KR100278813B1 - 액정표시소자 및 그 수정방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 횡전계방식의 액정표시소자 및 그 수정방법에 관한 것으로서, 신호선 또는 전극에 있어서 단선이 발생하고 있다고 해도 간단한 방법으로 단선개소의 수복을 달성할 수 있는 액정표시소자와 그 수정방법을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 액정층을 개재해서 서로 배치되는 투명기판의 액정쪽의 면의 각 화소영역에 표시전극과 기준전극이 형성되고, 이들의 전극에 인가하는 전압에 의해서 액정층내에 투명기판과 평행한 전계를 발생시키고, 이에 의해 이 액정층을 투과하는 광을 변조시키는 것으로서, 표시전극은 주사신호선으로부터의 주사신호의 공급에 의해 ON되는 스위칭소자를 개재한 영상신호선으로부터의 영상 신호가 공급되는 동시에, 기준전극은, 기준신호선으로부터의 기준신호가 공급되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. 수정방법은, 영상신호선과 이 영상신호선과 인접하는 기준전극과의 사이에서 전기적단락이 발생하고 있는 것을 검출하고, 전기적단락이 발생하고 있는 개소에 있어서의 기준전극중, 기준신호선쪽의 영역에서 기준전극을 절단하는 스텝을 포함하고, 단락개소를 수복한다. 액정표시소자는, 기준신호선을 공통으로 하는 각 화소영역중 서로 인접하는 화소영역의 각각의 기준신호선은 기준신호선이외의 개소에서 전기적으로 도통되고 있는 구성을 가진다. 그에 의해, 기준신호선이 절연막을 개재해서 교차배치되는 영상신호선과의 사이에 전기적단락이 발생해도 용이하게 수복할 수 있는 것이다.

Description

액정표시소자 및 그 수정방법

본 발명은 액정표시소자 및 그 수정방법에 관한 것으로서, 특히, 소위 횡전계방식의 액정표시소자 및 그 수정방법에 관한 것이다.

소위 횡전계방식이라고 칭해지는 컬러액정표시소자는, 액정층을 개재해서 서로 대향해서 배치되는 투명기판중 그 한쪽의 액정층쪽의 단위화소에 상당하는 영역면에 표시전극과 기준전극이 구비되고, 이 표시전극과 기준전극과의 사이에 투명기판면과 평행하게 발생시키는 전계에 의해서 상기 액정층을 투과하는 광을 변조시키도록 한 것이다.

이와 같은 컬러액정표시기판은, 그 표시면에 대해서 큰 각도시야로부터 관찰해도 선명한 영상을 인식할 수 있고, 소위 광각도시야에 뛰어난 것으로서 알려지기 이르렀다.

그리고, 이와 같은 횡전계방식을 소위 액티브·매트릭스방식이라고 칭해지는 액정표시소자에 적용시킨 것을 매트릭스형상으로 배치된 각 화소영역에 각각 스위칭소자가 구비되고, 주사신호선으로부터의 주사신호에 의해서 ON하는 스위칭소자를 개재해서 영상신호선으로부터 영상신호가 상기 표시전극에 공급되는 동시에, 상기 기준전극은, 기준신호선으로부터의 기준신호가 공급되도록 구성되어 있다.

또한, 이와 같은 구성으로 이루어진 횡전계방식의 액정표시소자로서는, 예를 들면 1991년 7월 25일 국제공개 PCTWO91/10936 및 일본국특개평 5-505247호 공보 및 JP-A-63-21907호 공보 등에 상세히 기술되어 있다.

그러나, 이와 같이 구성된 액정표시소자는, 한쪽의 투명기판면에 있어서, 주사신호선 및 기준신호선과 각각 교차시켜 영상신호선을 배치시키지 않으면 안되고, 또한, 각 화소영역에 있어서, 표시전극을 사이에 두고 그 양옆에 기준전극을 배치시키고 있으므로, 기하학적으로 복잡한 구성이 되고 있다.

이 때문에, 이와 같은 액정표시소자의 제조과정에 있어서, 본래, 절연되어 형성되지 않으면 안되는 각종 신호선과의 사이, 또는 신호선과 전극과의 사이에 전기적단락이 생기는 확률이 커지는 것은 부정할 수 없어, 그 간단한 수복방법이 요망되고 있었다.

또, 종래 액정표시소자는, 종전계방식의 것과 비교하면 각 화소영역의 기준전극에 신호를 공급하기 위한 기준신호선을 쓸데없이 필요로 하는 것으로서, 이 기준신호선과 절연막을 개재해서 교차해서 배치시키는 영상신호선과 전기적단락을 야기시키는 확률이 많아지고 있는 것이 지적되고 있다.

그리고, 기준신호선은, X방향으로 배치되는 화소군에 공통인 것으로서 형성되기 때문에, 그 일부에 있어서도 영상신호선과 전기적단락이 발생한 경우에는, 이 화소군의 전부가 표시결함이 되는 것이므로, 그 개선책이 강하게 요망되게 이르고 있다.

본 발명은, 이와 같은 사정에 의거해서 이루어진 것이고, 그 목적은, 간한한 방법으로 단락개소의 수복을 달성할 수 있는 액정표시소자의 수정방법을 제공하는데 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은 신호선 또는 전극에 있어서 단선이 발생하고 있다고 해도, 간단한 방법으로 단선개소의 수복을 달성할 수 있는 액정표시소자의 수정방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 기준신호선이 절연막을 개재해서 교차배치되는 영상 신호선과의 사이에 전기적단락이 발생해도 용이하게 수복할 수 있는 구성을 가진 액정표시소자와 그 수정방법을 제공하는 데 있다.

제1도는 본 발명에 의한 수정방법의 대상이 되는 액정표시소자 및 그 구동회로의 일실시예를 표시한 구성도.

제2도는 본 발명에 의한 수정방법의 대상이 되는 액정표시소자의 일실시예를 표시한 요부단면도.

제3도는 제2도의 Ⅲ-Ⅲ선에 있어서의 단면도.

제4도는 제2도의 Ⅳ-Ⅳ선에 있어서의 단면도.

제5도는 제2도의 Ⅴ-Ⅴ선에 있어서의 단면도.

제6도는 본 발명에 의한 수정방법의 대상이 되는 액정표시소자의 배향막 및 편광막의 관계를 도시한 설명도.

제7a도~제7b도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 일실시예를 표시한 설명도.

제8도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제9a도~제9b도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제10a도~제10b도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제11a도~제11b도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제12a도~제12b도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제13a도~제13b도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 수정방법의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제14도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 일실시예를 표시한 요부평면도.

제15도는 제14도의 XV-XV선에 있어서의 단면도.

제16a도, 제16b도는 각각 본 발명에 의한 액정표시소자의 다른 실시예를 표시한 설명도.

제17도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제18a도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제18b도는 종래 소자의 동작을 설명하기 위한 전계분포의 모식도.

제19도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제20도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 다른 실시예를 표시한 평면도.

제21도는 본 발명에 의한 액정표시소자의 다른 실시예를 표시한 평면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

2 : 주사신호선 3 : 영상신호선

4 : 기준신호선 14 : 기준전극

14A, 14B : 도체층 18 : 표시전극

Cstg, C'stg : 축적용량 TFT : 박막트랜지스터

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일측면에 의하면, 액정층을 개재해서 서로 대향배치된 투명기판중, 그 한쪽의 투명기판의 각 화소영역에 표시전극과 기준전극이 형성되고, 이들 각 전극의 사이에 상기 투명기판과 평행하게 전계를 발생시킴으로써 상기 액정층을 통과하는 광을 변조시키는 것으로서, 상기 표시전극은 주사신호선으로의 주사신호의 공급에 의해서 ON하는 스위칭소자를 개재해서 영상신호선으로부터의 영상신호가 공급되는 동시에, 상기 기준전극은 기준신호선으로부터의 기준신호가 공급되는 횡전계방식의 액정표시소자의 수정방법에 있어서, 영상신호선과 이 영상신호선과 인접하는 기준전극과의 사이에서 전기적 단락을 체크하고, 전기적단락을 표시하는 체크결과에 응답해서, 이 전기적단락이 발생하고 있는 개소의 양옆에 있어서의 기준전극중, 기준신호선쪽의 기준전극을 절단한다.

이와 같이 구성한 액정표시소자의 수정방법에 의하면, 기준전극을 상기한 바와 같이 절단함으로써, 그 절단개소로부터 선단부에 걸쳐서의 기준전극은 그 기능을 상실하고, 표시전극과의 사이에 있어서 표시에 기여할 수 있는 유효한 전계가 형성되는 영역이 감소해서 경도의 점결함이 되는 것이다.

그러나, 표시면의 전체로 보면, 이점결합은 특히 두드러진 것은 아니고, 표시소자로서 충분히 기능할 수 있는 것이 된다.

따라서, 기준신호선을 공통으로 하는 화소군의 결합, 즉 선결함에 의한 폐해를 간단한 작업에 의해 용이하게 제거할 수 있게 된다.

본 발명의 다른 일측면에 의하면, 액정층을 개재해서 서로 배치되는 투명기판의 액정쪽의 면의 각 화소영역에 표시전극과 기준전극이 형성되고, 이들의 전극에 인가하는 전압에 의해서 이 액정층내에 투명기판과 평행한 전계를 발생시키고, 이에 의해 이 액정층을 투과하는 광을 변조시키는 것으로서, 상기 표시전극은 주사신호선으로부터의 주사신호의 공급에 의해서 ON되는 스위칭소자를 개재한 영상신호선으로부터의 영상신호가 공급되는 동시에, 상기 기준전극은, 기준신호선으로부터의 기준신호가 공급되도록 구성되어 있는 횡전계 방식의 액정표시소자에 있어서, 상기 기준신호선을 공통으로 하는 각 화소영역중 서로 인접하는 화소영역의 각각의 기준신호선은 상기 기준신호선이외의 개소에서 전기적으로 도통되고 있다.

이와 같이 구성한 액정표시소자는, 비록 기준신호선이 영상신호선과 전기적으로 단락해도, 그 단락개소의 양 옆에 있어서의 기준신호선을 절단함으로써, 이 단락에 의한 폐해를 제거할 수 있다.

기준신호선을 절단해도, 기준전극을 개재해서 우회한 도통이 이루어지고 있고, 여전히 그 기능을 유지할 수 있도록 구성되어 있기 때문이다.

먼저, 본 발명의 실시예의 설명을 하기전에, 본 발명의 적용의 대상이 되는 소위 횡전계방식의 액정표시소자의 구성예를 설명한다. 또한, 이런 종류의 예는 본 양수인에게 양도된 JP249938192 및 JP35593에 의거한 1993년 9월 20일 출원 U.S일련번호 08/123,472(1994년 3월 23일에 공표된 EPA-0588562에 대응)에 개시되어 있다.

도 1에 표시한 바와 같이, 액정표시소자(1)가 있고, 이 액정표시소자(1)의 액정을 개재해서 서로 대향배치되는 투명기판중 한쪽의 투명기판(1A)의 액정쪽의 면에, 그 x방향(행방향)으로 뻗어있고 y방향(열방향)으로 병설되는 주사신호선(2) 및 기준신호선(4)이 형성되어 있다.

이 경우, 동 도면에서는, 투명기판(1A)의 위쪽으로부터 기준신호선(4), 이 기준신호선과 비교적 크게 이간된 주사신호선(2), 이 주시신호선(2)과 근접된 기준신호선(4), 이 기준신호선(4)과 비교적 크게 이간된 주사신호선(2)…과 같이 배치 되어 있다.

그리고, 이들 주사신호선(2) 및 기준신호선(4)과 각각 절연되어 y방향으로 뻗어 있고 x방향으로 등간격으로 병설되는 영상신호선(3)이 형성되어 있다.

여기서, 주사신호선(2), 기준신호선(4) 및 영상신호선(3)의 각각에 의해서 둘러싸인 직사각형상의 비교적 넓은 면적의 각 영역에 있어서 단위화소가 형성되는 영역이 되고, 이들 각 단위화소가 매트릭스형상으로 배치되어 표시면으로 구성하도록 되어 있다. 또한, 이들 각 단위화소의 상세한 구성에 대해서는 뒤에 설명한다.

액정표시소자(1)에는, 그 외부회로로서 수직주사회로(5) 및 영상신호구동회로(6)가 구비되고, 이 수직주사회로(5)에 의해서 상기 주사신호선(2)의 각각에 순차주사신호(전압)가 공급되고, 그 타이밍에 맞추어서 영상신호구동회로(6)는 영상신호선(3)에 영상신호9전압)가 공급되도록 되어 있다.

또한, 수직주사회로(5) 및 영상신호구동회로(6)는, 액정구동전원회로(7)로부터 전원이 공급되고 있는 동시에, CPU(8)로부터의 화상정보가 콘트롤러(9)에 의해 각각 표시데이터 및 제어신호로 나뉘어서 입력되도록 되어 있다.

또, 상기 기준신호선(4)에 인가되는 전압도 액정구동전원회로(7)로부터 공급되도록 되어 있다.

다음에, 이와 같이 구성되는 액정표시소자(1)에 있어서의 각 단위화소의 예를 이하 설명한다.

도 2는 액정표시소자(1)에 있어서의 단위화소의 일실시예를 표시한 평면도이다. 또한, 도 2에 있어서의 Ⅲ-Ⅲ선에 있어서의 단면도를 도 3에 Ⅳ-Ⅳ선에 있어서의 단면도를 도 4에, Ⅴ-Ⅴ선에 있어서의 단면도를 도 5에 표시하고 있다.

도 2에 있어서, 투명기판(1A)의 주표면에 x방향으로 뻗어있는 기준신호선(4)과, 이 기준신호선(4)과 이간되고 또한 평행으로 주사신호선(2)이 형성되어 있다.

여기서, 기준신호선(4)에는, 2개의 기준전극(14)이 일체로 형성되어 있다. 즉, 각각의 기준전극(14)은, 1쌍의 후술하는 영상신호선(3)으로 형성되는 화소영역의 y방향향변, 즉 상기 각각의 영상신호선(3)에 근접해서 (-)y방향으로 주사신호선(2)의 근처에까지 뻗어 형성되어 있다.

그리고, 이들 주사신호선(2), 기준신호선(4) 및 기준전극(14)이 형성된 투명기판(1A)의 표면에는 이들 주사신호선(2) 등도 덮어서 예를 들면 실리콘질화막으로 이루어진 절연막(15)(도 3, 도 4, 도 5 참조)이 형성되어 있다. 이 절연막(15)은 후술하는 영상신호선(3)에 대해서는 주사신호선(2) 및 기준신호선(4)과의 교차부에 있어서의 층간절연막으로서 박막트랜지스터TFT의 형성영역에 대해서는 게이트절연막으로서, 축적용량Cstg의 형성영역에 대해서는 유전체막으로서 기능하도록 되어 있다.

이 절연막(15)의 표면에는 먼저, 그 박막트랜지스터TFT의 형성영역에 있어서 반도체층(16)이 형성되어 있다. 이 반도체층(16)은 예를 들면 비정질Si로 이루어지고, 주사신호선(2)위에 있어서 영상신호선(3)에 근접된 부분에 중첩해서 형성되어 있다. 이에 의해 주사신호선(2)의 일부가 박막트랜지스터TFT의 게이트전극을 겸한 구성으로 되어 있다.

그리고, 이와 같이 해서 형성된 절연막(15)의 표면에는, 도 2에 표시한 바와 같이 그 y방향으로 뻗어있고 x방향으로 병설되는 영상신호선(3)이 형성되어 있다.

그리고, 영상신호선(3)은 박막트랜지스터TFT의 상기 반도체층(16)의 표면의 일부에까지 뻗어, 형성된 드레인전극(3A)이 일체로 되어서 구비되어 있다.

또, 화소영역에 있어서의 절연막(15)의 표면에는 표시전극(18)이 형성되어 있다. 이 표시전극(18)은 1개의 화소영역을 2분할하도록 상기 기준전극(14)의 중앙을 y방향으로 뻗어서 형성되어 있다. 즉, 표시전극(18)의 일단부는 상기 박막트랜지스터TFT의 소스전극(18A)을 겸하고, 그대로 (+)y방향으로 뻗어 있고, 그 타단부가 기준신호선(4)에 중첩되어 형성되어 있다.

이 경우, 표시전극(18)의 기준신호선(4)에 중첩되는 상기 타단부는 비교적 큰 면적을 가지고, 상기 기준신호선(4)과의 사이에 유전체막으로서의 상기 절연막(15)을 구비하는 축적용량 Cstg를 구성하고 있다. 이 축적용량 Cstg에 의해서 예를 들면 박막트랜지스터TFT가 OFF했을 때에 표시전극(18)에 영상정보를 길게 축적시키는 효과를 나타내도록 하고 있다.

또한, 상기한 박막트랜지스터TFT의 드레인전극(3A)과 소스전극(18A)과의 계면에 상당하는 반도체층(16)의 표면에는 인(P)이 도우핑되어 고농도층이 되고 있고, 이에 의해 상기 각 전극에 있어서의 오믹콘택트를 도모하고 있다. 이 경우, 반도체층(16)의 표면의 전체영역에는 상기 고농도층이 형성되어 있고, 상기 각 전극을 형성한 후에, 이 전극을 마스크로해서 이 전극형성영역이외의 고농도층을 에칭하도록 해서 상기의 구성으로 할 수 있다.

그리고, 이와 같이 박막트랜지스터TFT, 영상신호선(3), 표시전극(18) 및 축적용량 Cstg가 형성된 절연막(15)의 상면에는 예를 들면 실리콘질화막으로 이루어진 보호막(19)(도 3, 도 4, 도 5 참조)이 형성되고, 이 보호막(19)의 상면에는 배향막(20)이 형성되고, 액정표시소자의 소위 아래쪽기판을 구성하고 있다. 또한, 이 아래쪽기판의 액정층쪽과 반대쪽의 면에는 편광판(21)이 배치되어 있다.

그리고, 소위 위쪽기판이 되는 투명기판(1B)의 액정쪽의 부분에는, 도 3에 표시한 바와 같이, 각 화소영역의 경계부에 상당하는 부분에 차광막(22)이 형성되어 있다. 이 차광막(22)은, 상기 박막트랜지스터TFT에 직접 광이 조사되는 것을 방지하기 위한 기능과 표시콘트라스트의 향상을 도모하는 기능을 구비한 것으로 되어 있다. 이에 의해 차광막(22)은 개구부를 가지게 되고, 그 개구부가 실질적인 화소영역을 구성하는 것이 되고 있다.

또, 차광막(22)의 개구부를 덮어서 컬러필터(23)가 형성되고, 이 컬러필터(23)는 x방향으로 인접하는 화소영역에 있어서의 그것과는 다른 색을 갖춘 동시에 각각 차광막(22)위에 있어서 경계부를 가지도록 되어 있다. 또, 이와 같이 컬러 필터(23)가 형성된 면에는 수지막 등으로 이루어진 평탄막(24)이 형성되고, 이 평탄막(24)의 표면에는 배향막(25)이 형성되어 있다. 또한, 이 위쪽기판의 액정층쪽과 반대쪽의 면에는 편광판(26)이 배치되어 있다.

여기서, 투명기판(1A)쪽에 형성된 배향막(20)과 편광판(21), 투명기판(1B)쪽에 형성된 배향막(25)과 편광판(26)과의 관계를 도 6을 사용해서 설명한다.

표시전극(18)과 기준전극(14)과의 사이에 인기되는 전계의 방향(207)에 대해서, 배향막(20) 및 (25)의 어느 하나의 러빙방향(208)의 각도는 øLC가 되고 있다. 또, 액정층LC로서는 유전율이방성△ε가 정이고 그 값이 7.3(1kHz), 굴절률이방성 △n이 0.073(589nm, 20℃)의 네마틱액정의 조성물을 사용하고 있다.

본 실시예에서는 예를 들면, øLC=85°라고 한다. 또, 이때, 한쪽의 편광판(21)의 편광투과축방향(209)의 각도 øP를 øP=øLC라고 하고, 또, 다른 한쪽의 편광판(26)의 편광투과축방향을 øP와 직교하도록 배치한다.

이와 같은 관계로 이루어진 배향막(20)(25)과 편광판(21)(26) 등의 구성은 소위 노멀리블랙모드라고 칭해지는 것으로서, 액정층LC내에 투명기판(1A)과 평행한 전계 E를 발생시킴으로써, 이 액정층LC를 투과하는 광을 제어하고, 특히 기준전극과 표시전극간에 전계가 인가되지 않을 때에 차단하고 소위 흑백표시할 수 있도록 되어 있다.

[실시예 1]

이와 같은 구성으로 이루어진 액정표시소자의 아래쪽기판의 제조과정에 있어서, 예를 들면 상기 도 2에 대응하는 도 7a에 표시한 바와 같이, 영상신호선(3)의 형성시에 그 영상신호선(3)과 인접하는 기준전극(14)과의 사이에서 전기적단락(30)(도면중 점선동그라미로 예시)이 발생한 경우를 생각한다. 이와 같은 단락개소의 검출은, TFT제작공정에 있어서, 영상신호선(3)과 기준신호선(4)에 전위차를 인가했을 때의 단락개소에 발생하는 발열을 서모뷰어(thermovicewer)에 의해 검지하는 것 등에 의해 가능하고, 예를 들면 일본국 특공평 7-78673, (JP-B-7-79673)개시의 공지기술을 사용하면 된다. 또 공지의 패턴인식법을 병용해도 된다.

이와 같은 전기적단락은, 영상신호선((3)이 패턴 그대로 형성되지 않고, 이 영상신호선(3)의 일부가 기준전극(14)쪽으로 비어져나와서 형성되는 동시에, 이 기준전극(14)과의 사이에 절연막(15)의 절연이 불완전한 경우에 발생한다.

이와 같이 된 경우, x방향으로 병설되는 각 화소에 공통인 기준신호선(4)과 영상신호선(3)이 동일전위가 되므로, 각 화소가 그 표시기능을 상실하는 소위 선결함이 되고, 이 선결함을 수복할 수 없는 한 아래쪽기판의 전부를 제품으로서 사용할 수 없게 된다.

그래서, 본 실시예에서는 도 7b에 표시한 바와 같이, 상기 단락개소가 발생하는 부분의 양 옆에 있어서의 기준전극(14)중, 기준신호선(4)쪽의 기준전극(14)을 예를 들면 레이저광선에 의해서 절단(31)(도면중 점선 동그라미로 예시)한다. 레이저광선에 의한 절단은, 공지기술(일본국 특공평 7-78673)을 행할 수 있고, 그 절단은 그 빔직경이 작고, 또한 목적의 개소에 매우 정확하게 주사할 수 있으므로, 상기한 조작은 간단히 행할 수 있다.

이와 같이 절단된 기준전극(14)은, 표시전극(18)과의 사이에 있어서 표시에 기여할 수 있는 유효한 전계가 형성되는 영역이 감소하고, 경도의 점결함이 되는 것이나, 표시면의 전체로 보면 특히 두드러진 것은 아니므로, 상기한 선결함에 의한 폐해를 제거할 수 있게 된다.

또한, 도 7b에 표시되는 결함제거의 예의 대신에, 도 8에 표시한 바와 같이, 영상신호선(3)의 절단은 확실하게 회피할 수 있는 주의를 기울인데다가, 영상신호선(3)의 기준전극쪽(14)으로의 비어져나온 부분을 이 영상신호선의 긴쪽 방향을 따라서 절단(32)(도면중 점선동그라미로 예시)하도록 해도 된다.

이와 같이 하므로써, 비록, 기준전극(14)을 크게 도려내어 영상신호선(3)의 비어져나온 부분을 절단해도 상기한 효과와 마찬가지 효과를 얻을 수 있기 때문이다.

[실시예 2]

도 2에 대응하는 도 9a에 표시한 바와 같이, 기준전극(14) 및 기준신호선(4)의 형성시에, 이 기준전극(3)과 인접하는 주사신호선(2)과의 사이에서 전기적단락이 발생한 경우를 생각한다.

기준전극(14)이 일체로 형성된 기준신호선(4)은, 주사신호선(2)과 동일레벨층으로 형성된다. 또한, 기준신호선(4)으로부터 뻗어있는 기준전극(14)의 선단부는 개구율의 향상이 고려되고 주사신호선(2)과 매우 근접해서 위치결정되어 있다. 이 때문에, 기준전극(14)의 선단부와 주사신호선(2)과 매우 근접해서 위치결정되어 있다. 이 때문에, 기준전극(14)의 선단부와 주사신호선(2)과의 사이에, 그들을 구성하는 재료의 잔류물이 부착해서 전기적단락(33)(도면중 점선동그라미로 예시)이 발생할 가능성이 높아진다.

이와 같이 된 경우는, x방향으로 병설되는 화소에 공통인 기준신호선(4)과 주사신호선(2)이 동일전위가 되므로, 소위 선결함이 되고, 이 선결함을 수복할 수 없는 한, 아래쪽 기판의 전부를 제품으로서 사용할 수 없게 된다.

그래서, 본 실시예에서는 도 9b에 표시한 바와 같이, 상기 단락개소가 발생하는 부분의 근처에 있어서의 기준전극(14)을 예를 들면 레이저광선에 의해서 절단(34)(도면중 점선동그라미로 예시)한다. 이와 같이 한 경우, 실시예 1에서 표시한 것과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

[실시예 3]

실시예 1 및 실시예 2의 경우, 그 어느 것에 있어서도 영상신호선(3)과 약간의 간격을 가지고 인접하는 기준전극(14)을 예를 들면 레이저광에 의해서 절단함으로써, 선결함에 의한 폐해를 제거한다.

도 10a는, 이 기준전극의 절단에 있어서, 그 조작을 간단하게 행할 수 있는 액정표시소자의 일실시예를 표시한 평면도이다.

동 도면은, 도 2에 대응하는 도면이고, 도 2와 동일부호를 표시하는 재료는 모두 동일한 기능을 가진 것이 되고 있다. 도 2와 다른 구성은 기준전극(14)의 형성 패턴에 있다. 즉, 영상신호선(3)과 약간의 간격을 가지고 인접하는 기준전극(14)은, 그 기준신호선(4)으로부터 뻗어있는 기준신호선(4)의 근처의 부분에 있어서, 다른 부분과 비교해서 영상신호선(3)으로부터 크게 이간된 구조로 되어 있다.

이에 의해서, 기준전극(14)의 일부는 화소영역내에 약간 침입하도록 해서 형성되나(도면중 점선동그라미(35)로 예시)이부분은 화소영역의 모서리부가 되므로, 개구율에 큰 영향을 미치지 않는다.

그리고, 이와 같이 구성된 액정표시소자는 도 10b에 표시한 바와 같이, 기준전극(14)의 절단의 개소로서, 그 영상신호선(3)으로부터 크게 이간된 개소에 특정해두면, 영상신호선을 손상시키지 않고 기준전극만을 절단할(도면중 점선동그라미(36)로 표시)수 있게 된다.

그리고, 이와 같이 기준전극(14)의 절단개소를 미리 특정해둠으로써, 절단개소결정을 위한 복잡한 신호처리계를 불필요하게 할 수 있다는 효과를 가진다.

[실시예 4]

도 2에 대응하는 도 11a에 표시한 바와 같이, x방향으로 서로 인접하는 각각의 화소영역에 있어서의 주사신호선(2)과 기준신호선(4)과의 사이에서 전기적단락이 발생한 경우를 생각한다.

이 주사신호선(2)과 기준신호선(4)은 동일 레벨층으로 형성되고, 또한, 개구율의 향상을 도모해서 형성한 경우, 그들은 약간의 간격을 가지고 인접되게 된다. 이 때문에, 주사신호선(2)과 기준신호선(4)과의 사이에 그들을 구성하는 재료의 잔류물(37)이 부착해서 전기적단락이 발생할 가능성이 높아진다.

이와 같이 된 경우, x방향으로 병설되는 화소영역에 공통인 기준신호선(4)과 주사신호선(2)이 동일전위가 되므로 선결함이 된다.

그래서, 본 실시예에서, 도 11b에 표시한 바와 같이, 상기 단락개소가 발생하고있는 부분의 잔류물(38)자체를 예를들면 레이저광선에 의해서 절단하도록 해서 절단제거부분(37)을 얻는다.

이와 같이 한 경우, 실시예 2와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

[실시예 5]

도 3에 대응하는 도 12a에 표시한 바와 같이 기준신호선(4)이 그 일부에 있어서 단선(도면중 점선동그라미(39)로 예시)된 상태에서 형성된 경우를 생각한다. 이와 같이 단선은, 각 화소마다의 전극패턴을, 카메라에 의해 픽업하고, 그 정보를 토대로 패턴비교함으로써, 패턴이상부로서 검출할 수 있다.

이 경우의 기준신호선(4)은, x방향으로 병설되는 화소에 공통으로 되어 있으므로, 명백하게 선결함이 된다.

이와 같이 된 경우, 도 12b에 표시한 바와 같이, 그 단선개소에 도전재료로 이루어진 성막(20)을 실시함(도면중 점선동그라미로 표시함)으로써, 절단된 각 기준신호선을 전기적으로 접속하도록 한다.

이 경우의 성막으로서는, 소위 공지의 광CVD법을 사용하고, 단선개소에 성막하고자 하는 재료를 포함한 분위기를 형성하고, 그 분위기를 통해서 성막하고자 하는 개소에 레이저광을 주사함으로써 용이하게 달성할 수 있다.

[실시예 6]

도 2에 대응하는 도 13a~도 13b에 표시한 바와 같이, 표시전극(18)이 그 일부에 있어서 단선(40)(도면중 점선으로 예시)된 상태에서 형성된 경우를 생각한다.

이 경우, 단선된 표시전극(18)을 구비하는 화소만이 정상으로 동작하지 않게 되어 소위 점결함이 된다.

이와 같이 된 경우, 도 13b에 표시한 바와 같이, 그 단선개소에 도전재료로 이루어진 성막(40)을 상기한 광CVD법을 사용해서 실시함으로써, 절단된 표시전극(18)을 전기적으로 접속한다(도면중 점선동그라미(41)로 예시).

또한, 기준전극(14)에 있어서, 단선이 발생한 경우에도 마찬가지 방법으로 수복할 수 있는 것은 물론이다.

상기 실시예에 의하면, 간단한 방법으로 액정표시소자의 단락개소의 수복을 달성할 수 있다.

[실시예 7]

도 14는 액정표시소자(1)에 있어서의 단위화소의 일실시예를 평면도로 표시한다. 또한, 도 14에 있어서의 Ⅲ-Ⅲ선에 있어서의 단면도를 도 3에, Ⅳ-Ⅳ선에 있어서의 단면도를 도 4에, Ⅴ-Ⅴ선에 있어서의 단면도를 도 5에 XV-XV선에 있어서의 단면도를 도 15에 표시하고 있다.

도 14에 있어서, 투명기판(1A)(도 3~도 5)의 주표면에, x방향으로 뻗어있는 기준신호선(4)과, 이 기준신호선(4)과 이간되고 또한 평행하게 주사신호선(2)이 형성되어 있다.

여기서, 기준신호선(4)에는, 2개의 기준전극(14)이 일체로 형성되어 있다. 즉, 각각의 기준전극(14)은, 1쌍의 후술하는 영상신호선(3)으로 형성되는 화소영역의 y방향변, 즉 상기 각각의 영상신호선(3)에 근접해서 (-)y방향으로 주사신호선(2)의 근처에까지 뻗어서 형성되어 있다.

또, 이 실시예에서는, 특히 1개의 화소영역에 있어서의 상기 2개의 기준전극(14)중 (-)x방향쪽의 기준전극은, (-)x방향쪽으로 인접하는 화소영역의 (+)x방향쪽의 기준전극과, 그들 각 선단부에 있어서 형성되는 도전층(14A)을 개재해서 서로 도통되도록 되어 있다. 마찬가지로, (+)x방향쪽의 기준전극(+)x방향쪽으로 인접하는 화소영역의 (-)x방향쪽의 기준전극과, 그들 각 선단부에 있어서 형성되는 도전층(14A)을 개재해서 서로 도통되도록 되어 있다.

또한, 이 도전층(14A)은 기준전극(14)과 일체로 형성할 수 있으므로 특별한 공정을 필요로 하는 일은 없고, 또, 그 형성영역은 종래부터의 빈공간을 그대로 사용해서 형성하고 있으므로, 화소영역의 축소를 초래하는 일없이 형성할 수 있게 된다.

그리고, 이들 주사신호선(2), 기준신호선(4) 및 기준전극(14)이 형성된 투명기판(1A)의 표면에는 이들 주사신호선(2)등도 덮어서 예를들면 실리콘질화막으로 이루어진 절연막(15)(도 3, 도 4, 도 5, 도 15참조)이 형성되어 있다. 이 절연막(15)은, 후술하는 영상신호선(3)에 대해서는 주사신호선(2) 및 기준신호선(4)과의 교차부에 있어서의 층간절연막으로서, 박막트랜지스터TFT의 형성영역에 대해서는 게이트절연막으로서, 축적용량Cstg의 형성영역에 대해서는 유전체막으로서 기능하도록 되어 있다.

도 4를 참조해서 이 절연막(15)의 표면에는, 먼저, 그 박막트랜지스터TFT의 형성영역에 있어서 반도체층(16)이 형성되어 있다. 이 반도체층(16)은 예를들면 비정질Si로 이루어지고, 주사신호선(2)위에 있어서 영상신호선(3)에 근접된 부분에 중첩해서 형성되어 있다. 이에 의해, 주사신호선(2)의 일부가 박막트랜지스터TFT의 게이트전극을 겸한 구성으로 되어 있다.

그리고, 이와 같이 해서 형성된 절연막(15)의 표면에는, 도 14에 표시한 바와 같이, 그 y방향으로 뻗어있고 x방향으로 병설되는 영상신호선(3)이 형성되어 있다.

이 경우, 영상신호선(3)은, 기준신호선(4) 및 주사신호선(2)은 말할 나위도 없고, 각 기준전극(4)사이를 도통시키는 도전층(14a)도 상기 절연막(15)을 개재해서 교차배치되게 된다.

그리고, 영상신호선(3)은, 박막트랜지스터TFT의 상기 반도체층(16)의 표면의 일부에까지 뻗어서 형성된 드레인전극(3A)이 일체가 되어 구비되어 있다.

또, 화소영역에 있어서의 절연막(15)의 표면에는 표시전극(18)이 형성되어 있다. 이 표시전극(18)은 1개의 화소영역을 2분할하도록 상기 화소영역의 중앙을 y방향으로 뻗어서 형성되어 있다. 즉, 표시전극(18)의 일단부는 상기 박막트랜지스터TFT의 소스전극(18A)을 겸하고, 그대로 (+)y방향으로 뻗어있고, 그 타단부가 기준신호선(4)에 중첩되어 형성되어 있다.

이 경우, 표시전극(18)의 기준신호선(4)에 중첩되는 상기 타단부는 비교적 큰 면적을 가지고, 상기 기준신호선(4)과의 사이에 유전체막으로서의 상기 절연막(15)을 구비하는 축적용량Cstg를 구성하고 있다. 이 축적용량Cstg에 의해서 예를 들면 박막트랜지스터TFT가 오프했을때에 표시전극(18)에 영상정보를 길게 축적시키는 효과를 나타내도록 하고 있다.

또한, 상기한 박막트랜지스터TFT의 드레인전극(3A)과 소스전극(18A)과의 계면에 상당하는 반도체층(16)의 표면에는 인(P)이 도우핑되어 고농도층(16A)이 되고 있고, 이에 의해 상기 각 전극에 있어서의 오믹콘택트를 도모하고 있다. 이 경우, 반도체층(16)의 표면의 전체영역에는 상기 고농도층이 형성되어 있고, 상기 각 전극을 형성한 후에, 이 전극을 마스크로해서 이 전극형성영역이외의 고농도층을 에칭하도록 해서 상기의 구성으로 할 수 있다.

그리고, 이와 같이 박막트랜지스터TFT, 영상신호선(3), 표시전극(18) 및 축적용량Cstg가 형성된 절연막(15)의 상면에는 예를들면 실리콘질화막으로 이루어진 보호막(19)(도 3, 도 4, 도 5, 도 15참조)이 형성되고, 이 보호막(19)의 상면에는 배향막(20)이 형성되고, 액정표시소자의 소위 아래쪽기판을 구성하고 있다. 또한, 이 아래쪽기판의 액정층쪽과 반대쪽의 면에는 편광판(21)이 배치되어 있다.

그리고, 소위 위쪽기판이 되는 투명기판(1B)의 액정쪽의 부분에는, 도 3에 표시한 바와 같이, 각 화소영역의 경계부에 상당하는 부분에 차광막(22)이 형성되어 있다. 이 차광막(22)은, 상기 박막트랜지스터TFT에 직접 광이 조사되는 것을 방지하기 위한 기능과 표시콘트라스트의 향상을 도모하는 기능을 구비한 것으로 되어 있다. 이 차광막(22)은 도 14의 일점쇄선으로 표시한 직사각형개구의 영역을 가지고, 이 직사각형 개구부가 실질적인 화소영역을 구성한다.

또, 차광막(22)의 개구부를 덮어서 컬러필터(23)가 형성되고, 이 컬러필터(23)는 x방향으로 인접하는 화소영역에 있어서의 그것과는 다른 색을 갖춘 동시에 각각 차광막(22)위에 있어서 경계부를 가지도록 되어 있다. 또, 이와 같이 컬러필터(23)가 형성된 면에는 수지막등으로 이루어진 평탄막(24)이 형성되고, 이 평탄막(24)의 표면에는 배향막(25)이 형성되어 있다. 또한, 이 위쪽기판의 액정층쪽과 반대쪽의 면에는 편광판(26)이 배치되어 있다.

여기서, 투명기판(1A)쪽에 형성된 배향막(20)과 편광판(21), 투명기판(1B)쪽에 형성된 배향막(25)과 편광판(26)과의 관계는 도 3과 도 7을 사용해서 설명한 상기한 실시예와 마찬가지이다.

이와 같이 구성된 액정표시소자는, 도 16a에 표시한 바와 같이, 기준신호선(4)과 절연막(15)을 개재한 영상신호선(3)과의 교차부에 전지적단락(도면중 점선동그라미부분(41))이 발생하고 있는 것을 발견할 수 있었을 경우, 이 영상신호선(3)에 대해서 그 양쪽에 위치결정되는 기준신호선(4)의 각각을 예를들면 레이저광의 조사등에 의해서 절단함으로써, 상기 전기적단락에 의한 폐해를 제거할수 있게 된다. 이 경우, 서로 절단시킨 기준신호선(4)은, 기준전극(14) 및 이 실시예에서 특히 구비된 도전층(14A)을 개재해서 도통이 도모되고 있으므로, 여전히 그 기능이 유지되는 것은 말할 나위도 없다.

또한, 이 실시예에서 도전층(14A)을 형성함으로써, 가령, 기준신호선(4)과 영상신호선(3)과의 교차부에 있어서 전기적단락이 발생한 경우에는, 이 영상신호선(3)에 대해서 그 양쪽에 위치결정되는 도전층(4)을 도 16b의 부분(42)으로 표시된 바와 같이 절단하면 되게 된다.

[실시예 8]

도 17은 도 14와 대응하는 도면이고, 도 14와 동일부호인 것은 동일기능을 가지고 있다. 도 14와 다른 구성은, 상기 도전층(14A)이 형성되어 있는 것을 전제로, 각 화소영역내의 복수의 표시전극(14)도 그들의 선단부에 있어서 도전층(14B)을 개재해서 서로 도통이 이루어지고 있는 것이다.

이에 의해서, 도전층(14A) 및 도전층(14B)은 서로 전기적·물리적으로 접속되고, 주사신호선(2)과 근접한 평행배치되는 도체층을 형성하고, 기준신호선(4)과 마찬가지의 기능을 가진다.

이와 같이 구성한 경우, 실시예 7에 표시한 것과 마찬가지의 효과를 나타내나, 기준신호선(4)과 영상신호선(3)과의 사이에 전기적단락이 존재하지 않는다. 즉, 무결함의 상태에서는 상기와 같이, 도전층(14A) 및 (14B)이 기준신호선(4)과 마찬가지로 작용하기 때문에, 기준신호선(4)의 합성저항치를 감쇠시킬 수 있고, 기준신호선의 파형변형에 기인하는 소위 가로 스미어의 억제를 도모할 수 있다.

여기서, 가로스미어란, 기준전극(4)의 저항치가 크기 때문에, 그 일단부로부터 인가하는 전압의 파형이 타단부에 미쳐서 변형되는 상태가 표시면에 휘도차로서 나타나는 현상을 말한다.

[실시예 9]

도 18a는, 도 17에 대응하는 도면이다. 도 17과 동일부호인 것은 동일기능을 가지고 있다. 도 17과 다른 구성은 아래쪽기판이 되는 (1A)에 대한 차광막(22)의 패턴이 다른 동시에, 표시전극(18)과 기준전극(14)과의 무전계시에 한쪽의 투명기판(1A)쪽으로부터 액정을 개재해서 다른쪽의 투명기판(1B)쪽으로 투과하는 광이 차단되는 소위 노멀리브랙모드의 구성으로 한 점에 있다.

이 노멀리블랙모드를 얻기 위하여, 각 투명기판(1A)(1B)의 액정쪽에 각각 형성되는 배향막(20)(25)의 러빙방향이 각가 평행이 되고 있는 동시에, 상기 각 투명기판(1A)(1B)의 액정층과 반대쪽의 면에 형성되는 각각의 편향막(21)(26)이 그 투과축이 한쪽에 있어서 상기 러빙방향과 평행하고 다른쪽에 있어서 이 러빙방향과 직교하고 있다.

도 18b는 전압인가시의 표시전극(18)과 기준전극(14), 도전층(14B), 기준신호선(4)과의 사이에 형성되는 전계의 분포를 모식적으로 표시한 것이다. 도면중에서, 표시전극(18)과 기준신호선(4)근처의 영역, 및 표시전극(18)과 도전층(14B)근처의 영역을 각각 (91)(90)라고 한다.

도면으로부터 명백한 바와 같이, 영역(90) 및 (91)에 형성되는 전계의 벡터는, 표시전극(18)과 기준전극(14)의 사이에 형성되는 전계의 벡터와 다르다.

전압인가시에 한쪽의 투명기판(1A)쪽으로부터 액정을 개재해서 다른쪽의 투명기판(1B)쪽으로 광이 투과하는 소위 노멀리화이트모드에서는, 표시전극(18)과 기준전극(14)의 사이에 전압을 인가하고, 흑색표시를 실현하도록 해도, 영역(90) 및 (91)에서는 도메인에 의한 광누출이 발생하고, 광이 투과해버린다. 따라서, 차광층(22)의 직사각형위의 개구부를 영역(90) 및 (91)에 걸리지 않는 범위로 제안할 필요가 있어 개구율의 저하를 초래한다.

한편 노멀리블랙모등에서는 전압무인가시에 흑색표시가 되기 때문에, 흑색표시에 있어서의 영역(90) 및 (91)의 쌍방에 있어서 도메인자체가 발생하지 않기 때문에, 광누출이 발생하지 않는다. 따라서, 차광층(22)의 직사각형위의 개구부를 영역(90) 및 (91)을 포함한 범위로 넓힐 수 있다.

그래서 본 실시예에서는, 도 18a에 표시한 바와 같이, 상기 차광막(22)을, 그 개구부와 구획하는 경계선의 일부가 도전층(14A) 및 (14B)위에 위치결정되도록 배치함으로써, 실질적인 개구율을 향상시킬 수 있게 된다.

도 19는, 이와 같은 생각을 더욱 발전시킨 실시예를 표시한 구성도이고, 기준신호선(4)위에 있어서도, 차광막(22)의 개구부와 구획하는 경계선의 일부를 위치 결정하도록 해서 개구율의 향상을 도모한 것이다.

[실시예 10]

도 20은 도 19의 수정예를 표시한다. 도 19와 동일부호인 것은 동일기능을 가지고 있다. 도 19와 다른 구성은, 기준신호선(4)과 마찬가지의 기능을 가진 도전층(14)위에도, 유전체층(15)을 개재해서 표시전극(18)이 뻗어 있는 연재부를 구비하고, 기준신호선(4)위에 형성된 축적용량Cstg와는 별개의 축적용량C'stg가 형성되어 있는 것이다.

이와 같이 구성한 액정표시소자는, 본래의 축적용량Cstg가 가진 용량을 축적용량C'stg에 의해서 분담시킬 수 있으므로, 이 축적용량Cstg의 용량을 작게할 수 있다. 이에 의해, 기준신호선(4)의 선폭을 작게할 수 있으므로, 더욱 개구율의 향상을 도모할 수 있게 된다.

[실시예 11]

도 21은 도 20의 수정예를 표시한다. 동 도면에 있어서 구성되는 액정표시소자에 그 기준신호선과 표시전극(18)의 축적용량Cstg을 형성하는 부분과의 사이에 단락이 발생하고 있는 것을 발견한 경우에, 동도면의 점선동그라미로 둘러싼 부분(42)과 같이, 이 축적용량(18)에 근접하는 표시전극(18)을 예를들면 레이저광원 등에 의해서 절단함으로써, 상기 전기적단락에 의한 폐해를 제거할 수 있다. 이 경우, 축적용량Cstg와 절단에 의해 이간된 표시전극(18)은, 다른쪽은 축적용량C'stg와 아직까지 접속되어 있으므로, 여전히 그 기능이 유지되고 있는 것은 말할 나위도 없다.

또한, 이 실시예에서는, 도 20에 표시한 구성을 전제로한 것이지만, 본 실시예의 효과를 얻기 위해서는, 도 17 및 도 18에 표시한 구성에 있어서도 적용할 수 있는 것은 말할 나위도 없다.

이상 설명한 액정표시소자의 실시예에 의하면, 기준신호선이 이 기준신호선과 절연막을 개재해서 교차배치되는 영상신호선과의 사이에 전기적단락이 발생해도 용이하게 수복할 수 있다.

Claims (5)

1. 제 1의 투명기판과, 상기 제 1의 투명기판에 대향하는 제 2의 투명기판과, 상기 제1의 투명기판과 상기 제 2의 투명기판과의 사이에 배치된 액정층을 구비하고, 상기 제 1의 투명기판의 상기 액정층측의 표면에 복수의 화소영역이 형성되며, 상기 화소영역 각각은 이것의 내부에 형성된 표시전극과 기준전극을 가지며, 당해 표시전극에는 상기 제 1의 투명기판상에 연장된 영상신호선으로부터 스위칭소자를 통하여 영상신호가 공급되며, 상기 기준전극에는 상기 제 1의 투명기판상에 상기 영상신호선과 교차하도록 연장된 기준신호선으로부터 공급된 기준신호가 인가되어, 이 표시전극과 기준전극과의 사이에서 상기 투명기판의 표면에 거의 평행한 전계를 상기 액정층에 형성하여 상기 액정층을 통과하는 광을 변조하는 액정표시장치를 수정하는 수정방법에 있어서, 상기 영상신호선과 이것에 인접하고 또한 이것을 따라서 연장된 상기 기준전극과의 전기적 단락을 상기 영상신호선과 상기 기준전극에 기준신호를 공급하는 상기 기준신호선과의 사이에 전위차를 인가하여 검지하는 공정과, 상기 전기적 단락이 발생하고 있는 상기 기준전극의 영역보다 상기 기준신호선측에서 상기 기준전극에 레이저광을 조사해서 이것을 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 수정방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 영상신호선과 이것에 인접하고 또한 이것을 따라서 연장된 상기 기준전극과의 전기적 단락을 검지하는 공정은, 상기 전기적 단락이 발생한 개소에 발생하는 발열을 검지하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 수정방법.
3. 제 1의 투명기판과, 상기 제 1의 투명기판에 대향하는 제 2의 투명기판과, 상기 제1의 투명기판과 상기 제 2의 투명기판과의 사이에 배치된 액정층을 구비하고, 상기 제 1의 투명기판의 상기 액정층측의 표면에 복수의 화소영역이 형성되며, 상기 화소영역의 각각은 이것의 내부에 형성된 표시전극과 기준전극을 가지며, 이 표시전극과 기준전극과의 사이에는 상기 투명기판의 표면에 거의 평행한 전계를 상기 액정층에 형성하도록 전압이 인가되고, 이에 의해 상기 액정층을 통과하는 광이 변조되고, 상기 표시전극에는 영상신호선으로부터 스위칭소자를 통해서 영상신호가 공급하며, 이 스위칭소자는 주사신호선에의 주사신호공급에 의해 온되고, 상기 기준전극에는 기준신호선으로부터 공급되는 기준신호가 인가되고, 서로 인점한 상기 화소영역의 각각의 상기 기준전극은 상기 기준신호선에 공통으로 접속되며 또한 상기 기준신호선이외에 의해 서로 전기적으로 도통되고, 상기 제 2의 투명기판의 상기 액정층측의 표면위에 형성되며 또한 상기 화소영역에 대응한 개구를 가진 차광막을 포함하고, 상기 차광막의 개구는 윤곽의 일부는 상기 기준신호선이외에서 상기 기준전극사이를 전기적으로 도통하는 도체층위에 맞춰져 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 화소내에 형성된 상기 기준신호선으로부터 연장된 복수의 기준전극과, 상기 기준신호선 이외에서 상기 기준전극사이를 전기적으로 도통하는 도체층을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
5. 제 1의 투명기판과, 상기 제 1의 투명기판에 대향하는 제 2의 투명기판과, 상기 제1의 투명기판과 상기 제 2의 투명기판과의 사이에 배치된 액정층을 구비하고, 상기 기판의 상기 액정층측의 표면에 복수의 화소영역이 형성되며, 상기 화소영역의 각각은 그것의 내부에 형성된 표시전극과 이 표시전극을 사이에 끼운 한쌍의 기준전극을 가지며, 이 표시전극과 한쌍의 기준전극의 각각의 사이에는 상기 투명기판의 표면에 거의 평행한 전계를 상기 액정층에 형성하도록 전압이 인가되고, 이에 의해 상기 액정층을 통과하는 광이 변조되고, 상기 표시전극에는 영상신호선으로부터 스위칭소자를 통해서 영상신호가 공급하며, 이 스위칭소자는 주사신호선에의 주사신호의 공급에 의해 온되고, 상기 한쌍의 기준전극의 각각에는 기준신호선으로부터 공급되는 기준신호가 인가되고, 서로 인접한 상기 화소영역의 각각의 상기 한쌍의 기준전극의 한쪽은 이들 화소영역의 사이에 있는 상기 영상신호선을 사이에 끼워서 인접하고 또한 상기 기준신호선(4)에 공통으로 접속되는 동시에 상기 기준신호선이외의 도체층에 의해 서로 전기적으로 도통된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.