KR100302262B1

KR100302262B1 - 기판 및 마스크 고정장치

Info

Publication number: KR100302262B1
Application number: KR1019960038861A
Authority: KR
Inventors: 내링 헤르베르트; 볼프 한스
Original assignee: 페터 좀머캠프, 이리히 투테; 발 쩌스 운트 레이볼트 도이치란드 홀딩 아크티엔게젤샤프트
Priority date: 1995-09-09
Filing date: 1996-09-09
Publication date: 2001-11-30
Also published as: JPH09111451A; KR970018347A; DE19533402A1

Abstract

스퍼터링 공정에서 코팅하려는 플레이트 구조체(4), 예컨대 유리 플레이트(5)를 운반프레임(2)에 풀림가능식으로 고정시키기 위해 회전체(8)와 회전체(8)에서 받침부재(10)상에 기울어질 수 있게 설치된 시소체(12)를 구비한 잠금장치(6a-6d)가 구비된다. 밀폐위치(PB)와 자유위치(PE) 사이에서 기울어질 수 있는 시소체(12)는 스프링부재(16)에 의해 고정위치(PC)로 선부하를 받는다. 유리 플레이트(5)에 배치된 마스크체(3)를 고정시키기 위해 운반프레임(2) 둘레에 배치된 여러개의 잠금장치(6a-6b)가 구비된다. 이러한 잠금장치(6a-6b)를 동시에 작동시키기 위해 자동화된 인라인코팅공정에서 사용되는 로보트팔(25)이 구비된다. 플레이트 구조체(4)에 마스크체(3)의 평면적 베이스를 생산하기 위해 응력벨트로서 형성된 스프링부재(46)가 구비되고, 스프링부재는 평면중앙 영역에서 기판(5)을 스템프(52)에 의해 마스크체(3)에 압착하고 그에 따라 코팅공정중 마스크 가장자리는 코팅된 기판전이영역과 코팅되지 않은 영역이 대조가 극명하도록 형성시킨다.

Description

기판 및 마스크 고정장치

제1도는 본 발명에 따르는 회전잠금부를 갖춘 지지 플레이트의 평면도.

제2(a)도는 기판을 가압하는 스프링부재를 갖춘 제1도의 확대 단면도.

제2(b)도는 조정된 스프링부재를 제2(a)도에 표시된 단면선(A-A')을 따라 절개한 단면도.

제2(c)도는 고정위치의 스프링부재를 제2(a)도에 표시된 단면선(A-A')을 따라 절개한 단면도.

제3도는 조정된 스프링부재를 제2(a)도에 표시된 단면선(A-A')을 따라 절개된 부분단면의 확대도.

제4도는 회전잠금부를 부분적으로 꿰뚫은 평면도.

제5(a)도는 자유위치의 시소체와 로보트핑거를 제4도에 표시된 단면선(A-A')을 따라 절개한 단면도.

제5(b)도는 고정위치의 시소체와 로보트핑거를 제4도에 표시된 단면선(A-A')을 따라 절개한 단면도.

제6도는 제5(b)도에 표시된 굴곡된 단면선(B-B')을 따라 절개한 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 지지플레이트 3 : 마스크체

4 : 플레이트체 구조 5 : 유리 플레이트

6 : 회전잠금부 7a, 7b, 7c, 7d : 리세스

8 : 회전체 9 : 고정부재

10 : 받침부재 12 : 시소체

14 : 지지부 16 : 스프링요소

18 : 지지부분 22 : 받침프레임

24 : 링홈 25 : 로봇핑거

26 : 회전판 28 : 돌출부

30 : 오목부 32 : 받침부재 수용부

34 : 삼각핀 36 : 판스프링

38a, 38b : 스프링설판 40a, 40b : 고정판

42 : 스프링판 44 : 절결부

46 : 스프링부재 50 : 지지부재

52 : 스탬프 53 : 스탬프면

56 : 걸어맞춤슬릿 59 : 그립(grip)장치

62 : 그립슬릿 64 : 걸어맞춤개구부

66 : 코팅마스크 67 : 고정부재

71 : 절삭가공면 PA, PD : 장착 및 제거위치

PB : 잠금위치 PC : 고정위치

PE : 자유위치 a, b : 종측면

본 발명은 지지 플레이트에 압착작용을 행함에 의해 플레이트체 구조를 착탈가능식으로 고정시키기 위한 장치에 관한 것이고, 여기에는 지지 플레이트에 배치된 회전잠금부가 구비되고 회전잠금부는 회전체와 회전체에 배치된 받침부재 및 시소체(seesaw body)를 구비하고, 시소체는 받침부재에 기울어질 수 있게 설치되고 그리고 스프링요소에 의해 우선적 기울기 위치에 선부하가 걸려서 지지 플레이트와 시소체 사이에 배치된 플레이트체 구조가 압착식으로, 그리고 이동하지 않게 지지 플레이트에 유지된다.

예컨대, 플라즈마식 CVD 방법 또는 열유도식 증착방법과 같은 진공식 코팅방법에 의해 기판을 코팅하기 위해, 코팅하려는 기판면이 코팅원에 대해 한정된 거리를 두고 배치되고 유지되는 것이 필수적이다. 소위 인라인 스퍼터링 설비에서, 코팅하려는 기판은 형성층의 갯수에 상웅하는 코팅부를 연속해서 지나가게 된다. 기판 자신은 이를 위해 소위 기판 지지 플레이트에 유지되고 기판 지지 플레이트에는 기판이 각각의 코팅부에 대향하여 배치된다. 예컨대 코팅하려는 유리디스크와 같은 코팅하려는 기판을 디스크원주에 배치된 여러개의 캐치스프링에 의해 기판 지지 플레이트상에 느슨한 형상 결합식으로 유지하는 것이 공지되어 있다. 이러한 공지된 고정장치의 단점은 대체로 코팅부에 수직으로 정렬되어 늘어져 있는 기판이 지지공극내에 각각의 기판 지지 플레이트의 오목부내에서 자유롭게 움직일 수 있다는 점이다. 이것은 프레임에 제공된 공극한계에 있어 불리하게 재생불가능한 증착층을 만들게 되는 단점이 있다. 왜냐하면 코팅원과 기판 사이의 거리는 코팅과정 중 기판마다 제어불가능하게 변화하고 그리고 예컨대 균일하지 않은 층두께를 형성하기 때문이다.

종래의 고정장치의 추가적인 단점은 다층식 구조, 소위 플레이트체 구조의 코팅시, 플레이트체 구조가 코팅과정중 서로에 대해, 그리고 코팅원에 대해 상대적으로 불충분한 정도로만 위치고정된다는 점에 있다. 공지된 고정장치는 2개의 플레이트체, 즉 코팅하려는 기판과 기판을 부분적으로 덮는 마스크체로 구성된 플레이트체 구조인 경우 특히 단점이 많은 것으로 알려졌다. 공지된 고정장치의 사용시 코팅표본은 형성된 층두께에 대하여 더 이상 허용할 수 없는 불균일성을 가질 뿐만 아니라 코팅되지 않는 기판면으로의 가장 자리 전이영역에 대조가 극명한 어떠한 층전이부도 갖지 않게 되는데, 이는 마스크체 및 기판이 서로 이동될 수 있기 때문이다.

본 발명의 목적은 코팅하려는 기판, 특히 진공식 코팅방법으로 코팅하려는 기판이 기판이 송부재상에 고정될 수 있어서 상기 종래 고정장치에서 나타나는 단점이 제거되는 구조적으로 단순하고 비용이 양호한 고정장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따라 이러한 목적은 청구범위 제1항 및/또는 청구범위 제9항에 주어진 특징을 갖는 장치에 의해 이루어진다.

청구범위 제1항의 본 발명에 따르는 장치는 기본적으로 회전체상에 기울어질 수 있게 설치된 시소체를 갖추고 지지 플레이트에 배치된 회전잠금부로 구성되어 있고, 여기에서 회전체에 기울어질 수 있게 설치된 시소체는 바람직한 경사위치에서 스프링요소에 의해 선부하를 받게 되어 있고, 지지 플레이트와 지지 플레이트로 향한 시소체의 자유지지부 사이에 배치된 기판은 압착식으로, 그리고 바람직하게는 지지 플레이트 자체에 대해서 이동하지 않도록 이것에 유지된다. 지지 플레이트에 놓여진 기판은 본 발명에 따르는 회전잠금부에 의해 마찰접속적으로 지지 플레이트에 고정된다. 따라서, 코팅원 앞의 지지 플레이트상에 고정된 기판은 각각의 코팅과정시 동일한 코팅위치를 차지하여 코팅과정중 자연히 발생하는 기판 이동이 바람직하게 방지되는 것이 보장된다.

추가적으로 유익하게 본 발명에 따르는 회전잠금부는 청구범위 제14항에 나타난 다층 플레이트체로 구성된 기판구조가 서로 위치고정적으로, 그리고 코팅원에 대하여 공간 고정적으로 배치될 수 있도록 한다. 따라서 마스크에 의해 부분적으로 덮힌 기판, 예컨대 넓은 면적의 유리디스크의 코팅이 유익하게 실행될 수 있는데, 왜냐하면 이러한 마스크코팅은 마스크가 각각의 코팅공정이 지속하는 동안 동일한 위치에서 기판상에 놓여지는 것을 필요로 하기 때문이다.

코팅된 기판, 예컨대 코팅된 유리면을 지지 플레이트로부터 제거하기 위해 시소체는 이것의 선단측의 선부하에 대항하여 작용하는 플레이트체 구조의 압력에 의해 우선 자유위치로 경사질 수 있게 된다 회전잠금부를 코팅위치 또는 제거위치에서 바람직하게 90° 의 각도로 회전시킴에 의해 지지영역에서 플레이트체 구조 위로 돌출한 시소체가 기판영역으로부터 회전되어 나올 수 있게 된다. 이를 위해 청구범위 제3항에 나타난 바와 같이 회전잠금부는 지지 플레이트에 견고하게 장착된 받침프레임과, 이 받침프레임에 설치된 오목부와 이 오목부의 내측으로 형성된 링홈과, 오목부에 회전가능하게 설치된 회전판으로 구성된다.

시소체는 회전판에 형성된 받침오목부에서 바람직하게 특수강으로 제작된 삼각핀상에 놓여지고, 받침오목부내에는 삼각핀이 정확하게, 그리고 가장자리 측면이 둘러싸여 삽입된다.

시소체에 가해지는 선부하를 발생하기 위해 청구범위 제6항에 따라 바람직하게 U자 형태로 형성된 판스프링이 구비되고, 판스프링의 양 자유 스프링 단부는 예컨대 2개의 클램핑 조오(jaw)에 의해 회전판에 고정되고 그리고 자유 스프링 단부를 결합하는 중간스프링판은 단부측에서 시소체에 스프링압력을 받아 놓여 있다.

제거위치에서 시소체의 받침부분이 자동적으로 회전운동하는 것을 방지하기 위해 지지 플레이트에는 바람직하게 오목부가 구비되고, 오목부내에 경사진 시소체가 맞물러게 되고, 따라서 시소체가 회전운동에 있어 고정되어진다. 청구범위 제8항에 나타난 바와 같이 구리-베릴륨 또는 크롬-니켈-합금으로 이루어진 스프링요소가 사용되는 것이 유익한 것으로 입증되었다.

본 발명에 따르면, 회전잠금부는 이것이 예컨대 소위 로보트핑거를 사용함에 의해 기계적으로 조작할 수 있도록 형성된다. 이러한 로보트핑거는 경사지게 형성된 압착면에 의해 시소체의 선부하에 대항하여 이것의 자유단부를 가압하므로 시소체는 그 자유위치로 기울어지게 된다. 이러한 자유위치에서 회전잠금부는 공통적으로 시소체와 함에 로봇핑거의 회전에 의해 코팅위치 또는 제거위치로 이동될 수 있다. 예컨대 약 1m의 측면길이를 갖는 넓은 면적의 유리디스크를 지지 플레이트에 고정시키기 위해 서로 대향하여 위치하는 측에 각각 마주보고 배치된 회전잠금부가 구비된다. 기계제어식 코팅공정중 지지 플레이트에 기판을 장착하기 위해 모든 회전잠금부는 동시에 기계작동식 로보트핑거에 의해 해제되거나 고정유지 위치를 이루게 된다 로보트식 장착에 의해 유익하게 최소시간내에 코팅된 기판을 코팅 안된 기판과 교환할 수 있게 되는 것이 보장된다. 따라서 코팅공정을 위한 높은 주기속도가 발생되는데 이는 이것이 장착부에서의 지연에 의해 제한되지 않기 때문이다.

본 발명에 따르는 회전잠금부의 평면적 구조 때문에 더욱 유익하게, 지지 플레이트에 고정된 기판을 코팅부마다 통과시키는 코팅설비의 통과횡단면이 작게 유지될 수 있는 것이 보장되고 따라서 밀집되고 구조적으로 단순한 효율적인 구조가 얻어진다.

주어진 목적을 동일하게 성취하고 그리고 청구범위 제1항에 나타난 장치의 작용을 강화시키는 추가적인 유지장치가 청구범위 제9항의 특징에 따라 나타나 있다. 이러한 유지장치는 기본적으로 코팅하려는 기판 위에 배치된 스프링부재로 구성되고, 스프링부재는 중간스탬프를 가지고 있고, 이 스탬프는 코팅하고 싶지 않은 면측면에서 기판에 가압된다. 특히 예컨대 마스크로 덮힌 유리면과 같은 다층식 플레이트체 구조에서 이러한 스프링부재는 기판이 또한 그 중앙영역에서 마스크에 평편하게 놓여지도록 작용하여 유리면에 분리된 층이 코팅된 영역과 코팅 안된 영역 사이에 극명한 대조를 이루는 분명한 층윤곽선을 갖도록 생산할 수 있다.

본 발명의 유리한 구성에서는, 활모양 고정부재로서 형성된 스프링부재는 단부측이 각각 지지부재에 지지될 수 있고 그리고 플레이트체 구조상에 응력, 바람직하게는 휨응력을 받고, 주로 스프링 부재의 중앙에 배치된 스탬프로 기판에 놓여지고, 이 기판은 따라서 코팅측면에 배치된 마스크에 대하여 평면적으로 가압된다. 스프링부재를 단부측에서 지지하는 유지부재는 바람직하게 각각 스프링부재를 수용하기 위한 걸어맞춤슬릿을 구비한 수용슈우로 형성 되어 있고, 걸어맞춤 슬릿내에는 탄성변형된 스프링부재가 휭웅력상태에서 각각 그 자유단부가 동시에 삽입될 수 있다. 스프링부재의 양단부를 수용하는 그립장치에 의해 스프링부재는 이격위치와 근접위치 사이에서 탄성적으로 휘어질 수 있게 변형될 수 있고 따라서 유지부재로 삽입 및 이탈될 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 다른 유리한 구성에서는, 가장자리영역에 배치된 회전잠금부와 기판의 배면측에까지 연장된 스프링부재는 동시에 로보트핑거에 의해 조작이 가능하고, 그에 따라 특히 해로운 기판의 국부적 기계 응력이 단지 지지 플레이트에 대한 플레이트체 구조의 정확한 가압에 의해 방지된다.

본 발명에 따르는 회전잠금부를 진공압력상태에서 행해지는 코팅공정중에 사용하는 경우, 회전잠금부의 해제과정 및 폐쇄과정에서 마찰 및 마모를 적게 일으키며 작동하는 것이 특히 장점이고, 이것은 기판면에 침전된 입자의 분해를 방지하게 된다. 결함부 없이 넓은 층면적을 생산하는 것이 따라서 유익하게 가능하게 된다.

본 발명의 유익한 추가적인 개선형태가 하부 청구범위의 특징으로 나타난다.

본 발명은 도면에 도시된 특히 유익한 실시예에 의해 다음에 보다 상세히 기술된다.

제1도에는 플레이트체 구조(4)가 장착된 지지 플레이트(2)가 도시되어 있다. 지지 플레이트(2)는 기본적으로 직사각형의 외부 횡단면을 가진다. 플레이트체 구조(4)는 마스크체(3)와 마스크체(3)에 배치된 유리 플레이트(5)(제5(a)도 참조)로 구성된다. 마스크체(3)는 유리 플레이트(5)상에 코팅하려는 영역을 평면적으로 규정하는 각각 직사각형의 횡단면을 가진 4개의 리세스(7a, 7b, 7c, 7d)를 갖추고 있다.

지지 플레이트(2)의 종측면(a, b)에는 각각 쌍으로 대향하여 4개의 회전잠금부(6)가 배치된다. 종측면에 위치한 회전잠금부(6) 사이에는 지지 플레이트(2)에 2개의 서로 대향한 지지부재(50)가 고정되고, 지지부재는 제2(b)도 및 제2(c)도에 도시된 바와 같이 플레이트체 구조(4)를 과도하게 가압하는 스프링부재(46)를 수용 하는데 사용된다.

기판이 없는 빈 지지 플레이트(2)에 플레이트체 구조(4)를 장착하기 위해 회전잠금장치로 형성된 회전잠금부(6)가 코팅위치 또는 제거위치(PA)로 회전된다(제1도 참조).

각각의 회전잠금부는 제4도에 도시된 바와 같이, 중앙개구부를 구비한 원형 받침 프레임(22)으로 구성된다. 받침 프레임(22)은 3개의 고정부재(67)에 의해, 바람직하게는 나사에 의해 지지 플레이트(2)와 착탈식으로 결합된다. 받침 프레임(22)의 절결부(44)내에는 회전체(8)(제5(a)도 참조)가 회전가능하게 설치되고, 평면 실린더 디스크로 형성된 회전체(8)의 원형 외피면에는 적어도 3개의, 바람직하게 120° 의 각도로 서로 편이된 돌출부(28)가 갖추어진다. 이 돌출부(28)에 의해, 회전체(8)는 받침 프레임(22)의 중앙개구부의 내측벽에 형성된 원형 링홈(24)에 회전가능하게 설치된다. 회전체(8)를 링홈(24)에 삽입하기 위해 받침프레임(22)은 그것의 한쪽 단면이 중앙개구부의 내측원주상에 배치된 3개의 절결부를 갖추고 있고, 이 절결부는 돌출부(28)의 각도 편이에 상응하여 배치된다.

회전판(26)으로 형성된 회전체(8)(제5(a)도, 제5(b)도 및 제6도 참조)는 방사상으로 형성된 오목부(30)(제6도 참조)를 갖추고 있고, 이 오목부내에는 테이퍼 형태의 시소체(12)가 삼각핀 형상으로 성형된 받침부재(10)에 기울어질 수 있도록 설치된다. 오목부(30)내에서 받침부재(10)의 방사상 이동을 방지하기 위해, 이것의 3개의 측면중 1개가 오목부(30)내에 형성된 받침부재 수용부(32)내에 미끄러지지 않게 정확히 설치된다. 시소체(12)는 종방향에 대해서 직교하는 횡방향에서 형성된 그것의 지지부(14)에 의해 기울어질 수 있게 오목부(30)내의 받침부재(10)상에 놓여진다. U자 형태의 판스프링으로 구성된 스프링요소(16)에 의해 시소체(12)는 잠금위치(PB)(제5(b)도)로 기울어진다. 이를 위해, 평행하게 연장된 양 스프링설판(38a, 38b)을 회전판(26)상에 갖춘 스프링요소(16)는 2개의 고정판(40a, 40b)(제4도 및 제6도 참조)에 의해 받침 프레임(22) 및 지지 플레이트(2)에 대해 단부측이 고정된다. 양 스프링설판(38a, 38b)을 연결하는 스프링판(42)은 시소체(12)상에 단부측이 놓여지고 그리고 지지부분(18)을 갖춘 시소체(12)를 지지 플레이트(2)내에 설치된 플레이트체 구조(4)에 대하여 가압한다. 도면에 도시된 실시예에서 플레이트체 구조(4)는 마스크체(3)와 마스크체(3)에 놓여진 유리 플레이트(5)로 구성된다. 마스크체(3)의 두께는 전형적으로 약 2mm, 그리고 유리플레이트(5)의 두께는 약 1.2mm이다.

각각의 시소체(12)가 놓여지는 영역에 유리 플레이트(5)를 손상시키지 않는 가압 작용을 행하기 위해 지지부분(18)은 절삭가공면(71)을 가지고 있고(제5(a)도 참조), 절삭각도는 시소체(12)가 유리 플레이트(5)상에 가압상태로 평면적으로 놓여지도록 시소체(12)의 경사각도를 잠금위치에서 보상한다. 전체면적에 걸쳐서 평탄한 절삭가공면(71)을 형성하기 위한 택일적 구성에서는, 지지부(14)와 지지부분(18) 사이에 연장된 지지면이 종단면 형상에 있어서 도면에 도시되지 않은 유사반경형태를 이루게 되고, 이것은 또한 상이한 플레이트체 두께인 경우, 시소체의 한정된 선형적 적합기하형태가 플레이트체 구조(4)에 실현되는 것을 보장한다.

플레이트체 구조(4)를 지지 플레이트(2)로부터 꺼내기 위해 로보트핑거(25)는 시소체(12)의 지지부분(18)과는 반대측으로 하강하고 그리고 스프링웅력에 대항하여 시소체(12)를 회전판(26)을 향하여 기올어지게 한다. 따라서 시소체(12)의 지지부분(18)은 플레이트체 구조(4)로부터 이탈된다. 로보트핑거(25)를 약 90° 의 각도로 회전함에 의해 회전판(26)은 동반적으로 받침프레임(22)에서 회전하게 되고, 시소체(12)는 그 지지부분(18)과 함께 플레이트체 구조(4)의 가장자리 측면영역으로부터 제거위치(PA)(제1도 참조)로 기울어진다. 도면에 도시되지 않은 흡입장치, 바람직하게 로보트 가공 플레이트에 고정된 흠입기에 의해 유리 플레이트(5)는 코팅과정에 있어서 지지 플레이트(2)내의 마스크체(3)로부터 제거되거나 또는 장착을 위해 마스크체에 놓여질 수 있게 된다. 코팅하려는 유리 플레이트(5)의 고정은 각각의 회전잠금부(6)를 동시에 조작하는 도면에 도시되지 않은 로보트핑거에 의해 이루어진다. 이러한 기계적으로 자동화된 제거과정 및 코팅과정은 마스크체에 의해 덮혀진 유리 플레이트를 일련의 층으로 이루어진 구조로 코팅할 수 있는 소위 인라인 스퍼터링 설비의 일체화를 가능케 한다.

로보트핑거(25)로 작동하는 회전잠금부(6)를 보완하기 위해 추가적인 회전잠금부가 구비되고, 이것은 기본적으로 플레이트체 구조(4) 위로 연장되고 그리고 이것에 탄성적으로 설치된 스프링부재(46)인 활모양 고정부재로 구성된다. 스프링부재(46)는 지지 플레이트(2)의 대향한 가장자리측(a, b)에서 각각 지지부재(50)내에 삽입고정된다. 지지 플레이트(2)에 플레이트체 구조(4)를 장착한 후에 스프링부재(46)는 각각 하나의 그립슬릿(62)을 가지는 2개의 그립장치(59) 사이에서 그 휨응력에 저항하여 제2(b)도에 도시된 바와 같이 탄성적으로 변형된다. 그립장치(59)는 그 다음에 제2(a)도에 도시된 바와 같이 지지부재(50)의 걸어맞춤개구부(64)로 도입된다. 스프링부재(46)의 자유단부를 지지부재(50)에 삽입시키기 위해 스프링부재(46)는 양그립장치(59) 사이의 간격을 확대시킴으로써 부분적으로 삽입고정되고, 스프링부재는 단부측에서 각각 지지부재(50)에 형성된 걸어맞춤슬릿(56) 내에 맞물리게 된다. 또한 스프링부재(46)에 고정된 스탬프(52)는 기판, 예컨대 유리 플레이트상으로 하강한다. 스프링부재(46)에 의해 발생된 휨응력에 따라 스탬프(52)는 유리 플레이트(5)를 그 중앙영역에서 마스크체(3)에 대항하여 가압하고(제3도 참조), 그에 따라 코팅과정중 유리 플레이트(5)에서 코팅된 영역과 코팅되지 않은 영역 사이에 윤곽이 극명한 층경계가 얻어진다.

코팅처리가 종결된 후에 그립장치(59)는 기본적으로 회전잠금부(6)를 조작하기 위해 제공된 로봇핑거(25)되 거의 동시에 지지부재(50)내로 하강하고 서로 간격을 좁히는 방향으로 이동하고, 그에 따라 스프링부재(46)는 스탬프(52)와 함께 유리 플레이트(5)로부터 이탈된다. 이러한 가압과정은 마스크체(3)가 유리 플레이트(5)에 대해 부드럽고 마모없이 특히 입자분해를 방지하도록 고정되는 것을 보장한다.

수용슈우로서 형성된 지지부재(50)는 제1도, 제2(a)도 및 제3도에 도시된 고정부재(67)에 의해 바람직하게는 나사에 의해 지지 플레이트(2)에 착탈가능하게 고정된다. 이것은 회전잠금부(6)가 독립적으로 또는 스프링부재(46)와 함께 작용하여 동시에 설치되는 것을 가능케 하고, 또한 회전잠금부(6)없이 스프링부재(46)가 사용되는 것도 가능해지므로 유익하다.

Claims

지지플레이트(2)에 압착작용에 의해 적어도 하나의 플레이트체로 이루어지는 적어도 하나의 플레이트체 구조(4)를 착탈가능하게 고정하기 위한 장치로서, 지지플레이트(2)에 고정된 적어도 하나의 회전잠금부(6)가 설치되어 있고, 그 회전잠금부가 회전체(8)와, 그 회전체(8)에 배치되고 바람직하게는 그 회전체(8)에 결합된 받침부재(10)와 시소체(12)를 구비하고, 그 시소체(12)는 지지부(14)를 구비하고 있고, 또한 상기 시소체(12)가 바람직하게는 지지면으로서 형성된 지지부(14)에 의해 받침부재(10)상에 기울어질 수 있게 배치되고 그리고 스프링요소(16)에 의해 우선적인 경사위치(PB)에서 선부하를 받고, 지지플레이트(2)와 시소체(12)의 지지부분(18) 사이에 배치된 플레이트체 구조(4)는 바람직하게는 지지플레이트(2)에 대하여 이동하지 않게 압착유지되어 있는 것을 특징으로 하는 플레이트체 구조(4)를 착탈가능하게 고정하기 위한 장치.
제1항에 있어서, 시소체(12)는 그 시소체에 가해진 선부하에 저항하여 이것의 단부측에 가해진 압력에 의해 자유위치(PE)로 기울어질 수 있고, 그에 따라 플레이트체 구조(4)는 자유롭게 되고, 그리고 시소체(12)는 회전잠금부(6)에 의해 지지플레이트(2)에 대하여 자유위치(PE)에서 제거위치(PA)까지 회전할 수 있어서 지지부분(18)이 플레이트체 구조(4)의 지지영역으로부터 완전히 회전될 수 있게 되고 따라서 플레이트체 구조(4)가 지지플레이트(2)로부터 이탈될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서 , 회전체(8)는 기본적으로, 고정부재(67)에 의해 지지플레이트(2)와 바람직하게 착탈가능식으로 결합되고, 절결부(44)를 갖추고 내측 원주상에 링홈(24)이 형성되어 있는 받침프레임(22)과 그 절결부(44)에 배치된 회전판(26)을 구비하고 있고, 회전판(26)은 이것의 원주상의 외측면에 형성된 돌출부(28)에 의해 링홈(24)내로 안내되고 그리고 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 회전판(26)은 전면측에 시소체(12)를 수용하기 위해 바람직하게 그 회전판의 직경에 걸쳐 방사상 방향으로 연장된 오목부(30)와, 바람직하게 오목부(30)내의 홈으로 형성된 받침부재 수용부(32)를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 받침부재(10)는 바람직하게 특수강으로 제작된 삼각핀으로 제작되고, 그 삼각핀은 그 외피면이 받침부재 수용부(32)내에 기본적으로 형상결합식으로 이동하지 않도록 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 스프링요소(16)는 바람직하게 U자형으로 형성된 판스프링으로 구성되어 있고 그 판스프링은 자유로운 양 스프링설판(38a, 38b)이 회전판(26)의 전면상에 바람직하게 2개의 고정판(40a, 40b)에 의해, 그리고 오목부(30)의 상부에서 이것에 대해 대칭적으로 배치되어 착탈가능하게 고정되고, 그리고 회전판(26) 위로 돌출한 스프링판(42)이 스프링응력을 받아서 상기 시소체(12)에 재설되어 있고, 그에 따라 시소체(12)는 우선적인 경사위치(PB)를 향하여 선부하를 걸고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 지지플레이트(2)는 절결부(44)를 갖추고 있고, 그 절결부의 시소체(12)의 지지부분(18)이 제거위치(PA)로 기울어질 수 있으며 그에 따라 각각의 회전잠금부(6)는 회전판(26)의 자발적인 회전을 방지하는 것이 보장 되는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 스프링요소(16)는 구리-베릴륨 또는 크롬- 니켈-합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항에 따라 지지플레이트(2)에 스프링부재(46)에 의해 적어도 하나의 플레이트체 구조(4)를 착탈가능하게 고정하기 위한 장치에 있어서, 상기 스프링부재(46)는 단부측에서 각각 지지부재(50)에 지지될 수 있고 상기 스프링부재(46)의 거의 중앙영역이 응력, 바람직하게는 휨응력을 걸어 플레이트체 구조(4)에 설치되어 있고, 플레이트체 구조(4)는 지지플레이트(2)에 어긋나지 않게 가압되는 것을 특징으로 하는 플레이트체 구조를 착탈가능하게 고정하기 위한 장치.
제9항에 있어서, 스프링부재(46)는 활모양 고정부재로 형성되어 있고 그 활모양고정부재에는 양 자유단부 사이에 배치된 스탬프(52)가 고정되어 있고, 그 스탬프(52)는 상기 활모양고정부재의 고정위치(PC)에서 플레이트체 구조(4)의 표면에 대해서 거의 평행하게 위치조정된 스탬프면(53)을 통하여 플레이트체 구조(4)상에 놓여지고 그리고 지지플레이트(2)에 대하여 그 플레이트체 구조(4)를 가압하는 것을 특징으로 하는 장치.
제9항 또는 제10항에 있어서, 지지부재(50)는 활모양고정부재를 단부측에서 수용하기 위한 걸어맞춤개구부(64)를 구비한 수용슈우로 구성되어 있고, 적어도 2개의 수용슈우는 지지플레이트(2)상에 바람직하게는 플레이트체 구조(4)의 서로 반대측의 가장자리 영역에 배치되고 그리고 걸어맞춤슬릿(56)에 형성된 걸어맞춤개구부(64)는 서로 대향하고 그리고 지지부재(50) 사이에 조여붙여 고정된 활모양 고정부재가 플레이트체 구조(4)의 전체길이에 걸쳐서 뻗어 걸쳐져 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제9항 또는 제10항에 있어서, 서로의 상호간격을 조절가능하고 각각 하나의 그립슬릿(62)을 가지는, 적어도 2개의 그립장치(59)가 설치되어 있고, 이 그립장치에 상기 활모양고정부재가 각각 단부측에서 삽입가능하고, 선부하를 걸고, 특히 상기 걸어맞춤슬릿(56)내에 조여붙여 고정된 상기 활모양고정부재는 서로 향하는 방향에서 또한 상기 활모양고정부재에 의해 가해지는 스프링 신장력에 저항하는 방향에서 상기 그립장치(59)를 이동시킴으로써, 원격위치로부터, 즉 상기 걸어맞춤슬릿(56)으로부터 근접위치(PD)로 탄성적 변형하에 변위가능하고, 이때 스탬프(52)는 플레이트체 구조(4)로부터 이탈되고 그에 따라 플레이트체 구조(4)는 지지플레이트(2)에서 제거될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 수용슈우는 각각 걸어맞춤슬릿(56) 뒤에 배치되고 또한 그 걸어맞춤슬릿을 부분적으로 관통하는 각 1개의 걸어맞춤개구부(64)를 가지고 있고, 그 걸어맞춤개구부내에는 상기 그립장치(59)가 각각 개별적으로, 그리고 바람직하게는 상기 활모양고정부재의 선단측에서 후방으로부터 걸어 맞춤하도록 도입가능한 것을 특징으로 하는 장치.
제1항, 제2항, 제9항 및 제10항중 어느 한 항에 있어서, 플레이트체 구조(4)는 서로 느슨하게 설치된 단일 플레이트체, 바람직하게 코팅하려는 유리플레이트(5)와 유리플레이트(5)에 배치된 코팅마스크(66)로 구성되어 있고, 상기 스프링부재(46)에 의해 유리플레이트(5)는 코팅마스크(66)에 대하여 가압할 수 있고, 그에 따라 코팅마스크(66)는 그 전체면에 걸쳐 코팅하려는 유리플레이트(5)에 직접 밀착되고 그리고 바람직하게 진공증착방법에 의해 유리플레이트(5)상에 형성되는 층구조는 코팅마스크(66)의 마스크 가장자리에 의해 규정된 극명한 경계를 이루는 가장자리 윤곽에 의해 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제1항, 제 2항, 제9항 및 제10항중 어느 한 항에 있어서, 지지플레이트(2)에 배치된 플레이트 체 구조(4)는, 진공상태로 실행되는 코팅공정, 바람직하게는 스퍼터링 코팅공정, 플라즈마식 및/또는 열유도된 증착코팅에서 사용될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제3항에 있어서, 회전판(26)은 전면측에 시소체(12)를 수용하기 위해 바람직하게 그 회전판의 직경에 걸쳐 방사상 방향으로 연장된 오목부(30)와, 바람직하게 오목부(30)내의 흠으로 형성된 받침부재 수용부(32)를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
제3항에 있어서, 받침부재(10)는 바람직하게 특수강으로 제작된 삼각핀으로 제작되고, 그 삼각핀은 그 외피면이 받침부재 수용부(32)내에 기본적으로 형상결합식으로 이동하지 않도록 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.
제4항에 있어서, 받침부재(10)는 바람직하게 특수강으로 제작된 삼각핀으로 제작되고, 그 삼각핀은 그 외피면이 받침부재 수용부(32)내에 기본적으로 형상결합식으로 이동하지 않도록 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.
제3항에 있어서, 스프링요소(16)는 바람직하게 U자형으로 형성된 판스프링으로 구성되어 있고 그 판스프링은 자유로운 양 스프링설판(38a, 38b)이 회전판(26)의 전면상에 바람직하게 2개의 고정판(40a, 40b)에 의해, 그리고 오목부(30)의 상부에서 이것에 대해 대칭적으로 배치되어 착탈가능하게 고정되고, 그리고 회전판(26) 위로 돌출한 스프링판(42)이 스프링응력을 받아서 상기 시소체(12)에 재설되어 있고, 그에 따라 시소체(12)는 우선적인 경사위치(PB)를 향하여 선부하를 걸고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제4항에 있어서, 스프링요소(16)는 바람직하게 U자형으로 형성된 판스프링으로 구성되어 있고 그 판스프링은 자유로운 양 스프링설판(38a, 38b)이 회전판(26)의 전면상에 바람직하게 2개의 고정판(40a, 40b)에 의해, 그리고 오목부(30)의 상부에서 이것에 대해 대칭적으로 배치되어 착탈가능하게 고정되고, 그리고 회전판(26) 위로 돌출한 스프링판(42)이 스프링응력을 받아서 상기 시소체(12)에 재설되어 있고, 그에 따라 시소체(12)는 우선적인 경사위치(PB)를 향하여 선부하를 걸고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제3항에 있어서, 지지플레이트(2)는 절결부(44)를 갖추고 있고, 그 절결부의 시소체(12)의 지지부분(18)이 제거위치(PA)로 기울어질 수 있으며 그에 따라 각각의 회전잠금부(6)는 회전판(26)의 자발적인 회전을 방지하는 것이 보장되는 것을 특징으로 하는 장치.
제4항에 있어서, 지지플레이트(2)는 절결부(44)를 갖추고 있고, 그 절결부의 시소체(12)의 지지부분(18)이 제거위치(PA)로 기울어질 수 있으며 그에 따라 각각의 회전잠금부(6)는 회전판(26)의 자발적인 회전을 방지하는 것이 보장되는 것을 특징으로 하는 장치.
제3항에 있어서, 스프링요소(16)는 구리-베릴륨 또는 크롬- 니켈-합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
제4항에 있어서, 스프링요소(16)는 구리-베릴륨 또는 크롬- 니켈-합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
제11항에 있어서, 서로의 상호간격을 조절가능하고 각각 하나의 그립슬릿(62)을 가지는, 적어도 2개의 그립장치(59)가 설치되어 있고, 이 그립장치에 상기 활모양고정부재가 각각 단부측에서 삽입가능하고, 선부하를 걸고, 특히 상기 걸어맞춤슬릿(56)내에 조여붙여 고정된 상기 활모양고정부재는 서로 향하는 방향에서 또한 상기 활모양고정부재에 의해 가해지는 스프링 신장력에 저항하는 방향에서 상기 그립장치(59)를 이동시킴으로써, 원격위치로부터, 즉 상기 걸어맞춤슬릿(56)으로부터 근접위치(PD)로 탄성적 변형하에 변위가능하고, 이때 스탬프(52)는 플레이트체 구조(4)로부터 이탈되고 그에 따라 플레이트체 구조(4)는 지지플레이트(2)에서 제거될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
제11항에 있어서, 상기 수용슈우는 각각 걸어맞춤슬릿(56) 뒤에 배치되고 또한 그 걸어맞춤슬릿을 부분적으로 관통하는 각 1개의 걸어맞춤개구부(64)를 가지고 있고, 그 걸어맞춤개구부내에는 상기 그립장치(59)가 각각 개별적으로, 그리고 바람직하게는 상기 활모양고정부재의 선단측에서 후방으로부터 걸어맞춤하도록 도입 가능한 것을 특징으로 하는 장치.
제12항에 있어서, 상기 수용슈우는 각각 걸어맞춤슬릿(56) 뒤에 배치되고 또한 그 걸어맞춤슬릿을 부분적으로 관통하는 각 1개의 걸어맞춤개구부(64)를 가지고 있고, 그 걸어맞춤개구부내에는 상기 그립장치(59)가 각각 개별적으로, 그리고 바람직하게는 상기 활모양고정부재의 선단측에서 후방으로부터 걸어맞춤하도록 도입 가능한 것을 특징으로 하는 장치.