CN219799260U - 一种检测系统 - Google Patents

Abstract

一种检测系统，包括检测设备和通风管路，检测设备具有一个或多个腔室空间，至少一个腔室空间具有预设功能区，通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中，送风支路与腔室空间连通设置，用于向腔室空间通入气流；吹扫支路延伸连通至预设功能区，用于向预设功能区通入气流。利用送风支路提供的气流对设备的腔室空间进行大面积的气浴，在使得设备内部维持正压的同时，保证腔室空间具有较高的洁净度；同时，借助吹扫支路对腔室空间的特定区域进行针对性地气流吹扫，可有效防止悬浮颗粒等污染物对待检对象、光学元件及检测光路造成污染，从而为保证或提高检测效果创造有利条件。

Description

一种检测系统

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，具体涉及一种检测系统。

背景技术

以半导体行业为例，采用检测设备对半导体产品工件的相关特征（例如关键尺寸、表面缺陷等）进行检测，已经成为了保证产品工件质量的重要手段之一。目前，相关检测作业通常是在检测设备内部完成的，而设备内部环境空间中所存在的污染物（例如悬浮颗粒、碎屑等）则很容易对产品工件、执行检测作业的相关功能器件等造成污染，从而直接影响到最终的检测结果。因此，如何对检测环境进行清洁净化，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种检测系统，能够通过对检测环境的清洁净化，为提高检测效果提供保障。

一种实施例中提供一种检测系统，包括检测设备和通风管路，所述检测设备的内部具有一个或多个腔室空间，至少一个所述腔室空间具有预设功能区，所述通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中：

所述送风支路与所述腔室空间连通设置，用于向所述腔室空间通入气流，以维持所述检测设备的内部气压大于所述检测设备的外部气压；所述吹扫支路延伸连通至所述预设功能区，用于向所述预设功能区通入气流，以对所述预设功能区进行吹扫清洁。

一个实施例中，所述送风支路的数量设置为多条，每个所述腔室空间均对应连通有至少一条所述送风支路。

一个实施例中，所述腔室空间具有进风口和出风口，所述出风口设置于所述腔室空间的底部和/或侧壁；所述进风口设置于所述腔室空间的顶部，用以连通对应的所述送风支路。

一个实施例中，所述预设功能区的数量设置为多个，每个所述预设功能区均对应连通有至少一条所述吹扫支路。

一个实施例中，多个所述预设功能区中包括核心区和/或光机区，所述核心区设有用于承载待检对象的承载装置，所述光机区设有用于对待检对象进行光学检测的检测装置。

一个实施例中，还包括抽排设备、过滤组件和阀门组件中的至少一者；其中：

所述抽排设备与所述核心区连通设置，用以至少将所述核心区的气流抽排至所述检测设备的外部；

所述过滤组件与所述通风管路密封连通设置，用以对流经所述通风管路的气流进行过滤净化；

所述阀门组件设置于所述通风管路，用以调节通过所述通风管路的气流流量。

一个实施例中，还包括压力检测件，所述压力检测件设置于所述腔室空间，用于感测并获取所述检测设备的内部气压信息；

和/或所述吹扫支路向所述预设功能区通入气流的压力被设置成大于所述送风支路向所述腔室空间通入气流的压力。

一个实施例中，还包括送风设备，所述送风设备包括气流驱动件和温度调控件；所述气流驱动件与所述通风管路连通设置，用以向所述通风管路提供气流；所述温度调控件设置于所述气流驱动件的出气端，用以调控气流温度。

一个实施例中，还包括温度检测件，所述温度检测件设置于所述腔室空间，用于感测并获取所述检测设备内部的环境温度信息；所述温度调控件与所述温度检测件电连接设置，所述温度调控件被设置成：根据所述温度检测件获取的环境温度信息调控气流温度。

一个实施例中，所述温度调控件包括换热组件和补偿组件，所述温度检测件与所述换热组件和/或所述补偿组件电连接设置；其中，所述换热组件用于与所述气流驱动件输出的气流进行热交换，以调节气流温度；所述补偿组件与所述换热组件配合，用于加热流经的气流，以使气流的温度保持在预设温度范围内。

依据上述实施例的一种检测系统，包括检测设备和通风管路，检测设备具有一个或多个腔室空间，至少一个腔室空间具有预设功能区，通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中，送风支路与腔室空间连通设置，用于向腔室空间通入气流；吹扫支路延伸连通至预设功能区，用于向预设功能区通入气流。

一方面，利用送风支路提供的气流对设备的内部空间进行大面积的气浴，在使得设备内部维持正压的同时，保证设备内部空间环境具有较高的洁净度；同时，借助吹扫支路对设备内部的特定区域进行针对性地气流吹扫，可有效防止悬浮颗粒等污染物对待检对象、光学元件及检测光路造成污染，从而为保证或提高检测效果创造有利条件。

另一方面，借助温度检测件与送风设备的配合，可通过采集设备内部的环境温度信息，对送风设备及通风管路所提供的气流温度进行实时或适时调控，以确保设备内部的温度能够保持在预设温度范围内，从而可有效避免设备内部器件（例如光学元件等）因受到温度变化的影响而发生相对位置、结构或性能的改变，有利于提高检测精度和检测结果的准确性。

附图说明

图1为一种实施例的检测系统的外轮廓结构参考示意图。

图2为一种实施例的检测系统中腔室空间的空间分布示意图。

图3为一种实施例的检测系统中的管路布置示意图。

图4为一种实施例的检测系统的控制原理示意图。

图5为一种实施例的检测系统在左视视角下核心区的抽排结构示意图。

图6为一种实施例的检测系统在俯视视角下核心区的吹扫结构示意图。

图中：

10、检测设备；10a、核心区；10b、光机区；10c、前端腔室；10d、检测腔室；11、承载装置；12、检测装置；20、通风管路；21、送风支路；22、吹扫支路；30、送风设备；31、气流驱动件；32、温度调控件；32a、换热组件；32b、补偿组件；32c、温控主机；40、抽排设备；50、温度检测件；60、过滤组件；70、阀门组件。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。

请参阅图1至图6，一种实施例提供了一种检测系统，包括检测设备10、通风管路20、送风设备30以及因应需要而存在的其他功能设备或功能构件，下面具体说明。

请参阅图1至图6，检测设备10可以理解为是能够对产品工件（包括但不限于晶圆、硅片、晶片、芯片、光学镜片、显示面板、电池板、玻璃盖板、产品装置的外壳（例如手机壳）等）进行光学检测测量的相关设备；该检测设备10可以是多个功能设备的集合，例如由负责工件的取放、定位、转移等工序的前端设备和负责工件的承载、检测测量的检测设备组合搭建而成；该检测设备也可以是集多个功能于一体的单体设备，例如将前端设备的功能和检测设备的功能集于一体的单体设备。

通常，该检测设备具有容置工件和特定功能装置（例如承载装置11和检测装置12），以便执行检测测量作业的内部结构空间，为便于区分和描述，将该内部结构空间定义为腔室空间，而该腔室空间则具有预设功能区，该预设功能区可以理解为是承载装置11和/或检测装置12在腔室空间内，所处的空间区域和/或执行相关功能作用时所占用的空间区域即为对应预设功能区。

其中，该承载装置11可以理解为是能够对待检产品工件（或待检对象）起到承载定位、输送转移等作用的相关功能机构的集合，例如承载装置11可以由多维位移台、承载座等机械构件组合搭建而成；检测装置12可以理解为是检测设备10中用于对待检产品工件进行光学检测测量的相关功能构件的集合，通常检测装置包括照明元件、成像用于的光学元件等。

为便于区分和描述，将腔室空间中用于容置承载装置11的预设功能区定义为核心区10a，将腔室空间中用于容置检测装置12的预设功能区定义为光机区10b。当然，依检测设备10所能够实现或者执行功能的不同，预设功能区也可为其他区域。

请参阅图1至图6，通风管路20主要起到将送风设备30提供的气流输送至检测设备10内部的作用，该通风管路20包括与送风设备30连通设置的送风支路21和吹扫支路22；其中，送风支路21连通于送风设备30与检测设备10的腔室空间之间，借助送风支路21向腔室空间通入气流，以维持腔室空间的正压状态（即：检测设备10的内部气压大于检测设备10的外部气压），从而既可以防止检测设备10外部环境中的污染物进入，又可以使得检测设备10内部的污染物排出；以此，可对检测设备10的腔室空间进行大面积的气浴，以为空间环境保持洁净创造条件。

该吹扫支路22延伸连通至对应预设功能区，以便通过向预设功能区通入气流，对预设功能区内的相关器件进行气流吹扫，从而将检测设备10内部的污染物（例如悬浮颗粒等）吹离预设功能区或相关器件。假设预设功能区的数量设置为多个，那么每个预设功能区均对应连通有至少一条吹扫支路22；例如，吹扫支路22延伸连通至核心区10a，通过向核心区10a通入气流，可对承载装置11所承载的待检工件进行气流吹扫，避免污染物粘附在待检工件的表面或者存留于核心区10a内，从而保证待检工件表面的洁净度。再如，吹扫支路22延伸连通至光机区10b，通过向光机区10b通入气流，可对检测装置进行气流吹扫，避免污染物粘附在光学元件的表面、存留于检测光路或者光机区10b内，以此可为保证检测质量（例如成像质量）提供保障。

具体实施时，依据预设功能区的环境要求、预设功能区内的相关功能装置的结构构造等，每个预设功能区可对应地连通多条吹扫支路22；例如，核心区10a可以对应连通多条吹扫支路22，多条吹扫支路22的出风口绕待检工件布置于待检工件的上方空间内，以从不同方位对待检工件的表面进行气流吹扫。

另外，根据检测系统整体的结构架构以及通风要求等，送风支路21与吹扫支路22可以采用并联方式设置于送风设备30与检测设备10之间，也可以采用其他方式，例如吹扫支路22通过送风支路21与送风设备30保持连通。

请参阅图1至图4，送风设备30可参考现有的温控机柜进行结构及功能配置，包括气流驱动件31和温度调控件32；其中，气流驱动件31与通风管路20连通设置，该气流驱动件31可以采用轴流风机、离心风机等，用以向通风管路20鼓风以提供气流；温度调控件32设置于气流驱动件31的出气端，主要用于通过与气流驱动件31提供的气流进行热交换，对通入检测设备10内的气流进行温度调控，例如加热或冷却至预设温度；具体实施时，温度调控件32可参考现有的流体换热器等进行结构配置，以采用强制对流的形式进行热交换。以此，通过向检测设备10内部通入预设温度或温度范围内的气流，可使得检测设备10中的检测装置12、承载装置11等能够在合适温度环境下工作。

举例来说，就检测装置12而言，由于热胀冷缩的作用以及各种材料的热膨胀系数的不同，环境温度的变化或者检测装置12中的各个结构温度的不均匀，很容易导致光学元件及相关结构件之间的相对位置发生改变，从而影响到光学检测质量（例如成像质量）。因此，通过对送风设备30的结构及功能配置，可通过通风管路20向腔室空间及预设功能区提供具有合适温度的气流，使得检测装置12能够合适温度环境下工作，从而为保证检测质量创造有利条件。

基于此，利用送风支路11所通入的气流，可对腔室空间进行大面积的气浴，在使检测设备10的内部维持正压的同时，也使得设备内部空间环境具有较高的洁净度；而利用吹扫支路12对特定区域进行针对性的气流吹扫，则可避免悬浮颗粒等污染光学元件、检测光路以及待检工件等，从而为提高检测精度以及保证检测结果的准确性提供了保障；另外，通过提供具有合适温度的气流，则可为相关功能装置提供合适的工作环境，有效避免温度的变化对相关装置的结构、性能等造成不利影响。

需要说明的是，送风设备30也可独立于该检测系统的功能设备；也就是说，一些实施例中，该送风设备30是与该检测系统配套应用的，即在应用时，根据需要将该送风设备30与通风管路20进行连通设置。

一个实施例中，请参阅图1至图6，检测设备具有多个腔室空间，其中至少一个腔室具有预设功能区，相适应地，送风支路21的数量设置为多条，每个腔室空间均对应地连通有至少一条送风支路21，以便借助送风支路21对对应的腔室空间进行大面积的气浴，并维持腔室空间的正压状态以及洁净的空间环境。就预设功能区而言，则可依据实际需求（例如腔室空间内具体容纳的功能装置、该功能装置所执行的作业项目等），将腔室空间内特定的空间区域视为预设功能区；也就是说，多个腔室空间中的至少一者具有预设功能区。

举例来说，检测设备10由前端设备和检测设备组合搭建而成，前端设备的内部结构空间和检测设备的内部结构空间各自为一腔室空间；为便于区分和描述，将前端设备的腔室空间定义为前端腔室10c，将检测设备的腔室空间定义为检测腔室10d；其中，前端腔室10c用于容置负责待检工件的接收、取放、对位、传输转移等作业项目的相关功能装置或机构；检测腔室10d用于容置负责待检工件的承载、位移（如检测位置的调整）、光学检测等作业项目的相关功能装置或机构。而核心区10a和光机区10b则是指检测腔室10d内的特定区域；就前端腔室10c而言，可以依据实际需要在前端腔室10c内设定预设功能区，甚至在前端腔室10c中可不设置预设功能区。

就通风管路20而言，则可大致划分为四条支路，第一条和第二条支路均为送风支路21并分别与前端腔室10c和检测腔室10d连通设置，以分别对前端腔室10c整体和检测腔室10d整体进行气浴，从而保证前端腔室10c和检测腔室10d整体环境的洁净并维持正压状态；第三条和第四条支路为吹扫支路22并分别延伸连通至核心区10a和光机区10b，以分别对核心区10a和光机区10b进行气流吹扫，以在维持核心区10a和光机区10b正压状态的同时，确保悬浮颗粒等污染物不会进入。

由此，通过对各腔室空间进行单独送风，可以为降低送风设备30和通风管路20的配置要求（例如送风量大小、管路的尺寸等）创造条件，并且便于有针对性地各腔室空间的内部环境条件进行调控或配置。

其他实施例中，就集多个功能于一体的检测设备10而言，则可通过对检测设备10的内部空间从物理结构上进行区隔划分，以对应地形成多个腔室空间，而多个腔室空间中容置有检测设备10内部的不同功能装置或构件。

一个实施例中，请结合图1至图6，各腔室空间（例如前端腔室10c和检测腔室10d）均具有进风口和出风口，进风口设置于对应腔室空间的顶部，并与对应的送风支路21连通；而出风口则设置于对应腔室空间的底部或者侧壁上，并与检测设备10（具体如设备外壳11）的外部空间连通。由此，可构建形成自上而下的送风模式，既可以避免悬浮颗粒等污染物沉积于检测设备10内部，也可借助流动的气流将污染物顺畅地排出检测设备10。

一个实施例中，请参阅图3和图5，该检测系统还包括抽排设备40，该抽排设备40可以由抽风机、管路及阀门等组合搭建而成，主要用于将核心区10a的气流强制抽排至检测设备10的外部，从而既可以实现核心区10a内气流的快速更新或循环流动，又可以将吹扫支路22所吹离的污染物排出检测设备10。

具体实施时，该抽排设备40的抽排口可延伸连通至承载装置11的下方，以便吹扫支路22于核心区10a内位于承载装置11的上方侧对其所承载的待检工件进行气流吹扫，而抽排设备40则自承载装置11的下方强制抽取并排出核心区10a的气流。

当然，请参阅图5和图6，抽排设备40的抽排口和吹扫支路22的吹风口也可延伸连通至承载装置11的相邻侧；例如吹扫支路22从前后两侧对核心区10a（具体如承载装置11或其所承载的待检工件）进行吹风，而抽排设置40则自核心区10a的左右两侧进行强制排风。其他实施例中，也可对光机区10b或者其他预设功能区配置抽排设备40，在此不作赘述。

需要说明的是，各腔室空间的出风口、抽排设备40的出风口既可以直接与设备的外部空间环境连通，也可以是通过专用的地下排风管道与外部空间环境连通。

一个实施例中，请参阅图4，该检测系统还包括温度检测件50，该温度检测件50设置于检测设备10的腔室空间（具体如前端腔室10c和检测腔室10d，亦或者如核心区10a、光机区10b等预设功能区），而送风设备30（具体为温度调控件32）则与温度检测件50电连接设置。借助温度检测件50可实时感测检测设备10内部或者特定局部区域的环境温度信息，并将获取的环境温度信息实时反馈至送风设备30，以便其对所提供的气流的温度进行实时调控，例如通过将温度检测件50所获取的环境温度信息与预设的目标温度值进行比对，控制温度调控件32升温或降温，即可改变送风设备30提供的气流温度。

具体实施时，温度调控件32可以由换热组件32a、补偿组件32b、温控主机32c等组合搭建而成，温度检测件50、换热组件32a、补偿组件32b、气流驱动件31等分别与温控主机32c电连接设置，温控主机32c可以设置于检测设备10或送风设备30，也可以独立于检测设备10和送风设备30设置在其他位置；其中，换热组件32a可参考现有的流体换热器（或散热器）进行结构配置，该换热组件32a布置于气流驱动件31的出气端，借助温控主机32c对换热组件32a进行升温或降温的控制，完成与气流的热交换，从而将气流温度调整至预设温度范围内（例如22-25℃）。而补偿组件32b则可参考现有的电加热器件进行结构配置，该补偿组件32b设置于换热组件32a的出气端，借助温控主机32c对补偿组件32b的控制，使补偿组件32b快速发热，从而对流经的气流进行温度补偿，使得气流温度能够更为接近或维持在目标温度值（例如23±0.05℃）。

由此，利用温度检测件50与温控调节件32之间的相互配合，可以实现对气流温度的精确调节与控制，使得检测设备10内部的功能装置（例如检测装置12）能够在合适的温度环境下稳定工作，为光学检测的质量以及准确性提供保障。

需要说明的是，图3和图4中带箭头的粗体实线代表通风管路20或者气流流向，图4中带箭头的粗体虚线代表信号流流向。

一个实施例中，请参阅图1至图3，该检测系统还包括过滤组件60和阀门组件70；其中，过滤组件60与通风管路20密封连通设置，例如过滤组件60可设置于送风支路21和吹扫支路22的进风端或出风端、也可设置于送风设备30的出风端；借助过滤组件60对流经的气流进行过滤净化，可有效提高通入检测设备10内部的气流的洁净度；具体实施时，可于送风支路21的出风端配置设置出风口为多孔隙平板结构的过滤组件60，以保证洁净度较高的气流能够均匀地进入检测设备10的腔室空间（具体如前端腔室10c和检测腔室10d）。

该阀门组件70设置于通风管路20，主要用于对通过通风管路20的气流流量进行调节；例如，在送风支路21和吹扫支路22上分别装设手动或者自动式流量调节阀，通过对调节阀开度的调控，既可以对各支路的气流流量进行调整，也可同时调整支路的出风压力；更为具体地，借助吹扫支路22所对应的调节阀，可使得吹扫支路22向预设功能区通入气流的压力大于送风支路21向检测设备10的腔室空间通入气流的压力；由此，可有效避免预设功能区周围空间内的污染物进入预设功能区。

当然，吹扫支路22与送风支路21各自提供的气流压力差异，可以通过对两者的管径大小、具体结构构造等选择配置来实现，亦或者于吹扫支路22上增设增压设置，以使得预设功能区的气压大于整个腔室空间的平均气压。

一个实施例中，请结合图1至图4，该检测系统还包括压力检测件（图中未示出），该压力检测件设置于检测设备10的腔室空间内（具体如前端腔室10c和检测腔室10d）；借助压力检测件对检测设备10内部压力进行实时检测，以确保检测设备10的内部始终维持正压状态。具体实施时，压力检测件可被设置成仅供工作人员查看压力，以判断检测设备10内部是否维持正压即可，气压检测结果可不向检测系统反馈。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种检测系统，其特征在于，包括检测设备和通风管路，所述检测设备具有一个或多个腔室空间，至少一个所述腔室空间具有预设功能区，所述通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中：

所述送风支路与所述腔室空间连通设置，用于向所述腔室空间通入气流，以维持所述检测设备的内部气压大于所述检测设备的外部气压；所述吹扫支路延伸连通至所述预设功能区，用于向所述预设功能区通入气流，以对所述预设功能区进行吹扫清洁。

2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述送风支路的数量设置为多条，每个所述腔室空间均对应连通有至少一条所述送风支路。

3.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述腔室空间具有进风口和出风口，所述出风口设置于所述腔室空间的底部和/或侧壁；所述进风口设置于所述腔室空间的顶部，用以连通所述送风支路。

4.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述预设功能区的数量设置为多个，每个所述预设功能区均对应连通有至少一条所述吹扫支路。

5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，多个所述预设功能区中包括核心区和/或光机区，所述核心区设有用于承载待检对象的承载装置，所述光机区设有用于对待检对象进行光学检测的检测装置。

6.如权利要求5所述的检测系统，其特征在于，还包括抽排设备、过滤组件和阀门组件中的至少一者；其中：

所述抽排设备与所述核心区连通设置，用以至少将所述核心区的气流抽排至所述检测设备的外部；

所述过滤组件与所述通风管路密封连通设置，用以对流经所述通风管路的气流进行过滤净化；

所述阀门组件设置于所述通风管路，用以调节通过所述通风管路的气流流量。

7.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括压力检测件，所述压力检测件设置于所述腔室空间，用于感测并获取所述检测设备的内部气压信息；

和/或所述吹扫支路向所述预设功能区通入气流的压力被设置成大于所述送风支路向所述腔室空间通入气流的压力。

8.如权利要求1-7中任一项所述的检测系统，其特征在于，还包括送风设备，所述送风设备包括气流驱动件和温度调控件；所述气流驱动件与所述通风管路连通设置，用以向所述通风管路提供气流；所述温度调控件设置于所述气流驱动件的出气端，用以调控气流温度。

9.如权利要求8所述的检测系统，其特征在于，还包括温度检测件，所述温度检测件设置于所述腔室空间，用于感测并获取所述检测设备内部的环境温度信息；所述温度调控件与所述温度检测件电连接设置，所述温度调控件被设置成：根据所述温度检测件获取的环境温度信息调控气流温度。

10.如权利要求9所述的检测系统，其特征在于，所述温度调控件包括换热组件和补偿组件，所述温度检测件与所述换热组件和/或所述补偿组件电连接设置；其中，所述换热组件用于与所述气流驱动件输出的气流进行热交换，以调节气流温度；所述补偿组件与所述换热组件配合，用于加热流经的气流，以使气流的温度保持在预设温度范围内。