KR100402429B1 - 고청정 건조공기의 제조장치 - Google Patents

고청정 건조공기의 제조장치 Download PDF

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Abstract

원료공기압축기와, 수소 및 일산화탄소와 산소를 반응시키는 촉매정제기와, 수분 및 이산화탄소를 제거하는 흡착제를 고청정 건조공기의 제조장치.

Description

고청정 건조공기의 제조장치{Apparatus for producing highly clean dry air}
본 발명은, 고청정 건조공기의 제조장치에 관한 것으로, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장의 제조공정 등의 공업프로세스에서 사용되는 건조공기를, 수분뿐만 아니라, 그 밖의 불순물도 포함하여 최대로 저감하여 공급할 수 있는 고청정 건조공기의 제조장치에 관한 것이다.
더욱 상세하게는 예를 들면, 반도체 제조공장에 있어서의 웨이퍼(얇은 판형상 기초체 또는 기판)의 처리공정뿐만 아니라, 보관시 및 반송시 등, 외부공기와 접촉할 가능성이 있는 곳에서의 웨이퍼 보호를 목적으로 하는 가스로서도 사용이 가능한 고청정 건조공기를 제조하기 위한 장치에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장 등의 공업프로세스에서 사용되고 있는 건조공기의 용도는, 머신구동용, 밸브작동용, 약액 압송용, 순수한 물 탱크퍼지용 등이 주된 사용목적이었다. 이러한 건조공기는, 대기를 압축기로서 소정의 압력까지 압축하고, 상황에 따라서는 필터를 사용하여 파티클을 제거하고 나서, 흡착분리 또는 막분리에 의해 함유된 수분을 제거함으로써 제조하고 있었다.
통상 사용하고 있는 건조공기의 사양은, 압력 0.5∼0.7MPa, 이슬점-70℃, 유량 1500∼3000Nm3/h [Nm3은, 표준상태(0℃, 1기압)에서의 부피]가 일반적인 것으로, 사용자는 상기 각 기기를 자사공장 구내에 설치하여 스스로 관리를 행하고 있다.
한편, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장 등의 제조공정에서 예를 들면, 웨이퍼는 머신간의 이동, 보관시 등에 보호조치가 충분히 행하여지고 있지 않으면,웨이퍼가 공기에 노출되어 공기중의 수분, 산소분, 탄화수소분 등의 영향에 의해 불순물이 그 표면에 부착하고, 이에 따라 특성의 저하나 세정공정의 증가 등 여러 가지 결함이나 비용상승의 요인이 발생하고 있다. 웨이퍼가 공기에 노출되는 것을 방지하기 위해서 간편한 박스를 제작하여 질소가스 퍼지를 행하는 등의 조치를 실시하고 있는 예도 있다.
그런데, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장 등에 있어서의 제조기술은 엄격한 품질이 요구되며, 또한 가격경쟁에 의해 제품의 더욱 경제적이고도 효율적인 생산이 요구되어 오고 있다. 특히, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장 등에 있어서의 제조공정에서 웨이퍼의 보호대책은, 제품특성의 유지, 비용 절감의 관점에서 중요한 항목으로 파악되고 있다. 웨이퍼를 보호하는 분위기가스로서는, 고청정 건조공기가 매우 필수적으로 요구되고 있다. 현재, 반도체 제
조공장, 액정 제조공장에서 분위기가스로서 요구되고 있는 고청정 건조공기의 사양은 공기중에 포함된 불순물, 예를 들어 수분, 일산화탄소, 이산화탄소, 수소 등의 불순물을 각각 1Oppb 이하로 하여 공급한다고 하는 엄격한 것이다. 이러한 사양을 만족하기 위해서는, 정제방법으로서도, 각 공정에서의 정제조건은 엄격한 값이 필요하다.
본 발명의 목적은, 고청정 건조공기를 효율적으로 또한, 안정적으로 공급할 수 있는 제조장치를 제공하는 데에 있다. 또한 필요압력에 따라서 고청정 건조공기를 경제적으로 공급하는 것, 또한 사용설비로부터 배출되는 고청정 건조공기의 오염을 방지하면서 경제적으로 또한 효율적으로 순환공급할 수 있는 고청정 건조공기의 제조장치를 제공하는 데에 있다.
도 1은 본 발명의 고청정 건조공기의 제조장치의 제 1 형태예를 나타내는 계통도이다.
도 2는 본 발명의 고청정 건조공기의 제조장치의 제 2 형태예를 나타내는 계통도이다.
도 3은 본 발명의 고청정 건조공기의 제조장치의 제 3 형태예를 나타내는 계통도이다.
도 4는 제 3 형태예에 사용되는 팬구동용의 팽창 터빈과 팬과의 다른 형태를 나타내는 계통도이다.
도 5는 제 3 형태예에 사용되는 팬구동용의 팽창 터빈과 팬과의 또 다른 형태를 나타내는 계통도이다.
도 6은 본 발명의 고청정 건조공기의 제조장치의 제 4 형태예를 나타내는 계통도이다.
본 발명의 고청정 건조공기의 제조장치는, 원료공기를 압축하는 압축기와, 해당 원료공기중의 수소 및 일산화탄소를 산소와 반응시키는 촉매정제기와, 해당 원료공기중에 함유된 수분, 이산화탄소 등의 불순물을 제거하는 흡착정제기와, 상기 촉매정제기로부터 도출된 원료공기와, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정 건조공기의 적어도 일부를 열교환하는 열교환기를 포함하며, 상기 촉매정제기는, Pd, Pt, Au, Rh, Ru, Fe, Cr, Ni, Co, Mn, Cu, Sn, Zn 등의 금속을, 단일 또는 복수 종류를 조합하여 주성분으로 하거나, 혹은 이들 금속의 임의 조합으로 이루어지는 합금을 주성분으로 하는 금속계 촉매가 충전되어 있으며, 상기 금속계 촉매의 충전량은, 단위공기량당 0.33리터 이상이고, 상기 흡착정제기는, 그 입구부에서부터 차례로, 활성알루미나 및/또는 실리카겔을 포함하는 건조제가 단위공기량당 0.09리터 이상충전된 건조제 베드와, 단위공기량당 0.14리터 이상의 합성제오라이트가 충전된 기체불순물제거제 베드를 적층하고 있다.
본 발명에 의하면, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장 등에서 필요로 하는 고청정 건조공기, 예컨데, 수소, 일산화탄소, 수분, 이산화탄소 등을 각각 1Oppb 이하까지 제거 정제하고, 토탈 불순물 1Oppb 레벨의 고청정 건조공기를 안정적이고 경제적으로 공급할 수 있다.
또한, 본 발명장치는 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정 건조공기의 적어도 일부를 팽창시키는 승압기 구동용의 팽창 터빈과, 이 팽창 터빈과 동축으로 설치되어, 상기 압축기로 압축된 원료공기를 더욱 승압하는 승압기를 구비하고, 상기 팽창 터빈으로부터 도출된 저압의 고청정 건조공기와, 상기 촉매정제기로부터 도출된 원료공기를, 열교환하는 열교환기를 설치하고 있다. 상기 팽창 터빈의 도입경로와 도출경로 사이에는, 바이패스밸브를 갖는 바이패스라인을 설치하고 있다.
또한, 본 발명의 장치는, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정 건조공기를 팽창시켜 저압제품으로서 사용설비에 공급하는 팬구동용의 팽창 터빈과, 이 팽창 터빈과 동축으로 설치되어, 상기 사용설비에서 사용된 후에 회수된 고청정 건조공기를 압축하여 상기 사용설비에 다시 공급하는 팬을 구비하고 있다.
상기 압축기와 상기 촉매정제기 사이에는, 상기 원료공기중의 수분을 제거하는 예비정제기를 구비하고 있다. 상기 예비정제기는 막분리기를 사용하거나, 혹은 알루미나겔, 실리카겔 및 제오라이트의 적어도 1종류가 충전되어 있다.
(실시예)
본 발명의 제 1 형태예를 도 1에 기초하여 설명한다. 이 고청정 건조공기의 제조장치는, 원료공기를 압축하는 압축기(1)와, 해당 원료공기중의 수소 및 일산화탄소를 산소와 반응시키는 촉매정제기(2)와, 해당 원료공기중의 수분 및 이산화탄소 등의 불순물을 제거하는 흡착정제기(3)를 가지고 있다.
필터(4)로 분진이 제거된 원료공기는, 상기 압축기(1)로 소정압력으로 압축된다. 이 압축원료공기는, 제 1 열교환기(5) 및 제 1 가열기(6)로 가열되어, 상기 촉매정제기(2)에 도입된다. 해당 촉매정제기(2)에서는, 압축원료공기중의 수소 및 일산화탄소가 원료공기중의 산소와 반응하여, 물 및 이산화탄소가 된다. 상기 촉매정제기(2)로부터 도출된 압축원료공기는, 상기 제 1 열교환기(5), 제 2 열교환기 (7) 및 냉각기(8)를 거쳐 냉각되고, 상기 흡착정제기(3)에 도입된다.
이 흡착정제기(3)에서는, 상기 산소와의 반응으로 생긴 물 및 이산화탄소가, 원료공기에 원래 포함되어 있는 수분이나 이산화탄소 등의 불순물과 함께 흡착 제거된다. 이에 따라, 일산화탄소, 수소, 이산화탄소, 수분을 각각 1Oppb 이하로 제거된 고청정 건조공기를 얻을 수 있다. 이 고청정 건조공기는, 제품으로서 사용설비(9)에 공급된다.
상기 압축기(1)는, 대기를 흡입하여 필요압력까지 압축하는 것으로, 압축압력이나 유량에 따라서 임의 형식의 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 소요 압력이 O.75Mpa이고, 유량이 5000Nm3/h인 경우는 터보식인 것을 사용할 수 있다.
상기 촉매정제기(2)는, 통내에 금속계 촉매를 충전한 것이다. 사용하는 금속계 촉매는, Pd, Pt, Au, Rh, Ru, Fe, Cr, Ni, Co, Mn, Cu, Sn, Zn 등의 금속을, 단일 또는 복수종류를 조합하여 주성분으로서 사용하거나, 혹은, 이들 금속의 임의 조합으로 이루어지는 합금을 주성분으로 하여 사용한다.
금속계 촉매중, 귀금속계 촉매로서 예를 들어 Pd계 촉매를 사용하는 경우는, 이 Pd계 촉매를 단위공기량, 즉 원료공기 1Nm3에 대하여 0.33리터 이상 충전하고, 공간속도를 3000h-1이하, 바람직하게는 2000∼300Oh-1로 설정함으로써 원료공기중의 수소, 일산화탄소를 촉매반응으로 물, 이산화탄소로 산화하여, 수소, 일산화탄소의 함유량을 각각 1Oppb 이하까지 저감시킬 수 있다. 이 때, 공간속도가 3000h-1보다 지나치게 높으면, 제거효율이 저하하는 경우가 있고, 지나치게 낮으면, 처리량의 저하나 촉매량의 증가하게 되어 경제적이지 않다.
상기 촉매반응에 의한 수소, 일산화탄소의 제거는 촉매에 따라 다르지만, 30∼150℃에서 행할 수 있다. 극미량의 메탄, 에탄, 프로판 등의 탄화수소도 동시에 촉매반응으로 제거하는 경우는, 350℃ 정도까지 승온하여 행하면 좋다. 상기 제 l 열교환기(5) 및 제 1 가열기(6)는, 압축원료공기의 온도를 상술의 촉매반응온도로 승온시키기 위한 수단으로서 설치되어 있다. 즉, 촉매반응온도가, 상기 압축기(1)의 압축열에 의한 온도보다 높은 경우는, 촉매정제기(2)의 입구공기와 출구공기를 제 1 열교환기(5)로 열교환시킴으로써 반응후의 고온공기가 가진 열의 회수를 행하고, 또한 부족분은 제 1 가열기(6)로 가열하도록 하고 있다. 이에 따라 열효율을 향상시킬 수 있다.
상기 냉각기(8)는, 상기 흡착정제기(3)의 입구공기를 5∼10℃로 냉각하기 위한 것이다. 이 냉각기(8)로서는, 예를 들면, 물냉각기와 드레인 세퍼레이터를 조합시킨 것이다. 이 냉각기(8)는, 촉매반응후의 원료공기를 냉각하는 것에 의해 수분을 응축시켜 제거함으로써 상기 흡착정제기(3)내로의 수분침입량을 저감시키는 기능을 가지고 있다. 이에 따라, 흡착정제기(3)의 운전효율을 높일 수 있다. 이 때의 원료공기의 냉각온도는 낮을수록 수분량이 저감하고, 흡착정제기(3)의 부하를 경감할 수 있지만, 냉각온도는 상기 온도범위(5∼10℃)내이면 되고, 냉각방법도 특히 한정되는 것은 아니다.
상기 흡착정제기(3)는 통내에 수분이나 이산화탄소를 흡착 제거하는 흡착제를 충전한 것이다. 이 흡착정제기(3)는 상기 원료공기의 입구부로부터 차례로, 활성알루미나 및/또는 실리카겔을 포함하는 건조제(수분제거제)를 충전한 건조제 베드와, 합성 제오라이트를 충전한 기체불순물제거제 베드를 적층하고 있다. 이 합성 제오라이트로서는, Na-X형, Ca-X형, Li-X형, Na-A형, Ca-A형을 단일 혹은 복수 조합시켜 사용할 수 있다. 또 상기 흡착정제기(3)는 통내 전체에 적절한 흡착제를 단일로 혹은 복수종류를 혼합하여 충전할 수도 있다.
예컨데, 상기 흡착정제기(3)는 입구부의 통 바닥 부근에 건조제로서 알루미나겔을, 출구측에 기체불순물제거제로서 Na-X형 합성제오라이트를 적층하여 충전함으로써 원료공기중에 원래 포함되어 있는 수분 및 이산화탄소와, 상기 촉매정제기 (2)에서의 반응에 의해 발생한 수분 및 이산화탄소를 효율적으로 함께 흡착 제거할 수 있다. 이 때, 알루미나겔과 합성제오라이트와의 충전비율은, 통상 용적비로 1:2 정도이다.
그리고, 상기 건조제 베드의 공간속도는, 1100Oh-1이하이며, 바람직하게는9000∼11000h-1이다. 상기 기체불순물제거제 베드의 공간속도는, 6000h-1이하이며, 바람직하게는 4000∼6000h-1이다. 이에 따라, 수분 및 이산화탄소를 각각 1Oppb 이하까지 제거할 수 있다. 이 때, 공간속도가 상기 각 수치보다 지나치게 높으면, 제거효율이 저하하는 경우가 있고, 지나치게 낮으면, 처리량의 저하나 흡착제량의 증가를 초래하여 경제적이지 않다.
또한, 흡착정제기(3) 이후의 고청정 건조공기가 흐르는 배관은 스테인리스강제가 적합하고, 바람직하게는 스테인리스강에 전해연마처리를 실시하여 내면을 경면으로 한 것이 바람직하다. 또 본 형태예에서는, 촉매정제기(2)와 흡착정제기(3)를 별개로 설치하였으나, 하나의 용기에 촉매와 흡착제를 충전한 방식으로 하여도 좋다.
상기 흡착정제기(3)는, 상기 흡착제를 충전한 2개의 흡착통(3a,3b)을 구비하고 있으며, 흡착통(3a)이 흡착공정일 때에 흡착통(3b)이 재생공정을 행하도록 전환하여 운전되어, 연속적으로 원료공기의 정제처리를 할 수 있도록 형성되어 있다.
이들 흡착통의 재생공정은, 가열재생단계와 냉각단계에 의해 행하여진다. 가열재생단계에서 사용하는 가열재생가스 및 냉각단계에서 사용하는 냉각가스는, 모두 흡착공정을 끝낸 정제가스(제품 고청정 건조공기)의 일부를 사용하는 것을 기본으로 하고 있다. 그러나 수분, 이산화탄소, 수소, 일산화탄소 등의 불순물을 포함하지 않거나, 혹은 극히 적은 가스, 예를 들면 사용설비(9)에서 사용이 끝난 고청정 건조공기나, 공기액화분리장치(도시하지 않음)의 배기 가스를 사용함으로써, 제품 고청정 건조공기의 수율을 향상시킬 수 있다. 상기 사용설비(9)는, 예를 들면 반도체집적회로, 액정패널, 태양 전지패널 등을 제조하는 설비이다.
상기 가열재생단계의 재생온도는, 가열재생시간이나 가열재생가스량등의 조건에 따라 다르지만, 통상은 100∼150℃이다. 본 형태예 장치에서는 가열재생가스를 이 온도까지 승온하기 위한 가열수단으로서, 제 2 열교환기(7)와 제 2 가열기 (10)가 설치된다. 제 2 열교환기(7)는, 제 1 열교환기(5)를 거친 촉매정제기(2)의 출구공기와 가열재생가스에 사용하는 가스를 열교환시켜 출구공기가 가진 열량을 회수하고 가열재생가스를 승온 한다. 제 2 가열기(10)는, 제 2 열교환기(7)에서의 열교환으로 가열재생가스가 소정온도까지 승온되지 않은 경우에, 소정온도까지 더욱 승온시키기 위한 것이다.
또, 가열재생가스는, 먼저 제 1 열교환기(5)를 지나고 나서 제 2 열교환기 (7)를 통하여 승온하도록 하여도 좋다. 제 2 열교환기(7)로 가열재생가스를 소정온도까지 승온할 수 있는 경우에는, 제 2 가열기(10)는 불필요하다. 또한, 가열재생가스는, 제 2 열교환기(7)를 설치하지 않고 제 2 가열기(10)만으로 가열할 수도 있다. 상기 냉각단계의 냉각가스는, 제 2 열교환기(7)나 제 2 가열기(10)를 통과시키지 않고서, 직접 흡착통에 도입하면 좋다.
이렇게, 2개의 흡착통(3a,3b)을 흡착공정과 재생공정으로 전환하여 원료공기의 정제를 행하는 경우, 양 공정의 전환시간을 4∼l2시간, 바람직하게는 6∼10시간, 재생온도를 100℃이상, 바람직하게는 120℃이상, 재생가스비율을 40%이하, 바람직하게는 20%이하로 함으로써, 효율적인 운전을 행할 수 있다.
또, 사용이 끝난 고청정 건조공기나 공기액화분리장치의 배기 가스와 같이 다른 프로세스로부터의 가스를 재생용으로 사용하는 경우는, 해당 프로세스의 운전조건의 밸런스를 감안하여 행한다.
상기 흡착정제기(3)로 정제된 고청정 건조공기는, 공급경로(11)를 통하여 반도체 제조공장, 고밀도기록매체 제조공장 또는 액정 제조공장 등의 사용설비(9)에 공급된다. 또한, 공급경로(11)에 분기경로(12)를 설치함으로써, 고청정 건조공기의 일부를 공기액화분리장치(도시하지 않음)의 원료로서 공급할 수 있다.
또한, 본 형태예에서는, 사용설비(9)에서 사용한 사용후의 고청정 건조공기는, 회수경로(13)로부터 회수하도록 하고 있다. 회수한 고청정 건조공기는, 그 오염도나 회수량에 따라서 밸브(14)를 가진 재생가스경로(15)를 통해 흡착정제기(3)의 재생가스로 사용하거나, 밸브(16)를 가진 제 1 혼입경로(17)를 통해 흡착정제기 (3)의 후단의 고청정 건조공기류에 혼입시키거나, 밸브(18)를 가진 제 2 혼입경로 (19)를 통해 흡착정제기(3)의 전단의 원료공기류에 혼입시키거나, 밸브(20)를 가진 제 3 혼입경로(21)를 통해 압축기(1)의 후단의 원료공기류에 혼입시키거나, 밸브 (22)를 가진 제 4 혼입경로(23)를 통해 압축기(1) 전단의 원료공기류에 혼입시키거나 할 수 있다.
이에 따라, 고청정 건조공기의 이용효율을 높일 수 있고, 고청정 건조공기 제조장치의 소형화나 운전비용의 저감을 도모할 수 있다. 또, 고청정 건조공기를 회수하여 재이용하는 경우는, 혼입할 곳의 압력에 따라서 회수용의 압축기(24)로 압축한다.
다음으로, 본 발명의 제 2 형태예를 도 2에 기초하여 설명한다. 또, 이하의 각 형태예에 있어서, 도 1의 기능과 동일한 기능을 갖는 요소에 있어서는, 공통의 부호를 붙여 그 상세한 설명은 생략한다.
이 고청정 건조공기의 제조장치는, 상기 흡착정제기(3)로부터 도출된 고청정 건조공기의 적어도 일부를 팽창시키는 팽창 터빈(31)과, 이 팽창 터빈(31)과 동축으로 설치된 승압기(32)를 포함하는 동력회수수단(33)을 구비한 것이다. 해당 승압기(32)는, 팽창 터빈(31)에서 발생한 팽창에너지에 의해서 구동되고, 상기 압축공정후의 원료공기를 더욱 승압한다.
필터(4)를 거친 원료공기는, 압축기(1)로 소정압력으로 압축되고, 에프터 쿨러(34)로 냉각된 후 상기 승압기(32)에 도입된다. 이 압축원료공기는, 승압기(32)에 의해서 촉매정제공정에 적합한 압력, 예를 들면 0.46MPa까지 승압된다.
상기 승압기(32)는, 상기 흡착정제기(3)를 도출한 고청정 건조공기의 압력을 이용하여 원료공기를 승압하는 것이다. 상기 팽창 터빈(31)과 승압기(32)는, 축 (35)에 의해서 연결된 일축식인 것으로서, 축(35)의 축받이로는, 고청정 건조공기의 일부를 사용한 기체축받이나, 자기축받이를 채용하는 것이 바람직하다. 이들 축받이는 마찰저항이 작고, 동력의 회수효과를 크게 할 수 있는 동시에, 외부공기 등의 오염원과의 접촉을 완전히 차단할 수 있어, 고청정 건조공기측이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또, 축받이로서, 구름·메탈 등의 방식을 채용하는 것도 가능하다.
상기 승압기(32)로 승압된 승압공기는, 제 1 열교환기(5), 제 1 가열기(6)를지나서 촉매정제기(2)에 도입된다. 이 촉매정제기(2)에서 생성된 물이나 이산화탄소는, 승압공기와 함께 상기 제 1 열교환기(5)로 냉각된 후, 제 2 열교환기(7), 제 3 열교환기(36)에서 차례로 냉각되어, 응축한 수분을 드레인 세퍼레이터(37)로 분리한 후, 흡착정제기(3)에 도입된다. 또, 필요에 따라 냉각기를 설치하여도 좋다.
상기 흡착정제기(3)에 도입된 승압공기는, 수분 및 이산화탄소가 10ppb 이하까지 흡착 제거되어 고청정 건조공기가 되고, 공급경로(11)를 지나서 사용설비(9)에 공급된다. 회수경로(13)로 회수된 고청정 건조공기는, 제 3 혼입경로(21)를 통해 압축기(1)의 후단에 대신하여 승압기(32)의 후단의 승압공기류에 혼입할 수 있다.
상기 공급경로(11)의 고청정 건조공기의 일부는, 분기경로(38)로 분기되어, 흡착정제기(3)의 재생가스 및 저압제품으로서 이용된다. 해당 분기경로(38)의 고청정 건조공기는, 상기 제 2 열교환기(7)에서 상기 촉매정제기(2)로부터 도출된 고온의 승압공기와 열교환하여 승온한다. 제 2 열교환기(7)로부터 도출된 승온후의 고청정 건조공기는, 물냉각기(39)를 가진 경로(40)를 지나서 상기 팽창 터빈(31)에 도입되어 팽창하고, 이 팽창에 의해 발생한 동력이 상기 승압기(32)의 구동력으로서 이용된다.
팽창하여 저온저압이 된 고청정 건조공기는, 제 3 열교환기(36)로 상기 승압공기와 열교환하여 승온된 후, 저압제품 공급경로(41)를 통하여, 저압제품 사용설비(42)에 공급된다. 또한, 해당 저압제품 공급경로(41)로부터 밸브(43)를 가진 재생가스경로(44)로 분기하여 흡착정제기(3)의 재생가스가 된다.
승압기 구동용의 팽창 터빈(31)의 출구압력은, 저압제품 사용설비(42)의 압력에 따라서 예를 들면, 0.1MPa로 설정된다. 또 팽창 터빈(31)에 있어서의 외부 리크량은 1×10-9Torr·L/s 이하 특히, 1×10-11Torr·L/s 이하로 하는 것이 바람직하다.
상기 제 2 열교환기(7)로 고청정 건조공기를 승온함으로써, 팽창 터빈(31)의 입구온도를 올려 효율을 향상시킬 수 있다. 더욱이, 촉매정제기(2)로부터 도출된 승온공기의 열에너지를 이용함으로써, 에너지의 효율적 이용도 도모할 수 있다. 또 제 2 열교환기(7)로 고압고청정 건조공기와 열교환을 행하는 열원 유체로서는, 본 형태예 이외에, 압축기(1) 출구의 압축공기 등을 이용할 수도 있다.
제 2 열교환기(7)로부터 도출된 고청정 건조공기의 일부는, 바이패스밸브 (45)를 가진 바이패스경로(46)로 분기하여, 상기 팽창 터빈(31)으로부터 도출된 저압의 고청정 건조공기에 합류한다. 또한 제 3 열교환기(36)에 도입되기 전의 저압의 고청정 건조공기의 일부는, 밸브(47)를 가진 경로(48)를 통해 제 3 열교환기 (36)로 승온한 저압의 고청정 건조공기에 합류한다. 이에 따라, 상기 사용설비(42)에 공급하는 저압제품의 온도를 적절히 조절할 수 있다.
상기 제 2 열교환기(7)에 있어서의 열교환량, 바이패스경로(46)의 유량 및 물냉각기(39)에서의 냉각량은, 합류경로(49)를 흘러 상기 제 3 열교환기(36)에 도입되는 저압의 고청정 건조공기의 온도가 O℃이상으로 될 수 있는 한 저온이 되도록 설정된다. 즉, 제 3 열교환기(36)에서 열교환하는 상기 승압공기중의 수분이 제3 열교환기(36)내에서 빙결하지 않은 온도가 되도록 제어된다.
팽창에 의해 저온이 된 저압고청정 건조공기는, 제 3 열교환기(36)에서 승압공기와 열교환을 행하여 상온으로 승온함으로써 이후의 배관 등에서의 외벽에의 결로가 방지된다. 또 제 3 열교환기(36)로의 저압고청정 건조공기의 유량은 밸브(47)에 의해 조절된다.
이와 같이, 팽창 터빈(31) 및 승압기(32)를 가진 동력회수수단(33)이나, 제 2, 제 3 열교환기(7,36)를 효과적으로 배치함으로써 원료공기의 승압을 효율적으로 행할 수 있고, 압축기(1)의 소비동력을 저감할 수 있다. 또한, 고청정 건조공기뿐만 아니라, 저압의 고청정 건조공기도 동시에 공급할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제 3 형태예를 도 3에 기초하여 설명한다.
이 고청정 건조공기의 제조장치는, 상기 흡착정제기(3)로부터 공급경로에 도출된 고청정 건조공기를 팽창시키는 팽창 터빈(51), 이 팽창 터빈(51)과 동축에 설치된 팬(52)을 포함한 순환공급수단(53)을 구비한 것이다. 상기 팬(52)은, 팽창 터빈 (5l)에서 발생한 팽창에너지에 의해서 구동되고, 사용설비(9)로부터 회수경로 (13)로 회수한 사용후의 고청정 건조공기의 일부를 압축하여 사용설비(9)에 공급된다. 팽창 터빈(51)은 공급경로(11)로부터 사용설비(9)에 공급되는 비교적 높은 압력의 고청정 건조공기를 사용설비(9)에서의 사용압력으로 감압한다.
상기 팽창 터빈(51)과 팬(52)은 축(54)에 의해 직접 연결된 일축식인 것이다. 이 축(54)의 축받이에는 마찰저항이 작고 동력의 회수효과가 크며, 또한, 외부공기 등의 오염원과의 접촉을 완전히 차단할 수 있는 구조의 기체축받이 또는 자기축받이가 사용된다. 이들 축받이에 사용되는 시일가스는, 상기 공급경로(11)로부터 시일가스경로(55)로 분기한 고청정 건조공기이다. 또 사용된 시일가스는 경로(56)로부터 그대로 배기하여도 좋지만, 경로(57)를 흐르는 팽창후의 고청정 건조공기에 합류시켜 사용설비(9)에 공급하여도 좋다.
이와 같이, 본 형태예는, 고청정 건조공기를 팬구동용의 팽창 터빈(51)으로 감압하여 사용설비(9)에 공급하는 동시에, 해당 팽창 터빈(51)에서 발생한 동력에너지로서 사용설비(9)로부터 배출된 사용후의 고청정 건조공기를 사용설비(9)에 순환공급하는 팬(52)을 구동함으로써 팬구동용의 동력을 별도로 설치할 필요가 없다. 또, 순환공급수단(53)은 순환시키는 고청정 건조공기의 처리량에 따라서 복수 설치할 수 있다.
도 4는 순환공급수단(53)의 다른 형태를 나타내는 계통도이다. 이 순환공급수단(53)은 동축으로 구성된 팽창 터빈 및 팬을 2조 설치하고 있다. 팽창 터빈(51)은 도 3의 팽창 터빈(5l)과 마찬가지로 공급경로(11)를 흐르는 보급용의 고청정 건조공기를 사용설비(9)에서의 사용압력으로 감압하고 있다.
한편, 사용설비(9)에서 사용된 후에 회수경로(13)로 회수된 순환용의 고청정 건조공기는, 제 1 팬(6l)으로 향하는 경로(62)와, 제 2 팬(63)으로 향하는 경로 (64)로 분기한다. 경로(62)로 분기한 고청정 건조공기는, 팽창 터빈(51)에 의해 구동되는 제 1 팬(61)에 의해서 사용설비(9)에서의 사용압력보다 높은 압력으로 압축된 후, 경로(65)로부터 팽창 터빈(66)으로 도입된다. 또한, 경로(64)로 분기한 고청정 건조공기는, 상기 팽창 터빈(66)에 의해 구동되는 제 2 팬(63)으로 소정의 압송압력으로 승압된다.
상기 팽창 터빈(51)으로 팽창하여 경로(57)로 도출된 고청정 건조공기와, 제 1 팬(61)으로 승압된 후에 상기 팽창 터빈(66)으로 팽창하여 경로(67)로 도출된 순환용 고청정건조공기와, 제 2 팬(63)으로 승압되어 경로(68)로 도출된 고청정 건조공기는, 각각 동일한 압력으로 경로(69)에 합류하여 사용설비(9)에 공급된다.
예를 들어, 공급경로(11)로부터 압력 0.45MPa로 공급되는 고청정 건조공기는, 팽창 터빈(51)으로 수 100mmAq까지 팽창한다. 또한, 경로(62)의 고청정 건조공기는, 제 1 팬(61)으로 약 0.07MPa까지 승압한 후, 팽창 터빈(66)으로 수 100mmAq까지 팽창한다. 또한, 경로(64)의 고청정 건조공기는, 제 2 팬(63)으로 수 100mmAq까지 승압한다.
또, 각 팽창 터빈(51,66) 및 팬(61,63)의 축받이는, 도 3의 경우와 같은 기체축받이 또는 자기축받이 이다. 각 축받이는, 상기 공급경로(11)로부터 시일가스경로(55a,55b)로 분기한 고청정 건조공기가 시일가스로서 각각 공급된다. 사용후의 시일가스는, 경로(56a,56b)를 통해 사용설비(9)에 공급되는 고청정 건조공기에 합류하고 있다.
도 3의 일축식의 경우에는, 팽창 터빈쪽과 팬쪽 날개의 회전수가 동일하게 되어 있으며, 팬쪽의 처리풍량에 한계가 있다. 도 4의 형태예는, 팽창 터빈 및 팬을 복수조 설치하고 있기 때문에 보급용의 고청정 건조공기가 가진 압력에너지를 효과적으로 이용할 수 있다. 따라서 보급용의 고청정 건조공기에 대하여 순환용의 고청정 건조공기를 대량으로 예컨데 2배 순환시킬 수 있다. 또 보급용의 고청정 건조공기의 압력이 높은 경우에는 복수단의 팽창 터빈으로 차례로 팽창시켜, 각각의 단계에서 팬을 구동시킬 수가 있다.
도 5는, 순환공급수단(53)의 또 다른 형태를 나타내는 계통도이다. 이 순환공급수단(53)은 보급용 고청정 건조공기를 팽창시키는 팽창 터빈(51)의 축(71)과, 순환용 고청정 건조공기를 압송하는 팬(72,73)의 축(74)과는 기어식 변속수단(75)으로 연결되어 있다. 즉 팽창 터빈(51)에서 발생한 동력은 기어식 변속수단(75)을 통해 팬(72,73)에 전달된다. 이에 따라 1대의 팽창 터빈(51)에 대하여 2개의 팬(72,73)을 임의의 회전수로 회전시킬 수 있다. 이러한 기어식 변속수단을 사용하면, 순환용 고청정 건조공기의 양이나 압송압력에 따라서 최적의 형상, 성능의 팬을 최적의 개수로 설치할 수 있으므로 가장 효율적인 상태에서 대량의 순환용 고청정 건조공기를 압송시킬 수 있다.
또, 도 5의 형태예에서는 기어식 변속수단(75)을 사용하기 때문에 팽창 터빈(51), 팬(72,73)에 있어서의 외부공기와의 시일부(76,77,78)는 래비린스구조로 형성하고 있다. 이들 시일부(76,77,78)에는, 공급경로(11)로부터 시일가스경로 (55a,55b,55c)로 분기한 고청정 건조공기를 공급하고 있다. 한편, 시일부의 래비린스구조는, 주지의 구조를 채용할 수 있으므로, 그 상세한 도시나 설명은 생략한다.
예를 들어, 공급경로(11)로부터 압력 0.45MPa로 공급된 보급용 고청정 건조공기는 팽창 터빈(51)으로 수 100mmAq까지 팽창하여 경로(57)로 도출된다. 사용설비(9)로부터 회수경로(13)로 배출되어 경로(79,80)로 분기한 순환용 고청정 건조공기는, 팬(72,73)으로 각각 수 100mmAq으로 승압하여 경로(81,82)로 도출되는 동시에, 상기 경로(57)의 보급용 고청정 건조공기와 합류하여, 경로(83)를 거쳐 사용설비(9)에 공급된다.
또, 도 3∼5의 형태예에서는, 시일가스로서 보급용 고청정 건조공기를 사용하였기 때문에 계(系)내를 완전히 다른 계와 분리하여 오염의 가능성이 거의 없어진다. 또한, 시일가스로서 사용된 후의 압력이 저하한 고청정 건조공기는, 보급용 고청정 건조공기와 함께 사용설비(9)에 공급됨으로써, 효율적으로 이용할 수 있다. 단, 보급용 고청정 건조공기의 압력이 낮고, 시일가스로서 적합하지 않은 경우에는 다른 적합한 가스를 사용하여도 좋다.
또한, 도 4, 5의 형태예에서는, 팽창후의 보급용 고청정 건조공기와, 승압후의 순환용 고청정 건조공기를 합류시켜 사용설비(9)에 공급하였으나, 사용설비(9)의 상황에 따라서 다른 경로로부터 사용설비내의 다른 부분에 공급할 수도 있다. 또한, 순환용 고청정 건조공기의 압송압력은, 사용설비(9)의 구성이나 배관거리 등의 조건에 따라서 적절히 설정하는 것이 가능하고, 보급용 고청정 건조공기의 압력도 임의로 설정할 수 있다.
도 3∼5의 형태예에서는, 팽창 터빈과 팬과의 조합을 사용하였으나, 공급경로(11)로부터 공급되는 비교적 높은 압력의 고청정 건조공기를 구동가스로 하는 이젝터를 사용하여 회수경로(13)로부터의 사용후의 고청정 건조공기를 순환시키도록 구성하여도 좋다.
도 6은, 본 발명의 고청정 건조공기의 제조방법 및 장치의 제 4 형태예를 나타내는 계통도이다. 이 고청정 건조공기 제조장치는, 압축기(1)와 촉매정제기(2)와의 사이에 원료공기중의 수분을 제거하는 예비정제기(91)를 구비한 것이다.
압축기(1)로 압축된 원료공기는 열교환기(92)에 도입되어, 사용설비(9)로부터 회수된 사용이 끝난 고청정 건조공기와 열교환하여, 온도가 내려가 예비냉각설비(93)로 도입된다. 이 예비냉각설비(93)는 물냉각기로 상기 압축원료공기를 5℃∼상온까지 냉각하고, 이어서 드레인 세퍼레이터(도시하지 않음)에 도입하여 응축수분을 제거하는 형식의 것이 사용된다. 즉, 압축원료공기중에 포함된 수분을 될 수 있는 한 제거하여, 예비정제기(91)내에의 반입 수분량을 저감함으로써 예비정제기 (91)의 운전효율을 높이도록 하고 있다. 물냉각기에서의 냉각온도는, 낮을수록 배수량이 증가하고, 예비정제기(91)의 부하는 경감되지만, 예비정제기(91)가 흡착기인 경우, 통상의 운전에서는 상기 온도범위내에서 행하면 좋다.
예비정제기(91)는, 일반적으로 흡착기나 막분리기가 사용되고, 원료공기중의 수분을 분리하여 이슬점을 -30℃ 이하로 하는 소위 건조수단이다. 또, 예비정제기 (91)는 물제거 열교환기, 응축분리식 정제기 또는 냉건열교환기에 의한 저온분리식 건조기를 사용할 수도 있다.
막분리기로는 폴리염화비닐, 불소계폴리머(상품명 테프론, 불소수지 등), 셀룰로오즈에스테르(셀룰로오즈 아세테이트 등), 폴리아미드, 폴리술폰, 폴리이미드 등의 막을 사용할 수 있다.
예비정제기(91)에 의한 통상의 예비정제공정은 전환 사용되는 복수, 예를 들면 2개의 흡착통(91a,91b)을 사용한다. 통상의 흡착통은, 세로형 원통에, 실리카겔, 알루미나겔, Ca-A형 제오라이트, Na-A형 제오라이트, Ca-X형 제오라이트 또는K-A형 제오라이트(상품명: 몰레큘러 시브5A, 4A, 10X 또는 3A)등을 단일 또는 복수 조합하여 충전한 것을 사용한다.
상기 예비정제공정을 상기 흡착정제에 의해 행하는 경우는, 그 공간속도를 12000h-1이하, 바람직하게는 9000∼11000h-1으로 행한다. 또, 공간속도가 높아지면, 수분을 충분히 제거할 수 없게 되는 경우가 있다. 2개의 흡착통(91a,91b)을 전환하여 사용하는 경우, 흡착통(91a)이 흡착공정일 때, 흡착통(91b)은 재생공정이며, 재생공정은 가열재생단계와 냉각단계에 의해 행하여진다.
재생공정에서의 가열재생단계 및 냉각단계에 사용하는 재생가스는, 사용설비 (9)에서 사용한 후에 회수경로(13)를 지나서 재생가스경로(94)로 분기한 고청정 건조공기를 사용하는 것을 기본으로 하지만, 수분을 포함하지 않은 다른 프로세스로부터의 배출가스 예를 들어, 공기액화분리장치의 배출가스를 사용하면, 제품공기를 사용하지 않게 되므로, 제품공기의 제조효율이 향상한다. 가열재생단계에서 사용하는 가열용 가스는, 상기 재생가스를, 압축기(1)에서의 압축열로 승온한 압축원료공기와 열교환기(92)로 열교환시켜, 해당 압축원료공기가 보유하는 열량을 회수함으로써 승온하여 사용한다.
재생온도는 통상 100∼150℃ 전후이지만, 압축원료공기의 열량이 부족한 경우는, 가열기(95) 또는 다른 열원에 의해 소정온도로 가온하고 나서 흡착통에 도입한다. 이 재생온도는 재생시간, 재생가스량 등에 따라 달라지므로 다른 프로세스의 배출가스를 사용하는 경우에는 해당 프로세스의 운전조건의 밸런스 등을 감안하여결정한다.
예비정제기(91)로 예비정제공정을 행함으로써 얻어진 건조공기는, 경로(96)를 통하여 그 일부가 경로(97)로 분기하여 반도체 제조공장 또는 액정제조공장 등의 건조공기 사용설비(98)에 공급된다. 또한, 건조공기의 나머지는 경로(99)를 지나 상기 촉매정제기(2)에 도입되고, 계속해서 흡착정제기(3)에 도입되어, 고청정 건조공기가 된다. 이 고청정 건조공기는, 공급경로(11)를 통해 반도체 제조공장, 고밀도기록매체 제조공장, 액정 제조공장 또는 태양전지패널 제조공장 등의 고청정 건조공기의 사용설비(9)에 공급된다.
본 형태예는, 원료공기중의 수분을 예비정제공정에서 제거하기 때문에 촉매나 흡착제의 충전량이 작아도 된다. 예를 들면, 촉매충전량은 단위공기량당 0.033리터 이상, 특히 0.4리터 이상이 바람직하다. 또한, 촉매정제공정에서의 공간속도는 30000h-1이하, 특히 2000∼30000h-1가 바람직하다. 이 공간속도가 높아지면, 충분한 반응을 행할 수 없게 되는 경우가 있다.
상기 흡착제의 충전량은 단위공기량당 0.14리터 이상, 특히 0.2리터 이상인 것이 바람직하다. 이 흡착정제공정에서의 공간속도는 7000h-1이하, 특히 4000 ∼ 6000h-1이 바람직하다.
이 형태예에 의하면, 고청정 건조공기나, 범용의 건조공기를 안정적으로 경제적으로 공급할 수가 있다.
실시예 1
도 1에 나타낸 제 1 형태예에 의한 장치구성으로, 4000Nm3/h의 고청정 건조공기를 제조하는 고청정 건조공기 제조장치를 제작하였다. 그 운전조건을 다음에 나타낸다.
공기압축기 처리량 5000Nm3/h
출구압력 0.75Mpa
촉매정제기 운전온도 150℃
촉매제량 2000리터
공간속도 2500h-1
흡착정제기 입구온도 10℃
전환시간 8시간
재생온도 120℃
알루미나겔량 500리터
공간속도 1000Oh-1
합성제오라이트량 1000리터
공간속도 5000 h-I
재생가스 제품정제가스
재생가스량 1000Nm3/h
고청정건조공기 제품량 4000 Nm3/h
압력 0.7MPa
상기 조건으로 고청정 건조공기 4000Nm3/h를 연속 제조했을 때의 제품고청정 건조공기중의 불순물을 15분마다 7000분간 연속 측정하였다. 그 평균치를 다음에 나타낸다.
불순물 농도[ppb]
수분 2.6
이산화탄소 2.9
일산화탄소 5.1
수소 1.3
이와 같이, 상기 운전조건으로 제조장치를 운전한 결과, 제품인 고청정 건조공기 중의 수분, 이산화탄소, 일산화탄소, 수소 모두가 1Oppb 이하로 제거되고 있으며, 웨이퍼보호를 목적으로 하는 가스로서 충분히 사용 가능한 상태로 정제되어 있는 것이 확인되었다.
실시예 2
도 2에 나타낸 제 2 형태예에 의한 구성의 장치와, 종래의 고청정 건조공기 제조장치에 있어서, 저압의 고청정 건조공기 4000Nm3/h를 제조할 때의 동력비용의 비교를 행하였다. 양자의 운전 파라미터 및 소비동력비를 표 1에 나타낸다.
표 1
운전파라미터 본 형태예 종래예
원료공기량공기압축기 출구압력동력회수장치 출구압력흡착정제기 입구압력흡착정제기 출구압력팽창터빈 입구압력고청정 공기공급압력고청정 공기온도고청정 공기공급량 5500Nm3/h0.25MPa0.46MPa0.44MPa0.43MPa0.42MPa0.1MPa25℃4000Nm3/h 5500Nm3/h0.46MPa-0.44MPa0.43MPa-0.43MPa10℃4000Nm3/h
소비전력비 0.73 1.00
실시예 3
도 4에 나타내는 순환공급수단(53)에 있어서, 팽창 터빈(51)에 1800 Nm3/h, 0.45MPa의 보급용 고청정 건조공기를 공급하여 160mmAq로 팽창시키고, 순환용 고청정 건조공기를 압력 120mmAq에서 160mmAq로 승압하였을 때의 경로(69)에 있어서의 순환풍량을 계측하였다.
그 결과, 순환풍량은 5300Nm3/h이었다. 즉 보급용 고청정 건조공기를 제거하면, 사용설비(9)로부터 배출되는 고청정 건조공기의 3500Nm3/h를 회수하여 재이용할 수 있게 된다. 또한 이 때의 순환공급수단(53)에 있어서의 입구와 출구의 수분농도는 모두 3ppb이며, 순환공급수단(53)에서의 처리에 의해 고청정 건조공기가 오염되지 않은 것도 확인할 수 있었다. 본 예에 의하면, 보급용 고청정 공기의 약 2배의 순환용 고청정 건조공기가 처리가능하고, 회수이용율은 약 66%가 된다.
실시예 4
도 5의 형태예에 나타내는 순환공급수단(53)에 있어서, 팽창 터빈(51)에 1800Nm3/h, 0.45MPa의 보급용 고청정 건조공기를 공급하여 160mmAq로 팽창시키고, 순환용 고청정 건조공기를 압력 120mmAq에서 160mmAq로 승압하였을 때의 경로(83)에 있어서의 순환풍량을 계측하였다.
그 결과, 순환풍량은, 148000Nm3/h이었다. 즉 보급용 고청정 건조공기를 제거하면, 사용설비(9)로부터 배출되는 고청정 건조공기의 146200Nm3/h를 회수하여 재이용할 수 있게 된다. 또한 이 때의 순환공급수단(53)에 있어서의 입구와 출구의 수분농도는 모두 3ppb이며, 순환공급수단(53)에서의 처리에 의해 고청정 건조공기가 오염되지 않은 것도 확인할 수 있었다. 본 예에 의하면, 보급용 고청정 공기의 약 80배의 순환용 고청정 건조공기가 처리가능하고, 회수이용율은 약 99%가 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반도체 제조공장이나 액정 제조공장 등에서 필요로 하는 고청정 건조공기, 예컨데, 수소, 일산화탄소, 수분, 이산화탄소 등을 각각 1Oppb 이하까지 제거 정제하고, 토탈 불순물 1Oppb 레벨의 고청정 건조공기를 안정적이고 경제적으로 공급할 수 있다.

Claims (10)

  1. 원료공기를 압축하는 압축기와, 해당 원료공기중의 수소 및 일산화탄소를 산소와 반응시키는 촉매정제기와, 해당 원료공기중에 함유된 수분, 이산화탄소 등의 불순물을 제거하는 흡착정제기와, 상기 촉매정제기로부터 도출된 원료공기와, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정 건조공기의 적어도 일부를 열교환하는 열교환기를 포함하며, 상기 촉매정제기는, Pd, Pt, Au, Rh, Ru, Fe, Cr, Ni, Co, Mn, Cu, Sn, Zn 등의 금속을, 단일 또는 복수 종류를 조합하여 주성분으로 하거나, 혹은 이들 금속의 임의 조합으로 이루어지는 합금을 주성분으로 하는 금속계 촉매가 충전되어 있으며, 상기 금속계 촉매의 충전량은, 단위공기량당 0.33리터 이상이고, 상기 흡착정제기는, 그 입구부에서부터 차례로, 활성알루미나 및/또는 실리카겔을 포함하는 건조제가 단위공기량당 0.09리터 이상충전된 건조제 베드와, 단위공기량당 0.14리터 이상의 합성제오라이트가 충전된 기체불순물제거제 베드를 적층한 고청정 건조공기의 제조장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정 건조공기의 적어도 일부를 팽창시키는 승압기구동용의 팽창 터빈과, 이 팽창 터빈과 동축으로 설치되어, 상기 압축기로 압축된 원료공기를 더욱 승압하는 승압기를 구비하고 있는 고청정 건조공기의 제조장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 팽창 터빈으로부터 도출된 저압의 고청정 건조공기와, 상기 촉매정제기로부터 도출된 원료공기를, 열교환하는 열교환기를 설치한 고청정 건조공기의 제조장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 팽창 터빈의 도입경로와 도출경로와의 사이에, 바이패스밸브를 가진 바이패스라인을 설치한 고청정 건조공기의 제조장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 흡착정제기로부터 도출된 고청정 건조공기를 팽창시켜 저압제품으로서 사용설비에 공급하는 팬구동용의 팽창 터빈과, 이 팽창 터빈과 동축으로 설치되어, 상기 사용설비에서 사용된 후에 회수된 고청정 건조공기를 압축하여 상기 사용설비에 다시 공급하는 팬을 구비한 고청정 건조공기의 제조장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 압축기와 상기 촉매정제기와의 사이에, 상기 원료공기중의 수분을 제거하는 예비정제기를 구비한 고청정 건조공기의 제조장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 예비정제기는, 막분리기인 고청정 건조공기의 제조장치.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 예비정제기는, 알루미나겔, 실리카겔 및 제오라이트의 적어도 1종이 충전되어 있는 고청정 건조공기의 제조장치.
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