JP2000028169A - 高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法 - Google Patents
高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法Info
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- JP2000028169A JP2000028169A JP10192090A JP19209098A JP2000028169A JP 2000028169 A JP2000028169 A JP 2000028169A JP 10192090 A JP10192090 A JP 10192090A JP 19209098 A JP19209098 A JP 19209098A JP 2000028169 A JP2000028169 A JP 2000028169A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 使用設備から排出される高清浄乾燥空気の汚
染を防止しながら経済的かつ効率的に循環供給すること
ができる高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法を提供
する。 【解決手段】 使用設備２から排出される使用済みの高
清浄乾燥空気を再度圧送して使用設備２に循環供給する
ためのファン６を、高清浄乾燥空気製造装置３から供給
される補給用高清浄乾燥空気を使用設備２での使用圧力
に減圧する膨張タービン８で発生した動力により駆動す
る。
染を防止しながら経済的かつ効率的に循環供給すること
ができる高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法を提供
する。 【解決手段】 使用設備２から排出される使用済みの高
清浄乾燥空気を再度圧送して使用設備２に循環供給する
ためのファン６を、高清浄乾燥空気製造装置３から供給
される補給用高清浄乾燥空気を使用設備２での使用圧力
に減圧する膨張タービン８で発生した動力により駆動す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高清浄乾燥空気の
循環供給装置及び方法に関し、詳しくは、半導体集積回
路製造設備，液晶パネル製造設備，太陽電池パネル製造
設備等の高清浄乾燥空気の使用設備から排出される使用
済みの高清浄乾燥空気を再度使用設備に循環供給するた
めの装置及び方法に関する。
循環供給装置及び方法に関し、詳しくは、半導体集積回
路製造設備，液晶パネル製造設備，太陽電池パネル製造
設備等の高清浄乾燥空気の使用設備から排出される使用
済みの高清浄乾燥空気を再度使用設備に循環供給するた
めの装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
集積回路や液晶パネル等の製造設備では、シリコン基板
やガラス基板等を保護するために高清浄乾燥空気が使用
されている。この高清浄乾燥空気は、その使用量が膨大
であり、また、使用された高清浄乾燥空気の大部分は、
シリコン基板やガラス基板が保有されている雰囲気を保
持するために用いられており、ほとんど汚されることな
く排気されることから、再利用することが望ましい。
集積回路や液晶パネル等の製造設備では、シリコン基板
やガラス基板等を保護するために高清浄乾燥空気が使用
されている。この高清浄乾燥空気は、その使用量が膨大
であり、また、使用された高清浄乾燥空気の大部分は、
シリコン基板やガラス基板が保有されている雰囲気を保
持するために用いられており、ほとんど汚されることな
く排気されることから、再利用することが望ましい。
【０００３】しかしながら、再利用するためには、膨大
な処理能力を有するとともに、高清浄乾燥空気を汚染し
ない構造を有するファンが必要であり、かつ、そのファ
ンのための動力が必要となる。さらに、一般的なファン
の構造における軸受は、転がり軸受等の油を使用したも
のであり、上述のような高清浄乾燥空気を循環させるた
めのものとしては、高清浄乾燥空気が油で汚染されるた
め不適当である。
な処理能力を有するとともに、高清浄乾燥空気を汚染し
ない構造を有するファンが必要であり、かつ、そのファ
ンのための動力が必要となる。さらに、一般的なファン
の構造における軸受は、転がり軸受等の油を使用したも
のであり、上述のような高清浄乾燥空気を循環させるた
めのものとしては、高清浄乾燥空気が油で汚染されるた
め不適当である。
【０００４】そこで本発明は、これらの高清浄乾燥空気
使用設備に供給する高清浄乾燥空気の圧力を利用し、使
用設備から排出される高清浄乾燥空気の汚染を防止しな
がら経済的かつ効率的に循環供給することができる高清
浄乾燥空気の循環供給装置及び方法を提供することを目
的としている。
使用設備に供給する高清浄乾燥空気の圧力を利用し、使
用設備から排出される高清浄乾燥空気の汚染を防止しな
がら経済的かつ効率的に循環供給することができる高清
浄乾燥空気の循環供給装置及び方法を提供することを目
的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の高清浄乾燥空気の循環供給装置は、高清浄
乾燥空気の使用設備から排出される使用済みの高清浄乾
燥空気を再度圧送して前記使用設備に循環供給する装置
であって、循環供給する循環用高清浄乾燥空気を圧送す
るファン（ブロワーも含む、以下同じ）を、前記高清浄
乾燥空気の使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥
空気を膨張させる膨張タービンと同軸で構成したことを
特徴としている。
め、本発明の高清浄乾燥空気の循環供給装置は、高清浄
乾燥空気の使用設備から排出される使用済みの高清浄乾
燥空気を再度圧送して前記使用設備に循環供給する装置
であって、循環供給する循環用高清浄乾燥空気を圧送す
るファン（ブロワーも含む、以下同じ）を、前記高清浄
乾燥空気の使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥
空気を膨張させる膨張タービンと同軸で構成したことを
特徴としている。
【０００６】また、本発明の高清浄乾燥空気の循環供給
装置は、他の構成として、高清浄乾燥空気の使用設備か
ら排出される使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して
前記使用設備に循環供給する装置であって、循環供給す
る循環用高清浄乾燥空気を圧送するファンの回転軸を、
前記高清浄乾燥空気の使用設備に補給する新たな補給用
高清浄乾燥空気を膨張させる膨張タービンの回転軸にギ
ヤ式変速装置で連結したことを特徴としている。
装置は、他の構成として、高清浄乾燥空気の使用設備か
ら排出される使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して
前記使用設備に循環供給する装置であって、循環供給す
る循環用高清浄乾燥空気を圧送するファンの回転軸を、
前記高清浄乾燥空気の使用設備に補給する新たな補給用
高清浄乾燥空気を膨張させる膨張タービンの回転軸にギ
ヤ式変速装置で連結したことを特徴としている。
【０００７】さらに、本発明の高清浄乾燥空気の循環供
給装置は、前記膨張タービン及びファンの軸受けが気体
軸受式又は磁気軸受式であること、あるいは、前記膨張
タービン及びファンにおける外気とのシール部分がラビ
リンス構造を有していることを特徴としている。また、
前記膨張タービン及びファンが複数組並列に設置されて
いることを特徴とし、該複数組の膨張タービン及びファ
ンにおいて、一つの組のファンで昇圧した循環用高清浄
乾燥空気を他の組の膨張タービンに供給する経路を設け
たこと、あるいは、前記複数組の膨張タービン及びファ
ンにおいて、各ファンに循環用高清浄乾燥空気を供給す
る経路をそれぞれ設けるとともに、各膨張タービンに補
給用高清浄乾燥空気を供給する経路をそれぞれ設けたこ
とを特徴としている。
給装置は、前記膨張タービン及びファンの軸受けが気体
軸受式又は磁気軸受式であること、あるいは、前記膨張
タービン及びファンにおける外気とのシール部分がラビ
リンス構造を有していることを特徴としている。また、
前記膨張タービン及びファンが複数組並列に設置されて
いることを特徴とし、該複数組の膨張タービン及びファ
ンにおいて、一つの組のファンで昇圧した循環用高清浄
乾燥空気を他の組の膨張タービンに供給する経路を設け
たこと、あるいは、前記複数組の膨張タービン及びファ
ンにおいて、各ファンに循環用高清浄乾燥空気を供給す
る経路をそれぞれ設けるとともに、各膨張タービンに補
給用高清浄乾燥空気を供給する経路をそれぞれ設けたこ
とを特徴としている。
【０００８】また、本発明の高清浄乾燥空気の循環供給
方法は、高清浄乾燥空気の使用設備から排出される使用
済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して前記使用設備に循
環供給する高清浄乾燥空気の循環使用方法であって、前
記使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥空気の圧
力を利用して前記高清浄乾燥空気の使用設備から排出さ
れる循環用高清浄乾燥空気を圧縮して循環供給すること
を特徴とし、特に、前記補給用高清浄乾燥空気を膨張タ
ービンで膨張させ、該膨張タービンの発生動力で駆動す
るファンにより前記循環用高清浄乾燥空気を圧縮するこ
とを特徴としている。
方法は、高清浄乾燥空気の使用設備から排出される使用
済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して前記使用設備に循
環供給する高清浄乾燥空気の循環使用方法であって、前
記使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥空気の圧
力を利用して前記高清浄乾燥空気の使用設備から排出さ
れる循環用高清浄乾燥空気を圧縮して循環供給すること
を特徴とし、特に、前記補給用高清浄乾燥空気を膨張タ
ービンで膨張させ、該膨張タービンの発生動力で駆動す
るファンにより前記循環用高清浄乾燥空気を圧縮するこ
とを特徴としている。
【０００９】さらに、本発明の高清浄乾燥空気の循環供
給方法は、前記膨張タービンとファンとが同軸で構成さ
れていること、該膨張タービン及びファンの外気とのシ
ール部分に前記補給用高清浄乾燥空気の一部をシールガ
スとして供給することを特徴としている。また、前記膨
張タービンの回転軸と、前記ファンの回転軸とがギヤ式
変速装置で連結されていることを特徴とし、該膨張ター
ビン及びファンの外気とのシール部分にラビリンス構造
を形成するとともに、該シール部分に前記補給用高清浄
乾燥空気をシールガスとして供給することを特徴として
いる。
給方法は、前記膨張タービンとファンとが同軸で構成さ
れていること、該膨張タービン及びファンの外気とのシ
ール部分に前記補給用高清浄乾燥空気の一部をシールガ
スとして供給することを特徴としている。また、前記膨
張タービンの回転軸と、前記ファンの回転軸とがギヤ式
変速装置で連結されていることを特徴とし、該膨張ター
ビン及びファンの外気とのシール部分にラビリンス構造
を形成するとともに、該シール部分に前記補給用高清浄
乾燥空気をシールガスとして供給することを特徴として
いる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の循環供給装置の第
１形態例を示す系統図である。この循環供給装置１は、
半導体集積回路製造設備，液晶パネル製造設備，太陽電
池パネル製造設備等の高清浄乾燥空気の使用設備２と、
該使用設備２に新たな高清浄乾燥空気を供給するための
高清浄乾燥空気製造装置３との間に設けられている。な
お、使用設備２や高清浄乾燥空気製造装置３は、従来と
同様の構成のものを使用することができるので、これら
の詳細な説明は省略する。
１形態例を示す系統図である。この循環供給装置１は、
半導体集積回路製造設備，液晶パネル製造設備，太陽電
池パネル製造設備等の高清浄乾燥空気の使用設備２と、
該使用設備２に新たな高清浄乾燥空気を供給するための
高清浄乾燥空気製造装置３との間に設けられている。な
お、使用設備２や高清浄乾燥空気製造装置３は、従来と
同様の構成のものを使用することができるので、これら
の詳細な説明は省略する。
【００１１】循環供給装置１には、使用設備２から経路
４に排出される使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送し
て経路５から使用設備２に循環供給するためのファン６
と、高清浄乾燥空気製造装置３で製造されて経路７から
供給される比較的圧力が高い補給用高清浄乾燥空気を使
用設備２での使用圧力に減圧するための膨張タービン８
とが設けられており、膨張タービン８で膨張減圧した高
清浄乾燥空気は、経路９から使用設備２に補給される。
４に排出される使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送し
て経路５から使用設備２に循環供給するためのファン６
と、高清浄乾燥空気製造装置３で製造されて経路７から
供給される比較的圧力が高い補給用高清浄乾燥空気を使
用設備２での使用圧力に減圧するための膨張タービン８
とが設けられており、膨張タービン８で膨張減圧した高
清浄乾燥空気は、経路９から使用設備２に補給される。
【００１２】前記膨張タービン８とファン６とは、軸１
０により直結された一軸式のものであり、前記軸１０の
軸受けには、摩擦抵抗が少なくて動力の回収効果が大き
く、かつ、外気等の汚染源との接触を完全に断つことが
できる構造の気体軸受式又は磁気軸受式が用いられると
ともに、軸受けガスには、前記経路７から供給される高
清浄乾燥空気の一部を経路１１に分岐して用いている。
なお、軸受けガスとして使用され、経路１２に排出され
たガスは、そのまま排気してもよいが、経路９に合流さ
せて使用設備２に供給するようにしてもよい。
０により直結された一軸式のものであり、前記軸１０の
軸受けには、摩擦抵抗が少なくて動力の回収効果が大き
く、かつ、外気等の汚染源との接触を完全に断つことが
できる構造の気体軸受式又は磁気軸受式が用いられると
ともに、軸受けガスには、前記経路７から供給される高
清浄乾燥空気の一部を経路１１に分岐して用いている。
なお、軸受けガスとして使用され、経路１２に排出され
たガスは、そのまま排気してもよいが、経路９に合流さ
せて使用設備２に供給するようにしてもよい。
【００１３】このように、補給用高清浄乾燥空気を膨張
タービン８で膨張減圧して使用設備２に供給するように
形成するとともに、膨張タービン８で発生した動力でフ
ァン６を駆動し、該ファン６によって使用設備２から排
出された循環用高清浄乾燥空気を圧送して使用設備２に
循環供給することにより、ファン駆動用としての新たな
動力を必要とせずに、使用済みの高清浄乾燥空気を使用
設備２に循環供給することができる。
タービン８で膨張減圧して使用設備２に供給するように
形成するとともに、膨張タービン８で発生した動力でフ
ァン６を駆動し、該ファン６によって使用設備２から排
出された循環用高清浄乾燥空気を圧送して使用設備２に
循環供給することにより、ファン駆動用としての新たな
動力を必要とせずに、使用済みの高清浄乾燥空気を使用
設備２に循環供給することができる。
【００１４】また、膨張タービン８及びファン６の軸受
けをを気体軸受式又は磁気軸受式とすることにより、循
環する高清浄空気の汚染を防止しながら効率よく循環供
給することができる。なお、循環供給装置１は、循環用
高清浄乾燥空気の処理量に応じて複数設置することがで
きる。
けをを気体軸受式又は磁気軸受式とすることにより、循
環する高清浄空気の汚染を防止しながら効率よく循環供
給することができる。なお、循環供給装置１は、循環用
高清浄乾燥空気の処理量に応じて複数設置することがで
きる。
【００１５】図２は、本発明の循環供給装置の第２形態
例を示す系統図である。この循環供給装置２０は、同軸
に構成された膨張タービン及びファンを２組設けたもの
であり、第１の膨張タービン２１では、前記同様に、高
清浄乾燥空気製造装置３で製造されて経路７から供給さ
れる補給用高清浄乾燥空気を使用設備２での使用圧力に
減圧している。
例を示す系統図である。この循環供給装置２０は、同軸
に構成された膨張タービン及びファンを２組設けたもの
であり、第１の膨張タービン２１では、前記同様に、高
清浄乾燥空気製造装置３で製造されて経路７から供給さ
れる補給用高清浄乾燥空気を使用設備２での使用圧力に
減圧している。
【００１６】一方、使用設備２から経路４に排出された
使用済みの高清浄乾燥空気は、第１のファン２２に向か
う経路４１と、第２のファン２３に向かう経路４２とに
分岐し、経路４１に分岐した循環用高清浄乾燥空気は、
上記第１の膨張タービン２１で発生した動力により駆動
される第１のファン２２によって使用設備２での使用圧
力より高い圧力に圧縮された後、経路４３から第２の膨
張タービン２４に導入される。また、経路４２に分岐し
た循環用高清浄乾燥空気は、第２の膨張タービン２４に
より駆動される第２のファン２３で所定の圧送圧力に昇
圧される。
使用済みの高清浄乾燥空気は、第１のファン２２に向か
う経路４１と、第２のファン２３に向かう経路４２とに
分岐し、経路４１に分岐した循環用高清浄乾燥空気は、
上記第１の膨張タービン２１で発生した動力により駆動
される第１のファン２２によって使用設備２での使用圧
力より高い圧力に圧縮された後、経路４３から第２の膨
張タービン２４に導入される。また、経路４２に分岐し
た循環用高清浄乾燥空気は、第２の膨張タービン２４に
より駆動される第２のファン２３で所定の圧送圧力に昇
圧される。
【００１７】前記第１の膨張タービン２１で膨張して経
路４４に導出した補給用高清浄乾燥空気と、第１のファ
ン２２で昇圧後に第２の膨張タービン２４で膨張して経
路４５に導出した循環用高清浄乾燥空気と、第２のファ
ン２３で昇圧されて経路４６に導出した循環用高清浄乾
燥空気とは、それぞれ同じ圧力で経路４７に合流して使
用設備２に供給される。
路４４に導出した補給用高清浄乾燥空気と、第１のファ
ン２２で昇圧後に第２の膨張タービン２４で膨張して経
路４５に導出した循環用高清浄乾燥空気と、第２のファ
ン２３で昇圧されて経路４６に導出した循環用高清浄乾
燥空気とは、それぞれ同じ圧力で経路４７に合流して使
用設備２に供給される。
【００１８】例えば、経路７から圧力０．４５ＭＰａで
供給された補給用高清浄乾燥空気は、第１の膨張タービ
ン２１で数１００ｍｍＡｑまで膨張する。また、経路４
１の循環用高清浄乾燥空気は、第１のファン２２で約
０．０７ＭＰａまで昇圧した後、第２の膨張タービン２
４でで数１００ｍｍＡｑまで膨張する。さらに、経路４
２の循環用高清浄乾燥空気は、第２の膨張タービン２４
で数１００ｍｍＡｑまで昇圧する。
供給された補給用高清浄乾燥空気は、第１の膨張タービ
ン２１で数１００ｍｍＡｑまで膨張する。また、経路４
１の循環用高清浄乾燥空気は、第１のファン２２で約
０．０７ＭＰａまで昇圧した後、第２の膨張タービン２
４でで数１００ｍｍＡｑまで膨張する。さらに、経路４
２の循環用高清浄乾燥空気は、第２の膨張タービン２４
で数１００ｍｍＡｑまで昇圧する。
【００１９】また、各膨張タービン及びファンの軸受け
には、前記同様の気体軸受式又は磁気軸受式が用いら
れ、各軸受けには、前記経路７から経路７１，７２に分
岐した補給用高清浄乾燥空気の一部が軸受けガスとして
それぞれ供給され、軸受けガスとして使用した後のガス
は、経路７３，７４から使用設備２に供給される高清浄
乾燥空気に合流している。
には、前記同様の気体軸受式又は磁気軸受式が用いら
れ、各軸受けには、前記経路７から経路７１，７２に分
岐した補給用高清浄乾燥空気の一部が軸受けガスとして
それぞれ供給され、軸受けガスとして使用した後のガス
は、経路７３，７４から使用設備２に供給される高清浄
乾燥空気に合流している。
【００２０】前記第１形態例のように、１軸式の場合
は、タービン側とファン側の羽根の回転数が同一とな
り、ファン側の処理風量に限界があるため、本形態例に
示すように、膨張タービン及びファンを複数組設けるこ
とにより、補給用高清浄乾燥空気が有する圧力エネルギ
ーを効果的に利用することができ、大量の循環用高清浄
乾燥空気、例えば、補給用高清浄乾燥空気に対して２倍
の循環用高清浄乾燥空気を圧送することができる。な
お、補給用高清浄乾燥空気の圧力が高い場合は、複数段
の膨張タービンで順次膨張させ、それぞれの段階でファ
ンを駆動することができる。
は、タービン側とファン側の羽根の回転数が同一とな
り、ファン側の処理風量に限界があるため、本形態例に
示すように、膨張タービン及びファンを複数組設けるこ
とにより、補給用高清浄乾燥空気が有する圧力エネルギ
ーを効果的に利用することができ、大量の循環用高清浄
乾燥空気、例えば、補給用高清浄乾燥空気に対して２倍
の循環用高清浄乾燥空気を圧送することができる。な
お、補給用高清浄乾燥空気の圧力が高い場合は、複数段
の膨張タービンで順次膨張させ、それぞれの段階でファ
ンを駆動することができる。
【００２１】図３は、本発明の循環供給装置の第３形態
例を示す系統図である。この循環供給装置３０は、補給
用高清浄乾燥空気を膨張させる膨張タービン３１の回転
軸３２と、循環用高清浄乾燥空気を圧送するファン３
３，３４の回転軸３５とを、ギヤ式変速装置３６で連結
したものである。すなわち、膨張タービン３１で発生し
た動力をギヤ式変速装置３６を介してファン３３，３４
に伝達することにより、１基の膨張タービン３１に対し
て複数のファン３３，３４を任意の回転数で回転させる
ことができるので、循環用高清浄乾燥空気の量や圧送圧
力に応じて最適な形状，性能のファンを最適な個数設置
することができ、最も効率のよい状態で大量の循環用高
清浄乾燥空気を圧送循環させることができる。
例を示す系統図である。この循環供給装置３０は、補給
用高清浄乾燥空気を膨張させる膨張タービン３１の回転
軸３２と、循環用高清浄乾燥空気を圧送するファン３
３，３４の回転軸３５とを、ギヤ式変速装置３６で連結
したものである。すなわち、膨張タービン３１で発生し
た動力をギヤ式変速装置３６を介してファン３３，３４
に伝達することにより、１基の膨張タービン３１に対し
て複数のファン３３，３４を任意の回転数で回転させる
ことができるので、循環用高清浄乾燥空気の量や圧送圧
力に応じて最適な形状，性能のファンを最適な個数設置
することができ、最も効率のよい状態で大量の循環用高
清浄乾燥空気を圧送循環させることができる。
【００２２】一方、本形態例では、ギヤ式変速装置３６
を使用するため、各膨張タービン３１，ファン３３，３
４における外気とのシール部分にラビリンス構造のシー
ル部３７，３８，３９を設けるとともに、各シール部３
７，３８，３９に、高清浄乾燥空気製造装置３から経路
７を経て供給された前記補給用高清浄乾燥空気の一部を
経路７５，７６，７７に分岐して供給し、これによって
外気との接触を断つようにしている。なお、ラビリンス
構造のシール部については、周知のラビリンス構造を採
用できるので、その詳細な図示や説明は省略する。
を使用するため、各膨張タービン３１，ファン３３，３
４における外気とのシール部分にラビリンス構造のシー
ル部３７，３８，３９を設けるとともに、各シール部３
７，３８，３９に、高清浄乾燥空気製造装置３から経路
７を経て供給された前記補給用高清浄乾燥空気の一部を
経路７５，７６，７７に分岐して供給し、これによって
外気との接触を断つようにしている。なお、ラビリンス
構造のシール部については、周知のラビリンス構造を採
用できるので、その詳細な図示や説明は省略する。
【００２３】例えば、経路７から圧力０．４５ＭＰａで
供給された補給用高清浄乾燥空気は、膨張タービン３１
で数１００ｍｍＡｑまで膨張して経路５１に導出し、使
用設備２から経路４に排出されて経路５２，５３に分岐
した循環用高清浄乾燥空気は、ファン３３，３４でそれ
ぞれ数１００ｍｍＡｑに昇圧して経路５４，５５に導出
するとともに、前記経路５１の補給用高清浄乾燥空気と
合流し、経路５６を経て使用設備２に供給される。
供給された補給用高清浄乾燥空気は、膨張タービン３１
で数１００ｍｍＡｑまで膨張して経路５１に導出し、使
用設備２から経路４に排出されて経路５２，５３に分岐
した循環用高清浄乾燥空気は、ファン３３，３４でそれ
ぞれ数１００ｍｍＡｑに昇圧して経路５４，５５に導出
するとともに、前記経路５１の補給用高清浄乾燥空気と
合流し、経路５６を経て使用設備２に供給される。
【００２４】なお、各形態例では、軸受用の気体として
補給用高清浄乾燥空気の一部を使用することにより、系
内を完全に他の系と分離して汚染の可能性がほとんどな
くなる。さらに、軸受ガスとして使用後の圧力の低下し
た高清浄乾燥空気を補給用高清浄乾燥空気として回収
し、使用設備２に供給することにより、高清浄乾燥空気
製造装置３で製造した高清浄乾燥空気を有効に利用する
ことができる。但し、補給用高清浄乾燥空気の圧力が低
く、軸受ガスとして不適な場合は、他の適当なガスを用
いてもよい。
補給用高清浄乾燥空気の一部を使用することにより、系
内を完全に他の系と分離して汚染の可能性がほとんどな
くなる。さらに、軸受ガスとして使用後の圧力の低下し
た高清浄乾燥空気を補給用高清浄乾燥空気として回収
し、使用設備２に供給することにより、高清浄乾燥空気
製造装置３で製造した高清浄乾燥空気を有効に利用する
ことができる。但し、補給用高清浄乾燥空気の圧力が低
く、軸受ガスとして不適な場合は、他の適当なガスを用
いてもよい。
【００２５】また、第２，第３形態例では、膨張後の補
給用高清浄乾燥空気と、昇圧後の循環用高清浄乾燥空気
とを合流させて使用設備２に供給したが、使用設備２の
状況に応じて別の経路から使用設備内の別の部分に供給
することもできる。
給用高清浄乾燥空気と、昇圧後の循環用高清浄乾燥空気
とを合流させて使用設備２に供給したが、使用設備２の
状況に応じて別の経路から使用設備内の別の部分に供給
することもできる。
【００２６】さらに、循環用高清浄乾燥空気の圧送圧力
は、使用設備２の構成や配管距離等の条件に応じて適宜
に設定することが可能であり、補給用高清浄乾燥空気の
圧力も任意である。
は、使用設備２の構成や配管距離等の条件に応じて適宜
に設定することが可能であり、補給用高清浄乾燥空気の
圧力も任意である。
【００２７】
【実施例】実施例１ 第２形態例に示す循環供給装置２０において、膨張ター
ビン２１に１８００Ｎｍ３／ｈ、０．４５ＭＰａの補給
用高清浄乾燥空気を供給して１６０ｍｍＡｑに膨張さ
せ、循環用高清浄乾燥空気を圧力１２０ｍｍＡｑから１
６０ｍｍＡｑに昇圧したときの経路４７における循環風
量を計測した。
ビン２１に１８００Ｎｍ３／ｈ、０．４５ＭＰａの補給
用高清浄乾燥空気を供給して１６０ｍｍＡｑに膨張さ
せ、循環用高清浄乾燥空気を圧力１２０ｍｍＡｑから１
６０ｍｍＡｑに昇圧したときの経路４７における循環風
量を計測した。
【００２８】その結果、経路４７における循環風量は、
５３００Ｎｍ３／ｈであった。すなわち、補給用高清浄
乾燥空気を除くと、使用設備２から排出される高清浄乾
燥空気の３５００Ｎｍ３／ｈを回収して再利用できたこ
ととなる。また、このときの循環供給装置２０における
入口と出口の水分濃度はいずれも３ｐｐｂであり、循環
供給装置２０での処理によって高清浄乾燥空気が汚染さ
れないことも確認できた。本例によれば、補給用高清浄
空気の約２倍の循環用高清浄乾燥空気が処理可能であ
り、回収利用率は約６６％となる。
５３００Ｎｍ３／ｈであった。すなわち、補給用高清浄
乾燥空気を除くと、使用設備２から排出される高清浄乾
燥空気の３５００Ｎｍ３／ｈを回収して再利用できたこ
ととなる。また、このときの循環供給装置２０における
入口と出口の水分濃度はいずれも３ｐｐｂであり、循環
供給装置２０での処理によって高清浄乾燥空気が汚染さ
れないことも確認できた。本例によれば、補給用高清浄
空気の約２倍の循環用高清浄乾燥空気が処理可能であ
り、回収利用率は約６６％となる。
【００２９】実施例２ 第３形態例に示す循環供給装置３０において、膨張ター
ビン３１に１８００Ｎｍ３／ｈ、０．４５ＭＰａの補給
用高清浄乾燥空気を供給して１６０ｍｍＡｑに膨張さ
せ、循環用高清浄乾燥空気を圧力１２０ｍｍＡｑから１
６０ｍｍＡｑに昇圧したときの経路５６における循環風
量を計測した。
ビン３１に１８００Ｎｍ３／ｈ、０．４５ＭＰａの補給
用高清浄乾燥空気を供給して１６０ｍｍＡｑに膨張さ
せ、循環用高清浄乾燥空気を圧力１２０ｍｍＡｑから１
６０ｍｍＡｑに昇圧したときの経路５６における循環風
量を計測した。
【００３０】その結果、経路５５における循環風量は、
１４８０００Ｎｍ３／ｈであった。すなわち、補給用高
清浄乾燥空気を除くと、使用設備２から排出される高清
浄乾燥空気の１４６２００Ｎｍ３／ｈを回収して再利用
できたこととなる。また、このときの循環供給装置２０
における入口と出口の水分濃度はいずれも３ｐｐｂであ
り、循環供給装置２０での処理によって高清浄乾燥空気
が汚染されないことも確認できた。本例によれば、補給
用高清浄空気の約８０倍の循環用高清浄乾燥空気が処理
可能であり、回収利用率は約９９％となる。
１４８０００Ｎｍ３／ｈであった。すなわち、補給用高
清浄乾燥空気を除くと、使用設備２から排出される高清
浄乾燥空気の１４６２００Ｎｍ３／ｈを回収して再利用
できたこととなる。また、このときの循環供給装置２０
における入口と出口の水分濃度はいずれも３ｐｐｂであ
り、循環供給装置２０での処理によって高清浄乾燥空気
が汚染されないことも確認できた。本例によれば、補給
用高清浄空気の約８０倍の循環用高清浄乾燥空気が処理
可能であり、回収利用率は約９９％となる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体集積回路や液晶パネル等の製造設備から排出され
た高清浄乾燥空気を、新たな動力費を必要とせずに、経
済的かつ効率的に回収して循環供給することができる。
しかも、循環する高清浄乾燥空気が汚染されることがな
いので、繰り返しの使用が可能となり、設備全体のラン
ニングコストの低減が図れる。
半導体集積回路や液晶パネル等の製造設備から排出され
た高清浄乾燥空気を、新たな動力費を必要とせずに、経
済的かつ効率的に回収して循環供給することができる。
しかも、循環する高清浄乾燥空気が汚染されることがな
いので、繰り返しの使用が可能となり、設備全体のラン
ニングコストの低減が図れる。
【図１】 本発明の循環供給装置の第１形態例を示す系
統図である。
統図である。
【図２】 本発明の循環供給装置の第２形態例を示す系
統図である。
統図である。
【図３】 本発明の循環供給装置の第３形態例を示す系
統図である。
統図である。
１…循環供給装置、２…高清浄乾燥空気の使用設備、３
…高清浄乾燥空気製造装置、６…ファン、８…膨張ター
ビン、２０…循環供給装置、２１…第１の膨張タービ
ン、２２…第１のファン、２３…第２のファン、２４…
第２の膨張タービン、３０…循環供給装置、３１…膨張
タービン、３２…回転軸、３３，３４…ファン、３５…
回転軸、３６…ギヤ式変速装置、３７，３８，３９…ラ
ビリンス構造のシール部
…高清浄乾燥空気製造装置、６…ファン、８…膨張ター
ビン、２０…循環供給装置、２１…第１の膨張タービ
ン、２２…第１のファン、２３…第２のファン、２４…
第２の膨張タービン、３０…循環供給装置、３１…膨張
タービン、３２…回転軸、３３，３４…ファン、３５…
回転軸、３６…ギヤ式変速装置、３７，３８，３９…ラ
ビリンス構造のシール部
Claims (14)
- 【請求項１】 高清浄乾燥空気の使用設備から排出され
る使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して前記使用設
備に循環供給する装置であって、循環供給する循環用高
清浄乾燥空気を圧送するファンを、前記高清浄乾燥空気
の使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥空気を膨
張させる膨張タービンと同軸で構成したことを特徴とす
る高清浄乾燥空気の循環供給装置。 - 【請求項２】 前記膨張タービン及びファンの軸受けが
気体軸受式であることを特徴とする請求項１記載の高清
浄乾燥空気の循環供給装置。 - 【請求項３】 前記膨張タービン及びファンの軸受けが
磁気軸受式であることを特徴とする請求項１記載の高清
浄乾燥空気の循環供給装置。 - 【請求項４】 高清浄乾燥空気の使用設備から排出され
る使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して前記使用設
備に循環供給する装置であって、循環供給する循環用高
清浄乾燥空気を圧送するファンの回転軸を、前記高清浄
乾燥空気の使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥
空気を膨張させる膨張タービンの回転軸にギヤ式変速装
置で連結したことを特徴とする高清浄乾燥空気の循環供
給装置。 - 【請求項５】 前記膨張タービン及びファンにおける外
気とのシール部分がラビリンス構造を有していることを
特徴とする請求項４記載の高清浄乾燥空気の循環供給装
置。 - 【請求項６】 前記膨張タービン及びファンが複数組並
列に設置されていることを特徴とする請求項１又は４記
載の高清浄乾燥空気の循環供給装置。 - 【請求項７】 前記複数組の膨張タービン及びファンに
おいて、一つの組のファンで昇圧した循環用高清浄乾燥
空気を他の組の膨張タービンに供給する経路を設けたこ
とを特徴とする請求項６記載の高清浄乾燥空気の循環供
給装置。 - 【請求項８】 前記複数組の膨張タービン及びファンに
おいて、各ファンに循環用高清浄乾燥空気を供給する経
路をそれぞれ設けるとともに、各膨張タービンに補給用
高清浄乾燥空気を供給する経路をそれぞれ設けたことを
特徴とする請求項６記載の高清浄乾燥空気の循環供給装
置。 - 【請求項９】 高清浄乾燥空気の使用設備から排出され
る使用済みの高清浄乾燥空気を再度圧送して前記使用設
備に循環供給する高清浄乾燥空気の循環使用方法であっ
て、前記使用設備に補給する新たな補給用高清浄乾燥空
気の圧力を利用して前記高清浄乾燥空気の使用設備から
排出される循環用高清浄乾燥空気を圧縮して循環供給す
ることを特徴とする高清浄乾燥空気の循環供給方法。 - 【請求項１０】 前記補給用高清浄乾燥空気を膨張ター
ビンで膨張させ、該膨張タービンの発生動力で駆動する
ファンにより前記循環用高清浄乾燥空気を圧縮すること
を特徴とする請求項９の高清浄乾燥空気の循環供給方
法。 - 【請求項１１】 前記膨張タービンとファンとが同軸で
構成されていることを特徴とする請求項１０の高清浄乾
燥空気の循環供給方法。 - 【請求項１２】 前記膨張タービン及びファンの外気と
のシール部分に前記補給用高清浄乾燥空気の一部をシー
ルガスとして供給することを特徴とする請求項１１の高
清浄乾燥空気の循環供給方法。 - 【請求項１３】 前記膨張タービンの回転軸と、前記フ
ァンの回転軸とがギヤ式変速装置で連結されていること
を特徴とする請求項１０の高清浄乾燥空気の循環供給方
法。 - 【請求項１４】 前記膨張タービン及びファンの外気と
のシール部分にラビリンス構造を形成するとともに、該
シール部分に前記補給用高清浄乾燥空気をシールガスと
して供給することを特徴とする請求項１３記載の高清浄
乾燥空気の循環供給方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10192090A JP2000028169A (ja) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | 高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法 |
| KR10-2002-7009696A KR100402429B1 (ko) | 1998-07-07 | 1999-07-06 | 고청정 건조공기의 제조장치 |
| TW088111435A TW423987B (en) | 1998-07-07 | 1999-07-06 | A manufacture method and device of highly pure dry air |
| PCT/JP1999/003629 WO2000001467A1 (fr) | 1998-07-07 | 1999-07-06 | Procede et dispositif permettant de produire de l'air sec tres pur |
| EP99926941A EP1027913A4 (en) | 1998-07-07 | 1999-07-06 | METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING VERY PURE DRY AIR |
| KR10-2000-7002278A KR100367165B1 (ko) | 1998-07-07 | 1999-07-06 | 고청정 건조공기의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10192090A JP2000028169A (ja) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | 高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000028169A true JP2000028169A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16285492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10192090A Pending JP2000028169A (ja) | 1998-07-07 | 1998-07-07 | 高清浄乾燥空気の循環供給装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000028169A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7334428B2 (en) | 2005-09-30 | 2008-02-26 | Sullair Corporation | Cooling system for a rotary screw compressor |
| WO2013021664A1 (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-14 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | 遠心圧縮機 |
| JP2015158208A (ja) * | 2015-06-08 | 2015-09-03 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | 遠心圧縮機 |
| CN105264233A (zh) * | 2014-01-23 | 2016-01-20 | 三菱重工压缩机有限公司 | 离心压缩机 |
| JP2017008776A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | 川崎重工業株式会社 | 膨張タービン装置 |
-
1998
- 1998-07-07 JP JP10192090A patent/JP2000028169A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7334428B2 (en) | 2005-09-30 | 2008-02-26 | Sullair Corporation | Cooling system for a rotary screw compressor |
| WO2013021664A1 (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-14 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | 遠心圧縮機 |
| JP2013036375A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corp | 遠心圧縮機 |
| US20140161588A1 (en) * | 2011-08-05 | 2014-06-12 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Centrifugal compressor |
| US9714658B2 (en) | 2011-08-05 | 2017-07-25 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Centrifugal compressor |
| CN105264233A (zh) * | 2014-01-23 | 2016-01-20 | 三菱重工压缩机有限公司 | 离心压缩机 |
| EP2990654A4 (en) * | 2014-01-23 | 2016-06-08 | Mitsubishi Heavy Ind Compressor Corp | CENTRIFUGAL COMPRESSOR |
| US10145381B2 (en) | 2014-01-23 | 2018-12-04 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Geared centrifugal compressor with pressure adjustment portion to balance axial thrust |
| JP2015158208A (ja) * | 2015-06-08 | 2015-09-03 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | 遠心圧縮機 |
| JP2017008776A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | 川崎重工業株式会社 | 膨張タービン装置 |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050630 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080715 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081209 |