KR100214746B1 - 기판재료를 코팅하는 방법 - Google Patents

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도이체 포슝쟌스탈트 피어루프트-운트라움파르트메 에. 파우.
뵈스트-알파인스탈 린츠게스. 엠. 베. 하.
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Abstract

본 발명은 기판재료를 코팅하는 방법 및 장치에 관한 것으로 구체적으로는 코팅재료가 부압력하 코팅챔버내에서 레이저빔에 의한 제거영역내에서 제거되고 기판재료의 방향으로 코팅입자 스트리임형태로 퍼지며 코팅형태로 용착되고 상기 기판재료가 플랫재료이며 상기플랫재료가 상기 코팅챔버를 통과해 연속적인 스트립으로서 연속적으로 통과되고 실질적으로 내부에 유지된 부압력하에 코팅되며 필수적인 코팅물질이 상기 부압력이 실질적으로 유지되는 동안 코팅챔버로 공급되는 방법 및 장치에 관한 것이다.

Description

기판재료를 코팅하는 방법
본 발명은 기판재료를 코팅하는 방법에 관한 것으로 구체적으로는 코팅재료가 부압력 (negative pressure)하 코팅챔버내에서 레이저빔에 의한 제거영역내에서 제거되고 기판재료의 방향으로 코팅입자 스트리임형태로 퍼지고 코팅형태로 용착되는 기판재료를 코팅하는 방법에 관한 것이다.
이러한 방법들은 선행기술로부터 공지되어 있다. 그러나, 모든 이러한 방법에서, 코팅하는 기판재료가 코팅챔버로 도입되고 상기 코팅챔버는 부압력이 되며 그후 코팅재료를 레이저빔으로 제거한다.
이러한 방법은 대량의 레이저코팅된 기판재료의 제조에 효과적이 아니고 그결과, 채택될 수 없다.
본 발명의 목적은, 그 결과 기판재료가 레이저제거에 의해 대량으로 코팅될 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은 기판재료가 플랫(flat)재료가 되고 상기 플랫재료가 코팅챔버를 통해 연속적인 스트립으로서 연속적으로 통과되고 부압력이 유지되는 가운데 코팅되며 필수적인 코팅재료가 부압력이 유지되는 가운데 코팅챔버로 공급됨에 의해 서두에 기술된 종류의 본 발명의 방법에 따라서 이루어질 수 있다.
본 발명방법의 이점은 그 결과, 연속적인 스트립을 형성하기 위해 기판재료의 개개의 조작을 연결시킴에 의해서, 코팅챔버를 통해 연속적으로 즉, 일정한 속도 또는 특정한 공급사이클로 상기 연속스트립을 통과시키고 이렇게 하는 동안 코팅챔버내 부압력을 유지시키며, 본 발명에 따른 경우에 기판재료 즉, 연속스트립상에 바람직스럽기로는 일정한 코팅이 이루어 지도록 연속스트립이 연속적으로 통과되는 동안 꾸준히 코팅을 수행하는 것이 가능하다는 점이다.
코팅챔버내 부압력을 만든 선행기술로부터 공지된 펌프 아우트시간이 그것에 의해서 제거되고 그결과 레이저제거가 기술상 대규모로 이루어지는 것이 가능해진다.
기술상 대규모로 사용될적에, 코팅챔버를 통해 연속적으로 작동하는 연속스트립 때문에, 대량의 코팅재료가 코팅챔버내 도입되는 것이 또한 필요하며 그결과 코팅재료가 연속스트립의 통과에 의해 간섭받지 않고 공급되는 것이 적합하다.
또한, 연속스트립상에 코팅에 의한 간섭없이 공급되는 것이 코팅재료의 부형제이다.
기술상 대규모로 연속스트립을 코팅함에 따른 문제는 또한 연속스트립에 영구적으로 부착하여 가능한한 일정하게 코팅이 이루어져야 한다는 사실이며 특히 실질적으로 일정한 두께를 가져야만 한다는 사실이다.
그결과, 본 발명의 방법 및 장치의 특히 바람직스러운 구체적실시예에서, 플랫재료상에 일정한 코팅을 이루기 위해 코팅입자 스트리임이 연속스트립의 통과방향을 관통하는 방향으로 성분을 가진 플랫재료에 관하여 이동되도록 공급된다.
한편으로, 이러한 이동은 횡방향으로 성분을 가지고 진동하며 코팅입자가 회전됨에 의해 이루어진다.
달리, 그러나 코팅입자 스트리임이 횡방향성분으로 평행하게 이동되는 것이 또한 편리하다. 코팅두께를 일정하게 유지하기 위해서 또한, 제거영역 및 플랫재료사이의 간격에 대해 횡방향성분을 가진 코팅입자 스트리임이동의경우에, 코팅입자 스트리임에 의해 접촉된 플랫재료의 영역이 실질적으로 일정하게 유지되는 것이 특히 적합하다.
여러 발명상의 해결안이 플랫재료에 대한 횡방향성분을 가진 코팅입자 스트리임의 변위에 대해 제공된다. 예컨대, 횡방향성분을 가진 코팅입자 스트리임의 변위에 대한 하나의 편리한 용액에서는 제거영역이 횡방향성분으로 배치된다. 더욱이, 가능한한 횡방향으로 즉 플랫재료 또는 연속 스트립의 폭에 대해서 일정한 코팅을 이루기 위해서 제공되는 여러 제거영역에 대해서, 플랫재료에 관한 코팅입자 스트리임의 변위에 대한 대안으로서 또는 이에대한 보충으로서 적합하다. 특히, 횡방향으로의 제거영역공간이 실질적으로 개개의 제거영역으로부터 퍼지는 코팅입자 스트리임이 서로다른 것에 중첩되지 않도록 선택되는 것이 편리하다. 상기의 경우에, 그러나 상이한 코팅입자 스트리임농도가 코팅입자 스트리임에서 보상되어야 한다.
이에대한 대안으로서, 제거영역의 간격이 이로부터 퍼지는 코팅입자 스트리임이 서로다른 것에 중첩하도록 선택되는 것이 본 발명의 영역내에서 보다 적합하다. 이렇게 포개짐에 따라서, 적어도 어떤 영역내에서, 상이한 코팅입자 스트리임농도에 대한 보상을 제공하는 것이 가능하다.
그결과, 특히 바람직스러운 구체적실시예에서, 간격이 서로다른 것과 중첩하는 코팅입자 스트리임이 실질적으로 일정한 코팅입자 스트리임농도를 가진 전체입자 스트리임을 형성하도록 선택된다.
제거영역이 횡방향으로 서로다른 것과 간격이 떨어져서 부여됨에 따라, 여러가지 상이한 방법으로 제거가 이루어질 수 있다. 하나의 유리한 구체적 실시예에서, 제거가 단일 레이저빔으로 차례로 횡방향으로 서로다른 것에 간격이 떨어져 있는 관계로 배열되어 있는 제거영역상에서 수행되며 즉, 상기 단일 레이저빔의 굴절에 대해 제공되는 장치가 차례로 개개의 제거영역과 접촉하도록 만든다. 이것은 누구나 단일 레이저를 가지고 작업할 수 있도록하는 이점이 있으며 각각의 제거영역내 실질적으로 동일 에너지를 생성하면서 증발이 발생한다.
상기에 기술된 절차 및 관련장치는 그러나 전체제거에 필수적인 레이저전력을 만들어내기위해서 매우 높은 전력을 가져야한다는 불리점이 있다.
이러한 이유 때문에, 제거가 횡방향으로 서로다른 것과 간격이 떨어져 배열된 증발영역에 대한 각각 하나의 레이저빔으로 동시에 수행되는 것이 유리하다. 상기 레이저빔은 예컨대 각기 하나의 레이저로부터 나올 수 있고 그결과 각각의 제거영역이 그와 관련된 레이저의 레이저빔에 의해 영향이 미쳐진다. 그러나, 여러가지 제거영역이 하나의 레이저를 경유하여 공급되는 것이 또한 가능하며 상기 하나의 레이저의 레이저빔이 그후 상이한 제거영역으로 이끄는 상이한 레이저빔에 대응하는 기하학적 광학수단에 의해 나누어지게 된다. 이러한 방법으로, 예컨대, 다수의 제거영역이 명백히 그와 관련된 개개의 제거영역을 가진 더 작은 수의 레이저에 의해 공급될 수 있다.
또한, 본 발명의 영역내에서, 차례로 그와 관련된 여러가지 제거영역상에 단일 레이저의 레이저빔을 향하게 하지만 동시에 제거영역 총수의 일정량이 각기 하나의 레이저빔에 의해 차례로 작용되도록 그의 레이저빔과 동일한 것을 수행하기 위해 여러가지 레이저를 동시에 제공하는 것이 가능하다.
또한, 특히 그의 밀도의 코팅이 균등하게 되도록 하기 위해서, 코팅재료에 대한 여러가지 제거영역이 연속스트립이 통과하는 방향으로 연속하여 배열되는 것이 또한 편리하다.
통과방향으로 연속적으로 배열되는 상기 제거영역에서, 보다 더 큰 층성장이 이러한 배열에 따라 또한 횡방향 오프셋관계로 통과방향으로 연속적으로 배열되는 제거영역을 배치하고 심지어 더 커다란 코팅의 균일함이 얻어질 수 있도록 하기위해 동일한 코팅재료가 바람직스럽기로는 증발된다.
더욱이, 연속스트립의 통과방향으로 연속적으로 여러가지 제거영역을 배치하는 것은 또한 상이한 코팅재료를 제거하는 결과, 상이한 코팅재료의 상이한 층을 함유하는 코팅을 부착시키는 것 또는 상이한 제거조건하 상이한 코팅재료를 제거하는 것을 가능하게 하지만 상기 혼합된 코팅의 혼합부분이 개개의 코팅재료에 대한 제거조건에 따라 교환가능함에 따라 코팅입자 스트리임이 서로 혼합되는 것을 확실히하며 그결과 혼합코팅을 야기시키는 것을 가능하게 한다.
상이한 코팅재료로써, 플랫재료가 횡방향으로 실질적으로 일정한 코팅입자 스트리임밀도를 가진 제1코팅입자 스트림에 의해 그리고 동시에 연속스트림의 통과방향으로 오프셋관계로 배열되고 횡방향으로 실질적으로 일정한 코팅입자 스트리임밀도를 가지는 제2코팅입자에 의해 코팅되는 것이 특히 편리하다.
예컨대, 본 발명에 따라, 코팅입자 스트리임은 두께에 있어서 가능한 약간의 차이를 가진 코팅인 동일한 코팅재료를 운반하고 코팅입자 스트리임이 상이한 코팅재료를 운반할적에, 적어도 전체로 실질적으로 일정한 두께를 가진 코팅재료의 분리된 층을 가진 혼합코팅 또는 코팅이 그결과 적용될 수 있다.
상기의 구체적실시예에 관한 설명에서, 코팅재료가 코팅챔버로 어떻게 도입되고 제거되는지에 관하여 어떠한 세부사항도 제시되지 않는다. 특히 바람직스러운 구체적실시예에서 고체로부터 제거되는 코팅재료가 제공된다.
가장 간단한 경우에, 고체는 코팅재료로 만들어진다.
특히 혼합코팅으로써, 그러나, 여러가지 코팅재료로 만들어진 고체에 대해 제공되고 레이저제거는 상이한 코팅재료가 실질적으로 동일한 방법으로 제거될 수 있다는 커다란 이점을 제공한다.
가장 간단한 경우에, 특히 혼합코팅제조에 대하여, 레이저방사선으로 수월하게 제거될 수 있는 코팅재료의 실질적으로 균일한 혼합물로 구성되고 플랫재료에 대해 가능한한 균일한 층형태로 가해지는 체가 제공된다.
그러나, 고체가 예컨대, 코팅재료의 변화가 고체상에 움직이는 제거영역에 의해 가능해짐에 따라 고체가 공간에 분리된 배열로 여러코팅재료를 구성하는 것이 또한 가능하다.
코팅재료의 제거에 대한 대안으로서, 고체로부터 출발해서 코팅재료가 용해된 괴상으로부터 제거되는 것이 또한 가능하다. 코팅재료가 연속적으로 용해된 괴상으로부터 특히 유리한 방법으로 코팅챔버로 공급될 수 있고 예컨대 용해된 괴상의 표면레벨을 일정하게함에 의해 제거영역과 플랫재료사이의 간격이 장시간에 걸쳐 단순한 방법으로 일정하게 유지될 수 있다.
코팅재료가 고체로부터 제거되는 본 발명의 방법 및 본 발명의장치의 모든 구체적실시예에서, 타겟형태로 코팅챔버에 도입되는 코팅재료에 대해 바람직스럽게 준비된다.
가능한한 유리하게 타겟으로부터 코팅재료를 제거하기 위해서, 코팅재료로 만들어진 타겟의 말단표면에 배열되는 제거영역에 대해 편리한 구체적실시예에서 준비된다.
이에대한 대안으로서, 본 발명의 방법에 있어서, 제거영역이 코팅재료로 만들어진 타겟의 정면측 말단에 배열되는 것이 또한 유리하다.
모든 경우에, 코팅재료가 타겟으로부터 가능한한 일정하게 제거되어야만 한다는 문제점이 있다. 이러한 이유 때문에, 제거영역에 대한 본 발명에 따른 유리한 해결안에서, 타겟 및 타겟상의 레이저빔사이의 상대적인 움직임에 따라 움직이는 제거영역에 대해 제공된다. 상기 언급된 해결안은 제거영역의 움직임이 그의 제거영역내 타겟의 일정한 형태를 야기시킬적에 즉, 타겟이 항상 제거영역의 움직임에 의해 어떠한 형태로 유지될적에 특히 유리하다.
예컨대, 플랫표면으로서 타겟의 제거영역을 디자인하고 제거영역의 움직임에 의해 표면형태를 유지하는 것이 가능하다. 그러나 또한 구의 콘 또는 캡형태로서 타겟의 제거영역을 디자인하고 제거영역의 움직임에 의해 구의 상기 콘 또는 상기 캡의 형태를 유지시키는 것이 그러나, 또한 가능하다.
가장 간단한 경우에, 레이저빔의 이동에 의해 이행되는 레이저빔과 타겟사이에 상대적인 이동을 위해 바람직스러운 해결안내에서 제공된다. 이것은 레이저빔이 예컨대 광학굴절수단에 의해 간단한 방법으로 움직일 수 있기 때문에 편리하다. 동시에, 이것은 공간상에서 레이저빔의 움직임에 따른 타겟과 관련하여 이동하는 제거된 코팅입자 스트리임을 야기시키고 정지 타겟 및 횡방향으로 옮겨질 수 있는 플랫재료로써 그결과, 코팅입자 스트리임내 상이한 코팅입자 스트리임밀도가 이루어질 수 있다.
이에대한 대안으로서, 그러나 또한 타겟의 이동에 의해 레이저빔과 타겟사이의 상대적인 이동이 이루어지는 것이 또한 유리하다. 이것은 정지 레이저빔으로써 코팅입자 스트리임이 또한 움직이지 않는다는 이점이 있으며 정지코팅입자 스트리임이 바람직한 모든 구체적실시예에서 마찬가지로 편리하다.
코팅챔버로 코팅재료를 도입하는 것이 연속적인 스트랜드형태인 타겟에 의해 특히 간단한 방법으로 가능해질 수 있다. 그후 바람직스럽기로는 둥근횡단면을 가진 스트랜드에 대해 제공될 수 있다. 그러나, 이에대한 대안으로서 본 발명의 해결안의 영역내에서 스트랜드가 바람직스럽기로는 직사각형 횡단면을 가진 스트립의 형태인 것이 또한 가능하다.
스트랜드는 코팅챔버로 수월하게 도입시키는 이점을 제공하며 다시말하자면 스트랜드에 의하여 코팅챔버로 밀봉된 록을 통해 도입되고 연속적으로 공급된다.
스트랜드형태로 코팅재료를 도입시키는 것에 대한 대안으로서, 서로다른 것으로부터 분리되는 코팅재료의 조각들에 의해 형성된 타겟에 대해 또다른 본 발명의 해결안내에서 제공된다.
상기의 경우에, 그후에 코팅재료가 코팅챔버로 이들 조각들내에 도입되는 것이 편리하다.
코팅챔버내 부압력을 유지하기 위해 코팅챔버로 록을 통해 도입되는 조각들에 대해 제공된다. 특히 코팅절차를 중단시키지 않기위해서 또하나의 조각이 코팅재료가 하나의 조작으로부터 제거되는 동안 코팅챔버로 도입되는 것이 특히 유리하다.
지금까지 조각의 형태에 대한 어떠한 세부사항도 주어지지 않았다. 여기서 조각이 연장된 실린더의 형태를 가지는 것이 유리하다.
또한, 특히, 이들 조각들로부터 코팅재료를 일정하게 제거하기 위해 실린더가 그의 실린더축에 대해 회전하면서 탑재되는 것이 유리하다. 바람직스러운 배열에서, 연속스트립의 이동방향을 가로질러 확장하는 실린더축에 대해 제공된다.
또한, 실린더축이 연속적인 스트립 또는 플랫재료의 표면에 실질적으로 평행하게 배열되는 것이 이러한 경우에, 예컨대, 특히 간단한 방법으로 코팅입자 스트리임이 제거영역의 이동에 의해 움직여지는 것이 가능하기 때문에 유리하다.
조각의 도입은 매가진 챔버(megaine chamber)가 바람직스럽기로는 코팅챔버로 들어감에 따라 조각들이 매가진 챔버내 배열됨에 의해 특히 간단한 방법으로 이루어진다. 차례로 제거되기 위해 제공된 조각들이 여러가지 다른 방법으로 배열될 수 있다. 조각들이 차례로 조각들을 제거를 위한 타겟위치로 이동 시키는 것을 가능하게하는 회전매가진내 배열되는 것이 특히 편리하다.
회전매가진내 가능한한 높은 저장밀도를 이루기 위해서, 회전매가진내 서로다른 것에 평행하게 배열되는 조각이 제공된다.
또한, 예컨대, 회전매가진으로부터 하나의 조각을 제거하는 동안 회전매가진이 또다른 조각으로 재충전될 수 있도록 조각들로 재충전되는 회전매가진에 대해 회전매가진에 따른 본 발명의 해결안의 유리한 변형내에서 제공된다.
회전매가진이 매가진챔버내 설치되는 본 발명의 해결안이 특히 편리하다.
여러가지 매가진챔버가 다른 매가진챔버가 코팅챔버로부터 분리되는 동안 예컨대 하나의 매가진챔버로부터의 조각이 제거될 수 있고 그안의 회전매가진의 재충전이 실행될 수 있도록 제공되는 것이 특히 유리하다.
따라서, 여러가지 매가진챔버가 제공될적에, 특히, 코팅챔버로부터 진공상태로 분리되는 매가진챔버내 제거에 의해 소모되는 조각들이 교체되는 동안 매가진챔버로부터 적어도 하나의 조각이 제거되는 용액이 바람직스럽기로는 선택된다. 조각형태의 타겟이 사용될적에, 특히 조각들이 연속스트립의 이동방항을 가로지르는 방항으로 펼쳐지는 것이 편리하다는 것이 입증되었고 특히 조각들이 전체 연속스트립에 대한 방향으로 확장되는 것이 유리하다.
상기의 경우에, 조각들이 여러가지 레이저빔에 의해 작용하여 여러가지 제거영역이 그결과 만들어지는 것이 바람직스럽다. 이에대한 대안 또는 보충으로서, 그러나, 제거되는 조각과 레이저빔사이의 상대적인 이동에 기인하여 제거영역이 움직여지고 가장 간단한 경우에, 제거영역을 연속스트립의 전체폭에 대해 움직이는 해결안을 제공하는 것이 가능하다.
가장 간단한 경우에, 상대적인 이동은 정지조각과 관련있는 레이저빔의 이동에 의해 마찬가지로 이루어질 수 있다. 그러나, 또한 상대적인 이동이 정지레이저빔에 관련된 조각의 이동에 의해 실행되는 것이 가능하다.
모든 경우에, 제거영역의 움직임이 조각으로부터 코팅재료를 일정하게 제거하기 위해 사용되는 것이 특히 유리하다.
상기 기술된 모든 구체적실시예에서, 타겟형태로 제공되는 코팅재료가 코팅을 부착시키기 위해 사용되는지 또는 상기 코팅재료가 우선 변화를 거치는가하는 것이 명시되어 있지않다. 특히, 금속으로 구성된 코팅이 연속스트립에 적용되는 바람직스러운 구체적실시예에서, 코팅입자 스트리임내 화학반응을 거치지 않고 플랫재료상에 코팅을 부착시키는 제거된 코팅재료의 원자 또는 분자가 제공된다. 이에대한 대안으로서, 그러나, 특히 세라믹코팅의 부착이 플랫재료상에 코팅의 적어도 일부분을 형성하는 화학화합물을 형성하기 위해 제거된 코팅입자 스트리임의 원자 또는 분자가 후자를 관통하는 반응기체와 반응하게하는 것이 가능하며 상기의 경우에 이러한 반응의 반응속도 및 반응의 용이함이 고려되어야 한다. 예컨대 특수한 세라믹재료로 이러한 반응을 실행하는 것은 가능하지 않으며 이것들이 또한 고체인 이미 존재하는 화합물로서 제거되고 화합물입자 스트리임내 화학적인 변화를 거치지 않고 플랫재료에 적용된다.
상기 기술된 구체적실시예에서, 코팅의 균일함 특히 코팅두께의 균일함이 플랫재료에 관련된 코팅입자 스트리임의 이동에 의해 이루어질 수 있다는 것이 설명될뿐이다.
또다른 바람직한 구체적실시예에서, 그러나 상기 코팅입자 스트리임내 코팅입자 스트리임 밀도성분을 줄이기 위해 제거영역 및 플랫재료사이에 그의 방향으로 부가적으로 작용되는 코팅입자가 제공된다. 코팅입자 스트리임내 작용하는 특히 간단한 방법은 코팅입자 스트리임이 또다른 입자들에 의해 작용되도록 하는 것이다.
이들 또다른 입자들은 임의의 선택된 종류일 수 있고 그러나, 특히 또다른 입자가 기체입자인 것이 유리하다.
또다른 입자들이 바람직스럽기로는 코팅입자 스트리임에 부딪히는 입자 스트리임의 형태로 도입된다.
가장 간단한 경우에, 이것은 코팅입자 스트리임을 가로지르는 부가적인 입자스트리임에 의해 해결된다. 이에대한 대안 또는 보충으로서, 그러나 또한 또다른 입자들이 실질적으로 플랫재료를 따라 이동되는 입자구름형태로 도입되는 것이 가능하다.
균일한 코팅입자 스트리임밀도는 바람직스럽기로는 충돌에 의해 또다른 입자들과 상호작용하는 코팅입자 스트리임에 의해 바람직스럽게 이루어진다.
제거영역으로부터 플랫재료까지중에 또다른 입자들과의 평균적으로 적어도 한번의 충돌을 야기시키는 코팅입자 스트리임이 편리하게 제공된다. 그결과, 또다른 입자들에 가해지는 압력이 따라서 코팅입자들에 대한 자유경로가 제거영역 및 플랫재료사이의 간격크기의 순서로 놓이도록 선택된다. 더 높은 정도의 상호작용이 요구된다면, 본 발명에 따라서 압력을 증가시킴에 의해 또다른 입자들과 평균적으로 대략 열번의 충돌을 증가시키는 것이 가능하다.
특히, 부가적으로 연속스트립을 가로지르는 방향으로 향상된 균일함을 이루기 위해서, 연속적인 스트립의 이동방향을 가로지르는 방향의 성분으로 이동되는 또다른 입자스트림 및 이러한 이동에 의해 횡방향을 따라 이동되는 코팅입자 스트리임에 대해 제공된다.
부가적으로, 진행방향으로 또는 연속스트립의 진행방향에 반대인 방향으로 흐름성분을 가지는 또다른 입자스트리임에 대해 제공될 수 있다. 가장 간단한 경우에, 또다른 입자스트리임이 불활성기체흐름이 되도록 하는 설비가 만들어진다. 이러한 경우에, 어떠한 반응도 코팅입자 스트리임의 코팅입자들 사이에서 일어나지 않아야만 한다. 그러나, 특히, 세라믹코팅이 연속스트립에 적용될적에, 또다른 입자스트리임이 반응활성기체가 되는 것이 또한 가능하고 그결과 한편으로는 상기 반응활성기체흐름이 코팅입자 스트리임 밀도성분의 균일함에 기여하고 달리는 반응활성기체흐름 때문에, 화학반응은 그후 연속스트립상에 부착하는 코팅의 적어도 일부가 되는 화학화합물을 형성하는 코팅입자들에 발생한다. 상기에서, 균일한 코팅입자 스트리임 밀도성분이 야기되는 것이 단순히 설명된다. 부가적인 입자들과 함께, 그러나 또다른 입자들에 의해 코팅입자 스트리임내 코팅입자들의 속력조절을 야기시키는 것이 또한 가능하다.
여기에 특히 코팅입자 스트리임내 코팅입자들의 속력의 적어도 부분적인 열중성자화가 또다른 입자들에 의해 수행되는 것이 특히 편리하다.
이것은 코팅입자 스트리임내 매우 빠른 입자들이 브레이크가 걸리고 그결과 매우 큰 속도로 플랫재료에 부딪치지 않는 고플랫재료상에서 성장하는 코팅형성이 보다 우수해지고 단단해지는 이점을 가지는 반면 너무 재빠른 입자들은 이미 부착된 코팅으로부터 또는 플랫재료로부터 다시 입자들을 제거한다.
코팅입자 스트리임에 작용하는 또하나의 가능한 방법은 코팅입자 스트리임에 대해 기체방출에 의해 작용된다.
기체방출이 글로(glow)방출이 되는 설비가 바람직스럽게 이루어진다.
상기 글로방출은 편리하게 또다른 방출입자들에 의하여 유지되고 바람직스럽기로는 또다른 방출입자들이 코팅입자 스트리임과 상호작용하는 설비가 이루어진다.
또다른 방출입자들의 상호작용이 바람직스럽기로는 코팅재료의 스트리임과의 충돌에 의해 야기된다. 특히, 낮은 압력으로 작용될 수 있기 위해서, 글로방출이 자기장에 의해 안정화되도록하는 설비가 만들어진다. 상기 자기장은 전자들이 원내에서 방향이 정해지는 이점을 가지고 그결과, 전자들의 커다란 자유경로길이에도 불구하고 중요한 수의 충돌이 전자들에 의해 실행된다.
또한, 본 발명의 바람직스러운 구체적실시예에서, 방출입자들의 공급에 의해 안정화되는 설비가 글로방출에 대해 제공된다. 방출입자들의 공급은 예컨대, 기체공급일 것이다.
그러나, 글로방출이 레이저제거시 방출되는 전자들에 의해 안정화되는 것이 매우 적합하다. 상기 전자들은 예컨대 하나 또는 여러개의 양극들이 바람직스럽게 코팅입자 스트리임측에 배열됨에 따라 양극에 대한 음극으로써 제거영역으로부터 펼쳐져 있는 장을 적용함에 의해 사용될 수 있다.
코팅입자 스트리임은 바람직스럽기로는 방출입자의 이동방향을 가로질러 글로방출에 들어가는 코팅입자 스트리임에 의해 작용을 받는다.
또다른 구체적실시예에서, 코팅입자 스트리임이 방출입자들의 이동방향으로 글로방출에 들어가고 글로방출내에 존재하게 된다.
초기에, 상호작용이 바람직스럽기로는 노말가스와 동일한 방법으로 글로방출내 발생하고 즉, 방출입자속력의 조절은 충돌상호작용에 의해 발생한다.
부가적으로, 코팅입자들과 전자들사이의 충돌은 이온의 형태로 그후 글로방출내 전기장의 작용이 그후 가해지는 코팅입자들의 이온화를 야기한다.
코팅입자들의 상기 부가적인 이온화는 플랫재료를 향한 방향으로 움직이는 모든 이온들이 음극에서 실질적으로 전압강하에 따라 음극 바로 가까이의 앞에서 가속화되는 결과 이온들의 총수가 부착된 코팅에 일정한 속력으로 부딪히는 또하나의 이점이 있다.
음극에서, 이온들은 제거된 중성입자들의 에너지보다 더 높고 코팅성장을 개선하는 수 100eV의 에너지를 받고 더 커다란 양의 에너지로서 코팅의 점착특성은 코팅내 이들 입자들의 원하는 공간배열을 이루기 위해 현상 플라스마내 입자들에 유효하다.
코팅입자 스트리임상에 작용하는 또하나의 가능성은 코팅입자 스트리임이 방사에 의해 작용을 받는다는 것이다.
방사작용의 하나의 구체적실시예는 전자기방사선에 의한 코팅입자 스트리임상에 작용이고, 또다른 대안 또는 보충은 전자방사선에 의한 코팅입자 스트리임상의 작용이다. 코팅입자 스트리임사에 작용하는 가능성과 함께, 방사선에 의하여 선택적으로 코팅입자 스트리임밀도 구배에 감소를 야기시키는 바와같은 코팅입자 스트리임이 우선성을 갖는다. 여기서, 예컨대, 코팅입자 밀도구배를 맞추는 코팅입자 스트리임의 선택적인 가열이 인식된다. 또하나의 대안은 이온흐름에 의하여 코팅입자 스트리임에 작용하는 것이고 이온흐름은 전기장이나 자기장내에서 정의된 방향으로 유지된다.
코팅입자 스트리임밀도를 맞추기 위해 코팅입자 스트리임상에 작용하는 것을 별개로하고, 코팅입자 스트리임이 코팅입자들사이의 에너지차를 줄이기 위해 제거영역과 플랫재료 사이에서 부가적으로 진행방향으로 작용되는 것이 유사하게 적합하다. 여기서, 코팅입자 스트리임이 이온전류에 의해 바람직스럽기로는 글로방출로부터 작용되는 것이 적합하다. 글로방출을 배열하고 안정화시키는 것에 이로운 가능성뿐만 아니라 글로방출로 얻어질 수 있는 효과는 이미 상기에서 설명된 바와같다. 또다른 가능성은 코팅입자 스트리임이 방사선에 의해 작용되는 것이고 전자기방사선 또는 전자방사선이 바람직스럽다.
또한, 본 발명의 해결안의 범위내에서, 바람직스럽기로는 코팅의 점착 및 밀도에 대한 코팅특성을 개선하기 위해 플랫재료상에 성장시 고에너지 입자들에 의해 작용을 받는 것이 이롭다.
여기에서, 부착되는 코팅이 이온충격에 의해 작용을 받는 것이 특히 편리하다. 이들 이온들은 예컨대 이온총(gun)으로부터 나올 수 있다. 부착된 코팅의 이온충격에 대한 또하나의 가능성은 이온이 기체방출-특히 글로방출 및/또는 코팅입자 스트리임으로 오는 것과 기체방출의 음극의 경우에 코팅의 방향으로 가속되는 것이다. 여기서, 코팅입자 스트리임의 재이온화는 그의 이온농도를 증가시키기 위해 특히 유리하다.
세번째 가능성은 코팅이 전자들에 의해 작용을 받는 것이다.
본 발명의 해결안에서, 모든 고전력레이저, 특히, CO2레이저, Nd YAG레이저, 엑시머레이저, 자유전자레이저 또는 반도체레이저가 사용가능하다.
전력밀도에 따라서, 코팅입자 스트리임내 작은 물방울, 괴상 및 원자들이 달라질 수 있다.
그결과, 프로세스를 실행하기 위한 하나의 가능성에 있어서, 제거영역내 레이저빔의 전력밀도가 코팅입자 스트리임이 바람직스럽기로는 작은 물방울, 괴상 및 원자들로 구성되도록 선택되어지고 105~108W/cm2크기순의 전력밀도가 편리하다.
프로세스를 실행하는 또다른 가능성에 있어서 그결과, 제거영역내 레이저빔의 전력밀도가 코팅입자 스트리임이 바람직스럽기로는 여기된 원자 및 이온으로 구성되도록 선택되어지고 108W/cm2보다 더 큰 크기순의 전력밀도가 편리하다.
하나의 구체적실시예에서, 사용된 레이저가 연속적으로 작동된다.
또하나의 편리한 구체적실시예는 그러나, 펄스된 레이저가 편리하게 100us이하 그리고 보다편리하게는 1us이하의 펄스지속기간을 갖는다. 편리한 구체적실시예에서, 펄스는 제거가 고전력밀도를 초기에 가지는 펄스의 부분으로 도입되고 코팅입자 스트리임내 코팅입자의 재이온화는 이후에 더 낮은 전력밀도로 발생하는 형태이다.
본 발명의 영역내 코팅프로세스를 실행하는 특히 유리한 방법은 플랫재료가 예컨대 결정층이 만들어질적에 가열되어지는 것이다. 이것은 코팅절차 전에 또는 코팅절차시 예컨대, 전도성으로, 유도적으로, 적외선을 경유하여, 글로방출에 의해, 레이저, 플라즈마, 전자 또는 이온빔과의 충돌 또는 고온기체에 의하여 수행될 수 있다. 달리, 예컨대, 비정질층이 만들어질적에, 코팅용 플랫재료를 냉각시키는 것이 유리하며 이것은 마찬가지로 코팅이전에 또는 코팅중에 실행될 수 있다.
또한, 본 발명의 방법에 따라, 타겟의 가열 또는 냉각은 제거프로세스 및 코팅입자 스트리임내 입자들의 종류에 영향을 미치기 위해서 이익이 된다.
본 발명 프로세스의 수행 및 본 발명장치 고안에 관한 상기 설명에서, 연속적인 스트립이 코팅챔버내에서 어떻게 안내되는지에 대해서는 어떠한 세부사항도 주어지지 않는다. 코팅챔버내 압력의 안정화에 대해서, 연속적인 스트립이 코팅챔버의 앞이나 뒤에서 록을 통해 안내된다. 또한, 연속적인 스트립이 코팅챔버내에서 접촉하지 않는 방법으로 안내된다. 물리적인 예비처리 유닛이 제공될적에, 또한, 연속적인 스트립이 물리적인 예비처리 유닛과 코팅챔버사이의 록을 통해 접촉하지 않는 방법으로 안내된다. 본 발명의 프로세스에 관한 상기의 설명에서는, 연속적인 스트립의 코팅이 어떻게 수행되는가를 설명할 뿐이다. 어떠한 세부사항도 전체 프레세스가 어떻게 수행되는가에 대하여 주어지지 않는다. 따라서, 본 발명의 해결안의 영역내에서, 연속적인 스트립이 연속적인 스트립을 제공하기 위한 기계적 유닛에 의해 제조되고 연속적인 스트립에 대해 특히 유리하고 이 유닛이 서로 스트립재료의 롤을 풀고 한 롤의 끝에 다른 롤의 처음을 결합시키는 것이 유리하다. 또한, 본 발명의 프로세스의 실행에 대해, 연속적인 스트립을 제공하기 위한 기계적유닛이 스트립보관장치를 구비하는 것이 유리하다.
스트립의 저장장치의 목적은 본 발명 방법에서 일정한 통과속도 때문에 제공되며 반면에 연속적인 스트립을 구비하는 유닛과 함께, 스트립피이드의 정지는 각기 두개의 롤들의 결합에 항상 필수적이다. 또한, 연속적인 스트립이 기판재료로 코팅되기전에 화학예비처리 유닛를 통과하는 것이 유리하다.
여기에서, 화학예비처리 유닛이 알칼리탈지유닛으로 구성되는 것이 편리하다.
또한, 알칼리탈지유닛이 스프레이탈지로 구성되는 것이 유리하다.
알칼리탈지유닛은 바람직스럽기로는 전해질 탈지로 구성된다.
또한, 전해질 탈지가 스프레이탈지를 따르는 것이 편리하다.
더욱이, 전해질 탈지가 브러쉬기계에 의해 스프레이탈지로부터 분리되는 것이 또한 편리하다.
또하나의 이점이 브러쉬기계에 의해 우선되는 캐스케이드 린싱에 의해 얻어진다.
화학적예비처리 유닛이 산세척으로 구성되는 것이 본 발명의 해결안의 범위내에서 이롭다.
산세척이 알칼리탈지유닛을 따르는 것이 편리하다.
특히, 산체척은 전해질 영역으로 구성되도록 고안된다.
또한, 전해질영역이 캐스케이드 헹굼에 의해 우선되는 것이 편리하다.
마침내, 케스캐이드 헹굼이 브러쉬기계에 우선되는 것이 편리하다. 더욱이, 화학적예비처리 유닛이 말단에 건조기로 구성되는 것이 유리하다. 화학예비처리유닛외에, 또한, 물리적인 예비처리유닛가 구비되는 것이 편리하다.
물리적인 예비처리유닛가 화학적인 예비처리유닛를 따르는 것이 편리하다.
여기에서, 물리적인 예비처리유닛이 연속적인 스트립상에 흡착된 모든 원자 또는 분자들이 제거될 수 있는 탈가스화 유닛으로 구성되는 것이 편리하다.
탈가스화유닛은, 탈착을 촉진시키기 위해서 연속적인 스트립이 가열되고/또는 전자충격 및/또는 이온충격 및/또는 플라스마방사선 및/또는 레이저 광선 및/또는 UV광선에 주입된다. 전체에서, 탈가스절차는 연속적인 스트립상에 흡착된 분자들에 의하여 촉진되고 상기 언급된 측정된 에너지가 구비되며 특히, 가열되고 탈착에 의해, 그결과 보다 더 촉진된다. 탈가스화 유닛내 압력을 유지하기 위해, 후자는 편리하게 선행되어지고 록이 따른다. 또한, 물리적인 예비처리유닛가 예열유닛으로 구성되는 것이 유리하다.
연속적인 스트립의 가열은 편리하게 비활성 기체대기하에 예열유닛내에서 수행된다. 물리적인 예비처리 유닛이 물리적인 활성화유닛으로 구성되는 것이 특히 적합하다.
상기 물리적인 활성화유닛은 바람직스럽기로는 탈가스화유닛을 따라야만 한다.
또한, 예열유닛이 탈가스화유닛 및 물리적인 활성된 유닛사이에 배열되어야 한다. 여기서는 물리적활성화 유닛이 록에 의해 우선되는 것이 적합하다.
플랫재료의 활성화가 전자충격 및/또는 이온충격 및/또는 플라즈마 빔과의 충격 및/또는 레이저광과의 충격 및/또는 UV광과의 충격에 의한 물리적활성화 유닛로 수행되는 것이 편리하다.
물리적활성화 유닛내 압력이 코팅챔버내 압력과 동일한 크기인 것이 특히 편리하다. 특히 바람직스러운 구체적실시예에서, 물리적활성화 유닛내 이온충역이 글로방출에 의해 수행된다
특히, 낮은 압력이 될 수 있기 위해서, 글로방출이 자기장에 의해 안정화되고 지지되는 것이 편리하다.
부가적으로, 글로방출에 관한 또하나의 지지는 보조전류회로내 열적으로 방출된 전자들에 의해 지지되게 함에의해 이루어질 수 있고 이러한 목적 때문에 예컨대, 양극들은 코팅입자 스트리임측에 배열된다.
글로방출이 일어나는 압력은 바람직스럽기로는 10-2~10-3bar사이가 되도록 선택된다.
본 발명 해결안의 특정한 구체적실시예에서, 글로방출이 요오크형태의 양극에 의해 발생되도록 된다. 자기장을 발생시키기위한 코일은 바람직스럽기로는 또한 요오크형태의 양극내 배열된다. 특히 편리한 구성에서, 요오크형태의 양극은 포트형태의 디자인이고 바람직스럽기로는 연속적인 스트립에 면한 개구면으로 배열되어 있다. 재료에 관한한, 요오크형태의 양극이 요오크형태의 양극을 통해 자기장의 플럭스가 부분적으로 작동될 수 있도록 자성화가능한 재료로 만들어지는 것이 유리하고 특히, 요오크형태의 양극이 자기장에 대한 차폐로 작용한다.
물리적활성화를 개선하기 위해서, 물리적활성화 유닛는 여러 개의 활성화 챔버로 구성되게 된다. 활성화챔버는 편리하게 서로다른 것으로부터 차폐된다.
본 발명의 해결안에 따른 특히 바람직스러운 방법에서, 플랫재료가 코팅챔버를 통해 수직방향으로 안내되게 된다. 모든 무거운 입자들 예컨대, 괴상들은 코팅입자 스트리임으로부터 떨어지고 생성하는 코팅과 충돌하지 않는 이점을 갖는다. 더욱이, 제거시 연속적인 스트립을 향하는 방향으로 코팅입자 스트리임내 움직이지 않는 위험이 있고, 이것들은 코팅내 존재하지 않는다. 코팅챔버내 압력을 유지하기 위해, 플랫재료가 코팅챔버전에서 그리고 압력록을 통과하여 코팅챔버 뒤에서 통과하도록 된다. 물리적인 예비처리, 특히, 물리적인 활성화가 코팅절차로부터 분리된 결과 또한 코팅챔버로부터 분리되어 수행되는 상기에 기술된 해결안에 대한 대안으로서, 물리적인 예비처리가 특히 구조적으로 보다 더 간단한 해결안으로 코팅챔버로부터 분리되지 않는 예비처리챔버내 코팅절차전에 수행될 수 있다. 코팅이 종결된 후, 코팅의 물리적인 후처리가 특히 코팅된 연속스트립이 바람직스러운 온도로 유지되도록 본 발명의 방법을 수행하는 바람직스러운 방법으로 수행되게 된다.
물리적인 후처리는 예컨대 열반응이 염기재료로 발생되게 한다.
또한, 물리적후처리가 화학적후처리에 의해 동시에 또는 이후에 보충되는 것이 이롭다.
예컨대, 특히 글로방출에 의해 지지된 반응기체대기는 반응이 코팅을 발생시키도록 하기에 편리하다.
그러나, 탄소화 또는 질소화와 같은 적합한 화학적후처리는 또한 코팅에 따른 화학적반응이다.
또한, 코팅된 연속스트립의 냉각은 물리적인 후처리후 편리하게 수행되고 냉각전에 코팅특성의 측정, 예컨대, 코팅두께의 측정이 코팅된 연속스트립에 대해 가로질러 이동가능한 측정헤드에 의해 수행될 수 있다.
레이저빔의 고에너지밀도 덕택에, 각각의 성분은 원칙적으로 증발가능하고 그결과 잠재적으로 본 발명의 방법 및 본 발명의 장치에 따른 코팅에 적합하다. 또한, 모든 성분들의 결합은 가능하며 코팅재료의 범위는 실제적으로 제한되지 않는다. 또한, 본 발명의 코팅에 따라, 코팅부착 및 코팅확률이 관계되는한 거의 제한되지 않는 잠재력이 있다. 예컨대, 전기적인 전도성 및 비전도코팅물질 둘다가 사용가능하고 예를들면, 순수한 금속, 합금, 세라믹층, 이를테면 산화물, 카르바이드, 니트라이드, 보라이드, 카르보니트라이드, 실리케이트 및 유사한 물질들이 사용가능하다.
이중 및 다중코팅을 부착하는 것이 본 발명의 용액의 범위내에서 특히 적합하다.
본 발명에 따라, 여러코팅재료의 혼합비율을 조절하여 농도변화도에 따라 코팅을 만드는 것이 또한 가능하다.
본 발명 해결안의 특수한 이점은 또한 플랫재료의 다른 면상에 상이한 코팅을 제조하는 것이고 코팅의 형태, 부착 및 목적이 상이하게 선택될 수 있다.
또한, 본 발명에 따라 횡방향 즉, 연속적인 스트립의 폭 및 또한 통과 방향으로 선택적인 코팅을 수행하는 것이 적합하며, 예컨대 상세하게 방향이 정해진 코팅입자 스트리임이나 적절하게 고안된 마스크가 상기 목적을 위해 사용될 수 있다.
또한, 본 발명의 해결안의 커다란 이점은 원한다면, 예컨대, 가격의 이유 때문에 코팅이 한면상에 매우 간단한 방법으로 수행될 수 있다는 사실이다.
오늘날 가능한 금속 및 합금코팅이 사용되는 주요한 목적은 마모를 방지하기위한 것이다. 사용분야는 주로 자동차, 가전제품 및 건물산업이다. 그러나, 다른 특징은 또한, 가동성, 코팅점착, 최종생성물의 용접성, 최종생성물의점착성, 인산염화되고 최종 생성물의 광학적외견과 마찬가지로 칠해지는 성질과 같은 가공특성이 매우 중요하다. 본 발명에 따른 방법에 따라서, 코팅의 항마모특성의 상당한 전개 및 개선이 이루어질 수 있을뿐만 아니라, 요구사항의 전체범위, 예컨대, 사용의 특수분야에 대한 상기 언급된 특성과 관련한 보다 더우수한 최적화가 이루어질 수 있다. 예컨대, 실질적으로 개선된 항마모특성을 가진 ZnMg합금코팅은 본 발명에 따른 프로세스에 따라 제조될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 방법은 코팅두께를 감소시키는 결과 재 성형성 및 동일한 것과 코팅복합체의 용접성 및 심지어 개선된 내마모성을 개선시킨다.
예컨대, 에나멜코팅을 치환할 수 있는 착색된 장식코팅의 제조는 본 발명에 따른 프로세스와 동일한 방법으로 마찬가지로 가능하다.
강이외에, 스트립형태로 제조될 수 있는 모든 금속들, 특히 또한 알루미늄은 원칙적으로 플랫재료에 대한 재료로 가능하다.
방법의 기술과 관련된 본 발명의 방법의 또하나의 상당한 이점은 그의 융통성이다. 타겟을 교환함에 의한 간단한 방법으로 코팅물질을 바꾸는 것이 가능하다. 또한, 특수코팅시스템등에 대한 본 발명의 장치를 설치하는데 필수적인 것은 없으며 동일한 장치가 매우 다른 코팅에도 사용가능하다.
본 발명 해결안의 또하나의 특징 및 이점이 하기 설명의 주된 과제이며 여러가지 구체적실시예의 설명이다.
도면은 하기와 같이 설명된다 :
제1도는 본 발명에 따른 프로세스의 개략도.
제2도는 물리적인 예비처리유닛의 실시예의 확대도.
제3도는 코팅유닛의 제1실시예의 확대도.
제4도는 제거에 대한 첫번째 가능성의 부분도.
제5도는 제거에 대한 두번째 가능성의 부분도.
제6도는 제거에 대한 세번째 가능성의 부분도.
제7도는 제거에 대한 네번째 가능성의 부분도.
제8도는 코팅입자 스트리임과 플랫재료사이의 상대이동에 대한 가능성을 나타내는 도면.
제9도는 반경(r)에 대한 코팅입자 스트리임밀도(d)의 분포도.
제10도는 전체의 폭에 대해 플랫재료의 코팅에 대한 가능성을 나타내는 도면.
제11도는 전체의 폭에 대해 플랫재료의 코팅에 대한 가능성을 나타내는 도면.
제12도는 전체의 폭에 대해 플랫재료의 코팅에 대한 가능성을 나타내는 도면.
제13도는 코팅입자 스트리임으로 가스를 도입하는 제1가능성을 나타내는 도면.
제14도는 코팅입자 스트리임으로 가스를 도입하는 제2가능성을 나타내는 도면.
제15도는 본 발명에 따른 코팅유닛의 제2실시예.
제16도는 물리적활성화와 결합된 본 발명에 따른 코팅유닛의 제3실시예.
제17도는 화살표 A방향으로 제16도에 따른 코팅유닛의 도면.
제18도는 코팅유닛의 제4실시예의 부분도.
제19도는 제18도내 화살표 C방향으로 코팅유닛의 제4실시예의 측면도.
제20도는 본 발명에 따른 코팅유닛의 제5실시예; 및
제21도는 본 발명에 따른 코팅유닛의 제6실시예이다.
본 발명에 따른 방법의 실시예는 제1도에서 설명되며 여러가지 유닛으로 구성된다. 롤(14)상에 감긴 플랫재료는 롤을 펼침에 의해 연속적인 스트립을 제공하기 위한 기계유닛(12)내 우선 끌어올려지고 프로세스로 도입된다. 이전의 플랫재료의 말단은 가위(18)로 잘리고 롤(16)상에 감긴 플랫재료의 출발이 그후 가위(18)로 공급되고 잘리는 결과 롤(16)상에 감긴 플랫재료의 처음이 연속스트립(24)을 형성하기 위해 용접기(20)내 롤(14)상에 감긴 플랫재료의 말단으로 용접될 수 있다. 상기 프로세스는 계속적으로 반복되고 그결과 밀착하는 연속스트립(24)이 본 발명에 따른 전프로세스를 통과한다.
연속적인 스트립의 평평함을 개선하기 위해서, 연속적인 스트립을 제공하기 위한 기계유닛(12)은 바람직스럽기로는 또한 굴곡을 늘리고 평평하게 하기위한 유닛(22)이 구비되어 있다. 굴곡을 늘리고 평평하게 하기 위한 이 유닛(22)뒤에, 연속적인 스트립(24)은 연속적인 스트립을 제공하기 위한 기계유닛을 떠나고 스트립의 보관을 위한 장치(26)에 들어간다. 스트립의 보관을 위한장치(26)는 스트립을 보관하기 위한 수직 또는 수평장치로 고안되고 다음 프로세스로부터 연속적인 스트립을 제공하기 위한 유닛을 분리한다. 스트립의 보관을 위한 장치(26)는 말단 및 시작이 용접기에 의해 함께 용접되는 결과 스트립의 보관을 위한 장치(26)뒤에서 연속적인 스트립(24)이 일정한 속도로 본 발명에 따른 프로세스를 통해 이동할적에 공급물내 간섭을 보상하는 작용을 한다.
본 발명에 따른 프로세스의 첫번째 단계는 화학적예비처리 유닛(28)에서 발생한다. 이러한 화학예비처리 유닛은 세척하는 작용을 하며 이후의 코팅에 대한 연속적인 스트립을 화학적으로 활성화시킨다. 화학적예비처리 유닛은 우선 지방용해 화학물질이 연속적인 스트립에 적용되는 스프레이탈지(30)으로 구성된다. 스프레이탈지(30)는 연속적인 스트립(24)이 탈지조(36)을 통해 당겨지는 과정중에 전해질 탈지(34)에 의해 수반되는 브러쉬기계(32)에 의해 수반된다. 전해질 탈지가 캐스케이드 린싱(40)에 의해 수반되는 또하나의 브러쉬기계(38)에 의해 수반된다. 캐스케이드 린싱(40)은 바람직스럽기로는 여러단계로 고안되고 연속적인 스트립을 물로 헹군다.
브러쉬기계(32), 전해질탈지(34), 브러쉬기계(38) 및 캐스케이드 린싱(40)과 함께 스프레이탈지(30)는 알칼리탈지유닛(42)을 형성된다.
상기 알칼리탈지단위(42)는 전체로 44를 가리키고 캐스케이드 린싱(48) 및 최종 브러쉬기계(50)에 의해 수반되는 전해질 영역(46)으로 구성되는 산세척에 의해 수반된다.
화학적예비처리단위(28)는 연속적인 스트립(24)이 건조상태로 공급된 후 물리적인 예비처리유닛(54)으로 완전히 화학적예비처리되는 건조기(52)에 의해 종결된다.
물리적인 예비처리유닛의 개시에, 연속적인 스트립(24)은 일반압력의 대기에 의해 에워싸인다. 록(56)에서, 연속적인 스트립은 그결과, 여러 개의 록챔버(60,62,64,66)를 통해 편향롤에 의해 지그재그배열로 우선 당겨지고, 각각의 록챔버는 진공펌프(68)와 관계되어 있고 록챔버(60,61,62,63,64,65,66)에 연속적인 스트립(24)울 둘러싸고 있는 압력은 록(56)을 따라서 탈가스화유닛(70)내 부압력PE로 차례로 감소된다. 그의 부분에 대한 탈가스화 유닛(70)은 마찬가지로 진공펌프(72)에 연결된다. 상기 탈가스화유닛(70)에서 모든 입자들, 연속적인 스트립(24)에 의해 흡수된, 특히 표면상의 원자 또는 분자가 탈착되고 진공펌프(72)에 의해 빨린다. 탈착을 촉진시키기 위해서, 탈가스화유닛은 바람직스럽기로는 또한 가열되고/또는 전자충격이 가해지고/또는 이온충격/또는 플라즈마방사선 및 /또는 레이저광선 및/또는 UV광선이 가해지는 연속적인 스트립(24)의 처리를 포함한다. 에너지가 이렇게 공급됨에 따라, 연속적인 스트립(24)에 의해 탈착되는 모든 입자들의 가능한한 완벽한 분리가 이루어진다. 상기 연속적인 스트립(24)에 후에 적용되는 코팅의 점착강도가 그결과 개선된다.
탈가스화유닛(70)을 따를적에, 연속적인 스트립(24)이 록(56)과 정확히 동일한 디자인인 또하나의 록(74)을 통해 당겨지지만 탈가스화유닛으로부터 예열유닛(78)내 불활성 기체대기(76)를 분리한다.
연속적인 스트립(24)의 가열 및 예열이 상기 불활성기체대기(76)내에서 예컨대, 연속적인 스트립(24)을 겨누어진 제트파이프 및/또는 연속스트립(24)의 유도가열 및/또는 적외선방사제에 의한 가열 및/또는 전자빔 및/또는 프라즈마빔을 거쳐 발생한다.
그러나, 불활성기체대기(76)가 또한 연속적인 스트립(24)의 예열시 펌프(80)에 의한 어떤 압력 PS에서 유지된다. 예열단위(78)는 또한 물리적인 활성화단위(84)로부터 록(82)에 의해 분리된다. 록(82)은 원칙적으로 록(56,74)과 정확히 동일한 디자인이고 상기에서 설명된 바가 참조된다.
물리적인 활성화유닛(84)은 탈가스화후 연속적인 스트립(24)에 부착해있는 물리적으로 또는 화학적으로 탈착된 입자들을 제거하는 결과 잘 점착하는 코팅에 대한 예비조건이 매우 활성인 표면을 제공한다. 물리적인 활성화는 단단한 세라믹코팅이 적용될적에 특히 필수적이다.
연속적인 스트립의 활성화는 전자충격 및/또는 이온충격 및/또는 플라즈마 입자들과의 충격 및/또는 레이저광으로의 충격 및/또는 UV광으로의 충격에 의해 물리적인 활성화유닛(84)내에서 수행될 수 있다. 이 모든 가능성은 에너지를 직접적으로 공급함에 의해 연속적인 스트립(24)로부터 탈착된 입자들을 제거한다. 물리적활성화의 하나의 가능성의 바람직한 실시예는 하기에 상세히 기술된다. 물리적활성화유닛은 코팅유닛(88)으로부터 물리적인 활성화유닛(84)을 분리하는 록(86)에 의해 수반된다. 원하는 코팅이 코팅유닛내 연속적인 스트립(24)에 적용된다. 상기 코팅이 한쪽이나 양편에 적용될 수 있다.
코팅단위는 하기의 여러실시예내에서 상세히 기술된다.
코팅유닛(88)은 그에 선행하고 따른 유닛을 고려하지 않고 개개의 코팅에 대한 요구사항에 따라 각기 그에 선행되고 따르는 록(86,90)에 의해 코팅유닛내압력이 선택될 수 있도록 록(90)에 의해 수반된다. 적용되는 코팅을 가진 연속적인 스트립이 그의 온도로 유지되거나 중간냉각을거치는 물리적인 후처리유닛(92)에 의해 수반된다. 측정장치(96)는 물리적인 후처리 유닛을 따르고 록(93)에 의해 분리된다. 여기에 적용된 코팅의 정확한 검출은 연속적인 스트립을 가로질러 측정헤드(98)에 의해 실행된다. 바람직스럽기로는, 코팅의 조성 및 두께가 측정된다.
측정장치(96)를 통과한 후, 연속적인 스트립(24)은 연속적인 스트립(24)이 공기 및/또는 물냉각에 의해 원하는 온도까지 냉각되는 냉각유닛(100)을 통해 수행된다.
냉각유닛(100)은 인산염화(104) 및 이후의 크롬산염 린싱(106)을 포함하는 화학적 후처리유닛(102)에 의해 수반될 수 있다.
화학적 후처리 유닛(102)은 스트립, 보관장치(26) 및 스트립보관장치(108)사이에서 일정한 속도로 연속적인 스트립이 이동하도록하는 스트립의 보관을 위한 장치(108)에 의해 수반된다. 스트립의 보관을 위한 장치(108)뒤에, 연속적인 스트립이 후자와 감긴장치(110)사이에 배열된 가위(114)로 윤활기(112)에 의해 선행되는 감김장치(110)내에서 다시 감겨진다. 연속적인 스트립은 가위(114)로 잘릴 수 있고 그결과 특정한 크기의 개개의 롤로 감긴다.
제2도에 표시된 물리적활성화유닛(84)의 실시예는 연속적인 스트립(24)이 차례로 통과하는 여러개의 연속적인 활성화 챔버(120,122,124)로 구성된다.
각각의 상기 활성화챔버가 각각의 활성화챔버(120,122,124)내 각각의 압력 PA를 발생시키는 진공펌프(126,128,130)에 연결된다.
각각의 활성화챔버는 연속적인 서트립(24) 또는 플랫재료에 의해 형성된 음극에 관련하여 예컨대 300내지 2000볼트의 전압으로 양극(132)을 함유한다.
이것은 음극으로 작용하는 양극(132) 및 연속적인 스트립사이의 글로방출을 야기시키고 그결과 연속적인 스트립(24) 또는 플랫재료를 이온충격 가한다.
활성화유닛(84)을 따르는 코팅유닛(88)의 압력에 활성화챔버내 압력 PA를 가능한한 동일하게 만들기 위해, 피일드라인(134)이 연속적인 스트립(24) 또는 플랫재료로부터 실질적으로 평행하게 펼쳐져 있는 자기장은 바람직스럽기로는 또한 글로방출을 지지하기 위해 제공된다.
양극(132)은 바람직스럽기로는 요오크 또는 포크형태의 디자인이고 연속적인 스트립(24) 및 요오크바(136)의 말단에 배열된 두개의 요오크레그(138)에 실질적으로 평행하게 펼쳐져 있고 연속적인 스트립(24)을 향하는 방향을 가리키며 연속적인 스트립(24)로부터 단거리에서 종결되는 요오크바(136)로 구성된다. 자기장을 발생시키는 코일(142)이 요오크레그(138) 및 요오크바(136)사이에서 형성된 요오크내부(140)내 배열된다. 코일(142)은 바람직스럽기로는 요오크레그(138)가까이 외인딩(144)으로 펼쳐진다. 요오크내부(140)을 향해 코일(142)이 보호커버(148)로 구비된다. 글로방출은 피일드라인(134)에 의해 지지된, 바람직스럽기로는 요오크형태의 양극(132)내부에서, 바람직스럽기로는 코일(142)내에 요오크바(136) 및 플랫재료의 영역 또는 그에 반대하는 연속적인 스트립(24)사이에서 펼쳐진다. 양극(132)은 글로방출이 이동방향을 관통하여 연속적인 스트립(24)의 전체폭에 대해 펼쳐진 크기이다.
양극(132)은 각각의 활성화챔버(120,122,124)내 절연호울더(150)에 의해 편리하게 유지된다.
그의 양쪽면에 연속적인 스트립(24)의 물리적인 활성화를 이루기 위해서, 이러한 양극(132)이 바람직스럽기로는 연속적인 스트립(24)의 반대면에 배열되는 결과 글로방출이 양극(132)과 연속적인 스트립(24)의 양쪽면상태 연속적인 스트립(24)사이에서 발생된다.
가능한한 효과적으로 연속적인 스트립(24)의 활성화를 이루기 위해서, 각각의 활성화챔버(120,122,124)가 연속적인 스트립(24)의 반대측에 배열된 양극(132)이 구비된다.
물리적인 활성화는 바람직스럽기로는 각각의 요오크(132) 및 연속적인 스트립사이에서 대략 200~2000V의 전압으로 10-2~5 ×10-4mb사이의 압력으로 수행된다.
코팅유닛(88)의 제1실시예 88a는 연속적인 스트립(24)이 수행되는 코팅챔버(160)로 구성된다. 서로다른 것과 간격이 떨어져 있는 롤러(162,164)의 쌍들은 연속적인 스트립을 안애하기 위해 제공된다. 롤러(162)의 이러한 쌍들사이에서, 코팅물질이 레이저빔(166)에 의해 타겟(168)로부터 제거되고나서 연속적인 스트립(24)을 향한 방향으로 코팅입자 스트리임(170)의 형태로 전파되고 상기 연속적인 스트립상에 코팅(172)형태로 부착한다. 원형봉 스토크(174)는 타겟(168)으로 선택되고 코팅물질이 제거되는 제거영역(176)이 원형봉스토크(174)의 말단면에 존재하는 방법으로 레이저빔에 의해 조사된다.
원형봉스토크(174)는 공급방향(178)으로 펼쳐져 있는 원형봉스토크의 축으로 플랫재료 또는 연속스트립(124)상에 평행한 공급방향(178)으로 공급된다.
원형봉스토크(174)는 코팅챔버(160)외부로부터 공급록(180)을 통해 코팅챔버(160)에 들어간다. 원형봉스토크(174)는 제거영역(176)이 향상 연속적인 스트립(24)로부터 동일거리인 방법으로 원형봉스토크에 앞서고 그결과 또한 코팅챔버(160)에 대한 정지를 멈추는 공급장치(182)에 의해 공급된다. 이것은 전체의 원형봉스토크(174)가 제거영역(176)내 제거되는 방법으로 꾸준히 원형봉스토크(174)에 앞서는 것을 공급장치(182)에 대해 필수적이게 된다.
원형봉스토크(174)를 준비하기 위한 장치(184)가 또한 공급장치(182)외에 제공된다. 이것은 원형봉스토크(174)가 코팅유닛(88)에 연속적인 봉으로 공급되고 이러한 목적을 위해 예컨대 가장 간단한 경우에 용접이나 원형봉스토크를 밀착하여 결합시킴에 의해 연속적인 원형봉스토크(174)를 형성하도록 제한된 길이의 원형봉스토크와 접합하게 한다. 가장 간단한 경우에, 원형봉스토크(174)의 말단면(190)상에 코팅물질의 제거가 포커스스폿(192)가 원형봉스토크의 말단면(90)의 전체표면을 덮고 코팅물질의 제거가 전체의 말단면(190)상에서 발생하는 결과 코팅입자 스트리임을 형성하도록 포커스스폿(192)상에 포커스가 맞추어진 레이저빔(166)에 의해 수행된다.
그러나 이것은 원형봉스토크(174)가 작은 단면적을 가질적에만 가능하다.
이러한 관계가 제4도에 표시된다.
그러나, 예컨대, 공급되는 코팅물질의 양 때문에, 더 두꺼운 원형봉스토크(174')가 사용되어야만 한다면, 그의 말단면(190')은 코팅물질의 제거를 이루기 위해 충분한 고에너지밀도를 가진 포커스스폿(192)보다 실질적으로 더 크다. 이들 관계가 제5도에 제시된다.
원형봉스토크(170')의 두께가 적어도 말단면(190')의 반경에 걸쳐 펼쳐질만큼 포커스스폿(192)에 대해 충분히 크다면, 원형봉스토크(174')가 포커스스폿(192)이 원형봉스토크(174')의 일회전시 전체의 말단면(190')에 대해 이동하는 결과 코팅물질의 균일한 제거를 확실히 하도록 축(194)에 대해 회전하도록 이루어진다.
그러나, 제6도에 표시된 바와 같이, 포커스스폿(194)이 실질적으로 원형봉스토크(174)의 말단면(190)보다 더 작다면, 말단면으로부터 코팅물질을 일정하게 제거하는 것은 소정의 패턴에 따라 말단면(190)에 대해 이동시키며 레이저광학에 의해 조절되는 포커스스폿에 의해 예컨대 나선모양의 선을 따라서 마찬가지로 이루어질 수 있는 결과, 말단면(190)으로부터 코팅물질을 일정하게 제거할 수 있다.
말단면(190)이 실질적으로 플랫표면인 방법으로 제거가 수행되는 제4도 내지 제6도에 따른 실시예와 대조하여, 원형봉스토크(174)가 포커스스폿(192)가 형태를 유지하기 위해 원추형팁(196)상에 대응하는 방법으로 이동해야만하는 경우에 예컨대 원추형팁(196)을 가지는 방법으로 제거되는 것이 또한 가능하다. 이러한 목적을 위하여, 한편으로는 축(194)에 대한 회전에 대해, 예컨대, 원주(198)방향으로 원추형팁 위아래로의 이동을 위해 만들어질 수 있다. 원추형팁을 형성하는 대안으로서, 그러나, 또한 구형의 캡형태 또는 다른 형태의 원형팁을 제거하고 원형봉스토크(174)에 대한 포커스스폿(192)의 적합한 이동에 의해 이러한 형태를 유지하는 것에 또한 가능하다.
제3도에 따른 실시예의 설명에서, 단순히 플랫재료의 한쪽면 또는 연속적인 스트립(24)이 코팅입자 스트리임(170)에 의해 작용된다고 추정된다. 중앙축(198)로부터 방사방향에 표시되는 타겟(168)로 작용하는 원형봉스토크(174)로부터 제거된 이러한 코팅입자 스트리임은 예컨대 제9도에 나타난 코팅입자 스트리임밀도의 균일치않은 분포를 갖는다.
이 때문에, 코팅(172)의 일정한 두께가 이루어질적에, 정지 코팅입자 스트리임(170)만으로 플랫재료(24)상에 작용하는 것은 가능하지 않다.
제8도에 제시된 바와같이, 타겟(168)은 그결과 부분에 대해 타겟(168)을 나르는 변위슬라이드(204) 및 변위가이드수단(202)로 구성된 변위장치(200)내 주어진다. 상기 변위슬라이드는 타겟(168)이 유사하게 관통하는 방향(206)으로 이동할 수 있도록 연속적인 스트립(24)의 이동방향(208)에 수직이고 연속적인 스트립(24)의 표면(210)에 평행한 횡방향(206)으로 이동가능하다. 바람직스럽기로는, 횡방향(206)으로, 예컨대, 연속적인 스트립의 전체폭에 대해 진동하는 움직임이 포커스스폿(192)과 레이저빔(166)의 동시의 뒤따름에 따라, 플랫재료(24)에 대한 코팅입자 스트리임(170)의 이동이 횡방향(206)에서 마찬가지로 일어나도록 선택되고 상기 코팅입자 스트리임(170)의 이동은 바람직스럽기로는 코팅입자 스트리임(170)이 측면가장자리(212)아래의 횡방향(206)으로 진동하는 이동의 반전점으로 펼쳐지도록 선택된다. 횡방향(206)으로의 이러한 이동에 따라 다른 코팅입자 스트리임 밀도로부터 생기는 코팅두께의 평균을 형성하는 결과 함께 실질적으로 일정한 두께를 갖는 코팅(172)을 이루는 것이 가능하다.
제8도에 표시된 장치에 대한 대안으로서, 서로다른 것으로부터 간격이 떨어져 있는 타겟(168), 바람직스럽기로는 횡방향(206)으로 서로다른 것으로부터 똑같은 거리로 간격이 떨어져 있는 타겟(168)을 배열하고 상기 타겟으로부터 제거를 수행하는 것이 유사하게 가능하고 횡방향(206)으로 타겟(168)사이의 거리가 각각의 제거영역(176)으로부터 펴지는 모든 코팅입자 스트리임(170)의 합이 횡방향(206)에 대해 실질적으로 일정한 코팅입자 스트리임밀도를 중첩시키기 때문에 합계하여 가지도록 선택된다.
서로다른 것에 중첩하는 다수의 코팅입자 스트리임에 대한 이동방향(208)으로 연속적으로 스트립을 이동시키는 것이 필수적일 뿐이다.
개개의 타겟(168)이 단순히 횡방향(206)으로 간격이 떨어져 있는 제10도에서의 표시의 대안으로서 이동방향(208)에 오프셋관계로 그리고 횡방향(206)에 간격이 떨어져 있는 관계로 연속적인 타겟을 배열하는 것이 가능하다.
제10도에 표시된 해결안에서, 각각의 제거영역이 분리된 레이저빔(166)에 의해 작용을 받는다. 본 발명에 따라서, 가장 간단한 경우에 상기 목적을 위해 부여된 그 자체의 레이저에서 나오는 각각의 레이저빔에 의해 이행된다.
이에 대한 대안으로서 단일 레이저빔이 바람직스럽기로는 실질적으로 동일한 강도를 가진 상이한 부분빔(166)에 따라 상이한 부분빔(166)으로 빔디바이더에 의해 나누어지는 것이 또한 가능하다.
또하나의 유리한 해결안이 펄스가 발생시켜진 레이저에 대해 사용되게 된다.
두개의 펄스들 사이에는 모든 타겟(168)로부터의 동시의 제거가 없지만-이전에 기술된 바와같음- 대신에 시간에 관련한 연속적인 제거가 있도록 그 다움에 하나의 타겟(168)으로부터 통해진다. 상기 해결안은 코펄스진동수에 특히 유리하다.
제11도에 표시된 또하나의 실시예에서, 코팅입자 스트리임(170)이 그의 전체폭에 대해 플랫재료(24)의 표면(210)에 대한 횡방향(206)으로 이동하는 결과 일정하지 않은 코팅입자 스트리임밀도가 마찬가지로 결정되도록 타겟(168) 및 또한 축(216)에 대한 제거영역(176)상에 작용하는 레이저빔(166)을 선회하는 선회장치(214)내 보유된다.
제9도내 영향이 미쳐지지 않은 코팅입자 스트리임(170)에 보급되는 코팅입자 밀도변화를 평균하기 위한 본 발명의 가능성은 평평한 분포가 기체원자나 분자를 가진 코팅입자들의 충돌에 의해 이루어지도록 제거영역(176)으로부터 플랫재료(24)로 조절된 기체대기(220)에 코팅입자 스트리임(170)이 들어가게 된다. 상기 기체대기는 바람직스럽기로는 10-5~10-4Torr의 압력을 가지는 결과 실질적으로 플랫재료(24)를 향하는 코팅입자 스트리임의 전파가 이루어지지만 기체대기의 하나의 원자나 분자와의 평균적으로 0내지 1충돌 때문에, 코팅입자들이 원래의 방향으로부터 전환되고 일정하게 분포된다.
특히 좁은 플랫재료(24)로써, 즉 횡방향(206)으로 짧게 확장되어, 코팅입자 스트리임 밀도변화를 평균내는 것이 이루어질 수 있다.
기체대기(220)의 압력은 바람직스럽기로는 기체대개(220)을 형성하는 기체가 일정하게 코팅챔버(160)으로 도입되고 기체대기를 일정하게 형성하는 기체가 코팅챔버(160)에 연결된 진공펌프(222)(제3도)에 의해 코팅챔버로부터 펴내어짐에 의해 유지된다.
가장 간단한 경우에, 기체대기(220)을 형성하기 위해 불활성기체가 사용된다.
그러나 또한 반응활성기체가 어떤 화학적결합이 코팅입자 스트리임의 입자들과 기체대기사이에 형성된다면 기체대기(220)을 형성하기 위해 사용되는 것이 또한 가능하다.
제13도에 표시된 제거영역(176)과 플랫재료(24)사이에 이러한 기체대기(220)을 발생시키기 위한 매우 유리한 가능성은 코팅입자 스트리임(170)을 둘러싸고 기체가 코팅입자 스트리임(170)방향으로 송풍되는 노즐(226)을 가지는 링도관(224)으로 구성되고 기체대기(220)가 코팅입자 스트리임(170)내 그리고 그 둘레에 형성되도록 혼합되고 충돌에 의하여 코팅입자 스트리임 변화의 평균을 낸다.
코팅입자 스트리임 밀도변화의 보다더 포괄적인 평균은 충돌의 수를 증가시키고 그결과 또한 기체대기의 압력을 증가시킴에 의해 가능하다. 예컨대, 10-4내지 10-1Torr의 압력에서, 평균적으로 한번이상의 충돌이 기체대기의 분자와 코팅입자 스트리임의 입자사이에서 발생하는 결과 이러한 경우에, 코팅입자 스트리임(170)은 확산이 조절되는 방법으로 전파되고 그결과 코팅입자 스트리임(170)의 정렬된 전파는 실질적으로 더 이상 전파되지 않는다.
제14도에 표시된 본 발명의 해결안의 변형에서, 타겟(168)이 노즐(228)로부터 퍼지는 기체스트리임(230)내 제거영역(176)으로 배열되며 플랫재료(24)로 겨누어지고 제거영역(176)의 정렬이 전파하는 코팅입자 스트리임(170)이 실질적으로 기체스트리임(230)을 따라 흐르도록 선택된다. 기체스트리임(230)으로써, 한편으로는 코팅입자 스트리임 밀도변화의 평균이 충돌에 의해 이루어지고 달리는 기체스트리임의 평균흐름방향(232)의 변형에 의해 예컨대, 횡방향(206)으로 이동시킴에 의해 이루어지며 코팅입자 밀도스트리임(170)내 코팅입자 밀도스트리임변화의 부가적인 평균을 이룰 수 있고 그결과 코팅입자 밀도변화의 보다 우수한 평균이 기체대기(220)와의 충돌상호작용에 따라 발생한다.
제15도에 표시될 본 발명의 코팅유닛(88b)의 특히 적합한 제2실시예에서, 타겟(168)의 동일한 배열이 제1실시예88a에서와 같이 선택된다. 동일한 참조부호가 사용되는한, 동일부분이 코팅유닛(88b)에서 사용된다. 그결과, 상기의 설명에 대해, 실시예88a의 설명이 참조되어야만 한다.
코팅유닛(88b)에서, 코팅유닛(88a)와 대조하여 음극으로서 양극(242)와 플랫재료(24)사이에 펼쳐져 있는 글로방출(240)이 제공된다. 여기에서 양극(242)은 바람직스럽기로는 요오크-형태 구조로 배열되고 실질적으로 플랫재료(24)에 평행하게 펼쳐져 있는 요오크봉(244) 및 요오크봉의 측면에 배열되고 플랫재료(24)를 향한 방향으로 펼쳐져 있으며 요오크내부(248)를 경계를 정하는 요오크레그(246)로 구성되어있다.
또한, 내부에 부여된다면, 보다 특정하게는 실질적으로 요오크레그에 접하는 면적내에 와인딩(252)이 실질적으로 요오크레그(246)을 따라 작동하는 코일(250)이 있다.
양극(242)은 바람직스럽기로는 포트형태의 디자인이고 플랫재료(24)의 전체의 폭에 대해 횡방향(206)으로 펼쳐져 있다.
코일(250)은 피일드라인(254)이 플랫재료(24)로부터 요오크봉(244)까지 실질적으로 수직으로 펼쳐져 있으며 보다 특정하게는 코일(250)내에 펼쳐져 있으며 요오크봉(244)내에서 그후 요오크레그(246)를 경유하여 플랫재료(24)로 회귀하는 자기장을 발생시킨다. 이러한 목적을 위해, 양극(242)은 바람직스럽기로는 자성화 가능한 물질로 만들어진다. 피일드라인(254)에 의해 지지된 글로방출(240)은 실질적으로 코일(250)내에 요오크봉(244)과 플랫재료(24)사이에 확대되며 피일드라인(254)의 면적내에 가장 커다란 피일드강도를 가진다.
이러한 이유 때문에, 제거영역(176)은 글로방출면적내 배치되고 이러한 목적 때문에 요오크봉(244)은 록(180)에서 나오는 원형봉 스토크(174)가 내밀어지는 오프닝(256)을 중앙영역내 갖는다.
그결과 제겨영역(186)으로부터 전파하는 코팅입자 스트리임(170)은 그결과 코팅챔버(160)내 보급하는 압력 10-4~10-2mb에 의해 유지되느 글로방출(240)면적내 펴지고 상기 압력은 바람직스럽기로는 희가스대기에 의해 유지된다.
상기 아르곤은 미터링밸브(260)을 경유하여 공급된다. 글로방출(240)내 코팅입자 스트리임(170)의 전파는 여러 개의 물리적효과를 야기한다.
충돌상호작용은 우선 글로방출(240)에 요구되는 기체가 10-4~10-2바의 압력으로 존재할적에 코팅입자들과 기체분자들 또는 원자들사이에서 발생한다.
기체원자 또는 분자 및 코팅입자들 사이의 충돌은 코팅입자 스트리임(170)내 예컨대 2~10eV의 에너지로 움직이는 중성입자들의 부분적인 열중성화를 일으킨다. 대개, 제겨영역(176)내 레이저제거시 생기는 이온의 몇 퍼센트의 작은 퍼센티지가 또한 코팅입자 스트리임(170)내 존재할 것이다. 동시에, 코팅입자 스트리임의 코팅입자들의 부가적인 이온화가 글로방출시 급속한 전자들의 충돌 때문에 발생하고 자유경로길이의 최소크기는 필수적이다.
모든 이온들, 코팅입자 스트리임(170)내 이온들과 글로방출에 책임이 있는 기체의 이온들 둘다는 현재 플랫재료(24)의 방향으로 양극(242)과 플랫재료(24)사이의 글로방출(240)에 책임이 있는 피이드강도에 따라 이동한다.
음극의 경우에, 모든 이온들의 가속하는 그후 수 100eV의 운동에너지가 이루어질 수 있음에 따라 음극의 전압강화에 따라 발생한다. 음극에서 가속된 상기 이온들은 전체로 상기 이온들의 부가적인 운동에너지가 만연하는 결합에너지에 따라 특히 적합한 플레이크를 포함하고 보다 규칙적으로 코팅입자들이 부착되도록 할적에 더욱 안정한 코팅이 생성되는 결과로 플랫재료(24)상에 생성하는 코팅(172)고 부딪힌다.
제거영역(176)과 플랫재료(24)사이의 간격이 1~100충돌의 크기순서로 코팅입자들과 글로방출(240)을 형성하는 기체의 원자 또는 분자들사이에서 생기도록 선택될적에 특수한 이점이 글로방출(240)을 사용하여 얻어진다.
이러한, 경우에, 코팅입자 스트리임의 부분적인 열중성자화는 코팅입자 스트리임이 플랫재료(24)에 부딪히기전에 이루어진다. 특히, 코팅(172)의 견고성에 부정적인 영향을 끼치는 고에너지 이온의 제동은1000eV의 크기 순서의 에너지로 이루어질 수 있다.
제16도에 표시된 본 발명의 활성화유닛(84c)과 결합된 본 발명의 코팅유닛(88c)의 또하나의 실시예는 제1실시예 84a 및 88a에서와 같은 상부로부터 하부까지가 아닌 하부에서부터 상부인 연속적인 스트립(24)의 가이던스를 나타낸다. 연속적인 스트립은 우선 록(270)을 통해 진공펌프(274)에 의해 비위지는 활성화챔버(272)에 들어간다.
중간고진공 10-2내지 10-3mb가 상기 활성화챔버내 보급된다.
전극막대(276)는 활성화챔버(272)내 연속적인 스트립(24)의 어느 한쪽면상에 배열된다. 제17도에 표시된 바와같이 이것들은 연속적인 스트립(24)의 이동방향에 횡단하여 관통방향(206)으로 관통방향(206)으로 연속적인 스트립(24)의 폭에 대하여 펼쳐진다. 상기 전극막대(276)는 절연체가 글로방출의 점형태의 비등을 방지하는 세라믹코팅(278)이 제공된다.
모든 전극막대(276)는 도면에 표시되지 않은 전극막대와 연속적인 스트립(24)사이에 고진동수 피일드가 후자의 어느 한쪽면에 글로방출(280)을 야기시키도록 연속적인 스트립(24)의 어느 한쪽면상에 연속적인 스트립(24)과 전극막대사이의 고진동수전압을 발생시키는 고진동수 발생기에 연결된다.
이러한 글로방출(280)때문에, 이온들은 연속적인 스트립(24)을 향한 방향으로 가속되고 연속적인 스트립(24)이 그결과 떼어지는 연속적인 스트립(24)상에 흡착된 모든 원자들이나 분자들에서 미리 기술된 활성화유닛(84)에서 동일한 방법으로 일어나는 이온충격이 가해진다.
이것은 진공펌프(274)로 꾸준히 펌핑오프시킴에 의해 촉진된다. 활성화챔버내 압력을 일정하게 유지하기 위해서, 조절밸브(282)가 10-2~10-3범위로 미리 선택된 중간 고진공을 유지하기 위해 활성화챔버로 글로방출(280)에 요구되는 기체 예컨대, 희가스를 계측방법으로 공급하기 위해 제공된다.
활성화챔버(272)가 연속적인 스트립(24)이 접촉되지 않고 안내되는 분리벽(284)에 의해 코팅유닛(88c)의 방향내에서 폐쇄된다.
코팅챔버(286)내에서,우선, 전극막대(288)가 다시 연속적인 스트립(24)의 어느 한쪽면상에 배열되고 마찬가지로 절연체로 작용하는 세라믹코팅이 제공된다. 상기 두개의 전극막대(288)가 다시 전극막대(288)와 연속적인 스트립(24)사이에서 글로방출을 발생시키는 고진동수원에 연결된다.
또한, 정면말단이 레이저빔(294)에 의해 작용된 제거영역(292)을 형성하는 스트랜드(290)형태의 타겟이 코팅챔버내에서 그의 어느 한쪽상에 연속적인 스트립(24)위에서 열린다.
코팅재료(290)의 스트랜드가 제거영역(292)앞에서 피이드호울더(296)에 의해 공급된다. 피이드호울더(296)는 동시에 스트랜드(290)가 진공상태로 코팅챔버로 코팅챔버(286)밖에서 연속적으로 이용가능하도록 도입된 록으로 작용한다.
스트랜드(290)은 바람직스럽기로는 제거영역(292)이 제거영역(292)로부터 출발해서, 코팅입자 스트리임(298)이 실질적으로 수직으로 형성되거나 연속적인 스트립(24)에 둔각으로 경사지어 있고 연속적인 스트립(24)의 방향으로 퍼지며 코팅(300)이 그에 적용되게 되도록 작용되기전에 연속스트립(24)에 예각으로 정면말단으로 안내되고 연속적인 스트립(24)에 대략 평행하게 반사되는 레이저방사선에 의해 작용을 받는다.
본 발명에 따라서, 전극막대(288)의 평면이 이동방향(302)과 관련하여 제거영역(292)이 존재하는 평면으로부터 약간 흐름을 거슬러 올라가도록 선택된다. 이것은 글로방출이 코팅입자 스트리임(298)으로 전파되도록 하고 그결과 제15도에 따른 코팅유닛(88b)내 코팅입자 스트리임(170)에서와 동일한 방법으로 코팅입자 스트리임(198)을 조절한다.
레이저빔(294)은 제거영역(292)상에 레이저빔(294)에 초점을 맞추는 오목반사거울(306)에 부딪히는 평행한 레이저빔(304)의 형태로 상이 비추어진다.
거울(306)은 그결과 연속적인 스트립(24)에 평행한 방향으로 레이저빔(304)의 상을 비추고 동시에 제거영역(292)상에 초점을 맞춘다. 평행레이저빔(304)이 바람직스럽기로는 연속적인 스트립(24)의 평면에 수직인 방향으로 도입된다.
제17도에서 상세히 표시된 바와같이, 전극막대(288)은 연속적인 스트립(24)의 전체폭에 대해, 바람직스럽기로는 연속적인 스트립(24)의 전체폭이하로 마찬기지로 확대된다.
또한, 다수의 제거영역(292)이 연속적으로 바람직스럽기로는 횡방향(206)에 동일한 간격으로 배열되고 상기 제거영역으로부터 출발하는 코팅입자 스트리임(292)을 중첩시키고 실질적으로 일정한 코팅스트리임 밀도를 중첩시킨다.
제17도에 표시된 바와 마찬가지로, 레이저빔(304)이 각각의 제거영역(292)에 대해 도입되고 상기 제거영역상에 레이저빔(294)형태로 초점이 맞추어진다.
분리된 레이저는 바람직스럽기로는 레이저빔(304)을 비추기 위해 제공된다.
이에대한 대안으로서, 레이저빔(304)이 동시에 충돌하도록 적합한 광학수단에 의해 다수의 레이저빔(304)으로 레이저빔을 나누며 광학스위칭수단에 의한 시간과 관련하여 제거영역(292)으로부터 제거영역(292)까지의 레이저빔을 스위치시키는 것이 또한 가능하다.
제18도 및 제19도에 표시된 본 발명의 코팅유닛(88d)의 또하나의 실시예는 기본적으로 다른 타겟배열을 나타낸다. 상기 실시예에서, 롤코어(314)에 적용된 코팅재료(316)와의 원형실린더 단면적의 롤(312)이 타겟(310)으로 제공된다. 상기 코팅재료(316)는 단일원소 또는 단일화합물 또는 단일원소와 단일화합물의 혼합물로 구성된다.
롤(312)은 실린더측(318)에 대한 회전 때문에 롤코어(314)로 장착된다.
코팅재료(316)는 롤(312)의 원주표면상에 두개의 열(322,324)내에 배열되는 다수의 제거영역(320)내에서 제거된다.
제거영역(320)이 각각의 레이저빔(330)의 포커스스폿(328)에 의해 고정된다.
모든 레이저빔(330)은 서로다른 것에 평행하게 펼쳐지고 횡방향(206)에 동일거리로 배열된 제거영역상에 작용한다. 제거영역(320)으로부터 펴지는 코닝입자 스트리임(332)은 서로다른 것에 중첩되고 개개의 코팅입자 스트리임의 중첩 때문에 평균적으로 대략 일정한 코팅입자 스트리임밀도를 가지는 연속적인 스트립(24)을 향하는 방향으로 공통적인 코팅입자 스트리임을 형성한다.
반대열(322,324)내 배열된 제거영역이 바림직스럽기로는 원주표면(226)상에 반대면으로부터 상을 비추는 레이저빔(330)에 의해 작용을 받고 원주표면(326)에 접선에 대한 각각의 레이저빔(330)의 경사가 코팅입자 스트리임(332)이 전파하는 방향을 변화시키는 제거영역(330)에 의해 사용될 수 있다.
상당한 양의 코팅재료(316)가 롤(312)로부터 제거될적에 특히 필수적이다.
가능한한 일정하게 롤(312)로부터 코팅재료를 제거하기 위해, 롤이 그의 실린더측(318)으로 회전된다.
부가적으로 연속적인 스트립(324)으로부터 제거영역(320)의 간격에 관련하여, 말하자면 상기 간격이 전체 코팅시 실질적으로 일정하게 유지되도록 롤을 재조정하는 것이 필수적이다. 이것은 바람직스럽기로는 드라이브 및 그의 실린더축(318)에 대해 롤(312)을 회전시키기 위한 재조정장치(334)에 의해 수행된다. 회전시, 드라이브 및 재조정장치(334)는 제거된 코팅재료에 따라 연속적인 스트립(324)를 향한 공급방향(336)으로 롤(312)을 맞추고 제거영역(320)과 연속적인 스트립(324)사이의 간격을 일정하게 유지한다. 롤(312)로부터 코팅물질(316)의 제거를 전체원주표면(326)에 대해 가능한한 일정하게 유지하기 위해 열(322,342)에 따르는 제거영역(320)이 원주표면(326)에 대하여 횡방향(206)으로 이동하게 된다. 이것은 바람직스럽기로는 드라이브에 의해 움직이는 롤(312) 및 재조정장치(334)에 의해 횡방향(206)으로 동시에 가능해진다. 롤(312)은 그결과 전체원주표면 영역내에서 제거된다.
그러나, 제거영역(320)이 횡방향으로 레이저빔(330)의 이동에 의해 횡방향(206)에 정지롤상에서 앞뒤로 진동하면서 이동하는 것이 보다 적합하다.
한편으로, 롤(312)은 그결과 원주표면(326)상에 완전히 발산되고 달리, 코팅입자 스트리임(332)은 플랫재료 또는 연속적인 스트립(24)에 대하여 동일한 시간으로 이동하며 횡방향(206)으로 임의의 부분적으로 다른 코팅입자 스트리임밀도를 평균맞춘다.
제20도에 표시된 본 발명의 코팅유닛의 실시예 88e에서, 여러 개의 롤(312)이 회전드럽(340) 그 자체는 차례로 회전드럽측(342)에 대해 회전 가능하다.
롤(312)중 하나는 코팅재료(316)가 타겟위치(344)내 있는 롤로부터 코팅유닛(88d)과 연관하여 기술된 것과 동일한 방법으로 제거되도록 회전드럼(340)에 의해 타겟위치(344)내 각기 위치한다. 전체의 회전드럼(340)은 바람직스럽기로는 코팅유닛(88d)의 코팅챔버(346)내 배열되는 것이 아니라 코팅챔버(346)로부터 분리된 매가진챔버(348)내 배열되고 슬라이드(352)에 의해 패쇄가능한 오프닝(350)이 타겟위치의 면적내 제공된다. 코팅입자 스트리임은 상기 오프닝을 통해 코팅챔버(346)로 전파될 수 있고 연속적인 스트립(24)상에 코팅(172)을 형성한다.
다량의 코팅물질(16)이 본 발명에 따라 이용가능할 수 있도록 하기 위해서, 코팅재료(316)가 실질적으로 제거될때까지 롤(312)로부터 코팅재료(316)를 제거할 수 있다. 코팅의 짧은 중단후, 회전드럼(340)이 그다음 롤(312)이 타겟위치에 오고 풀린 롤(312)이 타겟위치(344)옆의 위치에 오도록 또한 그후 인덱스된다. 연속적인 스트립(24)의 코팅이 현재 타겟위치(344)내 그다음 롤(312)과 동일한 방법으로 계속된다.
코팅유닛(88e)의 실시예에서, 정확히 코팅유닛(88d)에서와 같이 제거영역(320)과 연속적인 스트립(24)사이의 간격이 실질적으로 일정하게 유지되도록 하기 위해서 연속적인 스트립(24)을 향한 방향으로 도면에 표시되지 않은 드라이브 및 변위유닛에 의한 공금방향(336)으로 움직여지는 회전드럼축(342)에 대한 회전에 대해 장착되는 전체의 회전드럼(340)에 의해 타겟위치(344)내 롤(312)의 재조정이 이루어진다.
또한, 특히 타겟위치(344)내 없는 롤(312)를 가리기 위해, 컬렉팅트로프(354)가 회전드럼(340)내 각각의 이들에 대해 제공된다. 켈렉팅트로프는 제거영역(320)으로부터 사라지는 측면상에 타겟위치(344)의 롤을 봉하고 제거프로세스시 롤에서 떨어지는 모든 입자들 또는 괴상을 모으고 연속적인 스트립(24)의 방향으로 코팅입자 스트리임(170)내에서 이송되지 않는다.
코팅유닛(88e)의 개선된 면이 제21도내 코팅유닛(88f)형태로 표시된다.
이러한 개선된 면에서, 롤(312)가 각각의 롤(312)이 각각 티어닝 스토어(356,358)에 대해 제공된 타겟위치(362,364)로 이송될 수 있는 연속적인 운반장치(360)을 가지는 두개의 티어닝스토어(356,368)상에 분포된다.
연속적인 운반장치는 바람직스럽기로는 각각의 롤(312)이 회전하면서 수행되고 각각 지지롤러(366,368)상에 그의 양말단에 회전하면서 안내되는 컨베이어체인이다.
두개의 타겟위치(362,364)에서, 각각의 롤(312)이 레이저빔(370)에 의해 작용을 받을 수 있다. 본 발명에 따라서, 롤(312)은 타겟위치(362)내 작용을 받거나 롤(312)은 대안적으로 타겟위치(364)내 작용을 받는다.
또한, 각각의 티어닝스토어(356,358)가 분리된 매가진챔버(371,372)내 배열되고 각기 오프닝(374,376)을 통해 코팅챔버(346)와 통한다. 각각의 상기 오프닝(374,376)이 각기 슬라이드(378,380)에 의해 폐쇄가능하다.
코팅유닛(88f)은 바람직스럽기로는 슬라이드(378)나 슬라이드(380)은 열려있고 그결과 타겟위치(362,364)내 롤(312)중 하나가 제거를 위해 레이저빔(370)에 의해 작용을 받을 수 있는 방법으로 작동한다. 각각의 롤은 그후 코팅재료(316)이 실질적으로 제거될때까지 풀린다. 타겟위치(362)내 예컨대, 롤(312)로부터 코팅재료를 제거한후, 레이저제거가 타겟위치내 마찬가지로 있는 롤(364)상에서 수행될 수 있고, 타겟위치(364)내 롤(312)로부터의 제거동안, 코팅재료로 충분한 정도로 제공된 그다음 롤(312)이 타겟위치(362)로 이송될 수 있도록 또한 티어닝스토어(356)가 인덱스될 수 있다.
타겟위치(364)내 롤(312)로부터 코팅재료를 제거한 후, 타겟위치(362)내 코팅재료(316)가 제공된 롤(312)로부터의 제거가 그후 다시 수행될 수 있다.
또한, 슬라이드(378,380)와 함께, 매가진챔버(370,372)를 폐쇄할 수 있고 롤(312)과 함께 각기 슬라이드(380,378)에 의해 코팅챔버로부터 매가진챔버(372,371)가 분리되는 스토어(358,356)을 교환하는 타겟위치(362,364)내 인접한 티어닝스토어(356,358)의 롤로부터 제거시 패쇄된 매가진챔버내 있을 수 있다. 이것은 예컨대, 코팅재료가 각기 티어닝스토어(358,356)의 모든롤(312)로부터 제거될적에 수행된다.
이에대한 대안으로서, 그러나, 하나의 각각의 위치,예컨대, 더 이상의 코팅재료(316)를 함유하지 않는 각각의 롤(312)이 교환되고 충분한 코팅재료를 운반하는 롤에 의해 교체되는 교환위치로서 각기 타겟위치(362,364)반대 위치에 티어닝스토퍼(356,358)의 위치를 제공하는 것이 본 발명의 방법에서 가능하다.
롤(312)을 사용하는 모든 코팅유닛(88d,88e,88f)에서, 롤코어(314)가 바람직스럽기로는 냉각제가 각각의 롤코어를 냉각시키도록 수행될 수 있거나 완화제가 각각의 롤코어를 가열하도록 수행되는 결과 또한 코팅재료(316)와 함께 전체의 롤(312)이 원하는 온도가되는 냉각채널을 가지도록 고안된다.
가장 간단한 경우에, 상기 냉각채널은 롤코어(314)내 축보어(382)로 제공된다.
기계적인 강도에 대한 지지체로서 작용하고 필수적인 구조적요소를 모두 함유하는 롤코어는 관련되는 실린더 주형내에서 코팅재료로 성형된다. 티어닝 및/또는 그라인딩형태의 표면의 부가적인 기계적 머쉬닝은 완벽한 회전대칭 및 타겟에 대한 관련되는 표면형성을 이루기위해 필수적이다. 본 발명에 따라서, 롤코어상에 코팅물질을 부착하는 다른 방법은 그러나 또한 고온아이소스타시 파우더프레싱, 웰딩-온, 플레이팅-온, 틈이 벌어진 디스크 및 디스크부품에 부착하는 것등에 의해 가능하다.

Claims (127)

  1. 평판재료가 부압력을 유지하는 코팅챔버(160,286,346)를 연속스트립(24)으로서 계속 통과하며, 코팅에 필수적인 부압력이 유지되는 코팅챔버(160,286,346)내에서 코팅재료(168,290,316)가 제거영역(176,292,320)에서 레이저빔(166,294,330)에 의해 제거되고, 코팅입자흐름(170,298,332)의 형태로 평판재료(24)의 방향으로 전파하며, 코팅(172)의 형태로 그위에 덮여지는 기판재료로서의 평판재료(24)를 코팅하기위한 방법에 있어서, 필수적인 코팅재료(168,290,316)가 코팅챔버(160,286,346)로 공급되며, 그사이에 코팅에 필수적인 감소된 압력이 유지되며, 제거영역(176,292,320)에서는 정교하게 조정된 코팅입자흐름(170,298,332)이 발생되고 코팅이 수행되도록 105w/cm2이상의 출력밀도를 가진 레이저빔(166,294,330)에 의한 제거가 발생하며, 몇 개의 제거영역(176,292,320)이 통과방향(208)에 대하여 횡단하는 방향(206)으로 서로에 대하여 공간상에 배치되며, 제거가 이러한 각각의 제거영역(176,292,320)에서 상기한 레이저빔(166,294,330)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 코팅재료(168,290,316)가 상기 연속적인 스트립(24) 통과의 간섭없이 공급되는 것을 특징으로하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기코팅재료 (168,290,316)) 상기 연속적인 스트립(24)상에 간섭없이 공급되는 것을 특징으로하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 일정한 코팅(172)을 상기 플랫재료(24)에 가하기 위해, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 연속적인 스트립(24)의 통과방향(208)에 가로지르는 방향(206)의 성분을 가지고 상기 플랫재료(24)에 대해 이동되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 횡방향의 성분(206)으로 진동하면서 회전 시켜지는 것을 특징으로하는 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 횡방향의 성분(206)에 평행하게 이동되는 것을 특징으로하는 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 횡방향성분(206)을 가진 코팅입자 스트리임(170)의 이동시 상기 제거영역(176) 및 상기 플랫재료(24) 사이의 간격이 실질적으로 일정하게 유지되는 것을 특징으로하는 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 횡방향성분을 가진 코팅입자 스트리임(170)을 이동시키기 위해서, 상기 제거영역(176)이 상기 횡방향성분으로(206)으로 이동되는 것을 특징으로하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 횡방향내 상기 제거영역(176,292,320) 사이의 간격이 개개의 제거영역으로부터 퍼지는 코팅입자 스트리임(170,298,332)의 중첩이 없도록 선택되는 것을 특징으로하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제거영역(106,292,320,) 사이의 간격이 그들로부터 퍼지는 코팅입자 스트리임(170,298,332)이 서로 다른 것에 중첩되도록 선택되는 것을 특징으로하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 간격이 실질적으로 일정한 코팅입자 스트리임(170,298,332) 밀도를 가진 전체 코팅입자 스트리임을 서로다른 것에 중첩하는 코팅입자 스트리임이 형성하도록 선택되는 것을 특징으로하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 횡방향(206)으로 서로다른 것으로부터 간격이 떨어져 있는 상기 제거영역들(176,292,320)이 레이저빔(166,294,330)으로 차례로 제거되는 것을 특징으로하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 횡방향(206)으로 서로다른 것으로부터 간격이 떨어져 있는 상기 제거영역들(176,292,320)이 동시에 각각의 하나의 레이저빔(166,294,320)으로 제거되는 것을 특징적으로하는 방법.
  14. 제1항에 있어서, 코팅물질(168,290,316)에 대한 여러 개의 제거영역들(176,292,320)이 상기 연속적인 스트립(24)의 통로(208)방향으로 연속적으로 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 코팅물질(168,290,316)이 상기 연속적인 스트립(24)의 통과방향(208)으로 연속적으로 배열된 상기 제거영역(176,292,320)내에서 상이한 것을 특징으로하는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 플랫재료(24)가 상기 횡방향(206)내 실질적으로 일정한 코팅입자밀도를 가진 제1코팅입자 스트리임(170,298,332)에 의해서 코팅되고 동시에 상기 연속적인 스트립(24)의 통과방향(208)으로 오프셋관계로 배열된 제2코팅입자 스트리임에 의하여 코팅되며 상기 횡방향(206)내 실질적으로 일정한 코팅입자 스트리임밀도를 가지는 것을 특징으로하는 방법.
  17. 제14항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170,298,332)이 동일한 코팅물질(168,290,316)을 운반하는 것을 특징으로하는 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170,298,332)이 상이한 코팅 물질(168,290,316)을 운반하는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제1항에 있어서, 상기 코팅물질이 용융괴상으로부터 제거되는 것을 특징으로하는 방법.
  20. 제1항에 있어서, 상기 코팅물질이(168,290,316)이 고체(174,290,312)로부터 제거되는 것을 특징으로하는 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 고체(174,290,312)가 상기 코팅물질(168,290,316)로 이루어지는 것을 특징으로하는 방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 고체(174,290,312)가 여러 개의 코팅물질로 이루어지는 것을 특징으로하는 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 고체(174,290,312)가 서로다른 것으로부터 공간상 떨어져 배열되어 있는 여러 개의 코팅물질로 구성되어 있는 것을 특징으로하는 방법.
  24. 제22항에 있어서, 상기 고체(174,290,312)가 균일하게 혼합되어 있는 여러 개의 코팅물질로 구성되어 있는 것을 특징으로하는 방법.
  25. 제1항에 있어서, 상기코팅물질(168,290,316)이 상기 코팅챔버(160,286,346)로 타겟형태로 도입되는 것을 특징으로하는 방법.
  26. 제25항에 있어서, 상기 제거영역(176,292)이 코팅물질로 구성된 상기 타겟(168,290)이 말단면상에 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  27. 제25항에 있어서, 상기 제거영역(176,292)이 코팅물질로 구성된 상기 타겟(168,290)의 정면의 측면말단에 배열되는 것을 특징으로하는방법.
  28. 제25항에 있어서, 상기 제거영역(176,320)이 상기 타겟(168,316)과 상기 레이저빔(166,330)사이의 상대이동에 의해 움직이는 것을 특징으로하는 방법.
  29. 제28항에 있어서, 상기 제거영역(176)의 이동의 그의 제거영역내 일정하게 남아있는 상기 타겟(168)형태를 야기시키는 것을 특징으로하는 방법.
  30. 제28항에 있어서, 레이저빔(166,330)과 타겟(168,316)사이의 상대운동이 상기 레이저빔의 이동에 의해 발생되는 것을 특징으로하는 방법.
  31. 제28항에 있어서, 레이저빔(166,330)과 타겟(168,316) 사이의 상대운동이 상기 타겟의 이동에 의해 발생되는 것을 특징으로하는 방법.
  32. 제25항에 있어서, 상기 타겟(168,290)이 연속적인 스트랜드형태인 것을 특징으로하는 방법.
  33. 제32항에 있어서, 상기 스트랜드(174)가 원형단면적을 가지는 것을 특징으로하는 방법.
  34. 제32항에 있어서, 상기 스트랜드가 스트립형태인 것을 특징으로하는 방법.
  35. 제 32항에 있어서, 상기 스트랜드(174)가 밀봉된 록(180)을 통해 상기 코팅챔버(160)로 도입되고 일정하게 공급되는 것을 특징으로하는 방법.
  36. 제25항에 있어서, 상기 타겟(316)이 서로다른 것으로부터 분리되는 코팅재료의 조각들(312)에 의해 형성되는 것을 특징으로하는 방법.
  37. 제36항에 있어서, 상기 코팅재료(316)가 상기 코팅챔버로(346)로 이들 조각들(312)내 도입되는 것을 특징으로하는 방법.
  38. 제37항에 있어서, 상기 조각들이 록(371,372)을 통해 상기 코팅챔버(346)로 도입되는 것을 특징으로하는 방법.
  39. 제37항에 있어서, 한조각(312)으로부터 상기 코팅물질을 제거하는 동안, 또 한조각(312)이 상기 코팅챔버(346)로 도입되는 것을 특징으로하는 방법.
  40. 제36항에 있어서, 상기 조각들이 연장된 실린더(312)형태인 것을 특징으로하는 방법.
  41. 제40항에 있어서, 상기 실린더(312)가 그의 실린더축(318)에 대해 회전하면서 장착되는 것을 특징으로하는 방법.
  42. 제40항에 있어서, 상기 실린더축이 상기 연속적인 스트립의 이동방향에 관통하여 펼쳐지는 것을 특징으로하는 방법.
  43. 제42항에 있어서, 상기 실린더축(318)이 상기 플랫재료(24)의 표면에 실질적으로 평행하게 배향 되어지는 것을 특징으로하는 방법.
  44. 제36항에 있어서, 상기 조각들이 매가진챔버(348,371,372)내 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  45. 제36항에 있어서, 상기 조각들(312)이 상기 터어닝매가진(340,356,358)내에 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  46. 제45항에 있어서, 상기 조각들(312)이 상기 터어닝매가진(340,356,358)내에서 서로다른 것에 평행하게 정렬되는 것을 특징으로하는 방법.
  47. 제46항에 있어서, 상기 터어닝매가진(356,358)이 상기 조각들(312)로 재충전되는 것을 특징으로하는 방법.
  48. 제45항에 있어서, 상기 터어닝매가진(340,356,358)을 상기 매가진챔버(348,371,372)내 수용하는 것을 특징으로하는 방법.
  49. 제44항에 있어서, 상기 매가진챔버 상기 코팅챔버(346)가 진공형태로 서로다른 것으로부터 분리 가능하다는 것을 특징으로하는 방법.
  50. 제44항에 있어서, 여러 개의 매가진챔버(371,372)가 제공되는 것을 특징으로하는 방법.
  51. 제49항에 있어서, 제거가 매가진챔버(371,372)로부터 적어도 하나의 조각(312)상에서 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  52. 제51항에 있어서, 제거에 의해 소모되는조각들(312)이 상기 코팅챔버(346)로부터 진공에서 분리되는 상기 매가진챔버(371,372)내에서 교체되는 것을 특징으로하는 방법.
  53. 제36항에 있어서, 상기 조각들(312)이 여러 개의 레이저빔(330)들에 의해 동시에 작용을 받고 여러 개의 제거영역(320)을 가지는 것을 특징으로하는 방법.
  54. 제36항에 있어서, 상기 조각들(312)이 상기 연속적인 스트립(24)의 이동방향(208)에 대해 횡방향(206)으로 펼쳐지는 것을 특징으로하는 방법.
  55. 제53항에 있어서, 상기 제거영역들이(320)이 상기 회방향(206)으로 서로다른 것으로부터 간격이 떨어져 있는 것을 특징으로하는 방법.
  56. 제36항에 있어서, 상기 제거영역(320)이 상기 조각(312)과 상기 레이버빔(330) 사이의 상대적인 이동 때문에 움직이는 것을 특징으로하는 방법.
  57. 제1항에 있어서, 상기 제거된 코팅물질(168,290,316)의 원자나 분자들이 상기 코팅입자 스트리임(170,298,332)내에서 화학적으로 반응하지 않고 상기 플랫재료상에 상기 코팅을 부착하는 것을 특징으로하는 방법.
  58. 제1항에 있어서, 상기 제거된 코팅물질(168,290,316)의 원자나 분자들이 상기 플랫재료(24)에 상기 코팅의 적어도 부분을 형성하는 화학화합물을 제조하기 위해 상기 코팅입자 스트리임(170,298,332)에 퍼지는 반응활성기체와 반응하는 것을 특징으로하는 방법.
  59. 제1항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 코팅입자 스트리임(170)내 코팅입자 스트리임 밀도변화를 줄이기 위해 상기 제거영역(176)과 상기 플랫재료(24)사이의 경로상에 부가적으로 작용을 받는 것을 특징으로하는 부가적으로 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  60. 제59항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 또하나의 입자들(220,230)에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  61. 제60항에 있어서, 상기 또하나의 입자들(220,230)이 기체입자들인 것을 특징으로하는 방법.
  62. 제60항에 있어서, 상기 또하나의 입자들이 상기 코팅입자 스트리임(170)상에 부딪히는 입자 스트리임(220) 형태로 공급되는 것을 특징으로하는 방법.
  63. 제59항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 충돌에 의해 상기 또하나의 입자들과 상호작용하는 것을 특징으로하는 방법.
  64. 제63항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 제거영역(176)으로부터 플랫재료(24)까지의 경로상에 상기 또하나의 입자들과 평균적으로 대략 적어도 한번충돌하는 것을 특징으로하는 방법.
  65. 제59항에 있어서, 또하나의 입자스트리임(230)이 상기 연속적인 스트립의 통과방향(208)에 대해 횡방향(206)의 성분으로 움직여지고 이러한 움직임에 의해 횡방향(206)으로 그와함께 상기 코팅입자 스트리임(170)을 움직이는 것을 특징으로하는 방법.
  66. 제60항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)내 코팅입자들의 속력조절이 상기 또하나의 입자들(220)에 의해 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  67. 제59항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 가스방출(240)에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  68. 제67항에 있어서, 상기 가스방출이 글로방출(240)인 것을 특징으로하는 방법.
  69. 제68항에 있어서, 상기 글로방출(240)이 또하나의 방출입자들에 의해 유지되는 것을 특징으로하는 방법.
  70. 제69항에 있어서, 상기 또하나의 충돌입자들이 상기 코팅물질 스트리임(170)과 서로 반응하는 것을 특징으로하는 방법.
  71. 제69항에 있어서, 상기 또하나의 방출입자들이 충돌에 의해 상기 코팅물질 스트리임(170)과 서로 반응하는 것을 특징으로하는 방법.
  72. 제68항에 있어서, 상기 글로방출(240)이 자기장에 의해 안정화되는 것을 특징으로하는 방법.
  73. 제59항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 방사선에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  74. 제73항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 전자기방사선에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  75. 제73항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 전자방사선에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  76. 제59항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 코팅입자 스트리임 변화를 감소시키는 방사선에 의해 선택적으로 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  77. 제1항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 상기 코팅입자들 사이의 에너지차를 줄이기 위해 상기 제거영역(176)과 상기 플랫재료(24)사이의 경로상에 부가적으로 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  78. 제77항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 이온에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  79. 제78항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 글로방출(240)에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  80. 제78항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 전기장 또는 자기장중 적어도 하나에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  81. 제77항에 있어서, 상기 코팅입자 스트리임(170)이 방사선에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  82. 제1항에 있어서, 상기 코팅(172)이 특성을 개선하기 위해 상기 플랫재료(24)상에 그의 성장시 고에너지 입자들에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  83. 제82항에 있어서, 상기 코팅(172)이 이온충격에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  84. 제83항에 있어서, 상기 코팅(172)이 기체방출(240)에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  85. 제84항에 있어서, 상기 코팅(172)이 글로방출(240)에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  86. 제82항에 있어서, 상기 코팅(172)이 전자에 의해 작용을 받는 것을 특징으로하는 방법.
  87. 제1항에 있어서, 상기 연속적인 스트립(24)이 상기 코팅챔버전 및 후에 록(86,90)을 통해 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  88. 제87항에 있어서, 상기 연속적인 스트립(24)이 상기 코팅챔버(160,286,346)내 접촉하지 않는 방법으로 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  89. 제87항에 있어서, 상기 연속적인 스트립(24)이 상기 코팅챔버(160)내 수직방향으로 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  90. 제1항에 있어서, 상기 연속적인 스트립(24)이 상기 연속적인 스트립을 제공하기 위한 기계적인 유닛(12)에 의해 제조되는 것을 특징으로하는 방법.
  91. 제90항에 있어서, 상기 스트립의 보관을 위한 장치(26)가 상기 연속적인 스트립을 제공하기 위한 상기 기계적유닛(12)을 따르기 위해서 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  92. 제1항에 있어서, 코팅물질(168)로의 코팅이전에, 상기 연속적인 스트립(24)이 화학적 예비처리 유닛(28)을 통해 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  93. 제92항에 있어서, 상기 화학적예비처리 유닛(28)이 알칼리탈지유닛(42)으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  94. 제93항에 있어서, 상기 알칼리탈지유닛(42)이 스프레이 탈지(30)로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  95. 제93항에 있어서, 상기 알칼리탈지유닛(42)이 전해질 탈지(34)로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  96. 제95항에 있어서, 상기 전해질 탈지(34)가 상기 스프레이탈지(30)를 따르도록 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  97. 제96항에 있어서, 상기 전해질 탈지(34)가 브러쉬기계(38)에 의해 상기 스프레이탈지(30)로부터 분리되는 것을 특징으로하는 방법.
  98. 제93항에 있어서, 캐스케이드린싱(40)이 상기 알칼리탈지유닛(42)의 말단에 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  99. 제98항에 있어서, 상기 캐스케이드린싱(40)이 브러쉬기계(38)에 의해 선행되는 것을 특징으로하는 방법.
  100. 제92항에 있어서, 상기 화학적예비처리 유닛(28)이 산체척(44)으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  101. 제100항에 있어서, 상기 산세척(44)이 상기 알칼리탈지유닛(42)을 따르도록 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  102. 제100항에 있어서, 상기 산세척(44)이 전해질 영역으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  103. 제102항에 있어서, 캐스케이드린싱(48)이 상기 전해질 영역(46)을 따르도록 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  104. 제103항에 있어서, 상기 캐스케이드린싱(48)이 브럭쉬기계에 의해 선행되는 것을 특징으로하는 방법.
  105. 제92항에 있어서, 상기 화학적예비처리 유닛(28)이 말단에 건조기(52)로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  106. 제1항에 있어서, 물리적예비처리 유닛(54)이 제공되는 것을 특징으로하는 방법.
  107. 제106항에 있어서, 상기 물리적예비처리 유닛(54)이 상기 화학적예비처리 유닛(28)을 따르는 것을 특징으로하는 방법.
  108. 제106항에 있어서, 물리적예비처리 유닛(54)이 탈가스화 유닛(70)으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  109. 제108항에 있어서, 탈착을 촉진시키기 위해 상기 연속적인 스트립(24)이 가열되고/또는 상기 탈가스화 유닛(70)내 전자충격 및/또는 이온충격 및/또는 플라스마방사선 및/또는 레이저광 및/또는 UN광에 주입되는 것을 특징으로하는 방법.
  110. 제108항에 있어서, 상기 탈가스화 유닛(70)이 압력을 유지하기 위해서 록(60,62,64,66)에 의해 선행되고 따라지는 것을 특징으로하는 방법.
  111. 제106항에 있어서, 상기 물리적인 예비처리 유닛(54)이 예열유닛(78)으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  112. 제111항에 있어서, 상기 연속적인 스트립의 가열이 상기 예열유닛(78)내 불활성기체대기(76)내에서 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  113. 제106항에 있어서, 상기 물리적예비처리 유닛(54)이 물리적활성화 유닛(84)으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  114. 제113항에 있어서, 상기 물리적활성화 유닛(84)이 상기 탈가스화 유닛(70)을 따르도록 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  115. 제114항에 있어서, 상기 예열유닛(78)이 상기 탈가스화 유닛(70)과 상기 물리적활성화 유닛(84)사이에서 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  116. 제113항에 있어서, 상기 플랫재료(24)의 활성화가 전자충격 또는 이온충격 또는 플라스마빔과의 충격 또는 레이저광으로의 충격 또는 UV광중 어느 하나 이상의 방사에 의해 상기 물리적활성화 유닛내에서 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  117. 제113항에 있어서, 상기 물리적활성화 유닛(84)내 압력이 크기순서와 관련하여 상기 코팅챔버(160)내압력과 동일한 것을 특징으로하는 방법.
  118. 제116항에 있어서, 이온충격이 글로방출에 의하여 상기 물리적활성화 유닛(54)내에서 수행되는 것을 특징으로하는 방법.
  119. 제118항에 있어서, 상기 글로방출이 자기장(134)에 의해 안정화되는 것을 특징으로하는 방법.
  120. 제118항에 있어서, 상기 글로방출이 보조전류 회로내에 열방출된 전자들에의해 촉진되는 것을 특징으로하는 방법.
  121. 제118항에 있어서, 상기 글로방출이 10-2내지 5 ×10-4mbar 압력범위내에서 발생하는 것을 특징으로하는 방법.
  122. 제118항에 있어서, 상기 글로방출이 요오크형태의 양극(132)에 의해 발생되는 것을 특징으로하는 방법.
  123. 제122항에 있어서, 자기장(134)을 발생하기 위한 코일(142)이 상기 요오크형태의 양극(132)내 배열되는 것을 특징으로하는 방법.
  124. 제123항에 있어서, 상기 요오크형태의 양극(132)이 자성화가능한 물질로 이루어지는 것을 특징으로하는 방법.
  125. 제113항에 있어서, 상기 물리적활성화 유닛(184)이 여러 개의 활성화챔버로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  126. 제113항에 있어서, 물리적예비처리가 코팅챔버(160)로부터 분리되지 않은 예비처리챔버내 코팅절차 이전에 발생되는 것을 특징으로하는 방법.
  127. 제113항에 있어서, 물리적활성화가 코팅챔버(160)로부터 분리된 예비처리 챔버내에서 발생되는 것을 특징으로하는 방법.
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