JPH1173883A - 表示装置の基板位置合わせ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 正確かつ容易に基板間の位置決めを行う。 【解決手段】 陽極基板２及び陰極基板３の内面にそれ
ぞれ位置決め用のマーク１６ａ，１６ｂを形成する。支
柱２１ｂの一端を陰極基板３上に配置して光学顕微鏡の
レンズ２２の焦点を陰極基板３のマーク１６ｂに合わ
せ、支柱２１ｂの一端の外形を陰極基板３のマーク１６
ｂに位置合わせする。支柱２１ｂの他端を陽極基板２上
に配置して光学顕微鏡のレンズ２２の焦点を陽極基板２
のマーク１６ａに合わせ、支柱２１ｂの他端の外形を陽
極基板２のマーク１６ａに位置合わせする。これによ
り、陽極基板２と陰極基板３との間が位置合わせされ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電界放射素
子を電子源とする電界放出形表示装置のように、対向す
る基板のそれぞれに素子が形成され、素子間のアライメ
ントが必要な表示装置の基板位置合わせ方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】表示装置として、電界放射素子を電子源
とする電界放出形表示装置（以下、ＦＥＤという）を例
にとって説明する。ＦＥＤは、蛍光体層を有する表示部
としてのアノードを備えた陽極基板と、陽極基板の表示
部と対面する内面側にカソードとしての電界放射素子を
備えた陰極基板とを、所定間隔をおいて外周部で封止し
て外囲器を構成している。

【０００３】ところで、上記ＦＥＤを製作する場合、ア
ノードとカソードの位置合わせが重要な問題となる。こ
のため、従来は、陽極基板及び陰極基板の素子の形成時
に、位置決め用のマークとして、図７（ａ）に示すよう
な十字型に抜かれた矩形状のマーク５１を陽極基板５２
の内面に形成し、図７（ｂ）に示すような十字型のマー
ク５３を陰極基板５４の内面に形成しておく。そして、
図７（ｃ）に示すように、陽極基板５２と陰極基板５４
とを対向配置し、陽極基板５２の十字型のマーク５３が
陰極基板５４のマーク５３の十字型に抜かれた部分に合
うように光学顕微鏡による像の画像処理を利用し、マー
ク５１、５３同志を位置合わせして基板５２，５４間の
位置決めを行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、各基板５２，５４間の距離Ｌがある程度大き
くなると、光学顕微鏡でどちらか一方のマーク５１（又
は５３）にレンズの焦点を合わせた場合、他方の基板の
マークの像はレンズの焦点が合わないためにぼけてしま
う。この現象は、基板５２，５４間の距離Ｌが２００μ
ｍ程度と狭くても生じる。このため、厳しい位置合わせ
精度が要求されるような小型高精細のカラーＦＥＤなど
の位置決めが困難となる。そして、アノードとカソード
の位置がずれると、本来発光すべき表示部の位置が発光
せず、隣接する他の色が発光したり、混色等の表示不良
になりやすく、解像度の低下を招く等の問題がある。

【０００５】また、特に、アノードが高電圧駆動される
ＦＥＤの場合には、陽極基板と陰極基板の間隔を大きく
しなければならない可能性がある。このため、アノード
とカソードの正確な位置合わせがより困難となる。しか
も、アノードスイッチングしない高電圧アノードタイプ
のＦＥＤでは、アノードとカソードの位置がずれると、
混色等の表示不良になりやすいという問題を生じる。し
たがって、アノードとカソードの間隔が大きくなっても
正確な位置合わせが可能な方法が必要であった。

【０００６】そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてな
されたものであり、例えば光学顕微鏡を使用して基板間
の位置合わせを行うにあたって、正確かつ容易に基板間
の位置決めを行うことができる表示装置の基板位置合わ
せ方法を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、対向配置される２枚の基板の内
面の少なくとも２箇所の離れた位置にそれぞれ位置決め
用のマークを形成すると共に、前記マークの形成位置に
合わせて前記基板の内面に素子をそれぞれ形成し、支柱
の一端を前記一方の基板上に配置して前記支柱の一端の
外形を前記一方の基板上のマークに位置合わせし、前記
支柱の他端を前記他方の基板上に配置して前記支柱の他
端の外形を前記他方の基板上のマークに位置合わせして
前記基板間を位置合わせすることを特徴とする。

【０００８】請求項２の発明は、対向配置される２枚の
矩形状の基板の内面の少なくとも対角位置にそれぞれ位
置決め用のマークを形成すると共に、前記マークの形成
位置に合わせて前記基板のそれぞれの内面に素子を形成
し、前記基板間に配設される枠体の表裏面の対角位置に
位置決め用のマークを形成し、前記枠体の一方の面を前
記一方の基板上に配置して前記枠体の一方の面側のマー
クを前記一方の基板上のマークに位置合わせし、前記枠
体の他方の面を他方の基板上に配置して前記枠体の他方
の面のマークを前記他方の基板上のマークに位置合わせ
して前記基板間を位置合わせすることを特徴とする。

【０００９】請求項３の発明は、対向配置される２枚の
矩形状の基板の内面の少なくとも対角位置にそれぞれ位
置決め用のマークを形成すると共に、前記マークの形成
位置に合わせて前記基板の内面に素子をそれぞれ形成
し、前記基板間に配設される枠体の表裏面の対角位置に
位置決め用の穴を形成し、前記枠体の一方の面を前記一
方の基板上に配置して該一方の基板と接する前記枠体の
穴の外形を前記一方の基板のマークに位置合わせし、前
記枠体の他方の面を前記他方の基板上に配置して該他方
の基板と接する前記枠体の穴の外形を前記他方の基板の
マークに位置合わせして前記基板間を位置合わせするこ
とを特徴とする。

【００１０】請求項４の発明は、請求項１の表示装置の
基板位置合わせ方法において、前記基板間の前記素子を
避けた位置に前記支柱を複数配設することを特徴とす
る。

【００１１】請求項５の発明は、蛍光体層を有する表示
部を備えた陽極基板と、前記陽極基板の前記表示部と対
面する内面側に電界放射素子を備えた陰極基板とが、所
定間隔をおいて外周部で封止されて外囲器を構成する表
示装置の基板位置合わせ方法において、前記陽極基板及
び陰極基板の内面の少なくとも２箇所の離れた位置にそ
れぞれ位置決め用のマークを形成し、支柱の一端を前記
陰極基板上に配置して前記支柱の一端の外形を前記陰極
基板のマークに位置合わせし、前記支柱の他端を前記陽
極基板上に配置して前記支柱の他端の外形を前記陽極基
板のマークに位置合わせして前記陽極基板と前記陰極基
板との間を位置合わせすることを特徴とする。

【００１２】請求項６の発明は、蛍光体層を有する表示
部を備えた矩形状の陽極基板と、前記陽極基板の前記表
示部と対面する内面側に電界放射素子を備えた矩形状の
陰極基板とが、所定間隔をおいて外周部で封止されて外
囲器を構成する表示装置の基板位置合わせ方法におい
て、前記陽極基板及び陰極基板の内面の少なくとも対角
位置にそれぞれ位置決め用のマークを形成し、前記基板
間に配設される枠体の表裏面の対角位置に位置決め用の
マークを形成し、枠体の一方の面を前記陰極基板上に配
置して前記枠体の一方の面側のマークを前記陰極基板の
マークに位置合わせし、前記枠体の他方の面を前記陽極
基板上に配置して前記枠体の他方の面のマークを前記陽
極基板上のマークに位置合わせして前記陽極基板と前記
陰極基板との間を位置合わせすることを特徴とする。

【００１３】請求項７の発明は、蛍光体層を有する表示
部を備えた矩形状の陽極基板と、前記陽極基板の前記表
示部と対面する内面側に電界放射素子を備えた矩形状の
陰極基板とが、所定間隔をおいて外周部で封止されて外
囲器を構成する表示装置の基板位置合わせ方法におい
て、前記陽極基板及び陰極基板の内面の少なくとも対角
位置にそれぞれ位置決め用のマークを形成し、前記基板
間に配設される枠体の表裏面の対角位置に位置決め用の
穴を形成し、枠体の一方の面を前記陰極基板上に配置し
て該陰極基板と接する前記枠体の穴の外形を前記陰極基
板のマークに位置合わせし、前記枠体の他方の面を前記
陽極基板上に配置して該陽極基板と接する前記枠体の穴
の外形を前記陽極基板上のマークに位置合わせして前記
陽極基板と前記陰極基板との間を位置合わせすることを
特徴とする。

【００１４】請求項８の発明は、請求項５の表示装置の
基板位置合わせ方法において、前記表示部及び前記電界
放射素子を避けた位置に前記支柱を複数配設することを
特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の基板位置決め方法
が適用される表示装置としてのＦＥＤの部分拡大断面図
である。

【００１６】図１に示すように、各実施の形態によるＦ
ＥＤ１は、絶縁性及び透光性を有する矩形状の陽極基板
２と、絶縁性を有する矩形状の陰極基板３とが、封着剤
（低軟化点ガラス）やガラス部材からなる絶縁性のスペ
ーサ部材４を介して一体に封着された薄い箱形の外囲器
５を有している。両基板２，３の間隔は、例えば２００
μｍ前後であり、アノードを高電圧駆動する場合には１
ｍｍ程度に設定される。

【００１７】なお、図示はしないが、陰極基板３の隅部
には排気孔が形成されており、外囲器５内の気体は排気
孔から排気される。排気後、この排気孔が封止されて外
囲器５内が高真空状態に保持される。

【００１８】外囲器５内の陽極基板２と対面する陰極基
板３上には、表示部の電子源をなすカソードとしての縦
型の電界放射素子６が形成されている。電界放射素子６
は、陰極基板３の内面に形成された陰極電極７と、陰極
電極７上に形成された抵抗層８と、抵抗層８上に形成さ
れた酸化シリコン等の絶縁層９と、絶縁層９上に形成さ
れたゲート電極１０と、絶縁層９及びゲート電極１０に
形成されたホール１１内において抵抗層８上に設けられ
たコーン形状のエミッタ１２を有している。尚、ＦＥＤ
１として抵抗層８の無いものもある。

【００１９】外囲器５内の陽極基板２の内面には、電界
放射素子６と対面する位置に、アノードとしての陽極電
極１３が形成されている。陽極電極１３は、陽極基板２
上に形成された透光性の陽極導体１４と、陽極導体１４
上に形成された蛍光体層１５からなる。

【００２０】陽極基板２及び陰極基板３の内面側で、表
示の妨げにならない対角位置の角部分には、陽極基板２
と陰極基板３との間の位置決め用のアライメントマーク
（以下、マークという）１６が形成されている。このマ
ーク１６は、フォトリソグラフィ及びエッチングの手法
により、例えば２つの短冊状の矩形１６ａが直交する十
字型に薄膜状に形成される。なお、マーク１６は、対角
位置の２箇所のみでなく、陽極基板２及び陰極基板３の
四隅全てに形成してもよい。

【００２１】陽極基板２側のマーク１６Ａは、陽極導体
１４の形成時に一緒に形成される。陰極基板３側のマー
ク１６Ｂは、陰極基板３への陰極電極７の形成時に一緒
に形成される。電界放射素子６の他の部分（抵抗層８、
絶縁層９、ゲート電極１０、ホール１１、エミッタ１
２）については、マーク１６Ｂの形成位置に合わせて適
宜形成される。

【００２２】なお、各基板２，３に形成されるマーク１
６Ａ，１６Ｂは、図に示す十字型に限るものではなく、
後述する支柱２１Ｂ、２３、枠体からなるスペーサ部材
４に形成されるマーク２４や貫通穴２５と位置合わせ可
能な形状であればよい。

【００２３】上記構成によるＦＥＤ１では、電界放射素
子６から電子が放出されると、この電子が陽極電極１３
の蛍光体層１５に射突して励起発光する。このときの発
光は陽極導体１４と透光性の陽極基板２を介して観察さ
れる。

【００２４】次に、図２（ａ）は本発明の第１実施の形
態を示す図、図２（ｂ）は基板間の位置合わせ状態を示
す平面図である。なお、図２では、陽極基板２の表示部
及び陰極基板３の電界放射素子６の図示を省いている。

【００２５】図２（ａ）に示すように、第１実施の形態
は、基板２，３間の表示の妨げにならない位置に円柱状
の支柱２１が複数配設されたものである。支柱２１は、
耐大気圧用の支柱２１Ａと、基板２，３間の位置決め用
の支柱２１Ｂとにより構成される。位置決め用の支柱２
１Ｂは、各基板２，３のマーク１６Ａ，１６Ｂに対応し
た位置に配設される。この位置決め用の支柱２１Ｂを利
用して陽極基板２と陰極基板３との間の位置合わせが行
われる。

【００２６】基板２，３間の位置合わせを行うにあたっ
ては、まず、一方の基板、すなわち陰極基板３のマーク
１６Ｂ上に支柱２１Ｂの一端を配置する。その際、耐大
気圧用の支柱２１Ａも表示の妨げにならない位置に複数
配置される。この状態で、支柱２１Ｂの一端の外形と陰
極基板３のマーク１６Ｂに光学顕微鏡のレンズ２２の焦
点を合わせ、両者の位置関係をそれぞれ画像処理し、陰
極基板３に接する支柱２１Ｂの一端の外形を陰極基板３
のマーク１６Ｂ上に位置合わせする。

【００２７】図２（ｂ）の例では、陰極基板３の十字型
のマーク１６Ｂの４箇所の各先端部分の３辺に支柱２１
Ｂの外形が接するように、４個の支柱２１Ｂをそれぞれ
位置合わせする。この位置合わせの後、各支柱２１Ｂの
一端を陰極基板３に固定する。

【００２８】次に、他方の基板、すなわち陽極基板２の
マーク１６Ａを支柱２１Ｂの他端上に配置する。この状
態で、支柱２１Ｂの他端の外形と陽極基板２のマーク１
６Ａに光学顕微鏡のレンズ２２の焦点を合わせ、両者の
位置関係をそれぞれ画像処理し、陽極基板２に接する支
柱２１Ｂの他端の外形を陽極基板２のマーク１６Ａ上に
位置合わせする。

【００２９】図２（ｂ）の例では、上述したように、陽
極基板２の十字型のマーク１６Ａの４箇所の各先端部分
の３辺に支柱２１Ｂの外形が接するように、４個の支柱
２１Ｂをそれぞれ位置合わせする。この位置合わせの
後、各支柱２１Ｂの他端を陽極基板２に固定する。これ
により、表示部（アノード）と電界放射素子（カソー
ド）との間が位置ずれすることなく、陽極基板２と陰極
基板３との間の位置合わせが行われる。

【００３０】次に、図３（ａ）は本発明の第２実施の形
態を示す図、図３（ｂ）は基板間の位置合わせ状態を示
す平面図である。なお、図３では、陽極基板２の表示部
及び陰極基板３の電界放射素子６の図示を省いている。

【００３１】前述した第１実施の形態では、表示部を備
えた陽極基板２と接する支柱２１Ｂは表示の妨げになら
ないように陽極基板２と接する面積を小さくする制限が
あり、位置合わせをする２枚の基板（陽極基板２、陰極
基板３）の間隔にある程度距離があると、支柱２１のア
スペクト比が大きくなる。

【００３２】このため、支柱２１を基板上に設置する場
合、小型高精細のように各画素間隔が小さいものほど基
板面に支柱２１を垂直に設置することが困難になる。

【００３３】そこで、上記問題を解消するため、第２実
施の形態では、図３（ａ）に示すように、耐大気圧用の
支柱２１Ａとは別に、支柱２１Ａよりもアスペクト比の
小さい支柱２３を基板２，３間に設けたものである。こ
の支柱２３は例えば円柱状をなし、耐大気圧用の支柱２
１Ａよりも太径に形成される。

【００３４】基板２，３間の位置合わせを行うにあたっ
ては、図３（ｂ）に示すように、陰極基板３に接する支
柱２３の一端の外形が陰極基板３の十字型のマーク１６
Ｂに外接するように、光学顕微鏡を用いて位置合わせす
る。この位置合わせの後、各支柱２３の一端を陰極基板
３に固定する。

【００３５】同様に、陽極基板２に接する支柱２３の他
端の外形が陽極基板２の十字型のマーク１６Ａに外接す
るように、光学顕微鏡を用いて位置合わせする。この位
置合わせの後、各支柱２３の他端を陽極基板２に固定す
る。これにより、陽極基板２と陰極基板３との間の位置
合わせが行われる。

【００３６】なお、上記第１、第２実施の形態におい
て、各基板２，３と位置合わせされる支柱２１Ｂ、２３
は、基板２，３のマーク１６の同一箇所の外形線に対し
て少なくとも２箇所以上で端面が接していればよい。

【００３７】次に、図４（ａ）は本発明の第３実施の形
態を示す図、図４（ｂ）は同側面図、図５は同実施の形
態による基板間の位置合わせ状態を示す平面図である。
なお、図４及び図５では、陽極基板２の表示部及び陰極
基板３の電界放射素子６の図示を省いている。

【００３８】図４（ａ）に示すように、第３実施の形態
は、スペーサ部材４が枠体で形成されている。枠体４の
対角線上に位置する角部分の表裏面には、陽極基板２と
陰極基板３との間の位置合わせ用のマーク２４（２４
Ａ，２４Ｂ）が形成されている。このマーク２４は、図
５に示すように基板２，３のマーク１６と略同一形状の
十字型に抜かれた４個矩形２４ａからなり、例えばフォ
トリソグラフィ及びエッチングの手法により薄膜状に形
成される。

【００３９】基板間の位置合わせを行うにあたっては、
図５に示すように、陰極基板３に接する枠体４の一端の
マーク２４Ａの十字型に抜かれた部分に陰極基板３の十
字型のマーク１６Ｂが納まるように、光学顕微鏡を用い
て位置合わせする。この位置合わせの後、枠体４の一端
を陰極基板３に固定する。

【００４０】同様に、陽極基板２に接する枠体４の他端
のマーク２４Ｂの十字型に抜かれた部分に陽極基板２の
十字型のマーク１６Ａが納まるように、光学顕微鏡を用
いて位置合わせする。この位置合わせの後、枠体４の他
端を陽極基板２に固定する。これにより、陽極基板２と
陰極基板３との間の位置合わせが行われる。

【００４１】次に、図６は本発明の第４実施の形態を示
す図である。第４実施の形態では、第３実施の形態のス
ペーサ部材４の表裏面に形成されたマーク２４Ａ，２４
Ｂに代えて、スペーサ部材４の対角線上に位置する角部
分に貫通穴２５が形成されている。

【００４２】基板間の位置合わせを行うにあたっては、
陰極基板３に接する枠体４の貫通穴２５の外形が陰極基
板３の十字型のマーク１６Ｂに外接するように、光学顕
微鏡を用いて位置合わせする。この位置合わせの後、枠
体４の一端を陰極基板３に固定する。

【００４３】同様に、陽極基板２に接する枠体４の貫通
穴２５の外形が陽極基板２の十字型のマーク１６Ａに外
接するように、光学顕微鏡を用いて位置合わせする。こ
の位置合わせの後、枠体４の他端を陽極基板２に固定す
る。これにより、陽極基板２と陰極基板３との間の位置
合わせが行われる。

【００４４】上記各実施の形態によれば、耐大気圧用の
支柱２１Ａの他に、位置合わせ用の支柱２１Ｂ、マーク
２４又は貫通穴２５の形成された枠体４を導入すること
により、それらが２枚の基板２，３と接する面と各基板
２，３のマーク１６との位置関係をみることで正確かつ
容易に基板２，３間の位置合わせを行うことができる。
また、通常のＦＥＤより陽極基板２と陰極基板３の間隔
を大きくしてアノードを高電圧駆動するＦＥＤに適用し
た場合でも、基板２，３間の位置合わせを正確かつ容易
に行うことができる。

【００４５】第１、第２実施の形態によれば、基板２，
３間に支柱２１を位置合わせする工程において、位置決
め用の支柱２１ｂ、２３を基板２，３のマーク１６ａ，
１６ｂに位置合わせすることにより、基板２，３間の位
置合わせを一緒に行うことができる。

【００４６】ところで、上記各実施の形態では、各基板
２，３のマーク１６ａ，１６ｂと位置合わせされる支柱
２１ｂ，２３、マーク２４、貫通穴２５の形状を円形と
して説明したが、各基板２，３に形成されるマーク１６
ａ，１６ｂと位置合わせ可能な形状であればよく、各基
板２，３のマーク１６ａ，１６ｂの形状に応じて適宜設
定できる。

【００４７】また、表示装置としてＦＥＤ１を例にとっ
て説明したが、対向する基板のそれぞれに素子が形成さ
れ、素子間のアライメントが必要とされるものであれば
よく、例えば液晶、ＰＤＰ等の表示装置にも適用するこ
とができる。

【００４８】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、それぞれ素子が形成された基板間の位置合わせ
を正確かつ容易に行うことができる。その結果、電界放
射素子を電子源とする表示装置の場合、隣接する他の色
を発光させたり、混色等の表示不良や解像度の低下を招
くことなく、所望の表示部の位置を発光させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板位置決め方法が適用される表示装
置としてのＦＥＤの部分拡大断面図

【図２】（ａ）本発明の第１実施の形態を示す図 （ｂ）基板間の位置合わせ状態を示す平面図

【図３】（ａ）本発明の第２実施の形態を示す図 （ｂ）基板間の位置合わせ状態を示す平面図

【図４】（ａ）本発明の第３実施の形態を示す分解斜視
図 （ｂ）同側面図

【図５】本発明の第３実施の形態による基板間の位置合
わせ状態を示す平面図

【図６】本発明の第４実施の形態を示す図

【図７】（ａ）従来の基板間の位置合わせに用いられる
陽極基板に形成される位置決め用のマークを示す平面図 （ｂ）陰極基板に形成される位置決め用のマークを示す
平面図 （ｃ）従来の基板間の位置合わせ方法を説明するための
図

【符号の説明】

２…陽極基板、３…陰極基板、４…スペーサ部材、５…
外囲器、６…電界放射素子、１３…陽極電極、１６（１
６ａ，１６ｂ）…マーク、２１Ａ…耐大気圧用の支柱、
２１Ｂ…位置決め用の支柱、２３…支柱、２４（２４
Ａ，２４Ｂ）…マーク、２５…貫通穴（マーク）。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向配置される２枚の基板の内面の少な
   くとも２箇所の離れた位置にそれぞれ位置決め用のマー
   クを形成すると共に、前記マークの形成位置に合わせて
   前記基板の内面に素子をそれぞれ形成し、支柱の一端を
   前記一方の基板上に配置して前記支柱の一端の外形を前
   記一方の基板上のマークに位置合わせし、前記支柱の他
   端を前記他方の基板上に配置して前記支柱の他端の外形
   を前記他方の基板上のマークに位置合わせして前記基板
   間を位置合わせすることを特徴とする表示装置の基板位
   置合わせ方法。
2. 【請求項２】 対向配置される２枚の矩形状の基板の内
   面の少なくとも対角位置にそれぞれ位置決め用のマーク
   を形成すると共に、前記マークの形成位置に合わせて前
   記基板のそれぞれの内面に素子を形成し、前記基板間に
   配設される枠体の表裏面の対角位置に位置決め用のマー
   クを形成し、前記枠体の一方の面を前記一方の基板上に
   配置して前記枠体の一方の面側のマークを前記一方の基
   板上のマークに位置合わせし、前記枠体の他方の面を他
   方の基板上に配置して前記枠体の他方の面のマークを前
   記他方の基板上のマークに位置合わせして前記基板間を
   位置合わせすることを特徴とする表示装置の基板位置合
   わせ方法。
3. 【請求項３】 対向配置される２枚の矩形状の基板の内
   面の少なくとも対角位置にそれぞれ位置決め用のマーク
   を形成すると共に、前記マークの形成位置に合わせて前
   記基板の内面に素子をそれぞれ形成し、前記基板間に配
   設される枠体の表裏面の対角位置に位置決め用の穴を形
   成し、前記枠体の一方の面を前記一方の基板上に配置し
   て該一方の基板と接する前記枠体の穴の外形を前記一方
   の基板のマークに位置合わせし、前記枠体の他方の面を
   前記他方の基板上に配置して該他方の基板と接する前記
   枠体の穴の外形を前記他方の基板のマークに位置合わせ
   して前記基板間を位置合わせすることを特徴とする表示
   装置の基板位置合わせ方法。
4. 【請求項４】 前記基板間の前記素子を避けた位置に前
   記支柱を複数配設する請求項１記載の表示装置の基板位
   置合わせ方法。
5. 【請求項５】 蛍光体層を有する表示部を備えた陽極基
   板と、前記陽極基板の前記表示部と対面する内面側に電
   界放射素子を備えた陰極基板とが、所定間隔をおいて外
   周部で封止されて外囲器を構成する表示装置の基板位置
   合わせ方法において、 前記陽極基板及び陰極基板の内面の少なくとも２箇所の
   離れた位置にそれぞれ位置決め用のマークを形成し、支
   柱の一端を前記陰極基板上に配置して前記支柱の一端の
   外形を前記陰極基板のマークに位置合わせし、前記支柱
   の他端を前記陽極基板上に配置して前記支柱の他端の外
   形を前記陽極基板のマークに位置合わせして前記陽極基
   板と前記陰極基板との間を位置合わせすることを特徴と
   する表示装置の基板位置合わせ方法。
6. 【請求項６】 蛍光体層を有する表示部を備えた矩形状
   の陽極基板と、前記陽極基板の前記表示部と対面する内
   面側に電界放射素子を備えた矩形状の陰極基板とが、所
   定間隔をおいて外周部で封止されて外囲器を構成する表
   示装置の基板位置合わせ方法において、 前記陽極基板及び陰極基板の内面の少なくとも対角位置
   にそれぞれ位置決め用のマークを形成し、前記基板間に
   配設される枠体の表裏面の対角位置に位置決め用のマー
   クを形成し、枠体の一方の面を前記陰極基板上に配置し
   て前記枠体の一方の面側のマークを前記陰極基板のマー
   クに位置合わせし、前記枠体の他方の面を前記陽極基板
   上に配置して前記枠体の他方の面のマークを前記陽極基
   板上のマークに位置合わせして前記陽極基板と前記陰極
   基板との間を位置合わせすることを特徴とする表示装置
   の基板位置合わせ方法。
7. 【請求項７】 蛍光体層を有する表示部を備えた矩形状
   の陽極基板と、前記陽極基板の前記表示部と対面する内
   面側に電界放射素子を備えた矩形状の陰極基板とが、所
   定間隔をおいて外周部で封止されて外囲器を構成する表
   示装置の基板位置合わせ方法において、 前記陽極基板及び陰極基板の内面の少なくとも対角位置
   にそれぞれ位置決め用のマークを形成し、前記基板間に
   配設される枠体の表裏面の対角位置に位置決め用の穴を
   形成し、枠体の一方の面を前記陰極基板上に配置して該
   陰極基板と接する前記枠体の穴の外形を前記陰極基板の
   マークに位置合わせし、前記枠体の他方の面を前記陽極
   基板上に配置して該陽極基板と接する前記枠体の穴の外
   形を前記陽極基板上のマークに位置合わせして前記陽極
   基板と前記陰極基板との間を位置合わせすることを特徴
   とする表示装置の基板位置合わせ方法。
8. 【請求項８】 前記表示部及び前記電界放射素子を避け
   た位置に前記支柱を複数配設する請求項５記載の表示装
   置の基板位置合わせ方法。