JP3557608B2 - ターボ分子ポンプの電源装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドライエッチング装置等の半導体製造装置に使用するターボ分子ポンプの電源装置に関し、特にポンプ本体内に堆積しやすい凝縮性ガスの排気に好適なターボ分子ポンプの電源装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ドライエッチング装置等の半導体製造装置は、ターボ分子ポンプを用いてチャンバの排気を行っている。図5は従来の磁気軸受ターボ分子ポンプの一構成例である。図5において、アルミニウム合金製のベース9およびケーシング1を主体としてポンプ本体Pを構成し、ケーシング1内にアルミニウム合金等の金属製のロータ2を高速回転可能に配設するとともに、ロータ2の外周に突設させた回転翼2aと、ケーシング1の内周であって、ステータスペーサ1b間から突設させた固定翼1aとの間でタービンTを形成し、このタービンTによって吸気口3から吸収したガス分子を排気口に向かって圧縮排気している。また、タービンTの下端外周に刻設した螺旋ねじ2bによって、ロータ2とステータスペーサ1bとの間のガスの排気を行っている。また、ロータ2を取り付けたシャフト5は、上下一対のラジアル軸受6,7および軸端部のスラスト磁気軸受8によって非接触で支持されている。
【0003】
このターボ分子ポンプを、例えばアルミニウムドライエッチング等を行う半導体製造装置に適用して、エッチング後の塩化アルミニウムAlCl3 等の凝縮性の反応生成物の排気を行うと、この反応生成物がポンプ流路部や軸受部に付着して堆積するため、頻繁な分解清掃作業やメンテナンスが必要となり、稼働率が低下する。特に、ロータ2の外周とケーシング1の内周の間等の極小間隙では、堆積した反応生成物によって接触を起こし、ポンプ自体を損傷したり破損するおそれがある。
【0004】
この種の凝縮性ガスは固相となる析出温度が常温近傍(例えば50〜60°C)である。そこで、反応生成物の堆積を防止する方法として、ポンプの温度を高温に制御する方法が知られている。この温度制御の熱源はニクロム線ヒータが一般的であり、モータ駆動用の回路と別個の電源回路によって駆動を行っている。
【0005】
図6は従来のターボ分子ポンプの電源を説明するためのブロック線図である。図6において、ポンプPは、ロータを回転駆動させるモータ23と、ロータを非接触で支持する磁気軸受21と、ポンプの温度制御を行うための温度センサ25,ヒータ22および,温度冷却水制御用電磁弁24とを備え、磁気軸受21および温度センサ25は電源装置30にセンサ信号を送り、磁気軸受21,ヒータ22,モータ23,および温度冷却水制御用電磁弁24は電源装置30から駆動電流の供給を受ける。また、電源装置30は、整流回路36,絶縁DC−DCコンバータ37,およびインバータ33を介してモータ23に駆動電流を供給するとともに、スイッチング手段32を介してニクロム線等のヒータ22に駆動電流を供給している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のターボ分子ポンプの電源装置は、ニクロム線等のヒータ22への駆動電流供給の制御手段としてリレー等のスイッチング手段32や電力制御器41を用い、また、漏電等に対する安全対策として商用電源20との間に漏電遮断機や絶縁トランス42を設けている。漏電遮断機は、ヒータに漏電を検出してヒータへの通電を遮断し、他の装置への漏電の影響を防止することができるが、漏電発生を防止する効果はない。これに対して、絶縁トランスは漏電防止効果を有するものの、従来使用する商用電源の周波数の絶縁トランスは大型で重量も重くなるという問題点がある。一般に、絶縁トランスの大きさおよび重量は使用する周波数に反比例する傾向にあり、ヒータ用電源として50Hzあるいは60Hzの低い商用周波数の絶縁トランスを使用すると、出力の割に大型で大重量となる。そのため、ターボ分子ポンプの電源装置自体も大型で大重量となる。
そこで、本発明は前記した従来のターボ分子ポンプの電源装置を解決し、反応性生成物のポンプ内での付着堆積を高温制御によって防止することができるターボ分子ポンプの電源装置を小型化することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明はヒータにより温度制御を行うターボ分子ポンプに電力を供給する電源装置であり、整流回路と絶縁DC−DCコンバータとインバータの直列接続回路と、絶縁DC−DCコンバータの分岐出力を制御するスイッチング手段を備え、インバータの出力をターボ分子ポンプのモータへの供給電力とし、絶縁DC−DCコンバータの分岐出力をヒータへの供給電力とするものである。
本発明の電源装置によるモータの駆動は、外部交流を整流回路で直流に変換し、絶縁DC−DCコンバータで所定の直流電圧とし、インバータによって直流をモータに供給することにより行う。また、ヒータの駆動は、インバータの負荷が小さくポンプ温度が設定温度以下のときに、スイッチング手段によって絶縁DC−DCコンバータの分岐出力をヒータに供給することにより行い、インバータの負荷が大きなとき、あるいはポンプ温度が設定温度以上のときには、スイッチング手段によって絶縁DC−DCコンバータの分岐出力のヒータへの供給を停止する。したがって、本発明の電源装置は、モータとヒータに対する電力供給の分配比率を変えることによって、絶縁DC−DCコンバータを共用して使用する。
【0008】
一般に、絶縁DC−DCコンバータは、順変換部と高周波絶縁トランスと逆変換部とを直列接続した構成を備えており、この高周波絶縁トランスは変換する交流の周波数が高いため、従来の絶縁トランスと比較して小型である。また、ヒータへの電力供給は、絶縁DC−DCコンバータが供給可能な電力の内からモータ駆動に要する電力を差し引いた残りの電力を使用するため、絶縁DC−DCコンバータの最大負荷は従来と同様とすることができ、少なくとも大型の絶縁トランスを不要とした分、ターボ分子ポンプの電源装置全体を小型化し軽量化することができ、また、モータ側と電源側とを絶縁することができる。
【0009】
本発明の第1の実施態様は、スイッチング手段は、インバータへの供給電力が、モータの加速時の最大電力以下の場合に、ヒータへの電力供給をオンオフ制御するものであり、これによって、絶縁DC−DCコンバータの供給可能電力からインバータが要する電力を差し引いた電力をヒータに供給し、ポンプの温度を高温に制御することができる。
【0010】
また、本発明の第2の実施態様は、スイッチング手段は、インバータへの供給電力が、モータの加速時の最大電力からヒータへの最大電力を差し引いた電力以下の場合に、ヒータへの電力供給をオンオフ制御するものであり、これによって、ポンプへのガス導入時にはポンプ自体の発熱によってポンプの温度を高温に制御し、ポンプへのガス導入がない場合には絶縁DC−DCコンバータの供給可能電力からインバータが要する電力を差し引いた電力をヒータに供給し、ポンプの温度を高温に制御することができる。
【0011】
本発明の第3の実施態様は、スイッチング手段は、モータの加速時の最大電力からインバータに供給している電力を差し引いた電力をヒータに供給する電力の上限として電力制御を行うものであり、これによって、絶縁DC−DCコンバータの供給可能な電力の内からインバータが必要とする電力を差し引いた電力を、ヒータ駆動用の電力として常に確保することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。
本発明の実施の形態の構成例について、図1,2の本発明のターボ分子ポンプの電源装置の一実施形態を説明する概略ブロック図,および概略構成図を用いて説明する。図1,2において、ポンプPは本発明の電源装置を適用することができるターボ分子ポンプの一例であり、ロータを磁気浮上させて非接触支持を行うための電磁石およびセンサを備えた磁気軸受21、ロータを回転駆動させるためのモータ23、ポンプの温度を高温に制御するためのヒータ22およびポンプの温度を検出するための温度センサ25、上昇したポンプの温度を下げる冷却水の制御を行うための冷却水制御用電磁弁24等を備える。
【0013】
電源装置10は商用電源等の外部電源20から電力を受け、ポンプPの各構成部に電力を供給する。電源装置10において、モータ23への電力供給は整流回路16と絶縁DC−DCコンバータ17とインバータ13の直列接続により行い、ヒータ22への電力供給は絶縁DC−DCコンバータ17の分岐出力をスイッチング手段12で制御して行う。なお、インバータ13によるモータ23への電力供給の制御は、図示しない回転検出器からのフィードバック信号に基づいて制御回路15によって行う。また、磁気軸受21への電力供給についても、絶縁DC−DCコンバータ17の分岐出力を磁気浮上制御回路11で制御して行う。また、ポンプPが水冷機構を備える場合には、整流回路16あるいは絶縁DC−DCコンバータ17の出力をDC−DCコンバータ18,19を通した電力をリレー14の制御によって冷却水用電磁弁24に供給することができる。なお、DC−DCコンバータ18,19は、制御回路15やリレー14に電力を供給するとともに、絶縁DC−DCコンバータ17の障害時における磁気浮上制御回路11,スイッチング手段12,インバータ13に対する二次的電力供給源として使用することができる。
【0014】
また、電源装置10は制御回路15を備え、絶縁DC−DCコンバータ17,インバータ13,スイッチング手段12,およびリレー14等を制御して、モータの回転制御やポンプPの温度制御を行う。制御回路15による温度制御は、ポンプPの温度センサ25から温度信号をフィードバックし、スイッチング手段12あるいはリレー14を制御することにより行う。
【0015】
なお、図1,2中に示す実線は電力の供給を示し破線は信号を表している。例えば、磁気浮上制御回路11と磁気軸受21との間ではロータの位置信号aの送信とロータを磁気浮上で支持する電磁石への電力bの供給が行われ、スイッチング手段12とヒータ22との間ではヒータ22に電力cが供給され、インバータ13とモータ23との間ではモータ23に電力dが供給され、リレー14と冷却水制御用電磁弁24との間では冷却水制御用電磁弁24に電力eが供給され、制御回路15と温度センサ25との間では、ポンプPの温度信号が制御回路15に送られる。
【0016】
ターボ分子ポンプを多量ガスの排気に使用する場合には、モータ23の発熱や、ガスとタービンTとの摩擦熱によってポンプ温度が上昇し、モータ23や磁気軸受6,7,8のコイルが絶縁破壊を起こすおそれがある。このようなポンプ温度の上昇を抑制したり、また、ニクロム線ヒータ等の熱源により上昇したポンプ温度を下降させ所定の設定温度に温度制御するために、冷却水によるポンプの冷却を行っている。冷却水の制御は冷却水制御用電磁弁24によって行う。例えば、冷却水制御用電磁弁24は、ポンプPのベース部に設けた三方弁付冷却水管(図示していない)の三方弁の開閉制御を行い、温度センサ25で検出した温度が規定温度よりも低い場合には冷却水がターボ分子ポンプをバイパスするような弁の制御を行い、逆に検出温度が規定温度よりも高い場合には冷却水がターボ分子ポンプを冷却するような弁の制御を行う。この弁の制御は、制御回路15の制御信号でリレー14を駆動することにより行う。なお、上昇したポンプ温度を自然冷却で下げる場合には、前記したポンプ側の冷却装置および電源装置10側のリレー14等の構成を省くこともできる。
【0017】
次に、本発明の電源装置の動作について図3,4を用いて説明する。図3,4の各特性図は、ターボ分子ポンプのモータが停止した状態から定速回転数まで加速し、その後ターボ分子ポンプにプロセスガスの導入が行われた場合の時間変化の概略を表しており、図3はオン/オフ制御によってヒータへの電力供給を行った場合であり、図4は電力制御によってヒータへの電力供給を行った場合である。また、図3(a),図4(a)はポンプの温度,図3(b),図4(b)はポンプへの供給ガス量,図3(c),図4(c)はポンプのロータの回転速度,図3(d),図4(d)はポンプの磁気軸受への供給電力,図3(e),図4(e)は電源のインバータへの供給電力,図3(f),図4(f)はヒータへの供給電力,図3(g),図4(g)は電源の供給電力の関係を表している。
以下、図3に示すヒータへの電力供給をオン/オフ制御する場合について説明する。電源装置10に商用電源20を供給して起動させると、絶縁DC−DCコンバータ17は直流電力を磁気浮上制御回路11,スイッチング手段12,インバータ13,およびDC−DCコンバータ19に供給する。
【0018】
磁気浮上制御回路11は、磁気軸受21から受けたロータの位置信号aに基づいて、磁気軸受21の電磁石に駆動電力を供給してロータを所定位置に位置フィードバック制御を行う。この磁気軸受21へ供給する電力はロータ位置に応じて変動するが、定常状態ではほぼ一定電力であるため図3(d)では一定供給電力(図中のPw1)で表している。なお、ロータを磁気軸受21で支持しない構成では、磁気浮上制御回路11への供給電力を省略することができる。
【0019】
制御回路15は、モータ23の始動時および加速時(図3中のAの区間)にはヒータ22への電力供給を行わず(図3(f)のPw0)、絶縁DC−DCコンバータ17が供給可能な電力から磁気浮上制御回路11への供給電力(図中のPw1)を差し引いた電力(図3(e)のPw2)をインバータ13に供給する。モータ23は、インバータ13からの電力によって加速する((図3(c)中の区間A)。このとき、ポンプPの温度は、ポンプP側の発熱量がわずかであるため設定温度に対して低温状態にある(図3(e)の区間A)。
【0020】
モータ23が規定回転数に達すると、モータ23にかかる負荷が減少するため、絶縁DC−DCコンバータ17がインバータ13に供給する電力は減少し(図3(e)のPw3)、絶縁DC−DCコンバータ17の出力に余裕が生じる。
【0021】
制御回路15は絶縁DC−DCコンバータ17の出力に余裕が生じると、スイッチング手段12を制御してヒータ22へ電力供給を行い(図3(f)のPw4)、ポンプPの加熱を始める(図3(a)の区間B)。ポンプPが設定温度に達すると、制御回路15はヒータ22への電力供給をいったん停止し、温度センサ25からの温度信号をフィードバックして、ポンプPの温度が所定温度範囲となるようにスイッチング手段12のオンオフ制御を行う(図3(a)の区間C,図3(f)のPw5)。
【0022】
ポンプPにドライエッチング等のプロセスガスが流入すると(図3(a)の区間D)、ポンプPの回転に風損と圧縮仕事の負荷が加わる。このとき、制御回路15はインバータ13への供給電力を増加させ(図3(e)のPw6)、ヒータ22への供給電力の上限値を減少させる(図3(f)のPw7)。ポンプPはプロセスガスによる風損や圧縮仕事による発熱で加熱されるため、ヒータ22への供給電力の上限を減少しても、ポンプPの高温制御を充分に行うことができ、ヒータ22への電力供給を停止してプロセスガスのみによる加熱とすることもできる。
プロセスガスの流入が止まると(図3(a)の区間E)、モータ23側の負荷が低下し、絶縁DC−DCコンバータ17からインバータ13への供給電力が減少し(図3(e)のPw8)、絶縁DC−DCコンバータ17の出力に余裕が生じる。
【0023】
制御回路15はヒータ22に供給する電力の上限を大きくし(図3(f)のPw9)、温度センサ25からの温度信号をフィードバックして、スイッチング手段12をオンオフ制御してポンプPの温度が所定温度範囲となるようにヒータ22への電力供給を制御する。
次に、図4に示すヒータへの電力供給を電力制御する場合について説明する。ヒータへの電力供給を電力制御により行う場合には、図4(f)に示すように、ヒータへの供給電力を、モータへの加速時の最大電力からその時点でインバータに供給している電力を差し引いた電力をヒータに供給する電力の上限Pw10とし、この電力内で電力制御を行ってポンプ温度を高温に制御を行う。従って、ポンプPの加熱区間(図4(a)のBの区間)では電力の上限は大きくなり、プロセスガスの供給が行われて、風損や圧縮仕事による発熱で加熱される区間(図4(a)のDの区間)では電力の上限は小さくなる。
【0024】
また、図3(g),図4(g)はインバータへの供給電力,ヒータへの供給電力,および磁気軸受への供給電力の関係を示しており、絶縁DC−DCコンバータ17が供給できる最大電力をインバータ,ヒータ,および磁気軸受に対してポンプPの状態に応じて分配する。
【0025】
なお、ヒータ22はその最大電力の上限を、モータの加速時の最大電力から真空中でポンプPを所定回転数に維持するのに必要な最小の電力を差し引いた電力となるよう設定する。
【0026】
前記実施の形態はターボ分子ポンプの軸受として磁気軸受の場合について示しているが、本発明の電源装置は磁気軸受以外の軸受を用いたターボ分子ポンプについても、磁気浮上制御回路を省略する構成によって同様に適用することができる。また、前記実施の形態において、磁気浮上制御回路に供給する電力は、ヒータやモータへの電力供給と独立して、商用電源から別個に得る構成とすることもできる。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、反応性生成物のポンプ内での付着堆積を高温制御によって防止することができるターボ分子ポンプの電源装置を小型化することを目的とする。
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のターボ分子ポンプの電源装置の一実施形態を説明する概略ブロック図である。
【図2】本発明のターボ分子ポンプの電源装置の一実施形態を説明する概略構成図である。
【図3】本発明の電源装置の動作を説明するための図である。
【図4】本発明の電源装置の動作を説明するための図である。
【図5】従来の磁気軸受ターボ分子ポンプの一構成例である。
【図6】従来のターボ分子ポンプの電源を説明するためのブロック線図である。
【符号の説明】
P…ポンプ、10…電源装置、11…磁気浮上制御回路、12…スイッチング手段、13…インバータ、14…リレー、15…制御回路、16…整流回路、17…絶縁DC−DCコンバータ、18,19…DC−DCコンバータ、20…電源、21…磁気軸受、22…ヒータ、23…モータ、24…冷却水制御用電磁弁、25…温度センサ。
Claims (1)
- ヒータにより温度制御を行うターボ分子ポンプに電力を供給する電源装置であって、
整流回路と絶縁DC−DCコンバータとインバータの直列接続回路と、絶縁DC−DCコンバータの分岐出力を制御するスイッチング手段を備え、
インバータの出力をターボ分子ポンプのモータへの供給電力とし、絶縁DC−DCコンバータの分岐出力をヒータへの供給電力とすることを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置。
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