KR100474965B1 - 금속 이온 교환법으로 제조된 합성 제올라이트, 그제조방법 및 그를 이용한 고순도 나이트로젠트리플루오라이드의 정제 방법 - Google Patents
금속 이온 교환법으로 제조된 합성 제올라이트, 그제조방법 및 그를 이용한 고순도 나이트로젠트리플루오라이드의 정제 방법 Download PDFInfo
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- 제올라이트내 분자 조성 중 Si/Al 비가 1.0∼2.0이고, Al 양이온에 대한 Ca 양이온의 질량비가 0.4~0.6인 합성 제올라이트를 Mg 양이온, Ca 양이온, Zn 양이온, Cd 양이온, Al 양이온 또는 Ga 양이온을 포함하는 금속염으로 이온교환시켜 제조된 합성 제올라이트를 충진 밀도가 0.01∼1.00g/cc이 되도록 컬럼에 충진하고 400℃∼900℃로 컬럼 온도를 유지하면서 불활성 기체를 흐르게 하여 제올라이트내에 존재하는 수분을 제거한 후 자연적으로 온도를 하강시킨 후, 컬럼내 반응온도가 50℃∼-150℃이고, 압력이 0∼5kg/㎠ 인 상태에서 NF3 로부터 불순물로 포함된 CF4를 분리하는 과정을 포함하는 NF3의 정제 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 Mg 양이온, Ca 양이온, Zn 양이온, Cd 양이온, Al 양이온 또는 Ga 양이온을 포함하는 금속염이 MgCl2, CaCl2, ZnCl2, CdCl2, AlCl3 및 AlCl3·6H2O, Ga2Cl4 및 Ga2Cl6 로 구성된 군에서 선택된 1종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 NF3의 정제 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 합성 제올라이트가 조성 성분으로서 Al 이온에 대한 Ca 이온의 비가 0.70 이상이며, Al 이온에 대한 Zn 이온의 비가 0~0.002인 것을 특징으로 하는 NF3의 정제 방법.
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