JP2004353672A - 真空ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、電動機を備えたオイル機械真空ポンプと、前記電動機に電力を供給する電子制御装置とを含む真空ポンプ装置に関する。前記制御装置は、少なくとも一つのポンプ動作パラメータの関数として、及びポンプ動作条件に依存して変更可能な少なくともひとつの閾値の関数として、前記電動機に電力を供給する電圧信号SUの励起周波数Feccを制御する手段を含む。
【選択図】図1
Description
従来の機械ポンプは、吸引口と排気口とを有するハウジングを含む。ハウジング内部に設けられた固定子(ステータ)が円筒状室を形成し、該室に於いて、偏芯して設けられた円形回転子(ロータ)に、ばね付勢された放射状羽根部材が設けられている。オイル浴に浸漬されて、冷却されると共に給油され、且つ、外部環境から遮断されている。
真空ポンプ装置として、ポンプの電動機を駆動するために可変周波数出力信号を供給することができる電子制御装置を含むものも知られている。
これらのシステムは、特に高真空分野では一般的なものであるが、真空ポンプを回転させる電動機に電力を供給する電圧信号の励起周波数に作用を及ぼすので、電動機の回転速度ひいてはポンプのポンプ速度にばらつきを生じさせることになる。
起動段階に於いて、真空ポンプは通常、安定状態での吸引圧よりもかなり高い圧力である大気圧で空気を吸引する。その結果、加速トルクはきわめて高くなり、ポンプの安定状態の場合に要求されるよりも高い性能で電動機を使用することが余儀なくされる。
この種の電子制御装置は、下記特許文献1及び下記特許文献2に開示されている。
本発明の別の目的は、小型且つ安価でありながら従来システムよりも高い真空度に到達できる機械ポンプ装置を提供することにある。
上記及びその他の目的は、添付の特許請求の範囲に記載の本発明に係る真空ポンプ装置により達成される。
上記電子制御装置は、電源からの単相固定周波数AC信号を、電源周波数とは独立した周波数の3相AC信号へ変換することができるという利点がある。したがって、電源周波数により定められる速度とは異なるポンプ速度を得ることができる。更に詳しくは、本発明のポンプ装置へ組み込んだオイル機械ポンプは、同一特徴を有するポンプよりも速い速度を達成することができる。換言すれば、本発明に係るポンプ装置を使用することにより、小型で安価なポンプにより高速ポンプ速度を達成することができる。
前記オイル機械ポンプを始動させる場合、電動機は、極めて低い値から徐々に増大する周波数に基づき始動及び加速されて、加速トルク及び電力消費を所定の閾値を下回るように維持することができる。
図1に於いて、本発明に係る真空ポンプ装置は本質的に、電動機Mを備えたオイル機械真空ポンプPと、電子制御装置Cとを含む。
制御装置Cは、電源Rから電力供給されて、電圧信号SUにより電動機Mに対して電力を供給する。真空ポンプPの吸引口は、真空状態が生成される真空室CVと連通している。
図1を参照して、制御装置Cは周波数変換器を含み、この周波数変換器は、一般的に固定周波数(ヨーロッパに於いては50Hz、アメリカに於いては60Hz)の単相AC信号である電源からの入力信号SIを、可変周波数の3相AC出力信号SUに変換することができるものであり、この出力信号SUにより電動機Mに電力が供給される。
本発明に於いて、ポンプPの電動機Mに対して電力を供給する信号SUの励起周波数Feccと等価電圧Vsetとは、供給することができる最大電力PMAXとポンプの測定電流消費ImeasDCとに依存して励起周波数Feccと等価電圧Vsetとを変動させる制御アルゴリズムに基づいて、調節される。
ステップ101に於いて、等価電圧は下記式にて求められる:
Vset = Fecc・KV
ここで、KVは、ボルト/ヘルツ(V/Hz)で表現され且つポンプ装置の特徴に依存する定数である。 例えば、135Vの電動機を備えたポンプ装置の場合、この定数は5V/Hzであってもよい。
ステップ105に於いて、等価電圧Vsetと直流バス電圧VbusDC(上記例の場合135V)との比率により与えられるスライシングの関数である基準電流Icompを、下記式により定める。
ここで、K1は、ポンプ装置に依存する定数でありアンペアで表現される。135Vの電動機を備えたポンプ装置の場合、この定数は5.3Aである。
ステップ107〜113に於いて、基準電流Icompの最大値は下記関係式により制限される:
Icomp= PMAX/VbusDC
Icomp= IMAX
ここで、PMAXは、動作状態に於いて制御装置により供給可能な最大電力であり、IMAXは供給可能な最大電流である。
ステップ115において、基準変数が計算される:
eI = Icomp - ImeasDC
ここで、ImeasDC は、ポンプ電動機に電力を供給する3相ブリッジの上手側の電流測定抵抗を横切って測定された電流である。
すなわち、ステップ117において、eIの絶対値は、励起周波数Feccを変動させないIcompについての電流範囲を定める閾値IThreと比較される。
測定電流Imeasが、Icompについての所定範囲IThre内にとどまる限り、励起周波数Feccは変動せずかつサイクルはステップ130で終了する。
ΔF = KF・eI
ここでKFは、供給された電流に依存して周波数を変動させる比例係数である。
ΔFは正でも負でもいずれでもよいことが理解されよう。すなわち、ポンプ装置の動作条件に依存して、励起周波数の増加又は減少に対応するものとすることができる。
ステップ123において、励起周波数Feccは下記式に基づきΔFだけ変動させられる:
Fset = Fecc + ΔF
ステップ125、127において、このように計算された新しい周波数の最大値は下記式に基づき制限される:
Fset = FMAX
ここで、FMAXは安定状態における最大励起周波数である。
Fecc = Fset
そしてサイクルはステップ130で終了する。
測定電流Imeasが、Icompについて幅IThreの範囲外にある限り、すなわち安定状態が達成されるまで、励起周波数Feccは継続して変動される。
すなわちPMAXは下記パラメータの関数として変動し得る:
*ポンプが正常に安定状態で動作している間は、PMAXは、特定のポンプ装置(制御装置/ポンプ電動機)に対して供給することができる最大電力に対応する値Pregをとる。
*最も仕事量の多い段階、例えば常温起動の間、限られた時間の間は、ポンプオイル温度T1に依存してかつ電子電力装置のディシペータDの温度の閾値T2を超えないように、PMAXは上昇値Pstart1、Pstart2 > Pregを取る。
限界値PMAXを変更すると、基準電流Icompの変動範囲を変更することになり、したがって、励起周波数Feccの変動範囲を変更することになる。
励起周波数Feccは、上述のパラメータの関数として電子制御装置により自動的に定められ、かつ電源周波数から独立しているので有利である。かくして、ポンプPのポンプ速度を、ポンプの変更された動作条件に適合させて変動させることが可能となり、このポンプ速度は電動機Mの回転速度に比例し、電動機Mの速度は電動機に対する電力供給信号の励起周波数に比例する。
さらに、突然の気体負荷に起因する過渡期状態の場合、電動機Mへの電力供給信号の励起周波数を変動させて、PMAXの値へ作用させることによりポンプPの速度を一定に保持することが可能である。
この実施形態に於いて、ユーザは例えば0V〜10Vの電圧信号を制御装置Cへ供給することができ、この電圧信号は制御装置Cにより利用されて、所定の関係に基づき励起周波数の値が設定される。
いずれにせよ、本発明に於いては、ポンプPの電力消費は常に所定の閾値を下回り、過負荷を回避することができて有利である。
前述したように、オイル機械ポンプの駆動に於いては、安定状態における過渡期に関してではなくむしろ常温起動での過渡期に関して主として問題がある。常温起動の場合、電動機Mの所要加速トルクおよびポンプPの動力消費は、温度に大きく依存し且つ低温度ではきわめて高くなるオイル粘度の故に、きわめて大きくなることがある。
図4に於いて、常温起動の場合、PMAXの値は、第一の上昇値Pstart1>Pregに設定され、この値Pstart1は20〜30%位Pregより大きく、かつこの例では780ワットである。
この時間の間、励起周波数、ひいては実際の回転周波数は、図5に示すように、極めて低い値から始まって徐々に増大する。
この時間が終了すると、制御装置は、安定状態に到達したかどうか、つまり、励起周波数がシステムの安定状態周波数に対応しているかどうかをチェックする。安定状態に到達している場合、PMAXはPregに設定される。安定状態に到達していない場合、この実施例の場合、約300秒の間、PMAXは値Pstart2に設定される。尚、Preg<Pstart2<Pstart1である(この実施例の場合、Pstart2は650Wである)。この時間が終了すると、PMAXの値は再び安定状態値Pregになって、過負荷を回避する。
本発明に係るポンプ装置は更にフィードバック回路を含み、この回路は、励起周波数Feccを制御するパラメータとしてポンプPに接続された真空室CVに存在する残留気体の圧力を利用している。これにより、電動機Mの駆動周波数及びポンプPのポンプ速度は、動作圧力条件に依存して変動させることができる。
Claims (15)
- 吸引口(3)と排出口(5)とを備えたハウジング(1)を含むオイル機械ポンプであって、前記ハウジングは円筒状室(7)とこの室(7)に関して偏芯して設けられた回転子(9)とを有し、前記回転子(9)はばね(13)により付勢された放射状羽部材(11)を有し、前記ハウジングは前記回転子(9)を回転させる電動機(M)を備える、オイル機械ポンプ(P)と、
前記オイル機械ポンプが浸漬されるオイル浴(15)と、
電圧信号SUにより電力を前記電動機(M)に供給する電子制御装置(C)であって、少なくともひとつの前記ポンプの動作パラメータの関数として、及び前記ポンプの動作条件に依存して変更可能な少なくともひとつの閾値の関数として、前記電動機に対して電力を供給する電圧信号SUの励起周波数Feccを制御する周波数変換器を含む電子制御装置(C)と
を備えた真空ポンプ装置。 - 前記少なくともひとつのポンプの動作パラメータは、前記電動機(M)の測定電流消費Imeasに対応しており、且つ、前記閾値は、前記制御装置(C)により供給可能な最大電力PMAXに対応している請求項1に記載のポンプ装置。
- 前記閾値は、前記ポンプが安定動作状態にある間、値Pregを、そして前記ポンプが常温起動状態の間、値Pstart1をとることができ、ここで、Preg<Pstart1である請求項2に記載のポンプ装置。
- 前記閾値は、前記ポンプが安定動作状態にある間、値Pregを、そして前記ポンプが常温起動状態の間、一連の値Pstart1とPstart2とをとることができ、ここでPreg<Pstart2<Pstart1である請求項2に記載のポンプ装置。
- 前記閾値は、前記ポンプが安定動作状態にある間、値Pregを、そして前記ポンプ性能を増大させようとする上昇段階の間、値Pboostをとることができ、ここでPboost>Pregである請求項2に記載のポンプ装置。
- 前記閾値は、前記ポンプが安定動作状態にある間、値Pregを、そして前記ポンプの停止状態の間、値Pbrakeをとることができ、ここでPbrake<Pregである請求項2に記載のポンプ装置。
- 前記閾値は、所定時間間隔に於いて、前記ポンプの常温起動状態の間、前記値Pstart1をとる請求項3に記載のポンプ装置。
- 前記閾値は、一連の所定時間間隔に於いて、前記ポンプの常温起動状態の間、前記一連の値Pstart1と値Pstart2とをとる請求項3に記載のポンプ装置。
- 前記所定時間間隔は、約400秒である請求項7に記載のポンプ装置。
- 前記一連の所定時間間隔は、前記閾値Pstart1が適用される約400秒と、前記閾値Pstart2が適用される約300秒である請求項8に記載のポンプ装置。
- 前記真空ポンプ内のオイル温度を示す信号を前記電子制御装置(C)へ送信するよう構成されたオイル温度検出器(17)を更に含み、前記閾値は、前記温度が所定の閾値より低い場合、前記値Pstart1をとる請求項7に記載のポンプ装置。
- 前記周波数制御手段は、前記電動機の測定電流消費Imeasが所定閾値電流Icompを下回る限り、前記電動機に電力を供給する電圧信号SUの励起周波数Feccを増大させるよう構成された周波数変換器を含む請求項1に記載のポンプ装置。
- 前記閾値電流Icompは、Icomp=K1・Vset/VbusDCにより与えられ、ここで、K1はシステムに依存する定数であり、Vsetは等価電圧であり、VbusDCは前記電動機(M)に供給されるピーク電圧である請求項1に記載のポンプ装置。
- Icomp<IcompMaz = PMAX/VbusDCであり、ここで、PMAXは所定の動作状態に於いて前記制御装置により供給されることができる前記最大電力に対する前記閾値である請求項13に記載のポンプ装置。
- VbusDCは187Vである請求項14に記載のポンプ装置。
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