KR100498543B1 - 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 기판 상에 배열된 다수의 게이트 라인과, 상기 게이트 라인과 교차하여 다수의 화소영역을 정의하는 다수의 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 위치한 스위칭 소자로서의 박막트랜지스터와, 상기 화소영역에 각각 배치된 화소 전극으로 이루어진 액정표시장치용 어레이 기판에 있어서,상기 데이터 라인에 교차되며, 상기 게이트 라인이 형성되는 층에 상기 게이트 라인에 평행되게 형성되는 스토리지 하부전극과;상기 스토리지 하부전극 및 상기 화소 전극 사이에 회절 패턴 적용으로 형성된 반도체층이 개재되어 형성되는 스토리지 캐패시터가 포함되고,상기 반도체층 상부 영역에 형성된 쓰루홀에 의해 상기 화소 전극이 상기 반도체층과 접촉됨을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 반도체층은 상기 화소영역 내에서 상기 스토리지 하부전극과 같거나 넓게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1마스크에 의해 기판 상에 게이트 라인, 게이트 전극 및 스토리지 하부전극이 형성되는 단계와,상기 게이트 라인, 게이트 전극 및 스토리지 하부전극 위에 절연층, 반도체층, 불순물반도체층, 금속층이 순차적으로 형성되는 단계와,제 2마스크에 의해 상기 금속층 및 불순물 반도체층이 식각되어, 데이터 라인, 소스/ 드레인 전극이 형성되고, 상기 스토리지 하부전극 위에 반도체층이 노출되는 단계와,상기 데이터 라인, 소스/ 드레인 전극 및 노출된 반도체층 위에 보호층이 형성되는 단계와,제 3마스크에 의해 상기 보호층이 식각되어 상기 드레인 전극의 일부 및 상기 노출된 반도체층 상부에 각각 콘택홀 및 쓰루홀이 형성되고 그 위에 투명전극이 증착되는 단계와,제 4마스크에 의해 상기 투명전극이 패터닝되어 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 스토리지 하부전극과 대응되어 스토리지 상부전극을 이루는 화소전극이 형성되는 단계가 포함되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법.
- 제 4항에 있어서,상기 스토리지 하부전극 위에 반도체층이 노출되는 것은 회절패턴의 마스크를 통해 현상 및 식각 공정을 거쳐 얻어짐을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법.
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