KR100253755B1 - 마그네트론 - Google Patents

Abstract

스템부재(Stem metal)(11)의 내부측에 배치되는 초오크(12)를 톱리이드(Top reed)의 연면거리(Creepage distance)로, 톱 해트(Top hat)(4)에서 대략 소정주파수 파장의 거리 C₁에 배치함과 동시에, 상기의 초오크(12)를 엔드리이드(7)의 연면거리로 엔드해트(end hat)(5)에서 대략 소정주파수의 1/2파장의 거리 C₂에 배치한 마그네트론.

입력부로 부터의 소망하지 않은 고조파(harmonic wave), 특히 제 5고조파의 발생을 억제할 수가 있다.

Description

마그네트론(Magnetron)

본 발명은 마이크로파를 발생하는 마그네트론에 관한 것이며, 더욱 상세히는 마이크로파의 고조파(harmonic wave) 발생을 억제하는 마그네트론에 관한 것이다.

종래의 마그네트론에 관한 구조를 제6도에 도시한다.

제6도에 있어서, 참조부호(21)는 양극 실린더로서, 중심방향에는 복수 개의 베인(Vein)(22)이 형성되어 있고, 중심축상에는 필라멘트(23)가 배치되어 있다.

참조부호(24)는 스템부재(Stem metal)로서, 상기 양극 실린더(21)의 개방부 끝에 기밀로 밀봉된다.

참조부호(25)는 초오크로서, 상기 스템부재의 내면에 압입(壓入)된다.

상기 필라멘트(23)는 인가되는 전압에 의해서 고온이 되고, 열전자를 방출함과 동시에 복사열로 주위를 고온으로 하고, 방출된 열전자는 베인(22)의 측면과 필라멘트(23)의 사이에 형성되는 작용공간에서 주회(周回)운동을 하여 마이크로파를 발진시킨다.

일반적으로 마그네트론에서 발진 마이크로파로서 기본파가 발생하는데, 이 기본파 성분 이외에 그 정수배(整數倍)의 주파수를 갖는 고조파(高調波)가 발생되며, 이 고조파는 입력부에서 외부로 복사되어 버린다.

근래에는 특히 이 마그네트론을 사용하는 장치에서, 전파 누설을 방지할 필요성이 높아져서 특히 고조파의 복사를 억제하는 것을 요구하고 있다.

그런데, 전자 레인지에 사용되는 마그네트론에 있어서는 고조파 성분이 입력측으로부터 복사되면, 기본파와 마찬가지로 전자레인지 내에 전파된다.

고조파는 그 파장이 짧기 때문에 전자레인지 각 부분의 전파 차폐(shield)가 곤란하게 되고 외부로 누설하는 일이 있었다.

이 때문에, 마그네트론 자체로 고조파의 발생을 억제하기 위해서 입력부에 4분의 1 파장형 초오크를 형성하여 임의의 고조파 억제 기술이 개발되고 있다. (예를들면 일본국 특개평 2-144826호 공보 참조).

그러나, 이와 같은 마그네트론에 있어서 초오크의 배치 위치에 관하여, 그 위치를 변화시킨 경우에 고조파의 억제 효과가 어떻게 되는가에 대해서는 고려되어 있지 않았다.

그래서 본 발명에 있어서는 입력부에서의 소망하지 않은 고조파, 그 중에서도 특히 제5 고조파의 발생을 억제할 수 있는 마그네트론을 제공하는 것을 과제로 한다.

도1은 본 발명의 실시 형태를 나타내는 주요부 단면도.

도2는 초오크 배치 위치와 제5 고조파의 억제 효과의 관계를 나타내는 특성도.

도3은 본 발명에 있어서 가스제거수단의 다른 예를 나타내는 예시도.

도4는 본 발명에 있어서 가스제거수단의 다른 예를 나타내는 예시도.

도5는 본 발명에 있어서 가스제거수단의 또 다른 예를 나타내는 예시도.

도6은 종래 예의 주요부 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 양극 실린더 2 : 베인

3 : 필라멘트 4 : 톱 해트

5 : 엔드 해트 6 : 톱 리이드

7 : 엔드 리이드 8 : 세라믹부재

9,10 : 폴피이스 11 : 스템부재

12 : 초오크 13 : 커얼부

C1 : 연면거리 C2 : 연면거리

17 : 구멍(가스제거수단) 17a : 구멍(가스제거수단)

17b : 구멍(가스제거수단) 17c : 구멍(가스제거수단)

상기 과제를 해결하는 제1의 수단은, 복수 개의 베인을 중심방향으로 형성한 양극 실린더와, 이 양극 실린더의 중심에 설치된 필라멘트와, 이 필라멘트의 상단부를 지지하고 필라멘트와 하단부에서 접합하는 톱해트와, 이 톱해트와 상단부에서 접합하는 톱리이드와, 상기 필라멘트의 하단부를 지지하고, 필라멘트와 상단부에서 접합하는 엔드해트와, 이 엔드해트와 상단부에서 접합하는 앤드리이드와, 상기 양극 실린더의 개방부 끝에 폴 피이스를 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재와, 이 스템부재의 내부에 배치되는 초오크를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크를 톱리이드의 연면거리로 톱해트로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에 배치한 것을 특징으로 한다.

상기 과제를 해결하는 제2의 수단은, 복수 개의 베인을 중심방향으로 형성한 양극 실린더와, 이 양극 실린더의 중심에 설치된 필라멘트와, 이 필라멘트의 상단부를 지지하고 필라멘트와 하단부에서 접합하는 톱해트와, 이 톱해트와 상단부에서 접합하는 톱리이드와, 상기 필라멘트의 하단부를 지지하고, 필라멘트와 상단부에서 접합하는 엔드해트와, 이 엔드해트와 상단부에서 접합하는 앤드리이드와, 상기 양극 실린더의 개방부 끝에 폴 피이스를 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재와, 이 스템부재의 내부에 배치되는 초오크를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크를 엔드리이드의 연면거리로 엔드해트로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2위치에 배치한 것을 특징으로 한다.

상기 과제를 해결하는 제3의 수단은, 복수 개의 베인을 중심방향으로 형성한 양극 실린더와, 이 양극 실린더의 중심에 설치된 필라멘트와, 이 필라멘트의 상단부를 지지하고 필라멘트와 하단부에서 접합하는 톱해트와, 이 톱해트와 상단부에서 접합하는 톱리이드와, 상기 필라멘트의 하단부를 지지하고, 필라멘트와 상단부에서 접합하는 엔드해트와, 이 엔드해트와 상단부에서 접합하는 앤드리이드와, 상기 양극 실린더의 개방부 끝에 폴 피이스를 끼워 기밀로 밀봉되는 스템부재와, 이 스템부재의 내부에 배치되는 초오크를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크를 상기 톱리이드의 연면거리로 상기 톱해트와 상기 필라멘트의 접합부로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에 배치한 것을 특징으로 한다.

상기 과제를 해결하는 제4의 수단은, 복수 개의 베인을 중심방향으로 형성한 양극 실린더와, 이 양극 실린더의 중심에 설치된 필라멘트와, 이 필라멘트의 상단부를 지지하고 필라멘트와 하단부에서 접합하는 톱해트와, 이 톱해트와 상단부에서 접합하는 톱리이드와, 상기 필라멘트의 하단부를 지지하고, 필라멘트와 상단부에서 접합하는 엔트해트와, 이 엔드해트와 상단부에서 접합하는 앤드리이드와, 상기 양극 실린더의 개방부 끝에 폴 피이스를 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재와, 이 스템부재의 내부에 배치되는 초오크를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크를 상기 엔드리이드의 연면거리로 엔드해트와 필라멘트의 접촉부로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2위치에 배치한 것을 특징으로 한다.

상기 과제를 해결하는 제5의 수단은, 복수 개의 베인을 중심방향으로 형성한 양극 실린더와, 이 양극 실린더의 중심에 설치된 필라멘트와, 이 필라멘트의 상단부를 지지하고 필라멘트와 하단부에서 접합하는 톱해트와, 이 톱해트와 상단부에서 접합하는 톱리이드와, 상기 필라멘트의 하단부를 지지하고, 필라멘트와 상단부에서 접합하는 엔드해트와, 이 엔드해트와 상단부에서 접합하는 앤드리이드와, 상기 양극 실린더의 개방부 끝에 폴 피이스를 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재와, 이 스템부재의 내부에 배치되는 초오크를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기의 초오크를 톱리이드의 연면거리로 톱해트로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에, 그리고 상기 엔드리이드의 연면거리로 엔드해트로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2위치에 배치한 것을 특징으로 한다.

상기 과제를 해결하는 위한 제6의 수단은, 복수 개의 베인을 중심방향으로 형성한 양극 실린더와, 이 양극 실린더의 중심에 설치된 필라멘트와, 이 필라멘트의 상단부를 지지하고, 필라멘트와 하단부에서 접합하는 톱해트와, 이 톱해트와 상단부에서 접합하는 톱리이드와, 상기 필라멘트의 하단부를 지지하고 필라멘트와 상단부에서 접합하는 엔드해트와, 이 엔드해트와 상단부에서 접합하는 엔드리이드와, 상기 양극 실린더의 개방부 끝에 폴 피이스를 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재와, 이 스템부재의 내부에 배치되는 초오크를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크를 톱리이드의 연면거리로 톱해트와 상기 필라멘트의 접합부로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에, 그리고 상기 엔드리이드의 연면거리로 엔드해트와 필라멘트의 접촉부로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2위치에 배치한 것을 특징으로 한다.

상기의 구성에 있어서 상기 초오크의 필라멘트 측단면에 커얼부를 형성하고, 이 커얼부를 스템부재애 맞접촉하게 한 것이 바람직하다.

[실시예]

도1에 본 발명의 실시 형태를 나타내며, 이하 본 도면을 참조로 설명한다.

참조번호(1)는 양극 실린더로서 중심방향에 베인(2)를 형성하고, 그 중심에는 필라멘트(3)가 배치된다.

이 필라멘트(3)는 상하단부가 톱해트(4)와 엔드해트(5)로 접합되고 지지되어 있다. 상기 톱해트(4) 및 엔드해트(5)는 각각 톱리이드(6) 및 엔드리이드(7)의 각 상단부에 접합되며, 톱리이드(6) 및 엔드리이드(7)는 하방부가 세라믹 부재(8)에 고정된다.

참조번호(9, 10)는 양극 실린더(1)의 상하 개방부 끝에 고정된 폴피이스로서, 스템부재(11)가 입력측 폴피이스(10)를 끼고 기밀로 밀봉된다.

참조번호(12)는 상기 스템부재(11)의 내측에 압입(壓入)에 의해서 동심축 상태로 배치되는 초오크로서, 초오크(12)의 필라멘트(3) 측단면에 커얼부(13)를 형성하고, 커얼부(13)를 스템부재(11)에 맞접촉하게 하여 위치가 고정된다.

상기 커얼부(13)는 스템부재(11)를 폴피이스(10)에 설치할 때에 폴피이스(10)에 근접 또는 맞접촉하게 하여 초오크(12)의 위치를 규제함으로서, 마그네트론 동작시의 온도 변화나 진동으로 인해 위치가 벗어나는 우려를 해소한다.

따라서, 땜질 등으로 위치 오차를 방지하는 수단이 필요 없고, 값싸고도 확실하게 초오크(12)를 배치할 수 있다.

도2는 본 실시형태에 있어서, 톱리이드(6)의 연면거리(즉, 톱리이드의 표면을 따른 길이)로 필라멘트(3)와 톱해트(4)의 접합부로부터 초오크(12)의 배치 위치까지의 거리(C1)를 변화시킨 경우에 제5 고조파가 어떻게 억제되는가를 나타내며, 실험데이터로 기초로 하여 작성된 특성도이다.

도2에 도시하는 바와 같이, 제5 고조파의 억제 효과는 초오크(12)의 위치를 제5 고조파의 1파장(24.5㎜)에 배치한 경우에 최대가 되며, 그 위치로부터 멀어질수록 억제 효과가 저하하는 특성이 있다.

이 결과에 의해서, 필라멘트(3)와 톱해트(4)의 접합부로부터의 초오크(12)의 배치 위치(C1)에 있어서, 제5 고조파의 억제 효과가 있는 범위는 C1 = 24.5 ± 1.5㎜이다.

또한, C1 = 24.5 ± 1㎜의 범위로 배치되는 것이 보다 바람직하다.

또, 상기 실시 형태에 있어서, 엔드리이드(7)의 연면거리(즉, 엔드리이드의 표면을 따른 길이)도 필라멘트(3)와 엔드해트(5)와의 접합부로부터 초오크(12)의 배치 위치까지의 거리(C2)를 변화시킨 경우에도 도2와 마찬가지의 특성을 얻었다.

즉, 제5 고조파의 억제 효과는 초오크(12)의 위치를 제5 고조파의 1/2파장(12.25㎜)에 배치한 경우에 최대가 되며, 그 위치로부터 멀어질 수록 억제 효과가 저하하는 특성이 있었다.

상기 결과와 마찬가지로, 엔드해트(5)로부터의 초오크(12)의 배치 위치(C2)에 있어서, 제5 고조파의 억제 효과가 있는 범위는 C2 = 12.25 ± 1.5㎜이다.

또한, C2 = 12.25 ± 1㎜의 범위로 배치되는 것이 보다 바람직하다.

그리고 초오크(12)는 상기 두 가지 경우, 즉 C1 = 24.5 ± 1.5㎜, 또한 C2 = 12.25 ± 1.5㎜의 범위로 배치되는 경우에 보다 효과가 있다.

더욱 바람직하게는 C1 = 24.5 ± 1㎜, 또한 C2 = 12.25 ± 1㎜의 범위이다.

그런데, 도6에 도시하는 마그네트론에 있어서, 열전자의 주회(周回) 운동을 가능하도록 하기 위해서 양극 실린더내는 배기 처리를 하게 된다.

이때, 초오크(25)의 압입(壓入)면과 스템부재 사이의 가스는 원주형 초오크(25)의 압입면의 끝가장자리 A 및 B에서 가스가 제거되는데, 초오크(25)의 압입면과 스템부재(24)사이의 틈새는 굉장히 작기 때문에 초오크(25)의 스템부재(24)로의 압입면에 있어서 A 및 B보다 멀어질수록 가스 제거의 저항이 현저히 증가한다. A 와 B와의 중간 부분에 가스 제거 저항이 최대로 되고, 특히 이 부분에 있어서 가스의 배제는 용이하지 않고, 초오크(25)의 압입면과 스템부재의 사이에 가스가 잔류하는 경우가 발생하였다.

이 경우, 잔류한 가스는 시간 경과나 동작 때의 양극 실린더(21)내의 온도 상승 등으로 양극 실린더(21)내로 유입하여, 열전자의 주회운동을 저해하거나, 동작시에 고온상태로 되어 있는 베인(22)이나 필라멘트(23)등을 연소시키는 등의 문제를 야기하여 공정 진척을 저하시키고 있었다.

이 대책으로서, 종래에는 배기 처리 시간을 길게 하여 상기 가스의 제거를 행하는 방법도 있으나 충분한 효과를 얻지 못했다.

그래서, 본 실시 형태에 있어서는, 도1에 도시하는 바와 같이, 초오크(12)의 스템부재(11)로의 압입면에 가스제거수단으로서, 거의 원형의 구멍(17)을 복수개 천공하고 있다.

상기 구멍(17)에 의해서 구멍의 외부 둘레 가장자리에 가스제거수단으로서 개방부를 형성할 수 있어 가스제거수단사이의 거리를 종래(A부터 B까지의 거리)보다 단축할 수 있다.

따라서, 가스제거저항이 최대가 되는 가스제거수단사이의 중간부분의 가스제거저항은 종래 보다 작아지고, 배기 처리후에 초오크(12)의 스템부재(11)로의 압입면에 가스가 잔류하는 비율이 저하하기 때문에, 양극 실린더(1)내의 소정 진공도를 보다 확실하게 얻을 수 있다.

또한, 상기 가스제거수단으로서 상술의 실시 형태에서는 초오크(12)의 스템부재(11)로의 압입면에 구멍(17)을 형성하였으나, 도3과 같이 초오크(12a)의 스템부재(11)로의 압입면에 슬릿 형태의 구멍(17a)을 복수 개의 지점에 천공하여도 좋고, 구멍(17a)을 형성하여도 좋다.

또, 도4와 같이 초오크(12b)에의 압입면을 파형(波形)(17b)으로 형성하여도 좋고, 도5와 같이 초오크가 압입되는 스템부재(11a)의 압입면을 파형(17c)으로 하여도 좋다.

본 발명에 의하면, 입력부에서의 소망하지 않은 고조파, 특히 제5 고조파의 발생을 억제할 수 있다.

또한 초오크와 스템부재와의 압입면에 가스제거수단을 형성하게 되면, 배기 처리가 용이하여 양극 실린더내의 소정의 진공도를 보다 확실하게 얻을 수 있게 된다.

Claims (10)

1. 복수 개의 베인(2)을 중심방향으로 형성한 양극 실린더(1)와, 이 양극 실린더(1)의 중심에 설치된 필라멘트(3)와, 이 필라멘트(3)의 상단부를 지지하고, 필라멘트(3)와 하단부에서 접합하는 톱해트(4)와, 이 톱해트(4)와 상단부에서 접합하는 톱리이드(6)와, 상기 필라멘트(3)의 하단부를 지지하고 필라멘트(3)와 상단부에서 접합하는 엔드헤트(5)와, 이 엔드해트(5)와 상단부에서 접합하는 엔드리이드(7)와, 상기 양극 실린더(1)의 개방부 끝에 폴피이스(9), (10)을 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재(11)과, 이 스템부재(11)의 내부에 배치되는 초오크(12)를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크(12)를 톱리이드(6)의 연면(沿面)거리로 톱해트(4)로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에 배치한 것을 특징으로 한 마그네트론.
2. 복수 개의 베인(2)을 중심방향으로 형성한 양극 실린더(1)와, 이 양극 실린더(1)의 중심에 설치된 필라멘트(3)와, 이 필라멘트(3)의 상단부를 지지하고 필라멘트(3)와 하단부에서 접합하는 톱해트(4)와, 이 톱해트(4)와 상단부에서 접합하는 톱리이드(6)와, 상기 필라멘트(3)의 하단부를 지지하고 필라멘트(3)와 상단부에서 접합하는 엔드헤트(5)와, 이 엔드해트(5)와 상단부에서 접합하는 엔드리이드(7)와, 상기 양극 실린더(1)의 개방부 끝에 폴피이스(9), (10)을 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재(11)과, 이 스템부재(11)의 내부에 배치되는 초오크(12)를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크(12)를 톱리이드(6)의 연면거리로 엔드해트(5)로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2의 위치에 배치한 것을 특징으로 한 마그네트론.
3. 복수 개의 베인(2)을 중심방향으로 형성한 양극 실린더(100과, 이 양극 실린더(1)의 중심에 설치된 필라멘트(3)와, 이 필라멘트(3)의 상단부를 지지하고, 필라멘트(3)와 하단부에서 접합하는 톱해트(4)와, 이 톱해트(4)와 상단부에서 접합하는 톱리이드(6)와, 상기 필라멘트(3)의 하단부를 지지하고 필라멘트(3)와 상단부에서 접합하는 앤드해트(5)와, 이 엔드해트(5)와 상단부에서 접합하는 엔드리이드(7)와, 상기 양극 실린더(1)의 개방부 끝에 폴피이스(9), (10)을 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재(11)과, 이 스템부재(11)의 내부에 배치되는 초오크(12)를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크(12)를 톱리이드(6)의 연면거리로 상기 톱해트(4)와 상기 필라멘트(3)의 접합부로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에 배치한 것을 특징으로 한 마그네트론.
4. 복수 개의 베인(2)을 중심방향으로 형성한 양극 실린더(1)와, 이 양극 실린더(1)의 중심에 설치된 필라멘트(3)와, 이 필라멘트(3)의 상단부를 지지하고, 필라멘트(3)와 하단부에서 접합하는 톱해트(4)와, 이 톱해트(4)와 상단부에서 접합하는 톱리이드(6)와, 상기 필라멘트(3)의 하단부를 지지하고 필라멘트(3)와 상단부에서 접합하는 엔드해트(5)와, 이 엔드해트(5)와 상단부에서 접합하는 엔드리이드(7)와, 상기 양극 실린더(1)의 개방부 끝에 폴피이스(9), (10)을 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재(11)과, 이 스템부재(11)의 내부에 배치되는 초오크(12)를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크(12)를 상기 엔드리이드(7)의 연면거리로 엔드해트(5)와 필라멘트(3)의 접촉부로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2위치에 배치한 것을 특징으로 한 마그네트론.
5. 복수 개의 베인(2)을 중심방향으로 형성한 양극 실린더(1)와, 이 양극 실린더(1)의 중심에 설치된 필라멘트(3)와, 이 필라멘트(3)의 상단부를 지지하고 필라멘트(3)와 하단부에서 접합하는 톱해트(4)와, 이 톱해트(4)와 상단부에서 접합하는 톱리이드(6)와, 상기 필라멘트(3)의 하단부를 지지하고 필라멘트(3)와 상단부에서 접합하는 엔드해트(5)와, 이 엔드해트(5)와 상단부에서 접합하는 엔드리이드(7)와, 상기 양극 실린더(1)의 개방부 끝에 폴피이스(9), (10)을 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재(11)과, 이 스템부재(11)의 내부에 배치되는 초오크(12)를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크(12)를 톱리이드(6)의 연면거리로 톱해트(4)에서 대략 소정 고주파수의 파장 위치에, 그리고 상기 엔드리이드(7)의 연면거리로 엔드해트(5)로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2의 위치에 배치한 것을 특징으로 한 마그네트론.
6. 복수 개의 베인(2)을 중심방향으로 형성한 양극 실린더(1)와, 이 양극 실린더(1)의 중심에 설치된 필라멘트(3)와, 이 필라멘트(3)의 상단부를 지지하고, 필라멘트(3)와 하단부에서 접합하는 톱해트(4)와, 이 톱해트(4)와 상단부에서 접합하는 톱리이드(6)와, 상기 필라멘트(3)의 하단부를 지지하고 필라멘트(3)와 상단부에서 접합하는 엔드해트(5)와, 이 엔드해트(5)와 상단부에서 접합하는 엔드리이드(7)와, 상기 양극 실린더(1)의 개방부 끝에 폴피이스(9), (10)을 끼워서 기밀로 밀봉되는 스템부재(11)과, 이 스템부재(11)의 내부에 배치되는 초오크(12)를 갖는 마그네트론에 있어서, 상기 초오크(12)를 톱리이드(6)의 연면거리로 톱해트(4)와 상기 필라멘트(3)의 접합부로부터 대략 소정 고주파수의 파장 위치에, 그리고 상기 엔드리이드(7)의 연면거리로 엔드해트(5)와 필라멘트(3)의 접촉부로부터 대략 소정 고주파수의 파장의 1/2의 위치에 배치한 것을 특징으로 한 마그네트론.
7. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 초오크(12)의 필라멘트 측단면에 커얼부(13)를 형성하고, 이 커얼부(13)를 스템부재(11)에 맞접촉하게 한 것을 특징으로 한 마그네트론.
8. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 초오크(12)와 스템부재(11)의 압입면(壓入面)에 가스제거수단(17)을 형성한 것을 특징으로 한 마그네트론.
9. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스제거수단(17)을 상기 초오크(12)의 압입면에 형성한 것을 특징으로 한 마그네트론.
10. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스제거수단(17)을 상기 스템부재(11)의 압입면에 형성한 것을 특징으로 한 마그네트론.

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