상기 목적을 위해서, 본 발명에 따라서, 광헤드용 개선된 대물렌즈를 제공하는데, 이것은 정(positive)의 굴절 파워를 가진 굴절렌즈, 그리고 굴절렌즈의 적어도 하나의 렌즈면에 형성된 복수의 동심의 링형상의 단차를 가진 회절격자를 포함하고 있다. 회절격자는 파장에 의존하여 구면수차가 입사광의 파장이 증가하면서 보정부족으로 되는 방향으로 변한다.
상기한 바와같이, 정의 굴절렌즈의 구면수차는 온도가 상승하면서 보정과잉방향으로 변한다. 광헤드의 광원으로서 일반적으로 사용되는 반도체 레이저는 온도에 의존하여 온도가 상승하면서 방출되는 레이저의 파장이 증가한다. 온도가 상승할 때, 굴절렌즈는 보정과잉방향으로 구면수차를 변경하고, 그리고 회절격자는 반도체 레이저로부터 방출되는 광의 파장이 증가하기 때문에, 보정부족방향으로 구면수차를 변경한다. 그러므로, 굴절렌즈와 회절격자에 의해 야기된 구면수차의 변경은 서로 균형이 맞게된다.
굴절렌즈는 플라스틱렌즈가 바람직한데 이것은 저렴하고 경량의 대물렌즈이고 몰드의 회절격자의 렌즈로의 전사의 용이성때문이다. 고 NA렌즈는 엄격한 수차보정을 요구하고 양면비구면의 양볼록렌즈는 고 NA렌즈를 만들기 위해 바람직하다.
회절격자에 의해 부가된 부가적인 광로길이는 광로차함수Φ(h):
Φ(h) = (P2h2+ P4h4+ P6h6+ ...) ×λ로 표현되는데,
여기에서, P2,P4그리고 P6는 2차, 4차 그리고 6차의 회절계수이고, h는 광축으로부터의 높이이며, λ는 입사광의 파장이다.
본 발명에 따른 대물렌즈는 다음조건(1)을 만족한다.
(1) -75.0 < P4×(hmax)4/(f ×NA4) < -25.0
여기에서, hmax는 유효직경에서 광축으로부터 최대높이이고, NA는 개구수이며, f는 굴절렌즈와 회절격자의 전체초점거리이다.
더욱이, 굴절렌즈와 회절격자는 입사광의 파장이 증가하면서 백 포커스가 증가하도록 전체 축상색수차를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 경우에, 다음 조건(2)을 만족시키는 것이 바람직하다.
(2) -1 < △CA/△SA < 0
여기에서 △CA는 파장의 변화에 대한 근축 초점의 변화량, 그리고 △SA는 파장 시프트에 따른 마지날 광선(marginal rays)의 구면수차의 변화량을 나타낸다. 특수한 경우에 대물렌즈는 아래의 조건(2')을 만족한다.
(2') -0.7 < △CA/△SA < -0.5.
본 발명에 따른 대물렌즈의 회절격자는 정의 근축 파워를 가지고, 다음 조건(3)을 만족하는 것이 바람직하다.
(3) 40.0 < fD/f < 140.0
여기에서, fD는 회절격자의 초점거리로서 다음의 식으로 정의된다;
fD= 1/(-P2× 2λ).
(실시예의 설명)
도 1a,1b 및 1c는 실시예들에 따른 대물렌즈(10)를 도시하고 있다. 도 1a는 정면도, 도 1b는 측면도, 그리고 도 1c는 확대측면도이다. 대물렌즈(10)는 디지탈 비디오 디스크(DVD)장치 또는 자기광(MO)디스크장치와 같은 광디스크장치의 광헤드에 사용된다. 대물렌즈(10)는 광원으로서 반도체 레이저로부터 광디스크에 방출된 입사광을 수렴한다.
대물렌즈(10)는 제 1 및 제 2표면(11,12)이 비구면인 양면볼록의 플라스틱렌즈렌즈이다. 회절격자는 대물렌즈(10)의 제 1표면(11)에 형성된다. 회절격자는 프레넬 렌즈와 유사하고, 각각이 쐐기 단면형상인 많은 동심원의 링으로 형성되어있다. 인접 링사이의 경계는 단차가 있어서 소정의 광로차가 주어진다.
회절격자는 파장에 의존하여 구면수차는 입사광의 파장이 증가하면서 보정부족방향으로 변한다. 반도체 레이저로부터 레이저빔의 파장은 온도가 상승하면서 증가하고, 그리고 변화율은 약 0.2nm/℃ 정도이다. 예를들면, 온도상승이 40도 일때, 방출된 레이저의 파장은 8nm만큼 증가한다.
한편, 굴절렌즈의 굴절율은 온도에 따라 변하는데, 이것은 구면수차를 변화시킨다. 정의 굴절렌즈의 구면수차는 온도가 증가할때 보정과잉방향으로 변한다.
온도가 증가할때, 굴절렌즈는 보정과잉방향으로 구면수차를 변화시키고, 반도체 레이저로부터 방출된 광의 파장이 증가하기 때문에 회절격자는 보정부족방향으로 구면수차를 변화시킨다. 그러므로, 굴절렌즈와 회절격자에 의해 야기된 구면수차의 변화는 서로 균형을 맞출 수 있다.
회절격자에 의해 부가된 부가적인 광로 길이는 다음의 광로차함수Φ(h):
Φ(h) = (P2h2+ P4h4+ P6h6+ ...) ×λ
로 표시되는데, P2, P4그리고 P6는 각각 2차, 4차 그리고 6차의 계수이고, h는 광축으로부터의 높이이고, 그리고 λ는 입사광의 파장이다. 함수Φ(h)는 광축으로부터의 높이가 h인 회절격자의 한지점에서 회절격자에 의해 회절되지않는다고 가정하는 가상 광선과 회절격자에 의해 회절되는 실제 광선사이의 광로차를 나타낸다. 이러한 표현에서, 2차 계수(P2)의 부의 값은 회절격자의 정의 근축파워를 나타낸다. 더욱이, 4차계수(P4)가 0보다 크게 될때 광축으로부터의 거리가 증가될때 부의 파워가 증가한다.
회절격자의 실제 미세형상은 다수의 동심링을 가진 프레넬렌즈와 같이 형성된다. 실제형상 Φ'(h)은 Φ(h)으로부터 λ×m (m : 정수)을 빼므로서 다음과 같이 형성된다.
Φ'(h)=(MOD(P2h2+ P4h4+…+ C, 1) - C) ×λ
부호(C)는 인접 링사이의 경계에서 위상을 한정하는 상수이다(0≤C≤1). 함수 MOD(x,y)는 x가 y로 나누어질 때 나머지를 나타낸다. MOD(P2h2+P4h4+…+Const, 1)는 경계에서 0이다. 회절격자는 베이스 커브에 형성된다. 링구역의 경사와 단차는 광로차가 Φ'(h)로 정의되도록 설계된다.
대물렌즈(10)는 다음의 조건(1)을 만족한다.
(1) -75.0 < P4×(hmax)4/(f ×NA4) < -25.0
여기에서 hmax는 유효직경에서 광축으로부터 최대높이이고, NA는 개구수이고, 그리고 f는 굴절렌즈와 회절격자의 전체 초점거리이다.
조건(1)이 만족될 때, 굴절율의 변화로 인한 굴절렌즈의 구면수차의 변화는 파장의 변화로 인한 회절격자의 구면수차의 변화에 의해 효과적으로 균형잡히게 될 수 있다. 조건(1)의 중간항이 -75.0이하로 되면, 파장시프트로 인한 구면수차의 변화는 너무 크게 된다. 반도체 레이저의 레이저파장이 개별적인 차이로 인해 약 ±10nm의 공차를 가지므로, 구면수차의 커다란 변화는 레이저파장이 표준파장과 다른 반도체 레이저의 사용을 방해한다. 이것은 반도체 레이저의 선택을 필요로 하여 양품율을 저하시킨다. 회절격자에 의한 구면수차의 보상효과는 그러므로, 작아지는 것이 바람직하다.
한편, 조건(1)의 중간항이 -25.0을 넘을 때, 파장시프트로 인한 구면수차의 변화는 너무 작게 되는데, 이것은 굴절율의 변화로 인한 구면수차의 변화를 균형잡을 수 없게 한다. 더욱이, 조건(1)의 중간항의 가장 적절한 값은 약 0.2nm/℃의 비율의 온도변화로 인해 구면수차가 반도체 레이저의 파장시프트에 따라 변할 때, 약 -55이다.
온도변화로 인한 레이저의 파장시프트는 대물렌즈의 백 포커스를 변화시키는데 이것은 포커스 에러를 야기한다. 구면수차의 변화가 균형잡히므로, 이러한 파장시프트는 파면수차를 열화시키지 않는다. 더욱이, 온도변화로 인한 백 포커스의 변화가 매우 늦으므로, 포커스 에러는 광헤드에서 초점 조절기구에 의해 보정될 수 있다.
한편, 레이저의 파장이 MO장치에서 기록동안에 레이저출력의 변환에 의해 신속하게 변한다. 신속한 파장의 변화는 온도변화를 포함하지 않으며, 회절격자로 인한 구면수차의 변화는 굴절렌즈의 굴절율의 변화에 의해 균형잡히지 않는다. 이러한 관점에서, 회절격자에 의한 구면수차의 보상효과는 짧은 것이 바람직하다. 말하자면, 굴절렌즈의 구면수차는 회절격자에 의해 완전히 보상되지 않는 것이 바람직하다.
신속한 파장시프트는 포커스 에러를 야기하고, 그리고 초점 조절기구에 의해서 완전히 보정될 수 없다. 그러므로, 초점의 운동은 줄어드는 것이 바람직하다.
초점의 운동은 일반적으로 축상색수차를 보정하므로서 감소될 수 있다. 하지만, 본 실시예의 대물렌즈가 구면수차에 따른 파장을 가지고 있으므로, 반대로, 축상색수차의 완전한 보정은 가장 좋은 초점위치의 운동을 증가시킨다. 그러므로, 색수차의 보정은 파장시프트로 인해 구면수차의 변화와 균형이 맞는다.
이를 위해, 본 실시예의 굴절렌즈와 회절격자는 전체 축상색수차를 가지고 있어서 백 포커스는 입사광의 파장이 증가하면서 증가하고, 그리고 다음조건(2)이 만족된다.
(2) -1 < △CA/△SA < 0
여기에서 △CA는 파장시프트에 따른 근축 초점의 변화량이고 그리고 △SA는 파장시프트에 따른 마지날 광선의 구면수차의 변화량이다.
조건(2)가 만족될 때, 파장의 증가는 렌즈로부터 멀리 근축 초점을 움직이고 그리고 마지날 광선에 의해 초점을 렌즈에 더 가깝게 움직인다. 구면수차가 표준파장(λ0)으로 거의 보정되면, 증가된 파장 λ1(>λ)에서 근축 초점은 표준파장(λ0)에서 근축 초점보다 렌즈로 부터 더 멀고, 증가된 파장(λ1)에서 마지날 광선에 의해 초점은 표준파장(λ0)에서 근축 초점보다 렌즈에 더 가깝다. 그러므로, 마지날 광선에 의해 근축 초점으로부터 초점까지의 평균인 가장 양호한 초점위치의 운동은 줄어들 수 있다.
다음조건(2')을 만족시키는 것이 더욱 바람직하다. 상한 -0.5는 회절효과를 증가시키기 위해 회절격자의 링의 수를 최소화하도록 결정되었다. 하한 -0.7은 대물렌즈에서 입사 레이저가 가우스 빔의 집중분포를 가지는 것을 고려하여 결정된다.
(2') -0.7 < △CA/△SA < -0.5.
더욱이, 대물렌즈(10)는 다음조건(3)을 만족하여 신속한 파장 시프트로 인해 가장 양호한 초점위치의 운동을 줄인다.
(3) 40.0 < fD/f < 140.0
여기에서, f는 대물렌즈의 전체 초점거리이고 그리고 fD는 다음식으로 정의되는 회절격자의 초점거리이다.
fD= 1/(-P2×2λ).
조건(3)은 축상색수차를 위한 보상효과를 정의한다. 회절렌즈를 위한 아베 수(Abbe number)에 대응하는 값은 통상 부의 값을 갖는다. 값의 부의 부호는 굴절렌즈와 비교할 때 분산의 대향개념이고 그리고 그 저배율은 커다란 분산을 의미한다. 그러므로, 굴절렌즈와 결합된 작은 정의 파워를 가진 회절격자의 사용은 색수차를 보상한다.
조건(3)이 만족될 때, 신속한 파장 시프트로 인한 가장 양호한 초점위치의 운동은 줄어들 수 있는 한편, 온도변화로 인한 구면수차의 보상효과를 유지한다.
상기 구조에 따른 8개의 실시예를 이하 설명한다. 실시예 1 내지 실시예 4는 0.6mm의 보호층을 가진 광 디스크용 DVD장치의 광헤드에서 사용되는 대물렌즈를 도시하고 그리고 실시예 5 내지 실시예 8은 1.2mm의 보호층을 가진 광 디스크용 MO장치의 광헤드에서 사용되는 대물렌즈를 도시하고 있다. 회절격자는 임의의 실시예에서 제 1표면에 형성되어있다.
실시예 1
도 2는 실시예 1의 대물렌즈(10)와 광 디스크의 보호층(D)을 도시하고있다. 그 수치구성이 표 1에 표시되어있다. 표면 #1 과 #2는 대물렌즈(10)를 나타내고 그리고 표면 #3 과 #4는 보호층(D)을 나타낸다.
표 1에서, NA는 개구수, f(단위:mm)는 전체 초점거리, fD(단위:mm)는 회절격자의 초점거리이고, ω(단위:도)는 반화각(half angle of view), λ(단위:nm)는 파장, hmax(단위:mm)는 유효직경에서 광축으로부터 최대높이, r(단위:mm)은 표면의 곡율반경(비구면의 정점에서의 값), d(단위:mm)는 광축을 따라서 표면사이의 거리를 나타내고, nλ는 파장(λnm)에서 굴절율을 나타내고, υd는 아베 수를 나타낸다. 굴절율은 예를들면 25℃인 표준온도에서 형성된다.
제 1표면(11)(표면 #1)의 기본곡선은 비구면이다. 기본곡선은 회절격자를 포함하지않은 굴절렌즈의 형상으로 형성된다. 제 2표면(12)(표면 #2)은 역시 비구면이다. 비구면은 다음 식으로 표시된다.
X(h)는 SAG, 즉 광축으로부터의 높이가 h인 표면의 한지점에서 접선평면으로부터의 곡선의 거리이다. C는 표면의 정점의 곡율(1/r)이고, K는 원추계수(conic constant)이고, A4, A6, A8, A10그리고 A12는 4차, 6차, 8차, 10차, 12차의 비구면계수이다. 대물렌즈(10)의 제 1 및 제 2표면의 상수(K)와 계수(A4내지 A12)는 다음 표 2에 도시되어있다.
더욱이, 표 2는 회절격자를 형성하는 광로차함수Ф(h)의 2차, 4차, 6차, 8차, 그리고 10차(P2, P4, P6, P8, P10)의 계수이다.
NA 0.6 f=3.00mm fD=155.49mm ω=1.1° λ=650nm hmax=1.80mm |
표면 |
Number r d n650 νd |
#1 1.954 2.287 1.54082 55.6 |
#2 -6.293 1.372 |
#3 ∞ 0.600 1.58030 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.4430 0.0000 |
A4-0.3390×10-20.2690×10-1 |
A60.4400×10-4-0.9344×10-2 |
A8-0.1320×10-30.1405×10-2 |
A100.2120×10-4-0.5700×10-4 |
A12-0.1321×10-40.0000 |
P2-4.9473 |
P4-2.1749 |
P61.5476×10-1 |
P84.2348×10-2 |
P10-1.4462×10-2 |
도 3a 내지 도 3c는 표준 굴절율에서 실시예 1에 따른 대물렌즈의 3차 회절을 도시하고 있다.
도 3a는 파장 650nm에서 구면수차(SA)와 정현조건(SC)을 도시하고 있다.
도 3b는 파장 650nm, 642nm 그리고 658nm에서 구면수차에 의해 나타나는 색수차를 도시하고 있다.
도 3c는 비점수차(S:서지탈(Sagittal), M:메리디오날(Meridional))이다.
도 3a 및 도 3b에서 수직축은 개구수(NA)를 나타내고, 그리고 도 3c에서 수직축은 상높이(Y)를 나타낸다. 수평축의 단위는 도 3a 내지 도 3c에서 각각 "mm"이다. 도 4a, 도 4b 그리고 도 4c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 낮게 될 때, 도 3a, 도 3b 그리고 도 3c와 유사한 그래프이다. 온도가 40도 상승할 때, 굴절율은 0.004만큼 변한다.
도 3a 와 도 4a에서 플로팅된 곡선사이의 차이는 구면수차가 굴절율의 감소로 보정과잉방향으로 변한다는 것을 나타낸다(온도상승에 따라). 도 3b의 650nm 그리고 658nm에서 구면수차의 곡선의 차이는 회절격자가 파장이 8nm만큼 증가하면서 보정부족방향으로 구면수차를 변경시키는 것을 도시하고 있다. 40도의 온도상승은 반도체 레이저로부터 방출된 레이저 빔의 파장을 8nm만큼 증가시킨다. 따라서, 도 4b의 658nm에서 구면수차의 곡선은 표준온도와 비교하여 온도가 40도 상승할 때, 대물렌즈의 구면수차를 나타낸다.
그러므로, 온도가 상승할 때, 굴절율의 변화로 인해 보정과잉방향으로 구면수차의 변경은 파면수차의 증가를 억제하는 파장의 변경으로 인한 보정부족방향으로의 구면수차의 변경과 균형을 맞출 수 있다. 온도의 상승이 대물렌즈의 굴절율을 감소시키므로, 대물렌즈의 가장 양호한 초점위치가 움직여서 백 포커스가 증가한다. 가장 양호한 초점위치는 광헤드의 초점조절기구에 의해서 보상될 수 있다.
근축 초점이 움직여서 백 포커스는 입사광의 파장이 증가하면서 증가한다. +8nm만큼의 파장시프트로 근축 초점의 변화량(△CA)은 650nm 과 658nm의 곡선의 하부끝사이의 폭으로 나타난다. +8nm만큼의 파장시프트로 마지날 광선의 구면수차의 변화량(△SA)은 658nm의 곡선의 상부끝과 650nm의 곡선으로부터 평행하게 이전된 곡선의 상부끝사이의 폭으로 나타나서 그 하부끝은 658nm의 곡선의 하부끝으로 움직인다. 이들값의 비율이 조건(2)를 만족할 때, 도 3b에서 658nm 과 642nm의 곡선은 수직축을 교차하고, 이것은 신속한 파장 시프트로 인해 가장 양호한 초점위치의 변화가 비교적 작게 된다는 것을 의미한다.
실시예 2
도 5는 제 2실시예에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 2의 수치구성은 표 3에 도시되어있다. 표 4는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 6a 내지 도 6c는 표준 굴절율에서 실시예 2에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 7a 내지 도 7c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.6 f=3.00mm fD=176.75mm ω=1.1° λ=650nm hmax=1.80mm |
표면 |
Number r d n650 νd |
#1 1.950 2.283 1.54082 55.6 |
#2 -6.239 1.372 |
#3 ∞ 0.600 1.58030 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.4440 0.0000 |
A4-0.3600×10-20.2696×10-1 |
A60.4300×10-4-0.9482×10-2 |
A8-0.1350×10-30.1446×10-2 |
A100.2045×10-4-0.6138×10-4 |
A12-0.1330×10-40.0000 |
P2-4.3520 |
P4-2.3161 |
P61.7724×10-1 |
P83.9988×10-2 |
P10-1.4133×10-2 |
실시예 3
도 8는 실시예 3에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 3의 수치구성은 표 5에 도시되어있다. 표 6는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와, 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 9a 내지 도 9c는 표준 굴절율에서 실시예 3에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 10a 내지 도 10c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.6 f=3.00mm fD=∞ ω=1.1° λ=635nm hmax=1.80mm |
표면 |
Number r d n635 νd |
#1 1.939 2.404 1.54142 55.6 |
#2 -5.649 1.372 |
#3 ∞ 0.600 1.58139 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.4400 0.0000 |
A4-0.2690×10-20.3000×10-1 |
A6-0.6470×10-3-0.1053×10-1 |
A8-0.8470×10-40.1587×10-2 |
A100.1870×10-4-0.6427×10-4 |
A12-0.1303×10-40.0000 |
P20.0000 |
P4-1.1941 |
P6-3.9226×10-1 |
P88.6513×10-2 |
P10-1.1890×10-2 |
실시예 3의 대물렌즈는 축상색수차에서 보상되지않으며, 그러므로 리드 온리 픽업(read-only pick-up)용으로 적합하다. 근축(paraxial)파워를 형성하는 2차 회절계수(P2)는 제 3실시예에서 0이다. 이것은 축상색수차에서 보상이 없다는 것을 의미한다. 리드 온리 픽업이 레이저의 신속한 파장의 변화가 없으므로, 축상색수차의 보상은 필요치 않다. 축상색수차가 보상이 없을 때, 회절격자의 링의 수는 감소되어, 불필요한 회절광을 감소시켜 회절효과를 증가시킨다.
실시예 4
도 11는 실시예 4에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 4의 수치구성은 표 7에 도시되어있다. 표 8는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와, 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 12a 내지 도 12c는 표준 굴절율에서 실시예 4에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 13a 내지 도 13c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.6 f=3.00mm fD=176.84mm ω=1.1° λ=635nm hmax=1.80mm |
표면 |
Number r d n635 νd |
#1 1.951 2.280 1.54142 55.6 |
#2 -6.271 1.372 |
#3 ∞ 0.600 1.58139 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.4450 0.0000 |
A4-0.3600×10-20.2682×10-1 |
A60.4750×10-4-0.9450×10-2 |
A8-0.1338×10-30.1453×10-2 |
A100.2035×10-4-0.6590×10-4 |
A12-0.1330×10-40.0000 |
P2-4.4525 |
P4-2.3918 |
P61.8316×10-1 |
P84.1327×10-2 |
P10-1.4564×10-2 |
실시예 5
도 14는 실시예 5에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 5의 수치구성은 표 9에 도시되어있다. 표 10는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와, 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 15a 내지 도 15c는 표준 굴절율에서 실시예 5에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 16a 내지 도 16c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.55 f=3.00mm fD=303.52mm ω=1.1° λ=680nm hmax=1.65mm |
표면 |
Number r d n680 νd |
#1 1.976 1.909 1.53972 55.6 |
#2 -6.234 1.211 |
#3 ∞ 1.200 1.57834 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.4440 0.0000 |
A4-0.3680×10-20.2153×10-1 |
A6-0.4200×10-5-0.7695×10-2 |
A8-0.1450×10-30.1369×10-2 |
A10-0.1120×10-4-0.1035×10-3 |
A12-0.8440×10-50.0000 |
P2-2.4225 |
P4-2.5346 |
P62.7193×10-1 |
P84.6383×10-3 |
P10-8.6672×10-3 |
실시예 6
도 17는 실시예 6에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 6의 수치구성은 표 11에 도시되어있다. 표 12는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와, 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 18a 내지 도 18c는 표준 굴절율에서 실시예 6에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 19a 내지 도 19c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.55 f=3.00mm fD=303.53mm ω=1.1° λ=680nm hmax=1.65mm |
표면 |
Number r d n680 νd |
#1 1.976 1.909 1.53972 55.6 |
#2 -6.234 1.211 |
#3 ∞ 1.200 1.57834 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표 #2 |
K -0.4440 0.0000 |
A4-0.2980×10-20.2153×10-1 |
A6-0.5490×10-3-0.7695×10-2 |
A8-0.3260×10-40.1369×10-2 |
A10-0.5550×10-4-0.1035×10-3 |
A12-0.4220×10-50.0000 |
P2-2.4225 |
P4-2.0000 |
P6-1.2000×10-1 |
P84.5000×10-2 |
P10-1.8000×10-2 |
실시예 7
도 20는 실시예 7에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 7의 수치구성은 표 13에 도시되어있다. 표 14는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와, 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 21a 내지 도 21c는 표준 굴절율에서 실시예 7에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 22a 내지 도 22c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.55 f=3.00mm fD=272.33mm ω=1.1° λ=680nm hmax=1.65mm |
표면 |
Number r d n680 νd |
#1 1.976 1.909 1.53972 55.6 |
#2 -6.234 1.211 |
#3 ∞ 1.200 1.57834 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.4440 0.0000 |
A4-0.2470×10-20.2153×0-1 |
A6-0.4880×10-3-0.7695×0-2 |
A8-0.5420×10-40.1369×0-2 |
A10-0.4440×10-4-0.1035×10-3 |
A12-0.5100×10-50.0000 |
P2-2.7000 |
P4-1.6000 |
P6-1.0000×10-1 |
P83.6000×10-2 |
P10-1.4000×10-2 |
실시예 8
도 23는 실시예 8에 따른 대물렌즈를 도시하고 있다. 실시예 8의 수치구성은 표 15에 도시되어있다. 표 16는 제 1 및 제 2표면의 원추계수와, 비구면계수, 그리고 제 1표면에 형성된 회절격자의 회절계수를 도시하고 있다.
도 24a 내지 도 24c는 표준 굴절율에서 실시예 8에 따른 대물렌즈의 여러가지 수차를 도시하고 그리고 도 25a 내지 도 25c는 굴절율이 표준값보다 0.004만큼 더 작게 될 때, 여러가지 수차를 도시하고 있다.
NA 0.55 f=3.00mm fD=200.00mm ω=1.1° λ=680nm hmax=1.65mm |
표면 |
Number r d n680 νd |
#1 1.971 1.830 1.53972 55.6 |
#2 -6.621 1.245 |
#3 ∞ 1.200 1.57834 29.9 |
#4 ∞ |
표면 #1 표면 #2 |
K -0.3400 0.0000 |
A4-0.4480×10-20.1820×10-1 |
A6-0.4100×10-3-0.4057×10-2 |
A8-0.1110×10-30.1319×10-3 |
A100.3100×10-50.3965×10-4 |
A12-0.1680×10-40.0000 |
P2-3.6765 |
P4-1.6567 |
P61.8186×10-2 |
P83.3507×10-2 |
P10-1.1474×10-2 |
다음 표 17은 조건 (1),(2) 그리고 (3)에 대한 실시예 1 내지 8의 값을 도시하고있다. 모든 실시예가 조건(1)을 만족하므로, 온도변화로 인한 파면수차의 열화는 감소될 수 있다. 조건(2)는 모든 실시예에서 만족되는데, 이것은 신속한 파장 시프트로 인한 가장 양호한 초점위치의 변화를 감소시킨다. 실시예 3을 제외한 실시예들이 조건(3)을 만족하므로, 파장 시프트로 인한 구면수차와 축상색수차의 변화는 잘 균형맞을 수 있고, 이들 실시예의 대물렌즈는 가장 양호한 초점위치의 변화를 더 줄일 수 있다.
조건 (1) 조건 (2) 조건 (3) |
P4×(hmax)4/(f×NA4) △CA/△SA fD/f |
실시예 1 -58.72 -0.5 51.83 |
실시예 2 -62.53 -0.5 58.92 |
실시예 3 -32.24 -0.8 - |
실시예 4 -64.58 -0.6 58.95 |
실시예 5 -68.43 -0.7 101.17 |
실시예 6 -54.00 -0.4 101.18 |
실시예 7 -43.20 -0.5 90.78 |
실시예 8 -44.73 -0.6 66.67 |
도 26은 실시예 5의 대물렌즈의 여러가지 파장에서 파면수차와 온도사이의 관계를 도시하는 그래프이다. 실시예 5의 표준파장은 680nm이다. 하지만, 5개의 파장(670nm,675nm,680nm,685nm,690nm)의 파면수차는 도 26에 도시되어있는데 반도체 레이저의 개별적인 차이를 허용한다. 미세한 점선은 파장시프트로 인한 구면수차의 변화를 감소시키기위해 그리고 축상색수차를 보상하기위해 회절격자를 가진 비교예 대물렌즈의 파면수차를 도시하고 있다. 즉, 비교 대물렌즈의 회절격자는 구면수차에서 파장에 의존하지 않는다.
25℃±60도의 범위내에서, 비교 대물렌즈의 파면수차는 0.035λ를 초과하고, 실시예 5의 것은 0.020λ이하이다. 그러므로, 실시예들의 대물렌즈는 엄격한 공차수준이 필요한 MO장치 또는 DVD장치에 충분한 성능을 가지고 있다.