KR100347274B1 - 진공펌핑장치와그냉각방법 - Google Patents

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Abstract

펠티어소자계 디바이스를 갖는 진공펌핑장치는, 베어링/구동모터를 냉각시키고 반응생성물이 퇴적시키기 쉬운 섹션들을 가열하는 이중 역할을 제공한다. 베어링섹션 및 모터섹션을 구비한 하우징은 펠티어소자계 디바이스를 구비하여, 베어링섹션 및 모터섹션에서 발생된 폐열을 흡수하고, 이 폐열을 장치의 다른 섹션으로 전달하여 방출시킨다. 이 방출열은 반응생성물이 승화 및 퇴적되기 쉬운 장치의 섹션을 가열하는데 이용되어 진공처리를 용이하게 한다.

Description

진공펌핑장치와 그 냉각방법
본 발명은 터보분자펌프와 같은 진공펌프에 관한 것으로, 특히 진공펌프의 베어링섹션 및 모터섹션을 냉각하는 냉각수를 필요로 하지 않고, 반응생성물의 축적(accumulation)을 효과적으로 방지 또는 감소시키는 진공필정장치에 관한 것이다.
제 7도는 종래의 진공펌프의 예로서 터보분자펌프의 단면도를 나타낸다. 이 터보분자펌프는 축류펌프이고, 고정베인(4A)에 의해 둘러싸여 고속으로 회전하는 가동베인(4)의 멀티스테이지(multi-stage)조립체를 포함하여 이루어진다. 입구개구(1)를 통해 펌프로 유입되는 가스분자는 가동베인 및 고정베인의 표면과 충돌하고 반사되어, 배기분자의 방향성 스트림(stream)을 생성시킨다. 이러한 형태의 펌프는 초고진공을 생성시킬 수 있지만, 분당 수만회전의 고속으로 임펠러(회전체; 3)를 회전시킬 필요가 있고, 이 때문에, 지지베어링은 정비 및 가스발생의 방지를 용이하게 하기 위해서 무윤활(non-lubricated) 자기베어링으로 만들어져야 한다.
더 구체적으로는 제 7도에 나타낸 바와 같이, 임펠러(3)가 고정적으로 부착된 메인샤프트(main shaft; 2)는 상부의 레이디얼 베어링 (9) 및 하부의 레이디얼 베어링(11)에 의해 방사상으로 지지되고, 상부의 축베어링(12) 및 하부의 축베어링(13)에 의해 축방향으로 지지된다. 이 베어링 구성요소들은 개별요크(yoke)상에 권선된 코일(9A, 11A, 12A, 13A)을 포함하고, 전류가 가해지면, 메인샤프트(2)의 대향 자극(나타내지 않음)과 자기적으로 상호 작용한다. 메인샤프트(2)를 고속으로 회전시키도록 구동시키는 구동축(10)은 요크상에 권선된 코일(10A)을 갖는 유도모터 또는 동기모터를 포함하여 이루어진다. 구동모터(10)에는 회전공간자계를 발생시켜 메인샤프트(2)의 자극을 회전시키는 전원(나타내지 않음)으로부터 상대적으로 높은 주파수의 교류가 공급된다. 고정 구성요소는 자기요크와, 이 자기요크상에 권선된 코일들로 만들어진 베어링 구성요소섹션과; 구동모터섹션을 포함하여 이루어지고, 코일(10A)등은 에폭시수지와 같은 수지(6)로 코팅되어 코일을 보호하고 가스방출을 방지한다. 커넥터(connector; 14)는 자기베어링(9, 11, 12, 13) 및 모터섹션(10)에 전력을 공급하도륵 제공된다.
상기한 터보분자펌프는, 고속으로 메인샤프트를 구동시키고 자기베어링을 작동시키는데 상당히 많은 양의 동력을 소모한다 이 때문에, 펌프에 할당되는 가스와 작동온도에 따라, 코일이 과열될 수 있고, 냉각설비가 설치되지 않은 경우에는, 모터섹션 및 자기베어링상의 에폭시 코팅(6)이 사용상 열화되어, 결과적으로 코일의 전기절연의 파괴로 이어진다. 냉각설비는, 제 7도에 나타낸 바와 같이, 모터섹션 및 자기베어링 주위로 냉각수를 순환시키는 냉각파이프(15)와 하우징(7)에 의해 제공된다. 그러나, 냉각수의 보호 및 그 유량제어의 필요성으로 인해 냉각설비를 작동시키기 어렵다는 문제점이 있고, 이 냉각문제는 파이프의 마모, 냉각수의 유출 및 파이프의 폐색(閉塞)과 같은 작동상의 문제점들에 의해 더 악화될 수 있다. 이때문에, 종래의 펌핑장치는 효용성 및 신뢰성의 관점에서 불만족스럽다.
종래 펌프의 다른 작동상의 문제는, 때때로 펌프로부터의 배출가스가 반응생성물을 함유하기 때문에, 배기가스가 입구개구(1)로부터 유출개구(16)로 보내질때, 일부 반응생성물이 승화되어 고정자측표면(A, B)상에 퇴적될 수 있다는 것이다. 퇴적과정이 진행됨에 따라, 임펠러(3)상에 축적된 퇴적물은 가스통로를 협소하게 또는 폐쇄시키거나, 입구개구(1)를 향하는 반응생성물의 역류와 같은 작동상의 문제점을 초래한다.
제 8도는 이러한 반응생성물의 전형적인 예로서, AlCl3의 승화작용을 나타내는 도이다. x축은 섭씨온도를 나타내고, y축은 torr의 기체압력을 나타낸다. 승화선 상측의 AlCl3은 고체상태이고, 승화선 하측의 AlCl3은 기체상태이다.
터보분자펌프의 입구개구(1)로 유입되는 AlCl3를 함유한 진공배기가스는 임펠러(3)의 터보블레이드(4)와 스크류요홈부(screw groove; 5) 사이에서 압축되어 유출개구(16)로부터 배기된다. 이 배기가스는 유출개구(16)에 접근함에 따라 그 내부압력이 증가하고, 터보분자펌프의 작동상태에 따라 0.01 내지 3 torr 사이의 압력에 종종 도달한다. 이 경우에, 제 8도에 나타낸 바와 같이, 실온근처의 온도에서, 기체상태의 반응생성물이 고체상태로 승화된다. 실제로, 퇴적은 스페이서(spacer, 8)의 내부표면(A)과, 하우징 (7')의 바닥면(B) 및 가스통로(C)의 부근에서 일어난다. 이러한 퇴적의 발생을 방지하기 위해서는, 퇴적영역들의 온도를 증가시킴으로써, 반응생성물의 기체압력을 증가시킬 필요가 있지만, 종래의 펌프에 있어서 이 영역들은 자기베어링섹션과 모터섹션의 냉각을 위해 설치된 냉각파이프(15)에 의해 실제로는 냉각된다.
반응생성물의 퇴적을 방지하기 위한 시도로서, 제 9도에 나타낸 바와 같이,하우징(7')상에 외부히터(24)를 배치하는 것이 고려된다. 이 경우에, 냉각파이프(15)를 통해 흐르는 냉각수의 영향으로 인해, 반응생성물의 승화를 초래하는데 필요한 온도로 반응생성물을 가열하는데는 상당량의 전력소비를 필요로 한다. 또, 히터(24)는 자기베어링섹션과 모터섹션내의 온도를 상승시킴으로써, 이 시도는 에너지절감과 신뢰성의 관점에서 효과적이지 않다.
본 발명의 목적은 베어링섹션 및 모터섹션을 행각하는 냉각수란과 반응생성물이 축적되기 쉬운 배출개구 부근의 영역을 가열하는 가열수단의 이중작용을 수행하는 디바이스를 갖는 진공펌핑장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 장치내의 열전달을 조절하는 펠티어소자수단을 포함하여 이루어지는 진공펌핑장치로서, 베어링섹션과 모터섹션을 구비한 하우징이 베어링섹션 및 모터섹션내에 발생된 폐열을 장치의 외부섹션들로 향하게 하는 펠티어소자수단으로 구성되어, 이 펠티어소자수단에 의해 발생된 열전달효과가 베어링섹션 및 모터섹션을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치에 의해 달성된다.
이 장치의 일 실시형태는, 폐열이 펌핑장치의 폐열흡수섹션으로 전달되고, 처리가스페이즈(process gas phase)가 펌핑장치와 내부적으로 접촉되는 것이다.
이 장치의 다른 실시형태는, 펌핑장치에 폐열흡수섹션내의 온도를 감시하고 특정 온도로 유지하는 온도센서가 더욱 제공된다.
이 장치의 또 다른 실시형태는, 펠티어소자수단이 폐열을 높은 배출압력의 유출개구 부근으로 전달하는 것이다.
본 발명은 진공펌핑장치에 있어서, 내부 하우징의 외주상에 배치된 고정 임펠러가 제공된 내부 회전자를 비접촉적으로 지지 및 구동시키는 자기베어링섹션 및 모터섹션을 구비한 내부 하우징; 이 내부하우징을 둘러싸는 외부하우징; 및 이 외부하우징과 임펠러 사이에 형성된 배기가스통로를 포함하여 이루어지며, 장치내의 열전달을 조절하는 펠티어소자수단을 포함하는 단열부재가 내부하우징과 외부하우징 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치로 구체화된다.
상기한 실시형태의 일 형태는, 단열부재가 축선방향으로 세분(絲分)되고 각 세분된 영역들이 하나 이상의 펠티어소자수단을 구비하며, 각 세분된 영역내의 온도가 독립적으로 조절되는 것이다.
이 실시형태의 다른 형태는, 단열부재가 방사상으로 세분되고 각 세분된 영역이 하나 이상의 펠티어소자수단을 구비하며, 각 세분된 영역내의 온도가 독립적으로 조절되는 것이다.
또한, 본 발명은 자기베어링에 의해 지지되고 모터에 의해 구동되는 임펠러 축을 갖는 진공펌핑장치내의 열전달과정을 조절하는 방법으로서, 열공급원과 열흡수원 사이에 펠티어소자수단을 설치하는 단계와, 이 펠티어소자수단을 사용하여 자기베어링 및 모터내에 발생된 폐열을 이 장치의 선택된 위치로 향하게 하는 단계를 포함하여 이루어지는 방법을 제공한다.
이 방법의 일 실시형태는, 배기가스통로내에 배치된 유출개구 부근의 위치에 폐열이 전달되는 것이다.
상기한 본 발명의 각종 실시형태로부터 얻어지는 작동상의 이점은 다음과 같이 요약될 수 있다.
본 장치는 펠티어소자디바이스를 이용하여 열전달과정을 감독할 수 있다.
이것은 모터와 베어링섹션을 하우징하는 내부하우징상에 펠티어소자디바이스를 설치하고 이 펠티어소자디바이스의 열펌프같은 효과를 이용하여 베어링섹션 및 모터섹션내에 발생된 폐열을 상기 장치의 다른 섹션으로 향하게 함으로써 검증된다. 즉, 폐열의 이동은 베어링섹션 및 모터섹션을 냉각시키는 한편 이 전달된 열은 반응생성물이 축적되기 쉬운 장치의 다른 섹션을 가열하는데 활용된다. 상기 섹션에 열을 가함으로써, 반응생성물의 기체압력이 증가되어 반응생성물을 기체상태로 유지시키도록 함으로써, 가스통로내에 반응생성물의 축적을 방지한다. 본 장치에 따르면, 냉각수와 관련 배관회로를 사용할 필요없이 냉각이 제공될 수 있고, 히터와 다른 관련설비를 사용할 필요없이 가열이 제공될 수 있다.
상기 장치의 가열섹션내에 온도센서를 설치함으로써, 반응생성물의 측적을 방지하기 위해 가열이 요구되는 섹션의 온도를 최적화시킬 수 있다.
내부하우징과 외부하우징 사이에 펠티어소자디바이스를 포함하여 이루어지는 절연부재를 배치함으로써, 내부하우징으로부터 외부하우징으로의 폐열의 효과적인 열전달을 허용한다. 반경방향 또는 축선방향으로 이격된 서브영역으로 절연부재를 세분함으로써, 열전달과정은 진공펌정장치의 각종 섹션의 열적요구에 따라 조절될 수 있다.
제 1도 내지 제 6도를 참조하여 바람직한 실시형태를 설명한다. 각 도면들에서, 공통적 또는 통일한 부분은 동일한 참조번호로 지시된다.
진공펌핑장치의 기본구조는 제 7도에 나타낸 터보분자 진공펌프와 동일하다.
진공펌핑장치는 내부 하우징 (7)의 외주상에 배치된 고정 임펠러 (회전체; 3)를 구비하는 내부 회전자(메인샤프트; 2)를 비접촉적으로 지지 및 구동시키는 자기 베어링 섹션(9, 11, 12, 13) 및 모터섹션(10)을 구비한 내부 하우징; 임펠러(3)를 하우징 하는 외부하우징(17); 및 회전체(3)과 외부하우징(17) 및 스페이서(8) 사이의 공간에 형성된 가스통로(29)를 포함하여 이루어진다.
모터섹션(10), [고정 회전체(3)를 구비하는1 내부 회전자(2)를 방사상으로 지지하는 레이디얼 자기베어링(9,11), 및 내부회전자(2)를 축방향으로 지지하는 축방향 자기베어링(12, 13)이 내부하우징(7)의 내측 표면에 부착된다. 이 자기베어링섹션 및 모터섹션은 임펠러(3)를 고속으로 회전시키는 구동력을 제공할 뿐만 아니라 고정자에 대해 임펠러(3)를 비접촉적으로 지지한다. 진공펌프장치의 이동구성요소는 상당량의 전력을 소비하고 열에너지원으로서 작용한다.
펠티어소자(20)는 내부하우징(7) 및 외부하우징(11)에 의해 형성된 단열부재(19)내에 배치된다. 열발전기를 수용하는 내부하우징(7)은 펠티어소자(20)를 포함하는 단열부재(19)를 통해 둘레의 외부하우징(17)에 결합되는 한편, 펠티어소자(20)의 부근에서, 내부하우징(7)은 외부하우징(17)으로부터 열적으로 절연된다. 내부하우징(7) 및 외부하우징(17) 자체는 알루미늄합금과 같은 우수한 열도전율의 금속재료로 만들어진다. 단열부재(19)는 내부하우징과 외부하우징(7, 17)을 구성하는 재료보다 열등한 열도전율의 재료, 예를 들어 스테인레스강으로 만들어진다. 대안적으로, 진공의 중공부재가 펠티어소자와 같이 절연부재로서 역할을 할 수도 있다.
절연부재(19)의 측면의 커넥터(14)상에는 리드개구(lead opening; 26)가 설치되어 모터섹션과 베어링섹션들의 리드선을 인출하는데 이용된다. 전력은 커넥터(14)를 통해 펠티어소자(20), 모터코일(10A), 베어링코일(9A, 11A, 12A, 13A)에 공급된다.
펠티어소자디바이스는, 제 2도에 나타낸 바와 같이, 개재된 금속부재와 함께 결합된 두가지 다른 종류의 전도체 또는 반도체를 가로질러 직류가 가해지면 열펌프로서 기능을 한다. 더 구체적으로는, 전류(I)가 직류원(E)으로부터 제 2도에 나타낸 화살표방향으로 가해지면, 열전달은 금속판(22)으로부터 금속판(21, 23)으로 행해진다. 즉, 열은 금속판(22)에서 흡수되고, 열흐름이 금속판(21, 23)을 통해 일어난다. 전류흐름방향이 반전되면, 열전달은 반대방향으로 일어난다.
제 1도에 나타낸 펠티어소자(20)는 전원 및 제어회로에 작동적으로 연결되어 요소(20)로 공급되는 전류가 조절될 수 있다. 펠티어소자(20)는, 그 열흡수표면(20A)이 내부하우징(7)의 외부표면과 직접적으로 접촉하고, 그 열방출표면(20B)이 외부하우징(17)의 내부표면과 직접적으로 접촉하도록 배치된다. 소정의 방향으로 펠티어소자(20)내에 전류가 공급함으로써, 내부하우징(1)으로부터의 폐열이 펠티어소자(20)에 의해 흡수되고, 펠티어소자(20)의 열방출표면(20B)을 통해 외부하우징(17)으로 전달된다. 요컨대, 자기베어링섹션(9, 11, 12, 13)과 모터섹션(10)내에 발생된 열은 내부하우징(7)으로 유도되고, 펠티어소자(20)의 열펌프같은 작용에 의해 내부하우징(7)으로부터 외부하우징 (11)으로 교대로 유도된다.
따라서, 내부하우징(7)에서, 베어링섹션(9, 11, 12, 13) 및 모터섹션(10)이 열흡수작용에 의해 냉각되는 한편, 외부하우징(17)에서는 폐열이 내부하우징(7)으로부터 유도되어 외부하우징(17)과 직접적으로 접촉하는 유출개구(16)와 스페이서 (8)에 열을 제공한다. 외부하우징 (17)이 가열되면, 반응생성물이 퇴적되기 쉬운 영역(A, B, C)의 온도가 증가하고, 반응생성물의 포화증기압력이 상승된다. 이 때문에, 영역(A, B, C) 및 유출개구(16) 부근의 배기가스압력이 증가하는 경우에도, 반응생성물의 승화와 퇴적의 문제는 방지 또는 감소될 수 있다.
또한, 이 실시형태에 있어서, 외부하우징 (17)에 반응생성물이 퇴적되기 쉬운 영역(A, B, C)내의 온도를 감시할 수 있는 온도센서(25)가 설치된다. 이 온도센서(25)는 열전대(熱電對) 또는 서미스터(thermistor)일 수 있고, 제어기(도시되지 않음)에 작동적으로 연결된다. 이것은 온도센서(25)에 의해 검출된 온도에 따라 펠티어소자(20)로 가해지는 전류의 조절을 가능하게 하여, 반응생성물이 퇴적되기 쉬운 영역(A, B, C)내의 온도를 최적으로 조절할 수 있다. 외부하우징(17)과 내부하우징 (7) 사이의 공간은 단열부재(19)에 의해 열적으로 절연되기 때문에, 열 흐름의 반전이 거의 문제되지 않는다.
상기한 실시형태에 있어서, 반응생성물이 퇴적되기 쉬운 영역 (A, B, C)의 온도가 제 8도에 나타낸 승화선의 증기상(vapor phase)측에 위치되는 것이 필수이고, 이 온도가 높은 것이 바람직하다. 이와 유사하게, 자기베어링과 모터섹션은 그 온도가 80℃를 초과하지 않도록 제어되어야 한다. 이 온도를 제어하기 위해서, 온도센서가 열발생원 부근에 배치될 수도 있다.
제 3도 내지 제 6도는 펠티어소자(20)를 포함한 단열부재(19)로 구성되는 열제어영역(이하 간략하게 영역으로 언급됨)의 다양한 구성을 나타낸다. 제 3도는 전체 영역(27, 28)이 펠티어소자로 만들어진 경우를 나타낸다. 여기서, 제 3도에 도시된 개구는 베어링섹션과 모터섹션으로 전류를 공급하는 리드선들을 위한 리드개구(26)이다. 이 리드선은 기밀커넥터(나타내지 않음)에 작동적으로 연결된다. 전체 영역을 펠티어소자(20)로 덮을 필요는 없으며, 제조된 나머지 영역은 절연부재(19)로서 놔둔채, 영역내의 원통형 섹션(27)상에, 예를 들어 약 6개의 동일하게 이격된 요소(20)를 제공할 수도 있다.
제 4도는 영역(27, 28)을 서브영역들로 분할하는 경우를 나타낸다 이 실시형태에서도 마찬가지로, 영역(27)은 펠티어소자(20)로 만들어지고, 영역(27)은 축방향으로 3개로 세분된다. 각 세분된 영역은 독립적으로 제어될 수 있다. 이 때문에, 영역(28)에서 뿐만 아니라 영역(27)의 3개의 세분영역의 각 축방향 영역내의 폐열전달을 제어할 수 있다. 각 영역의 전체 표면상에 요소(20)를 배치하기 보다는, 절연부재(19)의 메트릭스(matrix)내에 섬(island)처럼 분포되도록 이 요소(20)를 배치하는 것이 허용 가능하다.
제 5도는 영역(27, 28)을 4개의 방사상으로 분리된 서브영역들로 분할하고 절연부재(19)의 메트릭스내에 섬처럼 요소(20)를 분포시킨 경우를 나타낸다. 요소(20) 이외의 모든 영역은 절연부재(19)로 만들어졌음을 유의해야 한다. 제 6도는 영역(27, 28)을 또 다시 3개의 축방향으로 분리된 서브영역으로 분할하는 경우를 나타낸다. 이러한 세분된 영역내에 펠티어소자를 구성하고, 각 서브영역내에 독립적으로 열전달을 제어함으로써, 진공펌핑장치의 각종 섹션들의 필요한 열에 따라 온도제어를 조절할 수 있다.
상기 실시형태들은 펠티어소자(20)의 단일층구조로 나타내었지만, 펠티어소자의 이중층 또는 삼중층구조도 가능하다는 점에 유의해야 한다. 이러한 다층구조의 펠티어소자를 고열발생영역에 제공함으로써, 이러한 영역을 더욱 효과적으로 냉각시킬 수 있게 된다. 가열을 필요로 하는 영역들이 펠티어소자로부터 상당히 멀어 효과적인 가열이 제공될 수 없을 때는, 히터, 단열재료 및 다른 수단과 같은 보조수단을 제공하는 것도 물론 허용 가능하다.
본 발명은 자기베어링을 이용한 실시형태를 이용하여 설명되었지만, 본 발명의 펌핑장치는 스크류/요홈부 펌핑을 이용하거나 볼베어링을 장착한 다른 종류의 진공펌프에도 동일하게 적용 가능하다. 열전달과정을 제어하기 위해 여기에 개시된 발명의 기본원리로부터 벗어나지 않는 범위내에서 펠티어효과를 이용하는 열제어영역의 다른 변형이 가능하다.
제 1도는 본 발명의 터보분자펌핑장치의 실시형태의 단면도,
제 2도는 펠티어소자(peltier element)디바이스의 작동의 개략도,
제 3도는 내부하우징과 외부하우징 사이의 모든 열제어영역상에 펠티어소자 디바이스를 배치한 개략도,
제 4도는 내부하우징과 외부하우징 사이의 축방향으로 분리된 열제어영역상에 펠티어소자디바이스를 배치한 경우의 개략도,
제 5도는 내부하우징과 외부하우징 사이의 방사상으로 분리된 열제어영역상에 펠티어소자디바이스를 배치한 경우의 개략도,
제 6도는 내부하우징과 외부하우징 사이의 축방향으로 이격된 열제어영역뿐만 아니라 방사상으로 분리된 열제어영역상에 펠티어소자디바이스를 배치한 경우의 개략도,
제 7도는 종래의 터보분자펌프의 단면도,
제 8도는 반응생성물의 고체/기체 분리경계를 나타내는 승화도의 예, 및
제 9도는 종래의 터보분자펌프의 다른 예의 단면도이다.

Claims (9)

  1. 진공펌핑장치에 있어서,
    상기 장치내의 열전달을 조절하는 펠티어소자를 구비하며,
    베어링섹션과 모터섹션을 구비한 하우징이, 상기 베어링섹션과 모터섹션내에서 발생된 폐열을 상기 장치의 다른 섹션으로 향하게 하는 상기 펠티어소자수단으로 구성되어, 상기 펠티어소자수단에 의해 발생된 열전달효과가 상기 베어링 및 상기 모터섹션에 냉각을 제공하는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 폐열은, 처리가스 페이즈가 상기 펌핑장치와 내부에서 접촉하는 상기 펌핑장치의 폐열흡수섹션으로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 폐열흡수섹션내의 온도를 감시하고 특정온도로 유지하기 위해, 상기 펌핑장치에는 상기 폐열흡수섹션내에 온도센서가 더욱 제공되는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 펠티어소자수단은 높은 배출압력의 유출개구의 부근으로 상기 폐열을전달하는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  5. 진공정정장치에 있어서,
    내부 하우징의 외주상에 배치된 고정 임펠러가 제공된 내부 회전자를 비접촉적으로 지지 및 구동시키는 자기베어링섹션 및 모터섹션을 구비한 내부 하우징;
    상기 내부하우징을 둘러싸는 외부하우징; 및
    상기 내부하우징과 상기 외부하우징 사이에 형성된 배기가스통로를 포함하여 이루어지며,
    상기 장치내의 열전달을 조절하는 펠티어소자수단을 포함하는 단열부재가 상기 내부하우징과 상기 외부하우징 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 단열부재는 축방향으로 세분되고, 각 세분된 영역은 하나 이상의 펠티어소자수단을 구비하며, 상기 각 세분된 영역내의 온도가 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 단열부재는 방사상으로 세분되고, 각 세분된 영역들은 하나 이상의 펠티어소자수단을 구비하며, 상기 각 세분된 영역들내의 온도가 독립적으로 제어되는것을 특징으로 하는 진공펌핑장치.
  8. 자기베어링에 의해 지지되고 모터에 의해 구동되는 임펠러샤프트를 구비하는 진공펌핑장치를 냉각하는 방법에 있어서,
    열발생원과 열흡수원 사이에 펠티어소자수단을 설치하는 단계; 및
    상기 펠티어소자수단을 이용하여 상기 자기베어링 및 상기 모터내에 발생된 폐열을 상기 장치의 선택된 위치로 향하게 하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치 냉각방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 폐열은 배기가스통로내에 배치된 유출개구 부근의 위치로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공펌핑장치 냉각방법.
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