KR100404242B1 - 부품실장장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

폐쇄루프의 주행로(6)에서 복수의 자주식 헤드(5)가 서로 간섭하지 않도록 각 구동장치(4)를 제어하면서 각 헤드를 독립적으로 주행시켜, 각 헤드의 부품유지부재(3)에 의해 부품공급장치(8)로부터 부품(2)을 유지한 후, 기판 위치결정장치(7)에 위치결정된 기판(1)에, 부품유지부재에 유지된 부품을 실장한다.

Description

부품실장장치 및 방법{METHOD AND APPARATUS FOR MOUNTING COMPONENT}

종래, 부품을 기판에 실장하는 장치로서는 여러가지 구조의 것이 공지되어 있다. 예컨대, 도 61에 도시한 바와 같이, 로터리 헤드(rotary head)(500)에 복수의 흡착노즐(501)을 지지하고, 로터리 헤드(500)의 고속회전에 의해 각 흡착노즐(501)이 부품흡착위치에 위치하면 각 흡착노즐(501)이 부품공급 카세트(502)로부터 부품을 1개씩 흡착유지함과 아울러, 로터리 헤드(500)의 회전에 의해 각 흡착노즐(501)이 부품실장위치에 위치하면 각 흡착노즐(501)에 흡착유지된 부품을 기판(503)에 실장하도록 한 로터리 타입의 고속실장기가 공지되어 있다.

그러나, 상기 고속실장기에서는, 로터리 헤드(500)의 회전속도를 높이면 흡착노즐(501)의 노즐축 둘레의 부품자세제어를 위한 회전동작이나, 기판(503)의 위치결정을 위한 상호직교하는 2개의 방향인 XY방향에서의 위치결정동작이 상기 고속회전속도에 대응할 수 없게 되며, 이 이상 회전속도를 높여도 상기 흡착노즐(501)의 회전축 둘레의 회전동작이나 상기 기판 위치결정 동작을 위해 회전을 정지하는 시간이 길어지며, 결과적으로 실장작업 시간을 단축할 수 없는 상태로 되고 있다. 또한, 로터리 헤드(500)의 회전속도를 높임으로써 소음 및 진동이 증가하고, 설비전체로서의 신뢰성 저하 및 러닝코스트(running cost) 증가 등의 과제가 나타나고 있다. 더욱이, 다수의 부품공급 카세트(502)를 구비하여 100kg 내지 200kg 이상이 되는 부품공급 카세트(502)가 흡착노즐(501)의 부품흡착위치까지 1개의 축 방향으로 고속으로 진퇴(進退)동작하기 때문에, 소음 및 진동이 더욱 증가할 뿐 아니라, 안전면을 극히 배려한 설계를 할 필요가 있게 되었다는 별도의 과제도 있다. 또한 부품공급 카세트(502)를 2분할 한 경우에는 설비의 점유면적이 크게 되므로 설비면적당 생산성이 저하한다고 하는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 상기 과제를 해결하는 것으로서, 설비전체의 컴팩트화를 도모하고, 소음 및 진동을 저감할 수 있고, 또한 설비의 신뢰성을 높일 수 있는 부품실장장치 및 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명은 부품공급장치의 복수 부품을 복수의 부품유지부재 각각에 의해 유지한 후 피실장체, 예컨대 기판 또는 부품에 각각 실장하는 부품실장장치 및 방법에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 제1실시형태에 의한 부품실장장치의 보다 구체적인 부품실장장치의 투시 사시도.

도 2는 상기 부품실장장치의 전체 외관 개략 사시도.

도 3은 도 1의 부품실장장치에 있어서 부품흡착노즐을 2개씩 가지는 헤드의 주행로에 대한 개략 평면도로서, 부품흡착장치쪽과 기판 위치결정장치쪽에 각각 헤드가 1대씩 위치하고 있는 상태를 도시하는 평면도.

도 4는 도 1의 부품실장장치의 헤드 구동부분의 측면도.

도 5는 도 1의 부품실장장치의 헤드 구동부분의 일부 단면 확대도.

도 6은 도 1의 부품실장장치의 헤드 구동부분의 확대 평면도.

도 7a, 도 7b는 각각 도 1의 부품실장장치 헤드의 구동부분 확대 사시도 및 확대 단면 정면도.

도 8은 도 1의 부품실장장치 헤드의 구동부분 주행차륜부분의 확대 평면도.

도 9는 도 1의 부품실장장치 헤드의 주행로 만곡부에서의 주행상태를 설명하기 위한 설명도.

도 10은 도 1의 부품실장장치에 있어서 부품흡착노즐을 2개씩 구비한 다수의 헤드가 주행로를 주행하는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 11은 도 1의 부품실장장치에 있어서 부품흡착노즐을 2개씩 구비한 다수의 헤드가 2대의 Y방향 기판 위치결정장치와 2대의 부품공급 카세트 수납체가 배치되는 주행로를 주행하는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 12는 도 11의 부품실장장치의 제어부분에 대한 상세한 블록도.

도 13은 도 11의 부품실장장치의 제어부분에 대한 개략 블록도.

도 14는 도 3의 부품실장장치 2대의 Y방향 기판 위치결정장치 부분을 도시하는 정면도.

도 15는 도 11의 부품실장장치 2대의 Y방향 기판 위치결정장치 부분을 도시하는 정면도.

도 16은 본 발명의 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 11의 부품실장장치에 있어서 2대의 Y방향 기판 위치결정장치를 2대의 XY방향 기판 위치결정장치에 설치된 상태로서 부품공급쪽에는 다수의 고정된 부품공급 카세트와 1대의 고정된 부품공급 트레이(tray)장치가 배치된 상태의 개략 평면도.

도 17은 도 16의 2대의 XY방향 기판 위치결정장치 부근의 확대 평면도.

도 18은 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로상을 주행하는 2대의 부품흡착노즐을 가지는 헤드와 2대의 XY방향 기판 위치결정장치와 부품공급 트레이장치의 관계를 도시하는 개략 측면도.

도 19는 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로상을 주행하는 헤드와 XY방향 기판 위치결정장치와 부품공급 카세트의 관계를 도시하는 개략 측면도.

도 20은 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로상을 주행하는 헤드로부터 늘어지게 되는 2개의 부품흡착노즐과 부품공급 카세트의 관계를 도시하는 개략 정면도.

도 21은 도 20의 확대도.

도 22는 도 20의 노즐 선단 부근의 확대도.

도 23은 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로상을 주행하는 헤드로부터 늘어지는 2개의 부품흡착노즐과 XY방향 기판 위치결정장치의 관계를 도시하는 개략 정면도.

도 24는 도 20의 1개의 부품흡착노즐 선단 부근의 확대도.

도 25는 도 19의 부분 확대도.

도 26은 부품공급 카세트의 일례로서의 테이프(tape) 부품용 부품공급 카세트의 사시도.

도 27은 도 25의 부품흡착노즐과 부품공급 카세트의 관계를 도시하는 확대도.

도 28은 도 19의 부품실장장치에 있어서의 에어(air)스위칭용 밸브와 부품흡착노즐 θ회전모터 및 Z축 방향 이동 보이스 코일(voice coil) 모터 구동용 구동회로가 수납되는 도너츠 형상의 구동회로 수납부를 도시하는 확대 측면도.

도 29는 도 1 의 부품실장장치의 평면도로서, 2대의 Y방향 기판 위치결정장치와 다수의 고정된 부품공급 카세트와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치가 주행로에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 30은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 1의 부품실장장치에 있어서 2대의 XY방향 기판 위치결정장치와 다수의 고정된 부품공급 카세트가 주행로에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 31은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도1의 부품실장장치에 있어서 2대의 Y방향 기판 위치결정장치와 다수의 고정된 부품공급 카세트가 주행로에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 32는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 1의 부품실장장치에 있어서 4대의 Y방향 기판 위치결정장치와 다수의 고정된 부품공급 카세트와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치가 주행로에 배치되어 다수의 헤드가 주행로를 주행하는 상태를 설명하는 개략 사시도.

도 33은 도 32의 부품실장장치의 제어부분 블록도.

도 34는 도 32의 부품실장장치에 있어서, 각 헤드는 2개의 부품흡착노즐을 각각 구비한 상태에서 4대의 Y방향 기판 위치결정장치 부분을 도시하는 정면도.

도 35는 도 32의 부품실장장치에 있어서 4대의 Y방향 기판 위치결정장치와 다수의 고정된 부품공급 카세트와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치가 주행로에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 36은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 32의 부품실장장치에 있어서 4대의 Y방향 기판 위치결정장치와 3대의 고정된 부품공급 카세트와 3대의 고정된 부품공급 트레이장치가 주행로에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 37은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 32의 부품실장장치에 있어서 4대의 Y방향 기판 위치결정장치와 다수의 고정된 부품공급 카세트가 주행로에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도.

도 38은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 32의 부품실장장치에 있어서 각 헤드는 4개의 부품흡착노즐을 각각 구비한 상태에서의 4대의 Y방향 기판 위치결정장치 부분을 도시하는 개략 정면도.

도 39는 도 38의 부품실장장치의 제어부분 블록도.

도 40은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 기판을 위치 결정하는 기판 위치결정장치가 배치되어 있는 1개의 직선부와, 다수의 고정된 부품공급 카세트가 배치되어 있는 만곡부로부터 주행로가 구성되는 상태의 개략 평면도.

도 41은 도 40의 부품실장장치에 있어서 각 헤드가 2개의 부품흡착노즐을 구비한 상태에서의 개략 평면도.

도 42는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 각 헤드를 자주모터가 아닌 직결구동 선형 모터에 의해 주행하도록 한 부품실장장치의 개략 측면도.

도 43은 도 42의 부분 확대도.

도 44는 도 42의 선형 모터부분의 확대도.

도 45는 2대의 노즐본체 스위칭장치를 포함하는 도 3의 부품실장장치의 2대의 Y방향 기판 위치결정장치 부분을 도시하는 정면도.

도 46은 도 45의 부분 확대도.

도 47은 도 46의 부분 확대도.

도 48은 도 45의 부품실장장치의 좌측면도.

도 49는 도 48의 부분 확대도.

도 50은 도1의 부품실장장치의 변형예에 의한 레일본체와 주행차륜의 관계를 도시하는 부분 확대 단면도.

도 51은 도 42의 상기 부품실장장치에 있어서 레일본체내에 자석이 배치된 상태의 주행로를 도시하는 도면.

도 52는 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 직선부를 전혀 가지지 않는 원형의 주행로를 가지는 부품실장장치의 투시 사시도.

도 53은 도 52의 원형 주행로와 각 헤드 구동부분의 관계를 도시하는 설명도.

도 54는 도 52의 부품실장장치에서의 부품공급장치나 기판 위치결정장치 등의 다른 레이아웃(layout)을 도시하는 설명도.

도 55는 도 52의 부품실장장치에서의 부품공급장치나 기판 위치결정장치 등의 또 다른 레이아웃을 도시하는 설명도.

도 56은 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 대략 T자형의 주행로에서의 부품공급장치나 기판 위치결정장치 등의 레이아웃을 도시하는 설명도.

도 57은 도 1의 상기 자주식 헤드에 10개의 흡착노즐을 직선상에 배치한 경우를 도시하는 사시도.

도 58은 종래의 직교 로봇(robot) 타입의 실장장치 설명도.

도 60은 종래의 또 다른 직교 로봇 타입의 실장장치 설명도.

도 61은 종래예에 의한 고속실장기의 개략 평면도.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 이하와 같이 구성하고 있다.

본 발명의 제1실시형태에 의하면, 실장체에 실장해야할 부품을 유지가능한 부품유지부재를 각각 가짐과 아울러 자주(自走)용 구동장치를 각각 가지는 복수의 자주식 헤드와,

상기 복수 자주식 헤드의 상기 각 구동장치 구동에 의해 서로 독립하여 상기 자주식 헤드가 각각 순환주행하는 폐쇄루프의 주행로와,

상기 주행로의 피실장체 위치결정부에 배치되어 상기 피실장체를 위치결정하는 피실장체 위치결정장치와,

상기 주행로의 부품공급부에 배치되어 상기 부품을 수납하는 부품공급장치를구비하고,

상기 복수의 자주식 헤드가 상기 주행로상에서 서로 간섭하지 않도록 상기 각 구동장치를 제어하면서 상기 각 자주식 헤드를 독립적으로 주행시키고, 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 각각 독립하여 상기 부품공급장치로부터 상기 부품을 유지한 후, 상기 부품을 유지한 상기 부품유지부재를 가지는 상기 각 자주식 헤드가 각각 독립하여 상기 주행로를 주행하고, 상기 주행로의 상기 피실장체 위치결정부의 상기 피실장체 위치결정장치에 의해 위치결정된 상기 피실장체에 대해 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 유지된 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하는 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제2실시형태에 의하면, 제1실시형태에 있어서, 상기 주행로는 상기 복수의 자주식 헤드가 주행하는 상기 폐쇄루프에 적어도 1개의 직선부를 가지고 있고,

상기 주행로의 상기 직선부에 상기 피실장체 위치결정부를 배치하여 상기 피실장체 위치결정부의 상기 피실장체 위치결정장치에 의해 상기 피실장체를 위치결정하고, 그 위치결정된 상기 피실장체에 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제3실시형태에 의하면, 제1실시형태에 있어서, 상기 복수의 자주식 헤드가 주행하는 상기 폐쇄루프에 적어도 1개의 직선부를 가지고 있고,

상기 주행로의 상기 직선부에 상기 부품공급부를 배치하여 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기부품유지부재가 각각 독립하여 유지되도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제4실시형태에 의하면, 제1 또는 제2실시형태에 있어서, 상기 주행로는 또 다른 제2직선부를 가지고, 그 제2직선부에 상기 부품공급부를 배치하여 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지되도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제5실시형태에 의하면, 제1 내지 제4실시형태 중 어느 하나의 실시형태에 있어서, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제1헤드는 상기 주행로의 상기 부품공급부에 위치시켜 상기 제1헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 유지함과 동시적으로, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제2헤드는 상기 주행로의 상기 피실장체 위치결정부에 위치시켜 상기 제2헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제6실시형태에 의하면, 제1 내지 제5실시형태 중 어느 하나의 실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 사이에 배치시켜 상기 각 헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 인식하는 부품인식장치를 더 구비하고,

상기 각 헤드는, 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 상기 헤드의 상기 부품유지부재에 유지한 후 상기 주행로가 상기 피실장체위치결정장치 쪽으로 향하여 주행하고, 그 주행 도중에 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하고, 인식후 상기 헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장함과 아울러, 상기 인식한 후에 또한 상기 피실장체 위치결정장치 쪽으로 향하여 주행하고 있는 사이 또는 상기 피실장체로의 실장직전에, 상기 부품인식장치에 있어서 얻어진 부품인식결과에 의거하여 상기 부품의 자세를 제어하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제7실시형태에 의하면, 제1 내지 제6실시형태 중 어느 하나의 실시형태에 있어서, 상기 주행로는 양측면이 대략 삼각형상으로 돌출한 레일로 구성되고, 상기 주행로를 주행하는 각 헤드에는 상기 레일 양측부의 대략 삼각형상 돌출부에 점접촉하여 슬라이딩 가능한 만곡볼록면을 가지는 차륜을 가지고 있는 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제8실시형태에 의하면, 피실장체에 실장해야할 부품을 유지할 수 있는 부품유지부재를 각각 가짐과 아울러 자주용 구동장치를 각각 가지는 복수의 자주식 헤드가 폐쇄루프의 주행로상에서 서로 간섭하지 않도록 상기 각 구동장치를 제어하면서 상기 각 자주식 헤드를 독립적으로 순환주행시키고, 또한 상기 주행로의 부품공급부에 배치된 부품공급장치로부터 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 각각 독립시켜 상기 부품을 유지한 후, 상기 부품을 유지한 상기 부품유지부재를 가지는 상기 각 자주식 헤드가 각각 독립하여 상기 주행로를 주행하고, 상기 주행로의 피실장체 위치결정부에 배치된 피실장체 위치결정장치에 의해 위치결정된 상기 피실장체에 대하여, 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 유지된 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하는 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제9실시형태에 의하면, 제8실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 폐쇄루프에 구비된 적어도 1개의 직선부에 배치된 상기 피실장체 위치결정부의 상기 피실장체 위치결정장치에 의해 상기 피실장체를 위치결정하고, 그 위치결정된 상기 피실장체에 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제10실시형태에 의하면, 제8실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 폐쇄루프에 구비된 적어도 1개의 직선부에 배치된 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제11실시형태에 의하면, 제8 또는 제9실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 폐쇄루프에 구비된 또 다른 제2직선부에 배치된 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제12실시형태에 의하면, 제8 내지 제11실시형태중 어느 하나의 실시형태에 있어서, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제1헤드는 상기 주행로의 상기 부품공급부에 위치하여 상기 제1헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 유지함과 동시적으로, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제2헤드는 상기 주행로의 상기 피실장체 위치결정부에 위치하여 상기 제2헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제13실시형태에 의하면, 제8 내지 제12실시형태중 어느 하나의 실시형태에 있어서, 상기 각 헤드는 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 상기 헤드의 상기 부품유지부재에 유지한 후 상기 주행로를 상기 피실장체 위치결정장치 쪽으로 향해 주행하고, 그 주행 도중에 상기 주행로의 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 사이의 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하고, 인식 후 상기 주행로를 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향하여 주행하여 상기 헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장함과 아울러, 상기 인식한 후, 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향하여 주행하고 있는 사이 또는 상기 피실장체로의 실장직전에 상기 부품인식장치에 있어서 얻어진 부품인식결과에 의거하여 상기 부품의 자세를 제어하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제14실시형태에 의하면, 제6실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로앞에서 상기 각 헤드가 고속주행으로부터 저속주행으로 스위칭되어 상기 각 헤드가 저속주행하면서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제15실시형태에 의하면, 제6실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로앞으로부터 상기 부품인식장치가 배치된 그 위치를 통과할 때까지 속도를 변경함이 없이 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제16실시형태에 의하면, 제6실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드가 일단 정지하여 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제17실시형태에 의하면, 제1실시형태에 있어서, 상기 주행로를 임의 형상의 폐쇄루프로 하고, 또한 상기 주행로의 임의 위치에 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부를 각각 배치하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제18실시형태에 의하면, 제13실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞에 상기 각 헤드가 고속주행으로부터 저속주행으로 스위칭되어 상기 각 헤드가 저속주행하면서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제19실시형태에 의하면, 제13실시형태에 있어서, 상기 주행로의상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞으로부터 상기 부품인식장치가 배치된 그 위치를 통과할 때까지 속도를 변경함이 없이 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제20실시형태에 의하면, 제13실시형태에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드가 일단 정지하여 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 제21실시형태에 의하면, 제1∼제7실시형태, 제14∼제17실시형태 중 어느 한 실시형태에 있어서, 상기 주행로에 걸쳐서 상기 피실장체 위치결정장치가 복수배치되어 상기 복수의 헤드는 부품유지부재를 복수 구비하고, 복수의 부품유지부재 중 제1부품유지부재와 제2부품유지부재에 상기 부품공급장치로부터의 부품을 각각 유지하며, 상기 제1부품유지부재에서 유지된 부품은 상기 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제1피실장체 위치결정장치에서 위치결정된 기판에 실장함과 아울러,

상기 제2부품유지부재에서 유지된 부품은 상기 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제2피실장체 위치결정장치에 위치결정된 기판에 실장하도록 한 부품실장장치를 제공한다.

본 발명의 제22실시형태에 의하면, 제8∼제13실시형태, 제18∼제19실시형태 중 어느 한 실시형태에 있어서, 상기 복수의 헤드에 구비된 복수의 부품유지부재중 제1부품유지부재와 제2부품유지부재에 상기 부품공급장치로부터의 부품을 각각 유지하고, 상기 제1부품유지부재에 유지된 부품은 상기 주행로에 걸쳐서 구비된 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제1피실장체 위치결정장치에서 위치결정된 기판에 실장함과 아울러, 상기 제2부품유지부재에 유지된 부품은 상기 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제2피실장체 위치결정장치에 위치결정된 기판에 실장하도록 한 부품실장방법을 제공한다.

본 발명의 목적과 특징은 첨부된 도면에 대해서의 바람직한 실시형태에 관련한 다음의 기술로부터 명확하게 된다.

본 발명의 기술을 계속하기 전에, 첨부도면에 있어서 동일 부분에 대해서는 동일 참조부호를 붙이고 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 제1실시형태를 상세히 설명한다.

이하에, 본 발명에 의한 실시형태를 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

본 발명의 일 실시형태에 의한 부품실장방법을 실시하는 부품실장장치는, 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 피실장체의 일례로서의 기판(1)에 실장해야할 부품(2)을 유지하는 부품유지부재의 일례로서의 부품흡착노즐(3)을 각각 가짐과 아울러 자주용 구동장치의 일례로서의 자주용 모터(4)를 각각 가지는 복수의 자주식 헤드(5)와, 폐쇄루프형으로서, 상기 자주용 모터(4)의 구동에 의해 상기 자주식 헤드(5)가 순환 주행하는 주행로(6)와, 상기 주행로(6)의 기판 위치결정부(CP)에 기판(1)을 위치결정하는 기판 위치결정장치(7)와, 상기 주행로(6)의 부품공급부(CF)에 배치되어 상기 부품(2)을 수납하는 부품공급장치(8)와, 상기 복수의 자주식 헤드(5)가 상기 주행로(6) 상에서 간섭하지 않도록 각 자주용 모터(4)를 제어하면서 각 자주식 헤드(5)를 독립적으로 주행시키고, 또한 각 자주식 헤드(5)의 상기 부품흡착노즐(3)에 의해 각각 독립시켜 상기 부품공급부(CF)의 상기 부품공급장치(8)로부터 상기 부품(2)을 유지한 후 각각 독립시켜 상기 주행로(6)를 주행하고, 상기 주행로(6)의 상기 기판 위치결정부(CP)의 상기 기판 위치결정장치(7)에 의해 위치결정된 상기 기판(1)에 대하여, 상기 부품흡착노즐(3)에 유지된 상기 부품(2)을 각각 독립시켜 실장하는 제어장치(9)를 구비하도록 하고 있다.

상기 주행로(6)는, 2개의 직선부(6a, 6b)와 2개의 만곡부(6c, 6d)에 의해 구성되어 있다. 한쪽의 제1직선부(6a)를 상기 부품공급부(CF)로 하여 거기에 부품공급장치(8)를 배치하고, 다른 쪽의 제2직선부(6b)를 상기 기판 위치결정부(CP)로 하여 거기에 기판 위치결정장치(7)를 통해 기판(1)을 배치한다.

도 1은 상기 부품실장장치(10)의 전체 외관의 개략 사시도로서, 부품공급장치(8)의 일례로서 다수의 부품(2)을 각각 수납한 다수의 부품공급 카세트(80)를 광체(筐體) 형상의 부품공급 카세트 수납체(80a)내에 병렬 배치한 상태를 도시한다. 부품공급 카세트(80)의 예로서는, 테이핑(taping)된 다수의 부품을 수납하는 테이퍼 부품용 부품공급 카세트나, 다수의 부품이 흩어진 상태로 수납되어 있는 벌크(bulk) 형식의 부품공급 카세트 등이 있다. 부품(2)을 실장해야할 기판(1)은, 공지된 한 쌍의 기판 반송 컨베이어(12, 12)에 의해 상기 부품실장장치(10)내의 기판 위치결정장치(7)에 반입되어 소정위치에 위치결정된다. 11은 다수의 헤드(5)가 주행로(6)를 따라서 자주(自走)하는 헤드 주행 영역이다. 도 1에는, 기판 위치결정장치(7)의 일례로서의 Y방향 기판 위치결정장치(70)를 도시하고, 기판반송 컨베이어(12)와 직교하는 방향으로 만 모터(70a)에 의해 한쌍의 가이드(70b)에 걸쳐서 기판 지지테이블(70c)을 이동시켜, 기판 지지테이블(70c) 상에 지지되는 소정위치에 기판(1)을 위치시킬 수 있다.

부품공급 카세트(80)에는, 자동적으로 부품(2)을 부품꺼냄구(取出口)까지 이동시키는 것과, 부품공급 레버(80h)를 구비하여 이 레버(80h)를 밀음으로써 수납되어 있는 부품(2)을 부품꺼냄구까지 이동시키는 것이 있다. 이 레버(80h)를 밀기 위한 눌러서 밑으로 내리는 부재를 가지는 부품을 밀어올리는 기구(84)(도 18, 도 19 참조)는 다수의 카세트(80)에 대해 1개 구비하고, 제1직선부(6a)의 축 방향과 평행한 방향으로 이동하여 눌러서 밑으로 내리는 부재에서 필요한 카세트(80)의 레버(80h)를 눌러서 밑으로 내리도록 하고 있다.

도 1은 도 2의 부품실장장치(10)의 보다 구체적인 투시 사시도이다. 이 도 1의 부품실장장치(10A)에서는, 주행로(6)를 따라 자주하는 4대의 자주식 헤드(5)를 구비하고, 각 헤드(5)에는 2대의 부품흡착노즐(3)을 병렬로 구비하고 있다. 각 부품흡착노즐(3)은, 도 3에 도시하는 주행로(6)의 제1직선부(6a)에 배치된 다수의 부품공급 카세트(80) 및 부품공급 트레이장치(81)의 어느 한쪽 또는 양쪽으로부터 부품(2)을 1개 씩 흡착유지한 후, 주행로(6)를 예컨대 시계방향으로 주행하여, 주행로(6)의 제2직선부(6b)에 배치된 2판의 기판(1)에 각각 또는 어느 한쪽 기판(1)에 흡착유지한 부품(2)을 각각 실장하도록 하고 있다. 각 부품공급 카세트(80)는 공지의 것으로서, 예컨대 동일 종류의 부품(2)을 부품유지 테이프의 다수 부품수납용 오목부내에 2개씩 수납하고, 자동적으로 또는 테이프 이송기구의 구동에 의해 부품유지 테이프의 상기 부품수납용 오목부를 부품꺼냄구까지 순차 이동시켜, 각 부품수납용 오목부내로부터 부품(2)을 각 부품흡착노즐(3)의 노즐본체(130)(도 30 참조)가 흡착유지하도록 한 것이다. 또한, 부품공급 트레이장치(81)는 트레이 수납고(81a)로부터 한판씩 트레이(81b)를 꺼내고, 트레이(81b)내에 다수 분할된 부품수납공간내의 부품(2)을 부품꺼냄위치까지 트레이(81b)마다 이동시켜, 그 부품꺼냄위치에 있어서 각 부품(2)을 각 부품흡착노즐(3)의 노즐본체(130)가 흡착유지하도록 한 것이다.

Y방향 기판 위치결정장치(70)는 기판 위치결정장치(7)의 일례로서, 기판반송 컨베이어(12)와 직교하는 Y방향으로만 기판(1)을 이동시킬 수 있는 것이다. 구체적으로는, 모터(70a)의 회전에 의해 Y방향으로 늘어서 있던 나사축을 회전시켜, 그 나사축에 맞물린 기판 지지테이블(70c)을 한쌍의 가이드(70b)에 걸쳐 Y방향으로 왕복 이동시켜서, 기판 지지테이블(70c)상에 지지되는 기판(1)을 따르는 소정위치에 위치시킬 수 있다. 기판 지지테이블(70c)상에는, 기판 반입용의 한쌍의 기판반송 컨베이어(12, 12)에 의해 반송되어 오는 기판(1)을 받아들이는 한편, 부품실장 후에 기판(1)을 기판반출용의 한쌍의 기판반송 컨베이어(12, 12)에 송출하는 기판반송 컨베이어(70h, 70h)를 기판 반입용 및 기판 반출용의 기판반송 컨베이어(12, 12)의 반송방향을 따라 구비하고 있다. 각 기판반송 컨베이어(12, 12)는 체인 등에 의해 그 반송방향으로 기판(1)을 한판씩 반송하는 공지의 장치이다.

도 3, 도 45∼도 49에 있어서, 30은 주행로(6) 한쪽의 만곡부(6c), 예컨대 중간부근에 배치된 2대의 노즐본체 스위칭장치이고, 각 부품흡착노즐(3)의 하단에는 하기하는 복수의 노즐본체(130)를 택일적으로 선택하여 사용하고 있으며, 한쪽의 만곡부(6c)를 통과하는 헤드(5) 중 노즐본체 스위칭이 필요한 1개 또는 2개의 노즐본체(130)를 가지는 1개 또는 2개의 부품흡착노즐(3)을 구비한 헤드(5)는, 2대의 노즐본체 스위칭장치(30, 30)의 앞에서 일단 정지하고, 제어장치(9)의 제어하에 스위칭장치 구동레버(201)가 하강하도록 구동시켜, 구동로드(rod)(202)를 통해 구동휠(203)이 도 47에 있어서 반시계 방향으로 회전되어, 구동휠(203)의 돌기(204)가 노즐본체 스위칭장치(30) 케이싱(206)의 맞물림 오목부(205)에 맞물리고 있음으로써, 구동휠(203)의 회전력이 도 46 및 도 47에 있어서 우측 방향으로의 직선이동력으로 변환되어서 노즐본체 스위칭장치(30) 전체가 도 46 및 도 47에 있어서 우측방향으로 이동한다. 이 결과, 케이싱(206) 선단의 걸림해제돌기(207)가 후술하는 바와 같이, 각 노즐(3)의 노즐본체(130)(도 24 참조)의 걸림레버(130b)에 맞닿아 걸림레버(130b)의 걸림홈(130)에 대해 걸림이 해제된다. 또한, 노즐본체 스위칭장치(30)의 우측방향으로의 이동시에 노즐본체 스위칭장치(30)의 스위칭 구동모터(210)의 회전축(208)이 원판(130a)의 회전축(130g)에 맞물려 스위칭 구동모터(210) 회전축(208)의 회전에 의해 원판(130a)이 회전구동할 수 있게 된다.

여기서, 1개의 부품흡착노즐(3) 선단 부근의 확대도를 도 24에 도시한다. 각종의 부품(2)에 대응하여 흡착유지 가능한 바와 같이, 이 실시형태에는 6종류의 노즐본체(130)를 노즐 선단에 회전할 수 있게 대략 등간격으로 원판(130a)의 주위에 배치하고, 각 노즐본체(130)에 대응하여 원판(130a)에 형성된 걸림홈(130c)에 걸리게 되어 있는 걸림레버(130b)를, 상기 걸림해제돌기(207)에 의해 뽑아낸 상태에서 사용해야할 노즐본체(130)를 노즐 하단위치로 위치시키도록 원판(130a)을 회전시킨다. 이 원판(130a)은 노즐본체 스위칭장치(30)의 스위칭 구동모터(210)의 회전축(208)이 원판(130a)과 맞물려 있기 때문에, 스위칭 구동모터(210)의 회전축(208)이 회전구동되면 원판(130a)이 회전될 수 있도록 되어 있고, 제어장치(9)의 제어하에, 소망의 노즐본체(130)가 노즐 하단위치에 위치한 때에 스위칭 구동모터(210)의 회전축(208)에 의한 원판(130a)의 회전구동을 정지시킨 후, 스위칭장치 구동레버(201)가 상승하도록 구동되어, 구동로드(202)를 통해 구동휠(203)이 도 47에 있어서 시계방향으로 회전되고, 구동휠(203)의 돌기(204)가 노즐본체 스위칭장치(30)의 케이싱(206)의 맞물림 오목부(205)에 맞물려 있기 때문에 구동휠(203)의 회전력이 도 46 및 도 47에 있어서 죄측방향으로의 직선 이동력으로 변화되어 노즐본체 스위칭장치(30) 전체가 도 46 및 도 47에 있어서 좌측방향으로 이동한다. 이 결과, 케이싱(206)의 선단 걸림해제돌기(207)가 각 노즐(3)의 노즐본체(130)의 걸림레버(130b)로부터 멀어지게 되어, 걸림레버(130b)의 걸림홈(130c)에 걸림레버(130b)를 맞물리게 함으로써 원판(130a)의 위치결정이 행해진다. 이와 같이 하여, 2대 또는 1대의 노즐본체 스위칭장치(30)에 의해 양쪽 또는 필요한 한쪽의 노즐본체(130)를 다른 노즐본체(130)로 스위칭할 수 있다.

또한, 도 3에 있어서, 31은 주행로(6)의 다른 쪽 만곡부(6d)의 예컨대 중간부근에 배치된 CCD 카메라 등의 부품인식장치로서, 각 헤드(5)의 2대의 부품흡착노즐(3, 3)에 각각 흡착유지된 부품(2, 2)의 자세를 인식하는 것이다. 이 인식결과에 의거하여, 각 부품흡착노즐(3)에 있어서 각 노즐축 둘레의 회전각도를 제어장치측에서 연산하여, 부품인식장치(31)로부터 실장해야할 기판(1)으로 이동하기 까지 동안에, 제어장치(9)의 제어하에 각 부품흡착노즐(3)에 있어서 그 노즐축 둘레에 후술하는 θ회전모터(33)에 의해 상기 연산된 회전각도 만큼 회전시켜 자세를 보정하도록 하고 있다. 이 부품인식장치(31)에 있어서, 부품자체가 불량하다고 판단된 경우 또는 부품흡착자세가 보정할 수 없을 정도로 불량하다고 판단된 경우에는, 예컨대 도 3에 있어서, 부품인식장치(31)를 부품흡착노즐(3)이 통과한 직후의 위치 또는 노즐본체 스위칭장치(30)에 도달하기 전의 위치로 배치된 불량품 폐기부에, 상기 불량부품이 폐기된다.

또한, 도 1의 32는 헤드(5) 또는 그 헤드(5)에 설치된 각 부품흡착노즐(3)의 이동범위 외의 영역으로 부품실장장치(10)의 각 Y방향 기판 위치결정장치(70)의 상방으로 각각 배치된 CCD 카메라등의 기판 인식장치로서, 각 Y방향 기판 위치결정장치(70)의 기판 지지테이블(70c)에 놓여진 기판(1)의 공지된 기준마크를 인식하여, 기판(1)이 소정위치로 위치결정된 것을 인식하여 제어장치(9)에 신호를 출력하는 장치이다.

각 헤드(5)는 이하와 같은 기구에 의해 주행로(6)에 걸쳐서 자주할 수 있다. 즉, 도 4, 도 5에 도시하는 바와 같이, 각 헤드(5)에는 자주용 모터(4)와 그 모터(4)에 연결된 부호기(4c) 등에 의해 모터(4)의 회전각도를 산출하여 각 헤드(5)의 위치를 제어장치(9)에서 항상 파악할 수 있도록 하고 있다. 각 주행모터(4)는 각 모터(4)의 각 회전축(4b)에 고정된 각 피니언 기어(4a)가 주행로(6)를 따라서 배치된 래크(6r)와 이맞물림되어 있고, 각 모터(4)가 회전구동됨으로써, 래크(6r)와 이맞물림된 각 피니언 기어(4a)가 회전하여 각 주행모터(4)에 따라서 각 헤드(5)를 주행로(6)를 따라 한방향으로 이동시킴과 아울러, 각 모터(4)의 회전정지에 의해 헤드(5)의 이동을 정지하도록 하고 있다.

상기 주행로(6)는, 상기한 바와 같이, 2개의 직선부, 즉 제1직선부(6a) 및 제2직선부(6b)와 2개의 만곡부(6c, 6d)에 의해 대략 구성되어 있다. 한쪽의 제1직선부(6a)에는 부품공급장치(8)의 예로서의 부품공급 카세트(80)와 부품공급 트레이장치(81)를 배치하고, 다른쪽 제2직선부(6b)에 기판 위치결정장치(7)의 예로서의 Y방향 기판 위치결정장치(70)를 배치한다.

도 5, 도 6, 도 10에 도시한 바와 같이, 제1직선부(6a)와 제2직선부(6b)에 만 리니어 스케일(linear scale)(20)을 배치하고, 각 헤드(5)에 구비된 리니어 스케일 센서(21)에 의해, 제1직선부(6a)와 제2직선부(6b)에 있어서의 각 헤드(5)의 위치를 정밀하게 파악하여, 정밀하게 소망의 위치에서 정지시켜 부품흡착유지 또는 부품실장을 확실히 더욱 정밀하게 행할 수 있도록 하고 있다.

주행로(6)는, 그 주행로(6)를 형성하는 레일본체(6g)의 단면이 육각형이므로, 이 육각형 단면의 레일본체(6g) 양측부의 삼각형 단면부(6h, 6h)에, 한쪽편에 2개씩 합계 4개의 주행차륜(14, 14, 15, 15)이 각각 접촉한다. 각 주행차륜(14, 15)의 축 방향 중앙부의 주변방향을 따라서 형성된 홈(14a, 15a)에, 레일본체(6g) 양측부의 대략 삼각형 단면부(6h, 6h)가 끼워맞춤됨으로써, 상하방향으로 위치 어긋남이 발생하지 않고, 또한 진행방향 앞측에서 내외의 주행차륜(15, 14)에서 레일본체(6g)를 끼워붙임과 아울러 진행방향 뒤측에서도 내외의 주행차륜(15, 14)에서 레일본체(6g)를 끼워붙이면서, 각 주행차륜(14, 15)이 레일본체(6g) 측부를 전동(轉動)할 수 있고, 진동방지를 도모할 수 있다. 보다 상세하게는, 각 주행차륜(14, 15)은, 각 삼각형 단면부(6h)를 상하로부터 끼우도록 접촉한 한쌍의 베이링(14e, 14f, 15e, 15f)으로 구성되며, 통상은 일체적으로 회전하도록 되어 있다.

또한, 상기 각 삼각형 단면부(6h)와 홈(14a, 15a)의 접촉부분에 있어서, 도 50에 도시한 바와 같이, 각 홈(14a, 15a)의 각 삼각형 단면부(6h)에 대향하는 면을 만곡 볼록면으로 하도록 하면, 각 홈(14a, 15a)과 각 삼각형 단면부(6h)가 14p, 15p에서 점접촉하게 되어, 각 주행차륜(14, 15)이 레일본체(6g)를 보다 원활하게 주행할 수 있게 된다.

도 5, 도 6, 도 7a, 도 7b 및 도 8에 도시한 바와 같이, 레일본체(6g)를 끼우는 진행방향 앞쪽 한쌍의 차륜(14, 15) 및 뒤쪽 한쌍의 차륜(14, 15)은, 각각, 레일본체(6g)의 중심축에 대하여 항상 등거리로 되도록 고정축(14h, 15h)에 의해 상호 직사각형 요동판(17)에 회전이 자유롭게 설치되어 있다. 또한, 도 7b에 도시한 바와 같이, 차륜(15)의 회전축(15g)과 고정축(15h)은 그 축심이 동일하게 되어 있으나, 차륜(14)의 회전축(14g)은 고정축(14g)으로부터 편심하고 있고, 고정축(14h)의 축심 둘레에 회전축(14g)을 이동시킴으로써, 차륜(14)의 레일본체(6g)의 삼각형 단면부(6h)에 대하여 위치를 원근 조정할 수 있도록 되어 있다. 각 요동판(17)은 회전원판(16)에 고정되어 있고, 각 요동판(17)의 중심에 일치하는 회전원판(16)의 중심둘레에 회전원판(16)이 지지판(18)에 대해 회전이 자유롭게 있게 지지되어 있다. 따라서, 도 9에 도시한 바와 같이, 예컨대 주행로(6)의 각 직선부(6a, 6b)에 있어서는, 진행방향 앞쪽의 한쌍의 차륜(14,15)을 지지하는 요동판(17)과 진행방향 뒤쪽의 한쌍의 차륜(14, 15)을 지지하는 요동판(17)이 대략 평행한 상태로 헤드(5)가 주행하고 있으나, 직선부로부터 만곡부로 이동할 때에는, 우선 최초로 진행방향 앞쪽의 한쌍의 차륜(14, 15)을 지지하는 요동판(17)이 회전원판(16)과 아울러 시계방향으로 약간 회전하여 외측 차륜(14)이 내측 차륜(15) 보다도 약간 진행방향 앞쪽에 위치하도록 함과 아울러, 이어서, 진행방향 뒤쪽의 한쌍의 차륜(14, 15)도 만곡부로 이동하면 마찬가지로 요동판(17)이 회전원판(16)과 아울러 시계방향으로 약간 회전하여 외측 차륜(14)이 내측 차륜(15) 보다도 약간 진행방향 앞쪽에 위치하도록 한다. 이는 각 만곡부(6c,6d)가 내측의 주행거리 보다도 외측 주행거리 쪽이 길기 때문에, 이에 대응하여 차륜의 위치를 변경시킴으로써, 만곡부를 원활하게 주행할 수 있도록 하고 있다. 진행방향 앞쪽 및 뒤쪽의 각 한쌍의 차륜(14, 15)을 지지하는 각 요동판(17)은, 결국 그 차륜(14, 15)을 각 요동판(17)에 회전이 자유롭게 고정하는 고정축(14h, 15h)을 잇는 직선(19)이 만곡부의 접선방향과 대략 직교하는 방향으로 위치하도록 요동판(17)이 회전원판(16)과 아울러, 시계방향으로 또는 그 역방향으로, 주행로(6)의 레일본체(6g)에 걸쳐서 요동함으로써, 직선부로부터 만곡부에 그리고 만곡부로부터 직선부에 각 헤드(5)가 원활하게 주행하도록 되어 있다.

또한, 제어장치(9)에는, 도 12에 도시한 바와 같이, 헤드(5)(각 주행모터(4), 각 노즐(3)의 노즐본체(130)에서의 부품(2) 흡착동작을 행하게 하기 위한 진공흡인장치(602), 각 노즐 θ회전모터(33), 각 노즐(3)의 Z축 방향(예컨대 XY방향에 직교하는 상하방향)에 걸쳐 이동용 보이스 코일 모터(34) 등), 헤드위치검출용 리니어 스케일 센서(21), 부품공급장치(8), 기판 위치결정장치(7), 기판 인식장치(32), 부품인식장치(31), 부품위치보정량 연산을 행하는 부품위치보정량 연산부(600), 부품의 품종 등의 부품정보, 기판정보, NC프로그램 등의 부품실장에 필요한 정보, 부품위치보정량, 그 연산결과 등을 기억하는 메모리(601), 노즐본체 스위칭장치(30), 제어장치(9)에 대하여 정보 또는 지시 등을 입력하기 위한 키보드 또는 마우스 등으로 구성되는 조작부(91), 조작부(91)에 의해 입력되는 정보를 표시하거나 부품실장장치(10)의 동작정보 등을 표시하기 위한 표시화면 등의 표시부(92), 부품공급 카세트(80)에 수납된 부품(2) 정보 등의 부품공급정보를 키보드 또는 마우스 또는 기억매체로부터 필요한 정보를 판독하는 판독장치 등의 공지의 정보입력수단을 이용하여 입력하는 부품공급 정보입력부(182), 기타 구동장치 등이 전기적으로 접속되어, 각각의 동작제어나 동작상황 신호를 받아들이거나 할 수 있도록 하여, 부품실장장치 전체의 동작을 제어하도록 하고 있다.

도 10은 도 1의 부품실장장치에 있어서 부품흡착노즐(3)을 2개씩 구비한 다수의 헤드(5)가 주행로(6)를 주행하는 상태를 설명하는 개략 평면도이다. 이 도 10에 의거하여 상기 구성에 관한 부품실장장치에서의 부품실장방법을 설명한다.

도 10에 도시한 바와 같이, 2개의 부품흡착노즐(3)을 가지는 복수의 헤드(5)가 주행로(6)를 항상 주행 또는 주행정지를 반복하면서 한 방향으로 순환주행하고, 주행로(6)의 제1직선부(6a)에 있어서 복수의 부품공급장치(8) 중 2대 또는 1대 앞에서 정지하여 그 부품공급장치(8)로부터 2개의 노즐(3)에 부품(2)을 각각 흡착한다.

그 후, 주행로(6)를 주행하고, 만곡부(6d)에서 2대의 부품인식장치(31) 앞에서 정지 또는 통과하여 그 부품인식장치(31)에 의해 각 부품(2)의 위치인식을 행하고, 만곡부(6d)로부터 제2직선부(6d)의 소정 1판의 기판(1) 또는 2판의 기판(2)에 실장할 때에는 1판째의 기판(1)에 도달할 때까지 또는 도달한 후 실장전에, XY방향 및 θ방향의 보정량을 제어장치(9)의 부품위치 보정량 연산부(600)에 의해 산출하고, 산출된 θ방향의 보정량에 의거하여 노즐축 둘레의 θ보정회전을 θ회전모터(33)에 의해 행한다. 제2직선부(6b)의 소정 기판(1)에 도달할 때 정지하고, 그 기판(1)에 부품(2)을 2대의 노즐(3)에 의해 각각 실장한다.

이때, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞에서 상기 각 헤드가 고속주행으로부터 저속주행으로 스위칭되어, 상기 각 헤드가 저속주행하면서, 바람직하게는 상기 각 헤드가 저속의 일정속도에서 주행하면서, 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 하여도 좋다. 또한, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞으로부터 상기 부품인식장치가 배치된 그 위치를 통과할 때까지 속도를 변경함이 없이, 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 하여도 좋다. 또한 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드가 일단 정지하여 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 하여도 좋다.

실장 후, 제2직선부(6b)로부터 제1직선부(6a)로 향하는 만곡부(6c)에 있어서, 필요에 따라 각 노즐(3)의 노즐본체(130)를 노즐본체 스위칭장치(30) 앞에서 정지하여 그 노즐본체 스위칭장치(30)에서 스위칭 한 후, 제1직선부(6a)의 부품공급장치(8)에서 각 헤드(5)의 각 노즐(3)에 대한 부품유지를 다시 행한다. 상기 실장동작과 동시에 다른 헤드(5)에서는 복수의 부품공급장치(8)로부터 복수의 노즐(3)에 부품(2)을 각각 흡착하는 부품흡착동작을 행함과 아울러 다른 헤드(5)에서는 노즐(3)에 유지한 부품(2)의 위치 인식을 행하고, 더욱이 다른 헤드(5)에서는 노즐(3)의 스위칭 동작을 할 수 있다.

상기 복수 헤드(5)의 각 부품흡착노즐(3)의 부품흡착 위치, 헤드(5)의 이동제어, 각 부품흡착노즐(3)의 부품실장 대상기판 및 그 기판에서의 실장위치 등은, NC프로그램에 따라 동작시킴으로써, 임의의 타이밍에 임의의 위치에서 부품흡착 또는 부품실장을 행할 수 있다. 따라서, 복수의 기판(1)에서는 복수의 기판(1)에 대하여 복수의 헤드(5)에서 부품(2)을 마찬가지로 실장할 수 있다.

또한, 각 헤드(5)가 주행할 때, 서로 충돌하거나, 각 부품흡착노즐(3)의 동작 등이 방해받지 않도록 하기 위해, 즉 간섭을 방지하기 위해 상기 제어장치(9)에 의해 각 헤드(5)의 동작을 제어한다.

이하에, 상기 실시형태의 상세한 내용 및 상기 실시형태의 변형예에 대해서, 첨부 도면에 의해 설명한다.

도 11은, 도 1의 부품실장장치에 있어서 부품흡착노즐(3)을 2개씩 구비한 다수의 헤드(5)가 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 2대의 부품공급 카세트 수납체(80a)가 배치되는 주행로(6)를 주행하는 상태를 설명하는 개략 평면도이다. 부품공급 카세트(80)측에 있어서는, 1개의 볼나사축(181m)이 주행로(6)의 직선부(6a)와 평행하게 고정되고, 이 볼나사축(181m)에 2개의 너트(181n)가 각각 나사결합되고, 각 너트(181n)를 회전시키는 각 중공모터(181p)를 구비하고, 이 각 중공모터(181p)가, 부품공급 카세트 수납체(80a)가 얹어 놓여지는 각 얹어놓음대(181k)에 고정되어 있다. 따라서, 각 중공모터(181p)를 회전구동하여 너트(181n)를 정역회전시킴으로써 중공 모터(181p)와 일체적으로 얹어놓음대(181k)를 따라 부품공급 카세트 수납체(80a)가 볼나사축(181m)에 걸쳐 왕복 이동하여, 소망의 부품공급 카세트(80)를 부품공급위치에 위치시켜, 그 부품공급 카세트(80)의 부품꺼냄구로부터 부품(2)을 부품흡착노즐(3)이 흡착유지하여 꺼낼 수 있게 하고 있다.

도 12는 도 11의 부품실장장치의 제어부분 상세 블록도이다.

도 13은 도 11의 부품실장장치의 제어부분 개략 블록도이다. 도 13에 있어서, 「Y1」 내지 「Y2」는 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70) 각각의 제어부이다. 「N-FEED, 밀어올림 상하」는, 부품공급 카세트(80)에서의 부품공급 레버(80h)의 누름 동작을 제어하는 제어부이다.

「리니어 스케일」은, 주행로(6)의 직선부(6a, 6b)에 배치된 리니어 스케일(20)에 대한 리니어 스케일 센서(21)로부터의 정보에 의거하여 각 헤드(5)의 위치를 검출하는 제어부이다. 「고정부」는 그 장치 자체는 이동하지 않는 장치군(裝置群)의 제어부가 집중된 부분이고, 그 중 「부품공급부 기판 테이블 X방향 부품인식부」는, 부품공급장치(8), 기판 위치결정장치(7), 부품인식장치(31)의 각 동작을 제어하는 제어부이다. 「구동부」는 그 장치 자체가 이동하는 장치군의 제어부가 집중된 부분이고, 그 중 각 헤드(5)에 있어서, 「XA」는, 2개의 부품흡착노즐 중 한쪽 노즐(A)의 X방향으로의 이동을 제어하는 제어부이고, 「XB」는, 2개의 부품흡착노즐 중 다른쪽 노즐(B)의 X방향으로의 이동을 제어하는 제어부이며, 「ZA」는 상기 한쪽 노즐(A)의 X방향 및 Y방향과 직교하는 Z방향(일례로서는 상하방향)으로의 이동을 제어하는 제어부이며, 「ZB」는 상기 다른쪽 노즐(B)의 X방향 및 Y방향과 직교하는 Z방향(일례로서는 상하방향)으로의 이동을 제어하는 제어부이며, 「θA」는 상기 한쪽 노즐(A)의 노즐축 둘레의 θ방향으로의 이동을 제어하는 제어부이며, 「θB」는 상기 다른쪽 노즐(B)의 노즐축 둘레의 θ방향으로의 이동을 제어하는 제어부이다.

도 14는 도 3의 부품실장장치의 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)의 부분을 도시하는 정면도이다.

도 15는 도 11의 부품실장장치의 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)의 부분을 도시하는 정면도이다.

도 16은, 본 발명의 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 11의 부품실장장치에 있어서, 기판 위치결정장치(7)의 일례로서, 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)를 2대의 XY방향 기판 위치결정장치(71)에 설치한 상태이며, 부품공급측에는 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치(81)가 배치된 상태의 개략 평면도이다. 각 XY방향 기판 위치결정장치(71)는, 기판 반송 컨베이어(12)와 직교하는 Y방향에는 모터(71a)에 의해 1쌍의 가이드(71b)에 걸쳐 기판 지지테이블용 4개의 흡착부재(71c)를 이동시킴과 아울러, 기판 반송 컨베이어(12)와 평행한 X방향에는 모터(71d)에 의해 한쌍의 가이드(71e)에 걸쳐 상기 4개의 흡착부재(71c)를 이동시켜서, 4개의 흡착부재(71c)에 지지되는 기판(1)을 XY방향의 소정위치에 위치시킬 수 있다.

도 17은 도 16의 2대의 XY방향 기판 위치결정장치(71) 부분의 확대 평면도이다.

도 18은 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로(6)상을 주행하는 2대의 부품흡착노즐(3)을 가지는 헤드(5)와 2대의 XY방향 기판 위치결정장치(71)와 부품공급 트레이장치(81)의 관계를 도시하는 개략 측면도이다.

도 19는 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로(6)상을 주행하는 헤드(5)와 XY방향 기판 위치결정장치(71)와 부품공급 카세트(80)의 관계를 도시하는 개략 측면도이다. 도 18, 도 19의 부품밀어올림기구(84)는 제어장치(9)의 제어 전에 부품공급 카세트(80)의 부품공급 레버(80h)를 눌러서, 부품(2)을 부품꺼냄구까지 이동시켜서 노즐(3)에 의해 부품흡착을 쉽게 하고 있다. 부품밀어올림기구(84)는 주행로(6)의 직선부(6a)에 걸쳐서 가동하고, 1대의 부품밀어올림기구(84)가 이동함으로써 필요한 부품공급 카세트(80)의 부품공급 레버(80h)를 차례차례 누룰 수 있다.

도 20은 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로(6)상을 주행하는 헤드(5)로부터 늘어지는 2개의 부품흡착노즐(3)과 부품공급 카세트(80)의 관계를 도시하는 개략 정면도이다.

도 21은 도 20의 확대도이다.

도 22는 도 20의 노즐 선단 부근의 확대도이다.

도 23은 도 16의 부품실장장치에 있어서 주행로(6)상을 주행하는 헤드(5)로부터 늘어지는 2개의 부품흡착노즐(3)과 XY방향 기판 위치결정장치(71)의 관계를 도시하는 개략 정면도이다.

도 25는 도 19의 부분 확대도이다.

도 26은 부품공급 카세트(80)의 일례로서의 테이프 부품용 부품공급 카세트(80)의 사시도이다.

도 27은 도 25의 부품흡착노즐(3)과 부품공급 카세트(80)의 관계를 도시하는 확대도이다.

도 28은 도 19의 부품실장장치에 있어서의 에어스위칭용 밸브(140)와 부품흡착노즐 θ회전모터 및 Z축 방향 이동 보이스 코일 모터 구동용 구동회로가 수납되는 도너츠 형상의 구동회로 수납부(141)를 도시하는 확대 측면도이다. 구동회로 수납부(141)는 헤드(5)가 주행로(6)를 주행할 때 헤드(5)와 함께 회전이동한다.

도 29는 도 1의 부품실장장치의 평면도로서, 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치(81)가 주행로(6)에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도이다. 각 Y방향 기판 위치결정장치(70)는 Y방향과 직교하는 X방향으로는 이동할 수 없게고정되어 있다.

도 30은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 1의 부품실장장치에 있어서, 2대의 XY방향 기판 위치결정장치(71)와 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)가 주행로(6)에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도이다.

도 31은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 1의 부품실장장치에 있어서, 2대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)가 주행로(6)에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도이다.

도 32는, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 1의 부품실장장치에 있어서, 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치(81)가 주행로(6)에 배치되어, 다수의 헤드(5)가 주행로(6)를 주행하는 상태를 설명하는 개략 사시도이다.

도 33은, 도 32의 부품실장장치의 제어부분 블록도로서, 도 13과 마찬가지 구성이며, 「Y1」 내지 「Y4」는 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70) 각각의 제어부이며, 또한 「N-FEED, 밀어올림 상하」의 제어부가 없다.

도 34는, 도 32의 부품실장장치에 있어서, 각 헤드(5)는 2개의 부품흡착노즐(3)을 각각 구비한 상태에서 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)의 부분을 도시하는 정면도이다.

도 35는, 도 32의 부품실장장치에 있어서, 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)와 1대의 고정된 부품공급 트레이장치(81)가 주행로(6)에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도이다.

도 36은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 32의 부품실장장치에 있어서, 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 3대의 고정된 부품공급 카세트(80)와 3대의 고정된 부품공급 트레이장치(81)가 주행로(6)에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도이다.

도 37은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도 32의 부품실장장치에 있어서, 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)와 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)가 주행로(6)에 배치되어 있는 상태를 설명하는 개략 평면도이다.

도 38은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 도32의 부품실장장치에 있어서, 각 헤드(5)는 4개의 부품흡착노즐(3)을 각각 구비한 상태에서의 4대의 Y방향 기판 위치결정장치(70)의 부분을 도시하는 개략 정면도이다.

도 39는, 도 38의 부품실장장치의 제어부분 블록도로서, 「Y1」내지 「YN」은 N대의 Y방향 기판 위치결정장치(70) 각각의 제어부이다.

도 40은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 기판(1)을 위치결정하는 기판 위치결정장치(7)가 배치되는 1개의 직선부(6b)와, 다수의 고정된 부품공급 카세트(80)가 배치되는 만곡부(6j)로부터 주행로(6)가 구성되는 상태의 개략 평면도이다. 부품공급 카세트(80)는 반드시 주행로(6)의 직선부에 배치되어야 할 필요는 없고, 도 40과 같이 만곡부(6j)에 배치되도록 하여도 좋다.

도 41은, 도 40의 부품실장장치에 있어서, 각 헤드(5)가 2개의 부품흡착노즐(3)을 구비한 상태에서의 개략 평면도이다.

도 42는, 본 발명의 또 다른 실시형태에 의한 부품실장장치로서, 각 헤드(5)를 자주모터(4)가 아닌, 직결구동 선형모터(61)에 의해 주행하도록 한 부품실장장치의 개략 측면도이다. 즉, 각 헤드(5)는 직결구동 선형모터(61)를 구비하고, 부품실장장치 고정측의 레일본체(6g)내에는 자석(60)을 구비하여 선형모터(61)에 의해 각 헤드(5)가 자주하도록 하고 있다.

도 43, 도 49는 도 42의 부분 확대도이다.

도 44는 도 42의 선형모터 부분의 확대도이다.

도 51은 레일본체(6g)내에 자석(60)이 배치된 상태의 주행로를 도시하는 도면이다.

이와 같이 선형모터(61)에 의해 각 헤드(5)가 자주하도록 하면, 앞의 실시형태의 구동장치와 비해 보다 소음이 감소하고, 윤활유가 불필요하게 되어 유지보수를 할 필요가 없게 됨과 아울러 장치 전체로서 청정도를 높게 할 수 있어, 예컨대 오차 1㎛ 정도까지 보다 위치결정 정밀도를 높일 수 있다.

본 발명의 상기한 여러 실시형태에 의하면, 종래의 로터리 타입의 고속실장기에서는 로터리 헤드를 회전시키기 위한 모터가 실장기의 상부에 배치되어, 예컨대 100㎏을 초과하는 부품공급장치가 이동하고, 그 때문에 소음이나 진동이 증가하는 원인으로 되었다. 이에 대하여, 상기 실시형태에 의하면, 각 헤드를 구동하기 위한 구동장치의 예로서의 모터를 실장장치의 상부에 배치시킬 필요는 없고, 각 헤드를 구동하기 위한 구동장치는 트랙야드(track yard)형의 주행로(6)를 주행하는 각 헤드(5)에 구비되면 좋고, 실장장치의 상부에는 부품흡착노즐 θ회전모터 및 Z축 방향 이동 보이스 코일 모터 구동용 도너츠형 구동회로 수납부(141)를 설치하는 정도에서 좋기 때문에, 종래와 비교하여, 실장장치의 상부구조를 항상 간소화할 수 있고, 또한 장치 전체로서 소음이나 진동을 대폭적으로 저감할 수 있다.

또한, 도 16, 도 29∼도 32, 도 35∼도 37, 도 40과 같이, 부품공급부(8)를 부품흡착노즐의 부품꺼냄위치까지 하나하나 이동시키지 않고 고정시킨 상태에서 사용할 수 있기 때문에, 종래의 고속실장기 중간의 속도에서 부품흡착작업을 행할 수 있어, 생산성을 보다 향상시킬 수 있음과 아울러, 부품공급 카세트 등을 고속으로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 진동이나 소음도 대폭적으로 저감시킬 수 있으며, 또한 설비의 신뢰성을 높일 수 있다. 더욱이, 부품공급장치가 이동하지 않기 때문에, 작업자가 잘못하여 가동중인 부품공급장치에 접촉함이 없게 되어 안전성을 한층 향상시킬 수 있다. 또한, 부품공급장치의 가동범위를 고려할 필요가 없기 때문에, 설비 점유면적을 작게 할 수 있어 설비면적당 생산성도 향상시킬 수 있다. 예컨대, 종래의 로터리 타입의 고속실장기에서는, 점유면적이 8.2㎡인 폭이 마찬가지의 사양의 상기 실시형태에 의한 부품실장장치에서는 3.9㎡로 되어, 점유면적을 약 반 이하로 할 수 있다. 또한, 일례로서, 부품실장장치를 1740㎜×2300㎜ 정도의 크기로 할 때, 그 중 주행로(6)를 주행하는 각 헤드(5)의 주행속도는 2000∼2500㎜/s로 하고, 1블록 당 1점을 실장할 경우에는, 1시간 당 종래 최대 50000개를 초과하는 최대 90000개의 부품을 실장하는 것도 가능해진다.

또한, 기판 위치결정장치(7)로서 Y방향 기판 위치결정장치(70)를 사용할 경우에는, 기판 위치결정작업은 기판 반송방향과 직교하는 Y방향만으로 되고, 기판(1)의 X방향에서의 실장장치의 조정에 관하여는 각 헤드(5)의 주행로(6)의 직선부(6b)에서의 위치 조정으로 대응함이 가능하기 때문에, 기판 위치결정작업이 단순화할 수 있고 단시간에 행해짐과 아울러, 기판 위치결정장치의 구조를 단순하게 함이 가능하다. 즉, 기판 위치결정장치에 의해 기판(1)이 주행로(6)를 가로지르는 1개의 축 방향으로만 이동할 수 있으면 좋으며, 직교하는 2축 방향으로 기판(1)을 이동시킬 필요가 없기 때문에, 기판 위치결정장치의 저코스트화 및 경량화를 도모할 수 있고, 기판(1)을 고속으로 구동시킬 수 있어, 실장 텍트(tact)를 더욱 감소시킬 수 있다.

또한, 부품공급장치(8)로서, 부품공급 카세트(80)로 한정되지 않고 부품공급 트레이장치(81)도 채용할 수 있기 때문에, 부품흡착 및 실장작업이 고속임에도 불구하고, 부품공급 형태의 자유도를 크게 할 수 있다. 이에 대해서, 종래의 고속실장기에서는 부품공급 트레이장치를 채용할 수 없었다.

또한, 상기 주행로(6)를 임의 형태의 폐쇄루프로 하고, 또한 상기 주행로(6)의 임의 위치에, 상기 부품공급부(CF)와 상기 기판 위치결정부(CP)를 각각 배치할 수 있다. 즉, 종래의 실장장치에서는 도 58∼도 60에 도시한 바와 같이, 부품공급부(CF)와 상기 기판 위치결정부(CP) 등의 위치는, 장치의 구성상 스스로 한정되어 있으며, 해당 위치이외의 위치에는 배치할 수가 없었다. 그러나, 본 실시형태에서는, 상기 주행로(6)의 임의의 위치, 예컨대 직선부가 없는 경우에는 임의의 만곡부분에, 또한 직선부가 있는 경우에는 그 직선부에 또는 직선부 이외의 만곡부분에, 상기 부품공급부(CF)와 상기 기판 위치결정부(CP) 등을 각각 배치할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 의한 실장장치에서는, 그 실장장치의 배치공간에 따라서, 주행로(6)의 형태를 임의로 설계할 수 있고, 또한 주행로(6)의 임의의 위치에 상기 부품공급부(CF)와 상기 기판 위치결정부(CP) 등을 각각 배치할 수 있어 설계의 자유도가 비약적으로 향상하고, 또한 단위면적당 생산성을 높일 수 있다.

예컨대, 도 56에 도시한 바와 같이, 실장장치의 배치공간에 따라서 대략 T자형 주행로(859)를 설치할 경우에는, 부품공급장치(858), 부품인식장치(852), 기판 위치결정장치(857), 노즐교환장치(855), 노즐 선단 검사장치(854)를 도시한 바와 같이 각각 배치하도록 하여도 좋다. 또한 850은 기판 위치결정장치(857)의 기판 반송장치의 기판 반송경로이다.

또한, 주행로(6)가 폐쇄루프 형상으로 되어 있고, 그 주행로(6)에 걸쳐서, 부품공급장치(8), 부품인식장치(31), 기판 위치결정장치(7)가 각각 배치되고, 또한 복수의 자주식 헤드(5)는 각각 독립하여 구동되기 때문에, 부품흡착공정(인식 카메라 등에 의한) 자세위치 거리측정 공정, 즉 부품인식공정, 부품흡착자세 보정공정, 부품실장공정 등의 공정을 복수의 자주식 헤드(5)에 있어서 각각 동시적으로 병행처리할 수 있고, 보다 생산성을 향상시킬 수 있다. 이에 대하여, 도 58∼도 60에 도시한 직교 로봇 타입의 실장설비에서도 복수 헤드(515)의 상호 각 동작에 의해 병행처리가 가능하지만, 이중 동그라미로서 도시한 인식장치(512), 즉 부품자세를 거리측정하는 인식동작을 행하는 개소가 복수 개소로 되는 등, 코스트 상승 요소 및, 플로어(floor) 점유면적 확대 등의 과제가 고려되고 있다. 이는 복수의 부품공급장치(510)와 복수의 기판 위치결정장치(511)를 연결하는 각 헤드(515)의 이동거리가 무수히 존재하게 되어, 부품흡착, 인식, 및 실장동작을 효율 좋게 행하기 위해서는 적어도 부품공급장치(510)로부터 기판 위치결정장치(511)에 이를 때까지의 이동경로상 또는 그 근방에 인식장치(512)를 배치할 필요가 있고, 스스로 인식장치(512)는 복수 개소에 배치시키지 않을 수 없게 되기 때문이다. 또한, 도 58에 있어서, 513은 Y축 방향 로봇, 514는 X축 방향 로봇이며, 헤드(515)를 XY방향으로 이동시키기 위한 직교로봇을 구성하는 것이다. 이 도 58에서는, 부품인식장치(512)는, 인접하는 2개의 부품공급장치(510) 사이에 각각 배치할 필요가 있고, 전체로서는 2개가 필요하게 되어 있다. 또한, 도 59에 있어서, 518, 519는 각각 각 헤드(515)를 X방향으로 독립하여 이동시키기 위한 X축 방향 로봇이며, 이 예에서는 각 기판 위치결정장치(511)가 Y축 방향으로 각각 독립하여 이동하는 것이다. 이 도 59에서는, 부품인식장치(512)가 각 부품공급장치(510)와 기판 위치결정장치(511) 사이에 각각 배치할 필요는 없고, 전체로서 4개가 필요하게 되어 있다. 도 60에 있어서, 520은 각각 각 헤드(515)를 X방향으로 독립하여 이동시키기 위한 X축 방향 로봇이며, 이 예에서는 각 기판 위치결정장치(511)가 Y축 방향으로 각각 독립하여 이동하는 것이다. 이 도 60에서는, 부품인식장치(512)가, 각 부품공급장치(510)와 기판 위치결정장치(511) 사이에 각각 배치해야할 필요가 있고, 전체로서 4개가 필요하게 되어 있다.

이에 대하여, 본 실시형태에서는, 부품공급장치(8)로부터 기판 위치결정장치(7)까지의 각 헤드(5)의 이동경로는 1개 밖에 없기 때문에, 부품인식장치(31)는 1개 밖에 설치되지 않아도 전체 헤드(5)의 노즐(3)에서의 부품인식을 행할 수 있으므로, 상기한 부품흡착, 부품인식, 부품실장 등의 병렬처리를 행할 수있고, 장치 수를 적게 할 수 있고, 또한 배치 공간도 작게 할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되지는 않고, 그와 다른 여러가지 실시형태로 실시할 수 있다.

예컨대, 주행로(6)는, 임의 형태의 폐쇄루프라도 좋고, 부품공급장치의 배치용이성을 고려하면 직선부가 있는 편이 좋지만, 특히 직선부가 없어도 좋다. 즉, 주행로(6)의 직선부에 부품공급장치 또는 기판 위치결정장치를 배치하면, 그 장치의 위치결정 및 그 제어동작이 이루어지기 쉽지만, 장치 전체의 소형화 등을 고려할 경우에는 직선부를 없게 할 수 있다.

구체적으로는, 도 52에 도시한 바와 같이, 상기 주행로(6)의 폐쇄루프로서는, 직선부를 전혀 가지지 않은 원형이여도 좋다. 도 52에 있어서, 803은 부품흡착노즐, 805는 자주식 헤드, 806은 주행로, 807은 기판 위치결정장치, 808은 부품공급장치이며, 각각 도 1의 부품흡착노즐(3), 자주식 헤드(5), 주행로(6), 기판 위치결정장치(7), 부품공급장치(8)에 상당하는 것이다. 도 52에는, 상기 주행로(806)와, 자주식 헤드(805)의 하부에 설치되는 구동부분으로서, 주행로(806)의 외주부 래크(806r)와 맞물리는 피니언 기어(804a)와, 주행로(806)를 주행하는 내외의 주행차륜(815, 814)을 도시하고 있으며, 각각 도 1의 래크(6r), 피니언 기어(4a), 주행차륜(15)에 상당한다.

이 실시형태에 의하면, 직선부가 없는 부분, 장치 전체를 소형화할 수 있고, 원형의 주행로(806)의 임의 위치를 각각 부품공급부(CF)로서 부품공급장치(808)를 배치함과 아울러 기판 위치결정부(CP)로서 기판 위치결정장치(807)를 배치할 수 있다.

예컨대, 도 52의 레이아웃과는 다른 것으로서, 도 54에 도시한 바와 같이, 원형 주행로(856)의 180도 대향하는 위치를 각각 부품공급부(CF)로서 부품공급장치(858)를 배치함과 아울러 기판 위치결정부(CP)로서 기판 위치결정장치(857)를 배치하는 한편, 부품공급장치(858)로부터 기판 위치결정장치(857)에 이르기까지 사이의 주행로(856)에, 부품인식장치(852)(부품인식장치(31)에 상당)와, 부품에 접착제 또는 플럭스를 도포하는 도포장치(853)를 배치하도록 하여도 좋다. 또한, 기판 위치결정장치(857)로부터 부품공급장치(858)에 이르기까지 사이의 주행로(856)에, 노즐 선단에 부품 등이 잔류하고 있는지의 여부를 체크하는 노즐 선단 검사장치(854)를 배치하도록 하여도 좋다. 이 노즐 선단 검사장치(854)에서는, 예컨대, 노즐 선단에 흡착자세가 불량하다는 등의 이유로 기판에 실장되지 않고 노즐에 잔류한 부품이 불량품 폐기부에 확실히 폐기된 것을 검출하거나 하는 것이다.

또한, 도 52의 레이아웃과는 또 다른 것으로서, 도 55에 도시한 바와 같이, 원형 주행로(856)의 180도 대향하는 2개의 위치에 각각 부품공급부(CF)로서 부품공급장치(858)를 배치함과 아울러, 상기 부품공급장치(858)와는 90도 다른 위치에서 또한 원형 주행로(856)의 180도 대향하는 2개의 위치에 각각 기판 위치결정부(CP)로서 기판 위치결정장치(857)를 배치하도록 하여도 좋다. 이 예에서는, 1개의 주행 헤드가 주행로(856)를 일주하는 사이에, 부품흡착, 실장, 부품흡착, 실장을 행함으로써, 2개의 기판에 실장동작을 행하도록 하여, 더욱 생산성을 향상시키도록 한 것이다. 또한, 도 55에 있어서, 850은 2개의 기판 위치결정장치(857, 857) 각각에 별개의 기판 반송장치를 구비할 경우의 기판 반송장치의 기판 반송경로를 도시하고, 851은 2개의 기판 위치결정장치(857, 857)에 공통의 1개 기판 반송장치를 구비할 경우의 기판 반송장치의 기판 반송경로를 도시하고 있다.

각 헤드(5)에 구비되는 부품흡착노즐(3)의 개수는 1개이여도 좋지만, 효율적으로 부품흡착 및 실장을 향하는 관점에서 2개 이상이 바람직하다. 또한, 헤드(5)의 개수도 1개이여도 좋지만, 효율적으로 부품흡착 및 실장을 행하는 관점에서, 2개 이상 구비하게 되면, 한쪽 헤드(5)에서 부품공급장치(8)로부터 부품(2)을 부품흡착노즐(3)에 흡착유지시키는 사이에, 다른쪽 헤드(5)가 그 부품흡착노즐(3)에 흡착유지한 부품(2)을 기판 위치결정장치(7)에서 위치결정된 기판(1)에 실장함이 가능하기 때문에, 보다 바람직하다. 예컨대, 도 57에 도시한 바와 같이, 각 헤드(5)에 있어서 흡착노즐(3)을 직선상에 복수개 배치할 경우(예컨대 도 57에서는 10개), 복수의 부품(예컨대 도 57에서는 10개의 부품)을 일괄 흡착할 수 있게 되어, 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.

예컨대, 각 헤드(5)에 복수의, 예컨대 4개의 부품흡착노즐(3)을 구비할 때, 진행방향 앞쪽에 배치된 부품흡착노즐(3)로부터 순서대로 소정의 부품공급 카세트(80)로부터 부품(2)을 흡착유지하고, 4개의 부품흡착노즐(3) 전체에 부품(2)이 흡착유지된 상태에서 그 헤드(5)가 기판(1)측까지 주행로(6)를 주행하여, 1판의 기판(1)에 대하여, 진행방향 앞쪽에 배치된 부품흡착노즐(3)로부터 순서대로부품(2)을 실장한다. 그러나, 부품흡착 및 실장방법은 이에 한정되는 것은 아니고, 1판의 기판에서는 아니고 복수의 기판, 예컨대 진행방향 앞쪽으로부터 1번째와 2번째로 배치된 부품흡착노즐(3)의 부품(2)은 그 헤드(5)가 최초에 그 상방에 위치하는 기판(1)에 실장하고, 진행방향 앞쪽으로부터 3번째와 4번째에 배치된 부품흡착노즐(3)의 부품(2)은 앞의 기판(1)에 인접배치되어 있는 기판(1)에 실장하도록 하여도 좋다. 또한 진행방향 앞쪽으로부터 1번째에 배치된 부품흡착노즐(3)의 부품(2)은 그 헤드(5)가 최초에 그 상방에 위치하는 제1기판(1)에 실장하고, 진행방향 앞쪽으로부터 2번째에 배치된 부품흡착노즐(3)의 부품(2)은 그 헤드(5)가 앞의 제1기판(1)에 인접배치되어 있는 제2기판(1)에 실장하고, 진행방향 앞쪽으로부터 3번째에 배치된 부품흡착노즐(3)의 부품(2)은 그 헤드(5)가 앞의 제2기판(1)에 인접배치되어 있는 제3기판(1)에 실장하고, 진행방향 앞으로부터 4번째에 배치된 부품흡착노즐(3)의 부품(2)은 그 헤드(5)가 앞의 제3기판(1)에 인접배치되어 있는 제4기판(1)에 실장하도록 하여도 좋다.

또한, 복수의 부품흡착노즐(3)에서의 부품흡착동작 및 부품실장동작은 특히 동시적으로 행해지도록 동기시키지 않아도 좋다.

또한, 각 헤드(5)의 이동방향은 주행로(6)에 대하여 통상은 1방향이지만, 최적화의 관점에서, 다른 헤드(5)와는 간섭하지 않는 범위에서 부분적으로 역행하도록 하여도 좋다.

또한, 기판 위치결정장치(7)를 복수배치하는 경우에 있어서, 한쪽 기판 위치결정장치(7)에서의 실장동작을 행하면서, 다른쪽 기판 위치결정장치(7)에서는 기판의 반출 반입 작업을 행하도록 하여도 좋다.

부품공급장치(8)로서, 부품공급 카세트(80) 만으로 한정하지 않고, 부품공급 카세트(80)와 부품공급 트레이장치(81)의 조합, 또는 부품공급 트레이장치(81)만 등 임의로 구성함이 가능하다. 또한, 부품공급 카세트(80)나 부품공급 트레이장치(81)의 치수는 임의적이다.

기판 위치결정장치(7)로서도, Y방향 기판 위치결정장치(70)만으로 한정하지 않고, XY방향 기판 위치결정장치(71)로 구성하도록 하여도 좋다. Y방향 기판 위치결정장치(70)나 XY방향 기판 위치결정장치(71)의 치수는 임의적이다.

또한, 복수의 기판 위치결정장치에 있어서, 예컨대 한쪽 기판 위치결정장치에서 1판의 기판(1)에, 실장해야할 부품의 반을 실장한 후, 그 기판을 다른쪽 기판 위치결정장치로 이동시켜 잔류하는 부품을 실장하는 것도 가능하다.

본 발명에 의하면, 종래의 로터리 타입의 고속실장기에서는, 로터리 헤드를 회전시키기 위한 모터가 실장기의 상부에 배치되고, 예컨대 100㎏을 초과하는 부품공급장치가 이동하고, 그 때문에 소음이나 진동이 증가하는 원인으로 되었다. 이에 대하여, 본 발명에 의하면, 각 헤드를 구동하기 위한 구동장치의 예로서의 모터를 실장장치의 상부에 배치해야할 필요는 없고, 각 헤드를 구동하기 위한 구동장치는 주행로를 주행하는 각 자주식 헤드에 각각 구비되면 좋고, 실장장치의 상부에는 예컨대, 부품유지부재의 일례로서의 부품흡착노즐용 θ회전모터 및 Z축 방향 이동 보이스 코일 모터 구동용 도너츠형 구동회로 수납부를 설치하는 정도가 좋기 때문에, 종래와 비교하여 실장장치의 상부구조를 극히 간소화함이 가능하여 설비 전체의 콤팩트화를 도모함이 가능하고, 장치 전체로서 소음이나 진동을 대폭적으로 저감함이 가능하며, 설비의 신뢰성을 높일 수 있다.

또한, 부품공급장치를 부품유지부재 예컨대 부품흡착노즐의 부품꺼냄위치까지 하나하나 이동시키지 않고 고정된 상태에서 사용함도 가능하기 때문에, 종래의 고속실장기의 중간 속도에서 부품흡착작업을 행할 수 있고, 생산성을 보다 향상시킴이 가능함과 아울러 부품공급장치, 예컨대 부품공급 카세트 등을 고속으로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 진동이나 소음도 대폭적으로 저감시킬 수 있고, 또한 설비의 신뢰성을 높일 수 있다. 또한, 부품공급장치가 이동하지 않기 때문에, 작업자가 잘못하여 가동중의 부품공급장치에 접촉하지 않게 되어 안전성을 더욱 한층 향상시킬 수 있다. 또한, 부품공급장치의 가동범위를 고려할 필요가 없기 때문에, 설비의 점유면적을 작게 할 수 있고, 설비면적 등의 생산성도 향상시킬 수 있다.

또한, 피실장체 위치결정장치로서, 예컨대 Y방향 피실장체 위치결정장치를 사용할 경우에는, 피실장체 위치결정작업은 피실장체 반송방향과 직교하는 Y방향 만으로 되고, 피실장체의 X방향에서의 실장위치조정에 관하여는 각 헤드의 주행로 직선부에서의 위치조정에 대응할 수 있기 때문에, 피실장체 위치결정작업이 단순화될 수 있고, 단시간에 행해질 수 있음과 아울러 피실장체 위치결정장치의 구조를 간단히 할 수 있다.

또한, 부품공급장치로서, 예컨대 부품공급 카세트에 한정되지 않고 예를 들면, 부품공급 트레이장치도 채용할 수 있기 때문에, 부품흡착 및 실장작업이 고속임에도 불구하고, 부품공급상태의 자유도를 크게 할 수 있다. 이에 대하여 종래의 고속실장기에서는 부품공급 트레이장치를 채용할 수 없었다.

또한, 상기 주행로를 임의 형태의 폐쇄루프로서, 또한 상기 주행로의 임의 위치에 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부를 각각 배치할 수 있다. 즉, 종래의 실장장치에서는, 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 등의 위치가 장치의 구성상 스스로 한정되어 있으며, 그 위치이외의 위치에는 배치할 수 없었다. 그러나, 본 발명에서는 상기 주행로의 임의의 위치에 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 등을 각각 배치할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의한 실장장치에서는 그 실장장치의 배치공간에 따라서 주행로의 형상을 임의로 설계할 수 있고, 주행로의 임의의 위치에 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 등을 각각 배치할 수 있어, 설계의 자유도가 비약적으로 향상하고, 단위면적당 생산성을 높일 수 있다.

또한, 주행로가 폐쇄루프형으로 되어 있어 그 주행로에 걸쳐서 부품공급장치, 부품인식장치, 기판 위치결정장치 등을 각각 배치할 수 있고, 또한 복수의 자주식 헤드가 각각 독립하여 구동되기 때문에, 부품흡착공정, 부품인식공정, 부품흡착자세 보정공정, 부품실장공정 등의 공정을 복수의 자주식 헤드에 있어서 각각 동시적으로 병행처리할 수 있고, 보다 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 첨부도면을 참조하면서 바람직한 실시형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련자에 의해서는 여러가지 변형 또는 수정이 자명하다. 그와 같은 변형 또는 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않는 한도 내에서, 그 중에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

Claims (22)

1. 실장체(1)에 실장해야할 부품(2)을 유지가능한 부품유지부재(3)를 각각 가짐과 아울러 자주용 구동장치(4)를 각각 가지는 복수의 자주식 헤드(5)와,

   상기 복수의 자주식 헤드의 상기 각 구동장치의 구동에 의해 서로 독립하여 상기 자주식 헤드가 각각 순환주행하는 폐쇄루프의 주행로(6)와,

   상기 주행로의 피실장체 위치결정부(CP)에 배치되어 상기 피실장체를 위치결정하는 피실장체 위치결정장치(7)와,

   상기 주행로의 부품공급부(CF)에 배치되어 상기 부품을 수납하는 부품공급장치(8)를 구비하고,

   상기 복수의 자주식 헤드가 상기 주행로상에서 서로 간섭하지 않도록 상기 각 구동장치를 제어하면서 상기 각 자주식 헤드를 독립적으로 주행시키고, 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 각각 독립시켜 상기 부품공급장치로부터 상기 부품을 유지한 후, 상기 부품을 유지한 상기 부품유지부재를 가지는 상기 각 자주식 헤드가 각각 독립하여 상기 주행로를 주행하고, 상기 주행로의 상기 피실장체 위치결정부의 상기 피실장체 위치결정장치에 의해 위치결정된 상기 피실장체에 대해, 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 유지된 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하는 것을 특징으로 하는 부품실장장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 주행로는 상기 복수의 자주식 헤드가 주행하는 상기폐쇄루프에 적어도 1개의 직선부(6b)를 가지고 있고,

   상기 주행로의 상기 직선부에 상기 피실장체 위치결정부를 배치하여 상기 피실장체 위치결정부의 상기 피실장체 위치결정장치에 의해 상기 피실장체를 위치결정하고, 그 위치결정된 상기 피실장체에 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 복수의 자주식 헤드가 주행하는 상기 폐쇄루프에 적어도 1개의 직선부(6b)를 가지고 있고,

   상기 주행로의 상기 직선부에 상기 부품공급부를 배치하여 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 주행로는 또 다른 제2직선부를 가지고, 그 제2직선부에 상기 부품공급부를 배치하여, 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제1헤드는 상기 주행로의 상기 부품공급부에 위치시켜 상기 제1헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 유지함과 동시적으로, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제2헤드는 상기 주행로의 상기 피실장체 위치결정부에 위치시켜 상기 제2헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 사이에 배치시켜 상기 각 헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 인식하는 부품인식장치(31)를 더 구비하고,

   상기 각 헤드는, 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 상기 헤드의 상기 부품유지부재에 유지한 후 상기 주행로를 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향하여 주행시키고, 그 주행 도중에 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하고, 인식 후 상기 헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장함과 아울러, 상기 인식한 후에 또한 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향하여 주행하고 있는 사이 또는 상기 피실장체로의 실장 직전에, 상기 부품인식장치에 있어서 얻어진 부품인식결과에 의거하여 상기 부품의 자세를 제어하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 주행로는 양측면이 대략 삼각형상으로 돌출한 레일로 구성되고, 상기 주행로를 주행하는 각 헤드에는 상기 레일 양측부의 대략 삼각형상 돌출부(6h)에 점접촉하여 슬라이딩 가능한 만곡볼록면을 가지는 차륜(14, 15)을 가지고 있음을 특징으로 하는 부품실장장치.
8. 피실장체(1)에 실장해야할 부품(2)을 유지할 수 있는 부품유지부재(3)를 각각 가짐과 아울러 자주용 구동장치(4)를 각각 가지는 복수의 자주식 헤드(5)가, 폐쇄루프의 주행로(6)상에서 서로 간섭하지 않도록 상기 각 구동장치를 제어하면서 상기 각 자주식 헤드를 독립적으로 순환주행시키고, 또한 상기 주행로의 부품공급부(CF)에 배치된 부품공급장치(8)로부터 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 각각 독립시켜 상기 부품을 유지한 후, 상기 부품을 유지한 상기 부품유지부재를 가지는 상기 각 자주식 헤드가 각각 독립하여 상기 주행로를 주행하고, 상기 주행로의 피실장체 위치결정부(CP)에 배치된 피실장체 위치결정장치(7)에 의해 위치결정된 상기 피실장체에 대하여, 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 유지된 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하는 것을 특징으로 하는 부품실장방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 주행로의 상기 폐쇄루프에 구비된 적어도 1개의 직선부(6b)에 배치된 상기 피실장체 위치결정부의 상기 피실장체 위치결정장치에 의해 상기 피실장체를 위치결정하고, 그 위치결정된 상기 피실장체에 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재에 의해 상기 부품을 각각 독립시켜 실장하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
10. 제8항에 있어서, 상기 주행로의 상기 폐쇄루프에 구비된 적어도 1개의 직선부(6b)에 배치된 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지되도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
11. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 주행로의 상기 폐쇄루프에 구비된 또 다른 제2직선부에 배치된 상기 부품공급부의 상기 부품공급장치로부터 공급되는 상기 각 부품을 상기 각 자주식 헤드의 상기 부품유지부재가 각각 독립하여 유지되도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
12. 제8항에 있어서, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제1헤드는 상기 주행로의 상기 부품공급부에 위치하여 상기 제1헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 유지함과 동시적으로, 상기 복수의 자주식 헤드 중 제2헤드는 상기 주행로의 상기 피실장체 위치결정부에 위치하여 상기 제2헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
13. 제8항에 있어서, 상기 각 헤드는, 상기 부품공급장치로부터 상기 피실장체에 실장해야할 상기 부품을 상기 헤드의 상기 부품유지부재에 유지한 후 상기 주행로를 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향해 주행하고, 그 주행도중에 상기 주행로의 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부 사이의 부품인식장치(31)가 배치된 위치에서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하고, 인식 후 상기 주행로를 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향하여 주행하여 상기 헤드의 상기 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품을 상기 피실장체 위치결정장치에 위치결정된 상기 피실장체에 실장함과 아울러, 상기 인식한 후 그리고 상기 피실장체 위치결정장치쪽으로 향하여 주행하고 있는 사이 또는 상기 피실장체로의 실장 직전에 상기 부품인식장치에 있어서 얻어진 부품인식결과에 의거하여 상기 부품의 자세를 제어하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
14. 제6항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로앞에서 상기 각 헤드가 고속주행으로부터 저속주행으로 스위칭되어 상기 각 헤드가 저속주행하면서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
15. 제6항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞으로부터 상기 부품인식장치가 배치된 그 위치를 통과할 때까지 속도를 변경함이 없이, 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
16. 제6항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드가 일단 정지하여, 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
17. 제1항에 있어서, 상기 주행로를 임의 형상의 폐쇄루프로 하고, 또한 상기 주행로의 임의 위치에 상기 부품공급부와 상기 피실장체 위치결정부를 각각 배치하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
18. 제13항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞에서 상기 각 헤드가 고속주행으로부터 저속주행으로 스위칭되어 상기 각 헤드가 저속주행하면서 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
19. 제13항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치 바로 앞으로부터 상기 부품인식장치가 배치된 그 위치를 통과할 때까지 속도를 변경함이 없이 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
20. 제13항에 있어서, 상기 주행로의 상기 부품인식장치가 배치된 위치에서 상기 각 헤드가 일단 정지하여, 상기 각 헤드의 상기 각 부품유지부재가 상기 부품공급장치로부터 유지하고 있던 상기 부품의 자세를 상기 부품인식장치에 의해 인식하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.
21. 제1항에 있어서, 상기 주행로에 걸쳐서 상기 피실장체 위치결정장치가 복수 배치되어 상기 복수의 헤드는 부품유지부재를 복수 구비하고, 복수의 부품유지부재 중 제1부품유지부재와 제2부품유지부재에 상기 부품공급장치로부터의 부품을 각각 유지하며, 상기 제1부품유지부재에서 유지된 부품은 상기 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제1피실장체 위치결정장치에서 위치결정된 기판에 실장함과 아울러,

    상기 제2부품유지부재에서 유지된 부품은 상기 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제2피실장체 위치결정장치에서 위치결정된 기판에 실장하도록 함을 특징으로 하는 부품실장장치.
22. 제8항에 있어서, 상기 복수의 헤드에 구비된 복수의 부품유지부재 중 제1부품유지부재와 제2부품유지부재에 상기 부품공급장치로부터의 부품을 각각 유지하고, 상기 제1부품유지부재에 유지된 부품은 상기 주행로에 걸쳐서 구비된 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제1피실장체 위치결정장치에서 위치결정된 기판에 실장함과 아울러, 상기 제2부품유지부재에 유지된 부품은 상기 복수의 피실장체 위치결정장치 중 제2피실장체 위치결정장치에서 위치결정된 기판에 실장하도록 함을 특징으로 하는 부품실장방법.