KR100325655B1 - 기밀외위기용지지부재및기밀외위기 - Google Patents
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Abstract
내응력, 내좌굴(耐座屈) 특성을 향상시켜서 기판 사이를 안정적으로 지지하고, 외부로부터의 대기압에 따른 변형을 방지한다.
애노드기판(2) 내면에는 애노드 도체(4)와 형광체층(5)에 의한 표시부(6)가 형성된다. 캐소드기판(3) 내면에는 애노드 기판과, 그 애노드기판의 전자원이 표시부(6)와 대면하여 형성된다. 외위기(1)는 애노드기판(2)과 캐소드기판(3)을 소정간격을 두고 외주부로 봉지하여 구성된다. 외위기(1)내에는 지지부재(15)가 수납배치된다. 지지부재(15)는 소정간격을 두고 복수의 관통구멍(18)이 형성된 판재(16)와, 관통구멍(18) 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 관통구멍(18)에 고착되어 보강용 지주(19)를 구비하고 있다. 각 보강용 지주(19)는 양단부(19a,19b)가 애노드기판(2) 및 캐소드기판(3) 내면에 맞닿아 지지되어 있고, 애노드기판(2)과 캐소드기판(3) 사이를 일정간격으로 유지하고 있다.
Description
본 발명은 외부로 부터의 대기압에 저항하여 기밀외위기를 내면측에서 지지하여 변형을 방지하기 위한 기밀외위기용 지지부재 및 기밀외위기에 관한 것이다.
내부가 고진공상태로 유지되는 진공용기로서, 가령 전계 방사형 음극을 전자원으로한 전계방사형 표시장치(이하, FED라함)가 알려져 있다. FED는 도 5에 도시한 바와 같이, 애노드 도체(31a)와 형광체층(31b)으로 되는 표시부(31)가 내면에 형성된 애노드기판(32)과, 애노드 기판(32)의 표시부(31)와 대면하는 내면측에 전계방사형 음극(33)을 구비한 캐소드기판(34)을 소정간격으로 외주부에서 봉지함으로써 외위기(35)를 구성하고 있다.
이 종류의 FED는 미세한 도트피치로 표시부(31)가 형성되는 애노드기판(32)과, 전계방사형음극(33)이 형성되는 캐소드기판(34)이 모두 얇은 유리판으로 되고, 양 기판 사이의 간격도 가령 200μm로 극히 좁고 박형으로 구성되어 있다.
그런데, 이 종류의 FED는 애노드기판(32)과 캐소드기판(34) 사이가 외주부만으로 고정되는 구조이므로, 외위기(35)를 구성하는 각 기판(애노드기판(32), 캐소드기판(34)의 두께를 어느정도 두껍게하여 강도를 주고 있다.
그러나, FED가 대형화됨에 따라, 외압에 견디기 위해서는 외위기(35)를 구성하는 각 기판(32,34)의 두께를 두껍게 하지 않을 수 없어, 박형, 경량의 FED를 실현할 수 없다. 또, 기판(32,34)이 변형하여 양기판의 간격을 일정하게 유지할 수없게 되고, 표시에 악영향이 생기는 등의 문제를 갖는다. 이 때문에, 도5 에 도시한 바와 같이, 유리부재로 되는 파이버지주와 비즈지주를 보강용 지주(36)로서 외위기(35)내의 복수개소에 배치하고, 외부로부터의 대기압에 저항하여 애노드기판(32)과 캐소드기판(34) 사이를 지지하고 있다.
그런데, 보강용지주(36)를 외위기(35)내에 배치함에 있어서는 도 6 에 도시한 전용 지그(37)를 사용하여 보강용 지주(36)의 정렬을 행하고 있다. 지그(37)는 기판(32,34)으로의 보강용 지주(36)의 설치위치에 대응하여 관통구멍(38a)이 형성된 기판(38)과, 관통구멍(38a)에 삽입된 보강용 지주(36)를 기대(38)의 하부에 밀착하여 배치한 다공질부(39) 표면에 흡인유지하는 흡인장치(40)를 구비하고 있다.
보강용지주(36)를 외위기(35)내에 배열설치할 경우는, 보강용 지주(36)를 각각 타단면(36b)측으로 부터 관통구멍(38a)으로 삽입한다. 이 상태로, 흡인장치(40)를 작동시켜서 각 보강용 지주(36)의 타단면(36b)측을 다공질부(39)를 통하여 흡인유지한다. 이에 따라, 복수의 보강용 지주(36)가 관통구멍(38a)에 삽입된 상태로 정렬된다. 또한, 보강용지주(36)의 일단면(36a)에는 미리 고착재(41)가 도포되어있다.
상기와 같이하여 보강용지주(36)의 정렬이 행해지면, 고착재(41)가 도포된 보강용지주(36)의 일단면(36a)에 애노드기판(32)을 재치하여 가압하고, 보강용지주(36)의 일단면(36a)을 애노드기판(32)에 고착시킨다. 그후, 보강용지주(36)가 고착된 애노드기판(32)을 지그(37)로부터 해체하고, 각 보강용지주(36)의타단면(36b) 및 애노드기판(32)의 외주부에 고착재(42)를 각각 도포하고, 보강용 지주(36) 타단면(36b)을 캐소드기판(34)에 고착시킴과 동시에, 기판(32,34) 사이의 외주부를 고착시킨다.
이와같이, 지그(37)를 사용하여 보강용지주(36)를 정렬시킬 경우, 보강용 지주(36)의 일단측을 흡인유지하고 있으므로 종횡 치수비(지름과 길이의 비)가 작은 보강용지주(가령 지름 50μm, 길이 200μm)를 사용하면 보강용지주(36)의 일단면(36a)에 기판을 재치하여 가압했을때, 흡인유지되는 보강용 지주(36)의 타단면(36b)을 중심으로한 위치 어긋남이 작고, 적은 오차로 정렬할 수 있다.
그러나, 고정밀의 미세한 표시(高精細表示)로는 보강용 지주의 배치영역이 제한되기 때문에, 사용하는 보강용지주의 지름을 작게할 필요가 있고, 그 개수도 증가한다. 게다가, 애노드전압을 올려 FED를 고전압구동시킬 경우는 기판(32,34) 사이의 간격이 커지고, 이에따라 종횡 치수비가 큰 보강용 지주(가령 지름 50μm, 길이 1mm)를 기판(32,34) 사이에 설치하지 않으면 안된다.
이때문에, 종래 구성에서는, 보강용지주(36)의 일단면(36a)에 애노드기판(32)을 재치하여 가압했을때에 흡인유지되고 보강용지주(36)의 타단면(36b)을 중심으로한 위치어긋남이 커지고, 적은 오차로 보강용지주(36)를 정렬하여 FED를 제작하기가 곤란하였다. 게다가, 상기와 같이 보강용 지주(36)가 큰 위치어긋남을 가지고 외위기(35)내에 설치되고, 양기판(32,34)에 외부에서 대기압이 가해지면 보강용 지주(36)가 휘거나 부러질 우려가 있다. 따라서, 종래의구성으로는 내응력, 내좌굴 특성이 결핍되고, 기판(32,34) 사이를 안정되게 지지할 수 없었다.
또, 보강용지주(36)로서 비즈 지주를 사용할 경우는, 그 지름이 기판(32,34) 사이를 지지하는 높이가 되고, 지주 치수를 크게하면, 지주전체가 커진다. 이때문에, 전자선을 표시면에 사돌시킬때에, 지주자체가 그늘이 되어 표시면의 방해가 되고, 표시면에 대하여 효율적으로 전자선을 사돌시킬 수 없다. 그 결과, 지주에 의한 전자선의 해가됨(shading) 등이 생겨 고정밀의 미세한 표시를 행하기에는, 사용되는 지주지름에 제한이 생기고, 그에 따라 인가되는 애노드전압도 제한을 받아 발광휘도가 향상되지 않는다는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 상기 문제점을 감안하여 행해진 것으로, 내응력, 내좌굴특성을 향상시키고, 기판 사이를 안정되게 지지하여 외부로부터의 대기압에 의한 변형을 방지하고 있다.
도 1은 본 발명에 의한 기밀외위기를 이루는 FED의 부분측단면도,
도 2는 도1의 FED의 외위기내에 수납배설되는 기밀외위기용 지지부재의 제1 실시형태를 표시하는 부분확대 사시도,
도 3(a)∼(e)는 기밀외위기용 지지부재의 제조방법을 나타내는 표시도,
도 4는 본발명에 의한 기밀외위기용 지지부재의 제2실시형태를 나타내는 확대평면도,
도 5는 지지부재를 사용한 종래의 FED 구성을 표시하는 측단면도,
도 6은 도5의 FED에 사용되는 지지부재의 정렬방법의 설명도.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
1: 외위기2: 애노드기판
3: 캐소드기판6: 표시부
7: 전계방사소자(전자원)15(15A,15B): 지지부재
16: 판재17: 관통창
18: 관통구멍19: 보강용 지주
26(26a,26b): 전극
상기 목적을 달성하기 위하여 청구항 1의 발명은, 기밀외위기내에 수납배열설치되고, 상기 기밀외위기를 내면측에서 지지하는 기밀 외위기용 지지부재에 있어서,
소정간격으로 복수의 관통구멍이 형성됨과 동시에, 전자를 통과시키기 위한 관통창이 형성된 판재와,
상기 관통구멍 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 상기 관통구멍에 고착되고, 양단부가 상기 기밀외위기 내면에 맞닿아 설치된 보강용지주를 구비함을 특징으로 한다.
청구항 2의 발명은, 표시부가 내면에 형성된 애노드기판과, 그 애노드기판 표시부와 대면하는 내면측에 전자원을 구비한 캐소드기판이 소정간격으로 외주부에서 봉지된 기밀외위기내에 수납배열설치되고, 상기 기밀외위기를 내면측에서 지지하는 기밀외위기용 지지부재에 있어서,
소정간격으로 복수의 관통구멍이 형성됨과 동시에, 상기 전자원에서 방출되는 전자를 통과시키기 위한 관통창이 형성된 판재와,
상기 관통구멍 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 상기 관통구멍에 고착되고, 양단부가 상기 애노드기판 및 상기 캐소드기판 내면에 맞닿아 설치된 보강용지주를 구비함을 특징으로 한다.
청구항 3의 발명은, 청구항 2의 기밀외위기용 지지부재에 있어서, 상기 판재와 절연부재로 구성되고, 그 판재의 적어도 한쪽면에는 상기 관통창을 사이에 끼우듯이 대상(帶狀)전극이 형성되어 있고, 상기 관통창 양측에 위치하는 전극에 전계를 부여하여 상기 전자원에서 방출되는 전자를 집속 또는 확산함을 특징으로 한다.
청구항 4의 발명은, 청구항 2의 기밀외위기용 지지부재에 있어서, 상기 판재가 금속부재로 구성됨을 특징으로 한다.
청구항 5의 발명은, 청구항 1,2 또는 4의 기밀외위기용 지지부재에 있어서, 상기 지지부재를 구성하는 판재는 적어도 일부가 Zr를 함유하는 합금으로 구성되거나, 또는 상기 판재 표면에 Zr을 함유하는 합금이 막상으로 형성되어 있음을 특징으로 한다.
청구항 6의 발명은, 애노드 도체와 형광체층에 의한 표시부가 내면에 형성된 애노드기판과,
그 애노드기판 표시부와 대면하는 내면측에 전계방사형 음극을 가지고, 상기 애노드 기판과 소정간격으로 외주부에서 봉지되는 캐소드기판과,
상기 애노드기판과 상기 캐소드기판 사이에 설치된 지지부재를 구비하고 있으며,
그 지지부재는 소정간격으로 복수의 관통구멍이 형성됨과 동시에, 상기 전계방사형 음극에서 방출되는 전자를 통과시키기 위한 관통창이 형성된 기판과, 상기 관통구멍 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 상기 관통구멍에 고착되고, 양단부가 상기 애노드 기판 및 상기 캐소드기판 내면에 맞닿아 설치된 보강용지주를 구비함을 특징으로 한다.
[발명의 실시형태]
도 1은 본 발명에 의한 기밀외위기를 이루는 FED의 부분측면도, 도 2는 도1의 FED의 외위기내에 수납배열설치된 기밀외위기용의 지지부재의 제1실시 형태를 나타내는 부분확대 사시도이다.
기밀외위기를 이루는 FED의 외위기(1)는 애노드기판(2)과 캐소드기판(3)이 소정간격으로 대면하고, 가령 연화온도가 400℃ 정도의 저연화점 유리에 의해 양 기판(2,3)의 외주부에 봉착되어 있다. 여기서 양기판(2,3)의 간격은 예컨대 1mm로 설정되어 있다. 그리고, 이 FED는 통상의 FED보다 높은, 가령 1KV이상의 애노드전압으로 구성된다.
애노드기판(2)은, 투광성을 갖는 직사각형의 절연판으로 구성되고, 애노드기판(2) 내면에는 후기하는 전계방사소자(7)와 대면하는 위치에 형광체층(5)이 도트상으로 피착 형성되어 있다. 그 상면에 도전성을 갖는 금속박판, 가령 A1 박판등의 애노드 도체(4)가 형성되어 있다. 그리고, 애노드도체(4)와 형광체층(5)에 의해 애노드로서의 표시부(6)를 구성하고 있다.
캐소드기판(3)은 애노드 기판(2)과 동형의 절연판으로 구성되어있다. 캐소드기판(3)의 내면에는 표시부(6)의 전자원을 이루는 수직형 전계방사소자(7)가 형성되어 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 전계방사소자(7)는 캐소드 기판(3) 내면에 형성된 캐소드전극(8)과, 캐소드전극(8)상에 형성된 산화실리콘 등의 절연층(9)과, 절연층(9)상에 형성된 게이트전극(10)과, 절연층(9) 및 게이트전극(10)에 형성된 홀(11)내에 있어서 캐소드전극(8)상에 설치된 콘형상의 에미터(12)를 구비하고 있다.
또한, 전계방사소자로서 캐소드전극(8)과 절연층(9)사이에 저항층이 형성된 것도 있다. 또, 전계방사소자(7)에 있어서의 캐소드전극(8)과 게이트 전극(10)을 매트릭스상으로 설치하고, 애노드기판(2)에 피착되는 형광체층(5)을 외위기(1)내에 빈틈없이 형성하면, 캐소드전극(8)과 게이트전극(10)의 교차위치에 대면하는 형광체층(5)을 선택적으로 발광시킬 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 외위기(1)내에는 애노드기판(2)과 캐소드기판(2)을 내면측에서 지지하여 양 기판(2,3) 사이를 일정간격으로 유지하기 위한 지지부재(15(15A))가 수납배열설치되어 있다. 지지부재(15)는 투광성을 갖는 유리판이나 세라믹판, 금속판 등의 직사각형 형상의 판재(16)로 구성된다.
판재(16)에는 각 형광체층(5)과 대면하는 위치에 표시부(6)의 화소(畵素)에 대응한 형상(도시예에서는 직사각형 형상)의 관통창(17)이 형성되어 있다. 관통창(17)은 표시부(6)의 패턴형상에 따라 발광표시를 위한 전자궤도를 저해하지 않도록 형성된다. 구체적으로는 직사각형 형상으로 개구한 관통창(7)이 형성되어 있다.
판재(16)에 있어서의 관통창(17)을 피한 위치에는 테이퍼상의 지주위치결정용 관통구멍(이하, 관통구멍; 18)이 소정간격으로 형성되어 있다. 도2의 예에 있어서, 관통구멍(18)은 각 관통창(17)의 단변(短邊)에 근접한 위치에 종횡 일정간격(L1,L2)으로 형성되어있다. 각 관통구멍(18)에는 가령 유리파이버등의 절연부재로 되는 동일 길이의 보강용 지주(19)가 삽통되어 있다. 각 보강용지주(19)는 관통구멍(18)으로의 삽통방향인 길이방향의 중앙부분이 고착재(20)에 의해 관통구멍(18)에 고착되어 있다.
또한, 보강용 지주(19)는 전체가 절연성을 가지고 있을 필요는 없고, 적어도 양단부가 절연성을 가지고 있으면 다른 부분을 금속부재로 형성하여도 된다.
상기 구성에 따르는 지지부재(15)는 각 보강용 지주(19)의 일단면(19a)이 애노드기판(2)의 내면측에 맞닿고, 또한 타단면(19b)이 캐소드기판(3) 내면측에 맞닿은 상태로 외위기(1)내에 수납배열설치된다. 이에따라 애노드기판(2)과 캐소드 기판(3)을 내면측에서 지지하고, 애노드 기판(2)과 캐소드 기판(3)사이를 일정간격으로 유지하여 외부로 부터의 대기압에 의한 외위기(1)의 변형을 방지하고 있다.
그리고, 상기와 같이 구성된 FED는, 전계방사소자(7)에서 전자가 방출되면 이 전자가 지지부재(15)에 관통창(17)을 통과하여 형광체층(5)에 사돌하고, 형광체층(5)이 여기발광한다. 이때의 발광은 투광성의 애노드 기판(2)을 통하여 관찰된다.
다음에, FED의 외위기(1)내에 수납배열설치되는 지지부재(15)의 제작방법은 도3(a)∼(e)에 의거하여 설명한다.
지지부재(15)를 제작함에 있어서는 도3(b)에 도시된 바와 같은 전용 지그(21)가 사용된다. 지그(21)는 지지부재(15)의 판재(16)에 형성된 각 관통구멍(18)에 대응하는 부분에만 관통구멍(18)보다 대직경으로 관통한 개구부(22)가 형성된 기대(23)와, 관통구멍(18)에 삽입되어 개구부(22)에 임한 보강용 지주(19)를 기대(23)의 하부에 밀착하여 설치된 판상 다공정부(24)의 표면(24a)에 흡인유지하는 흡인장치(25)를 구비하여 구성된다.
그리고, 지지부재(15)를 제작할 경우에는 도3(a)에 도시된 바와 같이, 우선, 직사각형 형상 판재(16)에 대하여 보강용 지주(19)를 위치결정하기 위한 관통구멍(18)과, 표시부(6)의 화소에 대응한 관통창(17)을 에칭법으로 형성한다.
다음에, 도3(b)에 도시된 바와 같이, 판재(16)의 각 관통구멍(18)이 개구부(22)상에 위치하도록 판재(16)를 지그(21)의 기대(23)의 표면(23a)에 밀착시켜서 세트하고, 각 관통구멍(18)에 보강용 지주(19)를 삽입한다. 각 보강용 지주(19)는 단면(타단면(19b))이 개구부(22)에 임하여 다공질부(24)의 표면(24a)에맞닿을 때까지 삽입된다. 이 상태로 흡인장치(25)를 작동시키고, 도3(c)에 도시된 바와 같이, 각 보강용 지주(19)의 타단면(19b)을 다공질부(24)의 표면(24a)에 흡인유지한다.
또한, 기대(23)의 높이는, 보강용 지주(19)를 관통구멍(18)에 삽입했을 때에 보강용 지주(19)의 중앙부분이 관통구멍(18)에 위치하도록 설정되어 있다. 이에따라, 판재(16)에 대한 각 보강용 지주(19)의 높이방향의 위치관계를 규정하고 있다. 그리고, 복수의 보강용 지주(19)는 개개로 대응하는 관통구멍(18)에 삽입되고, 각 보강용 지주(19)의 중앙부분이 관통구멍(18)에 위치된 상태로 1매의 판재(16)로 정렬된다. 그때, 판재(16)의 관통창(17)은 기대(23)에 의해 가려지기 때문에 흡인장치(25)를 작동시켰을때에 이 관통창(17)에 보강용 지주(19)가 흡인되는 일은 없다.
다음에, 각 보강용지주(19)를 판재(16)의 관통구멍(18)에 고정하고자, 도3(c)에 도시된 바와 같이 관통구멍(18)과 보강용 지주(19)와의 접촉부에 대하여, 디스펜서에 의해 고착재(20)를 도포한다. 그때, 흡인장치(25)의 흡인력을 저하시켜서 관통구멍(18)로 부터의 고착재(20)의 흡입을 방지한다. 또한, 고착재(20)로는 가령 감광성 아크릴 수지에 저연화점 유리를 혼입시켜서 페이스트상으로한 재료 등이 고려된다.
다음에, 도3(d) 에 도시한 바와 같이, 고착재(20)의 페이스트 도포까지 완료한 판재(16)에 대하여 자외선을 조사하여, 고착재(20)를 경화시킨다. 그 후, 흡인장치(25)에 의한 흡인을 풀고, 판재(16)를 지그(21)로부터 해체한다. 이에 의해, 도3(e)에 도시된 같이, 1매의 판재(16)에 대하여 복수의 보강용 지주(19)가 고착된 지지부재(15)가 완성된다.
또한, 상기 고착재(20) 경화후, 종래기술과 동일하게 각 보강용 지주(19)의 일단면(19a)에 고착재를 도포하여 애노드기판(2)에 고착시키고, 그후, 각 보강용 지주(19)의 타단면(19b) 및 애노드기판(2)의 외주부에 고착재를 각각 도포하고, 보강용 지주(19)의 타단면(19b)을 캐소드기판(3)에 고착시킴과 동시에, 기판(2,3) 사이의 외주부를 고착시켜서 외위기(1)를 조립하여도 된다.
다음에, 도 4는 본발명에 의한 기밀외위기용 지지부재의 제2실시형태를 나타내는 부분확대 평면도이다. 또한 제1실시형태의 지지부재와 동일한 구성요소에는 동일번호를 부기하여 그 설명을 생략한다.
이 제2 실시형태에 의한 지지부재(15(15B))는 판재(16)가 유리판, 세라믹판 등의 절연판으로 구성된다. 그리고, 판재(16)에는 가령 알루미늄 등의 도전성 금속으로 되는 전극(26)이 형성되어 있다. 구체적으로는 도4에 도시된 바와 같이, 판재(16)의 표면(16a)에는 각 관통창(17)을 사이에 끼우듯이 각 관통창(17) 단면과 평행으로 대상의 전극(26a)이 형성되어 있다. 또, 판재(16)의 이면(16b)에는 판재(16)의 표면(16a)측에 형성된 전극(26a)과 직교하고, 각 관통창(17)을 사이에 끼우듯이 대상의 전극(26b)이 형성되어 있다.
그리고, 이 제2실시형태는, 관통창(17) 양측에 형성된 판재(16)의 표면(16a) 또는 이면(16b)의 2개의 전극(26), 또는 1개의 관통창(17) 양측에 형성된 판재(16)의 표면(16a) 및 이면(16b)의 각각 2개의 전극(26)에 전계를 가함으로써 전계방사소자(7)에서 방출된 전자를 관통창(17)을 통하여 표시부(6)에 집속 또는 확산하는 제어전극으로서 기능시킬 수 있다.
또한, 도 4 표시의 예에서는, 판재(16)의 표면(16a) 및 이면(16b)에 서로 직교시켜서 대상의 전극(26a,26b)을 형성하고 있으나, 판재(16)의 표면(16a) 또는 이면(16)의 한쪽면에만 대상의 전극(26)을 형성하는 구성으로 하여도 된다.
따라서, 상기 실시 형태의 지지부재에 의하면 각 보강용 지주(19)의 길이방향(축방향)의 중앙부분이 판재(16)의 관통구멍(18)에 고착되고, 모든 보강용 지주(19)가 1매의 판재(16)에 연결된 일체구조이므로, 각 보강용지주(19)의 위치 어긋남을 충분히 작게할 수 있고, 종래의 구조에 비해 내구응력, 내좌굴특성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라 외위기(1)를 구성하는 애노드기판(2)과 캐소드기판(3) 사이를 안정적으로 지지하고, 외부로 부터의 대기압에 의한 외위기(1)의 변형을 방지할 수 있다.
애노드기판(2)이나 캐소드기판(3)의 제작프로세스에 관계없이 지지부재(15)를 독립적으로 제작할 수 있고, 최종단계의 조립공정에서 외위기(1)내에 수용할 수 있다. 이때문에, 지지부재(15)의 제작공정이 다른 공정에 주는 영향이 적다.
지지부재(15)의 판재(16)를 절연부재로 구성하고, 적어도 한쪽면에 전극(26)이 형성된 구성이므로 관통창(17) 양측에 위치하는 2개의 전극(26)에 전계를 가함으로써 전계방사소자(7)에서 방출되는 전자를 가속제어하여 관통창(17)을 통과시켜서 표시부(6)에 집속 또는 확산할 수 있다.
지지부재(15)의 판재(16)를 금속판으로 구성하고, 일정전위를 걸므로서 전계방사소자(7)에서 방출되는 전자를 가속제어하고, 관통창(17)을 통과시켜서 표시부(6)에 집속 또는 확산할 수 있다. 또, 일정전위를 걸므로서 판재(16)를 경계로하여 고압구동되는 애노드측과, 저압구동되는 캐소드측을 차폐할 수 있다. 또한, 전계방사소자(7)에서 방출된 전자는 개구부인 표시도트와 동일형상으로 형성된 관통창(17)을 통과하므로 더욱 명확한 표시도트 단위의 표시를 행할 수 있다.
또한, 지지부재(15)를 구성하는 판재(16)를 적어도 일부가 Zr을 함유하는 합금으로 구성하거나, 또는 판재(16) 표면에 Zr을 함유하는 합금이 막상으로 형성함으로써 지지부재(15)에 게터작용도 하게하고, 외위기내의 가스를 흡착하여 표시부(6)나 전계방사소자(7)의 가스에 의한 오염을 방지함과 동시에 외위기내의 진공도를 높일 수 있다.
그런데, 상기 실시형태에서는, 기밀외위기로서 FED를 예로들어 설명하였으나, 고진공상태에서 박형의 기밀구조가 요구되는 용기라면 이에 한정되지 않고, 가령 진공마이크로 자기센서, 고속스위칭소자, 촬상소자, 판독장치 등의 기밀외위기라도 된다.
이상의 설명으로 분명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 각 보강용 지주의 축방향의 중앙부분이 판재의 관통구멍에 고착되고, 모든 보강용 지주가 1매의 판재에 연결된 일체구조이므로 각 보강용 지주의 위치 어긋남을 충분히 작게할 수 있어, 종래 구조에 비해 내구응력, 내좌굴 특성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라 외위기를 구성하는 기판 사이를 안정적으로 지지하고, 외부로 부터의 대기압에 의한 외위기 변형을 방지할 수 있다.
청구항 3의 발명에 의하면, 지지부재의 판재를 절연부재로 구성하고, 적어도 한쪽면에 전극이 형성된 구성이므로 투광부 양측에 위치하는 2개의 전극에 전계를 가함으로써 전자원에서 방출되는 전자를 가속제어하고, 투광부를 통과시켜서 표시부에 집속 또는 확산할 수 있다.
청구항 4의 발명에 의하면, 지지부재의 판재가 금속부재로 구성되므로 일정 전위를 걸므로써 전계방사소자에서 방출되는 전자를 가속제어하고, 관통창을 통과시켜서 애노드에 집속 또는 확산할 수 있다. 또, 판재를 경계로 하여 고압구동되는 애노드측과, 저압구동되는 캐소드측을 차폐할 수 있다.
청구항 5의 발명에 따르면, 지지부재를 구성하는 판재가 적어도 일부에 Zr을 함유하는 합금으로 구성되거나 또는 판재 표면에 Zr을 함유하는 합금이 막상으로 형성되어 있으므로, 지지부재에 게터작용을 갖게하여 외위기내의 가스를 흡착하여 표시부나 전계방사 소자의 가스에 의한 오염을 막을 수 있음과 동시에 외위기내의 진공도를 높일 수 있다.
Claims (7)
- 기밀외위기내에 수납배열설치되고, 상기 기밀외위기를 내면측에서 지지하는 기밀외위기용 지지부재에 있어서,소정간격을 두고 복수의 관통구멍이 형성됨과 동시에 전자를 통과시키기 위한 관통창이 형성된 판재와,상기 관통구멍 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 상기 관통구멍에 고착되고, 양단부가 상기 기밀외위기 내면에 맞닿아 설치된 보강용 지주를 구비한 것을 특징으로 하는 기밀외위기용 지지부재.
- 표시부가 내면에 형성된 애노드기판과, 그 애노드기판의 표시부와 대면하는 내면측에 전자원을 구비한 캐소드 기판이 소정간격을 두고 외주부로 봉지된 기밀외위기내에 수납설치되고, 상기 기밀외위기를 내면측에서 지지하는 기밀외위기용 지지부재에 있어서,소정간격을 두고 복수의 관통구멍이 형성됨과 동시에, 상기 전자원에서 방출되는 전자를 통과시키기 위한 관통창이 형성된 판재와,상기 관통구멍 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 상기 관통구멍에 고착되고, 양단부가 상기 애노드기판 및 상기 캐소드기판 내면에 맞닿아 설치된 보강용 지주를 구비한 것을 특징으로 하는 기밀외위기용 지지부재.
- 제 2 항에 있어서, 상기 판재가 절연부재로 구성되고, 그 판재의 적어도 한쪽면에는 상기 관통창을 양쪽에서 끼우듯이 하여 대상의 전극이 형성되어 있고, 상기 관통창 양측에 위치하는 전극에 전계를 부여하여 상기 전자원에서 방출되는 전자를 집속 또는 확산하는 것을 특징으로 하는 기밀외위기용 지지부재.
- 제 2 항에 있어서, 상기 판재가 금속부재로 구성된 것을 특징으로 하는 기밀 외위기용 지지부재.
- 제 1 항에 있어서, 상기 지지부재를 구성하는 판재는 적어도 일부가 Zr을 함유하는 합금으로 구성되거나, 또는 상기 판재 표면에 Zr을 함유하는 합금이 막상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기밀외위기용 지지부재.
- 애노드 도체와 형광체층에 의한 표시부가 내면에 형성된 애노드 기판과,그 애노드 기판의 표시부와 대면하는 내면측에 전계방사형 음극을 가지고 있고, 상기 애노드 기판과 소정간격을 두고 외주부로 봉지되는 캐소드기판과,상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판사이에 설치된 지지부재를 구비하고 있으며,그 지지부재는, 소정간격을 두고 복수의 관통구멍이 형성됨과 동시에, 상기 전계방사형 음극에서 방출되는 전자를 통과시키기 위한 관통창이 형성된 판재와, 상기 관통구멍 각각에 삽입되어 축방향의 중앙부분이 상기 관통구멍에 고착되고,양단부가 상기 애노드 기판 및 상기 캐소드 기판 내면에 맞닿아 설치된 보강용 지주를 구비한 것을 특징으로 하는 기밀외위기.
- 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 지지부재를 구성하는 판재는 적어도 일부가 Zr을 함유하는 합금으로 구성되거나, 또는 상기 판재 표면에 Zr을 함유하는 합금이 막상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기밀외위기용 지지부재.
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