JPS6377510A - 発泡性混酸用循環濾過装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明の発泡性混酸用循環−過装置において、循環−過
の過程で発生した気泡を分離する気泡分離器を循環管路
の下流側に設け、処理槽内に清浄でしかも気泡を含まな
い混酸が貯溜されるようにしたものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、発泡性混酸用循ｙＡ？過装買に係り、特にウ
ェハのイニシャル前処理及び拡散前処理の洗浄工程に使
用される発゛泡性混酸用循環濾過装置に関する。

（従来の技術） 半導体素子の製造過程において、ウェハは過酸化水素水
と硫酸との混故に浸漬されて＠機物除去される。この処
理が繰り返えされるにつれて、処理槽内の混酸が汚れ、
汚れによる悪影響が出でくる。そこで、従来は処理槽内
の混酸を、途中にフィルタが設けられた循環管路を通し
て循環−過させ、処理槽内の混酸を常に清浄な状態に保
つようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

過酸化水素水は発泡性の液体であり、上記混酸には、循
環管路のポンプの個所及びフィルタの個所で圧力変化に
起因して気泡が不可避的に発生し、生長する。濾過され
た混酸は気泡がＵっだ状態で処理槽に戻され、処理槽内
の混酸は生長した気泡が混った状態となる。

浸漬されたウェハの表面に気泡が付着すると、ウェハの
表面の有機物除去にむらができ、ウェハ表面全体に亘っ
て均一な処理が出来なくなってしまうという問題点が生
じていた。

また気泡により処理槽内の液面がおどり、危険であると
いう問題もあった。

特に上記混酸を１００〜１５０℃に加熱してウェハの処
理を行なう場合には、常温の場合に比べて気泡が多く発
生するため、上記の問題は顕著であった。

〔問題点を解決するための手段〕 本発明の発泡性混酸用循環濾過装買は、発泡性液を合む
発泡性混酸を貯溜しており、被処理物が浸漬されて処理
される処理槽と、 上記発泡性混酸を該処理槽より出て再び該処理槽に戻る
ように循環さける循環管路と、該循環管路の上流側に配
されたポンプと、該ポンプより下流側の上記循環管路に
設けられており、上記発泡性混酸中のゴミを除去するフ
ィルタと 該フィルタより下流側であり上記処理槽に到る手前の上
記循環管路に設けられ、上記発泡性混酸中の気泡を分離
する気泡分離器とを有してなる。

〔作用〕

循環管路の最下流に気泡分ｍ各を配した構成により、発
泡性混酸は清浄でしかも気泡を含まない状態で処理槽に
戻され、処理槽内には、清浄でしかも気泡を含まない発
泡性混酸が貯溜される。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例になる発泡性混酸用循環−過
装置１を示す。

図中、２は石英製のオーバフロー処理槽であり、過酸化
水素水と硫酸との発泡性混酸３が貯溜してあり、ヒータ
４により１００〜１５０”Ｃに加熱しである。混酸３は
常時オーバフロー状態にある。

半導体素子の製造過程においては、ウェハ５が混酸３内
に浸漬されて、表面を有機物除去処理される。

６はオーバフローした混酸３が再び処理槽２に戻るよう
に循環させる循環管路であり、管６−１〜６−４とから
なる。

循環管路６には、上流側から順にベローズ又はダイヤフ
ラム型のポンプ７、ゴミを除去するフィルタ８及び気泡
を分離する気泡分離器９が設けである。即ち、気泡分離
器９は最下流側に、換言すれば、処理ＷＪ２に到る手前
の個所に設けである。

フィルタ８は、ハウジング１０内に親水処理したＰＴＦ
Ｅ　（ポリテトラフルオロエチレン）製の膜１１を設け
、且つハウジング１０の上部にエア抜き１２を設けてな
る構成である。

気泡分離器９は、ハウジング１３内にＰＴＦＥ製膜１４
をその上端を大気開放の状態で設けてなる構成である。

ハウジング１３は（混酸＋気泡）人口１５と、気泡出口
１６と、混酸出口１７とを有する。ＰＴＦＥ製膜１４は
、バブルポイントが少なくともポンプ７の吐出圧力より
高いように構成しである。

ＰＴＦＥ！１１膜１４は撥水性を有し、液体は透過せず
、気泡だけを透過する。この膜１４に親水化処理をする
と、液体を気泡と共に透過させる。

オーパフ０−（ｔた混酸３はポンプ７によりフィルタ８
に送られ、こ）でゴミを除去され、清浄化されて気泡分
１１１３９に送られる。

気泡は循環管路６のうち圧力変化がある個所、即ちポン
プ７の個所の他にフィルタ８の個所でも生ずる。１８は
ポンプ７の個所で生じた気泡、１９はフィルタ８の個所
で生じた気泡である。

気泡１８．１９は、混酸３と共にフィルタ８を透過し、
生長しつ）進み、気泡分離器９に到る。

こ）で、気泡１８．１９だけがＰＴＦＥ製膜１４を透過
して混酸より分離され、矢印２０で示すように気泡出口
１６を通して大気中に１）１気されて、’Ｊｌ＋環管路
環管上６内去される。

管６−４内には、ゴミが除去され且つ気泡を含まない混
酸が送り出されて処理槽２内に供給される。

これにより、処理槽２内の混酸３は清浄でしかも気泡を
含まない状態を維持し、ウェハ５は表面全体がムラなく
均一に処理される。

第２図ｔま、第１図中気泡分離器９の変形例である気泡
分離器３０を示す。同図中、３１はハウジング、３２は
ハウジング３１の上方間口を塞ぐＰＴＦＥ製膜、３３は
（混酸十気泡）入口、３４は気泡出口、３５は混酸出口
である。

入口３３より混酸と共に流入した気泡３６は、ＰＴＦＥ
製膜３２を透過して混酸より分離され、矢印３７で示す
ように大気中にり１気される。

〔発明の効果〕

本発明によれば、発泡性混酸は、循環−過の途中で発生
した気泡が分離除去された状態で処理槽内に戻されるた
め、処理槽内に、清浄でしかも気泡を含まない発泡性１
１１２酸を貯溜することが出来、然して、ウェハの表面
全体を均一性良く処理づることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例になる発泡性混酸用循環濾過
装置を示す図、 第２図は第１図中の気泡分離器の変形例を示す図である
。 図中、 １は発泡性混酸用循環−過装置、 ２はオーバフロー処理槽、 ３は発泡性混酸、 ６は循環管路、 ６−１〜６−４は管、 ７はポンプ、 ８はフィルタ、 ９．３０は気泡分離器、 １１は親水処理したＰＴＦＥ製膜、 １４．３２はＰＴＦＥ製膜、 １８．１９．３６は気泡である。 ７　′−７− 代理人　弁理士　井　桁　貞　−・ １砕塊Ｍ掬環す義表１ 第１ 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 発泡性液を含む発泡性混酸（３）を貯溜しており、被処
   理物（５）が浸漬されて処理される処理槽（２）と、 上記発泡性混酸（３）を該処理槽（２）より出て再び該
   処理槽（２）に戻るように循環させる循環管路（６、６
   −＿１〜６−＿４）と、 該循環管路（６）の上流側に配されたポンプ（７）と、 該ポンプ（７）より下流側の上記循環管路に設けられて
   おり、上記発泡性混酸中のゴミを除去するフィルタ（８
   ）と 該フィルタ（８）より下流側であり上記処理槽（２）に
   到る手前の上記循環管路に設けられ、上記発泡性混酸（
   ３）中の気泡（１８、１９、３６）を分離する気泡分離
   器（９、３０）と、 を有してなることを特徴とする発泡性混酸用循環ろ過装
   置。