KR100497590B1 - 섀도 마스크용 철-니켈계 합금 및 그 제조 방법 - Google Patents

섀도 마스크용 철-니켈계 합금 및 그 제조 방법 Download PDF

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가부시끼가이샤 니혼 세이꼬쇼
닛꼬 긴조꾸 가꼬 가부시키가이샤
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Abstract

중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하인 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금. 상기 Fe-Ni계 합금은, 파인 피치(fine pitch)를 갖는 섀도 마스크에 있어서, 전자 빔이 통과하는 구명에서 줄무늬결점이 발생되는 것을 억제할 수 있다.

Description

섀도 마스크용 철-니켈계 합금 및 그 제조 방법{Fe-Ni ALLOY FOR SHADOW MASK AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF}
도 1 은 재료의 단면을 부식시켜 줄무늬형 조직을 나타낸 도면이다.
도 2 는 재료의 표면으로부터의 깊이와 Ni 농도의 관계를 나타내는 선도이다.
다음에, 실시예를 나타내고 본 발명을 설명한다.
Ni : 36 중량%, Mn : 0.25 중량%, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는, 직경이 700, 1200, 및 1500 ㎜ 의 잉곳을 각각 진공 유도 용해 (VIM) 법과 ESR 법에 의해 용제하였다. 잉곳 상단부의 비정상부분의 영향을 제거하기 위해 그 상단부로부터 20 % 를 잘라내고, 나머지 부분을 1250 ℃ 이상에서 10 시간 이상 가열한 다음 두께 150 ㎜ 까지 단조하였다. 스케일(scale)을 제거한 후 판두께 3 ㎜ 까지 열간압연하고, 이어서 산세척후 냉간압연과 소둔을 반복하여 최종적으로 판두께 0.13 ㎜, 판폭 600 ㎜ 의 냉연판으로 만들었다.
잉곳의 1차 덴드라이트 암 스페이싱은 상단부으로부터 20 % 를 절단한 위치에서 샘플링하여 측정하였다. 판두께 0.13 ㎜ 의 냉연판은 전체 폭의 압연직각단면을 관찰할 수 있도록, 수지에 마운팅(mounting) 하고, 경면연마하고, 비중 45 보메(Baume)의 염화 제2철 수용액을 10 배 희석한 액으로 에칭하였다. 이렇게 함으로써 Ni 편석대가 부식되고, 도 1 과 같은 줄무늬형 조직이 나타난다. 이 Ni 편석대에 대하여 비커스 경도계로 압흔을 발생시키고 그 압흔을 마킹한 후, 그 마킹이 사라지지 않을 정도로 다시 경면연마하고, EPMA 를 이용하여 편석대의 Ni 농도 맵을 다음과 같은 조건으로 측정하였다.
배율 5000 배
가속전압 20 ㎸
드웰 타임 (Dwell time) 35 ms
분광결정 : LiF
스캔 타입 빔 (scan type beam)
스텝간격 X : 0.19 ㎛, Y : 0.19 ㎛
스텝수 X : 200 점, Y : 200 점
상기 측정에 의해 얻어진 Ni 농도 데이터로부터 도 2 에 나타내는 바와 같은 편석대를 가로지르는 방향의 Ni 농도 프로파일을 구하고, 이 Ni 농도 프로파일의 산과 골의 Ni 농도차를 Ni 편석대의 Ni 농도차로 하였다. 이 방법에 의하면 통상의 라인분석(line analysis)보다 정량 측정의 정밀도가 높고, 1 % 이하의 Ni 농도차의 측정을 신뢰도 높게 행할 수 있다. 이상과 같이 하여, 판폭 600 ㎜ 에 존재하는 Ni 편석대의 Ni 농도차를 측정하여 농도차가 0.7 % 이상인 편석대의 개수를 판폭 100 ㎜ 당으로 환산하여 구하였다. 또한, 각 재료를 에칭하여 실제 섀도 마스크를 제작하고, 줄무늬결점의 품질을 평가하였다.
이상과 같이 하여 평가한 잉곳의 1차 덴드라이트 암 스페이싱, 냉연판의 Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대의 판폭 100 ㎜ 당 개수, 및 새도 마스크의 줄무늬결점 품질을 각 잉곳에 대해 표 1 에 나타낸다. 표 1 로 알 수 있는 바와 같이, ESR법으로 제조한 No.1 ∼ No.3 의 섀도 마스크는 종래의 진공용해-주입법에 의해 제조된 No.4 ∼ No.6 의 섀도 마스크보다 양호한 줄무늬결점 품질을 나타내었다.
특히 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하여 제조하고, 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 이하이고, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대의 판폭 100 ㎜ 당 개수가 1.0 이하인 No.1 과 No.2 에서는 줄무늬결점 품질이 매우 양호하다. 이에 비해, 종래의 진공용해-주입법으로 제조한 비교예의 No.4 ∼ No.6 에서는 잉곳직경에 상관없이 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 를 초과하고, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대의 판폭 100 ㎜ 당 개수가 10 을 초과하여 줄무늬결점 품질이 불량하였다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 종래의 파인 피치의 섀도 마스크에서도 줄무늬결점의 발생을 억제할 수 있는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 얻을 수 있어 우수한 공업상 효과를 얻을 수 있다.
NO. 용제방법 잉곳직경 (㎜) 1차 DAS* (㎜) Ni편석대**개수(개/100 ㎜) 줄무늬결점 품질 비고
1 ESR 법 700 0.35 0.0 매우 양호 본 발명의실시예
2 ESR 법 1200 0.90 0.6 매우 양호 본 발명의실시예
3 ESR 법 1500 1.30 1.4 양호 본 발명의실시예
4 VIM-주입법 700 1.20 10 이상*** 불량 비교예
5 VIM-주입법 1200 1.60 10 이상*** 불량 비교예
6 VIM-주입법 1500 2.10 10 이상*** 불량 비교예
* DAS : 덴드라이트 암 스페이싱** Ni 농도차≥0.7 % 의 편석대*** Ni 농도차≥0.7 % 의 편석대가 너무 많아서 10 개로 분석을 중지하였다.
발명의 배경
본 발명은 미세 에칭가공되는 섀도 마스크(shadow mask)용 소재에 관한 것으로, 특히 미세 에칭가공하였을 때의 줄무늬결점의 발생을 억제한 Fe-Ni계 합금에 관한 것이다.
최근, 컬러 브라운관용 섀도 마스크에는 색순도의 관점에서 열팽창이 작은 Fe-Ni계 합금이 많이 사용되고 있다. 섀도 마스크의 전자선 투과구멍은 미세에칭가공에 의해 형성되고, Fe-Ni계 합금 섀도 마스크는 종래부터 사용되고 있는 연강제 섀도 마스크에 비해, 에칭가공되었을 때에 줄무늬결점으로 불리는 결함을 발생시키기 쉽다는 단점이 있다. 그리고, 이 줄무늬결점은 섀도 마스크의 작은 구멍측을 바깥쪽으로 하여 투과구멍의 에칭벽면이 빛나도록 안쪽에서부터 비스듬히 빛을 통과시켜 관찰함으로써 확인할 수 있다.
Ni-Fe계 합금의 경우, 줄무늬결점의 원인은 Ni 의 편석에 있다. 편석에 의해 Ni 에 농도차가 발생하면 에칭성에 차이가 생기고, 그 결과, 에칭벽면 (전자선 투과구멍 내주면) 의 평활성이 악화된다. 편석부는 압연에 의해 압연방향으로 길게 늘여져 있으므로, 벽면의 평활성이 나쁜 구멍이 압연방향으로 길게 늘어서게 되고, 마스크에 비스듬히 빛을 통과시켜 관찰하였을 때에 줄무늬결점으로 되어 보이는 것이다.
Ni 편석부는, 에칭직전의 합금 박판의 단면을 염화 제2철 수용액으로 에칭하면 도 1 과 같이 줄무늬모양 (줄무늬형 조직이라고 함) 으로 되어 보인다. 이 줄무늬부를 EPMA (X 선 마이크로 애널라이저) 로 분석하면 도 2 에 나타내는 바와 같이, Ni 농도가 표면에서 안쪽으로 향함에 따라 급격히 변화하고 있고, 단면을 에칭하였을 때에 보이는 줄무늬 모양과 Ni 편석이 대응하고 있음을 알 수 있다. Ni 농도차란, 이 같이 EPMA 로 판두께방향으로 측정한 Ni 농도 변화 곡선에 있어서 인접하는 산부 (Ni 농도가 높음) 와 골부 (Ni 농도가 낮음) 의 차이의 최대값이다.
종래, 이 줄무늬결점의 발생을 방지하기 위해 Ni 편석영역의 편석율 즉 모재의 Ni 농도에 대한 편석영역의 Ni 농도의 변화율을 10 % 이하로, 단위체적중의 편석부를 5 용적% 이하로, 에칭직전의 편석부 하나의 길이를 30 ㎜ 이하로 하는 것이 제안되어 있다 (일본 공개특허공보 소60-56053 호). 또한, 에칭직전의 합금소재의 단면에 있어서의 마이크로편석의 Ni 농도차를 3 % 이하로 하고, 또한 동일한 위치의 Mn, P, Si 의 농도차를 조절하는 것도 제안되어 있다 (일본 공개특허공보 평9-143625 호).
그러나, 섀도 마스크의 파인 피치(fine pitch)화가 진행됨에 따라, 종래의 대책으로는 불충분하게 되었으며, 더 한층의 개선이 요망되고 있다. 따라서, 본 발명은 종래의 파인 피치의 섀도 마스크에서도 줄무늬결점의 발생을 억제할 수 있는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
발명의 개요
본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 연구를 거듭한 결과, 에칭직전의 합금 박판에 있어서의 Ni 의 편석이 소정의 임계치를 초과하는 경우에, 단위 판폭당 Ni의 편석 발생부 (이하, Ni 편석대라고 함) 의 수를 적게 하는 것이 줄무늬결점 대책으로서 유효함을 발견하였다. 물론, 소정의 임계치를 초과하는 Ni 편석대가 전무하다면 줄무늬결점은 해소할 수 있지만, 본 발명자들은 소정의 임계치를 초과하는 Ni 편석대의 존재를 전제로 하여 연구를 거듭한 결과, Ni 편석대의 수가 적어지면 섀도 마스크의 품질 문제가 없어짐을 발견하였다.
즉, 전술한 바와 같이 줄무늬결점은 섀도 마스크를 기울여서 투과구멍의 에칭벽면이 빛나도록 비스듬히 빛을 통과시켜 관찰하므로, Ni 편석대의 판두께방향의 위치 (깊이) 가 상이하면 일정한 각도로 섀도 마스크를 기울였을 때에 줄무늬가 동시에 보이지 않게 된다. 현실적으로는 응고시의 마이크로편석에 기인하는 Ni 편석대의 판두께방향의 위치 (깊이) 는 일정하지 않으므로, Ni 편석대의 판폭방향에서의 존재밀도가 낮아지면 줄무늬결점으로서 검지될 수 없게 되는 것이다.
또한, 본 발명자들은 이를 위해서는 응고시의 마이크로편석의 크기에 관한 잉곳의 조직에 있어서의 수지상정(樹枝狀晶)의 주축끼리의 간격 (이하,「1차 덴드라이트 암 스페이싱」이라고 함) 을 작게 하는 것이 바람직하다는 것을 발견하였다. 왜냐하면, 수지상정의 주축끼리의 간격이 작으면 그 후의 균질화 열처리나 열간가공에서의 편석저감에 필요한 Ni 의 확산거리가 짧아지기 때문이다. 또한, 본 발명자들은 이를 실현하기 위해서는 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법에 의해 잉곳을 용제하는 것이 바람직하다는 것을 밝혀냈다. 또한, 그 경우의 잉곳 직경은 1250 ㎜ 이하가 바람직하다는 것을 밝혀냈다.
본 발명은 이상과 같은 발견에 기초하여 이루어진 것으로, 본 발명의 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법에 의해 용제되는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금은 일렉트로슬래그 재용해법에 의해 용제되므로, 1차 덴드라이트 암 스페이싱을 작게 할 수 있고, 따라서, Ni 의 편석을 억제하여 전자선 투과구멍 내주면에 있어서의 줄무늬결점의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명의 다른 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하인 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 또 다른 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 이하인 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 또 다른 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하이며, 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법에 의해 용제되는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 또 다른 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 이하이며, 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법에 의해 용제된 것을 특징으로 하고 있다.
다음에, 본 발명의 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금의 제조방법은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법에 의해 용제함에 있어서, 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 또 다른 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금의 제조방법은, 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하인 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법에 의해 용제함에 있어서, 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 다른 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금의 제조방법은 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 잔부가 Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 이하인 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 에 의해 용제함에 있어서, 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하는 것을 특징으로 하고 있다.
이하, 본 발명에 있어서의 상기 수치의 한정이유를 설명한다.
Ni 함유량 : Ni 의 함유량이 30 % 미만, 또는 50 % 를 초과하면 열팽창계수가 너무 커져서 섀도 마스크의 파인 피치화에 대응할 수 없게 된다. 따라서, Ni 의 함유량은 30 ∼ 50 % 로 한다.
Mn 함유량 : Mn 의 함유량이 0.5 % 를 초과하면 열팽창계수가 커지므로, Mn 의 함유량은 0.5 % 이하로 한다.
그리고, 불가피한 불순물 원소로는 C, Si, P 및 S 를 들 수 있다. C 는 0.01 중량% 이하, Si 는 0.1 중량% 이하, P 는 0.01 중량% 이하, S 는 0.05 중량% 이하인 것이 바람직하다.
에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서의 Ni 편석대 :
에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서의 Ni 편석대의 Ni 농도차가 0.7 % 이상이면 섀도 마스크에 에칭하였을 때의 구멍벽면의 평활성이 악화되어 줄무늬결점의 원인이 된다. 따라서, Ni 농도차가 0.7 % 이상이 되는 편석대의 판폭방향에서의 존재밀도를 규정하면 되는데, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 Ni 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개를 초과하면 줄무늬결점 이상이 나타나므로, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 Ni 편석대의 판폭방향 100 ㎜ 당 개수를 1.0 개 이하로 규정한다.
잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱 :
잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 이하이면 편석 저감에 필요한 Ni 의 확산거리를 짧게 할 수 있어 줄무늬결점 해소에 유효하기 때문에, 잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱을 1.00 ㎜ 이하로 규정한다.
용제방법 : 잉곳에 있어서의 1차 덴드라이트 암 스페이싱을 작게 하기 위한 용제방법으로는, 적층응고를 행하는 일렉트로슬래그 재용해 (ESR) 법이나 진공 아크 재용해 (VAR) 법을 생각할 수 있지만, VAR 법은 화이트 스폿(white spot)이라고 불리는 이상에 수반하는 큰 편석이 발생하기 쉽기 때문에, 용제방법으로는 ESR 법이 바람직하다. 그러나, ESR 법에 있어서도 잉곳직경의 증가와 함께 응고조직이 불가피하게 조대화되기 때문에, 잉곳직경은 1차 덴드라이트 암 스페이싱이 1.00 ㎜ 이하인 특징을 유지할 수 있는 1250 ㎜ 이하로 한다. 그리고, 이 ESR 법에는 통상의 ESR 법 이외에, 불활성 가스 (통상은 Ar) 에 의해 실링(sealing)한 ESR 법이나, 진공 ESR (VSR) 법도 포함된다.

Claims (8)

  1. 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)법 에 의해 용제되며, 또한 에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하인 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금.
  2. 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)법 에 의해 용제되며, 또한 잉곳의 조직에 있어서의 수지상정의 주축끼리의 간격이 1.00㎜ 이하인 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금.
  3. 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지고, 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)법 에 의해 용제되며, 잉곳의 조직에 있어서의 수지상정의 주축끼리의 간격이 1.00㎜ 이하이고, 또한 에칭직전의 합금 박판의 압연방향에 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대가 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하인 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금.
  4. 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)법 에 의해 용제함에 있어서, 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하고, 또한 에칭직전의 합금 박판의 압연방향과 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대를 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하로 하는 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금 제조 방법.
  5. 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)법 에 의해 용제함에 있어서, 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하고, 또한 잉곳의 조직에 있어서의 수지상정의 주축끼리의 간격을 1.00㎜ 이하로 하는 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금 제조 방법.
  6. 중량% 로, Ni : 30 ∼ 50 %, Mn : 0.5 % 이하, 및 잔부 : Fe 및 불가피한 불순물로 이루어지는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금을 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)법 에 의해 용제함에 있어서, 잉곳 직경을 1250 ㎜ 이하로 하고, 잉곳의 조직에 있어서의 수지상정의 주축끼리의 간격을 1.00㎜ 이하로 하며, 또한 에칭직전의 합금 박판의 압연방향과 직각인 단면에 있어서, Ni 농도차가 0.7 % 이상인 편석대를 판폭방향 100 ㎜ 당 1.0 개 이하로 하는 것을 특징으로 하는 섀도 마스크용 Fe-Ni계 합금 제조 방법.
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JP2003064451A (ja) * 2001-06-11 2003-03-05 Hitachi Ltd 複合傾斜合金板とその製造方法およびこの複合傾斜合金板を用いたシャドウマスクを備えたカラー陰極線管

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6056053A (ja) * 1983-09-07 1985-04-01 Nippon Mining Co Ltd シャドウマスク用素材
JPS61113746A (ja) * 1984-11-07 1986-05-31 Nippon Mining Co Ltd シヤドウマスク材
JPS61223188A (ja) * 1985-03-28 1986-10-03 Nippon Mining Co Ltd エツチング時のスジむらの発生を抑制したシヤドウマスク用鉄−ニツケル系合金
JPH05285632A (ja) * 1992-04-13 1993-11-02 Daido Steel Co Ltd エレクトロスラグ溶解法
JP2622796B2 (ja) * 1992-06-11 1997-06-18 株式会社日本製鋼所 エレクトロスラグ再溶解用電極および該電極を用いた合金の製造方法
JP3072199B2 (ja) * 1992-10-22 2000-07-31 株式会社日本製鋼所 Ｎｉ−Ｆｅ基超耐熱合金鋳塊の製造方法
JP3363490B2 (ja) * 1992-10-16 2003-01-08 日立金属株式会社 Ｆｅ−Ｎｉ系合金インゴットの造塊方法
JP3363705B2 (ja) * 1996-06-14 2003-01-08 日立金属株式会社 スジムラ特性に優れたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク薄板の製造方法
JPH10306349A (ja) * 1997-04-28 1998-11-17 Nkk Corp エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張合金薄板
JPH1180839A (ja) * 1997-09-08 1999-03-26 Nkk Corp スジむら抑制効果に優れた電子部品用低熱膨張合金薄板の製造方法
JP3509643B2 (ja) * 1998-07-09 2004-03-22 Ｊｆｅスチール株式会社 薄板化した後のエッチング性に優れた低熱膨張合金鋼スラブおよびその製造方法

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