KR100256018B1

KR100256018B1 - 집적화가스제어장치

Info

Publication number: KR100256018B1
Application number: KR1019980005369A
Authority: KR
Inventors: 요시토모 후쿠시마; 히데키 히구치; 카쯔히사 사토
Original assignee: 나카니시 마사히고; 가부시키가이샤 벤칸
Priority date: 1997-02-28
Filing date: 1998-02-16
Publication date: 2000-05-01
Also published as: JPH10300000A; KR19980071562A; TW432178B; US6012479A

Abstract

가스제어라인의 축소화에 의한 내용적의 감소, 가스제어기기의 용이한 착탈에 의한 유지보수성의 향상, 표준화한 구성부품에 의한 자유스로운 유로설계, 토탈제작리드타임의 단축, 유로변경에 대한 치환성, 응답성 등의 향상을 도모한다.

유로블록은 상부에 상향개구의 원형의 부착공을 소유하며 부착공의 저면에 개구한 가스유입통로와 가스유출통로를 소유한다. 인접하는 유로블록을 순차로 메탈가스켓의 개재에 의한 가스유출통로와 가스유입통로를 연통하게 접속함과 동시에 다수 병설되는 가스공급제어라인에 따라 베이스플레이트에 부착한다. 각 유로블록의 부착공에 종형으로 구성한 자동다이아프램밸브 등의 소망하는 가스제어기기의 보디를 가스켓의 개재에 의해 삽입한다. 보디에 끼워 맞춘 접속통을 유로블록에 나사 결합하여 가스제어기기를 유로블록에 착탈 가능하게 접속한다.

Description

집적화 가스제어장치

본 발명은 반도체제조장치용의 고순도 가스계의 가스제어장치에 있어, 가스의 공급제어, 가스의 정화등 소망하는 용도에 패널형으로 집적화하여 사용되는 집적화 가스제어장치에 관한 것이다.

종래의 반도체제조장치용의 고순도 가스계의 가스제어장치는 각각의 독립한 가스제어기기를 조인트, 배관을 사용하여 연결하여 가스제어라인을 구성하며 이 다수조를 베이스플레이트 위에 병렬로 배치하여 패널형으로 집적화하고 있다. 도24는 상기 가스제어장치의 일부를 표시하며 베이스플레이트(1) 위에 가스 상류측에서 필터(2), 밸브(3), 블록밸브(4), 매스프로우콘트롤러(5)의 순으로 배치된다.

그 일예로 이들의 가스제어기기가 도25에 표시하는 배관(6)(7), 컵링(8)에 의해 연결되어 있다. 즉 일방의 가스제어기기를 접속한 유로블록의 가스통로의 배관(6)에 프랜지를 용접하고 타방의 가스제어기기를 접속한 유로블록의 가스통로의 배관(7)에 프랜지를 용접한다. 그리고 배관(6)(7)의 접속용 프랜지의 일측면에 형성된 환상의 실링비트(9)(10) 사이에 가스통로(11)를 소유하는 메탈가스켓(12)이 개재되어 컵링(8)의 수나사(8ａ), 너트(8ｂ)에 의해 배관(6)(7)의 접속용 프랜지가 체결되어 실링 상태로 접속되어 있다.

이와 같이 종래의 가스제어장치는 각각의 독립한 가스제어기기를 배관, 조인트를 사용하여 연결하고 있으므로 가스제어라인이 길게 구성되어 반도체제조장치에 점하는 가스제어장치의 내용적이 증대한다. 또, 가스제어라인은 각각 상이한 유로 구성으로 되나 가스제어기기의 착탈이 곤란하므로 설계, 제작, 조립을 위한 토탈제작리드타임이 길어져 신설시의 초기 준비시간이 길어지고 제작에도 수고를 요하며 제조원가가 고가로 된다. 그 외에 가스제어기기의 교환이 곤란하므로 유로변경의 필요가 생겼을 경우 이에 대응할 수가 없다. 또, 성능면에서는 용접흄, 티끌등이 발생하며 용접부의 마모가 생겨 배관의 수명이 짧아지고 단가, 제품의 부가가치가 나쁘며 유지보수 비용이 고가로 된다. 더욱 가스제어장치의 콤팩트화를 도모할 수 없으므로 패널형으로 구성하는데 있어 표면,이면의 다면 배치나 다층 배치를 필요로 하는 케이스가 많다.

또 종래의 가스제어장치의 가스제어라인에 있어서의 각각의 독립한 가스제어기기를 유로블록에 접속하는데는 일반적으로는 프랜지를 결합하거나 복수개의 볼트에 의해 채결되는 수단이 사용되고 있다. 그러나 이들의 접속방식에서는 볼트의 체결시 밸런스가 맞지 않는 문제가 발생하기 쉬워 신뢰성이 떨어지며 그 이외에 조립공정수도 많아 고가로 된다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하는 것이며 장치 전체의 콤팩트화를 도모하여 유로구성, 가스제어라인의 직선화, 축소화를 도모할 수 있어 반도체제조장치에 점유하는 내용적을 감소시킬 수 있으며 또 가스제어라인을 표준화된 부품으로 구성하는 것에 의해 자유롭게 유로구성을 가능하게 하여 설계, 제작, 조립을 위한 토탈제작리드타임의 단축을 도모하여 설계 초기 준비 기간의 단축을 도모할 수 있음과 동시에 유로 변경에 대한 치환성, 응답성을 향상시킬 수 있으며 또 용접흄 등의 발생을 해소할 수 있어 수명도 길어지며 제품의 부가가치의 향상 등을 도모할 수 있고 또 가스제어기기 등을 용이하게 교환할 수 있으며 유지보수를 용이하게 행할 수 있음과 동시에 유지보수비용의 절감을 도모할 수 있으며 더욱 가스제어기기를 유로블록에 접속할 때 긴밀한 실링을 확보할 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있게 한 집적화 가스제어장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 유로블록끼리의 접속에 있어 특별한 도구를 사용할 것 없이 위치 결정한 자세로 유지할 수 있으며 접속작업을 용이하게 또 신속하게 그 이외에 확실하게 행할 수 있게 한 집적화 가스제어장치를 제공함에 있다.

본 발명의 더욱 다른 목적은 가스제어기기의 유로블록에 대한 착탈시에 나사부에서 생기는 티끌이 유로블록의 부착공에서 가스유로계에 침입 않게 하여 신뢰성을 향상시키게 한 집적화 가스제어장치를 제공함에 있다.

도1은 본 발명의 제1의 실시 형테에 의한 집적화 가스제어장치를 표시하는 평면도.

도2는 동 집적화 가스제어장치를 표시하며, 도1의 Ａ-Ａ선에 있어서의 일부 절단 측면도.

도3은 동 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 표시하는 주요부의 평면도.

도4는 동 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 표시하는 종단면도.

도5는 동 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 접속한 상태를 표시하는 종단면도.

도6은 동 집적화 가스제어장치를 표시하며, 가스제어기기인 자동다이아프램밸브를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도7은 동 집적화 가스제어장치를 표시하며, 가스제어기기인 터글형수동다이아프램밸브를 유로블록에 접속한 상태의 일부절단 정면도.

도8은 동 집적화 가스재어장치를 표시하며, 가스제어기기인 필터유니트를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도9는 동 집적화 가스제어장치를 표시하며, 가스제어기기인 체크밸브 부착 자동다이아프램밸브를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도10은 동 집적화 가스제어장치를 표시하며 가스제어기기인 레귤레이터를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도11은 동 집적화 가스제어장치를 표시하며, 가스제어기기인 매스프로우콘트롤러를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도12는 동 집적화 가스제어장치를 표시하며, 가스제어기기인 매스포로우미터를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도13은 본 발명의 제2의 실시 형태에 의한 접적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 접속한 상태를 표시하는 종단면도.

도14는 도13의 Ｂ-Ｂ선 단면도.

도15는 본 발명의 제3의 실시 형태에 의한 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 접속한 상태를 표시하는 종단면도.

도16은 도15의 Ｃ-Ｃ선단면도.

도17은 본 발명의 제4의 실시 형태에 의한 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 접속한 상태를 표시하는 평면도.

도18은 도17의 Ｄ방향의 측면도.

도19는 본 발명의 제5의 실시 형태에 의한 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 접속한 상태를 표시하는 종단면도.

도20은 본 발명의 제6의 실시 형태에 의한 집적화 가스제어장치를 표시하며, 가스제어기기인 자동다이아프램밸브를 유로블록에 접속한 상태의 일부 절단 정면도.

도21은 본 발명의 제7의 실시 형태에 의한 집적화 가스제어장치에 사용하는 유로블록을 표시하는 평면도.

도22는 도21의 Ｅ-Ｅ선에 따른 단면도.

도23은 도21의 Ｆ-Ｆ선에 따른 단면도.

도24는 종래의 가스공급제어라인을 표시하는 일부평면도.

도25는 종래의 가스공급제어라인에 사용하는 가스제어기기의 접속 구조를 표시하는 종단면도.

<도면중 주요부분에 대한 부호의 설명>

1: 베이스플레이트, 20: 가스공급제어라인, 21: 자동다이아프램밸브,

22: 터글형수동다이아프램밸브, 23: 필터유니트,

25: 체크밸브(24) 부착자동다이아프램밸브, 26: 레귤레이터,

27: 매스프로우콘트롤러, 28: 매스프로우미터,

29: 유로블록, 30: 부착공, 32: 가스유입통로,

33: 가스유출통로, 40: 메탈가스켓, 42: 너트, 43: 너트,

48: 보디, 49: 가스유입통로, 50: 가스유출통로,

59: 메탈가스켓, 62: 접속통, 69: 접속용링,

81: 접속구, 86: 접속용돌출부, 87: 접속용오목부,

90: 쐐기, 91: 쐐기, 95: 접속통, 99: 접속통

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 집적화 가스제어장치는 베이스플레이트와 상부에 상향개구의 부착공을 소유하며 이 부착공의 저면에 개구하는 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로를 소유하며 전기 베이스플레이트 위에 복수 열로 부착되는 복수개의 유로블록과 이들의 인접하는 유로블록의 끝부분끼리를 전기 재2의 가스통로와 전기 제1의 가스통로가 연통하는 실링 상태로 분리 가능하게 접속하는 실링수단 및 접속수단과 종형으로 구성되어 전기 각 유로블록의 부착공에 삽입되는 하부의 보디에 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로를 소유하는 복수 종의 가스제어기기와 이들의 가스제어기기의 보디의 외주에 설치되어 나사를 소유하는 접속통과 전기 유로블록에 형성되어 전기의 소망하는 가스제어기기의 보디를 전기 유로블록의 부착공에 삽입한 상태로 전기 접속통을 나사결합하여 가스제어기기를 유로블록에 접속할 수 있는 나사와 전기 가스제어기기와 유로블록의 접속에 있어 이들 가스제어기기 및 유로블록의 제1의 가스통로끼리와 제2의 가스통로끼리를 연통시킨 상태로 이들 가스제어기기, 유로블록간을 실링하는 실링수단을 구비한 것이다.

그리고 전기 집적화 가스제어장치에 있어 가스제어기기로 자동다이아프램밸브, 터글형수동다이아프램밸브, 필터유니트, 체크밸브부착자동다이아프램밸브, 감압밸브, 레귤레이터, 매스프로우콘트롤러, 매스프로우미터에서 선택 사용할 수 있다.

전기 유로블록은 한 쌍의 부착공을 소유하며 이 한 쌍의 부착공은 직교방향의 가스통로에서 전환 가능케 구성할 수 있어, 이 경우 유로블록에 한 쌍의 부착공을 복수 조로 형성할 수 있다.

전기의 인접하는 유로블록사이의 실링수단으로 전기 유로블록의 끝부분사이에 개재되어 제2의 가스통로와 제1의 가스통로를 연통시키는 구멍을 소유하는 메탈가스켓을 사용할 수 있고 이 메탈가스켓은 전기 유로블록의 끝부분에 있어 가스통로의 주연부에 형성된 실링비트사이에 개재시키는 것이 소망스럽다.

전기의 인접하는 유로블록의 접속수단의 일예로 일방의 유로블록의 끝부분 외주에 나사결합되는 제1의 너트와 이 제1의 너트의 외주에 끼워맞춰져 앞끝부분 내주에 전기 제1의 너트와 역나사로 타방의 유로블록의 끝부분 외주에 나사결합되어 전기 제1의 너트의 일단면에 걸리게되는 걸림턱부를 소유하는 제2의 너트를 구비할 수 있다.

또 전기의 인접하는 유로블록의 접속수단이 서로의 가스통로를 연결상태로 위치결정하여 그 자세로 유지히기 위한 위치결정수단을 구비하는 것이 소망스럽다.

전기 각 가스제어기기의 보디 및 유로블록이 전기 보디를 건기 유로블록의 부착공에 삽입할 때 전기 유로블록 및 전기 보디의 제1의 가스통로끼리와 제2의 가스통로끼리를 연통 시키기 위한 위치결정수단을 구비한 것이 소망스럽다.

전기 각 가스제어기기와 각 유로블록과의 사이의 실링수단으로 전기 가스제어기기의 보디의 저부와 전기 유로블록의 부착공의 저부에 위치결정상태로 개재되어 전기 유로블록 및 전기 보디의 제1의 가스통로끼리 및 제2의 가스통로끼리를 연통시키는 구멍을 소유하는 1매의 재료로 이루어지는 메탈가스켓을 사용할 수 있으며 이 메탈가스켓은 전기 가스제어기기의 보디와 전기 유로블록의 부착공의 저부에 있어 주연부보다 높이 돌출된 돌출부와의 사이에 개재시키며 또는 건기 메탈가스켓을 전기 가스제어기기의 보디와 전기 유로블록의 돌출부에 전기 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로의 주연부에 있어 형성된 실링비트의 잠식에 의해 적어도 구멍의 주연부가 전기 보디와 유로블록의 돌출부에 면 접촉하게 개재시키는 것이 좋겠다. 또 전기 가스제어기기의 보디와 전기 유로블록의 돌출부와의 사이에 전기 메탈가스켓을 면 접촉상태로 개재시킬 때 전기 유로블록의 돌출부의 측방에서 이 유로블록측의 실링비트 보다도 높이 돌출된 받침면을 전기 가스제어기기의 보디의 하부측방 부분에 맞닿게 구성하는 것이 소망스럽다.

전기 각 가스제어기기를 각 유로블록에 접속하는 접속통의 나사를 안나사로 형성하여 이 접속통을 전기 유로블록의 부착공을 형성하는 원통형돌출부의 외측에 형성된 바깥나사에 나사결합할 수 있으며 또는 전기 각 가스제어기기를 각 유로블록에 접속하는 접속통의 나사를 바깥나사로 형성하고 이 접속통을 전기 유로블록의 부착공의 내측에 형성된 안,바깥나사에 나사결합할 수 있다.

전기와 같은 본 발명에 의하면 유로블록의 끝부분끼리를 접속함과 동시에 가스제어기기를 종형으로 구성하여 유로블록에 접속하고 있으므로 장치 전체의 콤팩트화를 도모하여 유로구성, 가스제어라인이 직선화, 축소화를 도모할 수 있으며 또 가스제어라인을 표준화된 부품으로 구성할 수 있으므로 자유스러운 유로구성을 가능케 할 수 있다. 또 유로블록끼리를 기계적 접속수단에 의해 접속하고 유로블록의 접속에 용접배관을 사용할 필요가 없으므로 전기 접속때 용접흄 등의 발생을 해소할 수 있다. 또 가스제어기기의 보디의 외주에 설치한 접속통을 유로블록에 대하여 착탈하는 것 만으로 가스제어기기를 유로블록에 대하여 용이하게 착탈할 수 있으므로 가스제어기기를 용이하게 교환할 수 있다. 다시 가스제어기기의 보디의 외주에 설치한 접속통을 유로블록에 나사결합하는 것에 의해 가스제어기기를 유로블록에 접속하므로 가스제어기기의 전체에 우력을 발생시키지 않고 밸런스를 맞추어 체결할 수가 있어 긴밀한 실링을 확보할 수 있다.

또 유로블록끼리의 접속때 위치결정수단에 의해 양자의 자세를 유지시키므로 특별한 도구를 사용할 필요가 없어진다.

또 접속통을 안나사로 형성하여 유로블록의 돌출부의 외측에 나사결합하는 것에 의해 가스제어기기를 유로블록에 대하여 착탈할 때 나사부에서 생기는 티끌이 유로블록의 부착공에서 가스라인으로 침입하는 것이 없어진다.

이하 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

먼저 본 발명의 제1의 실시 형태에 대하여 도1 내지 도12를 참조하여 설명한다.

도1 및 도2에 표시하는 바와 같이 베이스플레이트(1)위에 가스공급제어라인(20)이 다수열(도시예에서는 11열)에 병설된다. 각 가스공급제어라인(20)은 도6∼도12에 표시하는 종형으로 구성된 자동다이아프램밸브(21), 터글형수동다이아프램밸브(22), 필터유니트(23), 체크밸브(24)부착자동다이아프램밸브(25), 레귤레이터(26), 센서부(27ａ)와 액츄에이터부(27ｂ)로 이루어지는 매스프로우콘트롤러(27), 매스프로우미터(28) 등의 가스제어기기가 적소에 선택적으로 조합되어 유로블록(29) 등에 의해 접속되어 베이스플레이트(1)위에 부착된다.

각 유로블록(29)은 특히 도3 내지 도5에서 명백하듯이 상부에 상향 개구의 부착공(30)이 형성되어 부착공(30)의 저부에 있어 주연부보다 약간 높아진 돌출부(31)의 상면 양측부에 받침면(31ａ)이 돌출되어 있다. 각 유로블록(29)에는 축심방향으로 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로로 가스유입통로(32) 및 가스유출통로(33)가 형성되어 가스유입통로(32) 및 가스유출통로(33)는 내방에서 수직한 상방으로 절곡되고 부착공(30)의 저부돌출부(31)인 받침면(31ａ)(31ａ) 사이의 원형오목부분에 개구되어 있다. 각 유로블록(29)의 접속끝부분의 측면에는 가스유입통로(32)의 입구주연부와 가스유출통로(33)의 출구주연부에 환상의 실링비트(34)(35)가 형성되어 있다. 각 유로블록(29)의 가스유입통로(32)측의 입구측 끝부분 외주에는 나사부(36)가 형성되고 가스유출통로(33)측의 출구측 끝부분 외주에는 나사부(37)가 형성되어 이들의 나사부(36)(37)는 역나사로 되게 설정되어 있다. 각 유로블록(29)의 부착공(30)을 형성하는 원통형돌출부(38)의 외주에 바깥나사(39)가 형성되어 있다.

인접하는 유로블록(29)의 가스유출통로(33)측의 실링비트(35)와 가스유입통로(32)측의 실링비트(34)와의 사이에 스테인레스등으로 이루어지는 환상의 메탈가스켓(40)이 개재되며 이 메탈가스켓(40)은 그 끝부분이 유로블록(29)에 있어 가스유입통로(32)의 외주면 등에 끼워져 위치결정되며 메탈가스켓(40)의 구멍(41)에 의해 가스유출통로(33)와 가스유입통로(32)가 연통되어 실링상태로 유로블록(29)끼리 접속된다. 즉 일방의 유로블록(29)의 나사부(37)에 너트(42)가 나사결합되는 것으로 너트(42)의 외주에 너트(43)가 회전 가능하게 끼워져 너트(43)의 앞끝부분 내주에 전기 너트(42)와 역방향으로 형성된 나사부(44)가 타방의 유로블록(29)의 끝부분 외주의 나사부(36)에 나사결합되어 너트(43)의 기단부에 작은 직경으로 형성된 걸림턱부(45)가 너트(42)의 일단면에 걸리게되어 있다. 이와 같이 인접하는 유로블록(29)끼리 실링상태로 접속된다. 이 접속시 일방의 유로블록(29)의 접속단면에 설치된 돌출부(46)가 타방의 유로블록(29)의 접속단면에 설치된 오목부(47)와 끼워 맞춰져 접속단면끼리 위치 결정되어 너트(43)를 유로블록(29)의 끝부분 외주의 나사부(36)에 체결되어도 유로블록(29)이 동시에 회전하지 않는다. 그 이외의 너트(43)에 의해 유로블록(29)의 외주부 전체를 거의 균일하게 체결하는 것에 의해 실링부에 우력이 작용 안하므로 작은 하중으로 안정한 실링효과를 얻고 그 이외에 한쪽으로 조이는 현상도 발생치 않으며 조립이 용이하다. 더욱이 너트(43)와 너트(42)가 역나사로 되어 있으므로 자기 이완방지 효과가 있다.

유로블록(29)은 소망 개수로 전기와 같이 하여 실링상태로 분리 가능하게 접속되며 유로블록(29)은 가스유입통로(32)와 가스유출통로(33)가 가스공급제어라인(20)에 배치되어 베이스플레이트(1) 위에 나사(도시 생략) 등에 의해 분리 가능하게 부착되어 있다. 그리고, 자동다이아프램밸브(21) 등의 가스제어기기가 각 유로블록(29)에 실링상태로 교환 가능하게 접속된다. 구체적으로 설명하면 자동다이아프램밸브(21) 등의 가스제어기기는 도6 내지 도12에 표시하듯이 하부의 원형의 보디(48)에 제1의 가스통로인 가스유입통로(49) 및 제2의 가스통로인 가스유출통로(50)가 형성되어 있다. 그리고, 소망하는 가스제어기기의 보디(48)가 소망하는 유로블록(29)의 부착공(30)에 삽입되어 실링상태로 접속된다.

자동다이아프램밸브(21)는 예로 들어 설명하면,

특히 도6에서 명백하듯이 자동다이아프램밸브(21)의 보디(48)가 유로블록(29)의 부착공(30)에 삽입된다. 유로블록(29)의 원통형돌출부(38)의 상면과 보디(48)의 프랜지부(51)에 위치결정용돌기부(52)와 위치결정용절결(53)이 복수 개소(도시예에서는 180도 위상을 비키어 놓은 2개소)에서 대응하게 형성되어 있다(도3, 도4, 도14, 도15 참조). 그리고, 전기와 같이 보디(48)가 부착공(30)에 삽입될 때에 위치결정용절결(53)이 위치결정용돌기(52)에 끼워져 자동다이아프램밸브(21)의 가스유입통로(49) 및 가스유출통로(50)가 유로블록(29)의 가스유입통로(32) 및 가스유출통로(33)에 각각 대응할 수 있게 보디(48)가 유로블록(29)에 대하여 위치 결정된다. 이 상태로 프랜지부(51)의 하면이 원통형돌출부(38)의 상면에 끼워지게 되어 있다.

보디(48)의 하면 중앙부에 장원형의 위치결정용오목부(54)가 형성되어 위치결정용오목부(54) 내에서 가스유입통로(49)와 가스유출통로(50)의 주연부에 실링비트(55)(56)가 형성되어 있다. 한편, 유로블록(29)의 부착공(30) 내의 돌출부(31)에도 가스유입통로(32)와 가스유출통로(33)의 주연부에 실링비트(57)(58)가 형성되어 있다. 이들 실링비트(57)(58)는 받침면(31ａ)(31ａ) 보다도 낮아지도록 설정되어 부착공(30)에 상방에서 단단한 이물이 잘못되어 삽입되었을 때 받침면(31ａ)(31ａ)에 의해 이물로부터 실링비트(57)(58)가 손상 안되며 보호되게 되어 있다. 유로블록(29)의 받침면(31ａ)(31ａ) 간의 원형오목부분과 보디(48)의 위치결정용오목부(54)에는 스테인레스등으로 이루어진 메탈가스켓(59)이 실링비트(57)(58)와 실링비트(55)(56) 사이에 삽입되어 위치 결정된다. 메탈가스켓(59)은 1매의 재료에 의해 예컨대, 장원형으로 형성되어 가스유입공(60) 가스유출공(61)을 공유하고 있다. 메탈가스켓(59)은 받침면(31ａ)(31ａ) 간의 원형오목부분인 돌출부(31)와 위치결정용오목부(54)에 삽입되어 위치 결정된 상태로 실링비트(55)(56)와 실링비트(57)(58) 사이에 개재되어 가스유입공(60)에 의해 가스유입통로(32)(49)를 연통시키며 가스유출공(61)에 의해 가스유출통로(50)(33)를 연통시키고 있다.

보디(48)의 외주에 접속통(62)이 회전 가능하게 끼워져 있다. 접속통(62)은 앞끝부분 내측에 안나사(63)를 소유하는 너트형으로 형성되어 안나사(63)가 유로블록(29)의 원통형돌출부(38)의 나사부(39)에 나사 결합되어 접속통(62)의 상단부 내주에 돌설된 돌출턱부(64)가 프랜지부(51)의 상면에 끼워지게 되어 있다. 이와 같이 자동다이아프램밸브(21)의 프랜지부(51)가 유로블록(29)의 원통형돌출부(38)의 상면과 접속통(62)의 돌출턱부(64)로 끼워지게 되므로 자동다이아프램밸브(21)가 유로블록(29)에 접속된다. 이 접속 상태로 실링비트(55)(56)와 실링비트(57)(58)가 메탈가스켓(59)에 잠식되며 메탈가스켓(59)이 돌출부(31)의 원형오목부분과 보디(48)의 위치결정용오목부(54)의 상면에 면 접촉 상태로 압접되어 자동다이아프램밸브(21)가 유로블록(29)에 대하여 실링되어 있다. 이와 같이 실링비트(55)(56)(57)(58)를 메탈가스켓(59)에 잠식시켜 돌출부(31)의 원형오목부분과 위치결정용오목부(54)의 상면을 메탈가스켓(59)에 면 접촉상태로 압접하므로 이들의 접촉면의 정도가 공차의 범위 정도로 오차가 있어도 확실한 실링상태를 얻을 수 있다. 그리고 이러한 양호한 면 접촉상태는 유로블록(29)의 받침면(31ａ)이 보디(48)의 하부측방부분에 당접하여 그 이상의 접속통(62)의 체결을 규제하므로 얻어진다. 또, 도1,도2 중에 표시되어 있는 유로블록(29ａ)은 우회 유로를 형성하기 위한 케넥팅블록이다.

전기 구성의 집적화 가스제어장치를 조립함에는 그 일예로써 인접하는 유로블록(29)을 순차로 메탈가스켓(40)을 개재하여 가스유출통로(33)와 가스유입통로(32)를 연통시켜 너트(42)(43)에 의해 실링상태로 분리 가능하게 접속함과 동시에 각 가스공급 제어라인(20)에 따라 베이스플레이트(1) 위에 분리 가능하게 부착한다. 계속하여 예컨대, 도1,도2에 표시하듯이 각 유로블록(29)의 부착공(30)에 메탈가스켓(59) 및 자동다이아프램밸브(21), 매스프로우콘트롤러(27), 매스프로우미터(28), 필터유니트(23), 레귤레이터(26), 체크밸브(24)부착자동다이아프램밸브(25), 터글형수동다이아프램밸브(22)의 어느 것인가의 원형의 보디(48)를 삽입하여 가스유입통로(32)(49), 가스유출통로(50)(33)를 각각 연통시켜 보디(48)의 외주에 끼워져 있는 접속통(62)을 유로블록(29)의 원통형돌출부(38)의 나사부(39)에 나사결합시켜 자동다이아프램밸브(21) 등을 종형으로 하여 실링상태에서 착탈 가능하게 접속한다.

전기와는 역으로 자동다이아프램밸브(21) 등의 각 가스제어기기를 접속하고 있는 접속통(62)을 각 유로블록(29)의 나사부(39)에서 이탈시키는 것에 의해 각 가스제어기기를 각 유로블록(29)에서 떼어낼 수가 있다. 또 너트(43)(42)를 떼어내는 것으로 의해 유로블록(29)끼리를 분리할 수 있다.

또 집적화 가스제어장치의 조립순서 및 분리순서에 대해서는 상기 순서에 한정되는 것이 아니며 예컨대, 각 가스제어기기를 각 유로블록(29)에 접속한 상태에서 유로블록(29)끼리를 접속하고 유로블록(29)을 베이스플레이트(1)에 부착하도록 하여도 좋다. 또 유로블록(29)을 베이스플레이트(1)에서 떼어 분리한 후 가스제어기기를 유로블록(29)에서 이탈시킬 수도 있다.

전기와 같이 패널형으로 구성된 집적화 가스제어장치에 의하면 다수의 가스공급제어라인(20)에 있어 각 유로블록(29)에 종형으로 접속된 자동다이아프램밸브(21) 등의 가스제어기기를 작동시키는 것에 의해 질소가스, 수소가스, 모노시란, 지시란, 수소희석호스핀, 아산화질소(Ｎ_２Ｏ), 삼불화클로라이드 등의 고순도 가스의 압력제어, 유량제어, 혼합, 퍼지 등의 공급시의 제어를 확실히 안전하게 할 수 있다. 또 각 가스공급제어라인(20)은 유로블록(29)에 메탈가스켓(40)을 개재하여 너트(42)(43)에 의해 접속하고 있으므로 실링이 완전하며 그리고 각 유로블록(29)에 소망의 가스제어기기를 메탈가스켓(59)을 개재하여 접속통(62)에 의해 종형으로 접속하여 있으므로 실링이 완전할 뿐만 이니라 종래와 같이 가스제어기기를 배관, 조인트를 사용하여 연결하고 가스공급제어라인을 구성한 것에 비하여 가스공급제어라인(20)을 직선 상에서 짧게 할 수 있으며 그러므로 내용적을 감소시켜 설치공간을 좁게 할 수 있다. 또, 가스공급제어라인(20)을 분리하지 않고 접속통(62)을 떼어 낸다든지 나사 결합시킨다든지 하는 것에 의해 가스제어기기를 간단히 착탈할 수 있으므로 유지보수가 간단하며 그 비용도 절감된다. 또 가스공급제어라인(20)은 표준화된 유로블록(29)을 너트(42)(43)를 사용하는 것에 의해 자유스럽게 유로구성을 얻을 수 있음과 동시에 설계, 제작, 조립에 요하는 토탈제작리드타임을 단축할 수 있으며, 그러므로 반도체제조장치를 신설할 때의 초기 준비시간을 단축할 수 있으며 그 이외에 유로구성을 최단 시간에 할 수 있으며 직선화, 치환성, 응답성 등의 성능도 향상한다.

또 인접하는 유로블록(29)의 접속 단의 실링비트(34)(35)를 메탈가스켓(40)에 맞대 인 상태에서 인접하는 유로블록(29)을 너트(42)(43)에 의해 체결하고 접속하므로 유로블록(29)의 접속시 내부에 티끌 등이 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또 각 유로블록(29)의 부착공(30)의 저면에 가스제어기기의 보디(48)를 메탈가스켓(59)을 개재하여 맞닿은 상태에서 안나사(63)를 소유하는 접속통(62)을 각 유로블록(29)의 원통형돌출부(38)의 바깥나사(39)에 체결하여 가스제어기기를 유로블록(29)에 접속하므로 착탈시에 나사부에서 발생하는 티끌 등이 부착공(30)에 침입하는 것을 방지할 수 있다.

다음으로 본 발명의 제2의 실시 형태에 대하여 도13 및 도14를 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 있어서는 전기 제1의 실시 형태와는 인접하는 유로블록(29)끼리의 접속방식을 달리하며 기타의 구성에 대하여는 전기 제1의 실시 형태와 동일하므로 상이한 접속방식에 대하여서만 설명한다.

도13,도14에 표시함과 같이 각 유로블록(29)의 가스유입측의 끝부분외주 및 가스유출측의 끝부분외주에 접속용돌출부(65)(66)가 복수 개소(도시 예에서는 삼등분 위치에서 계3개소)에 설치되어 있다. 각 접속용돌출부(65)(66)는 맞대 인 면의 반대측(서로의 이격측)의 면이 외주 측에서 내주 측으로 두꺼워지는 경사면(67).(68)으로 형성되어 있다. 접속용링(69)은 접속용돌출부(65).(66)의 외측에 걸쳐 끼워맞출수 있는 링(70)의 내측 양측부에 협지용돌출부(71)(72)가 복수 개소(도시 예에서는 삼등분 위치에서 계3개소)로 설치되어 있다. 각 조의 협지용돌출부(71)(72)의 대향면은 접속용돌출부(65)(66)에 대응하게끔 경사면(73)(74)으로 형성되어 있다.

그리고 접속용링(69)은 그 협지용돌출부(71)(72)가 접속용돌출부(65)(66)와 접속용돌출부(65)(66)의 사이에 위치한 상태에서 링(70)이 접속용돌출부(65)(66)의 외주에 걸쳐 끼워 맞춰진다. 이 끼워 맞춤 상태에서 접속용링(69)이 일방으로 회전되는 것에 의해 협지용돌출부(71)(72)의 경사면(73)(74)이 접속용돌출부(65)(66)의 경사면(67)(68)에 대하여 압접되어 인접하는 유로블록(29)끼리 맞대어짐과 동시에 실링된 상태에서 접속되게 설정되어 있다. 접속용링(69)이 전기와는 역 방향으로 회전되는 것에 의해 협지용돌출부(71)(72)의 경사면(73)(74)이 접속용돌출부(65)(66)의 경사면(67)(68)에서 이탈하여 유로블록(29)에서 이탈되게 되어 있다. 유로블록(29)에 있어서의 가스유출측의 일 단면과 가스유입측의 일 단면에 위치결정핀(75)과 위치결정공(76)이 복수 개소에 설치되어 전기와 같이 유로블록(29)끼리 접속될 때 위치결정핀(75)과 위치결정공(76)이 끼워 맞춰지는 것에 의해 동시회전이 방지되며 서로의 위치가 유지되게 되어 있다.

다음으로 본 발명의 제3의 실시 형태에 대하여 도15, 도16을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 있어서는 전기 제1의 실시 형태와는 인접하는 유로블록(29)끼리의 접속방식을 달리하며 기타의 구성에 대하여는 전기 제1의 실시형태와 동일하므로 상이한 접속방식에 대하여서만 설명한다.

도15, 도16이 표시함과 같이 각 유로블록(29)의 가스유입측의 끝부분외주 및 가스유출측의 끝부분외주에 접속용환상돌출부(77)(78)가 설치되어 있다. 각 접속용환상돌출부(77)(78)는 맞닿은 면의 반대측(서로의 이격측)의 면이 외주 측에서 내주 측으로 이름에 따라 차차로 두꺼워지게 경사면(79)(80)이 형성되어 있다. 접속용링(81)은 분할형(도시 예에서는 상하 2분할형)으로 구성되어 서로 협력하여 접속용환상돌출부(77)(78)에 걸쳐 끼워맞출수 있는 오목부(82)를 소유하며 오목부(82)의 양측에 접속용환상돌출부(77)(78)의 경사면(79)(78)을 끼워지게 하여 압접할 수 있게 경사면(83)(84)을 소유하고 있다.

그리고 분할형의 접속구(81)는 분리된 상태에서 오목부(82)가 접속용환상돌출부(77)(78)에 걸쳐 끼워 맞춰지게 된다. 이 상태에서 분할형의 접속구(81)가 볼트(85)에 의해 결합되는 것에 의해 협지구(81)의 경사면(83)(84)이 접속용환상돌출부(77)(78)의 경사면(79)(80)에 대하여 압접되어 인접하는 유로블록(29)끼리 맞대어지게 됨과 동시에 실링된 상태에서 접속된다. 전기와는 역으로 볼트(85)를 풀어주는 것에 의해 협지구(81)가 유로블록(29)에서 이탈되게 되어 있다. 전기와 같이 유로블록(29)끼리 접속될 때 전기 제2의 실시 형태와 동일한 위치결정핀(75)과 위치결정공(76)의 끼워 맞춤에 의해 서로의 위치가 어긋나지 않게 유지되게 되어 있다.

다음으로 본 발명의 제4의 실시 형태에 대하여 도17, 도18을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 있어서는 전기 제1의 실시 형태와는 인접하는 유로블록(29)끼리의 접속방식을 달리하며 기타의 구성에 대해서는 전기 제1의 실시형태와 동일하므로 상이한 접속방식에 대하여서만 설명한다.

도17, 도18에서 표시함과 같이 각 유로블록(29)의 가스유입측의 끝부분 및 가스유출측의 끝부분에 접속용돌출부(86) 및 접속용오목부(87)가 형성되어 있다. 인접하는 유로블록(29)끼리의 접속용돌출부(86)와 접속용오목부(87)가 맞물린 상태에서 조합되어 양자간의 양측부에 접속용공(88)이 수직방향으로 관통되게 형성된다. 각 접속용공(88)은 접속용돌출부(86)와 접속용오목부(87)의 대향면중 일방이 수직면에 형성되어 타방의 상단 및 하단에서 중앙부 쪽으로 대향하는 수직면 측으로 접근하는 경사면(89)으로 형성되어 있다.

그리고 각 접속용공(88)에 쐐기(90)(91)가 상하 반대 방향에서 삽입되어 양자에 볼트(92)가 나사결합되어 쐐기(90)(91)가 접근하는 것에 의해 쐐기(90)(91)가 접속용공(88)에 압입되어 인접하는 유로블록(29)끼리 축 방향으로 가압되어 실링된 상태에서 접속된다. 전기와는 역으로 볼트(92)를 풀어내는 것에 의해 쐐기(90)(91)는 이격되고 쐐기(90)(91)가 접속용공(88)에서 이탈되는 것에 의해 유로블록(29)이 분리 가능해진다. 전기와 같이 유로블록(29)끼리 접속될 때 전기 제2의 실시 형태와 동일한 위치결정핀(75)과 위치결정공(76)의 끼워 맞춤에 의해 서로의 위치가 어긋나지 않게 유지되게 되어 있다.

다음으로 본 발명의 제5의 실시 형태에 대하여 도19를 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 있어서는 전기 제1의 실시 형태와는 인접하는 유로블록(29)끼리의 접속방식을 달리하며 기타의 구성에 대하여는 전기 제1의 실시형태와 동일하므로 상이한 접속방식에 대하여서만 설명한다.

도19에 표시함과 같이 각 유로블록(29)의 가스유입측의 끝부분외주 및 가스유출측의 끝부분외주에 나사부(93)(94)가 서로 역방향으로 되게 형성되어 있다. 접속통(95)은 내측의 양측부에 나사부(93)(94)에 나사결합할 수 있게 서로 역방향으로 되는 나사부(96)(97)를 소유하고 있다.

그리고 인접하는 그리고 유로블록(29)의 나사부(93)(94)에 접속통(95)의 나사부(96)(97)가 걸쳐 나사결합되어 접속통(95)이 일 방향으로 회전되는 것에 의해 나사부(96)(97)(93)(94)를 개재하여 인접하는 유로블록(29)이 맞대어짐과 동시에 실링된 상태에서 접속된다. 접속통(95)이 전기와는 역방향으로 회전하는 것에 의해 나사부(96)(97)(93)(94)를 개재하여 인접하는 유로블록(29)이 이격되어 결국은 분리되게 되어 있다. 즉 인접하는 유로블록(29)끼리 턴버클구조로 접속되어 있다. 전기와 같이 유로블록(29)끼리 접속될 때 도시는 안하였으나 전기 제2의 실시 형태와 동일의 위치결정핀(75)과 위치결정공(76)과의 끼워 맞춤에 의해 서로 동시회전 안하게 유지되게 되어 있다.

다음으로 본 발명의 제6의 실시 형태에 대하여 도20을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 있어서는 전기 각 실시형태와는 유로블록(29)과 자동다이아프램밸브(21) 등의 가스제어기기와의 접속방식을 달리하며 기타의 구성에 대하여는 전기 실시형태와 동일하므로 상이한 접속방식에 대하여서만 설명한다.

도20에 표시함과 같이 각 유로블록(29)에 있어 부착공(30)의 상부내측에 안나사(98)가 형성되어 있다. 자동다이아프램밸브(21) 등의 각 가스제어기기의 보디(48)의 외주에 접속통(99)이 회전 가능하게 끼워맞춤되어 접속통(99)의 하부외주에는 전기 안나사(98)에 나사결합할 수 있는 바깥나사(100)가 형성되어 있다.

그리고 각 유로블록(29)의 부착공(30)에 가스제어기기의 보디(48)가 삽입되어 접속통(99)의 바깥나사(100)가 부착공(30)의 안나사(98)에 나사결합되어 접속통(99)의 하단면이 보디(48)의 끝부분(101)에 걸리게 되어 보디(48)가 빠지지 않게 되어 가스제어기기가 유로블록(29)에 실링된 상태로 접속된다. 전기와는 역으로 접속통(99)이 안나사(98)에서 이탈되는 것에 의해 가스제어기기가 유로블록(29)에서 떼어지게 되어 있다.

더욱 본 실시형태에 있어서는 인접하는 유로블록(29)끼리의 접속방식에 대해서는 도19에 표시하는 제5의 실시형태와 동일의 턴버클구조를 표시하고 있으나 전기 제1내지 제4의 실시 형태에 있어서의 접속방식을 채용할 수 있는 것은 말할 필요가 없다.

다음으로 본 발명의 제7의 실시 형태에 대하여 도21 내지 도23을 참조하며 설명한다. 도21 내지 도23에 표시함과 같이 이 실시 형태에 있어서의 유로블록(29)은 가스공급제어라인(20)의 방향과 이와 직교하는 방향으로 유로를 전환할 수 있게 부착공(30)이 2단으로 형성되어 있고 또 부착공(30)이 복수열(도시 예에서는 3열)의 가스공급제어라인(20)위에 위치하게 3줄로 형성되어 있다. 그리고 1단 째의 각 부착공(30)이 가스유입통로(32), 가스유출통로(33)에 의해 가스공급제어라인(20)의 방향에 따라 서로 연통됨과 동시에 2단 째의 각 부착공(30)이 가스공급제어라인(20)과 직교방향의 가스통로(102)에 의해 연통되어 있다. 그러므로 1단 째의 부착공(30)에 접속된 가스제어기기와 2단 째의 부착공(30)에 접속된 가스제어기기를 선택적으로 동작시키는 것에 의해 가스제어라인을 전환할 수 있다.

더욱, 전기 제2, 제3, 제4, 제7의 각 실시 형태에 있어서는 유로블록(29)의 부착공(30)의 저부돌출부(31)에 가스의 통로의 주연부에 있어 실링비트를 도시 안하였으나 이를 설치하여 메탈가스켓을 사용하는 것이 좋겠다. 또 돌출부(31)에 받침면(31ａ)을 설치하는 것이 좋겠다. 또 전기 제7의 실시 형태에 있어서는 전기 제1 내지 제5의 실시 형태와 동일하게 돌출부(38)의 외주에 나사(39)를 형성하고 있으나 전기 제6의 실시 형태와 같이 부착공(30)의 내주에 나사(98)를 형성하여도 좋겠다.

또 전기 각 실시예에 있어 가스유입통로(32), 가스유출통로(33), 가스통로(102)는 가스공급, 퍼지 등에만 이용되는 것이 아니고 진공상태를 만들 때에도 이용된다. 또 유로블록(29)은 전기 실시 형태에 한정되는 것만 아니며 부착공(30)의 개수를 적정하게 선정하는 등 변경할 수 있다. 또 메탈가스켓(40)(59)의 위치결정 수단은 도시 예 외에도 각종의 구조를 채용할 수가 있다. 또 메탈가스켓(59)은 도시 예와 같이 그 대부분 전면을 유로블록(29)의 저부와 보디(48)의 하면에 면 접촉시키는 것이 좋겠으나 가스유입통로(32)(49), 가스유출통로(50)(33)의 외주부만 면 접촉시키도록 하여도 좋겠다. 더욱이 유로블록(29)에 있어서의 받침면(31ａ)은 없어도 좋겠다. 이 이외에 본 발명의 그 기본적 기술 사상을 일탈 안하는 범위에서 각종 설계 변경할 수 있다.

본 발명에 의하면 유로블록의 끝부분끼리를 접속함과 동시에 가스제어기기를 종형으로 구성하여 유로블록에 접속하고 있으므로 장치 전체의 콤팩트화를 도모, 유로구성, 가스제어라인의 직선화, 축소화를 도모할 수 있으며 반도체제조장치에 점하는 내용적을 감소시킬 수 있으며 또 가스제어라인을 표준화된 부품으로 구성하는 것이 가능하므로 자유스럽게 유로구성을 가능케 할 수 있어 설계, 제작, 조립을 위한 토탈제작리드타임의 단축을 도모하여 설비의 초기 준비기간의 단축을 도모하는 것이 가능함과 동시에 유로변경에 대한 치환성, 응답성을 향상시킬 수 있다. 또 유로블록의 접속에 용접배관을 사용할 필요가 없으므로 전기 접속에 있어 용접흄 등의 발생을 해소할 수 있으며 수명의 연장, 제품의 부가가치의 향상을 도모할 수 있다. 또 가스제어기기의 보디의 외주에 설치한 접속통을 유로블록에 대하여 착탈할 뿐이며 가스제어기기를 유로블록에 대하여 용이하게 착탈할 수 있으므로 가스제어기기를 용이하게 교환할 수 있으며 유지보수를 용이하게 행할 수 있음과 동시에 유지보수 비용의 절감을 도모할 수 있다. 더욱이 가스제어기기의 보디의 외주에 설치한 접속통을 유로블록에 나사결합하는 것에 의해 가스제어기기를 유로블록에 접속하므로 가스제어기기의 전체에 우력을 발생시키지 않고 밸런스를 맞추어 체결할 수 있으며 긴밀한 실링을 확보할 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또 유로블록끼리의 접속에 있어 위치결정수단에 의해 양자의 자세를 유지시키는 것에 의해 특별한 도구를 사용할 필요가 없어진다. 그러므로 접속작업을 용이하게 또 신속하게 그 이외에 확실히 행할 수 있다.

또 접속통을 안나사로 형성하여 유로블록의 돌출부의 외측에 나사결합하는 것에 의해 가스제어기기를 유로블록에 대하여 착탈할때에 나사부에서 생기는 티끌이 유로블록의 부착공에서 가스라인에 침입하는 것이 없어진다. 그러므로 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims

베이스플레이트와 상부에 상향 개구의 부착공을 소유하고 이 부착공의 저면에 개구된 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로를 소유하며, 전기 베이스플레이트 위에 복수열로 부착되는 복수개의 유로블록과 이들의 인접하는 유로블록의 끝부분끼리 전기 제2의 가스통로와 전기 제1의 가스통로가 연통되어 실링상태에서 분리 가능하게 접속하는 실링수단 및 접속수단과, 종형으로 구성되어 전기 각 유로블록의 부착공에 삽입되는 하부의 보디에 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로를 소유하는 복수종의 가스제어기기와, 이들의 가스제어기기 보디의 외주에 설치되어 나사를 소유하는 접속통과, 전기 유로블록에 형성되어 전기의 소망하는 가스제어기기의 보디를 전기 유로블록의 부착공에 삽입한 상태로 전기 접속통을 나사결합하여 가스제어기기를 유로블록에 접속하는 것이 가능한 나사와, 전기 가스제어기기와 유로블록의 접속에 있어 이들 가스제어기기 및 유로블록의 제1의 가스통로끼리와 제2의 가스통로끼리를 연통시킨 상태로 이들 가스제어기기, 유로블록 사이를 실링하는 실링수단을 비치함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항에 있어서,

가스제어기기가 자동다이아프램밸브, 터글형수동다이아프램밸브, 필터유니트, 체크밸브부착자동다이아프램밸브, 감압밸브, 레귤레이터, 매스프로우콘트롤러, 매스프로우미터에서 선택 사용됨을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

유로블록이 한 쌍의 부착공을 소유하며 이 한쌍의 부착공이 직교방향의 가스통로에서 전환 가능하게 구성함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제3항에 있어서,

유로블록이 한쌍의 부착공을 복수조로 소유함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

인접하는 유로블록사이의 실링수단이 전기 유로블록의 끝부분사이에 개재되어 제2의 가스통로와 제1의 가스통로를 연통시키는 구멍을 소유하는 메탈가스켓으로 함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제5항에 있어서,

메탈가스켓이 유로블록의 끝부분에 있어 가스통로의 주연부에 형성된 실링비트 사이에 개재됨을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

인접하는 유로블록의 접속수단이 일방의 유로블록의 끝부분 외주에 나사결합되는 제1의 너트와 이 제1의 너트의 외주에 끼워맞춰져 앞끝부분의 내주에 전기 제1의 너트와 역나사로하여 타방의 유로블록의 끝부분 외주에 나사결합되어 전기 제1의 너트에 걸리게 걸림턱부를 소유하는 제2의 너트를 구비함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

인접하는 유로블록의 접속수단이 서로의 가스통로를 연통상태로 위치결정하여 그 자세로 유지하기 위한 위치결정수단을 구비함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

각 가스제어기기의 보디 및 유로블록이 전기 보디를 전기 유로블록의 부착공에 삽입할때에 전기 유로블록 및 전기 보디의 제1의 가스통로끼리와 제2의 가스통로끼리를 연통시키기 위한 위치결정수단을 구비함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

각 가스제어기기와 각 유로블록과의 사이의 실링수단이 전기 가스제어기기의 보디의 저부와 전기 유로블록의 부착공의 저부에 위치결정상태로 개재되어 전기 유로블록 및 전기 보디의 제1의 가스통로끼리 및 제2의 가스통로끼리를 연통시키는 구멍을 소유하는 1매의 재료로 이루어지는 메탈가스켓을 구비함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제10항에 있어서,

메탈가스켓이 가스제어기기의 보디와 유로블록의 부착공의 저부에 있어 주연부보다 높이 돌출된 돌출부와의 사이에 개재됨을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제11항에 있어서,

메탈가스켓이 가스제어기기의 보디와 유로블록의 돌출부에 각기 제1의 가스통로 및 제2의 가스통로의 주연부에 있어 형성된 실링비트의 잠식에 의해 적어도 구멍의 주연부를 전기 보디와 유로블록의 돌출부와 면 접촉하게 개재시킴을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제12항에 있어서,

가스제어기기의 보디와 유로블록의 돌출부와의 사이에 메탈가스켓을 면 접촉상태에서 개재시켰을 때 전기 유로블록의 돌출부의 측방에서 이 유로블록측의 실링비트 보다도 높이 돌출된 받침면이 전기 가스제어기기의 보디의 하부측방 부분에 맞닿게 함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

각 가스제어기기를 각 유로블록에 접속하는 접속통의 나사가 안나사이며 이 접속통이 전기 유로블록의 부착공을 형성하는 원통형돌출부의 외측에 형성된 바깥나사에 나사결합함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

각 가스제어기기를 각 유로블록에 접속하는 접속통의 나사가 바깥나사이며 이 접속통이 전기 유로블록의 부착공의 내측에 형성된 안나사에 나사결합함을 특징으로 하는 집적화 가스제어장치.