KR100501528B1 - 백 그라인더 미스트 덕트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 백 그라인더 미스트 덕트에 관한 것으로서, 흡입력을 제공하는 흡입부와, 흡입되는 공기를 여과하도록 복수개의 필터가 순차적으로 설치된 필터부와, 필터부의 오염 정도를 측정하는 필터 오염 측정 장치를 포함하되, 필터 오염 측정 장치는 필터부의 어느 하나의 필터내에 형성되어, 필터를 지나는 공기의 흐름을 대항하는 면이 뚫린 필터 오염 측정 체임버와, 기체가 일정한 속도로 흘러가는 메인튜브와, 이 메인튜브와 필터 오염 측정 체임비를 연통하도록 연결하는 가지관을 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 필터의 오염을 측정할 수 있어 필터를 적절한 시기에 교체할 수 있게 함으로써 백 그라인더 체임버 내의 공기 오염도를 감소시켜 백 그라인더의 고장이나 오작동으로 인한 웨이퍼의 손상을 방지하여 수율을 높일 수 있는 효과를 가지고 있다.

Description

백 그라인더 미스트 덕트{MIST DUCT FOR USE IN A BACK GRINDER}

본 발명은 백 그라인더 미스트 덕트(mist duct)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 백 그라인딩(back grinding) 공정시 발생되는 실리콘 더스트(dust) 및 수증기를 흡입하는 미스트 덕트의 필터의 오염도를 측정할 수 있는 필터 오염 측정 장치를 갖고 있어 필터를 적시에 교체할 수 있고 따라서 웨이퍼 백 그라인딩 공정의 불량율을 낮출 수 있는 백 그라인더 미스트 덕트에 관한 것이다.

반도체 소자 제조 공정에 있어서, 일반적으로 FAB(fabrication) 공정을 마친 웨이퍼는 칩으로 제품화하기에는 두께가 두껍기 때문에 웨이퍼의 뒷면을 연삭하는 백 그라인딩 공정을 거친다.

웨이퍼의 백 그라인딩 공정시, 연삭 기구와 웨이퍼에 발생하는 열을 식히고 웨이퍼 연삭으로 인해 발생하는 실리콘 더스트 등을 씻어 내기 위해서 순수(DI water)를 뿌린다. 그러나 일부 실리콘 더스트는 백 그라인더의 체임버 공기 중에 부유하며 또한 연삭 기구의 회전력과 열 등에 의해서 순수의 일부도 체임버 내 공기 중의 습기가 된다. 이와 같은 실리콘 더스트와 습기를 체임버 내 공기 중에 방치하는 경우, 백 그라인더의 고장이나 백 그라인더의 오작동으로 인한 웨이퍼의 파손을 초래한다.

따라서 백 그라인더 체임버 내의 공기 중에 포함되어 있는 실리콘 더스트와 수증기를 백 그라인더 체임버 외부로 배출시킬 필요가 있다. 그러나 체임버 내의 오염된 공기를 처리하는 시설은 백 그라인더와 거리가 멀기 때문에 체임버 내 오염된 공기를 이송하는 관이 길어지고 백 그라인더 체임버 내 오염된 공기 중에 포함된 실리콘 더스트와 수분 등이 처리 시설로의 이송 중에 이송관의 내부에 고착되어 이송관의 단면적을 감소시켜 배출 효율을 떨어뜨릴 수 있다. 이와 같은 문제를 예방하기 위해서 체임버의 공기를 미스트 덕트로 여과를 시킨 후에 처리 시설로 이송한다.

도 1은 종래의 백 그라인더 미스트 덕트를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 미스트 덕트는 흡입력을 만들어 내는 흡입부(16)와, 백 그라인더의 체임버와 연통되어있는 흡입 라인(12), 흡입 라인(12)을 통해서 유입되는 공기를 여과시키는 필터부(14), 그리고 여과된 공기를 처리 시설로 보내기 위한 배출 라인(18)을 포함한다.

필터부(14)는 1차 필터(14a)와 2차 필터(14b)를 구비하며 1차 필터(14a)는 2차 필터(14b)에 비해서 더 큰 실리콘 더스트를 걸러낸다.

필터부(14)에서 걸러진 공기는 팬(16a)를 갖는 흡입부(16)를 거쳐 배출 라인(18)을 통해서 처리 시설(도시 안됨)로 보내진다.

그런데, 1차, 2차 필터(14a, 14b)의 오염정도는 필터부(14)를 분해하여 확인하기 전에는 알 수가 없기 때문에, 1차, 2차 필터(14a, 14b)에 실리콘 더스트와 수증기 등이 쌓여 막히는 경우가 생기더라도 백 그라인더를 계속 가동하는 경우가 생길 수 있다. 이런 경우에 그라인더 체임버 내의 오염된 공기를 배출시키지 못하기 때문에 백 그라인더의 고장이나 백 그라인더의 오작동으로 인한 웨이퍼의 파손을 초래하고 따라서 그라인딩 공정의 불량율이 높아진다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 필터의 오염 정도를 측정할 수 있어 필터를 적시에 교체하여 그라인딩 공정의 불량율을 낮출 수 있는 백 그라인더 미스트 덕트를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 흡입력을 제공하는 흡입부와, 흡입되는 공기를 여과하도록 복수개의 필터가 순차적으로 설치된 필터부와, 필터부의 오염 정도를 측정하는 필터 오염 측정 장치를 포함하되, 필터 오염 측정 장치는 필터부의 어느 하나의 필터내에 형성되어, 필터를 지나는 공기의 흐름을 대항하는 면이 뚫린 필터 오염 측정 체임버와, 기체가 일정한 속도로 흘러가는 메인튜브와, 이 메인튜브와 필터 오염 측정 체임비를 연통하도록 연결하는 가지관을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 백 그라인더 미스트 덕트를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 백 그라인더 미스트 덕트의 필터 오염 측정 체임버(20)를 도시한 확대 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 백 그라인더 미스트 덕트는 흡입력을 만들어 내는 흡입부(16)와, 백 그라이더의 체임버와 연통된 흡입 라인(12), 흡입 라인(12)을 통해서 미스트 덕트 내부로 유입된 공기를 여과하는 필터부(14), 여과된 공기를 미스트 덕트 외부로 유출하여 처리 시설(도시 안됨)로 보내기 위한 배출 라인(18), 그리고 필터부의 오염 정도를 측정하기 위한 필터 오염 측정 장치(28)를 포함한다.

본 발명에서 종래 기술과 같은 구성 요소는 같은 도면 부호를 이용하였으며 간결성을 위해서 같은 구성 요소에 대한 설명을 생략한다.

필터 오염 측정 장치(28)은 1차 필터(14a)의 내부에 위치하고 필터(14a)의 앞면과 대응하는 면이 뚫려 있는 직육면체 형상의 필터 오염 측정 체임버(20)와, 기체, 예를 들어, 공기가 일정한 속도를 가지고 흘러가는 메인 튜브(24), 한쪽 끝은 메인 튜브(24)의 옆면에 연통되도록 연결되고 다른 쪽 끝은 필터 오염 측정 체임버(20)에 연통되도록 연결되는 가지관(22), 그리고 가지관(22) 내의 압력을 측정하기 위한 압력 게이지(26)를 갖는다.

이와 같은 구조로 이루어진 필터 오염 측정 장치(28)의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

우선, 흡입부(16)의 팬(16a)이 작동하면 흡입력이 발생하고 이 힘에 의해서 백 그라인더 체임버와 연통되어 있는 흡입 라인(12)을 통해서 백 그라인더 체임버 내의 오염된 공기가 필터부(14)로 공급된다. 오염된 공기의 비교적 큰 입자는 필터부(14)의 1차 필터(14a)에서 걸러지고 작은 입자들은 2차 필터(14b)입자에서 걸러진다. 이때 메인 튜브(24)에는 공기가 일정한 속도를 가지고 흘러가고 있기 때문에 메인 튜브(24)의 옆면에 연결된 가지관(22)의 내부 압력 보다 압력이 낮고 따라서 가지관(22) 내의 공기는 메인 튜브(24)로 흘러가고 필터 오염 측정 체임버(20) 내의 공기는 가지관(22)으로 흘러가며 필터 오염 측정 체임버(20)에는 1차 필터(14a)를 통과한 공기가 공급된다.

따라서, 1차 필터(14a)를 통과한 공기가 필터 오염 측정 체임버(20)의 뚫린 면에 일정한 압력을 가하고 있다면 가지관(22) 내의 압력 또한 일정할 것이다. 그러나, 1차 필터(14a)가 오염되어 필터가 조금씩 막히게 되면 필터 오염 측정 체임버(20)에 공급되는 공기의 압력이 차츰 낮아지고 따라서 가지관(22) 내의 압력은 차츰 떨어지게 된다. 이와 같은 변화는 압력 게이지(26)에 의해서 읽히며 가지관(22)의 압력이 일정 수준 이하로 떨어지게 되면 1차 필터(14a) 또는 1차 2차 필터(14a, 14b)를 교체한다.

이와 같이 필터부(14)의 오염 정도를 측정하여 필터 교체시기를 정확히 감지하여 필터를 교체함으로써 필터 오염으로 인하여 발생되는 문제를 사전에 방지할 수 있으므로 그라인딩 공정의 불량율이 감소시킬 수 있다.

본 실시예에서는 1차 필터에 필터 오염 측정 장치를 설치하였지만, 2차 필터 또는 1차, 2차 필터에 필터 오염 측정 장치를 설치하여도 무방하다.

또한, 본 실시예에서는 미스트 덕트가 웨이퍼 백 그라인더에 이용되는 경우에 대해서 설명하였지만, 웨이퍼를 연마하는 장치라면 본 발명에 따른 미스트 덕트의 적용이 가능할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 백 그라인더 미스트 덕트는 필터의 오염을 측정할 수 있어 필터를 적절한 시기에 교체할 수 있게 함으로써 백 그라인더 체임버 내의 공기 오염도를 감소시켜 백 그라인더의 고장이나 오작동으로 인한 웨이퍼의 손상을 방지하여 수율을 높일 수 있는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 웨이퍼 백 그라인더의 미스트 덕트를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

도 1은 종래의 백 그라인더 미스트 덕트를 간략히 도시한 단면도이고,

도 2는 본 발명에 따른 백 그라인더 미스트 덕트를 간략히 도시한 단면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 백 그라인더 미스트 덕트의 필터 오염 측정 체임버를 도시한 확대 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

12 : 흡입 라인 14 : 필터부

16 : 흡입부 18 : 배출라인

20 : 필터 오염 측정 체임버 22 : 가지관

24 : 메인 튜브 26 : 압력 센서

Claims (5)

1. 백 그라인더 미스트 덕트에 있어서,

   흡입력을 제공하는 흡입부와,

   흡입되는 공기를 여과하도록 복수개의 필터가 순차적으로 설치된 필터부와,

   상기 필터부의 오염 정도를 측정하는 필터 오염 측정 장치를 포함하되,

   상기 필터 오염 측정 장치는 상기 필터부의 어느 하나의 필터내에 형성되어, 상기 필터를 지나는 공기의 흐름을 대항하는 면이 뚫린 필터 오염 측정 체임버와, 기체가 일정한 속도로 흘러가는 메인튜브와, 이 메인튜브와 상기 필터 오염 측정 체임비를 연통하도록 연결하는 가지관을 구비하는 것을 특징으로 하는 백 그라인더 미스트 덕트.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서, 상기 필터 오염 측정 장치는 가지관에 압력 센서를 더 갖는 것을 특징으로 하는 백 그라인더 미스트 덕트.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 필터 오염 측정 장치는 상기 복수개의 필터중 어느 하나의 필터의 오염 정도를 측정하는 것을 특징으로 하는 백 그라인더 미스트 덕트.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 흡입부는 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 백 그라인더 미스트 덕트.