KR100330363B1

KR100330363B1 - 액티브 매트릭스형 액정표시장치

Info

Publication number: KR100330363B1
Application number: KR1020000013320A
Authority: KR
Inventors: 하나자와야스유키; 나가야마고헤이
Original assignee: 니시무로 타이죠; 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 1999-03-18
Filing date: 2000-03-16
Publication date: 2002-04-01
Also published as: US6400427B1; KR20000071449A

Abstract

각 화소전극(51)은 적어도 일부가 신호선과 중첩하고 있음과 더불어 TFT(18)를 매개로 신호선 및 주사선에 접속되어 있다. 신호선과 직교하여 연장되는 보조용량선(52)으로부터는 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극(53)이 연장되고, 각각 신호선에 따라 연장되어 있다. 각 쉴드전극은 인접하는 2개의 화소전극의 내, 한쪽의 화소전극의 측면테두리부 및, 신호선의 측면테두리부의 내, 한쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제1전극부(53a)와, 다른쪽의 화소전극의 측면테두리 및 신호선의 측면테두리부의 내, 다른쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제2전극부(53c)를 갖추고, 쉴드전극과 화소전극의 중첩 폭은 신호선과 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 크다.

Description

액티브 매트릭스형 액정표시장치{ACTIVE MATRIX TYPE LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

본 발명은 박막트랜지스터를 스위칭소자로 이용하여 표시화소전극을 구성한액티브 매트릭스형 액정표시장치에 관한 것이다.

최근, 고밀도임과 동시에 대용량이면서 고기능, 고정밀의 미세한 표시가 얻어지는 액정표시장치의 실용화가 진행되고 있다. 이 액정표시장치에는 다양한 방식이 있지만, 그 중에서도 인접화소간의 크로스 토크(cross talk)가 작고, 고콘트라스트인 화소표시가 얻어짐과 더불어 투과형 표시가 가능하고 대면적화도 용이하다는 등의 이유 때문에, 액티브 매트릭스형 액정표시장치가 많이 이용되고 있다.

일반적으로, 액티브 매트릭스형 액정표시장치는 어레이기판을 구비하고, 이 어레이기판은 서로 교차하는 방향으로 설치된 복수개의 주사선 및 복수개의 신호선에 의해 구획된 복수의 영역에 매트릭스 형상으로 설치된 화소전극을 갖추고, 각 화소전극은 스위칭소자로서 기능하는 박막트랜지스터(이하, TFT로 칭함)를 매개로 주사선 및 신호선에 접속되어 있다.

이와 같은 TFT액정표시장치의 표시품위는 신호선과 화소전극의 기생용량에 의해 좌우되지만, 이 기생용량의 영향은 보조용량을 형성하거나, 또는 일정 전위로 고정된 쉴드전극을 층간절연막을 매개로 화소전극 및 신호선과 겹쳐지도록 배치하는 것에 의해 억제하는 것이 가능하다.

그러나, 보조용량을 형성해서 기생용량의 영향을 억제하기 위해서는 큰 보조용량이 필요로 되기 때문에, 액정표시장치의 개구율(開口率)을 낯추는 원인으로 된다. 또한, 쉴드전극을 형성한 경우, 신호선의 부하용량이 증가하여 내장회로의 구동부하가 증가하여 버리는 문제가 있다.

여기서, 본 발명자등은 신호선 및 쉴드전극에 의해 차광층을 형성하는 것에의해 상기와 같은 결함을 해결하는 구성을 제안하고 있다. 그러나, 이와 같은 구성의 액정표시장치에 있어서는 좌우방향으로부터 경사지게 화면을 관찰하는 경우, 광이 누설되어 콘트라스트가 저하된다는 새로운 문제가 생겼다.

한편, 화소를 위에 배치하는 구조의 액정표시장치에서는 화소전극과 TFT의 소스전극을 직접 접속할 수 없다. 그 때문에, 유기절연막에 스루홀을 형성하여 신호선과 동시에 형성된 화소접속용 전극 및 스루홀을 매개로 화소전극과 TFT의 소스전극을 접속하고 있다.

이 경우, 화소접속용 전극은 스루홀의 형성 정밀도를 예상하여 스루홀 보다도 치수를 크게 할 필요가 있지만, 신호선과 동시에 형성되기 때문에 화소접속용 전극의 최대 치수는 도트 피치, 최소 가공 치수 및, 신호선 폭으로 결정된다. 도트 피치가 작은 경우, 화소접속용 전극의 치수는 필연적으로 작아지게 되어 유기절연막의 스루홀 직경도 작아지게 된다.

통상, 유기절연막의 막두께는 2∼4㎛로 두껍기 때문에, 스루홀의 가공성이 나쁘고, 스루홀의 직경이 작은 경우에는 스루홀 형성 불량에 의한 점결함 불량(点缺陷 불良)이 발생하기 쉽다. 이를 방지하기 위해, 유기절연막의 스루홀 직경을 신호선에 따른 방향으로 크게 한다는 방법이 고려되지만, 이 경우 개구율이 저하되어 버린다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 발명된 것으로, 화상불량을 절감하여 높은 표시품위를 갖춘 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공함에 그 목적이 있다.

또한 본 발명은, 화상불량을 절감하여 표시품위를 향상시킴과 더불어 화소전극과 화소접속용 전극을 전기적으로 접속하는 경우, 스루홀의 형성불량을 방지하여 개구율을 저하시키는 것 없이 고품위의 표시를 행하는 것이 가능한 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공함에 다른 목적이 있다.

도 1 내지 도 4b는 본 발명의 제1실시예에 따른 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 나타낸 것으로,

도 1은 상기 액정표시장치의 어레이기판의 일부를 나타낸 평면도,

도 2는 상기 액정표시장치의 어레이기판의 일부를 나타낸 평면도,

도 3은 도 2의 선 Ⅲ-Ⅲ에 따른 상기 액정표시장치의 단면도,

도 4a는 도 2의 선 ⅣA-ⅣA에 따른 상기 어레이기판의 단면도,

도 4b는 도 2의 선 ⅣB-ⅣB에 따른 상기 어레이기판의 단면도,

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판을 나타낸 평면도,

도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판을 나타낸 평면도,

도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판을 나타낸 평면도,

도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판을 나타낸 평면도,

도 9 내지 도 11은 본 발명의 제6실시예에 따른 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 나타낸 것으로,

도 9는 상기 액정표시장치의 어레이기판의 일부를 나타낸 평면도,

도 10은 도 9의 선 Ⅹ-Ⅹ에 따른 상기 액정표시장치의 단면도,

도 11은 도 9의 선 Ⅹ-Ⅹ에 따른 상기 어레이기판의 단면도,

도 12는 본 발명의 제7실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판을 나타낸 평면도,

도 13은 본 발명의 제8실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판을 나타낸 평면도이다.

10 --- 액정표시장치 12 --- 어레이기판

14 --- 대향전극 15 --- 표시영역

18 --- 박막트랜지스터(TFT) 19 --- 폴리실리콘막

20 --- 신호선 구동회로부 22 --- 주사선 구동회로부

50 --- 신호선 50a --- 겹치는 부분

51 --- 화소전극 52 --- 보조용량선

53 --- 쉴드전극 53a --- 제1전극부

53b --- 절곡부 53c --- 제2전극부

60 --- 유리기판(어레이기판) 61 --- 게이트절연막

62 --- 주사선 63 --- 게이트전극

64 --- 게이트전극(TFT68) 65 --- 게이트전극(TFT71)

66 --- 드레인전극 67 --- 소스전극

68 --- TFT(구동회로부) 69 --- 소스전극(TFT68)

70 --- 드레인전극(TFT68) 71 --- TFT(구동회로부)

72 --- 소스전극(TFT71) 73 --- 드레인전극(TFT71)

74a --- N채널형 LDD(TFT18) 74b --- N채널형 LDD(TFT18)

74c --- N채널형 LDD(TFT68) 74d ---N채널형 LDD(TFT68)

75 --- 층간절연막 76 --- 콘택트홀

77 --- 콘택트홀 78 --- 상부전극(화소접속용 전극)

79 --- 보호절연막 80 --- 콘택트홀(스루홀)

81 --- 유기절연막 82 --- 콘택트홀(스루홀)

84 --- 유리기판(대향기판) 85 --- 착색층

88 --- 배향막(어레이기판) 89 --- 배향막(대향기판)

90 --- 액정층 92 --- 편광판(어레이기판)

94 --- 편광판(대향기판)

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 액정표시장치는, 액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 주사선 및 신호선으로 에워싸이는 영역에 각각 설치되는 적어도 일부가 상기 신호선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속되고, 상기 신호선 보다도 상층에 형성된 복수의 화소전극, 상기 신호선에 대해 거의 직교하는 방향으로 형성되어 있음과 더불어 각각 인접하는 상기 주사선간에 설치되는 상기 신호선 보다도 하층에 형성된 복수의 보조용량선 및, 상기 각 보조용량선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극을 구비하며,

상기 신호선에 따라 형성된 각 쉴드전극은 인접하는 2개의 화소전극의 내, 한쪽의 화소전극의 측면테두리부 및, 상기 신호선의 측면테두리부의 내, 상기 한쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제1전극부와, 다른쪽의 화소전극의 측면테두리 및 상기 신호선의 측면테두리부의 내, 상기 다른쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제2전극부를 갖추고,

상기 쉴드전극과 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 본 발명에 따른 액티브 매트릭스형 액정표시장치는, 액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 주사선 및 신호선으로 에워싸이는 영역에 각각 설치되는 적어도 일부가 상기 신호선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속되고, 상기 신호선 보다도 상층에 형성된 복수의 화소전극 및, 상기 각 주사선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극을 구비하며,

상기 쉴드전극과 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 크게 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 의하면, 보조용량선또는 주사선의 일부를 연장하여 설치한 정전 차폐성을 갖춘 쉴드전극이 1화소 피치내에서 신호선과 교차하고, 인접하는 표시화소전극의 가장자리 테두리부와도 일부 중복되도록 형성되어 있다. 그 때문에, 충분한 정전 차폐성을 갖추면서 신호선의 부하용량의 증가가 적어 개구율이 높은 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 실현할 수 있게 된다.

또한, 신호선 보다도 하층에 설치된 쉴드전극과 화소전극의 겹쳐지는 폭을 크게 하는 것으로, 경사 방향으로부터의 광 누설이 적어지게 되어 좌우방향으로부터의 관찰시에 있어서도 콘트라스트의 저하가 없어 양호한 표시성능을 갖춘 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 실현할 수 있다.

더욱이, 본 발명에 따른 액정표시장치는, 액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 신호선에 대해 거의 직교하는 방향으로 형성되어 있음과 더불어 각각 인접하는 상기 주사선간에 설치된 복수의 보조용량선, 상기 각 보조용량선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극 및, 상기 신호선 및 보조용량선으로 에워싸이는 각 영역에 각각 설치되고, 적어도 일부가 상기 신호선 및 보조용량선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속된 복수의 화소전극을 구비하며,

상기 각 쉴드전극은 상기 신호선에 따라 상기 보조용량선으로부터 서로 상반되는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부를 갖추고,

인접하는 2개의 화소전극간에 위치한 상기 신호선은 한쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제1측면테두리부와, 다른쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제2측면테두리부를 갖추며, 상기 쉴드전극의 제1 및 제2전극부는 상기 다른쪽의 화소전극 및 상기 신호선의 제2측면테두리부만과 중첩하여 설치되고,

상기 한쪽의 화소전극이 상기 신호선의 제1측면테두리부와 중첩하는 폭과, 상기 다른쪽의 화소전극이 상기 신호선의 제2측면테두리부 및 쉴드전극과 중첩하는 폭이 서로 달리 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 각 주사선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극 및, 상기 신호선 및 주사선으로 에워싸이는 각 영역에 각각 설치되고, 적어도 일부가 상기 신호선 및 주사선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속된 복수의 화소전극을 구비하며,

상기 각 쉴드전극은 상기 신호선에 따라 상기 주사선으로부터 서로 상반되는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부를 갖추고, 인접하는 2개의 화소전극간에 위치한 상기 신호선은 한쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제1측면테두리부와, 다른쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제2측면테두리부를 갖추며, 상기 쉴드전극의제1 및 제2전극부는 상기 다른쪽의 화소전극 및 상기 신호선의 제2측면테두리부만과 중첩하여 설치되고,

상기 구성의 액정표시장치에 의하면, 보조용량선 또는 주사선으로부터 서로 상반하는 방향으로 정전 차폐성을 갖춘 쉴드전극을 신호선에 따라 연장시킴과 더불어 신호선의 일측면테두리부만과 중첩하도록 배치하는 것에 의해, 종래 필요하였던 쉴드전극간의 간격이 불필요하게 되고, 더욱이 신호선과 쉴드전극은 일측만 겹쳐 설치되면 되기 때문에, 신호선을 최소 가공선폭으로 형성하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 정전 차폐효과를 유지하면서, 높은 개구율을 실현할 수 있어, 크로스 토크나 휘도 불균일이라는 화질 불량을 절감하여 표시품위가 향상된 표시가 가능하다.

또한, 각 신호선의 내, 보조용량선 또는 신호선 및 쉴드전극과 겹쳐지는 부분은 절결되어 다른 부분 보다도 폭이 좁게 되어 있기 때문에, 그 만큼 화소접속용 전극의 보조용량선 또는 주사선 측면테두리부 및, 유기절연막의 스루홀의 치수를 확대하는 것이 가능하다. 이에 의해, 스루홀의 형성불량을 방지하고, 점결함 불량이 적어 표시품위가 높은 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 실현할 수 있다.

(실시예)

이하, 예시도면을 참조하면서 본 발명에 따른 각 실시예를 상세히 설명한다.

도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 액티브 매트릭스형 액정표시장치(10)는 구형상(矩形狀)의 어레이기판(12) 및 대향기판(14)을 구비하고 있다. 이들 기판(12,14)은 주변테투리부(周緣部)를 도시하지 않은 밀봉제에 의해 접합시키는 것에 의해 소정의 갭을 두고서 대향 배치되어 있다. 그리고, 어레이기판(12)과 대향기판(14) 사이에는 각각 배향막(88,89)을 매개로 액정층(90)이 봉입되어 있다.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 어레이기판(12)은 절연성 기판으로서의 유리기판(60)을 갖추고, 이 유리기판상에는 배선으로서 다수의 신호선(50)과 다수의 주사선(62)이 거의 직교하도록 매트릭스형상으로 설치되어 있다. 신호선(50)은 층간절연막(75)을 매개로 주사선(62)상에 형성되어 있다.

2개의 신호선(50)과 2개의 주사선(62)으로 에워싸인 영역에는 각각 ITO (Indium Tin Oxide)로 이루어진 화소전극(51)이 설치되고, 각 화소전극은 스위칭소자로서의 TFT(18)를 매개로 신호선(50)과 주사선(62)의 교차부에 접속되어 있다. 각 화소전극(51)은 거의 구형상으로 형성되어 1화소를 구성하고 있다.

또한, 어레이기판(12)의 장변측의 단부에는 신호선 구동회로(20)가 형성되고, 단변측의 단부에는 주사선 구동회로(22)가 형성되어 있다. 복수의 신호선(50)은 어레이기판(12)의 장변측으로 인출되어, 신호선 구동회로(20)에 접속되어 있다. 또한, 복수의 주사선(62)은 어레이기판(12)의 단변측으로 인출되어 주사선 구동회로(22)에 접속되어 있다.

더욱이, 상세하게 설명하면, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 각 신호선(50)은 직선형상으로 형성되어 있음과 더불어 주사선(62)과 후술하는 보조용량선(52) 사이의 부분이 다른 부분 보다도 미세한 폭으로 형성되어 있다. 각 화소전극(51)은 1쌍의 단변측의 가장자리 테두리부가 주사선(62)과 소정 폭 겹쳐져 설치되어 있다. 또한, 각 화소전극(51)의 각 장변측의 가장자리 테두리부는 계단형상으로 형성되고, 일부는 신호선(50)과 소정 폭(W1) 만큼 겹쳐져 설치되며, 다른 부분은 신호선(50)에 대해 소정의 극간을 두고서 설치되어 있다.

어레이기판(12)은 인접하는 2개의 주사선(62) 사이에 이들 주사선과 평행하게 연장된 보조용량선(52)을 구비하고 있다. 보조용량선(52)은 주사선(62)과 동일 층을 패터닝하여 형성되어 있다. 또한, 어레이기판(12)은 보조용량선(52)의 일부를 각 신호선(50)에 따라 연장시켜 형성된 정전 차폐성을 갖춘 쉴드전극(53)을 구비하고 있다.

각 쉴드전극(53)은 보조용량선(52)으로부터 주사선(62)의 근방까지 연장되어 나와 있음과 더불어 거의 열쇠형태로 형성되어 있다. 즉, 쉴드전극(53)은 보조용량선(52)으로부터 신호선(50)과 평행으로 연장되어 나온 제1전극부(53a)와, 제1전극부의 선단으로부터 신호선과 직교하는 방향으로 연장되어 나온 절곡부(53b) 및, 절곡부(53b)로부터 신호선과 평행으로 연장되어 나온 제2전극부(53c)를 갖추고 있다.

그리고, 제1전극부(53a)는 도 2에 있어서 신호선(50)에 대해 우측으로 편심(偏心)되어 설치되고, 그 1측면테두리부는 우측의 화소전극(51)과 소정 폭(W2) 만큼 겹쳐져 신호선(50)과 화소전극(51)의 극간을 차폐하고 있음과 더불어 다른 측면테두리부는 신호선(50)만과 겹쳐져 위치하고 있다. 반대로, 제2전극부(53c)는 도 2에 있어서 신호선(50)에 대해 좌측으로 편심되어 설치되고, 그 1측면테두리부는 좌측의 화소전극(51)과 소정 폭(W2) 만큼 겹쳐져 신호선(50)과 화소전극의 극간을 차폐하고 있음과 더불어 다른 측면테두리부는 신호선(50)만과 겹쳐져 위치하고 있다.

더욱이, 쉴드전극(53)은 화소전극(51)을 사이에 두고서 인접하는 2개의 신호선의 영향이 동일하게 되도록 제1전극부(53a)의 전극 길이(L1) 및 제2전극부(53c)의 전극 길이(L2)가 동일하게 되도록 형성되어 있다. 이에 의해, 화소전극(51)에 대해 TFT(18)가 접속되어 있는 신호선(50), 즉 화소전극의 좌측의 신호선의 영향과, TFT가 접속되어 있지 않은 신호선(50), 즉 화소전극의 좌측의 신호선의 영향이 거의 동일한 정도로 되어, 2개의 신호선과 화소전극(51)간의 기생용량의 영향을 최소한으로 억제할 수 있게 된다.

도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 화소전극(51)과 쉴드전극(53)의 겹쳐지는 폭(W2)은 화소전극(51)과 신호선(50)의 겹쳐지는 폭(W1) 보다도 크게 형성되어 있다. 통상, 어레이기판(12)의 아래쪽에는 도시되지 않은 백라이트(back light)가 설치되어 있다. 그리고, 예컨대 도 4에 있어서 좌경사방향으로부터 액정표시장치의 화면을 관찰한 경우, 신호선(50)과 화소전극(51)의 겹쳐지는 부분에서는 어레이기판(12)에 수직방향과 관찰방향이 이루는 각이 θ1으로 될 때까지 백라이트로부터의 광이 누설되는 것은 없고, 마찬가지로 쉴드전극(53)과 화소전극(51)의 겹쳐지는 부분에서는 어레이기판에 수직인 방향과 관찰방향이 이루는 각도가 θ2 이상으로 될때까지 백라이트로부터의 광이 누설되는 것과, 콘트라스트 저하가 발생되는 것은 없다.

중복부의 폭(W1,W2)이 동일한 경우, θ1＞θ2로 된다. 이는 화소전극(51)으로부터 신호선(50) 또는 쉴드전극(53)까지의 거리에 의존하여, 차광층으로서 기능하는 쉴드전극(53)은 동일하게 차광층으로서 기능하는 신호선(50) 보다도 화소전극(51)으로부터 이간되어 있기 때문에, 화소전극과 쉴드전극이 겹쳐지는 부분에서는 광 누설이 생기는 각도(θ2)가 작아지게 되어 버린다.

그러나, 본 실시예와 같이, 화소전극(51)과 쉴드전극(53)의 겹치는 폭(W1)을 화소전극(51)과 신호선(50)의 겹치는 폭(W2) 보다도 크게 형성하는 것으로, 예컨대 차광층이 쉴드전극(53)으로 형성되어 있는 영역에 있어서 광 누설이 생기는 각도(θ2)가 커지게 되어, 액정표시장치의 표시화면을 경사방향으로부터 관찰한 경우에도 콘트라스트의 저하가 적어, 양호한 표시 특성을 얻을 수 있게 된다.

또한, 본 실시예의 형태에 있어서, 쉴드전극(53)의 제1전극부(53a)와 화소전극(51)의 겹쳐지는 폭(W2)과, 신호선(50)과 화소전극(51)의 겹쳐지는 폭(W1)의 차(W2-W1)는 층간절연막(75)의 막두께와 거의 동일하게 설정되어 있다.

다음에, 액정표시장치(10)의 구성을 그 제조방법과 일치시켜 상세히 설명한다.

먼저, 고왜점(高歪点) 유리기판이나 석영기판등의 투광성을 갖춘 절연성 기판(60)상에 CVD법등에 의해 a-Si막을 50nm 두께 정도 피착한다. 이 a-Si막을 450℃에서 1시간 노(盧)어닐을 행한 후, XeCl 엑시머 레이저를 조사하여 a-Si막을 다결정화한다. 그 후, 다결정 Si를 포토에칭법에 의해 패터닝해서 표시영역내의 화면부로 하는 TFT(18; 이하, 화소TFT로 칭함)의 채널층 및, 구동회로부의TFT(68,71; 이하, 회로TFT로 칭함)의 채널층으로 되는 폴리실리콘막을 형성한다.

다음에, CVD법에 의해 기판(60)의 전체면에 SiOx막으로 이루어진 게이트절연막(61)을 100nn 두께 정도 피착한다. 이어서, 게이트절연막(61)의 전체면에 Ta, Cr, Al, Mo, W, Cu등의 단체(單體) 또는 그 적층막 또는 합금막을 400nm 두께 정도 피착하고, 포토에칭법에 의해 소정의 형상으로 패터닝해서 게이트전극을 일체로 갖춘 주사선(62), 보조용량선(52), 화소TFT(18)의 게이트전극(63), 회로TFT(68,71)의 게이트전극(64,65) 및, 구동회로부(20,22)내의 각종 배선을 형성한다. 이 경우, 보조용량선(52)과 동시에 쉴드전극(53)을 소정 위치에 소정의 형상으로 형성한다.

그 후, 게이트전극(63,65)을 마스크로 하여 이온주입이나 이온 도핑법에 의해 폴리실리콘막에 불순물의 주입을 수행하여, 화소TFT(18)의 드레인전극(66), 소스전극(67)을 형성함과 더불어 N채널형 회로TFT(68)의 소스전극(69) 및 드레인전극(70)을 형성한다. 불순물의 주입은, 예컨대 가속전압 80keV에서 5 ×10¹⁵atoms/cm²의 도우즈량으로, PH₃/H₂에 의해 인을 고농도 주입한다.

이어서, 화소TFT(18) 및, 구동회로부의 N채널형 회로TFT(68)에 불순물이 주입되지 않도록 이들을 레지스트로 피복한 후, P채널형 회로TFT(71)의 게이트전극(64)을 각각 마스크로 하여 가속전압 80keV에서 5 ×10¹⁵atoms/cm²의 도우즈량으로, B₂H₆/H₂에 의해 보론을 고농도 주입하여 P채널형 회로TFT(71)의 소스전극(72) 및 드레인전극(73)을 형성한다.

그 후, 더욱이 화소TFT(18) 및 회로TFT(68)의 각각에, N채널형 LDD(74a,74b,74c,74d; Lightly Doped Drain)를 형성하기 위한 불순물 주입을 행하고, 어레이기판을 어닐하는 것에 의해 불순물을 활성화한다.

이어서, 예컨대 PECVD법을 이용하여 절연성 기판(60)의 전체면에 SiO₂로 이루어진 층간절연막(75)을 500nm 두께 정도 피착한다. 더욱이, 포토에칭법에 의해 화소TFT(18)의 드레인전극(66)에 이르는 콘택트홀(76)과, 소스전극(67)에 이르는 콘택트홀(77) 및, 회로TFT(68,71)의 소스전극(69,72) 및 드레인전극(70,73)에 각각 이르는 복수의 콘택트홀을 형성한다.

다음에, Ta, Cr, Al, Mo, W, Cu등의 단체 또는 그 적층막 또는 합금막을 500nm 정도 피착하고, 포토에칭법에 의해 소정의 형상으로 패터닝해서 신호선(50), 화소TFT(18)의 드레인전극(66)과 신호선(50)과의 접속, 소스전극(67)과 보조용량소자의 상부전극(78)과의 접속 및, 구동회로영역내의 회로TFT(68,71)의 각종 배선등을 수행한다.

더욱이, PECVD법에 의해 절연성기판(60)의 전체면에 SiNx로 이루어진 보호절연막(79)을 성막하고, 포토에칭법에 의해 보조용량소자의 상부전극(78)에 이르는 콘택트홀(80)을 형성한다. 다음에, 유기절연막(81)을 기판의 전체면에 3㎛ 두께 정도 도포한 후, 보조용량소자의 상부전극(78)에 이르는 콘택트홀(82)을 형성한다.

마지막으로, 유기절연막(81)상에 ITO를 스퍼터법에 의해 100nm 두께 정도 성막하고, 포토에칭법에 의해 소정의 형상으로 패터닝해서 화소전극(51)을 형성함과더불어 콘택트홀(80,82)을 매개로 화소전극(51)과 보조용량소자의 상부전극(78)을 접속한다. 이에 의해, 액정표시장치(10)의 어레이기판(12)이 얻어진다.

한편, 대향기판(14)은 투명성을 갖추는 절연기판으로서, 예컨대 유리기판(84)상에 안료등을 분산시킨 착색층(85)을 형성하고, 더욱이 스퍼터법에 의해, 예컨대 ITO로 이루어진 투명전극인 대향전극(86)을 형성하는 것에 의해 얻어진다.

상기와 같이 하여 형성된 어레이기판(12)의 화소전극(51)측과 대향기판(14)의 대향전극(86)측 전체면에 저온 큐어(cure)형의 폴리이미드로 이루어진 배향막(88,89)을 각각 인쇄도포하고, 이들의 기판을 대향배치한 때에 배향축이 90도 서로 달리되도록 러빙(rubbing) 처리한다. 그 후, 어레이기판(12) 및 대향기판(14)을 대향배치하여 조립하여 셀화하고, 그 간극에 네마틱(Nematic)액정(90)을 주입하여 밀봉한다. 그리고, 양 기판(12,14)의 절연성 기판(60,84)의 외면측에 편향판을 각각 부착하는 것에 의해 액정표시장치(10)가 얻어진다.

상기와 같이 구성된 액정표시장치에 있어서, 어레이기판(12)에 1화소 마다 형성되어 있는 쉴드전극(53)은 신호선(50)에 대해 일측면에만 형성되어 있다. 따라서, 종래 필요하였던 쉴드전극간의 간격이 필요로 되지 않고, 더욱이 신호선(50)과 쉴드전극(53)은 일측면만 겹쳐 설치되면 되기 때문에, 신호선(50)을 최소 가공선폭으로 형성하는 것이 가능하게 된다.

이에 의해, 종래와 동등한 정전 차폐 효과를 유지하면서 높은 개구율을 실현할 수 있어, 크로스 토크나 휘도 불균일이었던 화질 불량을 절감하여 표시품위가향상된 표시가 가능하게 된다.

더욱이, 화소전극(51)과 쉴드전극(53)의 겹쳐지는 폭(W2)이 화소전극(51)과 신호선(50)의 겹쳐지는 폭(W1) 보다도 크게 형성되어 있기 때문에, 액정표시장치의 화면을 경사방향으로부터 관찰한 경우에도, 광누설을 절감하여 콘트라스트 저하를 방지하여 양호한 표시를 수행하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명은 상기한 실시의 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위에서 다양하게 변형가능하다. 예컨대, 도 5에 나타내는 제2실시예와 같이, 각 쉴드전극(53)을 직선형상으로 형성하고, 신호선(50)을 열쇠형태로 형성하여도 되고, 이 경우에도 W2＞W1으로 하는 것에 의해 상기한 실시의 형태와 마찬가지의 효과가 얻어진다.

더욱이, 도 6에 나타낸 제3실시예에 의하면, 쉴드전극(53) 및 신호선(50)의 양쪽이 열쇠형태로 형성되어 있다. 이와 같은 구성으로 하는 것에 의해, 상기한 작용, 효과에 부가하여 한층 높은 개구율을 얻는 것이 가능하다.

도 7에 나타낸 제4실시예에 의하면, 각 보조용량선(52)은 인접하는 2개의 주사선(62)의 거의 중간에 설치되어 있다. 그리고, 각 쉴드전극(53)은 보조용량선(52)으로부터 상반하는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부(53a,53c)를 갖추고, 전체로서 열쇠형태로 형성되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서도 상기한 실시의 형태와 마찬가지의 작용, 효과를 얻을 수 있다.

더욱이, 도 8에 나타내는 제5실시예에 의하면, 각 쉴드전극(53)은 전단(前段)의 주사선(62)의 일부를 연장시켜 나오게 형성되고, 제1전극부(53a),절곡부(53b), 제2전극부(53c)를 갖춘 열쇠형으로 형성되어 있다. 이와 같은 구성에서는 보조용량선이 불필요하게 되고, 더욱이 높은 개구율을 얻는 것이 가능하게 된다.

또한, 제2 내지 제4실시예에 있어서, 다른 구성은 제1실시예와 동일한 바, 동일한 부분에는 동일한 참조부호를 붙이고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.

다음에, 본 발명의 제6실시예에 따른 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 대해 설명한다. 도 9 내지 도 11에 나타낸 바와 같이, 액정표시장치(10)는 각각 구형상의 어레이기판(12) 및 대향기판(14)을 구비하고 있다. 이들 기판(12,14)은 주변 테두리부를 도시하지 않은 밀봉제에 의해 접합하는 것에 의해 소정의 갭을 두고서 대향 배치되어 있다. 그리고, 어레이기판(12)과 대향기판(14) 사이에는 각각 배향막(88,89)을 매개로 액정층(90)이 봉입되어 있다.

어레이기판(12)은 절연성 기판으로서의 유리기판(60)을 갖추고, 이 유리기판상에는 배선으로서 다수의 신호선(50)과 다수의 주사선(62)이 거의 직교하도록 매트릭스형상으로 설치되어 있다. 신호선(50)은 층간절연막(75)을 매개로 주사선(62)상에 형성되어 있다. 또한, 유리기판(60)상에는 인접하는 2개의 주사선(62)간을 이들 주사선과 평행으로 연장된 보조용량선(52)이 설치되어 있다. 보조용량선(52)은 주사선(62)과 동일층을 패터닝해서 형성되어 있다.

2개의 신호선(50)과 2개의 보조용량선(52)으로 에워싸이는 영역에는 각각 ITO로 이루어진 화소전극(51)이 설치되고, 각 화소전극은 스위칭소자로서의 TFT(18)를 매개로 신호선(50)과 주사선(62)의 교차부에 접속되어 있다. 각 화소전극(51)은 거의 구형상으로 형성되어 1화소를 구성하고 있다. TFT(18)의 소스전극(67)은 화소접속용 전극(78)에 접속되고, 이 화소접속용 전극은 유기절연막(81)에 형성된 스루홀(782)을 매개로 화소전극(51)에 접속되어 있다.

또한, 상기한 제1실시예와 마찬가지로 어레이기판(12)의 장변측의 단부에는 신호선 구동회로부가 형성되고, 단변측의 단부에는 주사선 구동회로부가 형성되어 있다. 복수의 신호선(50)은 어레이기판(12)의 장변측으로 인출되어, 신호선 구동회로부에 접속되어 있다. 또한, 복수의 주사선(62)은 어레이기판(12)의 단변측으로 인출되어 주사선 구동회로부에 접속되어 있다.

더욱이, 상세하게 설명하면, 각 신호선(50)은 직선형상으로 형성되어 있음과 더불어 후술하는 바와 같이 각 보조용량선(52)의 부근에서는 1측면테두리측, 예컨대 우측테두리측이 절결되어 다른 부분 보다도 미세 폭으로 형성되어 있다. 또한, 어레이기판(12)은 각 보조용량선(52)의 일부를 각 신호선(50)에 따라 연장시켜 형성된 정전 차폐성을 갖춘 쉴드전극(53)을 구비하고 있다. 각 쉴드전극(53)은 보조용량선(52)으로부터 상반하는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부(53a,53c)를 갖추고 있다.

제1전극부(53a) 및 제2전극부(53c)는 도 9에 있어서 신호선(50)에 대해 우측으로 편심되어 설치되어 있다. 그리고, 신호선(50)은 보조용량선(52), 쉴드전극(53)의 제1 및 제2전극부(53a,53c)와 겹치는 부분(50a)이 절결되어, 다른 부분 보다도 폭이 좁게 되어 있음과 더불어 제1 및 제2전극부(53a,53c)의 측면테두리부와 근소하게 겹쳐져 설치되어 있다.

또한, 각 화소전극(51)은 1쌍의 단변측의 측면테두리부가 양측의 보조용량선(52)과 소정 폭 겹쳐 설치되어 있다. 또한, 각 화소전극(51)의 우측의 장변 측면테두리부는 직선형상으로 형성되고, 신호선(50)의 좌측면테두리부(제1측면테두리부)와 소정 폭(W1) 만큼 겹쳐 설치되고, 좌측의 장변 측면테두리부는 계단형상으로 형성되고, 쉴드전극(53)의 제1 및 제2전극부(53a,53c)의 측면테두리부 및, 신호선(50)의 우측면테두리부(제2측면테두리부)와 소정 폭(W2) 만큼 겹쳐 설치되어 있다.

이와 같이, 화소전극(51)과 일부가 중복되어 설치된 신호선(50) 및 쉴드전극(53)은 화소전극과의 극간을 차광하는 차광체를 겸하고 있다. 그리고, 도 9에 화살표 D로 나타내는 방향은 배향막(88)의 배향벡터로서, 각 신호선(50)의 우측면테두리부분에서 액정층(90)의 배향불량영역(NA)이 발생하기 쉽다. 그 때문에, 화소전극(51)과 쉴드전극(53)의 겹치는 폭(W2)은 화소전극(51)과 신호선(50)의 겹치는 폭(W1) 보다도 크게 형성되어 있다.

또한, 쉴드전극(53)의 제1전극부(53a)의 전극 길이(L1) 및 제2전극부(53c)의 전극 길이(L2)는 서로 동일하게 설정되어 있음과 더불어 화소전극(51)을 사이에 두고 인접하는 2개의 신호선의 영향이 동일하게 되도록 조정되어 있다. 이에 의해, 화소전극(51)에 대해 TFT(18)가 접속되어 있는 신호선(50), 즉 화소전극의 좌측의 신호선의 영향과, TFT가 접속되어 있지 않은 신호선(50), 즉 화소전극의 우측의 신호선의 영향이 거의 동일한 정도로 되어 2개의 신호선과 화소전극(51) 사이의 기생용량의 영향을 최소한으로 억제할 수 있게 된다.

또한, 상기한 바와 같이 각 신호선(50)의 보조용량선(52) 및 쉴드전극(53)과 겹쳐있는 부분은 스루홀(82)측의 일부분(50a)이 절결되어, 다른 부분 보다도 폭이 좁게 되어 있기 때문에, 그 만큼 화소접속용 전극(78)의 보조용량선(52) 측면테두리부 및, 유기절연막(81)의 스루홀(82)의 치수를 확대하는 것이 가능하다. 이에 의해, 스루홀(82)의 형성불량을 방지하고, 점결함 불량이 적어 표시품위가 높은 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 실현하는 것이 가능하다.

다음에, 액정표시장치(10)의 구성을 그 제조방법과 일치시켜 상세하게 설명한다.

먼저, 고왜점 유리기판이나 석영기판등의 투광성을 갖춘 절연성 기판(60)상에 CVD법등에 의해 a-Si막을 50nm 두께 정도 피착한다. 이 a-Si막을 450℃에서 1시간 노(盧)어닐을 행한 후, XeCl 엑시머 레이저를 조사하여 a-Si막을 다결정화한다. 그 후, 다결정 Si를 포토에칭법에 의해 패터닝해서 표시영역(15)내의 화면부를 구성하는 TFT(18; 이하, 화소TFT로 칭함)의 채널층으로 되는 폴리실리콘막(19)을 형성한다.

다음에, CVD법에 의해 기판(60)의 전체면에 SiOx막으로 이루어진 게이트절연막(61)을 100nn 두께 정도 피착한다. 이어서, 게이트절연막(61)의 전체면에 Ta, Cr, Al, Mo, W, Cu등의 단체(單體) 또는 그 적층막 또는 합금막을 200∼400nm 두께 정도 피착하고, 포토에칭법에 의해 소정의 형상으로 패터닝해서 게이트전극(63)을 일체로 갖춘 주사선(62), 보조용량선(52)을 형성한다. 이 경우, 보조용량선(52)과 동시에 쉴드전극(53)을 소정 위치에 소정의 형상으로 형성한다.

그 후, 게이트전극(62)을 마스크로 하여 이온주입이나 이온 도핑법에 의해 폴리실리콘막(19)에 불순물의 주입을 수행하여, 화소TFT(18)의 드레인전극(66), 소스전극(67)을 형성한다. 불순물의 주입은, 예컨대 가속전압 80keV에서 5 ×10¹⁵atoms/cm²의 도우즈량으로, PH₃/H₂에 의해 인을 고농도 주입한다. 그 후, 기판(60)을 어닐하는 것에 의해 불순물을 활성화한다.

이어서, 화소TFT(18)에 N채널형 LDD(74a,74b)를 형성하기 위한 불순물 주입을 행하고, 어레이기판을 어닐하는 것에 의해 불순물을 활성화한다.

더욱이, 예컨대 PECVD법을 이용하여 절연성 기판(60)의 전체면에 SiO₂로 이루어진 층간절연막(75)을 500∼700nm 두께 정도 피착한다. 그리고, 포토에칭법에 의해 화소TFT(18)의 드레인전극(66)에 이르는 콘택트홀(76)과, 소스전극(67)에 이르는 콘택트홀(77)을 형성한다.

다음에, Ta, Cr, Al, Mo, W, Cu등의 단체 또는 그 적층막 또는 합금막을 500∼700nm 정도 피착하고, 포토에칭법에 의해 소정의 형상으로 패터닝해서 신호선(50), 화소접속용 전극(78), 화소TFT(18)의 드레인전극(66)과 신호선(50)과의 접속, 소스전극(67)과 화소접속용 전극과의 접속의 각종 배선등을 수행한다.

더욱이, PECVD법에 의해 절연성기판(60)의 전체면에 SiNx로 이루어진 보호절연막(79)을 성막하고, 포토에칭법에 의해 화소접속용 전극(78)에 이르는 스루홀(80)을 형성한다. 다음에, 유기절연막(81)을 기판의 전체면에 2∼4㎛ 두께 정도 도포한 후, 화소접속용 전극(78)에 이르는 콘택트홀(82)을 형성한다.

다음에, 유기절연막(81)상에 ITO를 스퍼터법에 의해 100nm 두께 정도 성막하고, 포토에칭법에 의해 소정의 형상으로 패터닝해서 화소전극(51)을 형성함과 더불어 스루홀(80,82)을 매개로 화소전극(51)과 화소접속용 전극(78)을 접속한다. 이상의 공정에 의해, 액정표시장치(10)의 어레이기판(12)이 얻어진다.

상기와 같이 하여 형성된 어레이기판(12)의 화소전극(51)측 전체면과 대향기판(14)의 대향전극(86)측 전체면에 저온 큐어(cure)형의 폴리이미드로 이루어진 배향막(88,89)을 각각 인쇄 도포하고, 이들의 기판을 대향배치한 때에 배향축이 90도 서로 달리되도록 러빙(rubbing) 처리한다. 그 후, 어레이기판(12) 및 대향기판(14)을 대향배치하여 조립하여 셀화하고, 그 간극에 네마틱(Nematic)액정(90)을 주입하여 밀봉한다. 그리고, 양 기판(12,14)의 절연성 기판(60,84)의 외면측에 편향판(92,94)을 각각 부착하는 것에 의해 액정표시장치(10)가 얻어진다.

이에 의해, 종래와 동등한 정전 차폐 효과를 유지하면서 높은 개구율을 실현할 수 있어, 크로스 토크나 휘도 불균일이었던 화질 불량을 절감하여 표시품위가 향상된 표시가 가능하게 된다.

또한, 각 신호선(50)의 보조용량선(52) 및 쉴드전극(53)과 겹쳐져 있는 부분은 스루홀(82)측의 일부분(50a)이 절결되어, 다른 부분 보다도 폭이 좁게 되어 있기 때문에, 그 만큼 화소접속용 전극(78)의 보조용량선(52)측 단부 및, 유기절연막(81)의 스루홀(82)의 치수를 확대하는 것이 가능하다. 이에 의해, 스루홀(82)의 형성불량을 방지하고, 점결함 불량이 적어 표시품위가 높은 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 실현하는 것이 가능하다.

도 12에 나타내는 제7실시예에 의하면, 쉴드전극(53)의 제1전극부(53a)의 전극 길이(L1) 및 제2전극부(53c)의 전극 길이(L2)는 제1전극부(53a)와 주사선(62)의 최소간격과, 제2전극부(53c)와 주사선(62)의 최소간격이 서로 동일하게 되도록 조정되어 있음과 더불어 화소전극(51)을 사이에 두고 인접하는 2개의 신호선의 영향이 동일하게 되도록 조정되어 있다.

이와 같은 구성으로도, 상기한 제6실시예와 마찬가지의 작용, 효과가 얻어진다. 또한, 주사선(62)과 제1 및 제2전극부(53a,53c)의 간격이 가장 넓게 되도록 조정되어 있기 때문에, 주사선(62)과 쉴드전극(53), 즉 보조용량선(52)이 쇼트되는 확율을 절감할 수 있어, 어레이기판(12)의 수율을 한층 향상시킬 수 있게 된다.

더욱이, 도 13에 나타내는 제8실시예에 의하면, 보조용량선(52)을 생략하고,제6 및 제7실시예에 있어서 보조용량선의 위치에 각각 주사선(62)이 설치되어 있다. 그리고, 각 주사선(62)의 일부를 각 신호선(50)상에 따라 연장시켜 정전 차폐성을 갖춘 쉴드전극(53)을 형성하고 있다. 각 쉴드전극(53)은 주사선(62)으로부터 상반하는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부(53a,53c)를 갖추고 있다. 제2전극부(53c)는 제1전극부(53a) 보다도 길게 형성되고, 그 연장되어 나온 단은 게이트전극(18)을 형성하고 있다. 또한, 화소접속용 전극(78)과 화소전극(51)을 접속한 스루홀(80,82)은 주사선(62)에 겹쳐져 설치되어 있다.

다른 구성은 제6실시예와 동일한 바, 동일한 부분에는 동일한 참조부호를 붙이고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. 그리고, 상기 제8실시예에 있어서도 상기한 실시예와 마찬가지의 작용, 효과를 얻을 수 있음과 더불어 보조용량선이 불필요하게 되고, 더욱이 높은 개구율을 얻을 수 있게 된다.

상기한 복수의 실시예에서는 반도체층으로서 폴리실리콘층을 이용한 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 관해 설명하였지만, 본 발명은 반도체층으로서, 예컨대 아몰퍼스 실리콘층등의 다른 반도체층을 이용한 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 대해서도 적용할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 화상불량을 절감하여 높은 표시품위를 갖춘 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공할 수 있게 된다.

또한 본 발명에 의하면, 화상불량을 절감하여 표시품위를 향상시킴과 더불어 화소전극과 화소접속용 전극을 전기적으로 접속하는 경우, 스루홀의 형성불량을 방지하여 개구율을 저하하는 것 없이 고품위의 표시를 행하는 것이 가능한 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공할 수 있게 된다.

Claims

액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 주사선 및 신호선으로 에워싸이는 영역에 각각 설치되는 적어도 일부가 상기 신호선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속되고, 상기 신호선 보다도 상층에 형성된 복수의 화소전극, 상기 신호선에 대해 거의 직교하는 방향으로 형성되어 있음과 더불어 각각 인접하는 상기 주사선간에 설치되는 상기 신호선 보다도 하층에 형성된 복수의 보조용량선 및, 상기 각 보조용량선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극을 구비하며,

상기 신호선에 따라 형성된 각 쉴드전극은 인접하는 2개의 화소전극의 내, 한쪽의 화소전극의 측면테두리부 및, 상기 신호선의 측면테두리부의 내, 상기 한쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제1전극부와, 다른쪽의 화소전극의 측면테두리 및 상기 신호선의 측면테두리부의 내, 상기 다른쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제2전극부를 갖추고,

상기 쉴드전극과 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 쉴드전극의 제1전극부와 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 각 쉴드전극의 제2전극부와 상기 다른쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 상기 다른쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 절연막은 상기 신호선과 상기 쉴드전극의 사이에 설치되어 있음과 더불어 상기 쉴드전극의 제1전극부와 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭과, 상기 신호선과 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭과의 차는 절연막의 막두께와 거의 동일한 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 각 신호선은 직선형상으로 형성되고, 상기 각 쉴드전극은 상기 제1 및 제2전극부를 연결한 절곡부를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 각 쉴드전극은 직선형상으로 형성되고, 상기 인접하는 화소전극간에 위치한 신호선은 상기 쉴드전극의 제1전극부와 중첩된 부분과, 쉴드전극의 제2전극부와 중첩된 부분 및, 상기 부분끼리를 연결한 절곡부를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 각 보조용량선은 인접하는 2개의 주사선간의 거의 중앙에 설치되고, 상기 각 쉴드전극의 제1 및 제2전극부는 상기 보조용량선으로부터 서로 상반되는 방향으로 연장되어 나와 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 주사선 및 신호선으로 에워싸이는 영역에 각각 설치되는 적어도 일부가 상기 신호선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속되고, 상기 신호선 보다도 상층에 형성된 복수의 화소전극 및, 상기 각 주사선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극을 구비하며,

상기 신호선에 따라 형성된 각 쉴드전극은 인접하는 2개의 화소전극의 내, 한쪽의 화소전극의 측면테두리부 및, 상기 신호선의 측면테두리부의 내, 상기 한쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제1전극부와, 다른쪽의 화소전극의 측면테두리 및 상기 신호선의 측면테두리부의 내, 상기 다른쪽의 화소전극측의 측면테두리부만과 중첩하여 설치된 제2전극부를 갖추고,

상기 쉴드전극과 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제8항에 있어서, 상기 쉴드전극의 제1전극부와 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제8항에 있어서, 상기 각 쉴드전극의 제2전극부와 상기 다른쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 상기 다른쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 신호선에 대해 거의 직교하는 방향으로 형성되어 있음과 더불어 각각 인접하는 상기 주사선간에 설치된 복수의 보조용량선, 상기 각 보조용량선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극 및, 상기 신호선 및 보조용량선으로 에워싸이는 각 영역에 각각 설치되고, 적어도 일부가 상기 신호선 및 보조용량선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속된 복수의 화소전극을 구비하며,

상기 각 쉴드전극은 상기 신호선에 따라 상기 보조용량선으로부터 서로 상반되는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부를 갖추고,

인접하는 2개의 화소전극간에 위치한 상기 신호선은 한쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제1측면테두리부와, 다른쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제2측면테두리부를 갖추며,

상기 쉴드전극의 제1 및 제2전극부는 상기 다른쪽의 화소전극 및 상기 신호선의 제2측면테두리부만과 중첩하여 설치되고,

상기 한쪽의 화소전극이 상기 신호선의 제1측면테두리부와 중첩하는 폭과, 상기 다른쪽의 화소전극이 상기 신호선의 제2측면테두리부 및 쉴드전극과 중첩하는 폭이 서로 달리 되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제11항에 있어서, 상기 각 쉴드전극과 상기 다른쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제11항에 있어서, 상기 신호선과 동일한 층을 패터닝하여 형성된 접속용 전극을 구비하고, 상기 접속용 전극은 상기 스위칭소자의 소스전극에 접속된 일단부와, 상기 보조용량선과 겹쳐지게 위치한 타단부를 갖추고, 상기 타단부는 상기 보조용량선상에 위치한 스루홀을 매개로 상기 화소전극에 접속되며,

상기 신호선의 내, 상기 보조용량선 및 쉴드전극에 겹쳐지게 위치한 부분의상기 스루홀측의 측면테두리부는 절결되어 다른 부분 보다도 미세하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제11항에 있어서, 상기 쉴드전극의 제1전극부 및 제2전극부의 연장되어 나온 길이는 서로 거의 동일하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제11항에 있어서, 상기 쉴드전극의 제1전극부와 상기 주사선의 간격은 상기 제2전극부와 상기 주사선의 간격과 거의 동일하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
액정층을 사이에 두고 서로 대향 배치된 제1 및 제2기판을 구비하고,

상기 제1기판은 절연기판상에 거의 병렬로 설치된 복수의 주사선과, 상기 주사선과 교차하도록 절연막을 매개로 주사선상에 설치된 복수의 신호선, 상기 각 주사선으로부터 연장되어 상기 신호선에 따라 형성된 정전 차폐성을 갖춘 복수의 쉴드전극 및, 상기 신호선 및 주사선으로 에워싸이는 각 영역에 각각 설치되고, 적어도 일부가 상기 신호선 및 주사선과 중첩하고 있음과 더불어 스위칭소자를 매개로 상기 신호선과 주사선의 교차부에 접속된 복수의 화소전극을 구비하며,

상기 각 쉴드전극은 상기 신호선에 따라 상기 주사선으로부터 서로 상반되는 방향으로 연장되어 나온 제1 및 제2전극부를 갖추고,

인접하는 2개의 화소전극간에 위치한 상기 신호선은 한쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제1측면테두리부와, 다른쪽의 화소전극과 중첩하여 설치된 제2측면테두리부를 갖추며,

상기 쉴드전극의 제1 및 제2전극부는 상기 다른쪽의 화소전극 및 상기 신호선의 제2측면테두리부만과 중첩하여 설치되고,

상기 한쪽의 화소전극이 상기 신호선의 제1측면테두리부와 중첩하는 폭과, 상기 다른쪽의 화소전극이 상기 신호선의 제2측면테두리부 및 쉴드전극과 중첩하는 폭이 서로 달리 되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제16항에 있어서, 상기 각 쉴드전극의 제1 및 제2전극부와 상기 다른쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭은 상기 신호선과 상기 한쪽의 화소전극의 겹쳐지는 폭 보다도 큰 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
제16항에 있어서, 상기 신호선과 동일한 층을 패터닝하여 형성된 접속용 전극을 구비하고, 상기 접속용 전극은 상기 스위칭소자의 소스전극에 접속된 일단부와, 상기 주사선과 겹쳐지게 위치한 타단부를 갖추고, 상기 타단부는 상기 주사선상에 위치한 스루홀을 매개로 상기 화소전극에 접속되며,

상기 신호선의 내, 상기 주사선 및 쉴드전극에 겹쳐지게 위치한 부분의 상기 스루홀측의 측면테두리부는 절결되어 다른 부분 보다도 미세하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.