JPS63124329A

JPS63124329A - カラ−ブラウン管用シヤドウマスクの露光方法

Info

Publication number: JPS63124329A
Application number: JP26781586A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Kita; 喜多　信夫
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-11-12
Filing date: 1986-11-12
Publication date: 1988-05-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）この発明は、カラーブラウン管用シャドウマスクの露出
方法に関する。

（従来の技術）シャドウマスク形カラーブラウン管は、外囲器の前面部
を構成するパネル内面に形成された３色蛍光体からなる
蛍光面に対向して、その内側に、多数の電子ビーム通過
孔を所定形状、配列で形成したシャドウマスクを備え、
電子銃から放出される３電子ビームを選択的に上記蛍光
面を構成する３色蛍光体に正しく入射させるように構成
されている。

通常、このシャドウマスクは、フォトエツチング法によ
り製作され、板厚０．１〜０．２０ｍｍ程度の鋼板など
からなる金属板の両面に感光性樹脂液を塗布乾燥して、
感光性樹脂膜を被着形成する。しかるのち、その両面の
感光性樹脂膜に、シャドウマスクの電子ビーム通過孔に
対応するネガパターンの形成されたネガ板の乳剤層を真
空吸引により密着させて、その両面を同時に露光し、感
光性樹脂膜にネガパターンを焼付ける。その後、上記感
光性樹脂膜を現像して未露光部分を除去し、乾燥したの
ち、上記金属板にたとえば腐蝕液をスプレーしてエツチ
ングすることにより製作される。

ところで、このシャドウマスクの製造方法により所定寸
法精度の電子ビーム通過孔に形成するためには、感光性
樹脂膜にネガ板を均−一様に密着することが重要である
。もしも密着しない部分ができると、局部的な寸法不良
や、むら、かぶりなどの不良を生ずる。

このような感光性樹脂膜とネガ板との密着に基づく不良
は、外形寸法の小さいシャドウマスクを１枚づつ露光す
る場合はあまり発生しないが、超大型管などに用いられ
る大型シャドウマスクや、小型シャドウマスクでも、生
産性向上のため、複数枚のシャドウマスクを一括して同
時に露光する多数枚撮り方式では、金属板およびネガ板
が大きくなるにつれて、中間にエア残りによる密着不良
部分ができやすく、密着不良に基づく不良を生ずるよう
になる・また、金属板やネガ板が大きくなると、それらを密着さ
せるに要する真空吸引時間がほぼ密着面積に比例して長
くなる。通常、シャドウマスクの露光は、長さが３００
〜５’００ｍに及び帯板状のフープ材を順次巻きもどし
ながらおこなわれるので、上記のように真空吸引時間が
長くなると、フープ材全体を露光しおわるまでに４０〜
５０時間ががるようになる。一方、未現像の感光性樹脂
膜は、通常の温度下でも暗反応が進行するため、上記の
ように露光時間が長くなると、フープの終端部を露光し
おわる頃には、先端部は、暗反応に基づくがぶりを生じ
、所要のシャドウマスクを製作することができなくなる
。

（発明が解決しようとする問題点）上記のようにカラーブラウン管用シャドウマスクの露光
は、金属板の板面に被着形成された感光性樹脂膜にネガ
板の乳剤層を真空吸引により密着させておこなわれるが
、金属板やネガ板が大きくなると、中間部にエア残りに
よる密着不良部分ができ、この密着不良に基づいて、局
部的な寸法不良や、むら、かぶりなどの不良を生ずる。

また、金属板とネガ板を密着させるための真空吸引時間
が長くなり、長尺のフープ材に対しては、そのすべてを
露光しおわるまでに長時間かかるため、フープ材先端部
に感光性樹脂膜の暗反応に基づくかぶりを生じ、所要の
シャドウマスクを製作することができなくなるなどの問
題点がある。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
のであり、金属板に被着形成された感光性樹脂膜とネガ
板を短時間に密着させることができ、かつ局部的な密着
不良を生じないカラーブラウン管用シャドウマスクの露
光方法を得ることを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）カラーブラウン管用シャドウマスクの電子ビーム通過孔
に対応するネガパターンの形成された乳剤層を有するネ
ガ板を用い、このネガ板の乳剤層を金属板の板面に被着
形成された感光性樹脂膜に真空吸引により密着させて露
光することにより、上記感光性樹脂膜に上記ネガパター
ンを焼付けるカラーブラウン管用シャドウマスクの露光
方法において、上記ネガ板の乳剤層を選択的に除去して
真空吸引溝を形成し、上記ネガ板を感光性樹脂膜に密着
させるようにした。

（作　用）上記のようにネガ板の乳剤層を選択的に除去して真空吸
引溝を形成すると、この真空吸引溝により実質的にネガ
板を細分化したと同様の作用かえられ、感光性樹脂膜と
ネガ板との密着を短時間に、また、従来大型ネガ板の中
間部に生じたエア残りによる密着不良を解消することが
できる。

（実施例）以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。

第１図にこの発明のカラーブラウン管用シャドウマスク
の露光に用いられる露光装置を、また、第２図しこその
要部構造を拡大して示す。この露光装置は、平板状のガ
ラス基板（１）の一方の面に乳剤層（２）が被着形成さ
れ、この乳剤Ｎｊ（２）にシャドウマスクの電子ビーム
通過孔に対応するネガパタ−ンが形成された一対のネガ
板（３ａ）、　（３ｂ）と、各ネガ板（３ａ）　、　（
３ｂ）の乳剤層（２）を対向させて各別に支持する上下
−組の一対の支持体（４ａ）、　（４ｂ）とを有する。

この一対の支持体（４ａ）、　（４ｂ）は、図示しない
駆動機構により接離自在に駆動され、かつ、この一対の
支持板（４ａ）、　（４ｂ）間には、それらが接近した
とき、気密を保持するためのパツキン（５）が配設され
ている。また、一方の支持体（４ａ）には、各ネガ板（
３ａ）　、　（３ｂ）を金属板（６）の両面に被着形成
された感光性樹脂膜（７）に密着させるための真空吸引
孔からなる真空吸引部（８）が設けられ、図示しない真
空装置に接続されている。

しかして、この例の露光装置においては、第２図に示す
ように、上記一対のネガ板（３ａ）、　（３ｂ）のそれ
ぞれに、ネガパターンをさけて乳剤層（２）の一部を除
去して、上記真空吸引孔に通ずる真空吸引溝（１０）が
形成されている。

第３図は、その−具体例として、超大形管のシャドウマ
スクを製造するためのネガ板を示したものであり、−枚
のネガ板に二つのネガパターン（１２）が並列形成され
、これらネガパターン（１２）の外側および二つのネガ
パターン（１２）の中間部に真空吸引溝（１０）が設け
られ、さらに、第４図に示すように、ネガパターン（１
２）の中央部にも、このネガパターン（１２）を横切る
ように真空吸引溝（１ｏ）が設けられている。

また、第５図は、小型管用シャドウマスクを多数枚撮り
で製造するためのネガ板を示したものであり、この例で
は、−枚のネガ板にマトリックス状に六つのネガパター
ン（１２）が形成され、これらネガパターン（１２）の
外側および各ネガパターン（１２）の中間部に真空吸引
溝（１０）が設けられている。

シャドウマスクの露光方法はっぎのようにおこなわれる
。まず支持体（４ａ）、　（４ｂ）を後退させて、これ
ら支持体（４ａ）、　（４ｂ）に支持された一対のネガ
板（３ａ）　、（３ｂ）を離間させ、これら一対のネガ
板（３ａ）、　（３ｂ）間に両面に感光性樹脂膜（７）
の被着形成された鋼板などの金属板（６）を挿入する。

しかるのち、一対のネガ板（３ａ）、　（３ｂ）を互に
接近させ、さらにこの一対のネガ板（３ａ）、　（３ｂ
）間を真空吸引して、上記金属板（６）の両面に被着形
成された感光性樹脂膜（７）にそれぞれネガ板（３ａ）
、　（３ｂ）の乳剤層（２）を密着させる。所定時間真
空吸引し、感光性樹脂膜（７）にネガ板（３ａ）　、　
（３ｂ）を十分に密着させたのち、第１図に矢印（１４
）で示すようにネガ板（３ａ）、　（３ｂ）を介して上
記感光性樹脂膜（７）全面に光を照射し、ネガ板（３ａ
）、　（３ｂ）に形成されているネガパターン（１２）
を焼付ける。

なお、焼付けを終了した金属板（６）は、真空吸引を解
除したのち、一対のネガ板（３ａ）、　（３ｂ）を支持
体（４ａ）、　（４ｂ）とともに後退させることにより
、露光装置から取出される。また、金属板（６）が長尺
の帯板状部材からなる場合は、金属板（６）を逐次移動
させながら上記露光方法を繰返すことにより、その全面
に被着形成された感光性樹脂膜（７）に所定のパターン
を焼付けることができる。

ところで、上記のようにネガ板（３ａ）、　（３ｂ）の
乳剤層（２）にネガパターン（１２）に支障を生じない
ようにその一部を除去して真空吸引孔に通ずる真空吸引
溝（１０）を設けると、この真空吸引溝（１０）を介し
て感光性樹脂膜（７）と乳剤層（２）との間の空気を吸
引除去することができるので、エア残りによるそれらの
密着不良を防止でき、容易に所要のシャドウマスクとす
ることができる。特に大型ネガ板に対しては、この真空
吸引溝（１０）によりネガ板（３ａ）、　（３ｂ）を細
分化したと同様にすることができるので、従来長時間要
した大型ネガ板の密着を短時間におこなうことができ、
また、従来大型ネガ板の中間部に生じたエア残りを解消
することができる。

〔発明の効果〕

カラーブラウン管用シャドウマスクの電子ビーム通過孔
に対応するネガパターンの形成された乳剤層をネガパタ
ーンに支障がないようにその一部を選択的に除去して真
空吸引溝を形成し、この真空吸引溝を介して、金属板に
被着形成された感光性樹脂膜と乳剤層との間の空気を吸
引除去できるようにしたので、小型ネガ板は勿論、大型
ネガ板についても、感光性樹脂膜に対してネガ板を短時
間に密着させ、かつ、エア残りによる密着不良を解消し
て、所要のシャドウマスクを容易に製作することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例カラーブラウン管用シャド
ウマスクの露光に用いられる露光装置の図、第２図はそ
の要部構造を拡大して示した断面図、第３図は超大型管
用ネガ板の構成を示す平面図、第４図（Ａ）および（Ｂ
）はそれぞれその要部拡大図およびそのＩＶ−ＩＶ線断
面図、第５図は小型管用多数撮りネガ板の構成を示す平
面図である。（１）・・基板　　　　　　（２）・・・乳剤層（３ａ
）　、　（３ｂ）−ネガ板　　（４ａ）　、（４ｂ）　
・”支持体（６）・・・金属板　　　　　（７）・・・
感光性樹脂膜（８）・・・真空吸引部　　　（１０）・
・・真空吸引溝（１２）・・・ネガパターン

Claims

【特許請求の範囲】カラーブラウン管用シャドウマスクの電子ビーム通過孔
に対応するネガパターンの形成された乳剤層を有するネ
ガ板を用い、このネガ板の乳剤層を金属板の板面に被着
形成された感光性樹脂膜に真空吸引により密着させて露
光することにより上記感光性樹脂膜に上記ネガパターン
を焼付けるカラーブラウン管用シャドウマスクの露光方
法において、上記ネガ板の乳剤層を選択的に除去して真空吸引溝を形
成し、上記ネガ板を上記感光性樹脂膜に密着させるよう
にしたことを特徴とするカラーブラウン管用シャドウマ
スクの露光方法。