JP3108978B2 - 表示装置用ガラス容器の製造方法 - Google Patents
表示装置用ガラス容器の製造方法Info
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- JP3108978B2 JP3108978B2 JP06129904A JP12990494A JP3108978B2 JP 3108978 B2 JP3108978 B2 JP 3108978B2 JP 06129904 A JP06129904 A JP 06129904A JP 12990494 A JP12990494 A JP 12990494A JP 3108978 B2 JP3108978 B2 JP 3108978B2
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- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カソードが設けられる
ガラス基板とアノードが設けられるガラス基板との位置
を高精度にアラインメントできる表示装置用ガラス容器
の製造方法に関するものである。
ガラス基板とアノードが設けられるガラス基板との位置
を高精度にアラインメントできる表示装置用ガラス容器
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の表示装置用ガラス容器の一例を図
３に示す。図３はアノードとカソードとがガラス容器内
に収納される表示装置用ガラス容器の構造を示してお
り、この図を参照しながら表示装置用ガラス容器の製造
方法を説明する。カソード基板１０１の一面に電子を放
出するカソード１０４を設け、アノード基板１０２の一
面にカソード１０４から放出された電子を捕集するアノ
ード１０５を設ける。
３に示す。図３はアノードとカソードとがガラス容器内
に収納される表示装置用ガラス容器の構造を示してお
り、この図を参照しながら表示装置用ガラス容器の製造
方法を説明する。カソード基板１０１の一面に電子を放
出するカソード１０４を設け、アノード基板１０２の一
面にカソード１０４から放出された電子を捕集するアノ
ード１０５を設ける。
【０００３】そして、カソード１０４が設けられている
面とアノード１０５が設けられている面とが対向するよ
うに、カソード基板１０１とアノード基板１０２とをサ
イド基板１０３を間に介して対向させる。この場合、サ
イド基板１０３はカソード基板１０１あるいはアノード
基板１０２とのいずれかの基板に、フリットシール１０
６により予め溶着されており、さらにサイド基板１０３
の溶着されていない面にはフリットシール１０６が形成
されている。次に、カソード基板１０１とアノード基板
１０２との位置がずれないよう治具で両基板を固定して
封着炉に収容し、封着炉内に於てサイド基板１０３の一
面に形成されているフリットシール１０６を溶融して、
カソード基板１０１とアノード基板１０２とを封着す
る。
面とアノード１０５が設けられている面とが対向するよ
うに、カソード基板１０１とアノード基板１０２とをサ
イド基板１０３を間に介して対向させる。この場合、サ
イド基板１０３はカソード基板１０１あるいはアノード
基板１０２とのいずれかの基板に、フリットシール１０
６により予め溶着されており、さらにサイド基板１０３
の溶着されていない面にはフリットシール１０６が形成
されている。次に、カソード基板１０１とアノード基板
１０２との位置がずれないよう治具で両基板を固定して
封着炉に収容し、封着炉内に於てサイド基板１０３の一
面に形成されているフリットシール１０６を溶融して、
カソード基板１０１とアノード基板１０２とを封着す
る。
【０００４】また、図４に従来の他の表示装置用ガラス
容器の構造を示し、この図を参照しながらこの表示装置
用ガラス容器の製造方法を説明する。ガラス製のカソー
ド基板１１１の一面に電子を放出するカソード１１３を
設け、ガラス製のアノード基板１１２の一面にカソード
１１３から放出された電子を捕集するアノード１１４を
設ける。
容器の構造を示し、この図を参照しながらこの表示装置
用ガラス容器の製造方法を説明する。ガラス製のカソー
ド基板１１１の一面に電子を放出するカソード１１３を
設け、ガラス製のアノード基板１１２の一面にカソード
１１３から放出された電子を捕集するアノード１１４を
設ける。
【０００５】そして、カソード１１３が設けられている
面とアノード１１４が設けられている面とが対向するよ
うに、カソード基板１１１とアノード基板１１２とを対
向させる。この場合、アノード基板１１２のアノード１
１４が設けられている面には、カソード１１３とアノー
ド１１４からなる表示部を収納できる凹部が形成されて
いる。さらに、アノード基板１１２がカソード基板１１
１に溶着される面にはフリットシール１１５が形成され
ている。次に、カソード基板１１１とアノード基板１１
２との位置がずれないよう治具で両基板を固定して封着
炉に収容し、封着炉内に於てアノード基板１１２の一面
に形成されているフリットシール１１５を溶融して、カ
ソード基板１１１とアノード基板１１２とを封着する。
面とアノード１１４が設けられている面とが対向するよ
うに、カソード基板１１１とアノード基板１１２とを対
向させる。この場合、アノード基板１１２のアノード１
１４が設けられている面には、カソード１１３とアノー
ド１１４からなる表示部を収納できる凹部が形成されて
いる。さらに、アノード基板１１２がカソード基板１１
１に溶着される面にはフリットシール１１５が形成され
ている。次に、カソード基板１１１とアノード基板１１
２との位置がずれないよう治具で両基板を固定して封着
炉に収容し、封着炉内に於てアノード基板１１２の一面
に形成されているフリットシール１１５を溶融して、カ
ソード基板１１１とアノード基板１１２とを封着する。
【０００６】前記いずれのガラス容器においても、ガラ
ス容器を用いる表示装置は蛍光表示管でも電界放出型表
示装置でもよいが、このような表示装置に於てはカソー
ドとアノードとは精密に位置合わせされてガラス容器内
に収納され、カソードから放出された電子はアノードに
塗布されている特定の位置の蛍光体を発光させるように
アノードに向けて放出されて、アノードはこのように放
出された電子を捕集することにより所定の表示が行える
ようにされている。したがって、表示装置を収納してい
るガラス容器に於て、製造時にカソード基板とアノード
基板との相対位置がずれるようになると所定の表示が効
率的に行えなくなる。
ス容器を用いる表示装置は蛍光表示管でも電界放出型表
示装置でもよいが、このような表示装置に於てはカソー
ドとアノードとは精密に位置合わせされてガラス容器内
に収納され、カソードから放出された電子はアノードに
塗布されている特定の位置の蛍光体を発光させるように
アノードに向けて放出されて、アノードはこのように放
出された電子を捕集することにより所定の表示が行える
ようにされている。したがって、表示装置を収納してい
るガラス容器に於て、製造時にカソード基板とアノード
基板との相対位置がずれるようになると所定の表示が効
率的に行えなくなる。
【０００７】そこで、カソード基板とアノード基板との
正確なアラインメントを行えるように、図５に示すアラ
インメント手段が従来講じられている。図５に示すアラ
インメント手段を説明すると、この図はガラス容器を構
成するカソード基板とアノード基板とを重ねて、アライ
ンメントを行う状態を上から透過した図であり、図示す
るようにアノード基板には、アノードが設けられる前に
予め黒く示す小さい４つの矩形状からなるアノードアラ
インメントマーク１２０を対角に、黒く示す小さい丸形
のアノードアラインメントマーク１２２を残る対角に設
けるようにしている。また、カソード基板にはカソード
を設ける前に予め十字状のカソードアラインメントマー
ク１２１を対角に、やや大きい丸形のカソードアライン
メントマーク１２３を残る対角に設けるようにしてい
る。
正確なアラインメントを行えるように、図５に示すアラ
インメント手段が従来講じられている。図５に示すアラ
インメント手段を説明すると、この図はガラス容器を構
成するカソード基板とアノード基板とを重ねて、アライ
ンメントを行う状態を上から透過した図であり、図示す
るようにアノード基板には、アノードが設けられる前に
予め黒く示す小さい４つの矩形状からなるアノードアラ
インメントマーク１２０を対角に、黒く示す小さい丸形
のアノードアラインメントマーク１２２を残る対角に設
けるようにしている。また、カソード基板にはカソード
を設ける前に予め十字状のカソードアラインメントマー
ク１２１を対角に、やや大きい丸形のカソードアライン
メントマーク１２３を残る対角に設けるようにしてい
る。
【０００８】そこで、アノード基板に設けられたアノー
ドアラインメントマーク１２０，１２２を基準として、
アノードを設ける位置を決めるようにし、他方カソード
基板に設けられたカソードアラインメントマーク１２
１，１２３を基準として、カソードを設ける位置を決め
るようにしている。そして、アノード基板及びカソード
基板にそれぞれアノードあるいはカソードを設けた後、
アノード基板に設けられたアノードアラインメントマー
ク１２０，１２２と、カソード基板に設けられたカソー
ドアラインメントマーク１２１，１２３とを一致するよ
う重ねて、封着時に両基板がずれないよう治具により固
定する。
ドアラインメントマーク１２０，１２２を基準として、
アノードを設ける位置を決めるようにし、他方カソード
基板に設けられたカソードアラインメントマーク１２
１，１２３を基準として、カソードを設ける位置を決め
るようにしている。そして、アノード基板及びカソード
基板にそれぞれアノードあるいはカソードを設けた後、
アノード基板に設けられたアノードアラインメントマー
ク１２０，１２２と、カソード基板に設けられたカソー
ドアラインメントマーク１２１，１２３とを一致するよ
う重ねて、封着時に両基板がずれないよう治具により固
定する。
【０００９】この場合のアラインメントマークの合わせ
方を、図６に示す拡大したアラインメントマークを参照
して説明すると、十字状のカソードアラインメントマー
ク１２１の４隅の同じ位置に小さい矩形状のアノードア
ラインメントマーク１２０が位置するように、顕微鏡で
アラインメントマークを観察しながらカソード基板をア
ノード基板に位置合わせする。位置合わせが完了したと
きには、両アラインメントマークの横方向の間隔Ｘ１，
Ｘ２，Ｘ３，Ｘ４が互いに等しくなると共に、縦方向の
間隔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４が互いに等しくなる。
方を、図６に示す拡大したアラインメントマークを参照
して説明すると、十字状のカソードアラインメントマー
ク１２１の４隅の同じ位置に小さい矩形状のアノードア
ラインメントマーク１２０が位置するように、顕微鏡で
アラインメントマークを観察しながらカソード基板をア
ノード基板に位置合わせする。位置合わせが完了したと
きには、両アラインメントマークの横方向の間隔Ｘ１，
Ｘ２，Ｘ３，Ｘ４が互いに等しくなると共に、縦方向の
間隔Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４が互いに等しくなる。
【００１０】また、丸形のアラインメントマークについ
ては、大きい丸形のカソードアラインメントマーク１２
３の中央に、小さい丸形のアノードアラインメントマー
ク１２２が位置するように顕微鏡でアラインメントマー
クを観察しながら、カソード基板とアノード基板とを位
置合わせするようにする。なお、アラインメントマーク
は一組のアラインメントマーク１２０，１２１だけを基
板の対角に設けるようにしても良い。
ては、大きい丸形のカソードアラインメントマーク１２
３の中央に、小さい丸形のアノードアラインメントマー
ク１２２が位置するように顕微鏡でアラインメントマー
クを観察しながら、カソード基板とアノード基板とを位
置合わせするようにする。なお、アラインメントマーク
は一組のアラインメントマーク１２０，１２１だけを基
板の対角に設けるようにしても良い。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アノー
ド基板とカソード基板とのアラインメントを行った後、
封着炉に収容して溶着を行うときに、両基板を治具で固
定しているもののフリットシールの溶融に伴い、両基板
間のギャップが約１００ミクロン狭まるようになること
から、両基板間の相対位置がずれやすくなる。また、カ
ソード基板とアノード基板へのアラインメントマークの
形成は、それぞれの基板を別々の位置決め手段により位
置決めしてカソード基板はカソード基板ごとに、アノー
ド基板はアノード基板ごとに異なる形状のアラインメン
トマークを形成しているため、カソード基板に形成した
アラインメントマークの位置と、アノード基板に形成し
たアラインメントマークとの位置を完全に一致させるこ
とは困難であった。
ド基板とカソード基板とのアラインメントを行った後、
封着炉に収容して溶着を行うときに、両基板を治具で固
定しているもののフリットシールの溶融に伴い、両基板
間のギャップが約１００ミクロン狭まるようになること
から、両基板間の相対位置がずれやすくなる。また、カ
ソード基板とアノード基板へのアラインメントマークの
形成は、それぞれの基板を別々の位置決め手段により位
置決めしてカソード基板はカソード基板ごとに、アノー
ド基板はアノード基板ごとに異なる形状のアラインメン
トマークを形成しているため、カソード基板に形成した
アラインメントマークの位置と、アノード基板に形成し
たアラインメントマークとの位置を完全に一致させるこ
とは困難であった。
【００１２】ところで、表示装置のカソード基板とアノ
ード基板との位置合わせ精度は、表示装置によっては、
極端な場合約±５ミクロンの精度を求められる場合があ
るものの、前記したように封着時に両基板間の相対位置
がずれやすいこと、及び形成されたアラインメントマー
クの位置にずれが生じている可能性があることから、従
来のアラインメント手段によれば約１００ミクロンの精
度しか保証されないという問題点があった。
ード基板との位置合わせ精度は、表示装置によっては、
極端な場合約±５ミクロンの精度を求められる場合があ
るものの、前記したように封着時に両基板間の相対位置
がずれやすいこと、及び形成されたアラインメントマー
クの位置にずれが生じている可能性があることから、従
来のアラインメント手段によれば約１００ミクロンの精
度しか保証されないという問題点があった。
【００１３】また、カソード基板とアノード基板とのア
ラインメント作業は顕微鏡を用いてアラインメントマー
クを観察しながら行わなければならず、アラインメント
作業が煩雑になると共に、長時間を要していた。なお、
封着炉内においては顕微鏡を備えることができないので
炉内でのアラインメント作業は不可能であると共に、カ
ソード基板とアノード基板の前処理として真空焼成処理
等を炉内で基板別に行っている場合においても、炉外へ
一度カソード基板及びアノード基板を出してから、両基
板のアラインメントを行わなければならないという問題
点もあった。
ラインメント作業は顕微鏡を用いてアラインメントマー
クを観察しながら行わなければならず、アラインメント
作業が煩雑になると共に、長時間を要していた。なお、
封着炉内においては顕微鏡を備えることができないので
炉内でのアラインメント作業は不可能であると共に、カ
ソード基板とアノード基板の前処理として真空焼成処理
等を炉内で基板別に行っている場合においても、炉外へ
一度カソード基板及びアノード基板を出してから、両基
板のアラインメントを行わなければならないという問題
点もあった。
【００１４】そこで、本発明はアノード基板とカソード
基板とに形成するアラインメントマークを同じ位置に形
成することができると共に、高精度のアラインメントを
達成できるにもかかわらず高精度にアラインメントされ
る表示装置用ガラス容器の製造方法を提供することを目
的としている。
基板とに形成するアラインメントマークを同じ位置に形
成することができると共に、高精度のアラインメントを
達成できるにもかかわらず高精度にアラインメントされ
る表示装置用ガラス容器の製造方法を提供することを目
的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の表示装置用ガラス容器の製造方法は具体的
には、封着されることにより表示装置用ガラス容器を形
成することができる第１ガラス基板と第２ガラス基板
の、封着時に重合される部分の少なくとも２カ所に薄膜
を形成し、次いで一枚の前記第１ガラス基板と一枚の前
記第２ガラス基板とを１番目の対として重ね、１番目の
治具により前記対とされた両基板の相対位置を合わせ
て、局部加熱手段により前記両基板に形成されている前
記薄膜のそれ ぞれに打ち抜きマークを形成し、その後、
前記薄膜に形成された前記打ち抜きマークをアラインメ
ントマークとして、前記第１ガラス基板に少なくとも電
子を放出するカソードを設け、前記薄膜に形成された前
記打ち抜きマークをアラインメントマークとして、前記
第２ガラス基板に前記カソードから放出された電子を捕
集するアノードを設け、さらに、前記１番目の治具に前
記１番目の対の前記第１ガラス基板と第２ガラス基板と
重ねて固定することにより、前記両基板に設けられてい
る前記打ち抜きマークを一致させ、次いで封着炉内に収
容することにより、カソードが設けられている前記第１
ガラス基板とアノードが設けられている前記第２ガラス
基板とを封着するようにしたものである。
に、本発明の表示装置用ガラス容器の製造方法は具体的
には、封着されることにより表示装置用ガラス容器を形
成することができる第１ガラス基板と第２ガラス基板
の、封着時に重合される部分の少なくとも２カ所に薄膜
を形成し、次いで一枚の前記第１ガラス基板と一枚の前
記第２ガラス基板とを１番目の対として重ね、１番目の
治具により前記対とされた両基板の相対位置を合わせ
て、局部加熱手段により前記両基板に形成されている前
記薄膜のそれ ぞれに打ち抜きマークを形成し、その後、
前記薄膜に形成された前記打ち抜きマークをアラインメ
ントマークとして、前記第１ガラス基板に少なくとも電
子を放出するカソードを設け、前記薄膜に形成された前
記打ち抜きマークをアラインメントマークとして、前記
第２ガラス基板に前記カソードから放出された電子を捕
集するアノードを設け、さらに、前記１番目の治具に前
記１番目の対の前記第１ガラス基板と第２ガラス基板と
重ねて固定することにより、前記両基板に設けられてい
る前記打ち抜きマークを一致させ、次いで封着炉内に収
容することにより、カソードが設けられている前記第１
ガラス基板とアノードが設けられている前記第２ガラス
基板とを封着するようにしたものである。
【００１６】
【作用】本発明によれば、アノードあるいはカソードが
設けられるそれぞれのガラス基板に、アノードあるいは
カソードを設ける前に予め重ねて位置合わせしてから、
打ち抜きマークを薄膜に形成しているため、両ガラス基
板の打ち抜きマークの相対位置を完全に一致させること
ができる。したがって、この打ち抜きマークをアライン
メントマークとして設けられたアノードとカソードとの
位置も同時に一致するようになり、アノードとカソード
とを精度よくアラインメントすることが可能となる。
設けられるそれぞれのガラス基板に、アノードあるいは
カソードを設ける前に予め重ねて位置合わせしてから、
打ち抜きマークを薄膜に形成しているため、両ガラス基
板の打ち抜きマークの相対位置を完全に一致させること
ができる。したがって、この打ち抜きマークをアライン
メントマークとして設けられたアノードとカソードとの
位置も同時に一致するようになり、アノードとカソード
とを精度よくアラインメントすることが可能となる。
【００１７】また、打ち抜きマーク形成時に両ガラス基
板を治具により位置合わせするようにし、封着時に打ち
抜きマークを形成した時と同じ治具に再び両ガラス基板
を重ねて固定した後、封着することにより、自動的にア
ラインメントを行えると共に、封着時に両基板の相対位
置のずれを防止することができ、高精度とされた表示用
ガラス容器を簡略化されたアラインメント作業であって
も得ることができるようになる。
板を治具により位置合わせするようにし、封着時に打ち
抜きマークを形成した時と同じ治具に再び両ガラス基板
を重ねて固定した後、封着することにより、自動的にア
ラインメントを行えると共に、封着時に両基板の相対位
置のずれを防止することができ、高精度とされた表示用
ガラス容器を簡略化されたアラインメント作業であって
も得ることができるようになる。
【００１８】
【実施例】以下に、本発明の表示装置用ガラス容器の製
造方法を説明する。図１及び図２は、ガラス製のアノー
ド基板とガラス製のカソード基板とにより、本発明の表
示用ガラス容器を作製する手順を示したものである。図
１（ａ）には矩形状のアノード基板１が示されており、
アノード基板１には、その対角に位置するようそれぞれ
薄膜１−１と薄膜１−２とが形成されている。この薄膜
１−１，１−２はマスク蒸着等により選択的に蒸着され
て形成されている。なお、アノード基板１は薄膜１−
１，１−２が形成される前にアノード基板１のひずみを
除去するように、ソーダライムの場合約５５０℃で約１
時間アニールされている。
造方法を説明する。図１及び図２は、ガラス製のアノー
ド基板とガラス製のカソード基板とにより、本発明の表
示用ガラス容器を作製する手順を示したものである。図
１（ａ）には矩形状のアノード基板１が示されており、
アノード基板１には、その対角に位置するようそれぞれ
薄膜１−１と薄膜１−２とが形成されている。この薄膜
１−１，１−２はマスク蒸着等により選択的に蒸着され
て形成されている。なお、アノード基板１は薄膜１−
１，１−２が形成される前にアノード基板１のひずみを
除去するように、ソーダライムの場合約５５０℃で約１
時間アニールされている。
【００１９】同図（ｂ）には矩形状のカソード基板２が
示されており、カソード基板２には、その対角に位置す
るようそれぞれ薄膜２−１と薄膜２−２とが形成されて
いる。この薄膜２−１，２−２は、アノード基板１とカ
ソード基板２とを重ねた時に、アノード基板１に形成さ
れた薄膜１−１，１−２とそれぞれ重なるように、マス
ク蒸着等により選択的に蒸着されて形成されている。な
お、カソード基板２は薄膜２−１，２−２が形成される
前にカソード基板２のひずみを除去するように、ソーダ
ライムの場合約５５０℃で約１時間アニールされてい
る。
示されており、カソード基板２には、その対角に位置す
るようそれぞれ薄膜２−１と薄膜２−２とが形成されて
いる。この薄膜２−１，２−２は、アノード基板１とカ
ソード基板２とを重ねた時に、アノード基板１に形成さ
れた薄膜１−１，１−２とそれぞれ重なるように、マス
ク蒸着等により選択的に蒸着されて形成されている。な
お、カソード基板２は薄膜２−１，２−２が形成される
前にカソード基板２のひずみを除去するように、ソーダ
ライムの場合約５５０℃で約１時間アニールされてい
る。
【００２０】そして、図示する矢印のように同図（ａ）
（ｂ）にそれぞれ示すアノード基板１とカソード基板２
とを、薄膜１−１，１−２と薄膜２−１，２−２とが形
成されている面が接触するように重ねて、同図（ｃ）に
示す状態とする。この場合、薄膜１−１と薄膜２−１と
が接触するよう重ねられると共に、薄膜１−２と薄膜２
−２とが接触するよう重ねられる。さらに、アノード基
板１とカソード基板２とは重ねられた時に内部に空間部
を有するようにされ、この空間部にアノードとカソード
からなる表示部が収納されるようになる。
（ｂ）にそれぞれ示すアノード基板１とカソード基板２
とを、薄膜１−１，１−２と薄膜２−１，２−２とが形
成されている面が接触するように重ねて、同図（ｃ）に
示す状態とする。この場合、薄膜１−１と薄膜２−１と
が接触するよう重ねられると共に、薄膜１−２と薄膜２
−２とが接触するよう重ねられる。さらに、アノード基
板１とカソード基板２とは重ねられた時に内部に空間部
を有するようにされ、この空間部にアノードとカソード
からなる表示部が収納されるようになる。
【００２１】図１（ｃ）に示す状態のアノード基板１と
カソード基板２とを対とするガラス容器Ａを図２（ａ）
に示すように、３点支持の治具Ａ３０に固定する。治具
Ａ３０は図示する水平方向に位置決めのためのポスト３
１−１，３１−２が形成されており、垂直方向に位置決
めのためのポスト３１−３が形成されている。ガラス容
器Ａは前記ポスト３１−１〜３１−３に直角とされた端
面が接触されて固定される。この場合、ポスト３１−１
〜３１−３に対応してガラス容器Ａを各ポスト３１−１
〜３１−３に押圧するバネ手段３２−１〜３２−３が設
けられている。
カソード基板２とを対とするガラス容器Ａを図２（ａ）
に示すように、３点支持の治具Ａ３０に固定する。治具
Ａ３０は図示する水平方向に位置決めのためのポスト３
１−１，３１−２が形成されており、垂直方向に位置決
めのためのポスト３１−３が形成されている。ガラス容
器Ａは前記ポスト３１−１〜３１−３に直角とされた端
面が接触されて固定される。この場合、ポスト３１−１
〜３１−３に対応してガラス容器Ａを各ポスト３１−１
〜３１−３に押圧するバネ手段３２−１〜３２−３が設
けられている。
【００２２】この状態に於て、レーザトリミング装置等
を用いて重ねられた薄膜１−１，２−１にレーザを照射
して、薄膜１−１，２−１を局部的に加熱することによ
り、レーザ打ち抜きマーク３３を同図（ｂ）に示すよう
形成する。次いで、同様の手段により重ねられた薄膜１
−２，２−２にレーザ打ち抜きマーク３３を同図（ｂ）
に示すよう形成する。この場合、アノード基板１とカソ
ード基板２とは治具Ａにより位置合わせした状態で、重
ねられた薄膜１−１，２−１と薄膜１−２，２−２にレ
ーザ打ち抜きマーク３３が形成されるようになる。レー
ザ打ち抜きマーク３３は直径約１０ミクロンの丸形や一
辺が約１０ミクロンの矩形とするのが好適であるが、こ
れに限らず、３角形や多角形としてもよい。
を用いて重ねられた薄膜１−１，２−１にレーザを照射
して、薄膜１−１，２−１を局部的に加熱することによ
り、レーザ打ち抜きマーク３３を同図（ｂ）に示すよう
形成する。次いで、同様の手段により重ねられた薄膜１
−２，２−２にレーザ打ち抜きマーク３３を同図（ｂ）
に示すよう形成する。この場合、アノード基板１とカソ
ード基板２とは治具Ａにより位置合わせした状態で、重
ねられた薄膜１−１，２−１と薄膜１−２，２−２にレ
ーザ打ち抜きマーク３３が形成されるようになる。レー
ザ打ち抜きマーク３３は直径約１０ミクロンの丸形や一
辺が約１０ミクロンの矩形とするのが好適であるが、こ
れに限らず、３角形や多角形としてもよい。
【００２３】次に、治具Ａからガラス容器Ａを取りはず
し、対とされたアノード基板１とカソード基板２とを分
離して、アノード基板１はアノード作製工程へ、カソー
ド基板２はカソード作製工程に移送し、それぞれの工程
によりアノードあるいはカソードがそれぞれの基板に作
製される。ガラス容器Ａ内に収納される表示装置が電界
放出型表示装置の場合は、アノード基板１には薄膜１−
１，１−２に形成されているレーザ打ち抜きマーク３３
をアラインメントマークとして、アノードライン、Ｒ，
Ｇ，Ｂ等の蛍光体がフォトリソグラフィプロセスにより
順次作製される。また、カソード基板２には薄膜２−
１，２−２に形成されているレーザ打ち抜きマーク３３
をアラインメントマークとして、カソードライン、抵抗
層、ゲートライン、エミッタコーン等がフォトリソグラ
フィプロセス等により順次作製される。
し、対とされたアノード基板１とカソード基板２とを分
離して、アノード基板１はアノード作製工程へ、カソー
ド基板２はカソード作製工程に移送し、それぞれの工程
によりアノードあるいはカソードがそれぞれの基板に作
製される。ガラス容器Ａ内に収納される表示装置が電界
放出型表示装置の場合は、アノード基板１には薄膜１−
１，１−２に形成されているレーザ打ち抜きマーク３３
をアラインメントマークとして、アノードライン、Ｒ，
Ｇ，Ｂ等の蛍光体がフォトリソグラフィプロセスにより
順次作製される。また、カソード基板２には薄膜２−
１，２−２に形成されているレーザ打ち抜きマーク３３
をアラインメントマークとして、カソードライン、抵抗
層、ゲートライン、エミッタコーン等がフォトリソグラ
フィプロセス等により順次作製される。
【００２４】さらにアノード基板１に支柱や、重合され
る部分にフリットシール等が形成されて、アノード基板
１とカソード基板２とにアノードあるいはカソードを作
製する工程が完了する。以上の工程が終了した後、対と
されたアノード基板１とカソード基板２とを再び重ね合
わせるが、この場合レーザ打ち抜きマーク３３を形成し
た時に対とされた基板と同じ基板同士を対として重ね合
わせてガラス容器Ａを構成する。さらに、このガラス容
器Ａをレーザ打ち抜きマーク３３を形成した時に使用し
た治具Ａと同じ治具Ａに装着することにより、ポスト３
１−１〜３１−３に直角とされたガラス容器Ａの端面が
接触されて固定される。この時、ガラス容器Ａはバネ手
段３２−１〜３２−３によりポスト３１−１〜３１−３
に向かって加圧される。
る部分にフリットシール等が形成されて、アノード基板
１とカソード基板２とにアノードあるいはカソードを作
製する工程が完了する。以上の工程が終了した後、対と
されたアノード基板１とカソード基板２とを再び重ね合
わせるが、この場合レーザ打ち抜きマーク３３を形成し
た時に対とされた基板と同じ基板同士を対として重ね合
わせてガラス容器Ａを構成する。さらに、このガラス容
器Ａをレーザ打ち抜きマーク３３を形成した時に使用し
た治具Ａと同じ治具Ａに装着することにより、ポスト３
１−１〜３１−３に直角とされたガラス容器Ａの端面が
接触されて固定される。この時、ガラス容器Ａはバネ手
段３２−１〜３２−３によりポスト３１−１〜３１−３
に向かって加圧される。
【００２５】このように、レーザ打ち抜きマーク３３を
形成した時と同じ対のアノード基板１とカソード基板２
とからなるガラス容器Ａが同じ治具Ａに固定されること
になるため、治具Ａに固定されたガラス容器Ａにおける
アノード基板１とカソード基板２とのアラインメントは
自動的に一致するようになる。すなわち、ガラス容器Ａ
を治具Ａに装着するだけでアラインメントを行えるよう
になる。また別の対からなるガラス容器Ｎについてはレ
ーザ打ち抜きマーク３３を形成した時と同じ別の治具Ｎ
に装着するようにしてアラインメントを行うようにす
る。
形成した時と同じ対のアノード基板１とカソード基板２
とからなるガラス容器Ａが同じ治具Ａに固定されること
になるため、治具Ａに固定されたガラス容器Ａにおける
アノード基板１とカソード基板２とのアラインメントは
自動的に一致するようになる。すなわち、ガラス容器Ａ
を治具Ａに装着するだけでアラインメントを行えるよう
になる。また別の対からなるガラス容器Ｎについてはレ
ーザ打ち抜きマーク３３を形成した時と同じ別の治具Ｎ
に装着するようにしてアラインメントを行うようにす
る。
【００２６】そして、ガラス容器Ａを治具Ａに、および
ガラス容器Ｎを治具Ｎにそれぞれ固定したまま封着炉内
に収容して、アノード基板１とカソード基板２との封着
を行うことにより、前記図３あるいは図４に示す様な表
示装置を作製する。このように、封着炉内に於ては治具
にガラス容器が固定されているため、アノード基板とカ
ソード基板との相対的な位置が保持されてずれにくくさ
れている。しかも、前記したように治具上で正確にアラ
インメントが行われているため、封着されたガラス容器
におけるアノード基板とカソード基板とは高精度にアラ
インメントされるようになる。
ガラス容器Ｎを治具Ｎにそれぞれ固定したまま封着炉内
に収容して、アノード基板１とカソード基板２との封着
を行うことにより、前記図３あるいは図４に示す様な表
示装置を作製する。このように、封着炉内に於ては治具
にガラス容器が固定されているため、アノード基板とカ
ソード基板との相対的な位置が保持されてずれにくくさ
れている。しかも、前記したように治具上で正確にアラ
インメントが行われているため、封着されたガラス容器
におけるアノード基板とカソード基板とは高精度にアラ
インメントされるようになる。
【００２７】以上説明したように、本発明の表示装置用
ガラス容器の製造方法によれば、高精度を要求される表
示装置にあっても、その規格を十分満足する精度にアラ
インメントを行うことができる。
ガラス容器の製造方法によれば、高精度を要求される表
示装置にあっても、その規格を十分満足する精度にアラ
インメントを行うことができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明の表示装置用ガラス容器の製造方
法によって製造された表示装置用ガラス容器は、以上説
明したようにアノードあるいはカソードが設けられるそ
れぞれのガラス基板に、アノードあるいはカソードを設
ける前に重ねて位置合わせしてから、打ち抜きマークを
薄膜に形成しているため、両ガラス基板の打ち抜きマー
クの相対位置を完全に一致させることができる。したが
って、この打ち抜きマークをアラインメントマークとし
て作製されたアノードとカソードとの位置も同時に一致
するようになり、打ち抜きマークを合わせることによ
り、アノードとカソードとを精度よくアラインメントす
ることが可能となる。
法によって製造された表示装置用ガラス容器は、以上説
明したようにアノードあるいはカソードが設けられるそ
れぞれのガラス基板に、アノードあるいはカソードを設
ける前に重ねて位置合わせしてから、打ち抜きマークを
薄膜に形成しているため、両ガラス基板の打ち抜きマー
クの相対位置を完全に一致させることができる。したが
って、この打ち抜きマークをアラインメントマークとし
て作製されたアノードとカソードとの位置も同時に一致
するようになり、打ち抜きマークを合わせることによ
り、アノードとカソードとを精度よくアラインメントす
ることが可能となる。
【００２９】また、打ち抜きマーク形成時に対とされた
両ガラス基板を治具により位置合わせするようにし、封
着時に打ち抜きマークを形成した時と同じ治具に再び対
とされた両ガラス基板を重ねて固定した後、封着するこ
とにより、自動的にアラインメントを行えると共に、封
着時に両基板の相対位置のずれを防止することができ、
高精度とされた表示用ガラス容器を簡略化されたアライ
ンメント作業であっても得ることができるようになる。
両ガラス基板を治具により位置合わせするようにし、封
着時に打ち抜きマークを形成した時と同じ治具に再び対
とされた両ガラス基板を重ねて固定した後、封着するこ
とにより、自動的にアラインメントを行えると共に、封
着時に両基板の相対位置のずれを防止することができ、
高精度とされた表示用ガラス容器を簡略化されたアライ
ンメント作業であっても得ることができるようになる。
【００３０】また、顕微鏡を使用することなくアライン
メントを行うことができ、このためアノード基板やカソ
ード基板の真空焼成を前処理として炉内で行う場合に於
ても、炉内から一度出すことなく前処理終了後に、炉内
に於て治具にガラス容器を自動手段により装着すること
によりアラインメントを行うことができ、続いて封着工
程に移行できるようになる。したがって、炉内に於て一
貫して製造することが可能となり、量産に向いた製造方
法とすることができる。
メントを行うことができ、このためアノード基板やカソ
ード基板の真空焼成を前処理として炉内で行う場合に於
ても、炉内から一度出すことなく前処理終了後に、炉内
に於て治具にガラス容器を自動手段により装着すること
によりアラインメントを行うことができ、続いて封着工
程に移行できるようになる。したがって、炉内に於て一
貫して製造することが可能となり、量産に向いた製造方
法とすることができる。
【図１】本発明の表示装置用ガラス容器を構成するアノ
ード基板とカソード基板とにアラインメント時に利用す
る薄膜の説明をするための図である。
ード基板とカソード基板とにアラインメント時に利用す
る薄膜の説明をするための図である。
【図２】本発明の表示装置用ガラス容器を構成するアノ
ード基板とカソード基板とに形成した薄膜に打ち抜きマ
ークを形成する工程を説明する図である。
ード基板とカソード基板とに形成した薄膜に打ち抜きマ
ークを形成する工程を説明する図である。
【図３】従来の表示装置用ガラス容器の構成を示す図で
ある。
ある。
【図４】従来の他の表示装置用ガラス容器の構成を示す
図である。
図である。
【図５】従来のアラインメント手段を説明する図であ
る。
る。
【図６】従来のアラインメントマークを拡大して示す図
である。
である。
１ アノード基板 ２ カソード基板 １−１，１−２，２−１，２−２ 薄膜 ３０ 治具 ３１−１，３１−２，３１−３ ポスト ３２−１，３２−２，３２−３ バネ手段 ３３ レーザ打ち抜きマーク
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−191722（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−111735（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−82124（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 29/86 H01J 9/24 H01J 31/12 H01J 31/15
Claims (1)
- 【請求項１】 封着されることにより表示装置用ガラス
容器を形成することができる第１ガラス基板と第２ガラ
ス基板の、封着時に重合される部分の少なくとも２カ所
に薄膜を形成し、 次いで一枚の前記第１ガラス基板と一枚の前記第２ガラ
ス基板とを１番目の対として重ね、１番目の治具により
前記対とされた両基板の相対位置を合わせて、局部加熱
手段により前記両基板に形成されている前記薄膜のそれ
ぞれに打ち抜きマークを形成し、 その後、前記薄膜に形成された前記打ち抜きマークをア
ラインメントマークとして、前記第１ガラス基板に少な
くとも電子を放出するカソードを設け、前記薄膜に形成
された前記打ち抜きマークをアラインメントマークとし
て、前記第２ガラス基板に前記カソードから放出された
電子を捕集するアノードを設け、 さらに、前記１番目の治具に前記１番目の対の前記第１
ガラス基板と第２ガラス基板と重ねて固定することによ
り、前記両基板に設けられている前記打ち抜きマークを
一致させ、次いで封着炉内に収容することにより、カソ
ードが設けられている前記第１ガラス基板とアノードが
設けられている前記第２ガラス基板とを封着することを
特徴とする表示装置用ガラス容器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06129904A JP3108978B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 表示装置用ガラス容器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06129904A JP3108978B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 表示装置用ガラス容器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07320662A JPH07320662A (ja) | 1995-12-08 |
| JP3108978B2 true JP3108978B2 (ja) | 2000-11-13 |
Family
ID=15021270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06129904A Expired - Fee Related JP3108978B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 表示装置用ガラス容器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3108978B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414489B1 (ko) * | 2002-02-07 | 2004-01-07 | 엘지.필립스디스플레이(주) | 칼라 음극선관 |
-
1994
- 1994-05-20 JP JP06129904A patent/JP3108978B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07320662A (ja) | 1995-12-08 |
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|---|---|---|---|
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