KR100317714B1 - 약액 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 버블 분리기를 구비하여 버블을 방지할 수 있는 약액 장치에 관한 것으로, 약액이 충진되는 내부 용기, 내부 용기로부터 넘치는 약액을 저장하는 외부 용기 및 내부 용기의 약액을 순환시키는 약액 순환 시스템을 구비한 약액 장치에 있어서, 내부 용기로부터의 약액의 승온을 위한 히터, 히터를 경유한 약액으로부터 버블을 분리하기 위한 버블 분리기를 포함하는 것에 의해, 버블을 포함하지 않는 약액만을 내부 용기로 공급할 수 있으므로, 버블로 인한 악영향을 방지할 수 있다는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조 공정에 이용되는 약액 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 버블 분리기를 구비하여 버블을 방지할 수 있는 약액 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서는 웨이퍼를 습식 세척(wet cleaning)하거나 습식 식각(wet etching)하는 공정에서 약액 장치(chemical device)를 채용한다.약액 장치에 사용되는 약액으로써는 황산(H2SO4), 인산(H3PO4), SC1, SC2 등이 있다.
도 1은 일반적인 약액 장치(10)를 개략적으로 도시한 것이다.
도시한 바와 같이, 약액 장치는 약액(1)이 저장되는 내부 용기(12)와 외부 용기(14) 및 내부 용기(12)와 외부 용기(14)를 연결하여 약액(1)을 순환시키는 약액 순환 시스템으로 구성된다.
내부 용기(12)에는 약액(1)이 가득 채워지며, 세척 또는 식각공정을 수행하기 위한 웨이퍼(2)가 내부 용기(12)의 약액(1)에 침수된다.
외부 용기(14)는 여분의 약액(1)이 저장되어 내부 용기(12)에 약액(1)을 공급하고 내부 용기(12)를 넘쳐흐르는 약액(1)을 저장한다.
약액 순환 시스템은 내부 용기(12)에 약액(1)을 공급하기 위한 공급펌프(22), 약액 필터(24) 및 히터(26)를 포함하여 내부 용기(12)와 외부 용기(14)를 연결하는 배관을 구성한다.
공급 펌프(22)는 외부 용기(14)에 저장된 약액(1)을 내부 용기(12)로 공급하는 역할을 하며, 약액 필터(24)는 약액(1)에 포함된 이물질 등을 여과하는 역할을 하며, 히터(26)는 내부 용기(12)로 공급되는 약액(1)을 고온으로 승온시키는 역할을 한다.
상술한 구성에 의해, 약액(1)은 공급 펌프(22)에 의해 외부 용기(14)로부터 내부 용기(12)로 공급되며, 이 과정에서, 약액 필터(24)에 의해 그에 포함된 이물질이 제거되고, 히터(26)에 의해 승온되어 내부 용기(12)로 공급된다.
그런데 이와 같은 종래의 약액 장치에 있어서, 히터에 의해 약액이 승온되는 과정에서 예를 들면, 과산화수소(H2O2), 수증기(H2O) 등이 기화되어 버블을 형성하게 된다. 버블이 내부 용기로 유입되면 프로세스 진행중인 웨이퍼의 표면에 부착되어 화학반응을 일으켜 표면을 불규칙하게 만들며, 이로 인하여 세정효과 감소, 불균일한 에칭등으로 수율을 저하시킨다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 본 발명은 버블 분리기를 구비하여 버블을 방지할 수 있는 약액 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 반도체 제조에서 습식공정에 채용되며, 약액이 충진되는 내부 용기, 내부 용기로부터 넘치는 약액을 저장하는 외부 용기 및 내부 용기의 약액을 순환시키는 약액 순환 시스템을 구비한 약액 장치에 있어서, 내부 용기로부터의 약액의 승온을 위한 히터, 히터를 경유한 약액으로부터 버블을 분리하기 위한 버블 분리기를 포함하는 약액 장치를 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1은 일반적인 약액 장치를 도시한 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 약액 장치의 개략적인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 버블 분리기의 구성도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200 ; 버블 분리기 210 ; 칸막이
220 ; 버블 분리기의 제 1 부분 230 ; 버블 분리기의 제 2 부분
240 ; 제 1 라인 250 ; 제 2 라인
260 ; 제 3 라인
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하면 다음과 같다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 약액 장치의 개략적 구성도 및 버블 분리기의 구성도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 약액 장치(110)는 약액(1)이 저장되는 내부 용기(112)와 외부 용기(114) 및 내부 용기(112)와 외부 용기(114)를 연결하여 약액(1)을 순환시키는 약액 순환 시스템으로 구성된다.
내부 용기(112)에는 약액(1)이 가득 채워지며, 세척 또는 식각공정을 수행하기 위한 웨이퍼(2)가 내부 용기(112)의 약액(1)에 침수된다.
외부 용기(114)는 여분의 약액(1)이 저장되어 내부 용기(112)에 약액(1)을 공급하고 내부 용기(112)를 넘쳐흐르는 약액(1)을 저장한다.
약액 순환 시스템은 내부 용기(112)에 약액(1)을 공급하기 위한 공급펌프(122), 약액 필터(124), 히터(126), 버블 분리기(200)를 포함하여 내부 용기(112)와 외부 용기(114)를 연결하는 배관을 구성한다.
공급 펌프(122)는 외부 용기(114)에 저장된 약액(1)을 내부 용기(112)로 공급하는 역할을 하고, 약액 필터(124)는 약액(1)에 포함된 이물질 등을 여과하는 역할을 하며, 히터(126)는 내부 용기(12)로 공급되는 약액(1)을 고온으로 승온시키는 역할을 한다.
한편, 도 3에 도시한 바와 같이, 버블 분리기(200)는 그의 내부를 제 1 및 제 2 부분(220, 230)으로 분리하는, 예를 들면 ''자 형상의 칸막이(210)를 포함한다. 후술하는 바와 같이, 제 1 및 제 2 부분(220, 230)은 버블이 포함된 약액부분과 버블이 포함되지 않은 약액 부분이다.
또한, 본 발명은 버블 분리기(200)의 제 1 부분(220)과 히터(126)를 연결하는 제 1 라인(240), 버블 분리기(200)의 제 1 부분(220)과 외부 용기(114)를 연결하는 제 2 라인(250) 및 버블 분리기(200)의 제 2 부분(230)과 내부 용기(112)를 연결하는 제 3 라인(260)을 포함한다.
상술한 구성에 의해, 약액(1)은 공급 펌프(122)에 의해 외부 용기(114)로부터 내부 용기(112)로 공급된다. 보다 상세하게 설명하면, 외부 용기(114)의 약액(1)은 공급 펌프(122)에 의해 약액 필터(124)로 이동되어 그에 포함된 이물질이 제거된 후, 히터(126)에 의해 승온되어 제 1 라인(240)을 통해 버블 분리기(200)에 유입된다. 유입된 약액(1)은 히터(126)에 의해 발생된 버블을 포함하는 약액으로써, 이 약액은 칸막이(210)에 의해 버블을 포함하는 약액과 버블을 포함하지 않는 약액으로 분리되어, 각각 버블 분리기(200)의 제 1 부분(220)과 제 2 부분(230)으로 유입된다. 버블 분리기(200)의 제 1 부분(220)에 공급된 약액(1)은 제 2 라인(250)을 통해 외부 용기(114)로 유입되며, 버블 분리기(200)의 제 2 부분(230)의 약액(1)은 제 3 라인(260)을 통해 내부 용기(112)로 공급된다.
따라서, 본 발명에 따르면, 버블 분리기를 마련하는 것에 의해, 버블을 포함하지 않는 약액만이 내부 용기로 공급되므로, 버블로 인한 악영향을 방지할 수 있다는 효과가 있다.
Claims (2)
- 반도체 제조에서 습식공정에 채용되며, 약액이 충진되는 내부 용기, 상기 내부 용기로부터 넘치는 약액을 저장하는 외부 용기 및 상기 내부 용기의 약액을 순환시키는 약액 순환 시스템과, 상기 약액의 승온을 위한 히터와, 상기 히터에 의해 승온된 약액에 포함된 버블을 분리하는 버블 분리기를 구비하는 약액장치에 있어서,상기 버블 분리기는, 상기 히터에 의해 가열된 약액을 버블이 포함된 약액과 버블이 포함되지 않는 약액으로 분리하는 칸막이를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 버블 분리기의 칸막이에 의해 분리된 버블을 포함한 약액을 상기 외부 용기에 공급하기 위한 라인 및 상기 칸막이에 의해 분리된 버블을 포함하지 않은 약액을 상기 내부 용기로 공급하기 위한 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 장치.
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