KR100323599B1 - 게이트밸브 - Google Patents

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KR100323599B1
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요지 이즈카
겐이치 나카가와
쥰 히로세
다츠야 나카고메
히로시 오노
히로시 고이즈미
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히가시 데쓰로
동경 엘렉트론 주식회사
오이 마사오
가부시끼가이샤 부이 덱구스
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Abstract

본 발명은, 챔버의 챔버 본체에 마련되고 또한 대상물이 반출입되는 개구부를 개폐하기 위한 게이트 밸브와, 챔버 본체의 측부에 설치된 승강 기구와, 승강 기구에 의해 지지되어 승강하는 지지부와, 지지부에 의해 지지되고 승강 기구에 의한 지지부의 승강 동작에 의해 챔버 본체의 개구부를 폐쇄하는 폐쇄 위치와 개구부로부터 이격되어 개구부를 개방하는 개방 위치 사이에서 이동되는 밸브체와, 밸브체가 개구부로부터 이격되도록 밸브체의 개구부 전방으로의 이동을 허용하는 이격 기구를 구비하고 있다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}
본 발명은, 예를 들면 액정 기판(LCD 기판)이나 반도체 웨이퍼 등의 대상물을 처리하는 진공 처리 장치의 챔버내의 분위기를 외부에 대하여 격리시키는 게이트 밸브에 관한 것이다.
종래, 예를 들면 에칭 처리 장치에 있어서, 처리되는 대상물인, 예를 들면 LCD 기판은 카셋트 챔버내에 설정되어, 카셋트 챔버와 인접하는 로드록실내의 반송장치에 의해 카셋트 챔버로부터 1장씩 인출된 다음 로드록 챔버내로 반입된다. 로드록 챔버내로 LCD 기판이 반입되면, 로드록실내의 분위기가 부압으로 설정되고, 그 후 부압으로 설정된 로드록 챔버로부터 상기 반송 장치에 의해 LCD 기판이 처리 챔버내로 반송된다. 그러나, 이러한 반송 방법에서는 LCD 기판이 카셋트 챔버로부터 1장씩 인출될 때마다 로드록 챔버내가 부압으로 설정되기 때문에, 반송 시간이 상당히 길어진다.
도 6 내지 도 10에는, 반송 시간의 단축을 도모할 수 있는 에칭 처리 장치의 일례가 도시되어 있다. 이 에칭 처리 장치에서는, 복수의 미처리 LCD 기판이 일괄적으로 로드록 챔버내에 설치된 버퍼 기구에 수납된다. 버퍼 기구에 수납된 LCD 기판은 1장씩 인출되고, 처리 챔버내로 반송되어 처리된다. 처리된 LCD 기판은 다시 버퍼 기구의 본래 위치로 복귀된다. 카셋트 챔버와 로드록 챔버 사이에서 LCD 기판이 1장씩 반송되지 않기 때문에, 그 만큼 전체 반송 시간이 단축된다. 이하, 이 에칭 장치에 대하여 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다.
도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 이 에칭 처리 장치는 대상물에 에칭 처리를 실시하기 위한 제 1 및 제 2 챔버(1a, 1b)와, 이들 챔버(1a, 1b)에 개폐 기구(2)를 거쳐 기밀하게 접속된 로드록 챔버(3)를 구비하고 있다. 개폐 기구(2)는 각 챔버(1a, 1b) 및 로드록 챔버(3)의 압력값이 각각 부압 상태로 설정되었을 때 개폐된다. 로드록 챔버(3)내에는 처리되는 대상물(4)을 소정의 위치로 반송하는 반송 아암(5)을 갖는 반송 기구(6)와, 반송되는 대상물(4)을 일시적으로 보유하는 버퍼 기구(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다. 또, 각 챔버(1a, 1b)는 기본적으로 동일한 구조로 되어 있기 때문에, 이하 제 1 챔버(1a)에 대해서만 설명한다.
도 7 내지 도 10에 도시하는 바와 같이, 제 1 챔버(1a)는 단면이 직사각형인 상자형의 챔버 본체(7)를 갖고 있다. 챔버 본체(7)의 전면에는 직사각형 형상의 개구부(8)와, 이 개구부(8)를 둘러싸도록 장착된 O링(8a)이 형성되어 있다. 개구부(8)는 챔버 본체(7)에 동작 가능하게 부착된 게이트 밸브에 의해서 개폐된다. 게이트 밸브는, 챔버 본체(7)의 좌측부에 부착된 부착판(9)을 갖고 있다. 이 부착판(9)은 상하 방향으로 연장되어 있고, 그 하단부가 챔버 본체(7)의 하부를 지나 하방으로 연장되어 있다. 부착판(9)에는 상하 방향으로 연장되는 리니어 가이드(10)가 고정되어 있다. 리니어 가이드(10)의 후방에는, 승강 기구를 구성하는 공기 실린더(11)가 부착판(9)에 대하여 고정되어 있다. 이 경우, 공기 실린더(11)는 그의 신축 로드(12)가 상하 방향으로 신축하도록 연직 방향쪽을 향하고 있다. 신축 로드(12)의 선단부에는, 자유 조인트(13)를 거쳐 전방으로 수평 돌출하는 브래킷(14)이 고정되어 있다. 브래킷(14)의 전단부에는, 상방을 향하여 수직으로 연장되는 연결 부재(15)가 고정되어 있다. 연결 부재(15)의 상단부에는 복수개의 볼트(17)에 의해 리니어 가이드(10)에 미끄럼운동가능하게 장착된 리니어 블럭(16)이 고정되어 있다.
리니어 블럭(16)의 측면에는 복수개의 볼트(19)에 의해 직사각형 판상의 밸브판 지지 부재(18)의 기단부가 고정되어 있다. 밸브판 지지 부재(18)의 선단부는 챔버 본체(7)의 전면측을 향하여 연장되어 있다. 즉, 밸브판 지지 부재(18)는 리니어 블럭(16)에 한쪽이 지지되어 있다.
밸브판 지지 부재(18)에는 복수의 링크 기구(20)를 거쳐 챔버 본체(7)의 개구부(8)를 개폐하는 밸브판(21)이 지지되어 있다. 링크 기구(20)는, 밸브판 지지 부재(18)의 상부에 1개소, 밸브판 지지 부재(18)의 하부에 2개소, 각기 배치되어 있다. 도 10에 상세히 도시하는 바와 같이, 각 링크 기구(20)는 밸브판 지지 부재(18)에 부착된 링크 수납대(22b)와, 이 링크 수납대(22b)에 대응하는 밸브판(21)의 부위에 부착된 링크 수납대(22a)와, 그 양단부가 피봇중심핀(23a, 23b)을 거쳐 각 링크 수납대(22a, 22b)에 회동가능하게 연결된 링크(24)로 이루어진다. 또, 도 8에 도시하는 바와 같이, 밸브판(21)의 하단 양측부에는, 측방으로 돌출하는 돌출편(25)이 설치되어 있다. 이들 돌출편(25)과 대향하는 챔버 본체(7)의 하단 양측부에는, 돌출편(25)과 접촉 가능한 롤러 스토퍼(26)가 설치되어 있다.
이상과 같은 구성에서는, 공기 실린더(11)의 신축 로드(12)가 신축 동작되면, 브래킷(14)과 연결 부재(15)를 거쳐 리니어 블럭(16)이 리니어 가이드(10)를 따라 상하로 미끄러진다. 따라서, 리니어 블럭(16)에 고정된 밸브판 지지 부재(18)와, 밸브판 지지 부재(18)에 지지된 밸브판(21)도 수직으로 승강한다. 밸브판 지지 부재(18)와 함께 밸브판(21)이 상승하여, 밸브판(21)이 챔버 본체(7)의 개구부(8)에 대향하면, 돌출편(25)이 스토퍼(26)에 접촉한다. 이 접촉 상태에서 밸브판 지지 부재(18)가 더욱 상승하면, 돌출편(25)과 스토퍼(26)의 접촉에 의해 밸브판(21)의 상승이 규제되기 때문에, 각 링크 기구(20)의 링크(24)가 피봇중심핀(23a, 23b)을 중심으로 회동하고 밸브판(21)이 롤러 스토퍼(26)로 안내되어 밸브판 지지 부재(18)로부터 이격되도록 이동한다. 이에 따라, 챔버 본체(7)전면의 O링(8a)에 밸브판(21)이 압접되고, 개구부(8)가 밸브판(21)에 의해 밀폐된다. 또한, 이와 같이 개구부(8)가 밸브체(21)에 의해 밀폐된 상태로부터 공기 실린더(11)의 동작에 의해 밸브판 지지 부재(18)가 하강하면, 돌출편(25)이 롤러 스토퍼(26)로부터 이탈하여 각 링크 기구(20)의 링크(24)가 회동됨과 동시에, 밸브판(21)이 챔버 본체(7)의 전면으로부터 이격되도록 이동하여 하강하고, 챔버 본체(7)의 개구부(8)가 개방된다.
그런데, 밸브판(21)의 이면측은 챔버 본체(7)내와 대면하기 때문에, 챔버 본체(7)내의 가스 등에 의해 오염된다. 따라서, 밸브판(21)의 이면은 정기적으로 청소될 필요가 있다. 밸브판(21)의 청소는, 도 7의 좌측에 도시하는 제 1 챔버(1a)와 같이 개구부(8)가 개방되어 밸브판(21)이 챔버 본체(7) 전면의 하방에 위치하였을 때 가능하게 되지만, 챔버 본체(7)의 하부에는 챔버 본체(7)내에 설치된, 도시하지 않은 엘리베이터 기구를 위한 구동부가 위치하고 있기 때문에, 이 구동부가 방해 요소로 되어 밸브판(21)의 이면측의 청소가 곤란하게 되어 있다. 따라서, 작업자는 챔버 본체(7)의 전면측에서 이면측으로 손을 뻗어 밸브판(21)의 이면측을 청소하였다. 그러나, 이러한 청소로는 밸브판(21) 이면측의 구석 구석까지 손이 닿지 않기 때문에, 밸브판(21)의 이면측을 충분히 청소할 수가 없다.
그 때문에, 작업자는 리니어 블럭(16)과 밸브판 지지 부재(18)를 결합하고 있는 복수개의 볼트(19)를 풀어, 밸브판 지지 부재(18)와 함께 밸브판(21)을 챔버 본체(7)로부터 분리하여, 밸브판(21)을 청소하였다. 밸브판 지지 부재(18)와 밸브판(21)은 대중량물이기 때문에, 한사람의 작업자에 의해 이들 부재를 지지하는 것은 곤란하고 청소에 위험이 따른다.
본 발명의 목적은 밸브판의 이면의 청소를 용이하고 안전하게 실행할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 목적은 이하의 게이트 밸브에 의해 달성된다. 즉, 이 게이트 밸브는 챔버의 본체에 설치되고 대상물이 반출입되는 개구부를 개폐하기 위한 게이트 밸브로서, 챔버 본체의 측부에 설치된 승강 기구와, 승강 기구에 의해 지지되어 승강하는 지지부와, 지지부에 의해 지지되고 승강 기구에 의한 지지부의 승강 동작에 의해서 챔버 본체의 개구부를 폐쇄하는 폐쇄 위치와 개구부로부터 이격되어 개구부를 개방하는 개방 위치 사이에서 이동되는 밸브체와, 밸브체가 개구부로부터 이격되도록 밸브체의 개구부 전방으로의 이동을 허용하는 이격 기구를 구비하고 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 게이트 밸브를 구비한 처리 챔버의 정면도,
도 2는 도 1의 챔버의 저면도,
도 3a는 도 2의 A부의 체결 상태의 확대 단면도,
도 3b는 도 2의 A부의 회동 상태의 확대 단면도,
도 4a는 게이트 밸브의 밸브체를 회동시킨 상태를 나타내는 챔버의 평면도,
도 4b는 게이트 밸브의 밸브체를 챔버 본체의 하측으로 이동시켜 챔버 본체의 개구부를 개방한 상태를 나타내는 챔버의 정면도,
도 4c는 도 4a의 상태에서의 챔버의 정면도,
도 5a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 게이트 밸브를 갖는 챔버의 정면도,
도 5b는 도 5a에 도시된 챔버의 측면도,
도 6은 종래의 에칭 처리 장치의 평면도,
도 7은 도 6의 에칭 처리 장치를 구성하는 챔버의 정면도,
도 8은 도 7의 챔버에 설치된 게이트 밸브의 확대 정면도,
도 9는 도 8에 도시된 게이트 밸브의 저면도,
도 10는 도 8에 도시된 게이트 밸브의 측면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1a, 1b : 챔버2 : 개폐 기구
3 : 로드록 챔버9 : 부착판
10 : 리니어 가이드11 : 공기 실린더
12 : 신축 로드13 : 자유 조인트
14 : 브래킷15 : 연결 부재
16 : 리니어 블럭20 : 링크 기구
25 : 돌출편26 : 스토퍼
45 : 가이드 레일46 : 밸브판 유지구
(실시예)
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 4c는 본 발명의 제 1 실시예를 나타내고 있다. 도 1은 측면에 개구부를 갖는 제 1 챔버(1a)를 나타내고 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 이 제 1 챔버(1a)는 이것과 인접하는 제 2 챔버(1b)와, 챔버(1a, 1b)에 개폐 기구(2)를 거쳐 기밀하게 접속된 로드록 챔버(3)와 함께 에칭 처리 장치를 구성하고 있다.개폐 기구(2)는 챔버(1a, 1b) 및 로드록 챔버(3)의 압력값이 각기 부압 상태로 설정되었을 때 개폐된다. 로드록 챔버(3)내에는 처리되는 대상물(4)을 소정의 위치로 반송하는 반송 아암(5)을 갖는 반송 기구(6)나, 반송되는 대상물(4)을 일시적으로 보유하는 버퍼 기구(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 제 1 챔버(1a)는 단면이 직사각형인 상자형의 챔버 본체(7)를 갖고 있다. 도 4b 및 도 4c에 도시되어 있는 바와 같이, 챔버 본체(7)의 전면에는 처리되는 대상물이 반출입되는 직사각형의 개구부(8)와, 이 개구부(8)를 둘러싸도록 부착된 O링이 설치되어 있다. 개구부(8)는 챔버 본체(7)에 동작가능하게 장착된 게이트 밸브에 의해 개폐된다. 게이트 밸브는 챔버 본체(7)의 좌측부에 부착된 부착판(9)을 갖고 있다. 이 부착판(9)은 상하 방향으로 연장되어 있고, 그 하단부가 챔버 본체(7)의 하부를 지나 하방으로 연장되어 있다. 부착판(9)에는 상하 방향으로 연장되는 리니어 가이드(10)가 고정되어 있다. 리니어 가이드(10)의 후방에는, 승강 기구를 구성하는 공기 실린더(11)가 부착판(9)에 대하여 고정되어 있다. 이 경우, 공기 실린더(11)는 그의 신축 로드(12)가 상하 방향으로 신축하도록 연직 방향을 향하고 있다. 신축 로드(12)의 선단부에는 자유 조인트(13)를 거쳐 전방으로 수평 돌출하는 브래킷(14)이 고정되어 있다. 브래킷(14)의 전단부에는, 상방을 향하여 수직하게 연장되는 연결 부재(15)가 고정되어 있다. 연결 부재(15)의 상단부에는 복수개의 볼트(17)에 의해 리니어 가이드(10)에 미끄럼운동가능하게 장착된 리니어 블럭(16)이 고정되어 있다.
리니어 블럭(16)에는 복수개의 볼트(32)에 의해, 밸브판 지지 부재(31)가 고정되어 있다. 밸브판 지지 부재(31)는 직사각형의 금속 판상체로 이루어지고, 볼트(32)를 통해 그의 기단부가 리니어 블럭(16)에 고정된 기단측 지지 부재(33)와, 밸브판(21)을 지지하는 선단측 지지 부재(34)로 2분할되어 있다.
도 3a에 상세히 도시하는 바와 같이, 기단측 지지 부재(33)의 선단부에는 제 1 단차부(35)가 형성되어 있다. 이러한 제 1 단차부(35)는 기단측 지지 부재(33)의 선단부의 전면을 절결함으로써 형성된다. 또한, 선단측 지지 부재(34)의 기단부에는 제 1 단차부(35)와 맞물리는 제 2 단차부(36)가 형성되어 있다. 이러한 제 2 단차부(36)는 선단측 지지 부재(34)의 기단부의 이면(후면)을 절결함으로써 형성된다. 제 1 단차부(35)와 제 2 단차부(36)가 완전히 맞물리는 도 3a의 상태에서는, 기단측 지지 부재(33)의 전면 및 이면과 선단측 지지 부재(34)의 전면 및 이면이 동일면으로 된다.
기단측 지지 부재(33)의 선단부와 선단측 지지 부재(34)의 기단부는, 상하로 이격된 2개의 힌지 기구(37)에 의해 서로 회동 가능하게 연결되어 있다. 힌지 기구(37)는 연직 방향으로 연장하는 피봇중심축(37a)과, 피봇중심축(37a)을 중심으로 회동하는 한 쌍의 힌지편(37b, 37c)으로 이루어진다. 한 쪽의 힌지편(37b)은 기단측 지지 부재(33)에 고정 나사(38)에 의해 고정되고, 다른 쪽의 힌지편(37c)은 선단측 지지 부재(34)에 고정 나사(38)에 의해 고정되어 있다.
기단측 지지 부재(33)의 제 1 단차부(35)에는, 각 힌지 기구(37)의 상하부 및 2개의 힌지 기구(37) 사이에 위치하고 총 6개인 나사 구멍(39)이 설치되어 있다. 이들 나사 구멍(39)에 대향하는 선단측 지지 부재(34)의 제 2 단차부(36)에는단차진 볼트 구멍(40)이 뚫어져 있다. 2개의 힌지 기구(37) 사이에 형성된 4개의 단차진 볼트 구멍(40)에는 체결용 볼트(42)가 끼워져 있고, 나머지 2개의 단차진 볼트 구멍(40)[상측 힌지 기구(37)의 상측에 형성된 볼트 구멍(40) 및 하측 힌지 기구(37)의 하측에 형성된 볼트 구멍(40)]에는 테이퍼부를 갖는 위치 결정용 볼트(체결 부재)(41)가 끼워져 있다. 이들 볼트(41, 42)가 제 1 단차부(35)의 나사 구멍(39)으로 삽입되면, 기단측 지지 부재(33)와 선단측 지지 부재(34)가 일체적으로 연결된다. 이 때, 기단측 지지 부재(33)의 전면 및 이면과 선단측 지지 부재(34)의 전면 및 이면이 동일 면으로 된다.
선단측 지지 부재(34)에는 복수의 링크 기구(20)를 거쳐 챔버 본체(7)의 개구부(8)를 개폐하는 밸브판(21)이 지지되어 있다. 링크 기구(20)는 선단측 지지 부재(34)의 상부에 1개소, 선단측 지지 부재(34)의 하부에 2개소, 각기 배치되어 있다. 각 링크 기구(20)는 도 10에 도시된 바와 마찬가지로, 선단측 지지 부재(34)에 장착된 링크 수납대(22a)와, 이 링크 수납대(22a)와 대응하는 밸브판(21) 의 부위에 장착된 링크 수납대(22b)와, 그 양단부가 각 링크 수납대(22a, 22b)에 피봇중심핀(23a, 23b)을 거쳐 회동 가능하게 연결된 링크(24)로 이루어진다. 또, 도 1에 도시하는 바와 같이 밸브판(21)의 하단 양측부에는 측방으로 돌출하는 돌출편(25)이 설치되어 있다. 이들 돌출편(25)과 대향하는 챔버 본체(7)의 하단 양측부에는 돌출편(25)과 접촉가능한 롤러 스토퍼(26)가 설치되어 있다.
다음에, 개구부(8)를 개폐하는 상기 구성의 게이트 밸브의 동작에 대하여 설명한다.
상기 구성의 게이트 밸브에서는, 공기 실린더(11)의 신축 로드(12)가 신축 동작되면, 브래킷(14)과 연결 부재(15)를 거쳐 리니어 블럭(16)이 리니어 가이드(10)를 따라 상하로 미끄럼운동한다. 따라서, 리니어 블럭(16)에 고정된 밸브판 지지 부재(31)와 밸브판 지지 부재(31)에 지지된 밸브판(21)도 수직하게 승강한다. 구체적으로는, 도 4b에 실선으로 도시된 바와 같이, 밸브판(21)이 챔버 본체(7)의 하측에 위치되어 개구부(8)가 개방된 상태로부터, 공기 실린더(11)의 신축 로드(12)가 수축되면, 브래킷(14)과 연결 부재(15)를 거쳐 리니어 블럭(16)이 리니어 가이드(10)를 따라 상승한다. 따라서, 리니어 블럭(16)에 고정된 밸브판 지지 부재(31)도 밸브체(21)와 일체적으로 상승한다. 밸브판(21)이 소정량 상승하여 챔버 본체(7)의 개구부(8)에 대향하면, 돌출편(25)이 스토퍼(26)에 접촉한다. 이 접촉 상태에서 밸브판 지지 부재(18)가 더욱 상승하면, 돌출편(25)과 스토퍼(26)의 접촉에 의해 밸브판(21)의 상승이 규제되기 때문에, 각 링크 기구(20)의 링크(24)가 피봇중심핀(23a, 23b)을 중심으로 회동하고, 밸브판(21)이 롤러 스토퍼(26)로 안내되어 밸브판 지지 부재(18)로부터 이격되도록 이동한다. 이에 따라, 챔버 본체(7) 전면의 O링(8a)에 밸브판(21)이 압접되어, 개구부(8)가 밸브판(21)에 의해 밀폐된다(도 4b의 파선 참조). 따라서, 챔버 본체(7)내의 분위기가 밸브판(21)에 의해 외부와 격리된다.
한편, 개구부(8)가 밸브체(21)에 의해 밀폐된 상태로부터 공기 실린더(11)의 로드(12)가 신장되면, 브래킷(14)과 연결 부재(15)를 거쳐 리니어 블럭(16)이 리니어 가이드(10)를 따라 하강한다. 이 동작에 맞춰, 리니어 블럭(16)에 고정된 밸브판 지지 부재(31)가 하강하면, 밸브판(21)도 하강을 시작하기 때문에, 돌출편(25)이 롤러 스토퍼(26)로부터 분리되어 각 링크 기구(20)의 링크(24)가 회동된다. 이 링크(20)의 회동에 의해서 밸브판(21)이 챔버 본체(7)의 전면으로부터 이격되도록 하강하여 챔버 본체(7)의 개구부(8)가 개방된다.
이와 같이 통상의 사용 상태에 있어서는, 공기 실린더(11)의 로드(12)의 신축 동작에 의해, 밸브판(21)이 챔버 본체(7)의 전면에 대하여 평행 상태를 유지하면서 승강되어 챔버 본체(7)의 개구부(8)가 개폐된다.
다음에, 밸브판(21)의 이면측을 청소하는 경우에 대하여 설명한다.
밸브판(21)의 이면측은 챔버 본체(7)내와 대면하기 때문에, 챔버 본체(7)내의 가스 등에 의해 오염된다. 따라서, 밸브판(21)의 이면은 정기적으로 청소될 필요가 있다. 밸브판(21)을 청소하는 경우에는, 우선 기단측 지지 부재(33)와 선단측 지지 부재(34)를 연결하고 있는 볼트(41, 42)를 푼다. 볼트(41, 42)를 풀어 볼트(41, 42)에 의한 기단측 지지 부재(33)와 선단측 지지 부재(34)의 체결 상태를 해제하면, 선단측 지지 부재(34)는 힌지 기구(37)의 피봇중심축(37a)을 중심으로 기단측 지지 부재(33)에 대하여 회동가능하게 된다. 따라서, 선단측 지지 부재(34)와 여기에 지지된 밸브판(21)을 자기 앞쪽으로 90˚회동시킴으로써, 밸브판(21)의 이면을 챔버 본체(7)의 전면으로부터 크게 이격시킬 수 있다(도 3b, 도 4a, 도 4c 참조). 이 상태에서는, 밸브판(21)의 이면의 청소가 용이해져서 밸브판(21)의 구석 구석까지 청소가 가능해진다. 또한, 이와 같이 대중량물인 밸브판 지지 부재(31) 및 밸브판(21)이 힌지 기구(37)를 거쳐 회동가능하게 지지된 구성에서는, 청소 작업을 위해 밸브판 지지 부재(31) 및 밸브판(21)을 챔버 본체(7)로부터 분리할 필요가 없기 때문에, 안전한 청소 작업이 가능해진다.
청소 후에 기단측 지지 부재(33)와 선단측 지지 부재(34)를 본래의 결합 상태로 복귀시키는 경우에는, 우선 힌지 기구(37)의 피봇중심축(37a)을 중심으로 선단측 지지 부재(34)를 기단측 지지 부재(33)에 대하여 회동시킴으로써, 제 1 단차부(35)와 제 2 단차부(36)를 맞물리게 하여, 기단측 지지 부재(33)의 전면 및 이면과 선단측 지지 부재(34)의 전면 및 이면을 동일 면으로 한다. 이 상태에서, 위치 결정용 볼트(41)를 상하 2개의 단차진 볼트 구멍(40)에 끼워 나사 구멍(39)에 돌려 넣은 다음, 체결용 볼트(42)를 나머지 4개의 단차진 볼트 구멍(40)에 관통시켜 나사 구멍(39)에 돌려 넣음으로써, 기단측 지지 부재(33)와 선단측 지지 부재(34)를 일체적으로 연결한다(도 3a 참조). 이에 따라, 밸브판(21)은 챔버 본체(7)의 전면과 평행하게 지지된다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 2 실시예를 나타내고 있다. 또, 본 실시예는 도 6 내지 도 10에 도시된 구성의 개량이기 때문에, 도 6 내지 도 10에 도시된 구성 부분과 공통된 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.
챔버 본체(7) 상면의 중앙에는, 전후 방향을 따라 가이드 레일(45)이 고정되어 있다. 가이드 레일(45)에는 봉형상 부재로 이루어지는 밸브판 유지구(슬라이더)(46)가 전후 방향으로 미끄럼운동가능하게 지지되어 있다. 밸브판 유지구(46)는 가이드 레일(45)을 따라 전방으로 미끄럼운동함으로써, 그의 선단부가 챔버 본체(7)의 전방으로 돌출가능하게 된다(도 5b 참조). 밸브판 유지구(46)의 선단부에는 밸브판 유지 부재(47)가 착탈가능하게 설치되어 있다. 밸브판 유지 부재(47)는 상단부에 부착부(48)를 갖고 있고, 이 부착부(48)가 밸브판 유지구(46)의 선단부에 볼트(49)에 의해 고정됨으로써 챔버 본체(7)의 전방과 연직 상태로 설정된다. 밸브판 유지 부재(47)의 길이 방향의 중간부 및 하단부에는, 전방측으로부터 나사결합된 복수개의 부착 볼트(50)가 설치되어 있다. 또한, 챔버 본체(7)의 개구부(8)를 개폐하기 위한 밸브판(21)에는 부착 볼트(50)와 나사 결합되는 나사 구멍(51)이 형성되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 밸브판(21)의 이면측을 청소하는 경우에는, 우선 밸브판 유지구(46)를 가이드 레일(45)을 따라 챔버 본체(7)의 전방으로 인출하여, 밸브판 유지구(46)의 선단부에 밸브판 유지 부재(47)의 부착부(48)를 볼트(49)에 의해 부착한다. 다음에, 밸브판 유지구(46)를 챔버 본체(7)측으로 밀어 넣어 밸브판 유지 부재(47)를 밸브판 지지 부재(18)에 가압 밀착시킨 다음, 밸브판 유지 부재(47)의 부착 볼트(50)를 밸브판(21)의 나사 구멍(51)에 돌려 넣는다. 이에 따라, 밸브판(21)은 밸브판 유지 부재(47)를 거쳐 밸브판 유지구(46)에 지지된다. 이 상태에서, 리니어 블럭(16)과 밸브판 지지 부재(18)를 결합하는 복수개의 볼트(19)를 풀어, 밸브판 지지 부재(18)를 리니어 블럭(16)으로부터 분리해 버리면, 밸브판 지지 부재(18)도 밸브판(21)과 마찬가지로 밸브판 유지구(46)에 의해 유지된다. 따라서, 이 상태에서 밸브판 유지구(46)를 가이드 레일(45)에 따라 챔버 본체(7)의 전방으로 인출하면, 밸브판 지지 부재(18) 및 밸브판(21)이 챔버 본체(7)의 전면으로부터 크게 이격되어, 밸브판(21) 이면측의 청소가 가능해진다. 즉, 밸브체(21)의 이면측을 구석 구석까지 용이하게 청소할 수 있는 상태로 된다.
또, 본 실시예에 있어서, 밸브판 유지구(46)는 챔버 본체(7)에 설치된 가이드 레일(47)에 미끄럼운동가능하게 부착되어 있는데, 밸브판 유지구(46)를 챔버 본체(7)에 착탈가능하게 부착하여 청소시 이외에는 밸브판 유지구(46)를 챔버 본체(7)로부터 분리하도록 하여도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 밸브판 지지 부재에 힌지 기구를 설치하고, 밸브판의 청소시에 밸브판을 자기 앞쪽으로 개방할 수 있도록 하였기 때문에, 밸브판의 이면측을 구석 구석까지 용이하게 청소할 수 있고, 또 밸브판을 챔버 본체로부터 인출할 필요가 없으므로, 안전하게 작업할 수 있는 효과가 있다.
또한, 이에 덧붙여, 밸브판 지지 부재를 2분할하여 힌지 기구에 의해 회동가능하게 연결하였기 때문에, 청소시에 체결 부재를 푸는 것에 의해 밸프판 지지 부재의 기단 지지 부재와 선단 지지 부재를 간단히 회동가능으로 또는 회동불능으로 체결할 수 있는 효과가 있다.
게다가, 챔버 본체에 전후 방향으로 미끄럼운동 가능한 밸브판 유지구를 설치하고, 상기 밸브판을 밸브판 지지부재와 함께 상기 승강기구와 분리하도록 하였기 때문에, 상기 밸브판 유지구에 유지하고, 상기 밸브판을 밸브판 지지 부재와 함께 챔버 본체의 전방으로 인출할 수 있으므로, 밸브판의 이면측을 구석 구석까지 용이하게 청소할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 챔버의 챔버 본체에 설치되고, 또한 대상물이 반출입되는 개구부를 개폐하기 위한 게이트 밸브에 있어서,
    상기 챔버 본체의 측부에 설치된 승강 기구와,
    상기 승강 기구에 의해 지지되어 승강하는 지지부와,
    상기 지지부에 의해 지지되고, 상기 승강 기구에 의한 상기 지지부의 승강 동작에 의해 상기 챔버 본체의 개구부를 폐쇄하는 폐쇄 위치와 상기 개구부로부터 이격되어 상기 개구부를 개방하는 개방 위치 사이에서 이동되는 밸브체와,
    상기 밸브체가 상기 개구부로부터 이격되도록 상기 밸브체의 개구부 전방으로의 이동을 허용하는 이격 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이격 기구는 상기 밸브체를 상기 개구부의 개구 방향에 대하여 소정의 각도를 이루는 방향으로 회동시키는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 승강 기구에 장착되는 제 1 지지 부재와, 상기 밸브체를 지지하는 제 2 지지 부재로 이루어지고, 상기 이격 기구는 상기 제 2 지지 부재를 상기 제 1 지지 부재에 대하여 회동 가능하게 연결하는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 이격 기구가 힌지인 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 힌지는 연직 방향으로 연장하는 피봇중심축과, 상기 피봇중심축을 중심으로 회동하는 한 쌍의 힌지편으로 이루어지며, 한 쪽의 힌지편이 상기 제 1 지지 부재에 고정되고, 다른 쪽의 힌지편이 상기 제 2 지지 부재에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 지지 부재와 상기 제 2 지지 부재에 착탈가능하게 부착되고, 상기 제 1 지지 부재에 대한 상기 제 2 지지 부재의 회동을 규제하는 회동 규제 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 회동 규제 수단은 상기 제 1 지지 부재와 상기 제 2 지지 부재를 통해 돌려 넣어지는 복수개의 볼트로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 이격 기구는 상기 밸브체를 상기 개구부의 개구 방향을 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 이격 기구는 상기 챔버 본체에 마련되고 또한 상기 개구부의 전방을 향하여 이동 가능한 슬라이더와, 상기 슬라이더의 단부에 착탈가능하게 부착되는 유지체와, 상기 유지체를 상기 지지부에 착탈가능하게 부착하기 위한 부착 수단과, 상기 지지부와 상기 승강 기구를 착탈 가능하게 연결하기 위한 연결 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브.
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