KR100243254B1 - 투명도전성 조성물, 이로부터 형성된 투명도전막 및 그 제조방법 - Google Patents

투명도전성 조성물, 이로부터 형성된 투명도전막 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 투명도전성 조성물, 이로부터 형성된 투명도전막 및 그 제조방법 을 개시한다. 상기 조성물은 전도성 고분자, 결합제 및 용매를 포함하고 있는데, 결합제로서 실리콘 알콕사이드 올리고머를 사용한 데 그 특징이 있다. 본 발명의 투명도전성 조성물을 사용하면 투과도, 막경도 및 저항 특성이 매우 우수한 투명도전막을 얻을 수 있다.

Description

투명도전성 조성물, 이로부터 형성된 투명도전막 및 그 제조방법
본 발명은 투명도전성 조성물, 이로부터 형성된 투명도전막 및 투명도전막의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하기로는 표시장치의 전자파 차폐막 및 대전방지막 형성시 이용되는 투명도전성 조성물, 상기 조성물로부터 형성된 투명도전막과 그 제조방법에 관한 것이다.
투명도전막이란 광투과율이 높은 절연물질층의 표면에 형성된 얇은 도전막을 가르킨다. 여기에는 백금, 금 등의 금속박막과 산화인듐주석(indium tin oxide), 산화주석(tin oxide), 산화티탄(titanium oxide), 산화안티몬(antimony oxide) 등의 금속 산화물 박막이 속한다. 이러한 투명도전막은 가전기기의 정전기방지막과 전자파 차폐막, 평판표시소자의 전원인가용 투명전극 등에 사용된다.
투명도전막을 제조하는 방법으로는 통상적으로 스퍼터링법, 증착법, 이온빔법 등이 있다. 이러한 방법에 따르면, 진공장치 등과 같은 고가의 설비가 구비되어야 하고 400℃ 이상의 소성처리단계를 거친다. 따라서, 200℃ 이상의 온도에서 소성하는 것을 피해야 하고 저렴한 제조비용이 요구되는 표시장치, 특히 음극선관용 전자파 차폐막 및 대전방지막에 적용하기에는 실질상 어렵다는 문제점이 있다.
최근, 모니터 등에서 나오는 전자파가 인체에 매우 유해하다는 사실이 대두됨에 따라, 전자파에 대한 규제가 점차 강화되고 있는 실정이다. 이러한 전자파 규제에 대하여 효율적으로 대처하기 위해서는 전자파 차폐 및 대전방지효과가 우수한 투명도전막을 얻는 것이 우선적인 선결과제이다.
스웨덴 사무노동조합(The swedish Confederation Of professionall employees: TCO)의 전자파 규제에 대응할 수 있기 위해서는 투명도전막은 다음과 같은 특성을 만족해야 한다.
대전방지막으로 사용하는 경우, 투명도전막의 저항이 109Ω/?이하이어야 한다. 그리고 전자파 차폐막으로 사용하는 경우에는 저항이 103Ω/?이하이어야 하고 막경도가 5H 이상, 투명도가 95% 이상이어야 한다.
상술한 바와 같은 특성을 갖는 투명도전막을 얻기 위하여 투명도전막 형성용 재료로서 종래의 산화인듐티탄 등의 금속산화물대신 전도성 고분자를 이용하는 방법이 제안되었다. 이렇게 투명도전막 형성용 재료로서 전도성 고분자를 이용하는 경우, 제조비용이 저렴하고, 저온소성처리를 거쳐 투명도전막을 형성할 수 있다. 그러나, 전도성 고분자는 일반적으로 가시광 파장 영역의 빛을 흡수하거나 경도 등의 물성이 만족스럽지 않기 때문에 표시장치의 대전방지막 및 전자파 차폐막용으로 요구되는 투과도, 저항 및 막경도 특성을 갖는 투명도전막을 얻는 것이 실질적으로 용이하지 않다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 전도성 고분자에 실리콘 알콕사이드 등의 결합제를 첨가하는 방법이 제안되었다. 이 방법에 따르면, 결합제의 첨가로 투명도전막의 막경도는 5H 정도로 향상되었지만, 저항이 106Ω/?이상이고 투명도가 불량하여 표시장치의 전자파 차폐막 및 대전방지막으로 사용하기가 곤란하였다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기 문제점을 해결하여 저항, 막경도 및 투과도 특성이 우수한 투명도전막을 형성할 수 있는 투명도전성 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 조성물로부터 형성된 투명도전막을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 과제는 상기 투명도전막의 제조방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 단일 투명도전막의 구조를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 멀티 투명도전막의 구조를 나타낸 도면이다.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉
11, 21... 기판 12, 22... 도전막
13... 전도성 고분자 14, 24... 실리콘 알콕사이드의 가수분해물
23... 오버코팅막
상기 첫번째 과제를 이루기 위하여 본 발명에서는, 전도성 고분자, 결합제 및 용매를 포함하는 투명도전성 조성물에 있어서, 상기 결합제가 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물을 제공한다.
상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
본 발명의 두번째 과제는 전도성 고분자와 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물로 이루어진 도전막인 것을 특징으로 하는 투명도전막에 의하여 이루어진다.
〈화학식 1〉
상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
상기 전도성 고분자와 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물의 혼합중량비는 100:0.02 내지 100:99.98인 것이 바람직하다.
상기 투명도전막은 결합수지 또는 실란 화합물을 더 포함하기도 한다. 여기에서 전도성 고분자와 결합수지의 혼합중량비는 100:0.4 내지 100:95.3인 것이 바람직하고, 전도성 고분자와 실란 화합물의 혼합중량비는 100:0.02 내지 100:99.97인 것이 바람직하다.
본 발명의 두번째 과제는 또한, 상기 도전막 상부에 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물로 이루어진 오버코팅막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전막에 의하여 이루어진다.
〈화학식 1〉
상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임.
본 발명의 세번째 과제는 (a) 기판상에 전도성 고분자, 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 용매를 포함하는 조성물을 도포 및 건조하는 단계; 및
(b) 상기 결과물을 열처리하여 도전막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법에 의하여 이루어진다.
〈화학식 1〉
상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
본 발명의 세번째 과제는 또한, (c) 도전막 상부에 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 결합제를 포함하는 조성물을 도포 및 건조한 다음, 열처리하여 오버코팅막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법에 의하여 달성된다.
〈화학식 1〉
상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
본 발명에 따르면, 전도성 고분자 그리고 결합제로서 실리콘 알콕사이드 올리고머를 포함하고 있는 조성물로 투명도전막을 형성함으로써 투명도전막의 네트워크가 더욱 치밀화된다. 그 결과, 투명도전막의 막경도와 투과도가 향상되고 저항이최소화된다.
본 발명에 따른 투명도전성 조성물에 있어서, 전도성 고분자의 함량은 투명도전성 조성물의 총중량을 기준으로 하여 0.05 내지 5.0중량%이고, 결합제의 함량은 0.001 내지 4.0중량%인 것이 바람직하다. 전도성 고분자와 결합제의 함량이 상기 범위일 때 투명도전막의 막경도, 투과도, 저항 등의 특성이 가장 우수하다.
결합제로 사용되는 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머의 수평균분자량은 400 내지 2000인 것이 바람직하다. 이 때 상기 올리고머의 수평균분자량이 2000를 초과하면 조성물의 점도가 지나치게 높아져서 취급이 곤란하다. 그리고 상기 올리고머의 수평균분자량이 400 미만이면 투명도전막의 막경도가 불량해지므로 바람직하지 못하다. 여기에서, 실리콘 알콕사이드 올리고머의 적절한 함량은 조성물 전체 중량에 대하여 0.001 내지 4.0중량%이다.
본 발명에 따른 투명도전막용 조성물에는 폴리비닐알콜, 에멀겐(Emulgen) 810(KAO 케미칼사) 등의 결합수지(bonding resin)가 더 포함되기도 한다. 이와 같은 결합수지를 더 포함하고 있는 조성물을 이용하면, 투명도가 개선되고 막의 외표면이 매우 매끄러운 투명도전막을 얻을 수 있게 된다. 여기에서, 결합수지의 함량은 0.001 내지 1.0중량%가 바람직하다. 결합수지의 함량이 1.0중량%를 초과하면 투명도전막의 저항은 양호하지만, 투과도 및 경도 특성이 저하된다. 그리고 결합수지의 함량이 0.001중량% 미만이면 막의 표면장력을 저하시키는 효과가 미미하여 바람직하지 못하다.
또한, 본 발명의 투명도전성 조성물에는 테트라에톡시실란, 테트라메톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 에폭시실란(epoxy silane) 특히, 화학식 2의 에폭시실란 등의 실란 화합물을 더 포함시키기도 한다. 여기에서, 실란 화합물은 제2 결합제로서의 역할을 하여 막경도와 도전성 향상에 기여한다. 이 때 실란 화합물의 함량은 조성물 전체 중량에 대하여 0.001 내지 3.0중량%가 바람직하다.
상기식중, A는 C1∼C5알킬기이고, k는 0 또는 1이다.
본 발명에서 사용하는 전도성 고분자로는 도전성을 가지고 있고 통상 고분자 자체의 체적저항률(volume resistivity)이 105Ωcm 이하인 고분자이면 모두 사용가능하다. 구체적인 예로서 전도성 고분자가 폴리에틸렌 디옥시티오펜(polyethylene dioxythiophene: PEDT), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리푸란(polyfuran), 폴리파라페닐렌(polyparaphenylene) 및 폴리세레노펜(polyselenophene), PEDT와 폴리스티렌 술포네이트(polystyrene sulfonate: PSS)의 혼합물(PEDT/PSS) 등이 있는데, 그 중에서도 PEDT에 폴리스티렌 술포네이트(polystyrene sulfonate: PSS)를 혼합한 조성물(PEDT/PSS)이 가장 바람직하다.
상기 용매로는 메탄올, 에탄올, 이소프로필 알콜, n-부탄올 등의 알콜 용매, N-메틸피롤리돈(N-Methyl Pyrrolidone: NMP), N,N-디메틸포름아미드, 물 등을 사용한다.
이하, 본 발명에 따른 투명도전막용 조성물을 이용하여 투명도전막을 제조하는 방법과 그 방법에 따라 형성된 투명도전막의 구조 및 용도를 구체적으로 설명하기로 한다.
기판 상부에 전도성 고분자, 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 용매를 포함하는 조성물을 도포한다. 이 때 전도성 고분자이외에 폴리비닐알콜, 에멀겐 810(KAO 케미칼사) 등과 같은 물질을 더 부가할 수 있다.
이어서 상기 결과물을 건조 및 열처리하면, 도 1에 도시된 바와 같은 단일 투명도전막을 얻을 수 있다. 이 때 열처리는 100 내지 300℃에서 실시하는 것이 바람직하다.
도 1의 투명도전막은 기판 (11)위에 전도성 고분자 (13)와 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물 (14)로 이루어진 도전막 (12)으로 구성된다.
상술한 방법에 따라 제조된 단일 투명도전막은 대략적으로 막경도 7H, 저항 105Ω/?의 특성을 갖고 있으며, 이러한 투명도전막은 음극선관을 비롯한 표시장치의 전자파 차폐막으로 사용할 수 있다.
한편, 멀티 투명도전막을 얻기 위해서는, 먼저 기판 상부에 전도성 고분자, 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 용매를 포함하는 조성물을 도포 및 건조하여 도전막을 형성한다.
상기 도전막 상부에 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 결합제를 포함하는 조성물을 도포 및 건조한다. 이어서 상기 결과물을 열처리하여 오버코팅막을 얻는다. 이 때 열처리는 100 내지 300℃에서 실시하는 것이 바람직하다.
상술한 방법에 따르면, 도 2에 도시된 바와 같은 멀티 투명도전막을 얻을 수 있다. 상기 멀티 투명도전막의 구조를 살펴보면, 기판 (21)상에 전도성 고분자 (23)와 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물 (24)로 이루어진 도전막 (22)이 형성되어 있고, 상기 도전막 (22) 상부에 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물로 이루어진 오버코팅막 (23)이 형성되어 있다. 이와 같이 상기 도전막 (22) 상부에 실리콘 알콕사이드 올리고머 가수분해물을 이용하여 오버코팅막 (23)을 형성하면 저항이 103Ω/? 이하의 값을 갖는 저저항 투명도전막을 형성할 수 있어서 음극선관을 비롯한 표시장치의 대전방지막으로 유용하게 사용할 수 있다.
이하, 본 발명을 실시예를 들어 상세히 설명하기로 하되, 본 발명이 하기 실시예로만 한정되는 것은 아니다.
〈실시예 1〉
1.2wt% PEDT-PSS 수용액 30.0g, 물 16.0g, 메탄올 28.0g, 에탄올 18.0g, 이소프로필 알콜 6.9g, N-메틸피롤리돈 1.0g 및 메틸실리케이트 올리고머 0.1g을 혼합하여 제1코팅액을 제조하였다.
기판 상부에 상기 제1코팅액을 도포하고 약 50℃에서 건조한 다음, 냉각하여 도전막을 형성하였다.
이어서, 메틸실리케이트 올리고머 분산액 50g 및 에폭시실란 1g을 포함하는 제2코팅액을 상기 도전막 상부에 도포하고 약 150℃에서 소성 및 냉각하여 오버코팅막을 형성함으로써 멀티 투명도전막을 완성하였다.
〈실시예 2〉
제1코팅액 제조시, 메틸실리케이트 올리고머를 0.2g 사용한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
〈실시예 3〉
메틸실리케이트 올리고머 1.5g 및 트리메톡시메틸 실란 1.0g을 혼합하고, 여기에 1.2wt% PEDT/PSS 수용액 24.0g, 물 12.0g, 메탄올 20.0g, 에탄올 16.0g, 이소프로필 알콜 18.0g, N-메틸피롤리돈 2.0g 및 디메틸포름아미드 2.0g을 부가하여 제1코팅액을 제조하였다.
기판 상부에 상기 제1코팅액을 도포하고 나서 약 50℃에서 건조한 다음, 냉각하여 도전막을 형성하였다.
이어서, 메틸실리케이트 올리고머 분산액 50g 및 에폭시실란 1g을 포함하는 제2코팅액을 상기 도전막 상부에 도포하고 약 150℃에서 소성한 다음, 냉각하여 오버코팅막을 형성함으로써 멀티 투명도전막을 완성하였다.
〈실시예 4〉
제1코팅액 제조시, 결합제로서 메틸실리케이트 올리고머 1.5g 및 트리메톡시메틸 실란 0.8g을 사용한 것을 제외하고는, 실시예 3과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
〈실시예 5〉
0.5중량%의 폴리비닐알콜 수용액에 PEDT/PSS 용액 12.0g, 에탄올 8.0g, 메탄올 10.0g, 이소프로필 알콜 9.0g, 에멀겐 810(KAO 케미칼사) 1.0g, N-메틸피롤리돈 2.0g, DMF 2.0g 및 메틸실리케이트 올리고머 1.6g을 부가한 다음, 충분히 혼합하여 제1코팅액을 제조하였다.
기판 상부에 상기 조성물을 도포하고 약 50℃에서 건조한 다음, 냉각하여 도전막을 형성하였다.
이어서, 메틸실리케이트 올리고머 분산액 50 g 및 에폭실란 1g을 포함하는 제2코팅액을 상기 도전막 상부에 도포하고 약 150℃에서 소성한 다음, 냉각하여 오버코팅막을 형성함으로써 멀티 투명도전막을 완성하였다.
〈실시예 6〉
제2코팅액 제조시, 에폭시실란을 첨가하지 않은 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
〈실시예 7〉
제2코팅액 제조시, 에폭시실란을 첨가하지 않은 것을 제외하고는, 실시예 3과 동일한 방법에 따라 실시하였다.
〈비교예〉
1.2wt% PEDT-PSS 수용액 30g, 물 16.0g, 메탄올 28.0g, 에탄올 18.0g, 이소프로필 알콜 6.9g, N-메틸피롤리돈 1.0g 및 메틸실리케이트 모노머 0.1g을 혼합하여 제1코팅액을 제조하였다.
기판 상부에 상기 제1코팅액을 도포하고 약 180℃에서 건조한 다음, 냉각하여 도전막을 형성하였다.
이어서, 메틸실리케이트 모노머 1g 및 에폭시실란 50g을 포함하는 제2코팅액을 상기 도전막 상부에 도포하고 약 150℃에서 소성한 다음, 냉각하여 오버코팅막을 형성함으로써 멀티 투명도전막을 완성하였다.
다음의 표 1에는 상기 실시예 1-7 및 비교예에 따라 제조된 투명도전막의 특성을 측정하여 나타내었다.
구분 저항(Ω/?) 막경도(연필경도) 투과도(%)
실시예 1 103 5H 96
실시예 2 104 7H 96
실시예 3 105 7H 97
실시예 4 104 5H 97
실시예 5 104 5H 97
실시예 6 103 4H 96
실시예 7 105 6H 97
비교예 105 5H 82
상기 표 1로부터, 결합제로서 메틸실리케이트 올리고머를 사용한 경우(실시예 1-2)에는 투명도전막의 투과도가 우수하고 막경도와 저항이 양호함을 알 수 있었다.
또한, 제2의 결합제로서 메틸트리메톡시실란을 더 포함한 조성물을 이용한 경우(실시예 3-4)와 폴리비닐알콜을 더 사용한 경우(실시예 5)에는 실시예 1-2의 경우보다 투명도전막의 저항은 약간 크고 막경도는 거의 같은 정도이고, 투과도 특성은 약간 향상되었다.
한편, 에폭시실란을 부가하지 않은 제2코팅액을 이용한 경우(실시예 6-7)에는 실시예 1 및 3의 경우와 비교하여 막경도는 약간 저하되었지만 저항 및 투과도 특성은 동일한 정도로 우수하였다.
반면, 비교예의 경우에는 저항이 105Ω/?이며, 투명도가 약 82% 정도로 저하되었다. 이 때 막경도는 실시예 1 및 실시예 4의 경우와 동일하였다.
본 발명에 따르면, 투과도, 막경도 및 저항 특성이 매우 우수한 투명도전막을 얻을 수 있다.
본 발명에 따라 얻어진 단일 투명도전막은 저항이 105Ω/?, 막경도가 5H 이상, 투과도가 95% 이상의 특성을 가지므로 음극선관을 비롯한 표시장치의 전자파 차폐막에 유용하게 사용할 수 있다. 그리고 단일 투명도전막 상부에 오버코팅막을 더 형성시킨 멀티 투명도전막은 상기 단일 투명도전막보다 저항이 더 감소하여 103Ω/? 이하가 되기 때문에 음극선관을 비롯한 표시장치의 대전방지막으로 매우 유용하게 사용할 수 있다.

Claims (35)

  1. 전도성 고분자, 결합제 및 용매를 포함하는 투명도전성 조성물에 있어서,
    상기 결합제가 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
    〈화학식 1〉
    상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
  2. 제1항에 있어서, 상기 실리콘 알콕사이드 올리고머의 수평균분자량이 400 내지 2000인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 상기 전도성 고분자의 함량이 조성물 전체 중량에 대하여 0.05 내지 5.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 상기 실리콘 알콕사이드 올리고머의 함량이 조성물 전체 중량에 대하여 0.01 내지 4.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  5. 제1항에 있어서, 결합수지가 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  6. 제5항에 있어서, 상기 결합수지가 폴리비닐알콜(polyvinylalcohol)인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  7. 제5항에 있어서, 상기 결합수지의 함량이 조성물 전체 중량에 대하여 0.001 내지 0.1중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  8. 제1항에 있어서, 실란 화합물이 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  9. 제8항에 있어서, 상기 실란 화합물이 테트라에톡시실란, 테트라메톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란 및 화학식 2의 에폭시실란으로 이루어진 군으로부터 적어도 하나 선택되는 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
    〈화학식 2〉
    상기식중, A는 C1∼C5알킬기이고, k는 0 또는 1이다.
  10. 제8항에 있어서, 상기 실란 화합물의 함량이 조성물 전체 중량을 기준으로 하여 0.001 내지 3.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  11. 제1항에 있어서, 상기 전도성 고분자가 폴리에틸렌 디옥시티오펜(polyethylene dioxythiophene), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리아세틸렌(poly acetylene), 폴리푸란(polyfuran) , 폴리파라페닐렌(polyparaphenylene), 폴리에틸렌 디옥시티오펜(PEDT)과 폴리스티렌 술포네이트(polystyrene sulfonate: PSS)의 혼합물(PEDT/PSS) 및 폴리세레노펜(polyselenophene)으로부터 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 투명도전성 조성물.
  12. 전도성 고분자와 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물로 이루어진 도전막인 것을 특징으로 하는 투명도전막.
    〈화학식 1〉
    상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
  13. 제12항에 있어서, 상기 전도성 고분자와 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물의 혼합중량비는 100:0.02 내지 100:99.98인 것을 특징으로 하는 투명도전막.
  14. 제12항에 있어서, 결합수지가 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전막.
  15. 제14항에 있어서, 상기 결합수지가 폴리비닐알콜인 것을 특징으로 하는 투명도전막.
  16. 제14항에 있어서, 상기 전도성 고분자와 결합수지의 혼합중량비는 100:0.4 내지 100:95.3인 것을 특징으로 하는 투명도전막.
  17. 제12항에 있어서, 실란 화합물이 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전막.
  18. 제17항에 있어서, 상기 실란 화합물이 테트라에톡시실란, 테트라메톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란 및 화학식 2의 에폭시실란으로 이루어진 군으로부터 적어도 하나 선택되는 것을 특징으로 하는 투명도전막.
    〈화학식 2〉
    상기식중, A는 C1∼C5알킬기이고, k는 0 또는 1이다.
  19. 제17항에 있어서, 상기 전도성 고분자와 실란 화합물의 혼합중량비는 100:0.02 내지 100:99.97인 것을 특징으로 하는 투명도전막.
  20. 제12항에 있어서, 상기 도전막 상부에 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머의 가수분해물로 이루어진 오버코팅막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전막.
    〈화학식 1〉
    상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
  21. (a) 기판상에 전도성 고분자, 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 용매를 포함하는 조성물을 도포 및 건조하는 단계; 및
    (b) 상기 결과물을 열처리하여 도전막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
    〈화학식 1〉
    상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
  22. 제21항에 있어서, 상기 (b)단계에서 열처리가 100 내지 300℃에서 실시되는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  23. 제21항에 있어서, 상기 (a)단계에서, 전도성 고분자의 함량이 조성물 전체 중량에 대하여 0.05 내지 5.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  24. 제21항에 있어서, 상기 (a)단계에서, 실리콘 알콕사이드 올리고머의 함량이 조성물 전체 중량에 대하여 0.001 내지 4.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  25. 제21항에 있어서, 상기 (a)단계에서, 조성물에 결합수지가 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  26. 제25항에 있어서, 상기 결합수지가 폴리비닐알콜(polyvinylalcohol)인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  27. 제25항에 있어서, 상기 결합수지의 함량이 조성물 전체 중량에 대하여 0.001 내지 1.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  28. 제21항에 있어서, 상기 (a)단계에서, 조성물에 실란 화합물이 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  29. 제28항에 있어서, 상기 실란 화합물이 테트라에톡시실란, 테트라메톡시실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란 및 화학식 2의 에폭시실란으로 이루어진 군으로부터 적어도 하나 선택되는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
    〈화학식 2〉
    상기식중, A는 C1∼C5알킬기이고, k는 0 또는 1이다.
  30. 제28항에 있어서, 상기 실란 화합물의 함량이 조성물 전체 중량을 기준으로 하여 0.001 내지 3.0중량%인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  31. 제21항에 있어서, 상기 (a)단계에서, 전도성 고분자가 폴리에틸렌 디옥시티오펜(polyethylene dioxythiophene), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리아세틸렌(poly acetylene), 폴리푸란(polyfuran), 폴리파라페닐렌(polyparaphenylene), 폴리에틸렌 디옥시티오펜(PEDT)과 폴리스티렌 술포네이트(polystyrene sulfonate: PSS)의 혼합물(PEDT/PSS) 및 폴리세레노펜(polyselenophene)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  32. 제21항에 있어서, 상기 실리콘 알콕사이드 올리고머의 수평균분자량이 400 내지 2000인 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
  33. 제21항에 있어서, (c) 도전막 상부에 화학식 1의 실리콘 알콕사이드 올리고머 및 결합제를 포함하는 조성물을 도포 및 건조한 다음, 열처리하여 오버코팅막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명도전막의 제조방법.
    〈화학식 1〉
    상기식중, R은 수소 또는 C1내지 C20알킬기이고, n은 2 내지 10의 정수임
  34. 제33항에 있어서, 상기 (c)단계에서 열처리가 100 내지 300℃에서 실시되는 것을 특징으로 하는 멀티 투명도전막의 제조방법.
  35. 제33항에 있어서, 상기 실리콘 알콕사이드 올리고머의 수평균분자량이 400 내지 2000인 것을 특징으로 하는 멀티 투명도전막의 제조방법.
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