JP5705478B2 - 真空ポンプの運転方法および分子真空ポンプ - Google Patents
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- 238000011017 operating method Methods 0.000 title claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 35
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/02—Surge control
- F04D27/0261—Surge control by varying driving speed
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
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Description
真空ポンプが固定回転速度で運転された場合、真空ポンプと結合された、この回転速度と整数比の関係にある装置の固有周波数は著しく励振される。これに対して、ロータの回転速度が第1の回転速度値および第2の回転速度値の間で周期的に変化される変化過程を含む真空ポンプの運転は、確かにロータによって多数の周波数が励振されるが、1つの周波数に留まっている時間はより短いことを意味する。これは、要するに、より小さい多数の励振が観察されるという利点を導く。他の利点として、変化過程内においてモータ・コイル内により少ない駆動出力が供給され、これにより熱に変換される損失出力が低減されたとき、真空ポンプの温度バランスが改善される。この利点は、達成圧力および排気速度のような真空データへの影響が用途と協調し続け、特にこれらの真空データの小さな変動が発生するにすぎないように第1および第2の回転速度値が決定されているときにもまた達成される。
さらに他の変更態様は、変化過程内において圧力測定を実行し、且つ真空データ特に真空にされるべき室内の圧力への影響が小さく保持される形態となるように設計され、これにより、室内で進行するプロセスの障害が発生することはない。
制御装置15は複数の電子部品を有している。制御装置は制御ユニット16を含み、制御ユニットは整流信号を発生し、これによりモータ・コイルの通電形態を決定する。制御ユニットは最終段制御結線18により最終段17と作用結合され、最終段はモータ・コイルに対して電流および電圧を発生し且つ出力部分を示す。切換ユニット20はモータ・コイルの通電を遮断するように働き且つ遮断結線21を介して制御ユニットにより操作される。
測定導線26は測定ユニット22と結合されている。測定ユニットは測定結線23を介して値を制御ユニットに伝送する。制御装置は操作要素28を有し、操作要素を介して機能がユーザにより選択され且つモニタリング可能である。このために、操作要素はスイッチ29を有し、代替態様または追加態様として、他のスイッチ、タッチ・スクリーン、データ・インタフェース等が存在していてもよい。
制御装置15はモータ・コイル14の通電電流を発生し、モータ・コイルによりロータ8は定格回転速度38に保持される。定格回転速度は、一般に、真空データに関してロータの寿命および安全性を考慮して選択される。軽いガスに対しては排気速度は回転速度の上昇と共に改善される一方で、ロータの運動エネルギーおよび材料の荷重は増大する。
低下回転速度39はユーザによって設定可能であってもよい。これにより、ユーザは、回転速度変化の範囲をいかなる大きさにするかを決定可能である。これは、例えば、真空データにおける大きな公差が許容されているとき、有利なことがある。
2 室
3 室フランジ
4 ポンプ・フランジ
5 固定手段
6 ポンプ出口
7 ステータ・ディスク
8 ロータ
9 軸
10 ロータ・ディスク
11 上部軸受
12 下部軸受
13 駆動装置
14 モータ・コイル
15 制御装置
16 制御ユニット
17 最終段
18 最終段制御結線
19 駆動装置導線
20 切換ユニット
21 遮断結線
22 測定ユニット
23 測定結線
24 測定フランジ
25 測定装置
26 測定導線
27 モータ磁石
28 操作要素
29 スイッチ
30 回転速度センサ
36 変化過程
37 回転速度線図
38 第1の回転速度値(定格回転速度)
39 第2の回転速度値(低下回転速度)
40 第1の周期
41 第1の遮断時点
42 第1の減速過程
43 第1の投入時点
44 第1の加速過程
50 第2の周期
51 第2の遮断時点
52 第2の減速過程
53 第2の投入時点
54 第2の加速過程
f 回転速度
t 時間
Claims (4)
- ロータ(8)と、前記ロータの回転をある回転速度で行わせる駆動装置(13)と、を備えた真空ポンプ(1)の運転方法において、
前記方法が変化過程(36)を含み、前記変化過程内において、前記ロータの回転速度が第1の回転速度値(38)および第2の回転速度値(39)の間で周期的に変化されること、出力ジャンプを回避するために、前記変化過程(36)の加速過程において、前記ロータ(8)が、最大出力よりも低い出力で加速されることを特徴とする真空ポンプの運転方法。 - 前記変化が、前記駆動装置(13)のモータ・コイル(14)への通電を遮断することによって行われることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記変化過程(36)内において圧力測定が実行されることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 高速回転ロータ(8)と、制御装置(15)を有する駆動装置(13)と、を備えた分子真空ポンプ(1)において、
前記制御装置が、前記ロータを、第1の値および第2の値の間で周期的に変化する回転速度で運転させるように適合されていること、出力ジャンプを回避するために、変化過程(36)の加速過程において、前記ロータ(8)が、最大出力よりも低い出力で加速可能であることを特徴とする分子真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009039118A DE102009039118A1 (de) | 2009-08-28 | 2009-08-28 | Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe |
DE102009039118.5 | 2009-08-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011047399A JP2011047399A (ja) | 2011-03-10 |
JP5705478B2 true JP5705478B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=43216149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010183601A Active JP5705478B2 (ja) | 2009-08-28 | 2010-08-19 | 真空ポンプの運転方法および分子真空ポンプ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2290243B1 (ja) |
JP (1) | JP5705478B2 (ja) |
DE (1) | DE102009039118A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2492065A (en) * | 2011-06-16 | 2012-12-26 | Edwards Ltd | Noise reduction of a vacuum pumping system |
DE102014116555A1 (de) * | 2014-11-12 | 2016-05-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumgerät |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01166293U (ja) * | 1989-02-15 | 1989-11-21 | ||
JP2000110735A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ポンプ保護装置、ポンプ保護方法及びポンプ装置 |
JP2000205185A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-25 | Shimadzu Corp | タ―ボ分子ポンプ |
JP4127758B2 (ja) * | 2001-10-05 | 2008-07-30 | エドワーズ株式会社 | 分子ポンプの制御装置、及び分子ポンプ装置 |
DE102005019054A1 (de) | 2005-04-23 | 2006-10-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Schwingungsreduzierendes Bauteil und damit ausgerüstetes Vakuumpumpsystem |
JP4825608B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-11-30 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置および真空排気方法、基板の加工装置および基板の加工方法 |
DE102007018292A1 (de) | 2007-04-18 | 2008-10-23 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Schwingungsisolierendes Zwischenbauteil |
-
2009
- 2009-08-28 DE DE102009039118A patent/DE102009039118A1/de active Pending
-
2010
- 2010-08-12 EP EP10008414.4A patent/EP2290243B1/de active Active
- 2010-08-19 JP JP2010183601A patent/JP5705478B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011047399A (ja) | 2011-03-10 |
DE102009039118A1 (de) | 2011-03-03 |
EP2290243A2 (de) | 2011-03-02 |
EP2290243A3 (de) | 2012-11-14 |
EP2290243B1 (de) | 2014-04-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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