KR100214167B1 - 용기의 봉착방법 및 봉착장치 - Google Patents

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니시무로 아츠시
후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[목적]
애노드기판과 캐소드기판의 상대위치가 어긋나지 않고 봉착될수 있는 용기의 봉착 방법을 제공한다.
[구성]
유리제의 한쪽 기판(1)(또는 2)의 주변 가장자리 단부에 밀봉유리(4)를 배치하고, 그위로 부터의 다른쪽 기관(2)(또는 1)을 재치한다. 그리고 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 상대위치를 위치결정하고, 애노드기판(1)위에서 레이저광(12)을 밀봉유리(4)에 조사하여 국부적으로 용융하고 캐소드기판(1)과 애노드기판(2)을 임시고정 한다. 이 임시고정된 캐소드기판(1) 및애노드기판(2)으로 이루어지는 유리용기(30)를 봉착로에 반입하여 캐소드기판(1)과 애노드기판(2)을 봉착한다.

Description

용기의 봉착방법 및 봉착장치
제1도는 본발명의 용기의 봉착(封着)방법 및 봉착장치 설명도.
제2도는 봉착시에 있어서 용기를 다수 끼워둔 상태 표시도.
제3도는 본발명의 다른 형상의 용기의 봉착방법 및 봉착장치 설명도.
제4도는 봉착시에 있어서 용기를 다수 끼워둔 상태 표시도.
제5도는 종래의 유리용기의 봉착방법의 개략 공정을 설명하기 위한 사시도.
제6도는 종래의 VFD 유리용기의 봉착방법의 공정을 설명하기 위한 단면도.
제7도는 봉착시에 유리용기를 클립 고정한 상태표시도.
제8도는 종래의 FED 유리용기의 봉착방법의 공정을 설명하기 위한 단면도.
제9도는 봉착시에 유리용기를 클립 고정한 상태표시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 애노드기판 2 : 캐소드기판
3 : 사이드기판 4 : 밀봉유리(seal glass)
10 : 광학계 11 : 광섬유
12 : 레이저광 20 : 히터
30 : 유리용기
[산업상의 이용분야]
본발명은 형광표시관이나 전계방출형 표시장치등의 내부가 진공으로 유지되는 용기나, 내부에 특정분위기를 갖는 용기의 봉착방법 및 봉착장치에 관한 것이다.
[종래의 기술]
형광표시관(VFD)이나 전계 방출형 표시장치(FED)등에 있어서는 형광체가 설치되어 있는 애노드가 설치되는 애노드기판과 캐소드가 설치되는 캐소드기판으로 그 유리용기가 적어도 구성되어 있다. 그리고, 캐소드 기판에서 방출된 전자를 애노드기판의 특정위치에 소정 타이밍으로 인도함으로써 소정 화상이나 문자 등을 표시하도록 되어 있다.
이 때문에 애노드기판과 캐소드기판을 봉착함으로써 용기를 형성한 후에 있어서, 양 기판의 상대위치가 정밀하게 위치맞춤되어 있을 필요가 있으나, 일반적으로 봉착시에 양기판의 상대적 위치가 엇갈리기 쉬운 것이었다.
여기서, 유리로된 용기를 형성하기 위하여 애노드기판과 캐소드기판을 봉착하는 종래의 봉착방법의 개략을 제5도에 도시한다.
이 도면에 있어서, 1은 캐소드기판에서 방출되는 전자를 포착하는 애노드가 설치됨과 동시에 형광체가 도포된 유리제 애노드기판, 2는 전자를 방출하는 캐소드나, 캐소드에서 방출된 전자의 애노드로의 도달을 제어하는 제어전극 등이 설치된 유리제 캐소드기판, 4는 밀봉유리, 5는 클립이다.
유리용기를 제조할때는 제5a도에 도시하는 바와 같이 캐소드기판(2)의 주변 가장자리 단부의 표면에 밀봉유리(4)를 도포 또는 재치(載置)함으로써 설치하고, 그 위에서 애노드기판(1)을 중합시킨다. 이 캐소드기판(2) 및애노드기판(1)에는 각각 위치맞춤용 기준마크가 부착되어 있고, 이 기준마크를 현미경으로 관찰하면서 애노드기판(1)을 캐소드기판(2)에 대하여 상대이동시켜서 캐소드기판(2)의 기준마크와 애노드기판(1)의 기준마크를 일치시킴으로써 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 상대위치를 위치결정하고 있다.
이와 같이 하여 위치결정이 완료된 후, 제5b도에 도시하는 바와 같이 캐소드기판(2) 및 애노드기판(1)의 네모서리를 각각 클립(5)으로 끼워서 상대적 위치가 어긋나지 않도록 고정한다. 그후, 이 캐소드기판(2) 및애노드기판(1)을 클립(5)으로 끼운채 봉착로(爐)에 반입하여 가열한다. 그러면 융점이 낮은 밀봉유리(4)가 용융하여 애노드기판(1)과 캐소드기판(2)이 봉착되게 된다.
그후, 봉착된 캐소드기판(2) 및 애노드기판(1)을 봉착로에서 반출하여 냉각시키면 밀봉유리(4)에 의해 접합용착된 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)으로 이루어지는 표시 장치가 봉입된 유리용기를 얻을수 있다.
이와 같은 유리용기에 봉입된 표시장치의 하나로서 형광표시관(이하 VFD라함)이 있는데, 그 VFD의 유리용기의 종래의 봉착방법을 제6도 및 제7도를 참조하면서 설명한다.
이들 도면에 있어서, 1은 캐소드기판(2)에서 방출되는 전자를 포착하는 애노드가 설치됨과 동시에 형광체가 도포된 유리제 애노드기판, 2는 전자를 방출하는 필라멘트나, 필라멘트에서 방출된 전자의 애노드로의 도달을 제어하는 클립등이 설치된 유리제 캐소드기판, 3은 애노드기판(1)과 캐소드기판을 소정간격으로 대향하도록 이격하기 위한 사이드기관, 4는 밀봉유리, 5는 클립이다.
우선, 애노드기판(1)에 애노드를 형성함과 동시에 형광체를 설치하고, 한편 캐소드기판(2)과 사이드기판(3)으로 형성되는 상자모양 용기내에 필라멘트나 그리드등으로 이루어지는 전자방출부를 설치한다. 이어서 사이드기판(3)의 상단면에 밀봉유리(4)를 도포 또는 재치함으로써 설치한 후, 애노드 기판을 대향시켜 제6b도로 표시하는 상태로 한다. 그리고, 애노드기판(1)을 캐소드기판(2)에 중합시켜 제6c도로 표시하는 상태로 하고, 이 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)과의 상대위치를 상기한 바와 같이 상호의 기준마크가 일치하도록 현미경으로 관찰하면서 위치 결정한다.
위치결정이 종료된후, 제7도에 도시하는 바와 같이 캐소드기판(2) 및애노드기판(1)의 네모서리를 각각 클립(5)으로 끼워서 상대적 위치가 어긋나지 않도록 고정한다. 이 클럽으로 끼운 상태대로 캐소드기판(2) 및애노드기판(1)을 봉착로에 반입하여 가열한다. 그리하면 상기한 바와 같이 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)은 용융한 밀봉유리(4)에 의해 용착되게 되고, 형광체가 설치된 애노드 및 필라멘트나 그리드등이 봉입된 VFD 유리용기(30)가 봉착되게 된다.
이 VFD에 있어서는 사이드기판(3)을 설치함으로써 내부공간, 즉 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)사이에 틈새를 형성하게하여 필라멘트나 그리드 등의 수납공간을 설치하도록 하고 있다.
유리용기에 봉입되어 있는 표시장치에는 이 밖에 전계방출형 표시장치(이하, FED 라함)라 하는 것이 있는데, FED에 있어서는 캐소드기판과 애노드기판의 간견이 1mm 이하로 되어 있고, 사이드기판을 이용하여 그 틈새를 얻게하기 위해서는 사이드기판의 두께를 대단히 얇게하지 않으면 안되기 때문에 곤란하다.
그래서 사이드기판에 대신하여 1예로서 미소한 지름을 갖는 유리비드(beads)를 사용하여 미소한 틈새를 갖는 애노드기판과 캐소드기판으로 이루어지는 유리용기를 얻도록 하는 것이 제안되고 있다.
예컨대 캐소드기판과 애노드기판의 간격이 약 200㎛ 인 FED 유리용기의 봉착방법을 제8도 및 제9도를 참조하면서 설명한다.
이 도면에 있어서, 1은 캐소드기판(2)에서 방출되는 전자를 포착하는 애노드가 설치됨과 동시에 형광체가 도포된 유리제 애노드기판, 2는 전자를 방출하는 캐소드나, 캐소드에서 방출된 전자의 애노드로의 도달을 제어하는 제어전극 등이 설치된 유리제 캐소드기판, 4는 밀봉유리, 5는 클립, 6은 직경이 약 200㎛ 인 미소한 유리비드이다. 우선, 봉착에 앞서 애노드기판(1)에 애노드를 형성함과 동시에 형광체를 설치하고, 한편 캐소드기판(2)에 집적회로 작성기술에 의해 미세구조의 캐소드나 제어전극 등을 설치한다. 이어서, 캐소드기판(2)의 주변가장자리 단부에 미소지름의 유리비드가 혼입된 밀봉유리(4)를 도포 또는 재치함으로써 설치되고, 그 위에 애노드기판(1)을 대향시켜 제8도(b)로 표시하는 상태로 한다. 그리고, 애노드기판(1)을 캐소드기판(2)에 중합시켜 제8도(C)로 표시하는 상태로 하고, 이 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 상대위치를 상기한 바와 같이 서로의 기준마크가 일치하도록 현미경으로 관찰하면서 위치결정한다.
이 경우, 밀봉유리(4)내에는 미소지름의 유리비드(6)가 혼입되어 있고, 제8도(d)의 확대도에 도시하는 바와 같이 애노드기판(1)과 캐소드기판(2)은 이 유리비드(6)에 의해 미소한 큼새를 가져 대향하게 된다.
이어서 위치결정이 종료되면 제9도에 도시하는 바와 같이 캐소드기판(2) 및애노드기판(1)의 네모서리를 각각 크립(5)으로 끼워서 상대적 위치가 어긋나지 않도록 고정한다. 이 클립으로 끼운 상태대로 캐소드기판(2) 및애노드기판(1)을 봉착로에 반입하여 가열한다. 그리하면 상기한 바와 같이 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)은 용융한 밀봉유리(4)에 의해 봉착되어 형광체가 설치된 애노드 및 전자를 방출하는 미세구조의 캐소드나 제어전극 등이 봉입된 FED 유리용기(30)를 봉착할수 있게 된다.
이와 같이 상기한 FED에 있어서는 유리비드(6)를 밀봉유리(4)내에 혼입함으로써 내부공간, 즉 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)사이의 미소한 틈새를 형성하고, 미세구조의 캐소드나 제어전극등 및 애노드가 이 수납공간을 이격하여 대향하게 된다.
[발명이 해결하고자 하는 과제]
그러나, 이와 같은 종래의 표시장치에 있어서의 용기의 봉착방법에 있어서는 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)을 위치결정한후, 클립(5)으로 고정하고 있기 때문에 클립(5)의 장착시 혹은 봉착로에 이송할때의 진동등으로 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 위치가 어긋날 우려가 생기고 있었다.
또한, 봉착로내에서 가열됨으로써 밀봉유리(4)는 용융하나, 이 용융은 반드시 균일하게 용융이 개시되는 것은 아니며, 봉착시에는 양기판간에 클립(5)에 의해 응력이 주어지고 있기 때문에 밀봉유리(4)의 용융시에 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 위치가 어긋날 우려가 있었다.
그런데, 유리용기(30)를 이용하는 VFD나 FED 등의 표시장치에 있어서는 캐소드에서 방출된 전자는 소정 타이밍으로 특정위치의 애노드에 포작됨으로써 바람직한 화상이나 문자를 표시하도록 되어있기 때문에 캐소드와 애노드는 정밀하게 위치맞춤되어서 유리용기(10)내에 수납되어 있을 필요가 있다.
따라서, 캐소드와 애노드 또는 형광체와의 위치가 상대적으로 어긋나면 전자를 효율적으로 포착할수 없게 되어 형광체의 발광효율이 저하되거나 컬러표시장치의 경우는 색 엇갈림이 생기게 된다.
이 때문에 소정 표시가 효율적으로 행해지지 않게되고 위치어긋남을 보정하기 위한 제어수단이 필요해지는 문제점이 있었다.
특히, FED 의 경우에는 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 간격이 매우 작기 때문에 전자원인 캐소드와 애노드 및 형광체와의 위치 어긋남의 악영향이 현저하게 나타나게 된다.
또, 이 위치어긋남을 방지하기 위하여 유기계(有機系)의 접착제로 양기판을 임시 고정시킨후, 봉착로내에서 봉착하는 것이 생각될수 있으나, 봉착시에 이 접착제에서 분해가스가 생겨 유리용기내의 애노드부재나 캐소드부재를 오염시켜 악영향을 끼치게 된다.
그래서, 본발명은 표시장치의 용기를 형성하기 위한 2매의 기판을 위치 결정한 후에는 위치 어긋남이 없고, 또한 분해가스 등도 발생하지 않는 용기의 봉착방법, 및 이와 같은 봉착방법을 행할수 있는 봉착장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 목적을 달성하기 위하여 본발명의 용기의 봉착방법은 유리로 형성된 제1기판과, 유리나 금속 또는 반도체로 형성된 제2기판의 적어도 한쪽의 주변가장자리부에 밀봉유리를 도포하고, 상기 밀봉유리를 통하여 상기 제1기판, 제2기판을 겹쳐 소정위치에 위치 결정하고, 위치결정후, 봉착로내에서 가열함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 봉착시키는 용기의 봉착방법에 있어서, 상기 제1기판과 상기 제2기판을 위치결정한후, 상기 밀봉유리를 국부가열수단에 의해 국부적으로 가열하여 상기 제1기판과 상기 제2기판을 적어도 두곳에서 임시 고정하고, 임시고정후 봉착로내에서 가열함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 봉착시키도록한 것이다.
또, 구체적으로는 상기 국부가열수단이 레이저에 의한 국부 가열수단으로 되어 있는 것으로 상기 레이저의 레이저쇼트의 펄스파형을 점차 파의 높이가 감소하는 파형이 되도록한 것이다. 그리고, 상기 레이저에 의해 임시 고정하는 임시고정부 근방을 히터에 의해 가열하게 하여도 되는 것이다.
이 경우, 상기 밀봉유리가 납이 혼입된 비결정성 저융점 유리인 것이 바람직하다. 다음에 본발명의 용기의 봉착장치는 유리로 형성된 제1기판과, 유리 또는 금속이나 반도체로 형성된 제2기판의 적어도 한쪽의 주변 가장자리부에 밀봉유리를 도포하는 밀봉유리 도포수단과, 그 밀봉유리 도포수단에 의해 도포된 밀봉유리를 통하여 상기 제1기판과 제2기판을 겹쳐, 소정 위치에 위치결정하는 위치결정수단과, 그 밀봉유리 도포수단에 의해 도포된 밀봉유리를 통하여 상기 제1기판과 제2기판을 겹쳐, 소정위치에 위치결정하는 위치결정수단과, 그 위치결정수단에 의한 위치결정후, 상기 밀봉유리를 국부가열수단에 의해 국부적으로 가열하여 상기 제1기판과 상기 제2기판을 적어도 두곳에서 임시 고정하는 임시고정 수단과, 그 임시고정수단에 의한 임시고정후 전체를 가열함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 봉착시키는 봉착수단을 구비하도록 한 것이다.
[작용]
본발명에 의하면 제1기판과 제2기판이 위치결정된후, 레이저에 의해 밀봉유리가 적어도 두곳에서 임시고정되고 임시고정후, 봉착로내에 있어서 용기전체가 가열되고, 제1기판과 제2기판이 봉착되도록 되기 때문에 운송시 및 봉착시에 상대적 위치가 어긋나지 않고 봉착을 행할수 있게 된다.
또, 밀봉유리로서 납이 혼입된 비결정성 저융점 유리를 사용하면, 레이저에 의해 밀봉유리가 발열하기 쉽게되어 임시고정을 단시간에 효율적으로 행할수 있다.
그리고, 레이저에 의한 임시고정시 히터에 의해 제1기판 또는 제2기판에 있어서의 임시고정부 근방을 가열함으로써 열충격이나 잔류하는 열왜곡의 발생을 극력억제할수 있고 유리용기의 파손을 방지할수 있다.
그리고, 레이저의 레이저쇼트의 펄스파형을 점차 파의 높이가 감소하는 파형으로 함으로써 임시고정후에 서서히 냉각되게 되어 열왜곡의 잔류를 방지할수 있다.
[실시예]
본발명의 용기봉착방법 및 봉착장치를 제1도 및 제2도를 참조하면서 설명하나,이들 도면은 형광표시관(VFD)에 있어서의 유리용기를 예로한 것이다.
이들 도면에 있어서, 1은 캐소드 기판(2)에서 방출되는 전자를 포착하는 애노드가 설치됨과 동시에 형광체가 도포된 유리제 애노드기판, 2는 전자를 방출하는 필라멘트나, 필라멘트에서 방출된 전자의 애노드로의 도달을 제어하는 그리드 등이 설치된 유리제 캐소드기판, 3은 애노드기판(1)과 캐소드기판을 소정 간격으로 대향하도록 이격하기 위한 사이드기판, 4는 밀봉유리, 10은 레이저광을 수속하는 광학계, 11은 광학계(10)에 레이저광을 인도하는 광섬유, 12는 광학계(10)에서 사출된 레이저광, 20은 가열용 히터이다.
또, 제2도에 있어서, 22는 복수의 유리용기(30)를 동시에 끼워두기 위한 유리제 하판, 23은 하판(22)과 쌍이 된 유리제 상판, 24는 상판(23)과 하판(22)을 고착하는 볼트, 25는 볼트(24)에 고착되는 너트이다.
캐소드기판(2)에는 미리 사이드기판(3)이 접합 또는 구부러져 설치되어 있고, 애노드기판(1)에는 애노드와 형광체가 설치되어 있으며, 캐소드기판(2)에는 필라멘트와 그리드 등의 전자방출부가 설치되어 있다. 이와 같이 구성되어 있는 애노드기판(1)의 주변 가장자리단부, 혹은 사이드기판(3)의 상단 주변가장자리부 표면에 밀봉유리(4)를 도포 또는 재치함으로써 설치되고, 상기 제6c도에 도시하는 바와 같이 애노드기판(1)과 캐소드기판(2)을 대향하도록 중합 시킨다.
이어서 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 상대위치를 위치결정한다.
위치결정은 야기판에 형성되어 있는 위치맞춤마크가 일치하도록 현미경으로 관찰하면서 가동테이블상에 고정하였다.
가령 캐소드기판(2)을 애노드기판(1)에 대하여 이동하도록 위치제어하여 위치결정을 하고 있다.
그리고 위치결정이 종료하면 그대로의 상태에 있어서, 제1도에 도시하는 바와 같이 히터(20)에 의해 양기판의 일부를 가열하고, 가열한 부분에 광학계(10)에서 광섬유(11)를 통하여 공급되고 있는 레이저광(12)을 애노드기판(1)위에서 조사한다.
그리하면 캐소드기판(1)은 유리제이고 레이저에 대하여 투명하고, 한편 밀봉유리(4)는 납을 함유하고 있는 밀봉유리(4)로 되어 있고, 회색 또는 흑색을 하고 있기 때문에 레이저광(12)은 애노드기판(1)을 투과하여 밀봉유리(4)에 수속되어 이것을 국부적으로 가열한다.
이에 따라, 밀봉유리(4)는 국부적으로 용융하여 애소드기판(1)와 캐소드기판(2)으로 되는 유리용기(30)의 일부가 용착되게 된다.
즉, 임시고정이 행해지게 된다. 이 임시고정은 밀봉유리(4)의 대각하는 적어도 두곳에 행하게 되는데, 대각하는 네곳의 임시고정을 행하여도 된다.
그러나, 레이저광(12)의 조사에 의해 캐소드기판(1) 및애노드기판(2)은 국부적으로 가열되기 때문에 냉각될 경우에 열왜곡이 잔류될 경우가 있다.
이와 같은 열왜곡이 잔류되지 않도록 레이저광(12)이 조사되는 부분의 근방을 캐소드기판(2)의 안쪽에 배치되어 있는 히터(20)로 가열하게 한다.
이에 의해 잔류열왜곡의 발생을 극력방지할수 있으나, 또한 임시고정시의 레이저광(12)의 펄스파형을 그 파의 높이가 최초는 높고 점차 감소하는 것과 같은 펄스파형으로 함으로써 레이저광(12)의 조사부분이 서서히 냉각되기 때문에 열왜곡의 잔류를 더욱 감소시킬 수 있다.
레이저장치(12)에는 탄산가스(CO2)등의 가스를 이용한 가스레이저 장치나 YAG(이트륨·알루미늄·가네트)레이저 등의 고체레이저 장치나 기타의 레이저장치가 있으나, 유리는 투과하나 밀봉유리는 투과하지 않는 파장의 레이저광을 출력하는 적절한 레이저 장치라면 어떤 레이저 장치라도 채용하기가 가능하다.
특히, YAG 레이저 장치의 레이저광은 그 파장이 약 1.06 ㎛ 이고, 투명한 물체, 가령 투명유리등은 투과할수 있으므로 애노드기판(1)또는 캐소드기판(2)을 통하여 밀봉유리(4)를 가열할때에 레이저광이 투명한 애노드기판(1)또는 캐소드기판(2)에 흡수되지 않고, 애노드기판(1)또는 캐소드기판(2)은 발열하지 않게 된다.
그 결과, 애노스기판(1) 및캐소드기판(2)을 발열시키지 않고, 밀봉유리(4)만을 효율좋게 가열할 수 있기 때문에 YAG 레이저 장치가 본발명에 있어서는 가장 적합하다.
이와 같이하여 임시고정된 유리용기(30)는 제7도에 도시하는 바와 같이 클립으로 끼워두어져 봉착로내에 있어서 봉착됨으로써 VFD의 유리용기(30)가 제작되게 된다.
이 경우, 제2도에 도시하는 바와 같이 임시 고정된 유리용기(30)를 수조(數組)내지 수십조로 겹쳐, 하판(22)위에 재치하고, 이 재치하고, 이 재치된 복수조의 유리용기(30)상에 상판(23)을 재치한다.
그리고, 4개의 볼트(24)를 하판(22) 및상판(23)의 네모서리에 형성되어 있는 구멍에 관통시키고, 이 볼트(24)에 너트(25)를 고착함으로써 복수조의 유리용기(30)를 상판(23)과 하판(22)으로 끼워두도록한다.
그리고, 그대로의 상태로 봉착로에 반입하여 가열한다.
이 가열에 의해 밀봉유리(4)의 전체가 용융하고 복수조의 유리용기(30)는 각각 밀봉유리(4)에 의해 봉착되게 된다.
따라서 유리용기(30)의 1조마다 클립을 필요로 하는 일이 없어짐과 함께 봉착로 내를 유효하게 사용할수 있어 대량 생산에 적합한 봉착방법으로 할 수 있다.
다음에 전계방출 표시장치에 있어서의 유리용기의 봉착방법 및 봉착장치를 제3도 및 제4도에 도시하고 있는데 이 봉착방법에 있어서는 상기 제8도에 도시하는 바와 같이 밀봉유리(4)내에 미소한 지름의 유리비드가 혼입되어 있는 것으로 이점을 제외하고 상기 제1도 및 제2도에 도시하는 봉착방법과 동일하기 때문에, 제3도 및 제4도의 상세한 설명을 생략하나, 제3도에 도시하는 바와 같이 레이저광(12)에 의해 애노드기판(1)과 캐소드기판(2)을 임시고정 트리밍한후, 제4도에 도시하는 바와 같이 임시고정된 유리용기(30)를 수조 내지 수십조로 겹쳐, 상판(23)과 하판(22)으로 끼워두어 1회에 다수의 유리용기(30)를 봉착할수 있다.
이상의 설명에 있어서는 용기는 유리용기로 하였으나 용기를 구성하는 적어도 한쪽의 기판만이 유리제이면 되고, 다른쪽 기판은 유리대신 금속 또는 반도체로 형성 하여도 된다.
또, 상기 설명에 있어서 레이저광(12)은 애노드기판(1)또는 캐소드기판(2)을 통하여 밀봉유리(4)에 조사되고 있다.
그러나, CO2레이저 장치에 있어서의 레이저광의 경우에는 그 파장이 양 10.6 ㎛ 이고, 유리제 기판을 레이저광은 투과하기 어렵게되고 레이저광이 조사된 부분이 발열하게 된다.
이 때문에 효과적으로 밀봉유리를 발열시키기가 곤란한 사실로 인하여 CO2레이저 장치를 사용할 경우에는 유리용기의 측면에서 직접 밀봉유리(4)에 레이저광을 조사하게 하여 밀봉유리(4)를 용융하면 임시 고정하는 것을 가능하게할 수 있다.
또한, 임시고정후 봉착로내에 반입하여 봉착하게 하였으나 이에 반하지 않고, 임시 고정후에 밀봉유리를 전체 주변에 결쳐 레이저에 의해 용융하여 봉착하여도 된다.
또, 임시고정된 용기는 수조 내지 수십조로 겹쳐서 하판(22)과 상판(23)에 의해 끼워두도록 하였으나, 1 조씩 클립으로 끼워두는 것도 가능하다.
또한, 용기의 내부는 고진공 상태로하여 VFD, FED 나 큰화면용 발광셀 등을 제조하고 있으나 그 내부에 특정분위기를 충전한 가령 플라즈마 디스플레이 등의 표시장치의 용기로 할수도 있다.
그리고, 기판의 한쪽을 유리제로 하여 다른쪽의 기판을 반도체제의 기판으로 하면 내부에서 광을 방출할수 있는 것, 및 외부에서 광을 수광할수 있는 용기로 할수 있고, 예컨대 반도체 레이저나 CCD 등의 용기로서도 적용할수 있는 것이다.
또한, 용기의 임시고정부는 두곳 또는 네곳으로 하였으나 이에 한하지 않고 캐소드기판(2)과 애노드기판(1)의 위치가 어긋나지 않도록 적어도 두곳 이상, 특히 대각선상에 두곳이상이 있으면 그 임시고정부의 수는 적절히 변경가능하다.
또, 밀봉유리에 혼입되는 것은 납에 한정되지 않고, 레이저광에 의해 발열하는 금속 입자라면 어떤 것이라도 좋다.
또한, 상기 설명에 있어서는 용기를 임시고정하는 국부가열수단으로서 레이저에 의한 가열수단을 이용하고 있으나 본발명은 이에 한하지 않고 국부적으로 가열할수 있는 저항코일히터, 고주파 가열히터, 납땜인두 등의 가열수단의 어떤 가열수단이라도 사용할수 있다.
[발명의 효과]
본발명은 이상과 같이 구성되어 있기 때문에 제1기판과 제2기판이 위치결정된후, 레이저에 의해 밀봉유리부가 적어도 두곳으로 임시고정되고, 임시고정후, 봉착로내에 있어서 용기전체가 기열되어 제1기판과 제2기판이 봉착되게 되기 때문에 운반시와 봉착시에 상대적 위치가 어긋나지 않고 봉착을 행할수 있게 된다.
또, 밀봉유리로서 납이 혼입된 비결정성 저융점 유리를 사용하면 레이저에 의해 밀봉유리가 발열하기 쉽게되고 임시고정을 단시간으로 또한 효율적으로 행할수 있다.
그리고, 레이저에 의한 임시고정시에 히터에 의해 제1기판 또는 제2기판에 있어서의 임시고정부 근방을 가열함으로써 잔류하는 열왜곡의 발생을 극력방지할 수 있어, 용기의 파손을 방지할수 있다.
또한, 레이저의 레이저쇼트의 펄스파형이 점차 파의 높이가 감소하는 파형으로 함으로써 임시고정후에 레이저 조사부가 서서히 냉각되게 되어 열왜곡의 잔류를 방지할수 있다.
또, 임시 고정된 제1기판 및 제2기판을 복수조로 겹쳐 끼워두어 봉착로에 반입하기가 가능하다. 따라서 종래방법과 같이 1조씩 클립으로 끼우는 방법보다 봉착로에 대량의 봉착전의 용기를 수납할수 있어 대량생산에 적합한 봉착방법으로 할수 있다.
그리고, 유기계의 접착제를 사용하지 않았기 때문에 봉착시에 분해가스가 발생하지 않고 용기내부의 애노드부재 또는 캐소드 부재에 악영향을 끼치는 일이 없다.

Claims (6)

  1. 유리로 형성된 제1기판과, 유리 또는 금속 또는 반도체로 형성된 제2기판과의 적어도 한쪽의 주변 가장자리부에 밀봉유리를 도포하고, 상기 밀봉유리를 통하여 상기 제1기판, 제2기판을 겹쳐 소정위치에 위치결정하고, 위치결정한후, 봉착로내에서 가열함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 봉착시키는 용기의 봉착방법에 있어서, 상기 제1기판과 상기 제2기판을 위치결정한후, 상기 밀봉유리를 국부가열수단에 의해 국부적으로 가열하여 상기 제1기판과 상기 제2기판을 적어도 두곳에서 임시고정하고, 임시고정후, 봉착로내에서 가열함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 봉착시키는 것을 특징으로 하는 용기의 봉착방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 국부가열수단이 레이저에 의한 국부가열수단으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 용기의 봉착방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 레이저의 레이저쇼트의 펄스파형이 점차 파의 높이가 감소되는 파형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 용기의 봉착방법.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 레이저에 의해 임시고정하는 임시고정부의 근방을 히터에 의해 가열하는 것을 특징으로 하는 용기의 봉착방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 밀봉유리가 납이 혼입된 비결정성 저융점 유리인 것을 특징으로 하는 용기의 봉착방법.
  6. 유리로 형성된 제1기판과, 유리 또는 금속 또는 반도체로 형성된 제2기판과의 적어도 한쪽의 주변 가장자리부에 밀봉유리를 도포한는 밀봉유리 도포수단과, 그 밀봉유리 도포수단에 의해 도포된 밀봉유리를 통하여 상기 제1기판과 제2기판을 겹쳐서 소정 위치에 위치결정하는 위치결정수단과, 그 위치결정수단에 의한 위치결정후, 상기 밀봉유리를 국부가열수단에 의해 국부적으로 가열하여 상기 제1기판과 제2기판을 적어도 두곳에서 임시고정하는 임시고정수단과, 그 임시고정수단에 의한 임시고정후, 전체를 가열함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 봉착시키는 봉착수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 용기의 봉착장치.
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