KR100311185B1

KR100311185B1 - 반도체메모리

Info

Publication number: KR100311185B1
Application number: KR1019940003992A
Authority: KR
Inventors: 아끼야마노보루; 미쯔모또긴야; 아끼오까다까시; 유꾸따께세이고
Original assignee: 가나이 쓰도무; 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
Priority date: 1993-03-03
Filing date: 1994-03-02
Publication date: 2001-12-15
Also published as: US5392246A; JPH06314499A; KR940022848A; JP3020077B2

Abstract

반도체 메모리에 관한 것으로서, 특정 블럭내의 영역에 결함이 집중해서 발생해도 이것을 구제할 수 있고 결함 발생 상황에 따라서 1개의 용장 구제 단위 메모리어레이로 구제할 수 있는 메모리 어레이의 범위를 변경할 수 있도록 하기 위해서, 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 각 메모리매트내의 칼럼 구제 단위어레이군중 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 명령에 따라서 데이타선에서 공급된 신호를 전송하고, 결함이 있을 때에는 명령에 관계없이 데이타선으로부터의 신호의 출력을 금지하는 제1데이타 선택수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 용장 메모리블럭내의 용장 칼럼 단위어레이군중의 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 명령에 관계없이 용장 데이타선으로부터의 신호의 출력을 금지하고, 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하고 있을 때에는 명령에 따라서 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 제2데이타 선택수단 및; 제1 데이타 선택수단에 의해 선택된 신호 또는 제2데이타 선택수단에 의해 선택된 데이타중의 1개를 선택해서 전송하는 제3데이타 선택수단을 포함하는 구성으로 하였다.

이것에 의해, 특정 메모리블럭내에 로우결함 또는 칼럼결함이 집중해서 발생해도 결함이 발생한 영역을 구제할 수 있으므로 더욱 자유롭게 구제를 실행할 수 있으며, 또 1개의 용장 메모리블럭이 구제할 수 있는 블럭수를 결함 발생 상황을 검사한 후에 변경할 수 있으므로 집중 결함 또는 결함의 발생이 적을 때에는 용장 메모리블럭의 구제영역을 한정하는 것에 의해 칩의 소비전류를 저감할 수 있다는 등의 효과가 얻어진다.

[색인어]

메모리매트, 메모리블럭, 구제 단위어레이, 데이타 선택수단, 워드선 선택 수단, 구제단위어레이 선택수단

Description

반도체 메모리(SEMICONDUCTOR MEMORY)

본 발명은 반도체 메모리에 관한 것으로서, 특히 반도체칩상에 배치된 블럭에 형성된 메모리셀군에 부가해서 배치된 서브 메모리셀로서 사용되는 용장 메모리셀군을 갖고, 상용 메모리셀의 일부에 불량이 발생했을 때 용장 메모리셀을 사용하는데 적합한 반도체 메모리에 관한 것이다.

종래, 반도체 메모리 특히 M0S메모리가 대용량, 초고속 메모리로서 사용되었다. M0S메모리를 사용하여 반도체 메모리의 집적도를 높이려는 시도가 이루어졌지만, M0S메모리의 제조공정에 있어서의 불량발생은 제조효율을 저하시키는 문제로 된다. 즉, 고집적 M0S메모리의 제조공정시에 복수의 메모리셀 중 1개의 메모리셀에 불량이 발생해도 그 메모리셀 전체의 유용성이 손실되고 메모리용량이 증대됨에 따라서 제조효율이 저하하게 된다.

메모리의 제조효율을 향상시키기 위해, 칩상에 상용 메모리셀군에 부가해서 서브 메모리셀을 미리 배치해 두고, 상용 메모리셀중에 불량이 발생했을 때에 사용하도록 한 기술이 제안되어 있다.

예를 들면, 16메가비트의 총기억용량을 갖는 반도체 메모리를 구성하는 경우, 이하의 공정을 포함하는 프로세스가 사용된다. 즉, 복수의 메모리셀을 8개의 메모리블럭으로 분할하여 배치하고, 각 메모리블럭을 16개의 메모리 매트로 분할하고, 각 메모리 매트를 8개의 구제 단위어레이로 분할하고, 각 메모리 매트를 분할워드선을 공유한 복수의 메모리셀열로 구성하고, 2메가비트의 메모리블럭에 각각 용장 로우 어레이와 용장 칼럼 어레이를 배치하고, 각 메모리블럭내의 메모리매트의 데이타선중의 어느 하나에 결함이 발생했을 때에는 각 구제 단위어레이를 용장 칼럼 어레이로 치환하는 프로세스가 사용된다.

상술한 기술에 관한 구성으로서는 일본국 특허공개공보 소화 59-135700호, 일본국 특허공개공보 평성3-105799호, 일본국 특허공개공보 평성3-15078호, 일본국 특허공개공보 평성3-162795호, 일본국 특허공개공보 평성2-208897호 및 USP 4,473,895호에 기재된 것을 들 수 있다.

그러나, 상술한 종래의 기술에서는 1개의 블럭에 데이타선 결함 등의 불량이 집중해서 발생한 경우, 용장 메모리셀 어레이의 용장 칼럼의 수가 부족해서 구제할 수 없게 되는 문제가 있다. 예를 들면, 각 블럭내에 용장 칼럼 어레이가 2개 배치되어 있는 경우, 메모리매트중 3개의 구제 단위어레이에 결함이 발생했을 때에는 2개의 구제 단위어레이를 용장 칼럼 어레이로 구제할 수는 있다.

그러나, 나머지 1개의 구제 단위어레이는 구제할 수 없다.

상술한 문제를 방지하기 위해, 용장 칼럼 어레이의 수를 증가시키는 것도 고려된다. 그러나, 상술한 구성을 채용하면, 각 메모리블럭마다 용장 칼럼 어레이의 영역이 증가하여 칩 면적이 현저하게 증대하게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 특정 블럭내의 영역에 결함이 집중해서 발생해도 이것을 구제할 수 있는 반도체 메모리를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 결함 발생 상황에 따라서 1개의 용장 구제 단위 메모리어레이로 구제할 수 있는 메모리 어레이의 범위를 변경할 수 있는 반도체 메모리를 제공하는 것이다.

도1은 본 발명의 제1실시예를 도시한 전체 구성도.

도2는 메모리블럭과 용장 메모리블럭의 접속관계를 설명하기 위한 도면.

도3은 제1실시예에 따른 회로도.

도4는 메모리 매트를 도시한 구체적인 구성도.

도5는 칼럼에 사용하는 디코더를 도시한 구성도.

도6은 퓨즈 프로그램회로를 도시한 구체적인 구성도.

도7은 프리 센스 앰프와 메인 센스 앰프를 도시한 구체적인 회로도.

도8은 용장 칼럼 단위어레이를 도시한 구체적인 구성도.

도9는 용장 칼럼 구제단위어레이 선택용 디코더를 도시한 구체적인 회로도.

도10은 I/0선 선택회로를 도시한 구체적인 회로도.

도11은 본 발명의 제2실시예의 구성을 도시한 블럭도.

도12는 본 발명의 제3실시예의 구성을 도시한 블럭도.

도13은 본 발명의 제4실시예의 구성을 도시한 블럭도.

도14는 본 발명의 제5실시예의 구성을 도시한 블럭도.

도15는 본 발명의 제6실시예의 구성을 도시한 블럭도.

도16은 로우 구제 단위어레이와 용장 로우 단위어레이를 도시한 회로도.

도17은 본 발명의 제6실시예를 도시한 블럭도.

도18은 구제영역 선택신호 생성기를 도시한 회로도.

도19는 퓨즈(1010)과 (1011)이 모두 온일 때 형성되는 블럭 선택신호의 논리 구성을 도시한 도면.

도20은 퓨즈(1010)이 오프이고 퓨즈(1011)이 온일 때 형성되는 블럭선택 신호의 논리 구성을 도시한 도면.

도21은 본 발명의 제7실시예를 도시한 회로도.

도22는 NOR회로를 도시한 회로도.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 반도체 메모리의 배치에 의해 결함이 발생한 칼럼을 구제하도록 한 것으로서, 반도체칩 영역을 복수의 메모리블럭과 용장 메모리블럭으로 분할하고, 각 메모리블럭을 복수의 칼럼 구제 단위어레이로 분할하고, 각 용장 메모리블럭을 복수의 용장 칼럼 단위어레이로 분할하고, 복수의 메모리셀을 각 칼럼 구제 단위어레이와 각 용장 칼럼 단위어레이에 배치하고, 각 칼럼 구제 단위어레이내의 메모리셀군을 워드선과 데이타선에 접속하고, 각 용장 칼럼 단위어레이내의 용장 메모리셀군을 용장 워드선과 용장 데이타선에 접속하고, 용장 칼럼 단위어레이에 대한 데이타선택을 제어하는 제1 및 제2데이타 선택수단을 각 메모리블럭내에 배치하고, 데이타 선택수단중의 하나에서 선택된 데이타만을 선택하여 전송하는 제3데이타 선택수단을 배치하며, 각 메모리블럭에 결함이 없을 때에 제1데이타 선택수단에 의해 선택된 데이타 즉 각 메모리 블럭의 칼럼 구제 단위어레이에서 선택된 데이타를 제3데이타 선택수단을 거쳐서 그대로 전송하고, 메모리블럭중의 어느 하나에 결함이 있을 때에는 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이에 대한 데이타의 선택을 금지하고, 결함이 발생한 칼럼 단위어레이 대신에 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 단위어레이를 지정하고, 결함이 발생한 구제 단위어레이 대신에 지정된 용장 칼럼 단위어레이에서 제2데이타 선택수단에 의해 데이타를 선택하고 선택된 데이타를 제3선택수단을 거쳐서 전송하도록 구성되어 있다.

구체적으로, 제1데이타 선택수단은 칼럼 단위어레이군내의 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 명령에 따라서 데이타선으로 부터의 신호를 전송하고, 결함이 있을 때에는 명령에 관계없이 데이타선으로 부터의 신호의 출력을 금지하도록 구성된다. 제2데이타 선택수단은 용장 칼럼 단위어레이군 내의 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 명령에 관계없이 용장 데이타선으로 부터의 신호의 출력을 금지하고, 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용할 때에는 명령에 따라서 용장 데이타선으로 부터의 신호를 전송하도록 구성된다. 제3데이타 선택수단은 제1데이타 선택수단에 의해서 선택된 데이타 또는 제2데이타 선택수단에 의해 선택된 데이타중의 하나를 선택하여 전송하도록 구성된다.

제1데이타 선택수단은 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택 신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위한 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단으로 구성할 수 있다.

제2데이타 선택수단은 어드레스 신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 워드선군중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 데이타선군중 지정된 용장 데이타선으로 부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 용장 메모리 블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위한 용장 칼럼 구제 단위어레이의 선택신호를 생성하는 복수의 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 지정된 칼럼 구제 단위어레이를 사용할 때에는 각 용장 데이타선 선택 수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 지정된 칼럼 구제 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단으로 구성할 수 있다.

제3데이타 선택수단은 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단으로 구성할 수 있다.

보다 구체적으로, 각 데이타 선택수단은 데이타선 선택수단으로서 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호, 칼럼 선택신호 및 매트 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호롤 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 이 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로 부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치 회로를 포함하도록 구성된다.

용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호, 칼럼 선택신호 및 매트 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 이 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로로 구성할 수 있다.

칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호와 매트 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더로 구성할 수 있다.

용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호와 매트 선택신호의 조합에 의한 논리 신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈; 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호와 매트 선택 신호의 조합에 의한 논리신호군중 어느 하나의 논리신호를 받고 퓨즈가 차단되어 있지 않으면 공급된 논리신호를 그대로 전송하고, 차단되어 있을 때에는 공급된 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및; 각 게이트 회로에서 공급된 논리신호를 받고, 논리신호군의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더로 구성할 수 있다.

각 워드선 선택수단은 복수의 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 어드레스 신호에서 생성된 메인 워드 선택신호와 블럭선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 메인 워드선 선택명령신호를 전송하는 메인 워드선 선택용 디코더; 메인 워드선 선택명령신호에 응답해서 지정된 메인 워드선으로 메인 워드선 구동신호를 전송하는 메인 워드선 구동회로; 하나의 워드선을 선택하기 위한 신호로서 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호, 매트선택신호 및 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 서브 워드선 선택명령신호를 전송하는 서브 워드선 선택용 디코더 및; 메인 워드선 구동신호와 서브 워드선 선택명령신호에 응답해서 지정된 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 서브 구동회로로 구성할 수 있다.

용장 워드선 선택수단은 복수의 용장 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 어드레스 신호에서 생성된 메인 워드 선택신호와 블럭 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 메인 워드선 선택명령신호를 전송하는 용장 메인 워드선 선택용 디코더; 용장 메인 워드선 선택명령신호에 응답해서 지정된 용장 메인 워드선으로 용장 메인 워드선 구동신호를 전송하는 용장 메인 구동회로; 하나의 용장 워드선을 선택하기 위한 신호로서 어드레스 신호에서 생성된 블럭 선택신호, 매트 선택신호 및 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 서브 워드선 선택명령신호를 전송하는 용장 서브 워드선 선택용 디코더 및; 용장 메인 워드선 구동신호와 용장 서브 워드선 선택명령신호에 응답해서 지정된 용장 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 서브 구동회로로 구성할 수 있다.

데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈; 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것을 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함 판정회로; 결함 판정회로에서 무결함신호가 발생하고 있는 조건하에서만 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호(기동제어신호)를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 발생회로 및; 제어신호 발생회로에서 공급된 온제어신호에 응답해서 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 오프신호에 응답해서 데이타선에서 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어신호로 구성할 수 있다.

용장 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈; 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로; 어레이사용 판정회로에서 어레이사용 명령신호가 발생하고 있는 조건하에서만 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프 신호를 전송하는 용장 제어신호 발생회로 및; 용장 제어신호 발생회로에서 공급된 온제어신호에 응답해서 용장 데이타선에서 공급된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 오프 제어신호에 응답해서 용장 데이타선에서 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장신호 전송제어회로로 구성할 수 있다.

결함이 발생한 로우를 구제하기 위해, 각 메모리블럭내의 메모리셀군을 복수의 로우 구제 단위어레이 또는 복수의 용장 로우 구제 단위어레이로 구성하고, 데이타의 선택을 제어하는 제1 및 제2데이타 선택수단을 각 메모리블럭과 각 용장 메모리블럭내의 각 로우 구제 단위어레이군에 배치하고, 데이타 선택수단중의 하나에서 선택된 데이타만을 선택해서 전송하는 제3데이타 선택수단을 배치하며, 각 메모리블럭에 결함이 없을 때에 각 메모리블럭의 로우 구제 단위어레이에서 선택된 데이타를 그대로 전송하고, 메모리블럭중의 어느 하나에 결함이 있을 때에는 결함이 발생한 로우 구제 단위어레이에 대한 데이타 선택을 금지하고, 결함이 발생한 로우 구제 단위어레이 대신에 용장 메모리블럭의 용장 로우 단위어레이를 지정하고, 결함이 발생한 구제 단위어레이 대신에 지정된 용장 로우 단위어레이에서 데이타를 선택한다. 이 경우, 각 데이타 선택수단은 결함이 발생한 칼럼을 구제하는데 사용되는 것과 동일한 기능을 가져도 좋다.

상기 반도체메모리와 같은 기능을 갖는 반도체 메모리 칩을 복수의 구제 영역으로 분할하고, 결함 발생 상황에 따라서 용장 메모리블럭에 의존하여 구제 영역을 지정하는 방식으로 용장 메모리블럭에 의해 구제할 수 있는 범위를 결정하고, 이러한 결정된 범위의 메모리를 구제한다.

특히, 각 용장 메모리블럭은 어드레스 신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스 신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리 매트의 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위한 용장 칼럼 구제단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 주데이타 출력선으로 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 전송하고, 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호 전송 제어수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속된 각 용장 메모리셀군이 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 용장 메모리블럭군; 어드레스 신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼단위어레이의 용장 워드선군중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장데이타선군중 지정된 용장 데이타선으로 부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위한 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 지정된 용량 칼럼 단위어레이를 사용할 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장데이타 출력선으로 전송하고, 지정된 칼럼 구제 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호 전송 제어수단;각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 용상 메모리블럭군에 의해 구제할 수 있는 범위를 결정하는 구제 영역 선택신호를 생성하는 구제 영역 선택신호 생성수단; 구제 영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 워드선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 워드선 선택동작 제어수단; 구제 영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 데이타선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 데이타선 선택동작 제어수단; 구제 영역선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 칼럼구제 단위어레이 선택신호 생성수단의 생성동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 생성 동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성동작 제어수단을 포함하도록 구성되어 있다.

상기한 반도체 메모리를 구체화하면, 구제 영역 선택신호 생성수단은 전원에 접속된 복수의 퓨즈; 각 퓨즈가 차단되어 있는지 아닌지에 따라서 다른 신호를 생성하는 복수의 신호생성회로 및; 각 신호생성회로에서 공급된 신호와 어드레스신호에서 생성된 블럭 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 구제 영역선택신호를 생성하는 구제 영역 선택신호 생성회로를 포함한다.

상기한 메모리수단은 각 메모리블럭에 결함이 없을 때에 각 메모리 블럭내의 칼럼 구제 단위어레이군에서 선택된 데이타를 그대로 전송한다. 메모리블럭중의 어느 하나에 결함이 있을 때에는 결함이 발생한 구제 단위어레이에 대한 데이타의 선택을 저지한다. 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이 대신에 지정된 용장 칼럼 단위어레이로 부터의 지정된 데이타를 전송하도록 칼럼 구제 단위어레이 대신에 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 단위어레이를 지정한다. 따라서, 특정 메모리블럭에 결함이 집중해서 발생해도 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이 대신에 용장 메모리블럭내의 용장 칼럼 단위어레이군을 사용하므로 결함이 발생한 칼럼을 구제할 수 있고, 더욱 자유롭게 구제를 실행할 수 있게 된다.

상기한 수단에 따르면, 데이타선 결함 등의 결함이 칼럼 구제 단위어레이에 발생하지 않으면, 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호를 사용하여 메모리 블럭군의 특정 메모리블럭과 메모리매트를 선택하는 것에 의해 워드선 선택신호와 데이타선 선택신호에 따라서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군중 지정된 데이타선으로 부터의 신호가 주데이타 출력선으로 전송된다.

칼럼 구제 단위어레이중의 어느 하나에 데이타선 결함 등의 결함이 발생했을 때에는 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 칼럼 구제 단위어레이 선택신호가 생성된다. 또, 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위 어레이군에서 어레이를 선택하기 위한 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호가 생성된다. 또, 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속된 용장 데이타 출력선이 지정된 주데이타 출력선에 접속된다. 상기한 처리가 실행된 후, 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이가 순차 액세스되는 과정에서 칼럼 구제 단위어레이가 액세스되면, 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선에서 출력된 신호가 주데이타 출력선으로 출력되는 것이 저지된다. 이때, 용장 메모리블럭의 지정된 용장 칼럼 단위어레이가 액세스되고, 이 용장 칼럼 단위어레이의 데이타선의 신호가 용장 데이타 출력선을 거쳐서 지정된 주데이타 출력선으로 전송된다. 즉, 칼럼 구제 단위어레이중의 어느 하나에 결함이 발생했을 때에는 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이로 부터의 데이타의 출력이 금지된다. 그 대신에, 용장 메모리블럭중 지정된 용장 칼럼 단위어레이의 데이타가 전송되게 된다. 어떠한 메모리블럭의 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 발생해도 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이를 지정하기 위한 칼럼 구제 단위어레이 선택신호가 생성된다. 또, 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호가 생성된다. 또, 상기한 용장 칼럼 단위어레이에 접속된 용장 데이타 출력선이 지정된 주데이타 출력선에 접속된다. 따라서, 데이타선 결함 등의 결함이 특정 메모리블럭에 집중해서 발생해도 이 결함이 발생한 메모리블럭을 구제할 수 있고, 더욱 자유롭게 구제를 실행할 수 있게 된다.

로우 구제용 반도체 메모리의 로우 구제 단위어레이에 결함이 발생했을 때에도 칼럼 구제용 반도체 메모리의 경우와 마찬가지로 결함이 발생한 로우 구제 단위어레이 대신에 용장 메모리블럭의 로우 구제 단위어레이를 사용할 수 있다.

로우 구제용 반도체 메모리 및 칼럼 구제용 반도체 메모리를 액세스하는 경우, 로우 구제 단위어레이 또는 칼럼 구제 단위어레이의 결함의 유무에 관계없이 어느 하나의 메모리블럭의 로우 구제 단위어레이 또는 칼럼 구제 단위어레이를 액세스하고 결함이 발생한 로우 구제 단위어레이 또는 칼럼 구제 단위어레이로 부터의 데이타의 출력을 금지한다. 그 대신에, 용장 메모리블럭의 용장 로우 단위어레이 또는 용장 칼럼 단위어레이로 부터의 데이타를 전송한다.

따라서, 결함이 발생한 용장 로우 단위어레이 또는 용장 칼럼 단위어레이의 선택을 금지하기 위한 어드레스 신호를 생성할 필요가 없어진다. 그 결과, 지정된 메모리셀로 부터의 데이타를 전송하는데 따른 지연시간의 발생을 방지할 수 있다.

용장 메모리블럭을 복수 갖고 메모리가 복수의 구제 영역으로 분할되어 있는 방식으로 배열된 칼럼 또는 로우 구제용 반도체 메모리에서는 칩 작성후의 결함 발생 상황을 검사한 후에 퓨즈 등의 수단을 사용하여 용장 메모리블럭에 의해 구제할 수 있는 구제 영역을 프로그램하므로, 1개의 용장 메모리블럭에 의해 구제할 수 있는 메모리블럭의 수를 변경할 수 있다. 이 때문에, 결함 발생 상황에 따라서 집중 결함 또는 결함의 발생이 적은 경우에는 용장 메모리블럭에 의해 구제할 수 있는 구제영역이 한정된다. 그 결과, 구제를 빠르게 실행할 수 있고, 칩의 소비전류를 저감할 수 있다.

본 발명의 그 밖의 목적과 특징은 다음의 기술 및 첨부도면에서 더욱 명확하게 될 것이다.

본 발명의 실시예를 도면을 참조해서 설명한다.

도1∼도4에 있어서, 반도체 메모리는 칩(100)을 갖는다. 이 칩(100)상에는 복수의 메모리셀이 8개의 메모리블럭(200)으로 분할되어 배치되어 있고, 또 칩(100)은 각각 용장 메모리셀 어레이(서브 메모리셀 어레이)로 이루어지는 2개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 포함한다.

각 메모리블럭(200)은 도3에 도시한 바와 같이, 메인 워드선을 공유한 복수의 메모리셀열로 이루어지는 메모리셀 어레이를 포함하고, 2메가비트의 메모리 용량을 갖는다. 또, 각 메모리블럭(200)은 16개의 메모리 매트(210)(#0∼#15메모리 매트)로 분할되어 있고, 각 메모리 매트(210)은 도2에 도시한 바와 같이 8개의 칼럼 구제 단위어레이(211)(#a∼#h)로 분할되어 있다. 각 메모리 매트(210)은 도3에 도시한 바와 같이 서브 워드선(356)을 공유한 복수의 메모리셀 열로 이루어지는 메모리셀 어레이를 포함하고, 각 메모리 매트(210)내에는 용장 로우 어레이(420)을 갖는다. 1개의 메모리 매트(210)은 128k비트(128칼럼 ×1024로우)의 메모리 용량을 갖는다. 칼럼 구제 단위어레이(211)은 16k비트(16칼럼×1024로우)의 메모리 용량을 갖는다.

각 용장 전용 메모리블럭(310)은 8개의 용장 칼럼 단위어레이(311)(#a'∼#h')로 구성되고, 128k비트(128칼럼×1024로우)의 메모리 용량을 갖는다. 각 용장 칼럼 단위어레이(311)은 메모리블럭(200)의 칼럼 구제 단위어레이(211)과 마찬가지로 16칼럼×1024로우의 메모리 용량을 갖는다.

각 칼럼 구제 단위어레이(211)에는 16k개(1024×16)의 용장 메모리셀(340R)이 배열되어 있다(도 8 참조). 각 메모리셀(340)에는 1개의 서브 워드선(356)과 한쌍의 데이타선(341)이 접속되어 있다. 각 용장 메모리셀(340R)은 1개의 용장 서브 워드선(356R)과 한쌍의 용장 데이타선(341R)을 갖는다. 각 서브 워드선(총 1024선이 배치되어 있다)(356)은 서브 워드 드라이버(355)(총 1024드라이버가 배치되어 있다)와 메인 워드선(351)을 거쳐서 메인 워드 드라이버(350)에 접속되어 있다. 각 용장 서브 워드선(356R)은 용장 서브 워드 드라이버(355R)과 용장 메인 워드선(351R)을 거쳐서 용장 메인 워드 드라이버(350R)에 접속되어 있다.

이러한 구성에서는 128개의 메인 워드선(351)과 128개의 용장 메인 워드선(351R)이 배치되어 있다. 메인 워드선(351)과 용장 메인 워드선(351R)은 각각 8개의 서브 워드 드라이버(355)와 용장 서브 워드 드라이버(355R)에 접속되어 있다.

즉, 8개의 서브 워드 드라이버(355) 또는 (355R)은 1개의 메인 워드 드라이버(350) 또는 용장 메인 워드 드라이버(350R)에서 공급된 신호에 의해서 구동되도록 되어 있다.

한쌍의 데이타선(341)은 칼럼 스위치(330)을 거쳐서 프리 센스 앰프(220)에 접속되고, 한쌍의 용장 데이타선(341R)은 용장 칼럼 스위치(330R)을 거쳐서 용장 프리 센스 앰프(220R)에 접속된다. 칼럼 스위치(330) 또는 (330R)중 어느 하나가 어드레스 신호에 따라서 온상태로 되었을 때, 1개의 데이타가 8개(#a∼#h)의 칼럼 구제 단위어레이(211) 또는 8개(#a'∼#h')의 용장 칼럼 단위어레이(311)에서 각 프리 센스 앰프(220) 또는 (220R)로 공급된다. 즉, 각 메모리블럭(200) 또는 용장 전용 메모리블럭(310)이 8비트의 신호를 전송한다. 각 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)이 모두 정상일 때에는 각 칼럼 구제 단위어레이(21l)에서 공급된 데이타를 그대로 프리 센스앰프(220)을 거쳐서 전송한다. 설명을 간단히 하기 위해 도1에서는 8비트중 1비트에 대한 구성을 도시한다.

메모리블럭(200)내의 어느 하나의 칼럼 구제 단위어레이(2l1)의 데이타선(341)에 결함이 발생했을 때 예를 들면 #c와 #h의 칼럼 구제 단위어레이(211)에 결함이 발생한 경우, 칼럼 구제 단위어레이(211)내의 메모리셀(340)을 액세스했을 때 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이(211)에 접속된 프리센스 앰프(220)을 오프상태로 해서 데이타의 출력을 금지한다. 또, #c와 #f의 칼럼 구제 단위어레이(211) 대신에 #a'와 #b'의 용장 칼럼 단위어레이(311)내의 용장 메모리셀(340R)을 액세스하고 용장 프리센스앰프(220R)을 온상태로 해서 용장 데이타선(341R)에서 데이타를 전송한다.

각 메모리블럭(200)에서 전송된 데이타를 선택하기 위해 각 메모리블럭(200)내에 제1데이타 선택수단(710)이 배치되어 있다. 또, 각 용장 전용 메모리블럭(310)에서 전송된 데이타를 선택하기 위해 각 용장 전용 메모리블럭(310)에 제2데이타 선택수단(720)이 배치되어 있다. 또, 제1데이타 선택수단(710)에 의해 선택된 데이타 또는 제2데이타 선택수단(720)에 의해 선택된 데이타중 어느 1개를 선택하기 위해 제3데이타 선택수단(730)이 배치되고, 제3데이타 선택수단(730)은 메인 센스 앰프(600)을 거쳐서 출력버퍼(610)에 접속되어 있다. 도1 및 도2에서는 제1데이타 선택수단(710)으로서 프리센스앰프(220)을, 제2데이타 선택수단(720)으로서 용장 프리센스앰프(220R)만을 각각 도시하고 있다.

이하, 제1데이타 선택수단(710), 제2데이타 선택수단(720) 및 제3데이타 선택수단(730)의 구체적인 구성에 대해서 설명한다.

제1데이타 선택수단(710)은 칼럼 스위치(330), 메인워드 드라이버(350), 서브 워드 드라이버(355), 프리센스 앰프(220), 인버터(230), NAND게이트(240), 인버터(250), 퓨즈 프로그램 회로(400) 및 디코더(500),(510),(520),(530)을 포함한다. 디코더(500)∼(530)은 대응 신호선(110)∼(118)을 거쳐서 어드레스 버퍼(150)에 접속되어 있다. 어드레스 버퍼(150)은 신호선(110)으로 3비트의 블럭선택신호를, 신호선(112)로 4비트의 매트선택신호를, 신호선(114)로 3비트의 로우 선택신호를, 신호선(116)으로 7비트의 메인 워드 선택신호를, 신호선(118)로 4비트의 칼럼선택신호를 전송한다. 디코더(500)에는 블럭선택신호, 매트선택신호 및 칼럼 선택신호가 입력되고, 디코더(510)에는 블럭선택신호와 매트선택신호가 입력된다. 디코더(520)에는 블럭선택신호, 매트선택신호 및 로우선택신호가 입럭되고, 디코더(530)에는 블럭선택신호와 메인 워드 선택신호가 입력되고 있다.

디코더(500)은 도5에 도시한 바와 같이, 칼럼선택신호에 응답하는 16개의 게이트회로(G10), 블럭선택신호와 칩선택신호에 응답하는 8개의 게이트회로(G20) 및 매트선택신호에 응답하는 16개의 게이트회로(G30)을 포함한다. 또, 디코더는 NAND게이트(G40),(G50) 및 인버터(G60),(G62),(G64),(G66)을 포함한다.

디코더(500)은 어드레스 신호에 따라서 워드선택신호로서 생성된 매트선택신호, 블럭선택신호 및 칼럼선택신호의 조합의 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 칼럼 스위치(330)으로 전환신호를 전송한다.

즉, 블럭신호에 응답해서 자신의 블럭이 선택되고, 매트선택신호에 응답해서 자신의 메모리매트가 선택되었을 때, 칼럼선택신호에 응답해서 지정된 칼럼스위치(330)으로 데이타선 기동신호를 전송한다. 기동된(온으로 된) 칼럼스위치(330)에 접속된 데이타선(341)로 부터의 신호를 프리 센스 앰프(220)으로 전송한다. 즉, 디코더(500)은 데이타선 선택용 디코더로서 기능하도록 배치되어 있고, 칼럼스위치(330)은 칼럼스위치회로로서 기능하도록 배치되어 있다. 디코더(500) 및 칼럼스위치(330)에 의해 데이타선 선택수단을 구성한다.

디코더(510)은 각 칼럼 구제 단위어레이에 배치되고, 어드레스버퍼(150)에서 공급된 블럭선택신호와 매트선택신호를 받고, 이들 신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더로서 기능하도록 배치되어 있다. 즉, 디코더(510)은 용장 구제 단위어레이를 선택하는 신호를 NAND게이트(240)으로 전송하는 용장 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 수단으로서 기능하도록 배치되어 있다.

NAND게이트(240)에는 퓨즈 프로그램회로(400)에서 전송된 신호가 인버터(250)을 거쳐서 입력된다. NAND게이트(240)은 각 입력신호의 논리에 응답한 신호를 인버터(230)을 거쳐서 프리센스앰프(220)으로 전송한다. 퓨즈프로그램 회로(400)은 도6에 도시한 바와 같이, 전원에 접속된 퓨즈(430), 커패시터(460), CMOS인버터(440) 및 NMOS트랜지스터(450)을 포함하고, 퓨즈(430)이 차단되어 있지 않을 때에는 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없다고 판단하여 로우 레벨 신호를 전송한다. 퓨즈(430)이 차단되어 있을 때에는 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있다고 판단하여 하이레벨신호를 전송한다. 로우레벨신호는 인버터(250)에 의해 반전되어 하이레벨의 무결함신호로서 전송된다. 하이레벨 무결함신호는 인버터(250)에 의해 반전되어 로우레벨의 무결함신호로서 전송된다.

즉, 인버터(250)과 퓨즈 프로그램신호(400)은 무결함 판정회로로서 구성되어 있다. NAND게이트(240)과 인버터(230)은 인버터(250)에서 하이레벨신호(무결함신호)가 발생되고 있는 상태에서 칼럼 구제단위어레이를 선택하는 신호가 공급되었을 때에만 하이레벨의 온제어신호(기동신호)를 프리센스앰프(220)으로 전송하는 제어신호 발생회로로서 기능하도록 배치되어 있다. 그 이외의 경우, 즉 디코더(510)으로 부터의 출력신호가 로우레벨로 되었을 때 또는 인버터(250)로 부터의 출력레벨이 로우레벨로 되었을 때(즉, 무결함신호가 발생되어 있는 경우)에는 상기한 제어신호 발생회로는 오프제어신호를 전송한다. 프리센스 앰프(220)은 인버터(230)에서 공급된 온제어신호에 응답해서 데이타선(341)에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 오프 제어신호에 응답해서 데이타선(341)에서 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어회로로서 구성되어 있다.

프리 센스 앰프(220)은 구체적으로 도7에 도시한 바와 같이 바이폴라 트랜지스터 Q1∼Q10, MOS트랜지스터 Q11∼Q25, MOS인버터(26) 및 저항 R1∼R5를 포함하고, 2단의 바이폴라 차동증폭회로와 이미터 폴로워회로를 구성하도록 되어 있다. 각 프리센스앰프(220)은 그의 출력측이 이미터 폴로워회로로 구성되어 있다. 바이폴라 트랜지스터 Q9와 Q10의 이미터가 다른 프리센스앰프(220)의 트랜지스터에 와이어드 오아 접속되어 있다. 또, 1메모리블럭당 16개의 프리센스앰프로 부터의 출력이 와이어드 오아 접속되어 있다. 이러한 상태에서 각 이미터 폴로워회로가 부하 구동회로(260)에 접속된다.

부하 구동회로(260)은 MOS트랜지스터 Q27∼Q30 및 바이폴라 트랜지스터 Q31과 Q32를 포함하고, 이미터 폴로워회로를 구성하도록 되어 있다. 8개의 부하 구동회로(260)의 출력과 1개의 용장 부하 구동회로(360)의 출력 즉, 9개의 출력이 서로 와이어드 오아 접속된 상태에서 1개의 메인 센스 앰프(600)에 접속된다. 메인 센스 앰프(600)은 바이폴라 트랜지스터 Q33∼Q40, MOS트랜지스터 Q41∼Q50 및 저항 R6∼R7을 포함하고, 바이폴라 레벨 시프트회로, 바이폴라 차동증폭회로 및 이미터 폴로워회로를 구성하도록 되어 있다.

디코더(530)은 어드레스 버퍼(150)에서 공급된 블럭선택신호와 메인 워드 선택신호를 받고, 이들 신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 특정 메인 워드 드라이버(350)으로 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 메인 워드선 선택용 디코더로서 기능하도록 배치된다. 상기한 구성에서는 128개의 메인 워드 드라이버(350)이 구비되어 있다. 각 메인 워드 드라이버(350)에는 메인 워드선(351)을 거쳐서 8개의 서브 워드 드라이버(355)에 접속되어 있다.

각 메인 워드 드라이버(350)은 디코더(530)에서 공급된 메인 워드선 선택신호에 응답해서 메인 워드선(351)로 메인 워드선 구동신호를 전송하는 메인 구동회로로서 기능한다. 메인 워드 드라이버(350)이 구동되었을 때에는 메인 워드선 구동신호가 8개의 서브 워드 드라이버(355)로 동시에 공급되게 된다.

디코더(520)은 어드레스 버퍼(150)에서 공급된 블럭선택신호, 매트선택신호 및 로우 선택신호를 받고, 이들 입력신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 서브 워드 드라이버(355)를 구동하기 위한 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 서브 워드선 선택용 디코더로서 기능한다. 각 서브 워드 드라이버(355)는 서브 워드선(356)을 거쳐서 메모리셀(340)에 접속되고, 메인 워드 드라이버(350)에서 공급된 메인 워드선 구동신호와 디코더(520)에서 공급된 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 서브 워드선(356)으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 서브 구동회로로서 기능한다. 즉, 디코더(520)과 (530)에서 공급된 신호에 응답해서 메인 워드 드라이비(350)과 서브 워드 드라이버(355)가 구동되면, 각 칼럼 구제 단위어레이(211)의 서브워드선(356)중 1개의 서브 워드선(356)으로 메모리셀 구동신호가 공급되고, 칼럼 스위치가 온으로 된 데이타선(341)에 접속되어 있는 메모리셀이 액세스되도록 되어 있다. 즉, 디코더(520),(530), 메인 워드 드라이버(350) 및 서브 워드 드라이버(355)는 워드선 선택수단을 구성한다.

다음에, 제2데이타 선택수단(720)의 구성에 대해서 구체적으로 설명한다.

제2선택수단(720)은 도3 및 도8에 도시한 바와 같이, 디코더(500R),(510R),(520R),(530R), 칼럼스위치(330R), 프리 센스 앰프(220R), 인버터(230R), NAND게이트(240R), 인버터(250R), 퓨즈프로그램회로(400R), 메인워드드라이버(350R) 및 서브 워드 드라이버(355R)울 포함한다.

디코더(500R)은 디코더(500)과 동일하게 배치된 디코더 회로를 포함하고, 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 용장 칼럼 스위치(330R)로 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더로서 기능한다. 각 용장 칼럼 스위치(330R)은 한쌍의 용장 데이타선(341R)에 접속되고, 디코더(500R)에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선(341R)에서 공급된 신호를 용장 프리 센스 앰프(220R)로 전송하는 용장 칼럼 스위치회로로서 기능한다. 즉, 디코더(500R)과 용장 칼럼 스위치(330R)은 용장 데이타선 선택수단을 구성한다.

용장 프리 센스 앰프(220R), 인버터(230R), NAND게이트(240R), 인버터(250R) 및 퓨즈 프로그램회로(400R)은 데이타선 신호전송 제어수단을 구성한다.

퓨즈 프로그램회로(400R)은 전원에 접속된 퓨즈(430R), CMOS인버터(440R), NMOS트랜지스터(450R) 및 커패시터(460R)을 포함하고, 퓨즈(430R)이 차단되어 있지 않을 때에 용장 칼럼 단위어레이(311)의 사용을 금지하는 어레이사용 금지 신호로서 로우 레벨신호를 전송하는 어레이사용 판정회로로서 기능한다. 퓨즈(430R)이 차단되어 있을 때에는 상기 어레이사용 판정회로 용장 칼럼단위어레이중의 단위어레이(311)의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호로서 하이 레벨신호를 전송한다. 인버터(230R)과 NAND게이트(240R)은 퓨즈(430R)이 차단되어 있고, 퓨즈 프로그램회로에 의해 하이레벨의 어레이사용 명령신호가 발생되고 있는 조건하에서만 용장 칼럼 단위어레이를 선택하는 신호에 응답해서 온제어 신호(기동신호)(220R)을 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 발생회로를 형성한다. 상기한 구성에서는 용장 칼럼 단위어레이(311)에 대응해서 8개의 용장 프리센스 앰프(220R)을 구비하고, 각 용장 프리센스앰프(220R)의 입력측은 용장 칼럼스위치(330R)에 접속되어 있고, 그의 출력측은 I/O선 선택회로(3000)에 접속되어 있다. 용장 프리 센스 앰프(220R)은 인버터(230R)에서 공급된 온제어신호(기동신호)(220R)에 응답해서 용장 데이타선(341R)에서 공급된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 인버터(230R)에서 공급된 오프신호에 응답해서 용장 데이타선(341R)에서 전송된 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 용장 신호전송 제어회로로서 기능한다. 즉, 용장 프리 센스 앰프(220R)은 퓨즈(430R)이 차단되어 있을 때에만 디코더(510R)에서 공급된 용장 칼럼 단위어레이를 선택하는 신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선(341R)에서 공급된 신호를 I/O선 선택회로(3000)으로 전송한다.

상기한 구성에서는 용장 칼럼 단위어레이(311)에 대응해서 8개의 디코더(510R)을 구비하고 있고, 디코더(510R)은 용장 칼럼 단위어레이(311)을 선택하기 위한 신호를 생성하는 수단으로서 기능한다. 각 디코더(510R)은 도9에 도시한 바와 같이 8개의 퓨즈 스위치회로(551)∼(557), NAND게이트(580)∼(582) 및 NOR게이트(583)을 포함한다. 각 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)은 신호선(110)과 (112)에 접속되고, NOR게이트(583)은 NAND게이트(240R)에 접속되어 있다. 각 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)온 퓨즈(561), 커패시터(562), CMOS컨버터(563), NMOS트랜지스터(564), 전송 MOS트랜지스터(565), 인버터(566),(567),(568) 및 전송 MOS트랜지스터(569)를 포함한다. 퓨즈(561)이 차단되어 있지 않을 때, 인버터(563)의 출력레벨이 로우 레벨로 되어 트랜지스터(565)는 오프로, 트랜지스터(569)는 온으로 된다. 이 때, 인버터(566)에 하이레벨신호가 공급되었을 때에 인버터(566)에 의해 반전된 신호가 인버터(568)에 의해 재차 반전된다. 그 결과, 트랜지스터(569)를 거쳐서 하이레벨신호가 전송된다. 이 때, 인버터(566)에 로우 레벨신호가 공급되었을 때에는 로우 레벨신호가 트랜지스터(569)를 거쳐서 전송되게 된다.

퓨즈(561)이 차단되어 있을 때에는 인버터(563)의 출력레벨은 하이레벨로 반전되고, 인버터(567)의 출력레벨은 로우레벨로 반전된다. 그 결과, 트랜지스터(565)는 온으로 되고, 트랜지스터(569)는 오프로 된다. 이때, 인버터(566)의 입력단자에 하이레벨신호가 공급되었을 때에는 인버터(566)에 의해 반전된 로우 레벨신호가 트랜지스터(565)를 거쳐서 전송된다. 인버터(566)에 로우 레벨신호가 공급되었을 때에는 그의 신호가 반전되어 하이레벨신호가 트랜지스터(565)에서 전송되게 된다. 즉, 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)은 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호와 매트선택신호의 조합에 의한 논리 신호군에 포함된 어느 하나의 논리신호를 받고, 퓨즈(561)이 차단되어 있지 않을 때에는 공급된 논리신호를 그대로 전송하는 게이트회로로서 구성되어 있다. 퓨즈(561)이 차단되어 있을 때에는 상기 게이트회로로 공급된 논리신호의 논리를 반전해서 전송한다.

NAND게이트(580)∼(582)와 NOR게이트(583)은 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)에서 공급된 논리신호를 받고, 논리신호군의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더로서 구성되어 있다. NAND게이트(580)∼(582)와 NOR게이트(583)은 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)의 출력레벨이 하이 레벨일 때에만 NOR게이트(583)을 통해서 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 하이레벨의 신호를 전송한다. 그 이외의 경우에는 로우레벨신호를 전송한다. 즉, 디코더(510R)은 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)중 어느 하나의 퓨즈(561)이 차단되어 있을 때의 논리에 따라서 결함이 발생한 칼럼 구제 단위어레이(211)울 갖는 블럭 및 매트에 대응시킬 수 있다.

예를 들면, 매트선택신호의 4비트가 "H", "L", "L", "L"이고, 블럭선택신호의 3비트가 "L", "L", "L"인 경우를 고려한다. 상기 어드레스에 의해 지정된 블럭중 특정 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이(211)의 칼럼에 결함이 있고, 결함이 발생한 칼럼을 갖는 칼럼 구제 단위어레이(211)을 #b로 하고, 이 #b어레이를 #a'의 용량 칼럼 단위어레이로 치환하는 경우에 대해서 설명한다.

각 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)의 퓨즈(561)을 도통상태로 해두는 것에 의해 #b의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 지정하기 위한 매트선택신호와 블럭선택 신호가 퓨즈 스위치회로(551)∼(557)에 공급되었을 때 퓨즈 스위치회로(551)의 출력레벨만이 하이레벨로 된다. 그 이외의 퓨즈 스위치회로의 출력레벨은 로우 레벨로 된다. 상기한 상태에서 NAND게이트(580)∼(582)의 출력레벨은 모두 하이레벨이므로, NOR게이트(583)은 로우 레벨신호를 전송하게 된다. NOR게이트(583)이 로우 레벨신호를 전송하는 상태에서는 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호가 전송되지 않고, 용장 프리 센스 앰프(220R)이 오프로 된다.

기동신호를 하이레벨로 하여 용장 프리센스앰프(220R)을 온상태로 하기 위해서는 NOR게이트(583)의 모든 입력레벨을 로우레벨로 해야 한다. 즉, NAND게이트(581)∼(582)의 모든 입력레벨을 하이레벨로 할 필요가 있다.

따라서, 로우레벨의 매트선택신호와 블럭선택신호가 공급되고 있는 퓨즈 스위치회로(552)∼(557)의 퓨즈(561)을 모두 차단한다. 퓨즈(561)이 차단되면 트랜지스터(565)는 온으로 되고, 트랜지스터(569)는 오프로 된다. 그 결과, 각각의 논리가 반전되어 있는 신호가 전송되어 모든 NAND게이트(580)∼(582)에는 하이레벨의 신호가 공급되게 된다.

모든 NAND게이트(580)∼(582)가 하이 레벨 신호를 수신하면, NOR게이트(583)의 출력레벨이 로우레벨에서 하이레벨로 반전된다. 그 결과, NOR게이트(583)은 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 하이레벨의 신호를 전송하고, 결함이 발생한 칼럼을 갖는 블럭 및 매트와 #a'의 용장 칼럼 단위어레이(311)을 서로 대응시킬 수 있게 된다. 상기한 상태에서 퓨즈 프로그램회로(400R)의 퓨즈(430R)은 차단되어 있어야 한다. #b의 칼럼 구제 단위어레이와 #a'의 용장 칼럼 단위어레이를 서로 대응시키는 과정에 대해서는 제3데이타 선택수단(730)을 설명할 때 상세하게 기술한다.

디코더(530R)은 어드레스버퍼(150)에서 블럭선택신호와 메인 워드 선택신호를 받고, 이들 입력신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 용장 메인 워드 드라이버(350R)로 용장 메인 워드선 선택명령신호를 전송하는 용장 메인 워드선 선택용 디코더로서 구성되어 있다. 각 용장 메인 워드 드라이버(350R)은 용장 메인워드선(351R)을 거쳐서 용장 서브워드 드라이버(355R)에 접속되어 있다. 각 용장 메인워드 드라이버(350R)은 디코더(530R)에서 공급된 용장 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 메인 워드선으로 용장 메인 워드선 구동신호를 전송하는 용장 메인 드라이버회로로서 구성되어 있다.

디코더(520R)은 어드레스버퍼(150)에서 공급된 블럭 선택신호, 매트선택신호 및 로우 선택신호를 받고, 이들 입력신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 서브워드선 선택 명령신호를 선택(지정)하기 위한 신호를 전송하는 용장 서브워드선 선택용 디코더로서 구성되어 있다. 각 용장 서브워드 드라이버(355R)은 용장 서브워드선(356R)에 접속되고, 디코더(520R)에서 공급된 용장 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장서브 워드선(356R)로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 서브 드라이버회로로서 구성되어 있다. 지정된 용장 서브 워드선(356R)과 용장 데이타선이 선택되어 지정된 용장 메모리셀이 액세스되면, 상기 용장 메모리셀에 접속된 용장 데이타선(341R)에서 공급된 신호가 용장 프리센스앰프(220R)로 전송된다. 이 때, 디코더(510R)과 퓨즈 스위치회로(400R)에서 공급된 신호에 따라서 용장 프리센스앰프(220R)이 온상태로 되어 있을 때에는 용장 데이타선(341R)에서 공급된 신호가 I/O선 선택회로(3000)으로 전송되게 된다. 즉, 디코더(520R),(530R), 용장 메인 워드 드라이버(350R) 및 용장 서브 워드 드라이비(355R)은 용장 워드선 선택수단으로서 구성되어 있다.

다음에, 제3데이타 선택수단(730)의 구체적인 구성에 대해서 설명한다.

제3선택수단(730)은 용장 메모리블럭(310)마다 I/O선 선택회로(3000)과 복수의 용장 부하 구동회로(360)을 포함하고, 각 용장 부하 구동회로(360)은 공통 이미터선(주데이타 출력선)(261)에 접속되어 있다. 제3데이타 선택수단(730)은 용장 칼럼 단위어레이(311)의 임의의 어레이(311)에 접속된 용장 데이타 출력선(341R)을 지정된 공통 이미터선(261)에 접속하는 데이타 출력선 선택수단으로서 구성되어 있디. 즉, 제3데이타 선택수단(730)은 칼럼 구제 단위어레이(211)중 임의의 단위어레이(211)과 임의의 용장 칼럼 단위어레이(311)을 서로 대응시키기 위해 배치되어 있다. 다음에, 구체적인 회로구성에 대해서 설명한다.

I/O선 선택회로(3000)은 도10에 도시한 바와 같이, 3개의 퓨즈 프로그램회로(3100),(3200),(3300), 8개의 3입력 NAND게이트(3310)∼(3380) 및 8개의 I/O선 구동회로(3400)∼(4100)을 포함한다. 각 I/O선 구동회로의 입력측은 용장 프리센스앰프(220R)의 컬렉터 플로워회로에 접속되고, 그의 출력측은 용장 부하 구동회로(360)에 접속되어 있다.

각 퓨즈 프로그램회로(3100)∼(3300)은 전원에 접속된 퓨즈(3110), NMOS트랜지스터(3111),(3112), CMOS인버터(3113) 및 인버터(3114)를 포함한다. 퓨즈(3110)이 차단되어 있지 않을 때에는 퓨즈 프로그램회로(3100)∼(3300)은 신호선(3120),(3122),(3124)로 하이레벨신호를, 신호선(3121),(3123),(3125)로 로우레벨신호를 전송한다. 퓨즈(3110)이 차단되어 있을 때에는 퓨즈 프로그램회로(3100)∼(3300)은 각각의 논리가 반전된 상기 신호를 대응하는 신호선으로 전송한다. 퓨즈 프로그램회로(3100)∼(3300)의 출력신호는 3입력 NAND게이트(3310)∼(3380)을 거쳐서 I/O선 구동회로(3400)∼(4100)으로 공급된다.

각 I/O선 구동회로(3400)∼(4100)은 PMOS트랜지스터(3410),(3411), 인버터(3412), 단락용 PMOS트랜지스터(3413),(3414), 이미터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터(3415),(3416), 스위치 NMOS트랜지스터(3417),(3418) 및 정전류원을 구성하는 NMOS 트랜지스터(3419),(3420)을 포함한다. 트랜지스터(3410),(3411)은 게이트 전압이 하이레벨일 때 오프로 되고, 게이트 전압이 로우레벨일 때 온으로 된다. 그 결과, 용장 프리센스앰프(220R)로 부터의 신호가 각 바이폴라 트랜지스터(3415),(3416)으로 전송된다. 트랜지스터(3413)은 게이트전압의 레벨이 로우레벨일 때 트랜지스터(3415)의 베이스와 이미터간을 단락한다. 트랜지스터(3413)은 게이트전압이 하이레벨일 때 오프로 된다. 트랜지스터(3414)는 게이트전압의 레벨이 로우레벨일 때 트랜지스터(3416)의 베이스와 이미터간을 단락한다. 트랜지스터(3414)는 게이트전압의 레벨이 하이레벨로 반전되어 있을 때에는 오프로 된다. 각 트랜지스터(3417),(3418)은 기동신호(222R)에 따라서 온으로 된다. 트랜지스터(3419),(3420)은 칩이 온상태에 있을 때 일정 전압 레벨VIE에 의해 온으로 된다.

다음에, #b의 칼럼 구제 단위어레이(211)과 #a'의 용장 칼럼 단위어레이(311)을 서로 대응시키는 과정에 대해서 설명한다.

퓨즈 프로그램회로(3100)∼(3300)의 퓨즈(3110)이 모두 도통상태에 있을 때에는 퓨즈 프로그램회로(3100)∼(3300)에서 "H", "L", "H", "L", "H", "L" 신호가 순차 전송된다. 이 때문에, 3입력 NAND게이트(3310)의 출력레벨만이 로우레벨로 되고, 그 이외의 NAND게이트(3320)∼(3380)의 출력레벨은 하이레벨로 된다. NAND게이트(3320)∼(3380)의 출력레벨이 하이 레벨로 되면, 트랜지스터(3413),(3414)는 온으로 되고, 트랜지스터(3410),(3411)은 오프로 된다. 그 결과, I/O선 구동회로(3400)∼(4000)의 신호선은 차단되게 된다.

한편, NAND게이트(3310)의 출력레벨이 로우레벨로 되면, 트랜지스터(3410),(341l)은 온으로 되고, 트랜지스터(3413),(3414)는 오프로 된다. 이 때문에, 용장 프리센스앰프(220R)에서 공급된 신호가 I/O선 구동회로(4100)을 통해서 전송되게 된다. 즉, #h의 칼럼 구제 단위어레이(211)에 접속된 I/O선 구동회로(4100)이 선택되게 된다.

그러나, 용장 구제할 필요가 있는 칼럼 구제 단위어레이(211)은 #b이다. 또한, #b의 칼럼 구제 단위어레이(211)은 현시점에서는 I/O선 구동회로(3500)에 접속되어 있는 것으로 한다.

#a'의 용장 칼럼 단위어레이(311)에 접속되어 있는 용장 프리센스앰프(220R)의 출력을 I/O선 구동회로(3500)을 거쳐서 #b의 칼럼 구제 단위어레이(211)에 접속하기 위해, 퓨즈 프로그램회로(3200),(3300)의 퓨즈(3100)을 차단한다.

퓨즈(3110)이 차단되면, 퓨즈 프로그램회로(3200),(3300)의 각 출력 논리가 반전된다. 그 결과, 퓨즈 프로그램회로(3100),(3300)에서 "H", "L", "L", "H", "L", "H"의 레벨신호가 전송되게 된다. 그 결과, NAND게이트(3370)의 출력레벨만이 로우레벨로 되고, 그 이외의 NAND게이트의 출력레벨은 하이레벨로 된다. 그 때문에, I/O선 구동회로중 I/O선 구동회로(3500)만이 온으로 되고, 용장 프리센스앰프(220R)에서 전송된 신호가 I/O선 구동회로(3500)을 거쳐서 전송되게 된다.

상기한 처리의 결과로서, #a'의 용장 칼럼 단위어레이(311)과 #b의 칼럼 구제 단위어레이(211)이 서로 대응되게 된다.

상술한 바와 같이, 본 실시예에 의하면 임의의 메모리블럭(200)내의 메모리 매트(210)내의 칼럼에 결함이 발생한 경우 예를 들면 #15의 메모리 매트(210)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)중 #b, #c, #d, #g어레이에 결함이 발생한 경우, 결함이 발생한 칼럼을 갖는 블럭, 매트와 칼럼 구제 단위어레이(211)이 서로 대응되게 된다. 또, 결함이 발생한 칼럼을 갖는 블럭, 매트와 용장 칼럼 단위어레이(311)중 예를 들면 #a', #b', #c', #d' 어레이와 칼럼 구제 단위어레이(211)중 예를 들면 #b, #c, #d, #g가 서로 대응되게 된다. 그 결과, 칼럼 구제 단위어레이(211)의 b, c, d, g를 용장 칼럼 단위어레이(311)의 a', b', c', d'로 치환할 수 있게 된다. 이 경우, 칼럼 구제 단위어레이(211)의 b, c, d, g가 각각 액세스되었을 때, 이들 단위어레이로 부터의 데이타의 출력이 금지된다. 그 대신에, 용장 칼럼 단위어레이(311)의 a', b', c', d'에서 데이타가 전송되게 된다.

메모리블럭(200)내의 메모리매트(210)중 어느 하나에 데이타선의 결함에 수반하는 칼럼결함이 발생해도 결함이 발생한 칼럼을 갖는 칼럼 구제 단위어레이(211)을 임의의 용장 칼럼 단위어레이(311)에 대응시킬 수 있게 된다. 그 때문에, 특정 메모리블럭(200)내에 칼럼결함이 집중해서 발생해도 이것을 구제할 수있으며 더욱 자유롭게 구제를 실행할 수 있게 된다.

상기 실시예에서는 용장 로우 어레이(420)에 관해서는 종래의 방법과 마찬가지로 2메가비트의 메모리블럭(200)내에서 결함이 발생한(불량) 로우를 구제하는 방식으로 구제가 도모되고 있다.

메모리매트(210)내의 결함이 발생한 칼럼을 구제하기 위해, 칼럼을 선택하기 위한 논리중에 선택금지신호를 공급하는 방법을 채용할 수도 있다. 그러나, 상기한 방법을 채용하면 블럭 및 매트를 선택하기 위한 논리중에 칼럼 선택 금지신호를 공급해야 한다. 그 때문에 칼럼을 선택하기 위해 바리지 않는 지연이 발생한다. 따라서, 이 실시예에서는 결함이 발생한 칼럼의 선택을 금지하기 위한 선택금지신호를 생성하는 것 대신에, 프리센스앰프(220)을 오프로 하고 용장 프리센스 앰프(220R)을 온으로 하는 스텝을 포함하는 방법을 사용한다. 이것에 의해, 칼럼을 선택하기 위해 지연이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

상기 실시예에서는 2개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 사용하여 임의의 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 구제하는 것에 대해서 기술하였다. 다음에, 다른 구제 방법을 도11∼도14를 참조해서 설명한다.

도11은 본 발명의 제2실시예를 도시한 것으로서, 칩(100)상에는 8개의 메모리블럭(200)과 4개의 용장 메모리블럭(310)이 배치되어 있다. 이 실시예에서는 칩(100)상의 영역을 좌우로 2분할하고, 상하로 배치된 2개의 용장 메모리블럭(310)을 사용하여 4개의 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 구제하는 것으로 한다.

도12는 본 발명의 제3실시예를 도시한 것으로서, 칩(100)상에는 8개의 메모리블럭(200)과 4개의 용장 메모리블럭(310)이 배치되어 있다. 이 실시예에 있어서는 칩(100)상의 메모리를 상하로 2분할하고, 상측에 배치된 2개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 사용하여 상측에 배치된 4개의 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 구제하고, 하측에 배치된 2개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 사용하여 하측에 배치된 4개의 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 구제하는 것으로 한다.

도13은 본 발명의 제4실시예를 도시한 것으로서, 칩(100)상에는 8개의 메모리블럭(200)과 4개의 용장 메모리블럭(310)이 배치되어 있다. 이 실시예에 있어서는 칩(100)상의 메모리를 4개의 블럭으로 분할한다. 즉, 각 용장 전용 메모리블럭(310)을 사용하여 2개의 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 구제하는 것으로 한다.

도14는 본 발명의 제5실시예를 도시한 것으로서, 칩(100)상에 8개의 메모리블럭(200)과 2개의 용장 메모리블럭(310)이 배치되어 있다. 이 실시예에 있어서는 2개의 용장 메모리블럭(310)을 사용하여 임의의 메모리블럭(200)내의 칼럼 구제 단위어레이(211)을 구제함과 동시에, 적당한 메모리블럭(200)내에 용장 칼럼 어레이(410)을 배치하고 이 용장 칼럼 어레이(410)을 사용해서 메모리블럭(200)마다 구제하도록 한 것이다.

다음에, 본 발명의 제6실시예에 대해서 도15∼도17을 참조해서 설명한다.

이 실시예에서는 용장 구제 방법으로서 로우 구제 방법을 사용한다. 칩(100)상에 8개의 메모리블럭(200)과 용장메모리블럭(310)이 배치되어 있다. 각 메모리블럭(200)은 8개의 메모리매트(210)으로 분할되어 있다. 각 메모리매트(210)은 데이타선(341)을 공유한 복수의 메모리셀선을 포함하고, 각 메모리매트는 1개의 어드레스에 대해서 동시에 기동(활성화)되는 워드선(352)를 구비하고 있다. 또, 각 메모리매트(210)은 8개의 칼럼 구제 단위어레이(211)로 분할되어 있다. 또, 각 칼럼 구제 단위어레이(211)은 프리센스앰프(220)을 갖고, 각 프리센스앰프(220)은 부하구동회로(260)에 접속되어 있다.

한편, 용장 전용 메모리블럭(310)은 8개의 용장 로우 단위어레이(312)를 갖는다. 각 용장 로우 단위어레이(312)는 용장 프리센스앰프(220R)울 거쳐서 I/O선 선택회로(3000)에 접속되어 있다.

상기 실시예에 따른 반도체 메모리에 있어서는 제1실시예와 마찬가지로 제1데이타 선택수단에 의해 메모리블럭(200)내의 데이타가 선택되고, 제2데이타 선택수단에 의해 용장 메모리블럭(310)내의 데이타가 선택되고, 제1데이타 선택수단에 의해 선택된 데이타 또는 제2데이타 선택수단에 의해 선택된 데이타중 한쪽의 데이타가 제3데이타 선택수단에 의해 선택되어 메인센스앰프(600)을 거쳐서 출력버퍼(610)으로 전송하도록 되어 있다.

다음에, 이 실시예의 구체적인 구성에 대해서 설명한다.

제1데이타 선택수단은 워드선 선택수단, 데이타선 선택수단, 로우 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 수단 및 데이타선 신호의 전송을 제어하는 수단을 포함한다. 워드선 선택수단은 디코더(540)과 워드 드라이버(353)을 포함한다. 디코더(540)은 블럭선택신호, 구제 단위 선택신호 및 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 워드선 기동신호를 전송하는 워드선 선택용 디코더로서 구성되어 있다. 워드 드라이버(353)은 디코더(540)에서 공급된 워드선 기동신호에 응답해서 지정된 워드선(352)로 메모리셀 구동신호를 전송하는 드라이버회로로서 구성되어 있다.

데이타선 선택수단은 칼럼스위치(330), 디코더(560),(570)을 포함한다. 각 칼럼스위치(330)은 데이타선(341)에 접속하고, 각 디코더(570)은 칼럼스위치(330)에 접속되어 있다. 디코더(560)은 데이타선 선택신호로서 어드레스신호에서 생성된 블럭 선택신호와 칼럼 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 디코더(570)을 구동하도록 되어 있다. 디코더(570)온 디코더(560)에서 공급된 신호에 응답해서 지정된 칼럼스위치(330)으로 데이타선 기동신호를 전송하도록 되어 있다. 즉, 디코더(560),(570)은 데이타선 선택용 디코더로서 구성되어 있다. 각 칼럼스위치(330)은 디코더(570)에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 온으로 되어 데이타선(341)에서 공급된 신호를 프리센스앰프(220)으로 전송하는 칼럼스위치회로로서 구성되어 있다.

로우 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 수단은 디코더(550)을 포함한다. 이 디코더(550)은 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호와 구제 단위 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 로우 구제단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더로서 구성되어 있다.

데이타선 신호 전송 제어수단은 제1실시예와 마찬가지로, 프리센스앰프회로(220), 인버터(230), NAND게이트(240), 인버터(250) 및 퓨즈 프로그램회로(400)을 포함한다. 즉, 퓨즈 프로그램회로(400)내의 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 용장 로우 단위어레이(212)에 결함이 없다고 판정하여 로우 구제 단위어레이를 선택하는 신호에 응답해서 프리센스앰프(220)이 온상태로 된다. 그 결과, 데이타선(341)에서 공급된 신호가 프리센스앰프(220)을 거쳐서 전송되게 된다. 퓨즈 프로그램회로(400)내의 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 용장 로우 단위어레이(212)에 결함이 발생했다고 판정하여 프리센스앰프(220)이 항상 오프로 된다. 그 결과, 지정된 데이타선(341)의 칼럼스위치가 온으로 되어도 데이타선으로 부터의 신호의 출력이 저지되게 된다.

제2데이타 선택수단은 용장 워드선 선택수단, 용장 데이타선 선택수단, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단 및 용장데이타선 신호전송 제어수단을 포함한다.

용장 워드선 선택수단은 디코더(540R)과 워드 드라이버(353R)울 포함한다. 디코더(540R)은 용장 워드선 선택신호로서 생성된 블럭선택신호, 구제 단위 선택신호 및 로우 선택 신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 워드 드라이버(353R)을 구동하기 위한 용장 워드선 기동신호를 전송하는 용장 워드선 선택용 디코더로서 구성되어 있다. 각 워드 드라이버(353R)은 디코더(540R)에서 공급된 용장 워드선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 워드선(352R)로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 드라이버회로로서 구성되어 있다.

용장 데이타선 선택수단은 용장 칼럼스위치(330R)과 디코더(560R),(570R)을 포함한다. 각 용장 칼럼 스위치(330R)은 용장 데이타선(341R)에 접속되고, 각 디코더(570R)은 용장 칼럼 스위치(330R)에 접속되어 있다. 디코더(560R)은 용장 데이타선 선택신호로서 어드레스 신호에서 생성된 블럭선택신호와 칼럼 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 지정된 디코더(570R)을 구동하도록 되어 있다. 각 디코더(570R)은 디코더(560R)에서 공급된 신호중 특정 신호에 응답해서 용장 칼럼 스위치(330R)로 용장 데이타선 기동신호롤 전송하도록 되어 있다. 즉, 디코더(560R),(570R)은 용장 데이타선 선택용 디코더로서 구성되어 있다. 각 용장 칼럼스위치(330R)은 디코더(570R)에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 온으로 되고 용장 데이타선(341R)에서 공급된 신호를 용장 프리센스앰프(220R)로 전송하는 용장 칼럼 스위치회로로서 구성되어 있다.

용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 디코더(550R)을 포함한다. 이 디코더(550R)은 어드레스 신호에서 생성된 블럭선택신호와 구제 단위 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 로우 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 전송하도록 되어 있다. 즉, 디코더(550R)은 블럭선택신호와 구제 선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 블럭선택신호와 구제 선택신호의 조합에 의한 논리신호군중 어느 하나의 논리신호를 받아 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 입력 논리신호를 그대로 전송하고 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 입력 논리신호를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트회로에서 논리신호를 받고 논리신호군의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 로우 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호로서 하이레벨 신호를 전송하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함한다.

용장 데이타선 신호전송 제어수단은 제1실시예와 마찬가지로 용장 프리센스앰프(220R), 인버터(230R), NAND게이트(240R), 인버터(250R) 및 퓨즈 프로그램회로(400R)을 포함한다. 즉, 퓨즈프로그램회로(400R)내의 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 로우 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호가 전송되어도 용장 프리센스앰프(220R)을 항상 오프로 하여 용장 로우 단위어레이(312)의 사용을 금지한다. 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 용장 로우 단위어레이(312)를 사용하기 위해 로우 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호에 응답해서 용장 프리샌스앰프(220R)을 온으로 하여 용장데이타선(341R)에서 공급된 신호를 I/O선 선택회로(3000)으로 전송한다. 이 경우, 퓨즈 프로그램회로(400R)은 어레이 사용 판정회로를 구성하고, 인버터(230R)과 NAND게이트(240R)은 용장 제어신호 발생 회로를 구성하고, 용장 프리센스앰프(220R)은 용장 신호 전송 제어회로를 구성한다.

제3데이타 선택수단은 제1실시예와 마찬가지로 도10에 도시된 I/O선 선택회로(3000)을 포함한다. 제3데이타 선택수단의 구체적인 구성에 대해서는 앞서 기술하였으므로, 그 설명은 생략한다.

이 실시예에 있어서도 제1실시예와 마찬가지로 메모리블럭(200)중 어느 하나에 로우결함이 발생해도 결함이 발생한 로우 구제 단위어레이(212)를 용장 로우 단위어레이(312)로 치환할 수 있다. 특정 메모리블럭(200)내에 로우 결함이 집중해서 발생해도 이들을 구제할 수 있다. 따라서, 구제를 더욱 자유롭게 실행할 수 있다. 또, 이 실시예는 도11∼도14에 도시한 구제방법에도 적용할 수 있다.

상기한 각 실시예에 따른 구제방법은 스테이틱 RAM, 다이나믹 RAM 및 각종 RAM 또는 고집적도의 RAM을 내장한 논리 LSI에도 적용할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제7실시예에 대해서 도18∼도21을 참조해서 설명한다.

이 실시예는 칩작성 후에 결함 발생 상황을 검사하고, 용장 메모리블럭에 의해 구제할 영역을 퓨즈 등의 수단을 사용하여 프로그램하는 것에 의해 1개의 용장 메모리블럭이 구제할 수 있는 메모리블럭의 수를 변경하도록 한 것이다.

구체적으로는, 제1∼제4실시예에 따른 구성과 마찬가지로 칩(100)상에 복수의 구제 영역을 배치하고, 결함 발생 상황에 적합하게 구제 영역을 선택할 수 있도록 하였다. 이것을 실현하기 위해, 이 실시예의 구성은 어드레스 신호에 따라서 용장 메모리블럭이 구제할 수 있는 범위를 결정하는 구제영역 선택신호를 생성하는 구제영역 선택신호 생성수단 및 구제영역 선택신호가 생성되고 있을 때에만 지정된 용장 메모리블럭을 기동(활성화)가능한 상태로 하고, 구제영역 선택신호가 생성되고 있지 않을 때에는 용장 메모리블럭을 기동불가능한(비활성) 상태로 하는 용장 메모리블럭 선택 제어수단을 포함한다.

도18에 따르면, 구제영역 선택신호 생성기(1000)은 전원에 접속된 2쌍의 퓨즈(1010),(1011) 등의 구제영역 선택신호 생성수단, 커패시터(1020),(1021), CMOS인버터(1030),(1031), NMOS트랜지스터(1040),(1041) 및 2입력 NOR회로(1050),(1051),(1060)을 포함한다.

커패시터(1020),(1021), CMOS인버터(1030),(1031) 및 NMOS트랜지스터(1040),(1041)은 퓨즈(1010),(10l1)이 차단(오프)되어 있는지 아닌지에 따라서 다른 신호를 생성하는 신호생성회로로서 구성되어 있다.

즉, 퓨즈(1010),(1011)이 차단되어 있지 않을 때에는 CMOS인버터(1030),(1031)은 각각 로우 레벨신호를 전송한다. 퓨즈(1010),(1011)이 차단되어 있을 때에는 CMOS인버터(1030),(1031)은 각각 하이레벨신호를 전송한다.

2입력 NOR회로(1050),(1051),(1060)은 어드레스 신호에 따라서 생성된 블럭선택신호 X10B(신호 X10의 반전 신호) 또는 X10과 Y12B(신호 Y12의 반전신호) 또는 Y12와 CMOS인버터(1030),(1031)에서 전송되는 신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 하이레벨 구제영역 선택신호 RES를 전송하는 구제영역 선택신호 발생회로로서 구성되어 있다. 이와 같이 구성된 구제영역 선택신호 생성기(1000)은 각 용장 전용 메모리블럭(310)마다 형성되어 있다.

칩(100)상의 구제영역을 도13에 도시한 바와 같이 4개의 블럭으로 분할한 경우 각 블럭의 용장 메모리블럭(3l0)에 구제영역 선택신호 생성기(1000)이 배치되어 있다. 용장 메모리블럭(310)을 각각 BLK0, BLK1, BLK2, BLK3으로 하면, 블럭BLK0의 구제영역 선택신호 생성기(1000)에는 블럭선택신호 X10B, Y12B가 공급되고, 블럭BLK1의 구제영역 선택신호 생성기(1000)에는 블럭선택신호 X10, Y12가 공급되고, BLK2의 구제영역 선택신호 생성기(1000)에는 블럭선택신호 X10B, Y12B가 공급되고, BLK3의 구제영역 선택신호 생성기(1000)에는 블럭선택신호 X10, Y12가 공급된다.

블럭선택신호 X10B, X10은 칩의 좌우 1/2부분을 판정하고, 블럭선택신호 Y12B, Y12는 칩의 상하 1/2부분을 판정한다. 각 블럭의 구제영역 선택신호 생성기(1000)의 퓨즈(1010),(1011)을 모두 도통상태(온상태)로 한 경우, 블럭선택신호의 논리에 따라서 각 용장 메모리블럭을 사용하여 칩영역의 4개의 블럭중 1개의 메모리블럭만을 구제할 수 있게 된다. 즉, 퓨즈(1010),(1011)이 모두 도통상태에 있을 때에는 인버터(1030),(1031)의 출력신호 F1, F2는 모두 로우레벨로 된다. 이 때문에, 2입력 NOR회로(1050),(1051)의 출력은 블럭선택신호 X10B(또는 X10)과 Y12B(또는 Y12)의 레벨에 의존하게 된다. 그 결과, 각 블럭내의 2입력 NOR회로(1060)에서는 블럭선택신호의 특정 논리에 응답한 경우에만 하이레벨의 구제영역 선택신호 RES가 전송된다.

즉, 블럭선택신호가 모두 하이레벨일 때에만 구제영역 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨로 된다. 이 때문에, 칩영역의 좌측상부의 2개의 메모리블럭내에 결함셀이 존재하는 것을 구제할 수 있다. 블럭 BLK1에 있어서, 블럭선택신호 X10 및 Y12B가 모두 하이레벨일 때에만 선택신호 RES가 하이레벨로 된다(칩영역의 우측 상부의 메모리블럭내에 결함셀이 존재하는 것을 구제할 수 있다). 블럭 BLK2에 있어서, 블럭선택신호 X10B 및 Y12가 모두 하이레벨일 때에만 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨로 된다(칩영역의 좌측하부의 메모리블럭내에 결함셀이 존재하는 것을 구제할 수 있다). 블럭 BLK3에 있어서, 블럭선택신호 X10 및 Y12의 레벨이 모두 하이레벨일 때에만 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨로 된다(칩영역의 우측하부의 메모리블럭내에 결함셀이 존재하는 것을 구제할 수 있다).

도12에 도시한 바와 같이 칩(100)을 상하 2개의 블럭으로 분할하고 1/2칩 영역을 구제할 때에는 퓨즈(1010)을 차단하고 퓨즈(1011)을 도통상태로 한다. 그 결과, 상하 영역중 어느 1개에 대한 구제영역 선택신호를 발생할 수 있게 된다. 즉, 퓨즈(1010)을 차단하고 퓨즈(1011)을 도통상태 로 하면, 인버터(1030)의 출력신호F1의 레벨이 하이레벨로 되고, 인버터(1031)의 출력신호 F2의 레벨이 로우레벨로 유지된다. 이 때문에, 구제영역 선택신호 RES는 블럭선택신호 X10B, X10과는 관계가 없어진다.

칩(100)상에 배치된 2개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 블럭 BLK0과 BLK1에 할당하고, 칩(100)상에 배치된 2개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 블럭 BLK2와 BLK3에 할당하면, 각 블럭내에 배치된 구제영역 선택신호 생성기(1000)은 도20에 도시한 바와 같은 논리에 응답하게 된다.

도20에서 알 수 있는 바와 같이, 블럭 BLK0, BLK1에서는 블럭선택신호 Y12B의 레벨이 하이레벨일 때에만 구제영역 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨로 된다. 마찬가지로, 블럭 BLK2, BLK3에서는 블럭선택신호 Y12의 레벨이 하이레벨일 때에만 구제영역 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨로 된다.

도11에 도시한 바와 같이 칩(100)을 좌우 2개의 블럭으로 나누고 1/2칩영역을 구제할 필요가 있는 경우에는 퓨즈(1010)을 도통상태으로 하고, 퓨즈(1011)을 차단한다. 그 결과, 우측칩 영역 또는 좌측칩 영역중의 어느 한쪽을 구제하기 위한 구제영역 선택신호를 생성할 수 있게 된다.

즉, 퓨즈(1010)이 도통상태에 있을 때 퓨즈(1011)이 차단상태로 되면, 인버터(1031)의 출력신호 F2의 레벨은 하이레벨로 되고, 인버터(1030)의 출력신호 F1의 레벨은 로우레벨로 유지된다. 이 때문에, 구제영역 선택신호 RES는 블럭선택신호 Y12B, Y12와는 관계가 없어진다.

이 때문에, 블럭 BLK0과 BLK2에 배치된 구제영역 선택신호 생성기(1000)에서 전송되는 구제영역 선택신호 RES의 레벨은 블럭선택신호 X10B의 레벨이 하이레벨일 때에만 하이레벨로 된다. 마찬가지로, 블럭 BLK1, BLK3에서 전송되는 구제영역 선택신호 RES의 레벨은 블럭선택신호 X10의 레벨이 하이레벨일 때에만 하이레벨로 된다.

상기한 바와 같이, 블럭선택신호와 인버터(1030),(1031)에서 공급된 신호의 조합에 의해 용장 메모리블럭이 구제할 수 있는 영역을 결정하기 위한 구제영역 선택신호를 생성할 수 있게 된다.

퓨즈(1010), (1011)이 모두 차단되어 있을 때에는 도1에 도시한 제1실시예와 마찬가지로 모든 영역을 구제할 수 있게 된다. 즉, 인버터(1030),(1031)의 출력신호 F1, F2의 레벨이 모두 하이레벨로 되면, 구제영역 선택신호 RES의 레벨은 블럭선택신호 X10B, X10, Y12B, Y12와는 관계없이 하이레벨로 된다.

다음에, 용장 메모리블럭 선택 제어수단의 구성에 대해서 도21을 참조해서 설명한다. 도21에는 메인 워드선 선택용 디코더(530R)에 용장 메모리블럭 선택 제어수단의 1기능으로서 용장 워드선 선택 동작 제어신호를 배치한 실시예가 도시되어 있다. 즉, 이 실시예에서는 용장 메인 워드선의 선택 어드세스 신호에 응답하는 3입력 NAND회로군(5300R)과 2입력 NAND회로군(5310R)의 대응하는 출력측에 2입력 NOR회로(5320R),(5330R)을 배치하고, 각 2입력 NOR회로(5320R),(5330R)의 한쪽의 입력측에 구제영역 선택신호 생성기(1000)에서 전송된 신호를 공급(입력)하도록 되어 있다.

각 2입력 NOR회로(5320R),(5330R)에는 인버터(5350)을 거쳐서 구제영역 선택신호 RES를 반전해서 얻은 신호가 입력된다. 각 2입력 NOR회로(5320R),(5330R)은 구제영역 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨이고, 반전신호 RES의 레벨이 로우레벨이고, 또한 3입력 NAND회로(5300R) 또는 2입력 NAND회로(5310R)의 레벨이 로우레벨일 때에만 하이레벨 신호를 전송한다. 각 2입력 NOR회로(5320R),(5330R)의 레벨이 하이레벨일 때에만 디코더(350R)의 구동에 의해 지정된 용장 메인 워드선이 선택되고, 선택된 용장 메인 워드선에 접속된 메모리셀이 기동된다.

즉, 2입력 NOR회로(5320R),(5330R)과 인버터(5350)은 구제영역 선택신호 RES의 레벨이 하이레벨일 때에만 용장 메인 워드선 선택용 디코더(350R)의 선택동작을 가능하게 하고, 구제 영역 선택신호 RES의 레벨이 로우레벨일 때에는 디코더의 선택동작을 강제적으로 정지시키는 용장 워드선 선택 동작 제어수단으로서 구성되어 있다.

상술한 바와 같이, 이 실시예에서는 결함발생상황에 따라서 복수의 구제영역중에서 최적한 구제영역을 칩 작성후에 선택할 수 있다. 결함 집중 또는 결함 발생이 적을 때에는 제4실시예에서 설명한 바와 같은 1/4칩영역을 구제영역으로서 선택한다. 그 결과, 동시에 동작하는 용장 메모리블럭을 1개의 블럭에 집적할 수 있다(제1실시예에서는 최대 4개의 용장 메모리블럭이 동시에 동작하고, 제2 및 제3실시예에서는 각각 최대 2개의 용장 메모리블럭이 동시에 동작한다). 이 때문에, 칩의 소비전류를 저감할 수 있다.

이 실시예에서는 디코더(530R)에 적용한 것에 대해서 기술하였지만, 각 디코더(500R),(510R),(520R)에 동일한 장치를 배치하는 다른 구성을 사용해도 좋다. 이 경우, 용장 데이타선의 선택동작을 제어할 수 있고, 용장영역에서 칼럼 구제 단위어레이를 선택하기 위한 신호를 생성하는 동작을 제어할 수 있다.

상기한 경우, 디코더(500R),(510R),(520R)에 디코더(530R)과 동일한 기능을 갖게 하면, 소비전류를 최소화할 수 있다. 이 대신, 디코더(510R),(530R)에만 용장 메모리블럭 선택 제어수단의 기능을 갖게 할 수도 있다. 즉, 디코더(500R),(520R)에 용장 메모리블럭 선택 제어수단으로서의 기능을 갖게 하지 않아도 디코더(510R),(530R)에 용장 메모리블럭 선택 제어수단으로서의 기능을 갖게 하는 구성으로 하면, 메인 워드선의 선택이 디코더(530R)에 의해 규제되고 데이타의 선택이 디코더(510R)에 의해 규제되게 된다.

칩(100)상에 4개의 용장 전용 메모리블럭(310)을 배치한 경우, 블럭 BLK0, BLK1의 용장 메인 워드 드라이버(350R)을 각 블럭에서 공유할 수 있게 된다. 마찬가지로, 블럭 BLK2, BLK3의 용장 메인 워드 드라이버(350R)을 각 블럭에서 공유할 수 있게 된다. 즉, 블럭 BLK0, BLK1, BLK2, BLK3에 각각 도22에 도시 한 바와 같이 NOR회로(370R)을 배치하고, 블럭 BLK0, BLK1(BLK2, BLK3)의 구제영역 선택신호 RES0, RES1(RES2, RES3)의 NOR논리를 NOR회로(370R)에서 계산하고, NOR회로(370R)의 출력신호를 한쪽의 블럭의 용장메인워드선 선택용 디코더(350R)로 공급한다. 그 결과, 각 블럭이 선택되었을 때 용장 메인 워드 드라이버(350R)을 구동할 수 있게 된다. 상기한 경우, 드라이버(350R)을 공유할 수 있으므로 칩면적을 작게 할 수 있고 또한 소비전류를 저감할 수 있다.

디코더(510R)에 대해서는 퓨즈(561)을 차단하는 것에 의해 임의의 영역을 선택할 수 있으므로, 이것을 그대로 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성동작 제어수단으로서 사용할 수 있다. 또, 디코더(510R)에 대해서는 2입력 NAND회로(582)를 3입력 NAND회로로 치환하고 3입력중 1개의 입력에 구제영역 선택신호 RES를 공급하도록 할 수도 있다.

상기한 실시예에서는 용장 칼럼 단위어레이를 구제하는 경우에 대해서 기술하였지만, 용장 로우 단위어레이를 구제하는 경우에도 용장 전용 메모리블럭마다 구제 영역 선택신호 생성기(1000)을 배치하고 또 용장 메모리블럭 선택 제어 수단으로서 기능하는 디코더를 배치하는 것에 의해, 상기한 실시예와 마찬가지로 용장 로우 단위어레이를 구제할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 구제 단위어레이에 로우 결함 또는 칼럼 결함이 발생했을 때 결함이 발생한 구제 단위어레이를 임의의 용장 구제 단위어레이로 치환한다. 이 때문에, 특정 메모리블럭내에 로우결함 또는 칼럼결함이 집중해서 발생해도 결함이 발생한 영역을 구제할 수 있다. 그 결과, 더욱 자유롭게 구제를 실행할 수 있게 된다. 따라서, 제조효율을 향상시킬 수 있게 된다. 또, 1개의 용장 메모리블럭이 구제할 수 있는 블럭수를 결함 발생상황을 검사한 후에 변경할 수 있으므로, 집중결함 또는 결함의 발생이 적을 때에는 용장 메모리블럭의 구제영역을 한정하는 것에 의해 칩의 소비전류를 저감할 수 있다.

이상 본 발명의 실시예에 대해서 설명하었지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위내에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.

Claims

(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 각 메모리매트내의 칼럼 구제 단위어레이군중 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 명령에 따라서 데이타선에서 공급된 신호를 전송하고, 결함이 있을 때에는 상기 명령에 관계없이 상기 데이타선으로부터의 신호의 출력을 금지하는 제1데이타 선택수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 상기 용장 메모리블럭내의 상기 용장 칼럼 딘위어레이군중의 상기 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 명령에 관계없이 용장 데이타선으로부터의 신호의 출력을 금지하고, 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하고 있을 때에는 상기 명렁에 따라서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 제2데이타 선택수단 및; 상기 제1데이타 선택수단에 의해 선택된 상기 신호 또는 상기 제2데이타 선택수단에 의해 선택된 데이타중의 1개를 선택해서 전송하는 제3데이타 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위한 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 데이타선군중 지정된 용장 데이타선으로 부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및; 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단 및; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭을 포함하고, 각 용장 메모리 블럭은 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용할 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 구비하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 칼럼 구제 단위이레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및; 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제3항에 있어서, 각 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼 선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호를 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 상기 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼 선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 상기 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제3항에 있어서, 각 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 칼럼 구제 단위어레이 선택신호롤 생성하는 어레이 선택용 디코더를 포함하고, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군중의 논리신호를 받고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 입력 논리신호를 그대로 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 상기 입력 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트회로에서 공급된 상기 논리신호를 받고, 상기 논리신호군의 조합인 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제3항에 있어서, 각 워드선 선택수단은 복수의 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인 워드선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 메인 워드선으로 메인 워드선 구동신호를 전송하는 메인 워드드라이버회로, 1개의 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 서브 워드선 선택용 디코더 및 상기 메인 워드선 구동신호와 상기 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 서브 드라이버회로를 포함하고, 각 용장 워드선 선택수단은 복수의 용장 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인 워드선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 용장 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 메인 워드선으로 용장 메인 워드선 구동신호를 전송하는 용장 메인 드라이버회로, 1개의 용장 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 상기 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 서브 워드선 선택용 디코더 및 상기 용장 메인 워드선 구동신호와 상기 용장 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 서브 드라이버회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제3항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것을 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함판정회로, 상기 결함판정회로에서 상기 무결함신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 생성회로 및 상기 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 데이타선에서 상기 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로, 상기 어레이사용 판정회로에서 상기 어레이사용 명령신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 생성회로 및 상기 용장 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 상기 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 상기 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장신호 전송 제어회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제3항에 있어서, 각 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호를 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 상기 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 상기 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로를 포함하며, 각 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 칼럼 단위어레이 선택신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더를 포함하고, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군중의 논리신호를 받고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에 상기 입력 논리신호를 그대로 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 상기 입력 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트희로에서 공급된 상기 논리신호를 받고, 상기 논리신호군의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함하며, 각 워드선 선택수단은 복수의 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인 워드선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 메인 워드선으로 메인 워드선 구동신호를 전송하는 메인 워드 드라이버회로, 1개의 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 상기 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 서브 워드선 선택용 디코더 및 상기 메인 워드선 구동신호와 상기 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 서브 드라이버회로를 포함하고, 각 용장 워드선 선택수단은 복수의 용장 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인 워드선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 용장 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 메인 워드선으로 용장 메인 워드선 구동신호를 전송하는 용장 메인 드라이버회로, 하나의 용장 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 상기 로우선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 서브 워드선 선택용 디코더 및 상기 용장 메인 워드선 구동신호와 상기 용장 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 서브 드라이버회로를 포함하며, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것을 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함판정회로, 상기 결함판정회로에서 상기 무결함신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 생성회로 및 상기 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 데이타선에서 상기 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로, 상기 어레이사용 판정회로에서 상기 어레이사용 명령신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어 신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 생성회로 및 상기 용장 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 상기 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 상기 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장 신호전송 제어회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에서 따라 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 로우 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 로우 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 로우 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 워드선군중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및; 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 로우 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 로우 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 로우 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및; 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호롤 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단 및; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 로우 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 로우 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭군을 포함하며, 각 용장 메모리블럭은 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단, 상기 어드레스 신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단, 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 구비하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 로우 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속된 각 용장 메모리셀군이 로우 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 로우 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭군; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으르 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 로우 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단 및; 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제12항에 있어서, 각 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호와 칼럼선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호를 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 상기 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 상기 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제12항에 있어서, 각 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 구제 단위 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더를 포함하며, 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군중의 논리신호를 받고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에 상기 입력 논리신호를 그대로 전송하고, 차단되어 있을 때에는 상기 입력 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트회로에서 공급된 상기 논리신호를 받고, 상기 논리신호군의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제12항에 있어서, 각 워드선 선택수단은 워드선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 구제 단위 선택신호 및 로우선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 워드선 기동신호를 전송하는 워드선 선택용 디코더 및 상기 워드선 기동신호에 응답해서 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 드라이버회로를 갖고, 각 용장 워드선 선택수단은 용장 워드선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 구제 단위 선택신호 및 상기 로우선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 용장 워드선 기동신호를 전송하는 용장 워드선 선택용 디코더 및 상기 용장 워드선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 드라이버회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제12항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 로우 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 로우 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것을 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함판정회로, 상기 결함판정회로에서 상기 무결함신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 생성회로 및 상기 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 데이타선에서 상기 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 용장 로우 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 용장 로우 단위어레이의 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로, 상기 어레이사용 판정회로에서 상기 어레이사용 명령신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 생성회로 및 상기 용장 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 상기 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 상기 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장 신호전송 제어회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제12항에 있어서, 각 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호와 칼럼선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호를 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 상기 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 칼럼선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 상기 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로를 포함하며, 각 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 구제 단위 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더를 포함하고, 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 구제 단위 선택신호의 조합에 의한 논리신호군증의 논리신호를 받고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에 상기 입력 논리신호를 그대로 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 상기 입력 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트회로에서 공급된 상기 논리신호를 받고, 상기 논리신호군의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함하며, 각 워드선 선택수단은 워드선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 구제 단위 선택신호 및 상기 로우선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 워드선 기동신호를 전송하는 워드선 선택용 디코더 및 상기 워드선 기동신호에 응답해서 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 드라이버회로를 포함하고, 각 용장 워드선 선택수단은 용장 워드선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 구제 단위 선택신호 및 상기 로우선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 워드선 기동신호를 전송하는 용장 워드선 선택용 디코더 및 상기 용장 워드선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 드라이버회로를 포함하며, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 로우 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 로우 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것을 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함판정회로, 상기 결함판정회로에서 상기 무결함신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 생성회로 및 상기 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 데이타선에서 상기 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 용장 로우 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 싱기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 용장 로우 단위어레이의 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로, 상기 어레이사용 판정회로에서 상기 어레이사용 명령신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호롤 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 생성회로 및 상기 용장 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 상기 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 상기 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장 신호전송 제어회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제8항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있으며, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 용장 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있는 반도체메모리.
(2회정정) 제1항에 있어서, 상기 용장 메모리블럭은 다른 메모리블럭보다 상기 데이타출력선 선택수단에 더 인접해서 배치되어 있는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트 및; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭을 포함하고, 각 용장 메모리블럭은 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단, 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단, 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단, 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 상기 용장 메모리블럭군에 의해 구제할 수 있는 범위를 결정하는 구제영역 선택신호를 생성하는 구제영역 선택신호 생성수단, 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 워드선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 워드선 선택동작 제어수단, 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 데이타선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 데이타선 선택동작 제어수단 및 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단의 생성동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 생성동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성동작 제어수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 칼럼구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 칼럼 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단 및; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 칼럼 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭군을 포함하며, 상기 용장 메모리블럭은 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 칼럼 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 칼럼 구제 단위어레이군 중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 섕성하는 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성 수단, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 칼럼 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 상기 용장 메모리블럭군에 의해 구제할 수 있는 범위를 결정하는 구제영역 선택신호를 생성하는 구제영역 선택신호 생성수단, 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 워드선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 워드선 선택동작 제어수단 및 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단의 생성동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 생성동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성동작 제어수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 로우구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호를 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 있을 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단 및; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 로우 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 로우 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭군을 포함하며, 각 용장 메모리블럭은 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단, 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 상기 용장 메모리블럭군에 의해 구제할 수 있는 범위를 결정하는 구제영역 선택신호를 생성하는 구제영역 선택신호 생성수단, 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 워드선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 워드선 선택동작 제어수단, 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 데이타선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 데이타선 선택동작 제어수단 및 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단의 생성동작을 가능하게, 그 이외의 경우에는 상기 생성동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성동작 제어수단을 구비하는 반도체메모리.
(2회정정) 데이타선과 워드선에 접속된 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리매트; 상기 복수의 메모리매트를 갖는 복수의 메모리블럭; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 워드선 선택신호에 응답해서 각 로우구제 단위어레이의 워드선군 중 지정된 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 워드선 선택수단; 어드레스신호에 따라서 생성된 특정 데이타선 선택신호에 응답해서 각 로우 구제 단위어레이의 데이타선군 중 지정된 데이타선의 신호롤 전송하는 복수의 데이타선 선택수단; 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 각 메모리매트의 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 복수의 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단; 상기 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 있울 때에는 상기 각 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호의 상기 주데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 데이타선 신호전송 제어수단 및; 용장 데이타선과 용장 워드선에 접속되어 있는 각 용장 메모리셀군이 상기 로우 구제 단위어레이에 대응해서 배치되어 있는 복수의 용장 로우 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭군을 포함하며, 각 용장 메모리블럭은 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 워드선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 워드선군 중 지정된 용장 워드선으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 복수의 용장 워드선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 지정된 용장 데이타선 선택신호에 응답해서 각 용장 로우 단위어레이의 용장 데이타선군 중 지정된 용장 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 복수의 용장 데이타선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 생성된 신호군에 따라 상기 용장 메모리블럭의 용장 로우 구제 단위어레이군중에서 어레이를 선택하기 위해, 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단, 상기 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용할 때에 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 신호를 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 지정된 용장 로우 단위어레이를 사용하지 않을 때에는 각 용장 데이타선 선택수단에 의해 선택된 상기 신호의 용장 데이타 출력선으로의 전송을 저지하는 복수의 용장 데이타선 신호전송 제어수단, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단에 접속되어 있는 상기 용장 데이타 출력선을 각각 지정된 주데이타 출력선에 접속하는 데이타 출력선 선택수단, 상기 어드레스신호에 따라서 상기 용장 메모리블럭군에 의해 구제할 수 있는 범위를 결정하는 구제영역 선택신호를 생성하는 구제영역 선택신호 생성수단, 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 워드선 선택수단의 선택동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 선택동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 워드선 선택동작 제어수단 및 상기 구제영역 선택신호가 생성되고 있는 조건하에서만 지정된 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 생성수단의 생성동작을 가능하게 하고, 그 이외의 경우에는 상기 생성동작을 강제적으로 정지시키는 복수의 용장 로우 구제 단위어레이 선택신호 섕성동작 제어수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 제21항에 있어서, 각 구제영역 선택신호 생성수단은 상기 전원에 접속된 복수의 퓨즈, 상기 각 퓨즈가 차단되어 있는지 아닌지에 따라서 다른 신호를 생성하는 복수의 신호생성회로 및 각 신호생성회로에서 공급된 신호와 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 구제영역 선택신호를 생성하는 구제영역 선택신호 생성회로를 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 각 블럭마다 데이타를 저장하는 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 구제단위어레이를 갖는 복수의 메모리블럭; 데이타를 저장하는 용장 메모리셀군이 각각 배치되어 있는 복수의 용장 구제 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 각 메모리블럭내의 지정된 구제단위어레이의 메모리액세스에 액세스를 부여하는 액세스수단; 상기 메모리블럭중의 어느 하나에 결함이 발생했을 때에는 결함이 발생한 상기 메모리블럭의 구제 단위어레이에 대응하는 용장 구제 단위어레이를 지정하는 용장 구제 단위어레이 지정수단 및; 각 메모리블럭에서 데이타를 전송하는 경우 상기 지정된 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 상기 액세스수단에 의해 액세스된 상기 지정된 구제 단위어레이에서 공급된 데이타를 그대로 전송하고, 상기 지정된 구제 단위어레이에 결함이 발생했을 때에는 상기 용장 구제 단위어레이 지정수단에 의해 지정되고 있는 상기 용장 구제 단위어레이에서 공급된 데이타를 선택해서 전송하는 데이타 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 각 블럭마다 데이타를 저장하는 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 복수의 메모리블럭; 데이타를 저장하는 용장 메모리셀군이 각각 배치되어 있는 복수의 용장 칼럼 구제 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 각 메모리블럭내의 지정된 칼럼 구제단위어레이의 메모리셀에 액세스를 부여하는 액세스수단; 상기 메모리블럭중의 어느 하나에 결함이 발생했을 때에는 결함이 발생한 상기 메모리블럭의 칼럼 구제단위어레이에 대응하는 용장 칼럼 구제 단위어레이를 지정하는 용장 구제 단위어레이 지정수단 및; 각 메모리블럭에서 데이타를 전송하는 경우에 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 상기 액세스수단에 의해 액세스된 상기 지정된 칼럼 구제 단위어레이에서 공급된 데이타를 그대로 전송하고, 상기 지정된 칼림 구제 단위어레이에 결함이 발생했을 때에는 상기 용장 구제 단위어레이 지정수단에 의해 지정되어 있는 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이에서 공급된 데이타를 선택해서 전송하는 데이타 선택수단울 포함하는 반도체메모리.
(2회정정) 각 블럭마다 데이타를 저장하는 메모리셀군이 배치되어 있는 복수의 로우 구제단위어레이를 갖는 복수의 메모리블럭; 데이타를 저장하는 용장 메모리셀군이 각각 배치되어 있는 복수의 용장 로우 구제 단위어레이를 갖는 용장 메모리블럭; 각 메모리블럭내의 지정된 로우 구제 단위어레이의 메모리셀에 액세스를 부여하는 액세스수단; 상기 메모리블럭중의 어느 하나에 결함이 발생했을 때에는 결함이 발생한 상기 메모리블럭의 로우 구제 단위어레이에 대응하는 용장 로우 구제 단위어레이를 지정하는 용장 구제 단위어레이 지정수단 및; 각 메모리블럭에서 데이타를 전송하는 경우에 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 없을 때에 상기 액세스수단에 의해 액세스된 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에서 공급된 데이타를 그대로 전송하고, 상기 지정된 로우 구제 단위어레이에 결함이 발생했을 때에는 상기 용장 구제 단위어레이 지정수단에 의해 지정되어 있는 상기 용장 로우 구제 단위어레이에서 공급된 데이타를 선택해서 전송하는 데이타 선택수단을 포함하는 반도체메모리.
(정정) 제9항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있으며, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 용장 신호전송 제어회로의 출력측에 이미더 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있는 반도체메모리.
(정정) 제17항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있으며, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 용장 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있는 반도체메모리.
(정정) 제18항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있으며, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 용장 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있는 반도체메모리.
(정정) 제4항에 있어서, 각 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호를 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 상기 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치회로룰 포함하고, 각 용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 상기 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로를 포함하는 반도체 메모리.
(정정) 제4항에 있어서, 각 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리 중 특정 논리에 응답해서 칼림 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더를 포함하고, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스 신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군중의 논리신호를 받고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에 상기 입력 논리신호를 그대로 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 상기 입력 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트회로에서 공급된 상기 논리신호를 받고, 상기 논리신호군의 조합인 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함하는 반도체 메모리.
(정정) 제4항에 있어서, 각 워드선 선택수단은 복수의 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인 워드 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 메인 워드선으로 메인 워드선 구동신호를 전송하는 메인 워드 드라이버회로, 1개의 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 서브 워드선 선택용 디코더 및 상기 메인 워드선 구동신호와 상기 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 서브 드라이버회로를 포함하고, 각 용장 워드선 선택수단은 복수의 용장 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인 워드선 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 용장 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 메인 워드선으로 용장 메인 워드선 구동신호를 전송하는 용장 메인 드라이버회로, 1개의 용장 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 상기 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 서브워드선 선택용 디코더 및 상기 용장 메인 워드선 구동신호와 상기 용장 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 서브 드라이버회로를 포함하는 반도체 메모리.
(정정) 제4항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것을 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함판정회로, 상기 결함판정회로에서 상기 무결함신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 생성회로 및 상기 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 데이타선에서 상기 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호전송 제어회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로, 상기 어레이사용 판정회로에서 상기 어레이사용 명령신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 생성회로 및 상기 용장 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 상기 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 상기 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장신호 전송 제어회로를 포함하는 반도체 메모리.
(정정) 제4항에 있어서, 각 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 데이타선 기동신호를 전송하는 데이타선 선택용 디코더 및 상기 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 데이타선 기동신호에 응답해서 지정된 데이타선으로부터의 신호를 전송하는 칼럼 스위치회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 선택수단은 데이타선 선택신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 블럭선택신호, 칼럼선택신호 및 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 데이타선 기동신호를 전송하는 용장 데이타선 선택용 디코더 및 상기 용장 데이타선 선택용 디코더에서 공급된 용장 데이타선 기동 신호에 응답해서 지정된 용장 데이타선에서 공급된 신호를 전송하는 용장 칼럼 스위치회로를 포함하며, 각 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 칼럼 용장 단위어레이 선택신호를 생성하는 어레이 선택용 디코더를 포함하고, 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호 생성수단은 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군의 신호선에 대응해서 배치된 복수의 퓨즈, 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 매트선택신호의 조합에 의한 논리신호군중의 논리신호를 받고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에 상기 입력 논리신호를 그대로 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에는 상기 입력 논리신호의 논리를 반전해서 전송하는 복수의 게이트회로 및 각 게이트회로에서 공급된 상기 논리신호를 받고, 상기 논리신호군의 조합인 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 칼럼 구제 단위어레이 신호를 생성하는 용장 어레이 선택용 디코더를 포함하며, 각 워드선 선택수단은 복수의 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인워드 선택 신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 메인 워드선 선택 명령신호를 전송하는 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 메인 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 메인 워드선으로 메인 워드선 구동신호를 전송하는 메인 워드 드라이버회로, 1개의 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및상기 로우 선택신호의 소합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 서브 워드선 선택 명령신호를 전송하는 서브워드선 선택용 디코더 및 상기 메인 워드선 구동신호와 상기 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 서브 드라이버회로를 포함하고, 각 용장 워드선 선택수단은 복수의 용장 워드선을 동시에 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호와 상기 메인워드 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 메인워드선 선택 명령신호를 전송하는 용장 메인 워드선 선택용 디코더, 상기 용장 메인 워드선 선택 명령신호를 응답해서 지정된 용장 메인 워드선으로 용장 메인 워드선 구동신호를 전송하는 용장 메인 드라이버회로, 1개의 용장 워드선을 선택하기 위한 신호로서 상기 어드레스신호에서 생성된 상기 블럭선택신호, 상기 매트선택신호 및 상기 로우 선택신호의 조합에 의한 논리중 특정 논리에 응답해서 용장 서브 워드선 선택 멍령신호를 전송하는 용장 서브 워드선 선택용 디코더 및 상기 용장 메인 워드선 구동신호와 상기 용장 서브 워드선 선택 명령신호에 응답해서 지정된 용장 워드선군으로 메모리셀 구동신호를 전송하는 용장 서브 드라이버회로를 포함하며, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차딘되어 있을 때에 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 있다는 것을 나타내는 결함신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 칼럼 구제 단위어레이에 결함이 없다는 것울 나타내는 무결함신호를 전송하는 결함판정회로, 상기 결함판정회로에서 상기 무결함신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 제어신호 생성회로 및 상기 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 데이타선에서 공급된 신호를 주데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 데이타선에서 상기 주데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 신호 전송 제어회로를 포함하고, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 전원에 접속된 퓨즈, 상기 퓨즈가 차단되어 있을 때에 상기 용장 칼럼 단위어레이의 사용을 명령하는 어레이사용 명령신호를 전송하고, 상기 퓨즈가 차단되어 있지 않을 때에는 상기 용장 칼럼 단위어레이 사용을 금지하는 어레이사용 금지신호를 전송하는 어레이사용 판정회로, 상기 어레이사용 판정회로에서 상기 어레이사용 명령신호가 생성되고 있는 조건하에서만 상기 용장 칼럼 구제 단위어레이 선택신호에 응답해서 온제어신호를 전송하고, 그 이외의 경우에는 오프신호를 전송하는 용장 제어신호 생성회로 및 상기 용장 제어신호 생성회로에서 공급된 상기 온제어신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 공급된 신호를 상기 용장 데이타 출력선으로 전송하고, 상기 오프신호에 응답해서 상기 용장 데이타선에서 상기 용장 데이타 출력선으로의 신호의 전송을 저지하는 용장 신호전송 제어회로를 포함하는 반도체 메모리.
(정정) 제35항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 플로워회로 또는 컬렉터 플로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있으며, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 용장 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 플로워회로 또는 컬렉터 플로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있는 반도체 메모리.
(정정) 제36항에 있어서, 각 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 플로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있으며, 각 용장 데이타선 신호전송 제어수단은 상기 용장 신호전송 제어회로의 출력측에 이미터 폴로워회로 또는 컬렉터 폴로워회로를 구성하는 바이폴라 트랜지스터를 갖고, 상기 바이폴라 트랜지스터의 이미터 또는 컬렉터의 출력은 와이어드 오아 방식으로 접속되어 있는 반도체메모리.