JP4740849B2 - 真空蒸着方法、及び真空蒸着用密封型蒸発源装置 - Google Patents
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Description
現在、例えば、眼鏡レンズの表面に対してSiO(蒸発材料)保護膜を蒸着形成する場合にあっては、真空槽の上部に多数のレンズを並べて配置し、かつその下部に開放型の蒸発源を設置した上で、一般的には抵抗加熱手段で蒸着させるようにしている。そして、この場合には、レンズの入れ替えを手作業で行ない、同時に蒸発材料の補充についても手作業で行なっている。このようにして基板(蒸着対象基板である眼鏡レンズ)の交換作業や蒸発材料の補充作業を行なうものは、他にも多数ある。
この参考例2は、図10による真空蒸着方法と真空蒸着用密封型蒸発源装置に基づくものの場合であり、蒸発材料が成形体である点で本発明とは異なる。
11,31,51,71,81 加熱容器
12a,12b,52a,52b 上部、下部の各加熱円筒
13a,13b,53a,53b 上部、下部の各電極
14,34,54 噴射開口
15 保持部
16,56 固定台
17 冷却配管
21,41,61 蒸気化空間
22 成形体
23 蒸発材料の粉粒体
32 保持筐体
33 加熱板
33a,33b 上部、下部の各電極
58 蒸発材料供給管
59 給送スクリュー
62 成長体
A 能動的発熱領域
B 受動的発熱領域
C 蒸発不能領域
Claims (10)
- 噴射用開口を配した気体密封型加熱容器を用いて、昇華性かつ粉粒状の蒸発材料を蒸着する真空蒸着方法において、
前記加熱容器は、前記粉粒状蒸発材料が該加熱容器からの伝導熱によっては蒸発しない領域に供給口を有しており、該供給口から供給される前記粉粒状蒸発材料は、前記加熱容器からの伝導熱によっては蒸発しない領域に保持され、かつ前記放射熱による蒸発領域では、該供給され保持される粉粒状蒸発材料を、加熱容器内の蒸発可能な温度を有する発熱面に接触しない状態で、かつ該発熱面に対向するように保持させ、
前記加熱容器からの伝導熱によっては蒸発しない領域に保持される粉粒状蒸発材料を前記加熱容器からの放射熱により蒸気化し、かつ該発生する蒸気を前記噴射用開口から容器外部の蒸着対象面に向けて噴射させることを特徴とする真空蒸着方法。 - 前記加熱容器の発熱面からの放射熱を受けて生じた前記粉粒状蒸発材料からの蒸気が、該加熱容器内の空間で熱擾乱運動しつつ、その一部が前記粉粒状蒸発材料の表面に再付着し、かつ固相化して所要形態に維持されることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着方法。
- 前記加熱容器に設けた供給口の気体密封性が、該供給口を経て供給される前記粉粒状蒸発材料の存在によって維持されることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着方法。
- 前記加熱容器に設けた供給口の気体密封性が、前記蒸気の一部再付着による固相化によって維持されることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空蒸着方法。
- 前記供給口への前記粉粒状蒸発材料の供給が、前記加熱容器内での粉粒状蒸発材料の前記噴射に伴う減少に対応して行なわれることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着方法。
- 昇華性かつ粉粒状の蒸発材料を蒸着する真空蒸着において、
噴射用開口を配しかつ内面からの放射熱により該粉粒状蒸発材料を蒸気化する領域を有する気体密封型加熱容器と、前記蒸発材料を保持させる保持部とを備え、
前記加熱容器は、前記粉粒状蒸発材料が該加熱容器からの伝導熱によっては蒸発しない領域部分に該粉粒状蒸発材料の供給口を有しており、該供給口から供給される前記粉粒状蒸発材料は、前記加熱容器からの伝導熱によっては蒸発しない領域に保持され、かつ前記放射熱による蒸発領域では、該供給され保持される粉粒状蒸発材料を、加熱容器内の蒸発可能な温度を有する発熱面に接触しない状態で、該発熱面に対向して保持させるようにし、
前記発生する蒸気を前記噴射用開口から容器外部の蒸着対象面に向けて噴射させるようにしたことを特徴とする真空蒸着用密封型蒸発源装置。 - 前記粉粒状蒸発材料の供給口ないしは前記保持部が、前記加熱容器からの伝導熱によっては該粉粒状蒸発材料を蒸発させない位置部分に配したことを特徴とする請求項6に記載の真空蒸着用密封型蒸発源装置。
- 前記加熱容器に設けた供給口の気体密封性が、該供給口を経て供給される前記粉粒状蒸発材料の存在によって維持されるようにしたことを特徴とする請求項6又は7に記載の真空蒸着用密封型蒸発源装置。
- 前記加熱容器に設けた供給口の気体密封性が、前記蒸気の一部再付着による固相化によって維持されるようにしたことを特徴とする請求項6ないし8の何れか1項に記載の真空蒸着用密封型蒸発源装置。
- 前記供給口への前記粉粒状蒸発材料の供給が、前記加熱容器内での粉粒状蒸発材料の前記噴射に伴う減少に対応して行なわれるようにしたことを特徴とする請求項6に記載の真空蒸着用密封型蒸発源装置。
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