또는 제10항중 어느 한 항에 있어서, 상기 연속주조슬래브는 분괴(分塊)압연가공이나 단조가공을 하지 않고 열처리에 제공되는 것이며, K값이 150㎛ 이상으로 되도록 열처리를 행하는 것을 특징으로 하는 섀도마스크용 연속주조슬래브.
  12. 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크를 제조하기 위한 슬래브로서, 상기 슬래브의 Ni편석 표준편차가 0.07중량% 이하인 것을 특징으로 하는 섀도마스크용 슬래브.
  13. 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지고, Ni편석 표준편차가 0.07중량% 이하인 섀도마스크용 슬래브를, 열간압연, 냉간압연, 어닐링의 공정으로 제조하는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 소재의 제조방법.
  14. 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크용 슬래브의 제조방법으로서, K값을 150㎛ 이상으로 하는 온도 및 시간으로 연속주조슬래브를 열처리하고, 연속주조슬래브의 Ni편석 표준편차가 0.07중량% 이하로 되도록 하는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 슬래브의 제조방법.
  15. 30∼45%의 Ni을 함유하는 Ni-Fe합금으로 이루어지는 섀도마스크용 소재의 제조방법으로서, 연속주조 후, K값을 150㎛ 이상으로 하는 온도 및 시간으로 열처리함으로써 연속주조슬래브의 Ni편석 표준편차를 0.07중량% 이하로 한 후,열간압연, 냉간압연, 어닐링을 가진 공정으로 제조하는 줄무늬얼룩 품위가 우수한 섀도마스크용 소재의 제조방법.
  16. 삭제
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