JP2727995B2 - 支柱材整列用治具および支柱材整列用治具の製造方法 - Google Patents
支柱材整列用治具および支柱材整列用治具の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも２枚のガラ
ス基板からなる真空ガラス外囲器に関するものであり、
特に表示装置用外囲器に適用して好適なものである。
ス基板からなる真空ガラス外囲器に関するものであり、
特に表示装置用外囲器に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】電子放出源と蛍光体等の発光体を収容し
ている表示装置の外囲器は、一般に真空ガラス外囲器と
されている。この真空ガラス外囲器は第１ガラス基板
と、第１ガラス基板に対向するよう配置される第２ガラ
ス基板とにより構成され、その内部に表示面を形成する
発光体と、発光体を発光させる電子源とが収納される
が、第１ガラス基板と第２ガラス基板とを所定間隔で保
持するために、第１ガラス基板と第２ガラス基板間に支
柱材を設けるようにすることが行われている。この様子
を図７に示すが、第１基板１０２と第２基板１０３間に
挟持されている支柱材１０１は、例えば直径約５０μ
ｍ、長さ約２００μｍとされている。
ている表示装置の外囲器は、一般に真空ガラス外囲器と
されている。この真空ガラス外囲器は第１ガラス基板
と、第１ガラス基板に対向するよう配置される第２ガラ
ス基板とにより構成され、その内部に表示面を形成する
発光体と、発光体を発光させる電子源とが収納される
が、第１ガラス基板と第２ガラス基板とを所定間隔で保
持するために、第１ガラス基板と第２ガラス基板間に支
柱材を設けるようにすることが行われている。この様子
を図７に示すが、第１基板１０２と第２基板１０３間に
挟持されている支柱材１０１は、例えば直径約５０μ
ｍ、長さ約２００μｍとされている。
【０００３】ここで、第１基板１０２と第２基板１０３
間に支柱材１０１を配置する方法を図６を参照しながら
説明する。まず、支柱材１０１の材料である、例えば直
径約５０μｍのガラスファイバを約２００μｍの長さに
なるように切断する。切断された支柱材１０１は洗浄さ
れた後、治具１１０により第１基板１０２に対する位置
決めがなされる。この治具１１０は図６（ａ）に示すよ
うに箱形をしており、その上部に切断された支柱材１０
１を起立させるための支柱穴１１４を有する整列板１１
１と、その下に多孔質材料からなる多孔質部１１２と、
治具１１０の内部を排気する排気部１１３とから構成さ
れている。なお、支柱穴１１４の位置は第１基板１０２
に支柱材１０１を配設する位置に対応して設けられてい
る。
間に支柱材１０１を配置する方法を図６を参照しながら
説明する。まず、支柱材１０１の材料である、例えば直
径約５０μｍのガラスファイバを約２００μｍの長さに
なるように切断する。切断された支柱材１０１は洗浄さ
れた後、治具１１０により第１基板１０２に対する位置
決めがなされる。この治具１１０は図６（ａ）に示すよ
うに箱形をしており、その上部に切断された支柱材１０
１を起立させるための支柱穴１１４を有する整列板１１
１と、その下に多孔質材料からなる多孔質部１１２と、
治具１１０の内部を排気する排気部１１３とから構成さ
れている。なお、支柱穴１１４の位置は第１基板１０２
に支柱材１０１を配設する位置に対応して設けられてい
る。
【０００４】このように形成された治具１１０におい
て、排気部１１３にポンプを接続して治具１１０内部を
排気しながら、治具１１０の整列板１１１上に、切断さ
れた支柱材１０１を散布すると、支柱穴１１４から引か
れた気体が多孔質部１１２を通過して排気部１１３から
排気されるようになるため、切断された支柱材１０１の
径より若干大きい径とされている支柱穴１１４に支柱材
１０１が起立するよう入り込み、支柱材１０１は支柱穴
１１４内に吸引されて図６（ａ）に示すように起立した
状態とされる。
て、排気部１１３にポンプを接続して治具１１０内部を
排気しながら、治具１１０の整列板１１１上に、切断さ
れた支柱材１０１を散布すると、支柱穴１１４から引か
れた気体が多孔質部１１２を通過して排気部１１３から
排気されるようになるため、切断された支柱材１０１の
径より若干大きい径とされている支柱穴１１４に支柱材
１０１が起立するよう入り込み、支柱材１０１は支柱穴
１１４内に吸引されて図６（ａ）に示すように起立した
状態とされる。
【０００５】この状態において、図６（ｂ）に示すよう
に転写ペースト１２１を塗布したガラス基板１２０を治
具１１０上に配置し、治具１１０に保持されている支柱
材１０１の上端面に転写ペースト１２１が転写されるよ
うに、ガラス基板１２０を支柱材１０１に接触させる。
次いで、同図（ｃ）に示すように転写ペースト１２１が
転写された支柱材１０１が保持された治具１１０上に第
１基板１０２を位置合わせして載置し、第１基板１０２
に支柱材１０１の一端面を付着させる。そして、所定温
度で第１基板１０２を焼成することにより転写ペースト
１２１を溶融して第１基板１０２に支柱材１０１の一端
面を溶着する。
に転写ペースト１２１を塗布したガラス基板１２０を治
具１１０上に配置し、治具１１０に保持されている支柱
材１０１の上端面に転写ペースト１２１が転写されるよ
うに、ガラス基板１２０を支柱材１０１に接触させる。
次いで、同図（ｃ）に示すように転写ペースト１２１が
転写された支柱材１０１が保持された治具１１０上に第
１基板１０２を位置合わせして載置し、第１基板１０２
に支柱材１０１の一端面を付着させる。そして、所定温
度で第１基板１０２を焼成することにより転写ペースト
１２１を溶融して第１基板１０２に支柱材１０１の一端
面を溶着する。
【０００６】なお、転写ペースト１２１は、ガラス製の
第１基板１０２と熱膨張率が近くなるよう酸化鉛が混入
された低軟化点のシールガラスが主成分とされ、必要に
応じてこれに溶剤等を混入して粘着性を有するペースト
状とされたものである。次いで、支柱材１０１の一端面
が所定間隔で複数溶着されている第１基板１０２に、対
向して第１基板１０３を対向配置してガラス外囲器を構
成し、このガラス外囲器内を真空に引くことにより、図
７に示すように大気圧により第１基板１０２と第２基板
１０３間に支柱材１０１が挟持されて固着された真空ガ
ラス外囲器が作製される。
第１基板１０２と熱膨張率が近くなるよう酸化鉛が混入
された低軟化点のシールガラスが主成分とされ、必要に
応じてこれに溶剤等を混入して粘着性を有するペースト
状とされたものである。次いで、支柱材１０１の一端面
が所定間隔で複数溶着されている第１基板１０２に、対
向して第１基板１０３を対向配置してガラス外囲器を構
成し、このガラス外囲器内を真空に引くことにより、図
７に示すように大気圧により第１基板１０２と第２基板
１０３間に支柱材１０１が挟持されて固着された真空ガ
ラス外囲器が作製される。
【０００７】また、支柱材１０１の他端面に転写ペース
ト１２１を転写して、第１基板１０２と第２基板１０３
とを位置合わせしてから重ね合わせ、次いで、封着炉内
にて封着することにより、転写ペースト１２１を溶融さ
せ、支柱材１０１の他端面と第２基板１０３とを溶着す
ることにより、支柱材１０１を基板１０２，１０３間に
配設したガラス外囲器を作製するようにしてもよい。な
お、第１基板１０２および第２基板１０３とが所定間隔
で対向するよう、両基板１０２，１０３の周縁部には所
定厚さの側面板、あるいはガラスビーズやガラスファイ
バ等が挟持されており、この状態で封着されることによ
りガラス外囲器は作製されている。また、支柱材１０１
は約２〜５ｍｍ程度の間隔で複数ガラス外囲器内に配設
されている。
ト１２１を転写して、第１基板１０２と第２基板１０３
とを位置合わせしてから重ね合わせ、次いで、封着炉内
にて封着することにより、転写ペースト１２１を溶融さ
せ、支柱材１０１の他端面と第２基板１０３とを溶着す
ることにより、支柱材１０１を基板１０２，１０３間に
配設したガラス外囲器を作製するようにしてもよい。な
お、第１基板１０２および第２基板１０３とが所定間隔
で対向するよう、両基板１０２，１０３の周縁部には所
定厚さの側面板、あるいはガラスビーズやガラスファイ
バ等が挟持されており、この状態で封着されることによ
りガラス外囲器は作製されている。また、支柱材１０１
は約２〜５ｍｍ程度の間隔で複数ガラス外囲器内に配設
されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、整列板１１
１の支柱穴に支柱材１０１が組み合わされた状態を図８
（ａ）に示すが、同図（ｂ）にこの状態を拡大して示す
ように、支柱材１０１は支柱穴に対して傾いて位置ずれ
を生じている場合がある。この原因は、第１に支柱材１
０１が挿入される支柱穴の径は、支柱材１０１が摩擦力
等により引っ掛からないように、僅かの隙間を持たせた
約５３μｍとして形成されているが、支柱材１０１の公
差が±３μｍあると共に、支柱穴が＋５μｍ−０μｍの
公差を持っていることである。さらに、第２に整列板１
１１を精度よく作製するには後述するように約７０μｍ
の厚さ以上に形成することができず、支柱材１０１が整
列板１１１上に約１３０μｍ突出してしまうことであ
る。
１の支柱穴に支柱材１０１が組み合わされた状態を図８
（ａ）に示すが、同図（ｂ）にこの状態を拡大して示す
ように、支柱材１０１は支柱穴に対して傾いて位置ずれ
を生じている場合がある。この原因は、第１に支柱材１
０１が挿入される支柱穴の径は、支柱材１０１が摩擦力
等により引っ掛からないように、僅かの隙間を持たせた
約５３μｍとして形成されているが、支柱材１０１の公
差が±３μｍあると共に、支柱穴が＋５μｍ−０μｍの
公差を持っていることである。さらに、第２に整列板１
１１を精度よく作製するには後述するように約７０μｍ
の厚さ以上に形成することができず、支柱材１０１が整
列板１１１上に約１３０μｍ突出してしまうことであ
る。
【０００９】この原因により支柱材１０１は支柱穴の中
心に対し最大約２０μｍの位置ずれが生じるようになる
が、画素ピッチが３６０μｍ、画素間隔８０μｍとされ
ている表示器の真空ガラス外囲器であるとすると、支柱
材１０１の位置精度が約２０μｍずれると、支柱材１０
１が表示部の表示の妨げになったり、内部の電気配線の
短絡を起こす等の恐れが生じるという問題点があった。
心に対し最大約２０μｍの位置ずれが生じるようになる
が、画素ピッチが３６０μｍ、画素間隔８０μｍとされ
ている表示器の真空ガラス外囲器であるとすると、支柱
材１０１の位置精度が約２０μｍずれると、支柱材１０
１が表示部の表示の妨げになったり、内部の電気配線の
短絡を起こす等の恐れが生じるという問題点があった。
【００１０】なお、整列板１１１を約７０μｍの厚さ以
上に形成することができない理由は、その作製方法に原
因がある。そこで、整列板１１１の作製方法を図９およ
び図１０を参照しながら次に説明する。まず、図９
（ａ）に示すようにステンレス板１３１にフォトレジス
ト１３２を塗布し、その上に同図（ｂ）に示すようにマ
スク１３４が一面に形成されたガラス乾板１３３をフォ
トレジスト１３２上に載置して、光を照射することによ
りフォトレジスト１３２を露光させる。次いで、フォト
レジストを現像することにより、同図（ｃ）に示すよう
に露光されたフォトレジスト１３５だけがステンレス板
１３１上に残された状態とする。
上に形成することができない理由は、その作製方法に原
因がある。そこで、整列板１１１の作製方法を図９およ
び図１０を参照しながら次に説明する。まず、図９
（ａ）に示すようにステンレス板１３１にフォトレジス
ト１３２を塗布し、その上に同図（ｂ）に示すようにマ
スク１３４が一面に形成されたガラス乾板１３３をフォ
トレジスト１３２上に載置して、光を照射することによ
りフォトレジスト１３２を露光させる。次いで、フォト
レジストを現像することにより、同図（ｃ）に示すよう
に露光されたフォトレジスト１３５だけがステンレス板
１３１上に残された状態とする。
【００１１】このフォトレジスト１３５はステンレス板
１３１上に多数形成されており、その位置は支柱材１０
１を起立させて配設する位置とされている。そして、こ
の状態においてニッケルをメッキ材とする電気メッキを
行うと、同図（ｄ）に示すように、金属製のステンレス
板１３１上だけにニッケル（Ｎｉ）板１３６が形成され
るようになる。次いで、フォトレジスト１３５を除去す
ると、図１０（ａ）に示すように支柱穴１３７の形成さ
れたニッケル板１３６がステンレス板１３１上に形成さ
れた状態となる。そして、このニッケル板１３６をステ
ンレス板１３１から剥離すると、同図（ｂ）に示すよう
に支柱穴１３７が多数形成されている整列板１１１を得
ることができる。
１３１上に多数形成されており、その位置は支柱材１０
１を起立させて配設する位置とされている。そして、こ
の状態においてニッケルをメッキ材とする電気メッキを
行うと、同図（ｄ）に示すように、金属製のステンレス
板１３１上だけにニッケル（Ｎｉ）板１３６が形成され
るようになる。次いで、フォトレジスト１３５を除去す
ると、図１０（ａ）に示すように支柱穴１３７の形成さ
れたニッケル板１３６がステンレス板１３１上に形成さ
れた状態となる。そして、このニッケル板１３６をステ
ンレス板１３１から剥離すると、同図（ｂ）に示すよう
に支柱穴１３７が多数形成されている整列板１１１を得
ることができる。
【００１２】ところで、整列板１１１の厚さはステンレ
ス板１３１上に塗布されるフォトレジスト１３２を厚く
すれば厚くすることができるが、フォトレジスト１３２
を厚くすると露光のために照射された光が奥まで届きに
くいことになり、完全に露光させることができなくな
る。また、照射される光はマスク１３４の境界で回折さ
れると共に、フォトレジスト１３２内で散乱されること
から、フォトレジスト１３２の厚さすなわち整列板１１
１の厚さを厚くしていくと、フォトレジスト１３２内を
透過していくに従って光が拡散されるようになる。従っ
て、前記図９（ｃ）に示すように露光されたフォトレジ
スト１３５は台形状とされるため、図１１に示すように
整列板１１１の厚さが厚くなるに従い、形成される支柱
穴１３７の寸法のばらつきが大きくなっていく。
ス板１３１上に塗布されるフォトレジスト１３２を厚く
すれば厚くすることができるが、フォトレジスト１３２
を厚くすると露光のために照射された光が奥まで届きに
くいことになり、完全に露光させることができなくな
る。また、照射される光はマスク１３４の境界で回折さ
れると共に、フォトレジスト１３２内で散乱されること
から、フォトレジスト１３２の厚さすなわち整列板１１
１の厚さを厚くしていくと、フォトレジスト１３２内を
透過していくに従って光が拡散されるようになる。従っ
て、前記図９（ｃ）に示すように露光されたフォトレジ
スト１３５は台形状とされるため、図１１に示すように
整列板１１１の厚さが厚くなるに従い、形成される支柱
穴１３７の寸法のばらつきが大きくなっていく。
【００１３】このように、支柱穴１３７のばらつきが大
きくなったり、整列板１１１に形成された支柱穴１３７
が台形状となると、図１２に示すように支柱材１０１の
支柱穴の中心からの位置ずれ量はますます大きくなるた
め、表示器の真空ガラス外囲器としては不適当なものと
なる。このような理由から、支柱穴の精度のよい整列板
を作るには整列板１１１の厚さを約７０μｍ以上にする
ことができないのである。
きくなったり、整列板１１１に形成された支柱穴１３７
が台形状となると、図１２に示すように支柱材１０１の
支柱穴の中心からの位置ずれ量はますます大きくなるた
め、表示器の真空ガラス外囲器としては不適当なものと
なる。このような理由から、支柱穴の精度のよい整列板
を作るには整列板１１１の厚さを約７０μｍ以上にする
ことができないのである。
【００１４】そこで、本発明は支柱材の位置ずれ量を少
なくすることのできる支柱材整列用治具および支柱材整
列用治具製造方法を提供することを目的としている。
なくすることのできる支柱材整列用治具および支柱材整
列用治具製造方法を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の支柱材整列用治具は、少なくとも対向して
配置される２枚のガラス板により形成された真空ガラス
外囲器の、前記２枚のガラス板の間隔が所定間隔を保持
するように、前記２枚のガラス板の間に支柱材を配設す
るための支柱材整列用治具において、前記支柱材を起立
させるための高精度の第１支柱穴が複数形成された薄肉
の第１の整列板と、第２支柱穴が複数形成された厚肉の
第２の整列板が、前記第１支柱穴と前記第２支柱穴とが
重なるように積層されて整列板が構成されるようにした
ものである。
に、本発明の支柱材整列用治具は、少なくとも対向して
配置される２枚のガラス板により形成された真空ガラス
外囲器の、前記２枚のガラス板の間隔が所定間隔を保持
するように、前記２枚のガラス板の間に支柱材を配設す
るための支柱材整列用治具において、前記支柱材を起立
させるための高精度の第１支柱穴が複数形成された薄肉
の第１の整列板と、第２支柱穴が複数形成された厚肉の
第２の整列板が、前記第１支柱穴と前記第２支柱穴とが
重なるように積層されて整列板が構成されるようにした
ものである。
【００１６】また、前記第２の整列板に形成されている
第２支柱穴が、前記第１の整列板に形成されている第１
支柱穴に比べて、大径とされるようにしたものである。
第２支柱穴が、前記第１の整列板に形成されている第１
支柱穴に比べて、大径とされるようにしたものである。
【００１７】そして、前記本発明の支柱材整列用治具の
製造方法は、少なくとも支柱材を起立させる位置に第１
レジストが形成されている金属板の表面をメッキするこ
とにより、前記支柱材を起立させる第１支柱穴が形成さ
れた第１整列板を作製し、前記第１支柱穴に位置合わせ
して第２レジストを形成し、さらにメッキすることによ
り、前記第１整列板に積層して第２支柱穴の形成されて
いる第２整列板を作製して、整列板を作製するようにし
たものである。
製造方法は、少なくとも支柱材を起立させる位置に第１
レジストが形成されている金属板の表面をメッキするこ
とにより、前記支柱材を起立させる第１支柱穴が形成さ
れた第１整列板を作製し、前記第１支柱穴に位置合わせ
して第２レジストを形成し、さらにメッキすることによ
り、前記第１整列板に積層して第２支柱穴の形成されて
いる第２整列板を作製して、整列板を作製するようにし
たものである。
【００１８】さらに、前記第１レジストの径に比べて、
前記第２レジストの径を大径として前記整列板を作製す
るようにしてもよいものである。
前記第２レジストの径を大径として前記整列板を作製す
るようにしてもよいものである。
【００１９】
【作用】本発明によれば、整列板を２層構造として一方
の整列板を薄く形成するようにしたので、その整列板に
形成された支柱穴の寸法を高精度とすることができ、真
空ガラス外囲器内に配設された場合に支柱材の位置ずれ
量を改善することができる。従って、支柱材が表示器の
構成要素に悪影響を与えない所定の位置に配設すること
ができるようになり、表示の妨げになることがないと共
に、内部の電気配線の短絡を招くこともなくなる。
の整列板を薄く形成するようにしたので、その整列板に
形成された支柱穴の寸法を高精度とすることができ、真
空ガラス外囲器内に配設された場合に支柱材の位置ずれ
量を改善することができる。従って、支柱材が表示器の
構成要素に悪影響を与えない所定の位置に配設すること
ができるようになり、表示の妨げになることがないと共
に、内部の電気配線の短絡を招くこともなくなる。
【００２０】
【実施例】本発明の支柱整列用治具に使用する整列板の
第１実施例の構成を図１に示す。この図において、１は
表示器の真空ガラス外囲器を構成する第１ガラス基板と
第２ガラス基板とを所定間隔で保持するために、第１ガ
ラス基板と第２ガラス基板間に所定間隔毎に配設される
支柱材、２は前記した図６に示す支柱整列用の治具１１
０に用いる整列板を構成する第１整列板、３は第１整列
板２の下に形成されている第２整列板、４は第１整列板
２および第２整列板３からなる整列板が載置される多孔
質の基部である。
第１実施例の構成を図１に示す。この図において、１は
表示器の真空ガラス外囲器を構成する第１ガラス基板と
第２ガラス基板とを所定間隔で保持するために、第１ガ
ラス基板と第２ガラス基板間に所定間隔毎に配設される
支柱材、２は前記した図６に示す支柱整列用の治具１１
０に用いる整列板を構成する第１整列板、３は第１整列
板２の下に形成されている第２整列板、４は第１整列板
２および第２整列板３からなる整列板が載置される多孔
質の基部である。
【００２１】この第１実施例においては、第１整列板２
と第２整列板３とを積層するようにして整列板を形成し
ている。そして、下側の第２整列板３の厚さは厚く形成
されており、上側の第１整列板２の厚さは薄く形成され
ている。このため、第２整列板３に形成された支柱穴の
ばらつき量は図１１に示すように大きくなるが、第１整
列板２に形成された支柱穴のばらつき量は小さくするこ
とができる。そして、図１に示すように支柱穴に挿入さ
れている支柱材１の位置ずれは第１整列板２に形成され
た支柱穴によりほとんど規制されるようになるため、高
精度の支柱穴が形成されている第１整列板２により、支
柱材１の支柱穴の中心からの位置ずれ量を少なくするこ
とができる。
と第２整列板３とを積層するようにして整列板を形成し
ている。そして、下側の第２整列板３の厚さは厚く形成
されており、上側の第１整列板２の厚さは薄く形成され
ている。このため、第２整列板３に形成された支柱穴の
ばらつき量は図１１に示すように大きくなるが、第１整
列板２に形成された支柱穴のばらつき量は小さくするこ
とができる。そして、図１に示すように支柱穴に挿入さ
れている支柱材１の位置ずれは第１整列板２に形成され
た支柱穴によりほとんど規制されるようになるため、高
精度の支柱穴が形成されている第１整列板２により、支
柱材１の支柱穴の中心からの位置ずれ量を少なくするこ
とができる。
【００２２】さらに、第１整列板２と第２整列板３とを
積層して形成するようにしたため、整列板全体の厚さを
厚くすることができ、整列板から支柱材１の突出する量
を少なくすることができるため、さらに位置ずれ量を少
なくすることができる。例えば、第２整列板３の厚さを
約１３０μｍ、第１整列板２の厚さを約３０μｍに形成
すると、支柱材１の突出量を約４０μｍとすることがで
き、従来に比べて位置ずれ量を約１０μｍ以下と格段に
少なくすることができる。又、第１整列板２を下側に配
設し、その上に第２整列板３を配設してもよい。
積層して形成するようにしたため、整列板全体の厚さを
厚くすることができ、整列板から支柱材１の突出する量
を少なくすることができるため、さらに位置ずれ量を少
なくすることができる。例えば、第２整列板３の厚さを
約１３０μｍ、第１整列板２の厚さを約３０μｍに形成
すると、支柱材１の突出量を約４０μｍとすることがで
き、従来に比べて位置ずれ量を約１０μｍ以下と格段に
少なくすることができる。又、第１整列板２を下側に配
設し、その上に第２整列板３を配設してもよい。
【００２３】次に、本発明の支柱整列用治具に使用する
整列板の第２実施例の構成を図２に示す。この図におい
ても、１は表示器の真空ガラス外囲器を構成する第１ガ
ラス基板と第２ガラス基板とを所定間隔で保持するため
に、第１ガラス基板と第２ガラス基板間に所定間隔毎に
配設される支柱材、２は前記した図６に示す支柱整列用
の治具１１０に用いる整列板を構成する第１整列板、３
は第１整列板２の下に形成されている第２整列板、４は
第１整列板２および第２整列板３からなる整列板が載置
される多孔質の基部である。
整列板の第２実施例の構成を図２に示す。この図におい
ても、１は表示器の真空ガラス外囲器を構成する第１ガ
ラス基板と第２ガラス基板とを所定間隔で保持するため
に、第１ガラス基板と第２ガラス基板間に所定間隔毎に
配設される支柱材、２は前記した図６に示す支柱整列用
の治具１１０に用いる整列板を構成する第１整列板、３
は第１整列板２の下に形成されている第２整列板、４は
第１整列板２および第２整列板３からなる整列板が載置
される多孔質の基部である。
【００２４】この第２実施例は、前記第１実施例と比べ
て第２整列板３に形成されている支柱穴が大きくされて
いる。これは、後述するように第１整列板２上に第２整
列板３を積層して作製する場合に、第２整列板３に形成
する支柱穴を大きくすることにより、積層時の第１整列
板２に対する第２整列板３の位置合わせを容易に行える
からである。なお、第２実施例においても支柱材１が挿
入されている支柱穴の中心からの位置ずれ量を小さくす
ることができることは、第１実施例と同様である。
て第２整列板３に形成されている支柱穴が大きくされて
いる。これは、後述するように第１整列板２上に第２整
列板３を積層して作製する場合に、第２整列板３に形成
する支柱穴を大きくすることにより、積層時の第１整列
板２に対する第２整列板３の位置合わせを容易に行える
からである。なお、第２実施例においても支柱材１が挿
入されている支柱穴の中心からの位置ずれ量を小さくす
ることができることは、第１実施例と同様である。
【００２５】次に、支柱整列用治具に使用する前記第１
実施例の整列板の製造方法を図３および図４を参照しな
がら説明する。まず、図３（ａ）に示すようにステンレ
ス板１０に第１レジスト１１を５０μｍ以下の厚さとな
るように薄く（例えば、３０μｍ）塗布し、その上に同
図（ｂ）に示すように第１マスク１３が一面に形成され
たガラス乾板１２を第１レジスト１１上に載置して、上
部から光を照射することにより第１レジスト１１を露光
させる。次いで、第１レジスト１１を現像することによ
り、同図（ｃ）に示すように露光された第１レジスト１
１だけがステンレス板１０上に残された状態とする。
実施例の整列板の製造方法を図３および図４を参照しな
がら説明する。まず、図３（ａ）に示すようにステンレ
ス板１０に第１レジスト１１を５０μｍ以下の厚さとな
るように薄く（例えば、３０μｍ）塗布し、その上に同
図（ｂ）に示すように第１マスク１３が一面に形成され
たガラス乾板１２を第１レジスト１１上に載置して、上
部から光を照射することにより第１レジスト１１を露光
させる。次いで、第１レジスト１１を現像することによ
り、同図（ｃ）に示すように露光された第１レジスト１
１だけがステンレス板１０上に残された状態とする。
【００２６】この現像された第１レジスト１１はほぼ円
形とされていると共に、ステンレス板１０上に多数形成
されており、形成されている位置は支柱材１を起立させ
て配設する位置とされている。そして、この状態におい
てニッケルをメッキ材とする電気メッキを行うと、金属
製のステンレス板１０上だけに第１ニッケル板１４が形
成されるようになる。次いで、第１レジスト１１を除去
すると、同図（ｄ）に示すように支柱穴１９の形成され
た第１ニッケル（Ｎｉ）板１４が精度よくステンレス板
１０上に形成された状態となる。
形とされていると共に、ステンレス板１０上に多数形成
されており、形成されている位置は支柱材１を起立させ
て配設する位置とされている。そして、この状態におい
てニッケルをメッキ材とする電気メッキを行うと、金属
製のステンレス板１０上だけに第１ニッケル板１４が形
成されるようになる。次いで、第１レジスト１１を除去
すると、同図（ｄ）に示すように支柱穴１９の形成され
た第１ニッケル（Ｎｉ）板１４が精度よくステンレス板
１０上に形成された状態となる。
【００２７】さらに、同図（ｅ）に示すように第１ニッ
ケル板１４の上に第２レジスト１５を１００μｍ以上の
厚さとなるように、例えば、１３０μｍの厚さで塗布
し、その上に図４（ａ）に示すように第１マスク１３が
一面に形成されたガラス乾板１２を再度使用して、支柱
穴１９に位置合わせしながら第２レジスト１５上に載置
して、上部から光を照射することにより第２レジスト１
５を露光させる。このように一枚のマスクしか使用しな
いので、支柱穴１９を形成するためにマスクに形成され
た個々の穴の中心位置精度を確保できると共に、マスク
を交換しないためマスク間の穴位置の誤差を除くことが
できる。次いで、第２レジスト１５を現像すると、同図
（ｂ）に示すように露光された第２レジスト１５が、第
１ニッケル板１４に形成されている支柱穴１９を中心と
して第２ニッケル板１４上に残された状態となる。
ケル板１４の上に第２レジスト１５を１００μｍ以上の
厚さとなるように、例えば、１３０μｍの厚さで塗布
し、その上に図４（ａ）に示すように第１マスク１３が
一面に形成されたガラス乾板１２を再度使用して、支柱
穴１９に位置合わせしながら第２レジスト１５上に載置
して、上部から光を照射することにより第２レジスト１
５を露光させる。このように一枚のマスクしか使用しな
いので、支柱穴１９を形成するためにマスクに形成され
た個々の穴の中心位置精度を確保できると共に、マスク
を交換しないためマスク間の穴位置の誤差を除くことが
できる。次いで、第２レジスト１５を現像すると、同図
（ｂ）に示すように露光された第２レジスト１５が、第
１ニッケル板１４に形成されている支柱穴１９を中心と
して第２ニッケル板１４上に残された状態となる。
【００２８】次に、この状態においてニッケルをメッキ
材とする電気メッキをさらに行うと、金属製のニッケル
板１４上だけに第２ニッケル板１８が形成されるように
なる。次いで、第２レジスト１５を除去すると、同図
（ｃ）に示すように第１ニッケル（Ｎｉ）板１４上に位
置合わせされて形成された支柱穴１９を有する第２ニッ
ケル板１８が積層されて形成されるようになる。そし
て、積層された第１ニッケル板１４および第１ニッケル
板１８をステンレス板１０から剥離すると、同図（ｄ）
に示すように支柱穴１９が多数形成されている整列板を
得ることができる。
材とする電気メッキをさらに行うと、金属製のニッケル
板１４上だけに第２ニッケル板１８が形成されるように
なる。次いで、第２レジスト１５を除去すると、同図
（ｃ）に示すように第１ニッケル（Ｎｉ）板１４上に位
置合わせされて形成された支柱穴１９を有する第２ニッ
ケル板１８が積層されて形成されるようになる。そし
て、積層された第１ニッケル板１４および第１ニッケル
板１８をステンレス板１０から剥離すると、同図（ｄ）
に示すように支柱穴１９が多数形成されている整列板を
得ることができる。
【００２９】なお、支柱材１の直径が約５０μｍ、その
長さが約２００μｍとされている場合、第１ニッケル板
１４の厚さは約３０μｍとされており、第１ニッケル板
１４に形成される支柱穴１９の径は約５３μｍとされて
いる。また、第２ニッケル板１８の厚さは約１３０μｍ
とされており、第２ニッケル板１８に形成される支柱穴
１９の径は約５３μｍとされている。
長さが約２００μｍとされている場合、第１ニッケル板
１４の厚さは約３０μｍとされており、第１ニッケル板
１４に形成される支柱穴１９の径は約５３μｍとされて
いる。また、第２ニッケル板１８の厚さは約１３０μｍ
とされており、第２ニッケル板１８に形成される支柱穴
１９の径は約５３μｍとされている。
【００３０】次に、支柱整列用治具に使用する前記第２
実施例の整列板の製造方法を図５に示すが、第１ニッケ
ル板１４を形成してその上に第２レジスト１５を塗布す
る工程までは、前記した第１実施例の整列板の製造方法
と同様であるので、説明および図示は省略するものとす
る。従って、図５（ａ）に示す工程は、図３（ｅ）に示
す工程に続く工程とされるが、この図５に示す各工程と
図４に示す各工程とは第２レジスト１５の径が異なるだ
けであるので、この点についてだけ説明を行うこととす
る。
実施例の整列板の製造方法を図５に示すが、第１ニッケ
ル板１４を形成してその上に第２レジスト１５を塗布す
る工程までは、前記した第１実施例の整列板の製造方法
と同様であるので、説明および図示は省略するものとす
る。従って、図５（ａ）に示す工程は、図３（ｅ）に示
す工程に続く工程とされるが、この図５に示す各工程と
図４に示す各工程とは第２レジスト１５の径が異なるだ
けであるので、この点についてだけ説明を行うこととす
る。
【００３１】すなわち、この製造方法においては、ガラ
ス乾板１６の一面に形成されている第２マスク１７の穴
径は、第１マスク１３の穴径より大きくされている。そ
して、第１ニッケル板１４に形成されている支柱穴１９
に第２マスク１７を位置合わせして載置するのである
が、第２マスク１７の穴径が大きくされているため、そ
の位置合わせを容易に行うことができる。なお、第１ニ
ッケル板１４に形成されている支柱穴１９の径を５３μ
ｍとすると、第２マスク１７の穴径は１００μｍ以上、
例えば約１５０μｍとされている。
ス乾板１６の一面に形成されている第２マスク１７の穴
径は、第１マスク１３の穴径より大きくされている。そ
して、第１ニッケル板１４に形成されている支柱穴１９
に第２マスク１７を位置合わせして載置するのである
が、第２マスク１７の穴径が大きくされているため、そ
の位置合わせを容易に行うことができる。なお、第１ニ
ッケル板１４に形成されている支柱穴１９の径を５３μ
ｍとすると、第２マスク１７の穴径は１００μｍ以上、
例えば約１５０μｍとされている。
【００３２】以上の説明においては、第１整列板および
第２整列板はニッケル板により形成されているが、整列
板の材料はニッケルに限られるものではなく金属材であ
ればよい。さらに、第１整列板および第２整列板は電気
メッキにより形成されているが、電気メッキにより第１
整列板を形成した後、板厚１３０μｍ程度の金属板に直
径２００μｍ程度の穴をエッチングにより形成して、ラ
ミネートすることにより積層構造の整列板を作製するよ
うにしてもよい。なお、支柱材の高さは、直径を５０μ
ｍとした場合、１５０〜５００μｍとすることができ
る。また、配列板の厚さは支柱材の高さの約１／３以上
とするのが望ましく、さらに支柱材は２ｍｍ程度の間隔
で第１基板と第２基板間に配設するのが好適である。
第２整列板はニッケル板により形成されているが、整列
板の材料はニッケルに限られるものではなく金属材であ
ればよい。さらに、第１整列板および第２整列板は電気
メッキにより形成されているが、電気メッキにより第１
整列板を形成した後、板厚１３０μｍ程度の金属板に直
径２００μｍ程度の穴をエッチングにより形成して、ラ
ミネートすることにより積層構造の整列板を作製するよ
うにしてもよい。なお、支柱材の高さは、直径を５０μ
ｍとした場合、１５０〜５００μｍとすることができ
る。また、配列板の厚さは支柱材の高さの約１／３以上
とするのが望ましく、さらに支柱材は２ｍｍ程度の間隔
で第１基板と第２基板間に配設するのが好適である。
【００３３】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、整列板を
２層構造として上に位置する整列板を薄く形成するよう
にしたので、その整列板に形成された支柱穴の寸法を高
精度とすることができ、真空ガラス外囲器内に配設され
た場合に支柱材の位置ずれ量を改善することができる。
従って、支柱材が表示器の構成要素に悪影響を与えない
所定の位置に配設することができるようになり、表示の
妨げになることがないと共に、内部の電気配線の短絡を
招くこともなくなる。
２層構造として上に位置する整列板を薄く形成するよう
にしたので、その整列板に形成された支柱穴の寸法を高
精度とすることができ、真空ガラス外囲器内に配設され
た場合に支柱材の位置ずれ量を改善することができる。
従って、支柱材が表示器の構成要素に悪影響を与えない
所定の位置に配設することができるようになり、表示の
妨げになることがないと共に、内部の電気配線の短絡を
招くこともなくなる。
【図１】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第１実施例の構造を示す図である。
第１実施例の構造を示す図である。
【図２】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第２実施例の構造を示す図である。
第２実施例の構造を示す図である。
【図３】第１実施例の整列板の製造過程を示す図であ
る。
る。
【図４】第１実施例の整列板の製造過程を示す図であ
る。
る。
【図５】第２実施例の整列板の製造過程を示す図であ
る。
る。
【図６】支柱配列用治具の構成および、その用い方を説
明するための図である。
明するための図である。
【図７】真空ガラス外囲器の構造を示す図である。
【図８】支柱材の位置ずれを説明するための図である。
【図９】従来の整列板の製造過程を示す図である。
【図１０】従来の整列板の製造過程を示す図である。
【図１１】整列板の厚さに対する穴寸法のばらつきの関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図１２】従来の支柱材の位置ずれを説明するための図
である。
である。
１ 支柱材 ２ 第１整列板 ３ 第２整列板 ４ 基部 １０ ステンレス板 １１ 第１レジスト １２，１６ ガラス乾板 １３ 第１マスク １４ 第１ニッケル板 １５ 第２レジスト １７ 第２マスク １８ 第２ニッケル板 １９ 支柱穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉村 智志 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (72)発明者 本多 健一 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (56)参考文献 特開 平６−310054（ＪＰ，Ａ)
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも対向して配置される２枚の
ガラス板により形成された真空ガラス外囲器の、前記２
枚のガラス板の間隔が所定間隔を保持するように、前記
２枚のガラス板の間に支柱材を配設するための支柱材整
列用治具において、 前記支柱材を起立させるための高精度の第１支柱穴が複
数形成された薄肉の第１の整列板と、第２支柱穴が複数
形成された厚肉の第２の整列板が、前記第１支柱穴と前
記第２支柱穴とが重なるように積層されて整列板が構成
されていることを特徴とする支柱材整列用治具。 - 【請求項２】 前記第２の整列板に形成されている第
２支柱穴が、前記第１の整列板に形成されている第１支
柱穴に比べて、大径とされていることを特徴とする請求
項１記載の支柱材整列用治具。 - 【請求項３】 前記整列板が排気部上の多孔質の基部
上に配設されることを特徴とする請求項１記載の支柱材
整列用治具。 - 【請求項４】 少なくとも対向して配置される２枚の
ガラス板により形成された真空ガラス外囲器の、前記２
枚のガラス板の間隔が所定間隔を保持するように、前記
２枚のガラス板の間に支柱材を配設するための支柱材整
列用治具の製造方法において、 前記支柱材を起立させる位置に第１レジストが形成され
ている金属板の表面をメッキすることにより前記支柱材
を起立させる第１支柱穴が形成された第１整列板を作製
し、 前記第１支柱穴に位置合わせして第２レジストを形成
し、さらにメッキすることにより、前記第１整列板に積
層して第２支柱穴の形成されている第２整列板を作製し
て、整列板を作製するようにしたことを特徴とする支柱
材整列用治具の製造方法。 - 【請求項５】 前記第１レジストの径に比べて、前記
第２レジストの径が大径とされて前記整列板が作製され
ていることを特徴とする請求項４記載の支柱材整列用治
具の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6332911A JP2727995B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 支柱材整列用治具および支柱材整列用治具の製造方法 |
| TW084113268A TW350928B (en) | 1994-12-15 | 1995-12-13 | Supporting rod member arranging jig and method for making a supporting jig |
| US08/571,647 US5874177A (en) | 1994-12-15 | 1995-12-13 | Strut aligning fixture |
| KR1019950050374A KR100219362B1 (ko) | 1994-12-15 | 1995-12-15 | 지주재 정렬용 치구 및 그 제조방법 |
| FR9514895A FR2728385B1 (fr) | 1994-12-15 | 1995-12-15 | Fixation d'alignement d'etai et son procede de fabrication |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6332911A JP2727995B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 支柱材整列用治具および支柱材整列用治具の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08167374A JPH08167374A (ja) | 1996-06-25 |
| JP2727995B2 true JP2727995B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=18260186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6332911A Expired - Fee Related JP2727995B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 支柱材整列用治具および支柱材整列用治具の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5874177A (ja) |
| JP (1) | JP2727995B2 (ja) |
| KR (1) | KR100219362B1 (ja) |
| FR (1) | FR2728385B1 (ja) |
| TW (1) | TW350928B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2956590B2 (ja) * | 1996-05-27 | 1999-10-04 | 双葉電子工業株式会社 | 支柱材整列用治具 |
| EP0827181A3 (en) * | 1996-08-29 | 1998-10-14 | Motorola, Inc. | Method for affixing spacers in a flat panel display |
| US6281508B1 (en) | 1999-02-08 | 2001-08-28 | Etec Systems, Inc. | Precision alignment and assembly of microlenses and microcolumns |
| FR2809864A1 (fr) | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Pixtech Sa | Outillage de pose d'espaceurs dans un ecran plat de visualisation |
| JP4535755B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2010-09-01 | 双葉電子工業株式会社 | 支柱材配設用治具および支柱材配設方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2829460A (en) * | 1953-12-22 | 1958-04-08 | Marcel J E Golay | Etching method and etching plate |
| US3423261A (en) * | 1965-03-08 | 1969-01-21 | Buckbee Mears Co | Method of etching fine filamentary apertures in thin metal sheets |
| US3804601A (en) * | 1969-10-15 | 1974-04-16 | Zenith Radio Corp | Shadow mask blank for color cathode ray tube |
| US3883315A (en) * | 1972-12-13 | 1975-05-13 | Texas Instruments Inc | Shadow mask for a color television image tube |
| US4021219A (en) * | 1976-07-12 | 1977-05-03 | Rca Corporation | Method of making a composite glass structure |
| US4374707A (en) * | 1981-03-19 | 1983-02-22 | Xerox Corporation | Orifice plate for ink jet printing machines |
| US4528070A (en) * | 1983-02-04 | 1985-07-09 | Burlington Industries, Inc. | Orifice plate constructions |
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