KR101687734B1

KR101687734B1 - 챔버 장치 및 처리 시스템

Info

Publication number: KR101687734B1
Application number: KR1020150082310A
Authority: KR
Inventors: 준이치 히라키다
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2015-06-11
Filing date: 2015-06-11
Publication date: 2016-12-19

Abstract

본 발명의 챔버 장치는, 상면에 개구부를 구비하는 챔버 본체와, 상기 개구부를 개폐하는 도어와, 상기 챔버 본체에 대해 상기 도어를 슬라이딩시키는 가이드 기구를 구비한다. 상기 도어는, 상기 가이드 기구에 슬라이딩 가능하게 지지되는 가동 부재와, 상기 가동 부재에 고정 설치되는 제1 지지체와, 상기 개구부를 개폐하는 도어 본체와, 상기 도어 본체에 고정 설치되는 제2 지지체와, 상기 제1 지지체 및 상기 제2 지지체를 수평 방향으로 이동 불가능하게 접속함과 동시에, 상기 제1 지지체에 대해 상기 제2 지지체를 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 플로팅 기구를 구비한다.

Description

챔버 장치 및 처리 시스템{Chamber apparatus and treatment system}

본 발명은 챔버 장치 및 처리 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조 설비 등에 있어서, 웨이퍼 등의 가공 대상물은 내부가 진공으로 유지된 챔버 장치를 경유하여 처리 장치에 대해 출입된다. 내부의 유지보수를 가능하게 하기 위해, 챔버 본체의 상부에 개폐 가능한 도어를 구비한 챔버 장치가 제안되었다. 일본공개특허 2012－87923호 공보에는 외여닫이 도어(SINGLE SWING DOOR)를 구비한 챔버 장치가 개시되어 있고, 도어를 상하 방향으로 회동시킴으로써, 챔버 장치 내부가 개폐된다.

가공 대상물이 대형화되면, 챔버 장치도 대형화되고, 도어도 대형화되는 경향이 있다. 외여닫이 도어의 경우, 챔버 장치의 상방에 도어를 개방하기 위한 커다란 스페이스가 필요하다. 챔버 장치가 설치되는 설비 환경에 따라서는, 그 상방에 도어의 개방을 위한 충분한 스페이스를 확보할 수 없는 경우가 있다. 또한, 도어가 대형화되면 그 중량도 무거워지므로, 도어의 회동이 인력으로는 어려운 경우도 있어, 도어를 개폐하기 위해 권양기나 호이스트 등의 설비가 필요하다. 한편, 챔버 장치 내의 기밀성을 유지하기 위해, 도어의 폐쇄시에는 챔버 본체에 대해 도어를 눌러붙이는 구조도 필요하다.

본 발명의 목적은 챔버 장치 상방에 도어의 개방을 위한 스페이스를 필요로 하지 않고, 도어의 개폐에 보조 동력을 필요로 하지 않으며, 또한 도어 폐쇄시의 챔버 장치 내의 기밀성을 유지 가능하게 함에 있다.

본 발명에 의하면, 상면에 개구부를 구비하는 챔버 본체와, 상기 개구부를 개폐하는 도어와, 상기 챔버 본체에 대해 상기 도어를 슬라이딩시키는 가이드 기구를 구비하고, 상기 도어는, 상기 가이드 기구에 슬라이딩 가능하게 지지되는 가동 부재와, 상기 가동 부재에 고정 설치되는 제1 지지체와, 상기 개구부를 개폐하는 도어 본체와, 상기 도어 본체에 고정 설치되는 제2 지지체와, 상기 제1 지지체 및 상기 제2 지지체를 수평 방향으로 이동 불가능하게 접속함과 동시에, 상기 제1 지지체에 대해 상기 제2 지지체를 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 플로팅 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 장치가 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 상기 챔버 장치와, 기판을 처리하는 처리 장치를 구비하고, 상기 처리 장치는, 상기 챔버 장치의 상기 도어의 슬라이딩 방향측에 배치되고, 또한, 개방된 상기 도어와 대향되는 위치에 배치된 슬롯부와, 상기 슬롯부와 연통하여 상기 도어를 수용하는 수용부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템이 제공된다.

본 발명의 다른 특징들은 도면을 참조하여 후술하는 실시예에 대한 설명으로부터 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 챔버 장치의 사용예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 챔버 장치에 대해 도어를 완전개방한 태양을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 챔버 장치가 구비하는 슬라이드 레일, 지지 기구 및 압압 기구의 설명도이다.
도 4a는 압압 해제시의 태양을 나타내는 설명도이고, 도 4b는 압압시의 태양을 나타내는 설명도이고.
도 5a~도 5d는 위치 결정 기구의 설명도이다.
도 6a~도 6c는 처리 시스템의 구성예의 설명도이다.

도 1 및 도 2는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 챔버 장치(A)의 사용예를 나타내는 사시도이고, 도 1은 도어(2)를 완전폐쇄한 태양을 나타내고, 도 2는 도어(2)를 완전개방한 태양을 나타낸다. 본 실시 형태의 챔버 장치(A)는 기판(웨이퍼)을 반송하는 로봇(30)을 수용하는 진공 반송 장치의 외벽을 구성하는 것이지만, 본 발명의 챔버 장치는 각종 용도의 챔버 장치에 적용 가능하다. 각 도면에 있어서, 화살표 Z는 상하 방향을 나타내고, 화살표 X 및 Y는 서로 직교하는 수평 방향을 나타낸다.

본 실시 형태의 챔버 장치(A)는 챔버 본체(1)와 도어(2)를 구비한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버 본체(1)는 상면에 개구부(11)가 형성된 박스형 중공체이고, 개구부(11)는 도어(2)에 의해 개폐된다. 챔버 본체(1)에는 진공 펌프(미도시)가 접속되어 도어(2)의 완전폐쇄시에 그 내부 공간을 진공 상태로 유지할 수 있는 기밀성을 가지고 있다.

챔버 본체(1)의 X방향 양측부에는 로드락 챔버(100, 100)가 접속되어 있다. 로드락 챔버(100)는 게이트 밸브를 구비하고, 게이트 밸브를 개폐함으로써, 챔버 장치(A)와 로드락 챔버(100) 사이에서 로봇(30)에 의한 기판의 출입이 가능해진다. 로봇(30)은, 예컨대 수평 다관절형 로봇이다.

챔버 본체(1)의 Y방향 일측부에는 프로세스 챔버(미도시)에 접속되는 개구부(12)가 형성되어 있다. 이 개구부(12)를 통해 챔버 장치(A)와 프로세스 챔버 사이에서 로봇(30)에 의한 기판의 출입이 가능해진다.

도어(2)는 사각판상의 도어 본체(21)와, 도어 본체(21)를 지지하는 지지 기구(22)를 구비한다. 지지 기구(22)의 상세는, 도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하여 후술하기로 한다.

도어 본체(21)는 개구부(11)를 덮는 부분을 포함하고, 그 중앙부에는, 예컨대, 투명 부재로 폐쇄된 윈도우부(21a)를 가지고 있다. 도어(2)의 완전폐쇄시에도 윈도우부(21a)를 통해 챔버 내부를 볼 수 있게 되어 있다. 도어(2)의 X방향 양측부에서 도어(2)와 챔버 본체(1) 사이에는 슬라이드 레일(SR)이 설치되어 있고, 도어(2)는, 도 1의 완전폐쇄 위치와 도 2의 완전개방 위치 사이에서 Y방향으로 슬라이딩 가능하게 되어 있다. 도어 본체(21)에는 도어(2) 개폐시에 작업자가 파지 가능한 핸들(21b, 21b)이 설치되어 있다.

챔버 본체(1)에는 완전폐쇄 위치에서 도어(2)를 챔버 본체(1)측으로 압압하는 압압 기구(3)가 설치되어 있다. 본 실시 형태의 경우, 압압 기구(3)는 도어(2)의 X방향 양측 각 변을 따라 2개씩, 합계 4개가 배치되어 있다.

도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하여 슬라이드 레일(SR), 지지 기구(22) 및 압압 기구(3)의 구성을 설명한다.

슬라이드 레일(SR)은 본 실시 형태의 경우, 2단계로 신축하는 슬라이드 레일을 예로 들어 설명한다. 슬라이드 레일(SR)은 챔버 본체(1)측의 구성으로서, 가이드 레일(외측 레일)(151)과 베어링 유닛(BU)을 구비하고, 이것들은 챔버 본체(1)에 대해 도어(2)를 슬라이딩 가능하게 지지하는 가이드 기구를 구성하고 있다. 또한, 슬라이드 레일(SR)은 도어(2)측의 구성으로서, 가동 레일(내측 레일)(24)을 구비한다. 가동 레일(24)은 상기 가이드 기구에 슬라이딩 가능하게 지지되는 가동 부재이다. 슬라이드 레일의 슬라이드 단계수는 도어(2)의 크기, 개구의 정도에 따라 적절히 선택되는 것이고, 1단계나 3단계 이상으로 신축하는 슬라이드 레일일 수도 있다.

가이드 레일(151)은 챔버 본체(1)에 고정된 레일 부재이고, C자형 단면을 가지고 Y방향으로 연장 설치되어 있다. 베어링 유닛(BU)은 중간 레일(154)과, 외측 전동체(轉動體; 152)와, 홀더(153)와, 내측 전동체(155)와, 홀더(156)를 구비하고, 가동 레일(24)을 가이드 레일(151)의 연장 방향(Y방향)을 따라 슬라이딩시킨다.

중간 레일(154)은 Y방향으로 연장되는 레일 부재이고, 가이드 레일(151)과 전체 길이가 거의 같고, 가이드 레일(151)의 내측에 배치되어 있다. 외측 전동체(152)는 볼베어링이고, Z방향으로 이격되어 2열 설치되어 있다. 상측열에 위치하는 외측 전동체(152)가 상측의 가이드 레일(151)의 내측으로, 하측열에 위치하는 외측 전동체(152)가 하측의 가이드 레일(151)의 내측으로 슬라이딩된다. 각 열의 외측 전동체(152)는 Y방향으로 복수 나열되어 배치된 전동체군으로 구성되어 있다. 홀더(153)는 각 열의 외측 전동체(152)를 일체로 홀딩한다. 각 열의 외측 전동체(152)는 가이드 레일(151)과 중간 레일(154) 사이에 각각 배치되어 있고, 외측 전동체(152)의 구름운동에 의해 중간 레일(154)은 원활히 Y방향으로 슬라이딩 가능하게 되어 있다.

내측 전동체(155)는 볼베어링이고, 외측 전동체(155)의 내측에서, Z방향으로 이격하여 2열 설치되어 있다. 상측열에 위치하는 내측 전동체(155)가 상측의 중간 레일(154)의 내측으로, 하측열에 위치하는 내측 전동체(155)가 하측의 중간 레일(154)의 내측으로 슬라이딩된다. 각 열의 내측 전동체(155)는 Y방향으로 복수 나열되어 배치된 전동체군으로 구성되어 있다. 홀더(156)은 각 열의 내측 전동체(155)를 일체로 홀딩한다. 각 열의 내측 전동체(155)는 중간 레일(154)과 가동 레일(24) 사이에 각각 배치되어 있고, 내측 전동체(155)의 구름운동에 의해, 가동 레일(24)은 원활히 Y방향으로 슬라이딩 가능하게 되어 있다.

지지 기구(22)는 상기 가이드 기구(가이드 레일(151), 베어링 유닛(BU))에 슬라이딩 가능하게 지지됨과 동시에, 도어 본체(21)를 챔버 본체(1)의 상면으로부터 이격되는 방향으로 탄성 가압하는 기구이다.

본 실시 형태의 경우, 지지 기구(22)는 가동 레일(24)과, 제1 지지체(23)와, 탄성 부재(25)와, 제2 지지체(21c)를 구비한다. 지지체(23), 탄성 부재(25) 및 지지체(21c)는 완전폐쇄 위치를 기준으로 하여, 4개의 압압 기구(3)의 설치 부위에 대응된 위치에 설치되어 있고, 도어 본체(21)의 X방향 양측의 각 변을 따라 2개씩, 합계 4개가 배치되어 있다. 이러한 각 설치 부위에 있어서, 도어 본체(21)에는 노치(21d)가 형성되어 있다.

지지체(23)는 가동 레일(24)에 고정된 L자형 부재이다. 본 실시의 형태에서는, Y방향으로 이격되는 2개의 지지체(23, 23)가 가동 레일(24)에 고정된다. 2개의 지지체(23)와 하나의 가동 레일(24)은 일체가 되어 Y방향으로 슬라이딩하는 부재를 구성한다. 지지체(23)는 노치(21d) 내에서 Z방향으로 돌출된 원기둥 형상의 지지부(23a)를 구비한다. 지지부(23a)에는 탄성 부재(25)가 장착되어 있다. 탄성 부재(25)는 본 실시 형태의 경우, 코일 스프링이며, 그 중심부에 지지부(23a)가 삽입 통과되어 있다. 이러한 지지부(23a) 및 탄성 부재(25)가 플로팅 기구를 구성한다. 플로팅 기구는, 지지체(23) 및, 지지체(21c)를 수평 방향으로 이동 불가능하게 접속함과 동시에, 지지체(23)에 대해 지지체(21c)를 상하 방향으로 변위 가능하게 지지한다. 이에 따라, 가동 레일(24)을 Y방향으로 슬라이딩시킴으로써, 지지체(23), 지지체(21c), 및 도어 본체(21)가 일체로 슬라이딩된다. 또한, 플로팅 기구의 탄성 부재(25)는 지지체(21c)를 상방으로 상시(常時) 탄성 가압한다.

지지체(21c)는 노치(21d)의 상측을 덮도록 도어 본체(21)에 고정되어 있고, 탄성 부재(25)의 탄성 가압력을 받아 도어 본체(21)를 지지하는 부재를 구성한다. 탄성 부재(25)는 지지체(23)와 지지체(21c) 사이에 개재되어 있고, 지지체(21c)를 개재하여 도어 본체(21)를 챔버 본체(1)의 상면으로부터 이격되는 방향(Z방향 상측)으로 상시 탄성 가압하고 있다. 즉, 탄성 부재(25)는 지지체(21c)를 개재하여 도어 본체(21)를 챔버 본체(1)의 상면으로부터 이격되도록, 그 탄성 가압력이 조정된 것이다. 이에 따라, 가동 레일(24)을 Y방향으로 슬라이딩시킬 때, 도어 본체(21)는 챔버 본체(1)의 상면으로부터 상시 이격된 상태로 홀딩된다.

상기 플로팅 기구의 구성에 의해, 도어 본체(21)는 가동 레일(24)에 대해 Z방향으로 변위 가능하게 플로팅 지지되어 있다.

압압 기구(3)는, 핸들(31)과, 링크 기구(32)와, 레버(33)를 구비한다. 레버(33)는 지지체(21c)에 접촉하는 접촉 부재(33a)(여기서는 볼트)를 구비하고 있다. 본 실시 형태의 경우, 압압 기구(3)는 토글 클램프를 구성하고 있고, 도 4a 상태와 도 4b 상태의 두 상태에서 안정된다. 도 4a 및 도 4b에 도시한 바와 같이, 핸들(31)을 하방을 향해 회동시키면, 그 회동 방향을 따라 링크 기구(32)에 의해 레버(33)가 하방을 향해 회동한다. 도 4a는, 접촉 부재(33a)가 지지체(21c)로부터 이격된 퇴피 상태를 나타내고 있고, 도 4b는 접촉 부재(33a)가 지지체(21c)에 접촉하여 도어 본체(21)를 챔버 본체(1)측으로 압압하는 클램프 상태를 나타내고 있다. 도 4b에 도시한 바와 같이, 압압 기구(3)의 접촉 부재(33a)를 지지체(21c)에 접촉시킴으로써, 플로팅 기구에서의 탄성 부재(25)의 상방으로의 탄성 가압력에 대항하여, 지지체(21c)가 지지체(23)측으로 압압된다. 본 실시 형태에서는, 핸들(31)을 수동 조작함으로써 압압 기구(3)를 동작시키는 구성으로 하고 있지만, 모터 등의 구동원을 구비하여 압압 기구(3)가 자동적으로 작동하도록 구성해도 무방하다.

챔버 본체(1)의 상면에는 개구부(11)를 둘러싸도록 홈(13)이 형성되어 있고, 이 홈(13)에는 실링 부재(예컨대, O링)(14)가 홀딩되어 있다. 도어(2) 완전폐쇄시에, 도 4b에 도시한 바와 같이, 압압 기구(3)를 클램프 상태로 하면, 지지체(21c)가 지지체(23)측으로 압압된다. 이에 따라, 도어 본체(21)가 하강되어 실링 부재(14)를 눌러서 찌부러뜨린다. 이에 따라, 개구부(11) 주위에서의 도어(2)와 챔버 본체(1)와의 접촉부가 실링 부재(14)에 의해 실링되고, 챔버 장치(A)의 내부 공간이 기밀하게 유지된다.

한편, 도 4a에 도시한 바와 같이, 압압 기구(3)를 퇴피 상태로 하면, 도어 본체(21)에 대한 압압이 해제되고, 탄성 부재(25)의 탄성 가압에 의해 도어 본체(21)가 상승한다. 이 때, 도어 본체(21)는 플로팅 지지되어 있다. 이에 따라, 도어(2)에 있어서의 가동 레일(24)과 중간 레일(154) 사이에는 Z방향의 부하가 거의 작용하지 않기 때문에, 도어(2)를 완전폐쇄 위치와 완전개방 위치 사이에서 원활하게 슬라이딩시킬 수 있다.

이상의 구성으로 이루어진 챔버 장치(A)의 작용에 대해, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 챔버 장치(A) 내를 기밀하게 하는 경우, 도 1에 도시한 바와 같이, 도어(2)를 완전폐쇄 위치에 위치시키고, 또한 압압 기구(3)를 클램프 상태로 한다. 이에 따라, 도 4b에 도시한 바와 같이, 도어 본체(21)의 하면과 챔버 본체(1) 사이에서 실링 부재(14)가 압축되어, 개구부(11)를 도어(2)로 기밀하게 막을 수 있다.

도어(2)를 완전개방하는 경우, 우선, 압압 기구(3)를 퇴피 상태로 한다. 이에 따라, 도 4a에 도시한 바와 같이, 탄성 부재(25)의 탄성 가압에 의해 도어 본체(21)가 부상한 상태가 된다. 작업자는 핸들(21b, 21b)을 파지하고, 도어(2)를 Y방향으로 슬라이딩시켜, 도 2에 도시한 바와 같이, 완전개방 위치로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 개구부(11)가 개방되므로, 챔버 본체(1) 내부의 유지보수 등이 가능해진다.

이와 같이 본 실시 형태의 챔버 장치(A)는 도어(2)를 수평으로 슬라이딩시키므로, 장치 상방에 도어의 개방을 위한 스페이스를 필요로 하지 않는다. 또한, 도어(2)를 슬라이딩시킬 때, 도어 본체(21)는 플로팅 기구에 의해 챔버 본체(1)의 상면으로부터 상시 이격된 상태로 플로팅 지지되고 있으므로, 개폐시에 요구되는 힘은 극히 작아도 된다. 따라서, 권양기나 호이스트 등의 보조 동력을 요하는 설비가 불필요하고, 작업자만으로 용이하게 개폐할 수 있다. 또한, 압압 기구(3)에 의해, 도어(2) 폐쇄시의 챔버 장치(A) 내의 기밀성을 유지할 수 있다.

＜다른 실시 형태＞

＜위치 결정 기구＞

완전폐쇄 위치와 완전개방 위치에서 각각 도어(2)의 위치를 고정하는 위치 결정 기구를 설치해도 무방하다. 이에 따라, 예기치 못하게 도어(2)가 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있다.

도 5a 및 도 5b는 위치 결정 기구의 일예를 나타낸다. 동 도면의 예에서는, 슬라이드 레일(SR)을 대신하는 슬라이드 레일(SR')에 위치 결정 기구를 설치한 예를 나타내는 모식도이다. 슬라이드 레일(SR')은 가이드 레일(151)을 대신하는 가이드 레일(151')과, 가동 레일(24)을 대신하는 가동 레일(24')과, 베어링 유닛(BU)을 대신하는 베어링 유닛(BU')을 구비한다.

슬라이드 레일(SR')은 1단계로 신축되는 슬라이드 레일이고, 베어링 유닛(BU')은 중간 레일(154)를 구비하지 않고, 전동체(R)와 그 홀더로 구성되며, 가이드 레일(151')의 Y방향 단부에 고정 배치되어 있다.

가동 레일(24')에는 그 Y방향의 일측부(도 5a 중에서는 좌측부) 하측의 전동면에, 전동체(R)가 걸어맞춤되는 오목부(RC1)가 형성되어 있다. 또한, 가동 레일(24')에는 그 Y방향의 타측부(도 5a 중에서는 우측부)의 하측 전동면에, 전동체(R)가 걸어맞춤되는 오목부(RC2)가 형성되어 있다. 오목부(RC1, RC2)는 전동체(R)의 수에 따라 여기서는 4개씩 설치되어 있다. 오목부(RC1, RC2)는 전동체(R)의 1/4~1/3 정도가 삽입되는 깊이의 구상(球狀) 오목부로 되어 있다.

도 5a는 완전폐쇄시의 태양을 나타내고, 도 5b는 완전개방시의 태양을 나타낸다. 도 5a에 도시한 완전폐쇄시에서는 전동체(R)가 오목부(RC1)와 걸어맞춤되고, 가동 레일(24')의 위치(즉 도어(2)의 위치)가 고정된다. 도어(2)를 Y방향(도 5a 중에서는 왼쪽 방향)으로 약간 강하게 슬라이드시키면, 전동체(R)가 오목부(RC1)로부터 빠져 나가게 되어 양자의 걸어맞춤, 즉 전동체(R)의 구름 정지가 해제되어 도어(2)가 슬라이딩 가능하게 된다. 도어(2)가 완전개방 위치에 도달하면, 도 5b에 도시한 바와 같이, 전동체(R)가 오목부(RC2)와 걸어맞춤되고, 가동 레일(24')의 위치(즉, 도어(2) 위치)가 고정된다. 도어(2)를 Y방향(도 5a 중에서는 오른쪽 방향)에서 챔버 본체(1)측으로 약간 강하게 슬라이딩시키면, 전동체(R)가 오목부(RC2)로부터 빠져 나가게 되어 양자의 걸어맞춤이 해제되어 도어(2)가 슬라이딩 가능하게 된다.

도 5c 및 도 5d는 위치 결정 기구의 다른 예를 나타낸다. 도어 본체(21)의 하면에는, 도 3에 도시한 탄성 부재(25)가 설치되어 있다. 압압 기구(3)에 의한 도어 본체(21)의 챔버 본체(1)에 대한 압압을 해제하여 클램프를 개방함으로써, 도어 본체(21)는 탄성력에 의해 챔버 본체(1)로부터 부상한 상태가 된다. 도어 본체(21)의 상면에는, 도 5d에 도시한 바와 같이, 걸어맞춤되는 오목부(223)를 갖는 돌기부(222a, 222b)(총칭하여 돌기부(222)라 함)가 설치되어 있다. 이 돌기부(222)는 도어 본체(21)의 상면에 2곳(도 5c, 도 5d 중에서는 도어 본체(21)의 전방부 및 후방부에 2곳) 설치된다. 또한, 베어링(221a, 221b)을 도어 본체(21)에 형성하고, 돌기부(222)를 챔버 본체(1)측에 설치해도 무방하다. 또한, 돌기부(222) 및 베어링(221)의 설치 장소는 2곳에 한정되는 것이 아니며, 3곳 이상일 수도 있다.

도 5c는 완전폐쇄시의 태양을 나타내고, 도 5d는 완전개방시의 태양을 나타낸다. 도 5c에 도시한 완전폐쇄시에 있어서, 압압 기구(3)에 의한 클램프를 해제하여 도어 본체(21)가 챔버 본체(1)로부터 부상함으로써, 양 돌기부(222a, 222b)의 오목부(223)가 챔버 본체(1)측에 고정 설치된 베어링(221a, 221b)에 각각 끼워져 들어간다.

이에 따라, 압압 기구(3)에 의한 클램프를 해제하더라도, 도어 본체(21)의 위치가 고정되므로, 도어 본체(21)가 슬라이드 프리인 상태가 되는 경우는 없다. 이 상태에서, 도 5d에 도시한 바와 같이, 도어(2)를 Y방향(도 5d 중에서는 왼쪽방향)으로 소정의 힘 이상으로 슬라이딩시키면, 각각의 오목부(223)와 베어링(221)과의 걸어맞춤이 해제되어 도어 본체(21)가 슬라이딩된다. 도어 본체(21)가 완전개방 위치에 도달하면, 돌기부(222a)의 오목부(223)와 베어링(221b)이 걸어맞춤되어, 도어 본체(21)의 위치가 고정된다. 다시, 도어를 완전폐쇄할 때는, 도어 본체(21)를 Y방향(도 5d 중에서는 오른쪽 방향)으로 소정의 힘 이상으로 슬라이딩시키면, 돌기부(222a)의 오목부(223)와 베어링(221b)과의 걸어맞춤이 해제되어 도어 본체(21)가 슬라이딩 가능하게 된다.

＜처리 장치＞

기판을 처리하는 처리 장치(프로세스 챔버 등) 중 챔버 장치(A)에 인접하는 처리 장치에, 도어(2)를 수용하는 수용부를 설치해도 무방하다. 도 6a는 그 일예를 나타내는 처리 시스템의 모식도이다.

챔버 장치(A)의 Y방향 일측부(도 6a 중에서는 우측부)에는 프로세스 챔버(200)가 배치되고, Y방향 일측부(도 6a에서는 좌측부)에는 프로세스 챔버(201)가 배치되어 있다. 프로세스 챔버(201)는 챔버 장치(A)의 도어(2) 슬라이딩 방향측(도어(2)를 슬라이드 개방시키는 방향측)에 배치되어 있다. 이 예에서 챔버 장치(A)는 프로세스 챔버(200)와의 사이에서 기판의 출입을 행하고, 프로세스 챔버(201)와는 기판의 출입은 행하지 않는 구성을 상정하고 있다. 프로세스 챔버(201)는, 예컨대, 별도의 진공 반송 장치와의 사이에서 기판의 출입이 행해진다. 또한, 프로세스 챔버(201)가 챔버 장치(A)와의 사이에서 기판의 출입을 수행하는 장치여도 무방하다.

프로세스 챔버(201)는 그 상부에 도어(2)를 수용할 수 있는 수용 공간(202)을 갖는다. 도 6b는, 프로세스 챔버(201)의, 챔버 장치(A)에 대향하는 면(이하, 측면이라 함)(201a)의 정면도를 나타내고 있다. 프로세스 챔버(201)의 측면(201a)에는 슬롯부(202a)가 형성되어 있다. 슬롯부(202a)는 개방된 도어(2)와 대향되는 위치에 배치되어 있고, 커버(203)로 개폐 가능하게 되어 있다.

도어(2)를 개방하는 경우, 도 6c에 도시한 바와 같이, 커버(203)를 열고, 도어(2)를 Y방향으로 슬라이딩시킨다. 그러면, 슬롯부(202a)로부터 도어(2)가 수용부(202) 내에 삽입되어, 수용된다. 이와 같이 프로세스 챔버(201)에 도어(2)를 수용 가능한 구성으로 함으로써, 도어(2)의 개방을 위한 공간을 피해 프로세스 챔버(201)를 배치할 필요가 없고, 즉, 도어(2)를 슬라이드 개방시키기 위한 전용 영역(도어(2)의 거의 한 개 만큼에 해당하는 수평 영역)을 마련할 필요가 없다. 그 결과, 장치의 레이아웃의 자유도를 향상시킴과 동시에, 도 6a에 도시한 장치 시스템 전체의 설치 공간을 축소할 수 있다.

본 발명에 대하여 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 후술하는 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 동등한 구조와 기능을 가지는 변형예들을 포함하도록 넓게 해석되어야 한다.

Claims

상면에 개구부를 구비하는 챔버 본체와,
상기 개구부를 개폐하는 도어와,
상기 챔버 본체에 대해 상기 도어를 슬라이딩시키는 가이드 기구를 구비하고,
상기 도어는,
상기 가이드 기구에 슬라이딩 가능하게 지지되는 가동 부재와,
상기 가동 부재에 고정 설치되는 제1 지지체와,
상기 개구부를 개폐하는 도어 본체와,
상기 도어 본체에 고정 설치되는 제2 지지체와,
상기 제1 지지체 및 상기 제2 지지체를 수평 방향으로 이동 불가능하게 접속함과 동시에, 상기 제1 지지체에 대해 상기 제2 지지체를 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 플로팅 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 플로팅 기구는 상기 제1 지지체에 대해 상기 제2 지지체를 상방으로 탄성 가압하여 지지하고,
상기 챔버 장치는, 상기 플로팅 기구의 상방으로의 탄성 가압력에 대항하여, 상기 제2 지지체를 상기 제1 지지체 측으로 압압하는 압압 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 개구부에 대한 상기 도어의 완전개방 위치와 완전폐쇄 위치에 있어서, 상기 도어의 위치를 고정하는 위치 결정 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 가이드 기구는,
상기 챔버 본체에 고정되는 가이드 레일과,
상기 가이드 레일 내에 설치됨과 동시에 상기 가동 부재에 걸어맞춤되고, 상기 도어를 상기 가이드 레일의 연장 방향을 따라 슬라이딩시키는 베어링 유닛을 구비하고,
상기 위치 결정 기구는, 상기 베어링 유닛에서의 전동체(轉動體)와 걸어맞춤되고 상기 가동 부재에 설치되는 오목부를 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 압압 기구는 토글 클램프인 것을 특징으로 하는 챔버 장치.
청구항 1에 기재된 챔버 장치와,
기판을 처리하는 처리 장치를 구비하고,
상기 처리 장치는,
상기 챔버 장치의 상기 도어의 슬라이딩 방향측에 배치되고, 또한 개방된 상기 도어와 대향되는 위치에 배치된 슬롯부와,
상기 슬롯부와 연통하여 상기 도어를 수용하는 수용부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.