JP2001022289A - 表示装置および位置合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第１の基板と第２の基板との相対的位置関係
を精密に保って、第１の基板、第２の基板および枠部材
を封着できる表示装置を提供する。 【解決手段】 第１の基板（７０１）と、第２の基板
（７０３）と、前記第１および第２の基板を一定の間隔
で対峙させる枠部材（７０２）とを有する表示装置であ
って、前記第１基板の前記枠部材と接触する接触部、お
よび前記枠部材の前記第１の基板と接触する接触部の一
方に凸構造を、他方に凹構造を設け、前記第２基板の前
記枠部材と接触する接触部、および前記枠部材の前記第
２の基板と接触する接触部の一方に凸構造を、他方に凹
構造を設ける。例えば、前記枠部材（７０２）の前記第
１および第２の基板との接触部に凸構造（７０２１，７
０２２）を設け、前記第１および第２の基板の前記枠部
材との接触部に凹構造（７０１１，７０３１）を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置および位
置合わせ装置に係わり、特に、平面表示装置に適用して
有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、下記文献（イ）に記載されてい
るように、電子源アレイを作製した電子源板と、蛍光体
ストライプを形成した蛍光面板と、枠ガラスとを有し、
当該電子源板と、蛍光面板と、枠ガラスとで囲まれた空
間が真空雰囲気とされる平面型表示装置が知られてい
る。 （イ）The proceeding of SDI'97,paper6.2(pp.52-55) このような平面型表示装置において、電子源板と蛍光面
板とを、枠ガラスを用いて一定間隔で対峙させて固定す
る場合、電子源板と枠ガラスの接触する部分、および蛍
光面板と枠ガラスの接触する部分にフリットガラスを塗
布し、４００℃程度の高温で熱処理することにより、封
着を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記したような平面表
示装置では、通常、電子源ピクセルと蛍光体ピクセルが
一対一に対応するため、電子源板と蛍光面板との相対的
な位置を精密に制御する必要がある。例えば、２０イン
チの１０２４×１２８０画素のＳＸＧＡ方式の表示装置
では、ピクセルサイズが０．１ｍｍであり、位置合わせ
精度としては、その１／１０の１０ミクロンが必要であ
る。しかしながら、前記した封着方法では、熱処理の段
階でフリットガラスが溶融し、それによって、電子源板
と蛍光面ガラスとの相対的な位置関係がずれてしまうた
めに、電子源板と蛍光面板の相対的な位置関係を精密に
制御して、電子源板、蛍光面板および枠ガラスを封着に
より固定することは困難であった。本発明は、前記従来
技術の問題点を解決するためになされたものであり、本
発明の目的は、表示装置において、第１の基板と第２の
基板との相対的位置関係を精密に保って、第１の基板、
第２の基板および枠部材を封着により固定することが可
能となる技術を提供することにある。また、本発明の他
の目的は、表示装置の位置決め装置において、第１の基
板、第２の基板および枠部材を封着により固定する際
に、第１の基板と第２の基板との相対的位置関係を精密
に位置決めすることが可能となる技術を提供することに
ある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにす
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、第１および第２の
基板と、前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙
させる枠部材とを有する表示装置であって、前記第１基
板の前記枠部材と接触する接触部、および前記枠部材の
前記第１の基板と接触する接触部の一方に凸構造を、他
方に凹構造を設け、前記第２基板の前記枠部材と接触す
る接触部、および前記枠部材の前記第２の基板と接触す
る接触部の一方に凸構造を、他方に凹構造を設けたこと
を特徴とする。また、本発明は、第１および第２の基板
と、前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させ
る枠部材とを有する表示装置であって、前記第１および
第２の基板の前記枠部材と接触する接触部に、前記枠部
材が挿入される凹構造を設けたことを特徴とする。ま
た、本発明は、第１および第２の基板と、直方体の３面
以上の面で構成され、対峙する二面にそれぞれ前記第１
および第２の基板が固定される外枠部材と、前記外枠部
材の開放されている面を閉塞する内枠部材とを有する表
示装置であって、前記外枠部材の前記第１および第２の
基板と接触する接触部、および前記第１および第２の基
板の前記外枠部材と接触する接触部の一方に凸構造を、
他方に凹構造を設けたことを特徴とする。また、本発明
は、第１および第２の基板と、直方体の３面以上の面で
構成され、対峙する二面にそれぞれ前記第１および第２
の基板が固定される外枠部材と、前記外枠部材の開放さ
れている面を閉塞する内枠部材とを有する表示装置であ
って、前記外枠部材の前記第１および第２の基板と接触
する接触部に、前記第１および第２の基板が挿入される
凹構造を設けたことを特徴とする。

【０００５】また、本発明は、第１および第２の基板
と、前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させ
る枠部材とを有する表示装置における、前記第１の基板
と前記第２の基板とを位置決めする位置合わせ装置であ
って、前記第１および第２の基板の相対的位置をモニタ
する第１の手段と、前記モニタ手段の結果に基づき、前
記第１および第２の基板の相対的位置ずれを補償する第
２の手段とを有することを特徴とする。また、本発明
は、第１および第２の基板と、前記第１および第２の基
板を一定の間隔で対峙させる枠部材とを有する表示装置
における、前記第１の基板と前記第２の基板とを位置決
めする位置合わせ装置であって、前記第１および第２の
基板の任意の隣接する二辺の外面と、前記枠部材の対応
する隣接する二辺の外面とを固定する固定治具と、前記
第１および第２の基板の任意の隣接する二辺の外面と、
前記枠部材の対応する隣接する二辺の外面とを前記固定
治具に押し付ける手段とを有することを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において、同一機能を有するものは同一符
号を付け、その繰り返しの説明は省略する。 ［実施の形態１］ 〈本発明が適用される平面型表示装置の一例の基本的構
造〉図１は、本発明が適用される平面型表示装置の一例
の基本構造を示す展開斜視図である。図１に示す平面型
表示装置は、蛍光体を塗布した蛍光面板（本発明の第１
の基板）１０１と、枠ガラス（本発明の枠部材）１０２
と、電子源板（本発明の第２の基板）１０３と、排気管
１０５とで構成される。ここで、蛍光面板１０１の下面
には、蛍光体のパターン（蛍光体ストライプ）が形成さ
れている。また、枠ガラス１０２は、蛍光面板１０１と
電子源板１０３とを一定の間隔で対峙させるためのスペ
ーサの役割も果している。さらに、電子源板１０３の上
面には電子源アレイが形成されており、この電子源アレ
イは、例えば、ＭＩＭ（Metal-Insulator-Metal）型ダ
イオード構造の電子放出部（微小電子源）が、マトリク
ス状に形成されている。排気管１０５は、電子源板１０
３に設けた排気穴１０４を通じて、蛍光面板１０１、枠
ガラス１０２および電子源板１０３で囲まれた空間を排
気するためのものである。通常、蛍光面板１０１、枠ガ
ラス１０２、電子源板１０３および排気管１０５をガラ
スペーストを用いて封着し、その後、排気管１０５によ
りパネル内を排気して排気管１０５を封止切ることによ
り、パネル構造が完成する。

【０００７】ここで、本発明の説明に必要な部位につい
て、図２を用いて説明する。図２（ａ）の斜線部分２０
１は、蛍光面板１０１の枠ガラス１０２と接触する部分
であり、図２（ｄ）の斜線部分２０４は、電子源板１０
３の枠ガラス１０２と接触する部分である。また、図２
（ｂ）の斜線部分２０２は、枠ガラス１０２の蛍光面板
１０１と接触する部分であり、図２（ｃ）の斜線部分２
０３は、枠ガラス１０２の電子源板１０３と接触する部
分である。なおここでは、排気管１０５のための排気穴
２０５は、電子源板１０３の枠ガラス１０２と接触する
部分２０４で囲まれた領域内部に設けている。

【０００８】〈本発明が適用される平面型表示装置の他
の例の基本的構造〉図３は、本発明が適用される平面型
表示装置の他の例の基本構造を示す展開斜視図である。
図３に示す平面型表示装置は、排気管を用いずに、真空
封止によりパネル構造を作製する場合のパネル構造であ
る。そのため、図３に示す平面型表示装置は、蛍光面板
３０１と、枠ガラス３０１と、電子源板３０３とで構成
される。ガラスペーストを用いて、蛍光面板３０１、枠
ガラス３０１および電子源板３０３の封着を真空チャン
バ中で行うことにより、蛍光面板３０１、枠ガラス３０
１および電子源板３０３の封着と同時に、パネル内の封
止を行う。この真空封止法により、図１に示す表示装置
における、排気管１０５による排気封止工程が不要とな
る。

【０００９】ここで、本発明の説明に必要な部位につい
て、図４を用いて説明する。図４（ａ）の斜線部分４０
１は、蛍光面板３０１の枠ガラス３０２と接触する部分
であり、図４（ｄ）の斜線部分４０４は、電子源板３０
３の枠ガラス３０２と接触する部分である。また、図４
（ｂ）の斜線部分４０２は、枠ガラス３０２の蛍光面板
３０１と接触する部分であり、図４（ｃ）の斜線部分４
０３は、枠ガラス３０２の電子源板３０３と接触する部
分である。 〈図１または図３に示す電子源板の一例の基本的構造〉
図５は、図１に示す電子源板１０１、または図３に示す
電子源板３０１の一例の概略構成を示す図である。図５
に示す電子源板は、ソーダガラス等の基板５００上に形
成されるＸ方向に延びるストライプ状の下部電極５０１
と、各下部電極上に形成される保護絶縁層（図示せず）
とトンネル絶縁層（図示せず）と、各下部電極上で前記
トンネル絶縁層を覆うようにＹ方向に延びるストライプ
状の上部電極５０２とで構成される。以下、図５に示す
電子源板の製造方法について簡単に説明する。先ず、基
板５００として、サイズが２５０ｍｍ×３３０ｍｍで、
厚さが１ｍｍのソーダガラスを用意し、このソーダガラ
ス上に、金属スパッタ法によりアルミニウム（Ａｌ）を
３００ｎｍの厚さに蒸着する。次に、フォトリソグラフ
ィー技術によるウエットエッチイングにより、ピッチが
０．３ｍｍで、幅が０．２ｍｍの６００本の下部電極５
０１を形成する。次に、陽極酸化法により、トンネル絶
縁層が形成され領域を除いて下部電極表面に保護絶縁層
（酸化アルミニウム）を形成した後、再度、陽極酸化法
により、下部電極表面にトンネル絶縁層（酸化アルミニ
ウム）を形成する。ここで、トンネル絶縁層の厚さは、
５ｎｍである。その後スパッタ法により、１ｎｍのイン
ジウム（Ｉｒ）、２ｎｍの白金（Ｐｔ）、３ｎｍの金
（Ａｕ）からなる多層薄膜を形成し、フォトリソグラフ
ィー技術とスパッタエッチング法により、下部電極５０
１と直交する方向に、ピッチが０．１ｍｍで幅が０．０
６ｍｍの２４００本の上部電極５０２を形成する。下部
電極５０１と上部電極５０２との交点にトンネル絶縁層
が形成されており、この交点部分が、ＭＩＭ（金属−ト
ンネル絶縁層−金属）型ダイオード構造の電子放出部
（微小電子源）５０３となる。このようにして、基板５
００に６００×２４００画素の微小電子源アレイ構造を
形成する。なお、各下部電極上に、前記トンネル絶縁層
が形成される領域に開口部を有しＹ方向に延びるストラ
イプ状の上部バス電極を設け、この上部バス電極に前記
開口部を上部電極５０２を設けるようにしてもよい。

【００１０】この図５に示す電子源板において、下部電
極５０１にマイナス電位を、上部電極５０２にプラス電
位を印加することにより、上部電極５０２を通して、電
子を基板上方向に放出させることができる。この電子ビ
ームを後で述べる蛍光面板（１０３，３０３）に照射す
ることにより、画像表示が可能となる。なお、ここで
は、下部電極５０１にアルミニウム（Ａｌ）、トンネル
絶縁層に酸化アルミニウム、上部電極５０２にＡｕ
（金）／Ｐｔ（白金）／Ｉｒ（インジウム）の多層膜を
採用した構造について述べたが、いかなる材料を用いた
下部電極−トンネル絶縁層−上部電極構造によっても、
実現可能である。また、トンネル絶縁層の作製法につい
ては、陽極酸化以外に、熱酸化法、プラズマ酸化法、イ
オンビーム酸化法等の種々の方法が適応可能である。

【００１１】〈図１または図３に示す蛍光面板の一例の
基本的構造〉図６は、図１示す蛍光面板１０３、または
図３に示す蛍光面板３０３の一例の概略構成を示す図で
ある。図６に示す蛍光面は、ソーダガラス等の基板６０
０上に形成されるブラックマトリクス（図示せず）と、
このブラックマトリクスの溝内に形成される赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体（６０１〜６０３）と、こ
れらの上に形成されるメタルバック膜（図示せず）で構
成される。以下、図６に示す蛍光面板の製造方法につい
て簡単に説明する。先ず、基板６００として、サイズが
２２０ｍｍ×３００ｍｍで、厚さが１ｍｍのソーダガラ
スを用意し、このソーダガラス上にピッチが１００ミク
ロンで、幅が４０ミクロンのブラックマトリックスをリ
フトオフ法により作製する。次にスラリー法により、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体（６０１〜６０
３）の繰り返しストライプパターンを２４００本（８０
０×３）を形成する。赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の
蛍光体（６０１〜６０３）のストライプ幅は６０ミクロ
ンであり、両側のブラックストライプの中央に配置す
る。この赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体（６０
１〜６０３）のストライプを作製した後、全面にアルミ
ニウムを５０ｎｍ蒸着して、メタルバック膜を形成す
る。このメタルバック膜に５ｋＶのプラス電極を、電子
源板の下部電極５０１に対して印加することにより、電
子放出部から放出された電子は加速され蛍光体を発光さ
せることができる。

【００１２】〈本発明に実施の形態１の表示装置の特徴
的構造〉図７は、本発明の実施の形態１の表示装置の電
子源板、蛍光面板、および枠ガラスのそれぞれの接続部
を示す模式断面図である。この図７は、図１に示すＡ−
Ａ’線に沿った断面構造を示す断面図であり、即ち、こ
の図７は、図１に示す枠ガラス１０２、あるいは図３に
示す枠ガラス３０２の長手方向の断面を示したものであ
る。本実施の形態の表示装置は、枠ガラス７０２の蛍光
面板７０１と接触する部分の一部に断面が三角形の凸構
造７０２１と、枠ガラス７０２の電子源板７０３と接触
する部分の一部に断面が三角形の凸構造７０２２とを設
けるとともに、蛍光面板７０１の枠ガラス７０２と接触
する面の一部に、凸構造７０２１をはめ込むことができ
る凹構造７０１１を設け、また、電子源板７０３の枠ガ
ラス７０２と接触する面の一部に、凸構造７０２２をは
め込むことができる凹構造７０３１を設けたことを特徴
とする。

【００１３】本実施の形態では、この蛍光面板７０１、
枠ガラス７０２、電子源板７０３および排気管（図１の
１０５）を、図１のように組み立て、封着する部分にガ
ラスペーストを塗布して大気中で４００℃で１０分間の
熱処理を施すことにより、封着を行った。この場合に、
蛍光面板７０１、枠ガラス７０２および電子源板７０３
に設けた凹凸のはめ込み構造（凸構造７０２１、凸構造
７０２２、凹構造７０１１および凹構造７０３１）によ
り、封着時に自動的に蛍光面板７０１、枠ガラス７０２
および電子源板７０３の位置が決まり、１０ミクロン以
下の精度で蛍光面板７０１と電子源板７０３の相対的位
置を合わせることができた。ここで、蛍光面板７０１上
の凹構造７０１１と、その上に作り付ける蛍光体ストラ
イプの相対的位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせ
を行った。また、電子源板７０３上の凹構造７０３１
と、その上に作り付ける電子源アレイの相対的な位置は
１ミクロン以下の精度で位置合わせを行った。

【００１４】次に、封着したパネルを２００℃で加熱し
ながら、排気管を通してパネル内部を排気し、内部真空
度が１０~⁶ｔｏｒｒ以下になったところで、排気管を封
じることにより、パネル構造を完成した。また、真空封
止を行う場合には、蛍光面板７０１、枠ガラス７０２お
よび電子源板７０３の封着する部分にガラスペーストを
塗布し、組み立てる前に、真空中で５５０度で１０分間
の脱ガス処理を施した後、図３に示すように、蛍光面板
７０１、枠ガラス７０２および電子源板７０３を組み立
て、真空中で４００℃で１０分間の熱処理を施すことに
より、真空封着を行った。この場合にも、蛍光面板７０
１、枠ガラス７０２および電子源板７０３に設けた凹凸
のはめ込み構造により、封着時に自動的に蛍光面板７０
１、枠ガラス７０２および電子源板７０３の位置が決ま
り、１０ミクロン以下の精度で蛍光面板７０１と電子源
板７０３の相対的位置を合わせることができた。ここ
で、蛍光面板７０１上の凹構造７０１１と、その上に作
り付ける蛍光体ストライプの相対的位置は１ミクロン以
下の精度で位置合わせを行った。また、電子源板７０３
上の凹構造７０３１と、その上に作り付ける電子源アレ
イの相対的な位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせ
を行った。なお、本実施の形態では、凸構造（７０２
１，７０２２）として、断面が三角形の構造を示した
が、これ以外の以下なる凸構造も適応可能であり、さら
に、凹構造（７０１１，７０３１）についても同様であ
る。また、凸構造（７０２１，７０２２）および凹構造
（７０１１，７０３１）は、枠ガラス７０２の長手方向
に連続的に設けても、あるいは島状に副数個設けてもよ
い。さらに、凸構造（７０２１，７０２２）および凹構
造（７０１１，７０３１）は、蛍光面板７０１、枠ガラ
ス７０２および電子源板７０３のそれぞれの接触する部
分の隣接する二辺（長手方向の一辺と、これに隣接する
短手方向の一辺）の少なくも一部に設ければよく、この
場合でも、本願発明の効果を得ることが可能である。

【００１５】［実施の形態２］図８は、本発明の実施の
形態２の表示装置の電子源板、蛍光面板、および枠ガラ
スのそれぞれの接続部を示す模式断面図である。この図
８も、図１に示すＡ−Ａ’線に沿った断面構造を示す断
面図であり、即ち、この図８は、図１に示す枠ガラス１
０２、あるいは図３に示す枠ガラス３０２の長手方向の
断面を示したものである。本願実施の形態の表示装置
は、枠ガラス８０２の蛍光面板８０１と接触する部分の
一部に断面が三角形の凹構造８０２１と、枠ガラス８０
２の電子源板８０３と接触する部分の一部に断面が三角
形の凹構造８０２２とを設けるとともに、蛍光面板８０
１の枠ガラス８０２と接触する面の一部に、凹構造８０
２１にはめ込むことができる凸構造８０１１を設け、ま
た、電子源板８０３の枠ガラス８０２と接触する面の一
部に、凹構造８０２２にはめ込むことができる凸構造８
０３１を設けたことを特徴とする。

【００１６】本実施の形態では、この電子源板８０３、
枠ガラス８０２、蛍光面板８０１および排気管（図１の
１０５）を、図１のように組み立て、封着する部分にガ
ラスペーストを塗布して大気中で４００℃で１０分間の
熱処理を施すことにより、封着を行った。この場合に、
電子源板８０３、枠ガラス８０２および蛍光面板８０１
に設けた凹凸のはめ込み構造（凹構造８０２１、凹構造
８０２２、凸構造８０１１および凸構造８０３１）によ
り、封着時に自動的に蛍光面板８０１、枠ガラス８０２
および電子源板８０３の位置が決まり、１０ミクロン以
下の精度で蛍光面板８０１と電子源板８０３の相対的位
置を合わせることができた。ここで、蛍光面板８０１上
の凸構造８０１１とその上に作り付ける蛍光体ストライ
プの相対的位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせを
行った。また、電子源板８０３上の凸構造８０３１と、
その上に作り付ける電子源アレイの相対的な位置は１ミ
クロン以下の精度で位置合わせを行った。

【００１７】次に、封着したパネルを２００℃で加熱し
ながら、排気管を通してパネル内部を排気し、内部真空
度が１０~⁶ｔｏｒｒ以下になったところで、排気管を封
じることにより、パネル構造を完成した。また、真空封
止を行う場合には、蛍光面板８０１、枠ガラス８０２お
よび電子源板８０３の封着する部分にガラスペーストを
塗布し、組み立てる前に、真空中で５５０度で１０分間
の脱ガス処理を施した後、図３に示すように、蛍光面板
８０１、枠ガラス８０２および電子源板８０３を組み立
て、真空中で４００℃で１０分間の熱処理を施すことに
より、真空封着を行った。この場合にも、電子源板８０
３、枠ガラス８０２および蛍光面板８０１に設けた凹凸
のはめ込み構造により、封着時に自動的に蛍光面板８０
１、枠ガラス８０２および電子源板８０３の位置が決ま
り、１０ミクロン以下の精度で蛍光面板８０１と電子源
板８０３の相対的位置を合わせることができた。ここ
で、蛍光面板８０１上の凸構造８０１１と、その上に作
り付ける蛍光体ストライプの相対的位置は１ミクロン以
下の精度で位置合わせを行った。また、電子源板８０３
上の凸構造８０３１と、その上に作り付ける電子源アレ
イの相対的な位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせ
を行った。本実施の形態では、凸構造（８０１１，８０
３１）として、断面が三角形の構造を示したが、これ以
外の以下なる凸構造も適応可能であり、また、凹構造
（８０２１，８０２２）についても同様である。また、
凸構造（８０１１，８０３２）および凹構造（８０２
１，８０２２）は、枠ガラス８０２の長手方向に連続的
に設けても、あるいは島状に副数個設けてもよい。さら
に、凸構造（８０１１，８０３２）および凹構造（８０
２１，８０２２）は、蛍光面板８０１、枠ガラス８０２
および電子源板８０３のそれぞれの接触する部分の隣接
する二辺（長手方向の一辺と、これに隣接する短手方向
の一辺）の少なくも一部に設ければよく、この場合で
も、本願発明の効果を得ることが可能である。

【００１８】［実施の形態３］図９は、本発明の実施の
形態３の表示装置の電子源板、蛍光面板、および枠ガラ
スのそれぞれの接続部を示す模式断面図である。この図
９も、図１に示すＡ−Ａ’線に沿った断面構造を示す断
面図であり、即ち、この図９は、図１に示す枠ガラス１
０２、あるいは図３に示す枠ガラス３０２の長手方向の
断面を示したものである。本実施の形態の表示装置は、
枠ガラス９０２の蛍光面板９０１と接触する部分の一部
に断面が三角形の凸構造９０２１と、枠ガラス９０２の
電子源板９０３と接触する部分の一部に断面が三角形の
凹構造９０２２を設けるとともに、蛍光面板９０１の枠
ガラス９０２と接触する面の一部に凸構造９０２１をは
め込むことができる凹構造９０１１を設け、また、電子
源板９０３の枠ガラス９０２と接触する面の一部に凹構
造９０２２にはめ込むことができる凸構造９０３１を設
けたことを特徴とする。

【００１９】本実施の形態では、この電子源板９０３、
枠ガラス９０２、蛍光面板９０１、および排気管（図１
の１０５）を、図１のように組み立て、封着する部分に
ガラスペーストを塗布して大気中で４００℃で１０分間
の熱処理を施すことにより、封着を行った。この場合
に、電子源板９０３、枠ガラス９０２および蛍光面板９
０１に設けた凹凸のはめ込み構造（凹構造９０１１、凸
構造９０２１、凹構造９０２２および凸構造９０３１）
により、封着時に自動的に蛍光面板９０１、枠ガラス９
０２および電子源板９０３の位置が決まり、１０ミクロ
ン以下の精度で蛍光面板９０１と電子源板９０３の相対
的位置を合わせることができた。ここで、蛍光面板９０
１上の凹構造９０１１と、その上に作り付ける蛍光体ス
トライプの相対的位置は１ミクロン以下の精度で位置合
わせを行った。また、電子源板９０３上の凸構造９０３
１と、その上に作り付ける電子源アレイの相対的な位置
は１ミクロン以下の精度で位置合わせを行った。次に、
封着したパネルを２００℃で加熱しながら、排気管を通
してパネル内部を排気し、内部真空度が１０~⁶ｔｏｒｒ
以下になったところで、排気管を封じることにより、パ
ネル構造を完成した。また、真空封止を行う場合には、
蛍光面板９０１、枠ガラス９０２および電子源板９０３
の封着する部分にガラスペーストを塗布し、組み立てる
前に、真空中で５５０度で１０分間の脱ガス処理を施し
た後、図３に示すように、蛍光面板９０１、枠ガラス９
０２および電子源板９０３を組み立て、真空中で４００
℃で１０分間の熱処理を施すことにより、真空封着を行
った。この場合にも、電子源板９０３、枠ガラス９０２
および蛍光面板９０１に設けた凹凸のはめ込み構造によ
り、封着時に自動的に蛍光面板９０１、枠ガラス９０２
および電子源板９０３の位置が決まり、１０ミクロン以
下の精度で蛍光面板９０１と電子源板９０３の相対的位
置を合わせることができた。ここで、蛍光面板９０１上
の凹構造９０１１と、その上に作り付ける蛍光体ストラ
イプの相対的位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせ
を行った。また、電子源板９０３上の凸構造９０３１
と、その上に作り付ける電子源アレイの相対的な位置は
１ミクロン以下の精度で位置合わせを行った。

【００２０】本実施の形態では、凸構造（９０２１，９
０３１）として、断面が三角形の構造を示したが、これ
以外の以下なる凸構造も適応可能であり、また、凹構造
（９０１１，９０２２）についても同様である。また、
凸構造（９０２１，９０３１）および凹構造（９０１
１，９０２２）は、枠ガラス９０２の長手方向に連続的
に設けても、あるいは島状に副数個設けてもよい。さら
に、凸構造（９０２１，９０３１）および凹構造（９０
１１，９０２２）は、蛍光面板９０１、枠ガラス９０２
および電子源板９０３のそれぞれの接触する部分の隣接
する二辺（長手方向の一辺と、これに隣接する短手方向
の一辺）の少なくも一部に設ければよく、この場合で
も、本願発明の効果を得ることが可能である。なお、実
施の形態１ないし３では、一つの接触面内に凸構造の
み、あるいは凹構造のみを設けた例について示したが、
一つの接触面内に、凹構造と凸構造が混在しても良い。

【００２１】［実施の形態４］図１０は、本発明の実施
の形態４の表示装置の電子源板、蛍光面板、および枠ガ
ラスのそれぞれの接続部を示す模式断面図である。この
図１０も、図１に示すＡ−Ａ’線に沿った断面構造を示
す断面図であり、即ち、この図１０は、図１に示す枠ガ
ラス１０２、あるいは図３に示す枠ガラス３０２の長手
方向の断面を示したものである。本実施の形態の表示装
置は、図１０（ａ）に示すように、蛍光面板１００１の
枠ガラス１００２と接触する面に、枠ガラス１００２を
はめ込むことができる凹構造１００１１を設けるととも
に、電子源板１００３の枠ガラス１００２と接触する面
に、枠ガラス１０２２をはめ込むことができる凹構造１
００３１を設けたことを特徴とする。

【００２２】本実施の形態では、この電子源板１００
３、枠ガラス１００２、蛍光面板１００１および排気管
（図１の１０５）を、図１のように組み立て、封着する
部分にガラスペーストを塗布して大気中で４００℃で１
０分間の熱処理を施すことにより、封着を行った。この
場合に、電子源板１００３および蛍光面板１００１に設
けた凹凸のはめ込み構造（凹構造１００１１、凹構造１
００３１、枠ガラス１００２）により、封着時に自動的
に蛍光面板１００１、枠ガラス１００２および電子源板
１００３の位置が決まり、１０ミクロン以下の精度で蛍
光面板１００１と電子源板１００３の相対的位置を合わ
せることができた。ここで、蛍光面板１００１上の凹構
造１００１１と、その上に作り付ける蛍光体ストライプ
の相対的位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせを行
った。また、電子源板１００３上の凹構造１００３１
と、その上に作り付ける電子源アレイの相対的な位置は
１ミクロン以下の精度で位置合わせを行った。次に、封
着したパネルを２００℃で加熱しながら、排気管を通し
てパネル内部を排気し、内部真空度が１０~⁶ｔｏｒｒ以
下になったところで、排気管を封じることにより、パネ
ル構造を完成した。

【００２３】また、真空封止を行う場合には、蛍光面板
１００１、枠ガラス１００２および電子源板１００３の
封着する部分にガラスペーストを塗布し、組み立てる前
に、真空中で５５０度で１０分間の脱ガス処理を施した
後、図３に示すように蛍光面板１００１、枠ガラス１０
０２および電子源板１００３を組み立て、真空中で４０
０℃で１０分間の熱処理を施すことにより、真空封着を
行った。この場合にも、電子源板１００３および蛍光面
板１００１に設けた凹凸のはめ込み構造により、封着時
に自動的に蛍光面板１００１、枠ガラス１００２および
電子源板１００３の位置が決まり、１０ミクロン以下の
精度で蛍光面板１００１と電子源板１００３の相対的位
置を合わせることができた。ここで、蛍光面板１００１
上の凹構造１００１１と、その上に作り付ける蛍光体ス
トライプの相対的位置は１ミクロン以下の精度で位置合
わせを行った。また、電子源板１００３上の凹構造１０
０３１と、その上に作り付ける電子源アレイの相対的な
位置は１ミクロン以下の精度で位置合わせを行った。な
お、前記説明では、蛍光面板１００１上の凹構造１００
１１、および電子源板１００３上の凹構造１００３１
は、ともに蛍光面板１００１および電子源板１００３に
形成された溝構造の場合について説明したが、これに代
えて、図１０（ｂ）に示すように、蛍光面板１００１お
よび電子源板１００３上に突起（１００１２，１００３
２）を設け、この突起（１００１２，１００３２）で形
成される溝構造に、枠ガラス１００２をはめ込むように
してもよい。

【００２４】［実施の形態５］図１１は、本発明の実施
の形態５の表示装置の外枠と内枠の示す模式図である。
本実施の形態の外枠（本発明の外枠部材）１１００は、
上面１１０１、下面１１０２、左面１１０３、および奥
面１１０４とを有し、これらを一体成形したガラスで構
成される。本実施の形態では、上面１１０１の内側の面
に蛍光面板１１１１を下向きにして固定し、また、下面
１１０２の内側の面に電子源板１１１３を上向きにして
固定する。この固定には、ガラスペーストや、種々の接
着剤、あるいは陽極接合等の方法を応用することができ
る。次に、外枠の左面１１０３に対峙する面と、外枠の
奥面１１０４に対峙する面を閉じるための内枠（本発明
の内枠部材）１１０５を用いて、真空封止により、パネ
ル内部を排気して封止することにより、パネル構造が完
成する。この場合に、外枠１１００に固定する蛍光面板
１１１１と電子源板１１１３との相対的位置を制御する
ために、蛍光面板１１１１の外枠１１００の上面１１０
１の内側の面と接触する面、および外枠１１００の上面
１１０１の内側の面の蛍光面板１１１１と接触する面
に、お互いにはめ込める凹凸構造を設けるとともに、電
子源板１１１３の外枠１１００の下面１１０２の内側の
面と接触する面、および外枠１１００の下面１１０２の
内側の面の電子源板１１１３と接触する面に、お互いに
はめ込める凹凸構造を設ける。

【００２５】例えば、図１２（ａ）の要部断面図に示す
ように、蛍光面板１１１１の外枠１１００の上面１１０
１の内側の面と接触する面に凸構造１１１２２を、およ
び外枠１１００の上面１１０１の内側の面の蛍光面板１
１１１と接触する面に凹構造１１１２１を設ける。ある
いは、図１２（ｂ）に示すように、外枠１１００の上面
１１０１の内側の面の蛍光面板１１１１と接触する面に
突起１１１３１を設け、この突起１１１３１で形成され
る溝構造に、蛍光面板１１１１をはめ込みようにする。
なお、この凹凸構造については、前記実施の形態１ない
し４に示した構造を用いることができる。また、本実施
の形態では、真空封止によるパネル内排気方法について
説明したが、外枠１１００に排気管を接続し、ガラスペ
ーストにより外枠１１００と内枠１１０５を封着した後
に、パネル内部を排気管により排気して封じることも可
能である。

【００２６】［実施の形態６］図１３は、本発明の実施
の形態６の位置決め装置を示す図であり、同図（ａ）は
要部断面図を、同図（ｂ）は上面図を示す。本実施の形
態では、蛍光面板１２０１、枠ガラス１２０２、および
電子源板１２０３のそれぞれの接触面に、ガラスペース
トを塗布し、乾燥および脱ガスした後、蛍光面板１２０
１、枠ガラス１２０１および電子源板１２０３を、図１
３（ａ）のよう配置し、真空チャンバー内で排気しなが
ら４００℃の熱処理を施すことにより、真空封止を行
う。この場合に、蛍光面板１２０１は、上操作棒（本発
明の第一のステージ）１２０４に固定する。この上操作
棒１２０４には、図１３（ｂ）に示すように、上から蛍
光面板１２０１の一部あるいは全部を観察できるように
窓を設け、さらに窓の部分から顕微鏡１２０６により観
察できるように、蛍光面板１２０１に合わせマーク１２
０８を設ける。また、電子源板１２０３は、下操作棒
（本発明の第二のステージ）１２０５に固定する。この
下操作棒１２０５には、下から電子源板１２０３の一部
あるいは全部を観察できるように窓（図示せず）を設
け、さらに窓の部分から顕微鏡１２０７により観察でき
るように、電子源板１２０３に合わせマーク（図示せ
ず）を設ける。そして、真空封止のための熱処理中に蛍
光面板１２０１に設けた合わせマーク１２０８と、電子
源板１２０３とに設けた合わせマークを顕微鏡１２０６
と顕微鏡１２０７によりモニターし、相対的な位置関係
がずれた場合には、上操作棒１２０４あるいは下操作棒
１２０３をピエゾ等により微動調整することにより、蛍
光面板１２０１と電子源板１２０３の相対的位置関係を
±５ミクロンの精度で制御して、真空封着することがで
きた。ここで、蛍光面板１２０１における合わせマーク
１２０８と蛍光体ストライプの相対的な位置関係は１ミ
クロン以下の精度で制御して作製した。また、電子源板
１２０１における合わせマークと電子源アレイの相対的
な位置関係を１ミクロン以下の精度で制御して作製し
た。なお、本実施の形態では、真空封止について述べた
が、本方法により蛍光面板１２０１と電子源板１２０３
の相対的位置を制御して封着し、その後、電子源板１２
０３に接続した排気管（図１の１０５）からパネル内部
を排気して、封止することも可能である。

【００２７】［実施の形態７］図１４は、本発明の実施
の形態７の位置決め装置を示す図であり、同図（ａ）は
要部断面図を、同図（ｂ）は上面図を示す。本実施の形
態では、蛍光面板１３０１、枠ガラス１３０２および電
子源板１３０３のそれぞれの接触面にガラスペーストを
塗布し、乾燥および脱ガスした後、蛍光面板１３０１、
枠ガラス１３０１および電子源板１３０３を、図１４
（ａ）に示ように配置し、真空チャンバー内で排気しな
がら４００℃の熱処理を施すことにより、真空封止を行
う。この場合に、蛍光面板１３０１は上操作棒１０３５
により、固定治具１３０４に抑えつけられる。

【００２８】また、枠ガラス１３０２は中操作棒１３０
６により、電子源板１３０３は下操作棒１３０７によ
り、固定治具１３０４に抑えつけられる。なお、本実施
の形態においては、熱処理による熱膨張により、蛍光面
板１３０１、枠ガラス１３０２および電子源板１３０３
が破損しないように、各操作棒（１３０５〜１３０７）
にはバネ機構が組み込まれていることが望ましい。ま
た、操作棒の数は、蛍光面板１３０１、枠ガラス１３０
２および電子源板１３０３の大きさにより、任意に選ぶ
ことができる。この方法により、蛍光面と電子源板の相
対的な位置関係を±５ミクロン以下の精度で制御して真
空封止することができた。ここで、蛍光面板１３０１に
おける固定治具１３０４と接触する垂直面と蛍光体スト
ライプの相対的な位置関係は１ミクロン以下の精度で制
御して作製した。また、電子源板１３０３における固定
治具１３０４と接触する垂直面と電子源アレイの相対的
な位置関係を１ミクロン以下の精度で制御して作製し
た。なお、本実施例では、真空封止について述べたが、
本方法により蛍光面板１３０１と電子源板１３０３の相
対的位置を制御して封着し、その後電子源板１３０３に
接続した排気管（図１の１０５）からパネル内部を排気
して、封止することも可能である。以上、本発明者によ
ってなされた発明を、前記実施の形態に基づき具体的に
説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変
更可能であることは勿論である。

【００２９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。 （１）本発明の表示装置によれば、第１の基板と第２の
基板との相対的位置関係を精密に保って、第１の基板、
第２の基板および枠部材を封着により固定することが可
能となり、これにより、表示装置を歩止り良く製造する
ことが可能となる。 （２）本発明の位置決め装置によれば、第１の基板、第
２の基板および枠部材を封着により固定する際に、第１
の基板と第２の基板との相対的位置関係を精密に位置決
めすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用される平面型表示装置の一例の基
本構造を示す展開斜視図である。

【図２】図１に示す平面型表示装置において、蛍光面
板、枠ガラスおよび電子源板との接触部分を示す図であ
る。

【図３】本発明が適用される平面型表示装置の他の例の
基本構造を示す展開斜視図である。

【図４】図３に示す平面型表示装置において、蛍光面
板、枠ガラスおよび電子源板との接触部分を示す図であ
る。

【図５】図１または図３に示す電子源板の一例の概略構
成を示す図である。

【図６】図１または図３に示す蛍光面板の一例の概略構
成を示す図である。

【図７】本発明の実施の形態１の表示装置の電子源板、
蛍光面板および枠ガラスのそれぞれの接続部を示す模式
断面図である。

【図８】本発明の実施の形態２の表示装置の電子源板、
蛍光面板および枠ガラスのそれぞれの接続部を示す模式
断面図である。

【図９】本発明の実施の形態３の表示装置の電子源板、
蛍光面板および枠ガラスのそれぞれの接続部を示す模式
断面図である。

【図１０】本発明の実施の形態４の表示装置の電子源
板、蛍光面板および枠ガラスのそれぞれの接続部を示す
模式断面図である。

【図１１】本発明の実施の形態５の表示装置の外枠と内
枠を示す模式図である。

【図１２】本発明の実施の形態５の表示装置における、
外枠と蛍光面板との接続部の一例を示す図である。

【図１３】本発明の実施の形態６の位置決め装置を示す
図である。

【図１４】本発明の実施の形態７の位置決め装置を示す
図である。

【符号の説明】

１０１，３０１，７０１，８０１，９０１，１００１，
１１１１，１２０１，１３０１…蛍光面板、１０２，３
０２，７０２，８０２，９０２，１００２，１２０２，
１３０２…枠ガラス、１０３，３０３，７０３，８０
３，９０３，１００３，１１１３，１２０３，１３０３
…電子源板、１０４，２０５…排気穴、１０５…排気
管、２０１、４０１…蛍光面板の枠ガラスと接する部
分、２０２，４０２…枠ガラスの蛍光面板接触する部
分、２０３，４０３…枠ガラスの電子源板と接触する部
分、２０４，４０４…電子源板の枠ガラスと接触する部
分、５００，６００…基板、５０１…下部電極、５０２
…上部電極、５０３…電子放出部（微小電子源）、６０
１…赤色蛍光体、６０２…緑色蛍光体、６０３…青色蛍
光体、１１００…外枠、１１０１…上面、１１０２…下
面、１１０３…左面、１１０４…奥面、１１０５…内
枠、１２０４，１２０５，１３０５〜１３０７…操作
棒、１２０６，１２０７…顕微鏡、１２０８…合わせマ
−ク、１３０４…固定治具、７０２１，７０２２，８０
１１，８０３１，９０２１，９０３１，１１１２２…凸
構造、７０１１，７０３１，８０２１，８０２２，９０
１１，９０２２，１００１１，１００３１，１１１２１
…凹構造、１００１２，１００３２，１１１３１…突
起。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 楠 敏明 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 鈴木 睦三 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 石坂 彰利 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 Ｆターム(参考） 5G435 AA17 BB01 EE03 EE04 EE05 EE09 EE12 EE33 HH06 KK03 KK05

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１および第２の基板と、 前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠
   部材とを有する表示装置であって、 前記第１基板の前記枠部材と接触する接触部、および前
   記枠部材の前記第１の基板と接触する接触部の一方に凸
   構造を、他方に凹構造を設け、 前記第２基板の前記枠部材と接触する接触部、および前
   記枠部材の前記第２の基板と接触する接触部の一方に凸
   構造を、他方に凹構造を設けたことを特徴とする表示装
   置。
2. 【請求項２】 前記枠部材の前記第１および第２の基板
   との接触部に凸構造を設け、 前記第１および第２の基板の前記枠部材との接触部に凹
   構造を設けたことを特徴とする請求項１に記載の表示装
   置。
3. 【請求項３】 前記枠部材の前記第１および第２の基板
   との接触部に凹構造を設け、 前記第１および第２の基板の前記枠部材との接触部に凸
   構造を設けたことを特徴とする請求項１に記載の表示装
   置。
4. 【請求項４】 前記枠部材の前記第１の基板との接触部
   に凹構造を、前記枠部材の前記第２の基板との接触部に
   凸構造を設け、 前記第１の基板の前記枠部材との接触部に凸構造を設
   け、 前記第２の基板の前記枠部材との接触部に凹構造を設け
   たことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
5. 【請求項５】 前記凸構造および前記凹構造は、ある方
   向で切断した断面形状が、斜辺を含む形状であることを
   特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記
   載の表示装置。
6. 【請求項６】 第１および第２の基板と、 前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠
   部材とを有する表示装置であって、 前記第１および第２の基板の前記枠部材と接触する接触
   部に、前記枠部材が挿入される凹構造を設けたことを特
   徴とする表示装置。
7. 【請求項７】 前記第１の基板、前記第２の基板および
   前記枠部材の接触部が第１ないし第４の辺で構成される
   長方形形状であって、 前記長方形形状の接触部の第１と第３の辺、および第２
   と第４の辺とが、それぞれ相対峙する二辺とするとき、 前記凸構造あるいは前記凹構造は、前記第１の基板、前
   記第２の基板および前記枠部材における前記長方形形状
   の接触部の第１と第３の辺の少なくとも一方の一部、お
   よび前記長方形形状の接触部の第２と第４の辺の少なく
   とも一方の一部に設けられることを特徴とする請求項１
   ないし請求項６のいずれか１項に記載の表示装置。
8. 【請求項８】 第１および第２の基板と、 前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠
   部材とを有する表示装置であって、 前記第１および第２の基板は、任意の一辺の外面が、前
   記枠部材の対応する一辺の外面と同一面に配置されてい
   ることを特徴とする表示装置。
9. 【請求項９】 第１および第２の基板と、 前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠
   部材とを有する表示装置であって、 前記第１および第２の基板は、任意の隣接する二辺の外
   面が、前記枠部材の対応する隣接する二辺の外面と同一
   面に配置されていることを特徴とする表示装置。
10. 【請求項１０】 第１および第２の基板と、 前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠
    部材とを有する表示装置であって、 前記第１の基板は、四辺の外面が、前記枠部材の四辺の
    外面と同一面に配置され、 前記第２の基板は、任意の隣接する二辺の外面が、前記
    枠部材の対応する隣接する二辺の外面と同一面に配置さ
    れ、かつ、残りの二辺が、前記枠部材より外側に張り出
    していることを特徴とする表示装置。
11. 【請求項１１】 第１および第２の基板と、 前記第１および第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠
    部材とを有する表示装置であって、 前記第１および第２の基板は、それぞれ位置合わせマー
    クを有することを特徴とする表示装置。
12. 【請求項１２】 第１および第２の基板と、 直方体の３面以上の面で構成され、対峙する二面にそれ
    ぞれ前記第１および第２の基板が固定される外枠部材
    と、 前記外枠部材の開放されている面を閉塞する内枠部材と
    を有する表示装置であって、 前記外枠部材の前記第１および第２の基板と接触する接
    触部、および前記第１および第２の基板の前記外枠部材
    と接触する接触部の一方に凸構造を、他方に凹構造を設
    けたことを特徴とする表示装置。
13. 【請求項１３】 前記外枠部材の前記第１および第２の
    基板との接触部に凸構造を設け、 前記第１および第２の基板の前記外枠部材との接触部に
    凹構造を設けたことを特徴とする請求項１２に記載の表
    示装置。
14. 【請求項１４】 前記外枠部材の前記第１および第２の
    基板との接触部に凹構造を設け、 前記第１および第２の基板の前記外枠部材との接触部に
    凸構造を設けたことを特徴とする請求項１２に記載の表
    示装置。
15. 【請求項１５】 前記外枠部材の前記第１の基板との接
    触部に凹構造を、前記外枠部材の前記第２の基板との接
    触部に凸構造を設け、 前記第１の基板の前記枠部材との接触部に凸構造を設
    け、 前記第２の基板の前記枠部材との接触部に凹構造を設け
    たことを特徴とする請求項１２に記載の表示装置。
16. 【請求項１６】 前記凸構造および前記凹構造は、ある
    方向で切断した断面形状が、斜辺を含む形状であること
    を特徴とする請求項１２ないし請求項１５のいずれか１
    項に記載の表示装置。
17. 【請求項１７】 第１および第２の基板と、 直方体の３面以上の面で構成され、対峙する二面にそれ
    ぞれ前記第１および第２の基板が固定される外枠部材
    と、 前記外枠部材の開放されている面を閉塞する内枠部材と
    を有する表示装置であって、 前記外枠部材の前記第１および第２の基板と接触する接
    触部に、前記第１および第２の基板が挿入される凹構造
    を設けたことを特徴とする表示装置。
18. 【請求項１８】 第１および第２の基板と、前記第１お
    よび第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠部材とを有
    する表示装置における、前記第１の基板と前記第２の基
    板とを位置決めする位置合わせ装置であって、 前記第１および第２の基板の相対的位置をモニタする第
    １の手段と、 前記モニタ手段の結果に基づき、前記第１および第２の
    基板の相対的位置ずれを補償する第２の手段とを有する
    ことを特徴とする位置合わせ装置。
19. 【請求項１９】 前記第１および第２の基板は、それぞ
    れ位置合わせマークを有し、 前記第１の手段は、前記第１および第２の基板にそれぞ
    れ設けられた位置合わせマークの相対的位置を光学顕微
    鏡を用いて観察し、前記第１および第２の基板の相対的
    位置をモニタすることを特徴とする請求項１８に記載の
    位置合わせ装置。
20. 【請求項２０】 前記第２の手段は、前記第１の基板を
    固定するとともに微動機構を有する第一のステージと、 前記第２の基板を固定するとともに微動機構を有する第
    二のステージとを有し、 前記第１および第２のステージに設けられた微動機構に
    より、前記第１および第２の基板の相対的位置ずれを補
    償することを特徴とする請求項１８または請求項１９に
    記載の位置合わせ装置。
21. 【請求項２１】 第１および第２の基板と、前記第１お
    よび第２の基板を一定の間隔で対峙させる枠部材とを有
    する表示装置における、前記第１の基板と前記第２の基
    板とを位置決めする位置合わせ装置であって、 前記第１および第２の基板の任意の隣接する二辺の外面
    と、前記枠部材の対応する隣接する二辺の外面とを固定
    する固定治具と、 前記第１および第２の基板の任意の隣接する二辺の外面
    と、前記枠部材の対応する隣接する二辺の外面とを前記
    固定治具に押し付ける手段とを有することを特徴とする
    位置合わせ装置。