KR100196546B1 - 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉장치 - Google Patents

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하마다 야스유키(코가 노리스케)
닛신 세이코 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 탄성 롤의 단면부의 밀봉성의 향상과 회전 부하의 경감에 관한 것이다.
본 발명에 의한 밀봉장치(20)는 광택 폴림로(22)의 금속띠(21)에 대한 출입구를 기밀 밀봉하기 위해 설치된다. 금속띠(21)는 양측으로부터 한쌍의 탄성 롤(23)에 의해서 끼워지고, 기밀 밀봉되면서 판통과가 가능해지도록 구성된다. 탄성롤(23)의 단면과, 케이싱(25)의 측벽(26) 사이에는 탄성을 가지는 재료로 이루어지는 외피 부재(34) 및 단면 밀봉 부재(39)가 끼워져 확실한 밀봉을 행한다. 외피부재(34)와 단면 밀봉 부재(39) 사이에는 강성을 가지는 재료로 이루어지는 제1지지 부재(35), 제2지지 부재(36), 외측 에버링(37) 및 내측 베어링(38)이 끼워져 있으므로, 회전 부하의 경감 효과를 발휘한다.

Description

[발명의 명칭]
분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치
[발명의 상세한 설명]
[기술분야]
본 발명은 금속 띠를 분위기 열처리하거나, 금속 또는 합성 수지에 진공 증착하기 위해서 이용되는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치에 관한 것이다.
[배경기술]
종래부터, 제10도에 도시된 바와 같이, 금속 띠 등의 띠체가 연속적으로 분위기 설비에 의해 처리되어 왔다. 예컨대, 금속 띠(1)는 세로형의 광휘 풀림로(bright annealing furnace)(2)에서 비산화 분위기 중에서의 풀림을 위해 열처리 된다. 금속 띠(1)나 광택 풀림로(2)는 접지 라인(3)에 의해서 전기적으로 지면에 접지 되어 있다. 금속 띠(1)는 적당히 배치되어 있는 롤(4)에 의하여 방향을 바꾸고, 입구 밀봉부(5)로부터 광택 풀림로(2)내로 들어가서, 출입 밀봉부(6)로 나온다.
광택 풀림로(2)는 스테인레스강 띠, 그 외에 합금강 띠, 고합금 띠, 동합금 띠, 강철 띠 등 금속 띠(1)의 연속 풀림을, 산화를 방지하면서 행한다. 이 때문에, 로 내부의 분위기 가스(7)에는 폭발 또는 화재의 위험성을 갖는 가연성 가스, 예컨대 암모니아 분해 가스나, 수소와 질소의 혼합 가스 등, 수소 가스를 함유하는 가스가 사용된다. 따라서, 입구 밀봉부(5)나 출구 밀봉부(6)에 있어서의 밀봉이, 품질상 및 안전상에서 특히 중요하다. 또한, 전술한 접지 라인(3)도, 안전 대책의 일환으로서 설치되어 있다.
입구 또는 출구의 밀봉 장치에 관하여, 전형적인 선행 기술은 예컨대 일본 특공소 제42-18893호에 개시되어 있다. 이 선행 기술에서는 입구 밀봉부(5) 및 출구 밀봉부(6)에서, 금속 띠(1)를 1조의 탄성 롤(8)에 의해서 각각 끼워진다. 탄성 롤(8)의 외주면에는 밀봉판(9)이 압박되고, 광택 풀림로(2)의 케이싱(10)과 탄성 롤(8)간의 기밀한 밀봉을 행하고 있다.
제11도는 전술한 선행 기술에 있어서의 탄성 롤(8)의 단면 부분의 밀봉을 위한 구성을 도시한다. 제11(a)도에 도시된 바와 같이, 탄성 롤(8)은 축(11)을 중심으로 하여 금속제의 롤 본체(12)와, 그 외주면에 설치되는 고무 피복(13)에 의해서 구성된다. 탄성 롤(8)의 축선 방향의 양단에서는 고무 와셔(14), 마찰 와셔(15) 및 금속 밀봉 와셔(16)가 케이싱(10)의 측벽과의 사이에 기재된다. 고무 와셔(14)는 탄성 롤(8)의 축선 방향에 압박되어, 탄성 롤(8)의 단면과 케이싱(10)의 측벽 사이를 기밀하게 밀봉한다. 고무 와셔(14)만 단독으로 사용될 경우, 예컨대 제11(b)도에 도시된 바와 같이, 케이싱(10)에 설치되어 있는 축(11)의 안내 홈(17)으로 와셔가 부분적으로 팽창하여 그 홈에 끼이게 된다. 케이싱(10)의 측벽은 정지하고 탄성 롤(8)은 회전하므로, 제11(b)도와 같이 고무 와셔(14)가 부분적으로 부풀어오르면, 탄성 롤(8)의 회전의 부하가 커지거나, 고무 와셔(14)가 쉽게 마모된다. 따라서, 미끄러지기 쉬운 테플론 수지 등으로 형성되는 마찰와셔(15)나, 금속 밀봉 와셔(16)가 설치되어 있다.
제11도에 도시된 선행 기술에서는 탄성 롤(8)과 케이싱(10)의 측벽간에 여러 가지의 와셔를 개재시켜 탄성 롤(8)의 단면부의 기밀 밀봉을 행하고 있다. 그러나, 탄성 롤(8)의 회전 부하의 경감과, 롤 단부에서의 밀봉성의 향상을 동시에 만족시키기는 매우 곤란하다. 고무 와셔(14)만으로는 부하가 너무 크며, 마찰 와셔(15)나 금속 밀봉 와셔(16)를 부가하면, 적정한 압박하에서 비교적 회전 부하는 낮아진다. 한편, 금속 띠(1)는 언뜻 보기에 직진하고 있는 듯이 보여도 실제는 미소한 사행(蛇行)을 반복하고 있으며, 금속 띠(1)를 끼우고 있는 탄성 롤(8)은 그 사행의 반력으로 축방향의 추력을 항시 약간 받고 있다. 따라서, 회전 접동을 하고 있는 부분에서는 압박 반복적으로 증가 또는 감소하게 된다. 이러한 압박이 증가할 경우, 마찰 와셔(15)와 금속 밀봉 와셔(16) 사이의 접동 저항도 커질 수도 있다. 또한, 고정 케이싱과 회전하는 롤 단면간의 회전차는 각 와셔와의 미끄럼 마찰로 전환되기 때문에, 각 와셔는 항상 마찰되고, 마모나 발열에 의한 변형, 마모 가루의 발생에 의한 금속 띠의 오염, 마모 상태에 의해서 회전 저항아 변화하며, 로 내부의 장력 제어로 외부 작용력에 의한 금속 띠의 형상이 악화되며, 와셔의 연속 마찰에 의해서 정전기가 발생하며, 스파크에 의한 발화의 위험이 있으며, 와셔의 소모가 빠르므로 장기적으로 안정한 조업을 할 수 없으며, 마모나 발열 변형 때문에 고속 운전에 적합하지 않으며, 회전 부하의 경감, 마모나 발열·대전을 피하기 위해서 각 와셔가 마찰되지 않도록 하면 밀봉성이 나빠지는 등의 결점이 있다.
본 발명의 목적은, 탄성 롤의 단부에서의 밀봉성을 향상시키고, 탄성 롤의 회전부하를 경감시킬 수 있으며, 고속 호전에 대해서도 내구성이 있는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치를 제공하는 데에 있다.
[발명의 개시]
본 발명은 띠체의 연속적 분위기 처리를 행하기 위해 분위기 설비의 입구 또는 출구에서 적어도 외면을 탄력적으로 한 1조의 롤로 띠체를 끼운 밀봉 장치로서, 상기 1조의 롤을 외부에서 감싸는 케이싱과; 각 롤의 외면에 탄력적으로 맞닿고 각 롤과 케이싱 사이를 밀봉하는 밀봉판과; 각 롤의 양단에 설치되고, 롤의 단면에 맞닿는 제1플랜지부와, 제1플랜지부의 외주부로부터 롤의 축선 방향 외측으로 연장되는 제1슬리브부를 구비하며, 탄력성을 갖는 재로로 이루어지는 외피 부재와; 각 롤의 양단에서, 제1플랜지부의 외면에 접합되는 제2플랜지부와, 제2플랜지부의 외주부로부터 롤의 축선 방향 외측으로 연장되는 제2슬리브부를 구비하며, 강성을 갖는 재로로 이루어지는 제1지지 부재와; 각 롤의 양단에서, 제2플랜지부 보다도 롤의 축선 방향 외측에서, 롤의 축과 제2슬리브부와의 사이에 배치되는 제3슬리브부와, 제3슬리브부의 롤 축선 방향 외측의 단면으로부터 롤의 반경 방향으로 연장되는 제3플랜지부를 구비하여, 강성을 갖는 재료로 이루어지는 제2지지 부재와; 각 롤의 양단에서, 제3슬리브부와 제2슬리브부 사이에 끼워지며, 레이디얼력과 축방향의 추력을 받는 외측 베어링과; 각 롤의 양단에서, 제3슬리브부와 롤의 축 사이에 끼워지는 내측 베어링과; 각 롤의 양단에서, 케이싱의 측벽면과 제2지지 부재의 제3플랜지부 사이에 끼워지며, 적어도 롤의 반경 방향 외측은 탄력성을 갖는 재료로 이루어지는 단면밀봉 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 제2지지 부재의 제3플랜지부에는 그 외주에 롤의 축선 방향 외측을 향하여 직경이 감소하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 제2지지 부재의 제3슬리브와 제1지지 부재의 제2슬리브부 사이에서, 상기 외측으로 제3슬리브부와 제2슬리브부 사이를 밀봉하는 립 밀봉부(lip seal)가 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 외측 베어링은 깊은홈 볼베어링인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 단면 밀봉 부재를 사이에 두고 상기 측벽면과 접합되는 제2지지 부재의 제3플랜지부와, 롤과 동시에 회전하는 외피 부재가 회전 접동 접촉을 하는 곳의 내측 공간에, 롤의 축 내부에 설치한 가스 유로를 경유하여 불활성 가스, 또는 로 내부의 분위기에 유사한 가스(이하, 총칭하여「불황성가스」라고 호칭한다)를 주입하는 수단이 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 분위기 설비 내에, 수소 가스를 함유하는 가연성 분위기 가스가 대기압 보다 약간 높은 압력 상태로 유지 충만되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 띠체는 금속 띠이고, 상기 분위기 설비는 광택 풀림로인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 단면 밀봉 부재를 사이에 두고 상기 측벽면과 접합되는 제2지지 부재의 제3플랜지부와, 롤과 동시에 회전하는 외피 부재가 회전 접동 접촉을 하는 곳의 내측 공간에, 롤의 축내부에 설치한 가스 유로를 경유하여 진공 흡입하는 수단이 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 분위기 설비는 대기압보다 감압하에 조업하는 유기 용제 취급 설비인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 분위기 설비는 진공 증착로인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 외피 부재 및 상기 단면 밀봉 부재는 전기 비저항치가 1내지 107Ω·㎝인 탄성체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 탄성체는 천연 고무, 이소프렌 고무, SBR, NBR, CR, 부틸 고무, 다황화 고무, 실리콘 고무, 불소 고무, 우레탄 고무, 클로로설폰화 폴리에틸렌, 염소화폴리에틸렌, 부타디엔 고무, EPDM, 아크릴 고무, 또는 히드린 고무인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 1조의 탄성 롤의 외주는 밀봉판과 케이싱에 의해서 밀봉 된다. 각 탄성 롤의 양단을 밀봉하기 위해서, 탄력성을 갖는 재료로 이루어지는 외피 부재와, 적어도 롤의 반경 방향 외측에는 탄력성을 갖는 재료로 이루어지는 단면 밀봉 부재가 설치된다. 외피 부재는 탄성 롤과동시에 회전하고, 그 부재의 제1슬리브부의 선단은 단면 밀봉 부재의 탄력성을 갖는 부분 및 제2지지 부재의 제3플랜지부와 동시에 양호한 밀봉을 행한다. 강성을 갖는 재료로 이루어지는 제1지지 부재는 그 부재의 제2플랜지부가 외피 부재의 제1플랜지부의 외면에 접합되며, 탄성 롤과 동시에 회전한다. 제1지지 부재의 제2슬리브부는 외측 베어링에 의해 레이디얼력을 제2지지 부재의 제3슬리브부에 전달한다. 또한, 축방향의 추력은 외측 베어링에 의해, 제3슬리브부의 외주에 설치한 홈에 끼워 넣은 스냅 링을 통하여, 또는 제3슬리브부의 외주에 설치한 단부착부(도시 생략)를 통하여 제3슬리브부에 전달된다. 제2지지 부재에 전달된 축방향의 추력은 제2지지 부재의 제3플랜지부를 통하여 단면 밀봉 부재에 가해진다. 제2지지 부재에 전달된 레이디얼력은 내측 베어링을 통하여 탄성 회전 롤의 축을 따라 가해진다. 이와 같이 밀봉은 탄력성을 갖는 재료가 기여하여, 회전 부하는 베어링에 의해서 경감되므로, 용이하게 밀봉 기능의 향상과 회전 부하의 경감을 도모할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 제3플랜지부는 롤의 축선 방향 외측을 향하여 직경이 감소하는 경사면이 외주에 형성되어 있으므로, 대향하는 제3플랜지부의 경사면과 외피 부재 단면에 형성되는 공간에, 단면 밀봉 부재의 탄력성을 갖는 재료로 이루어진 외주부가 삽입되어 양호한 밀봉을 행할 수 있다. 이로 인해, 분위기 가스의 유출양은 감소시키고, 띠체의 분위기 처리에 요구되는 제조 비용을 절감할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 제3슬리브부와 제2슬리브부와의 사이는 립 밀봉부에 의해서 밀봉되어 있으므로, 제1지지 부재와 제2지지 부재 사이의 기밀성을 보강할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 외측 베어링으로서 깊은 홈 볼베어링을 사용하므로, 일례로서 일본 세이코주식회사(日本精工株式會社)의 강철판 제품의 밀봉을 사용한 시일드형(ZZ형), 고무제인 밀봉을 사용한 비접촉 고무 밀봉형(VV형) 또는 접촉 고무 밀봉형(DDU형) 등을 사용할 수 있으며, 베어링 자체에 그리스를 충전하여 밀봉성을 향상시킬 수 있다. 또한 축방향의 추력과 레이디얼력을 동시에 받을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 단면 밀봉 부재를 사이에 두고 상기 측벽면과 접합되는 제2지지 부재의 제3플랜지부와, 롤과 동시에 회전하는 외피 부재가 회전 접동 접촉을 하는 곳의 내측 공간에 불활성 가스를 봉입할 수 있으므로, 예컨대 분위기 설비내의 압력보다도 불활성 가스의 압력을 높임으로써, 분위기 설비내의 분위기 가스가 외부 공기로 누설하는 것을 확실히 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 분위기 설비에는 수소 가스를 함유하는 가연성 분위기 가스가 충만되어 있지만, 밀봉성의 향상에 의해서 폭발이나 화재의 위험성이 있는 분위기 가스와 외부 공기와의 차단을 확실히 행하는 수 있으며, 안전성이 높은 조업을 행할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 광택 풀림로 내부를 외부 공기로부터 확실히 차단하고, 공기 중의 산소(O2)나 공기중의 수증기(H2O)(이하, 총칭하여「산소」라고 호칭한다)의 침입을 방지할 수 있으므로, 안전성이 높은 조업을 행할 수 있는 동시에, 산화에 의한 착색이 발생하지 않기 때문에 광택 풀림되는 금속 띠의 품질도 안정시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 단면 밀봉 부재를 사이에 두고 상기 측벽면과 접합되는 제2지지 부재의 제3플랜지부와, 롤과 동시에 회전하는 외피 부재가 회전 접동 접촉을 하는 곳의 내측 공간을 진공 흡입하므로, 특히 분위기 설비가 외부 공기보다 낮은 압력으로 운전될 때, 분위기 설비 내부로 외부 공기의 침입을 확실히 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 분위기 설비는 유기 용제 취급 설비이므로, 롤 단면부에서 전술한 제3플랜지부와 외피 부재가 회전 접동 접촉하는 곳의 내측 공간을 진공 흡인함으로써, 양호한 밀봉성을 유지하며, 안전한 조업이 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면, 분위기 설비는 진공 증착로이므로, 롤 단면부에서 전술한 제3플랜지부와 외피 부재가 회전 접동 접촉하는 곳의 내측 공간을 진공 흡인함으로써, 양호한 진공 조건을 유지하며, 고품질의 진공 증착을 행할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 외피 부재와 단면 밀봉 부재와는 1내지 107Ω·㎝의 전기 비저항치를 가지므로, 대전을 방지하고, 정전기에 의한 스파크의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 고무 등의 탄성체를 외피 부재 및 단면 밀봉 부재로서 사용하므로, 롤의 양단 부근의 밀봉을 확실히 행할 수 있다.
[도면의 간단한 설명]
제1도는 본 발명의 제1실시예의 구성을 간략하게 도시하는 평면 단면도이며,
제2도는 제1도의 실시예의 정면 단면도이며,
제3도는 제1도의 실시예에 적합하게 사용되는 깊은 홈 볼베어링의 단면도이며,
제4도는 제1도의 실시예에 적합하게 사용되는 립 밀봉부의 단면도이며,
제5도는 본 발명의 제2실시예를 간략하게 도시한 평면 단면도이며,
제6도는 제5도의 실시예의 정면 단면도이며,
제7도는 제5도의 실시예에 적합하게 사용되는 분위기 설비를 간략하게 도시한 배관 계통도이고,
제8도는 본 발명의 제3실시예를 간략하게 도시한 평면 단면도이며,
제9도는 본 발명의 제4실시예를 간략하게 도시한 평면 단면도이고,
제10도는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 구조를 간략하게 도시한 측단면도이다.
[발명의 양호한 실시예]
본 발명의 실시예에 관하여, 제1도 내지 제9도를 참조하여 이하에서 설명한다. 제1도 및 제2도는 본 발명의 제1실시예의 구성을 도시하고, 제3도는 본 실시예에 적합하게 사용되는 볼베어링의 구성을 도시하며, 제4도는 본 실시예에 적합하게 사용되는 립 밀봉부의 구성을 도시하고, 제5도 및 제6도는 제2실시예의 구성을 도시하며, 제7도는 제2실시예에 이용되는 분위기 조정을 위한 간략화된 배관 계통을 도시하고, 제8도는 제3실시예의 구성을 도시하며, 제9도는 제4실시예의 구성을 도시한다.
제1도는 제1실시예의 밀봉 장치(20)의 평면 단면도, 제2도는 그 정면도를 각각 도시한다. 밀봉 장치(20)는 금속 띠(21)를 광택 풀림로(22)에 받아들이는 입구 밀봉부와, 광택 풀림로(22)로부터 금속 띠(21)를 꺼내는 출구 밀봉부에 동일하게 사용할 수 있다.
밀봉 장치(20)는 금속 띠(21)를 그 판 두께 방향의 양측으로부터 끼운 1조의 탄성 롤(23), 탄성 롤(23)의 외주면에 맞닿는 밀봉판(24), 탄성 롤(23) 및 밀봉판(24)을 외부에서 감싸는 케이싱(25) 및 측벽(26)을 포함한다. 측벽(26)과 밀봉판(24) 사이는 기밀하게 밀봉되어 있다. 탄성 롤(23)은 측벽(26)에 형성되어 있는 안내 홈(27)을 따라 변위 가능하다. 밀봉판(24)은 표층이 부직포 등 탄력성을 갖는 재료로 이루어진다. 광택 플림로(22) 내부는 순소소 가스, 수소 가스와 질소 가스가 예컨대 75%와 25%의 비율로 혼합되는 혼합 가스 또는 암모니아 분해 가스, 수소를 함유하는 가연성의 분위기 가스(28)로 충만된다. 그 압력은 대기압 보다 약간, 예컨대 약50㎜Aq 높은 정(+)압력 상태로 유지되어 있다.
탄성 롤(23)은 대게 롤 몸체부(30)와 축(31)으로 이루어진다. 롤 몸체부(30)에는 금속 등의 강성을 갖는 재료로 이루어지는 롤 본체(32)와, 롤 본체(32)의 외주면에 배치되는 탄성 피복(33)으로 구성된다.
롤 몸체부(30)의 축선 방향 외측에서는 외피 부재(34), 제1지지 부재(35), 제2지지 부재(36), 외측 베어링(37), 스냅 링(37a), 내측 베어링(38), 단면 밀봉부재(39) 및 립 밀봉부(40) 등이 측벽(26)과의 사이에 끼워지게 된다. 외피 부재(34) 및 단면 밀봉 부재(39)는 탄성 피복(33)과 같이, 경도가 JIS K 6301 A에서 40∼90°의 실리콘 고무, 불소 고무, 우레탄 고무, EPDM, SBR, NBR, CR 등의 탄성 재료에, 카본 블랙 등을 혼합하여 기계적 특성의 향상과, 만일의 대전 방지를 위해 전기 비저항치 1 내지 107Ω·㎝의 도전성의 부여를 도모하고 있다. 전기비저항이 107Ω·㎝ 보다도 크면, 탄성 재료는 실질적으로 절연체로 변하지 않아서 부적합하며, 1Ω·㎝ 보다도 작으면, 장치의 점검을 위해 접근하는 인체 등의 대전체로부터 스파크를 일으키게 할 우려가 있다. 탄성 재료로서는 또, 천연고무, 이소프렌 고무, 부틸 고무, 다황화 고무, 아크릴 고무, 히드린 고무, 클로로설폰화 폴리에틸렌, 염소화 폴리에틸렌 등을 이용할 수도 있다. 제1지지 부재(35)와 제2지지 부재(36)는 금속 등의 강성을 갖는 재료로 이루어진다.
외피 부재(34)의 제1내향 플랜지부(41)와, 제1지지 부재(35)의 제2내향 플랜지부(42)는 탄성 롤(23)의 단면에 맞닿고 있다. 외피 부재(34)의 제1내향플랜지부(41)의 외주측에서는 제1슬리브부(43)가 탄성 롤(23)의 축선 방향 외측으로 연장하도록 형성되어 있다. 제1지지 부재(35)의 제2슬리브부(44)는 제2내향 플랜지부(42)의 외주로부터 탄성 롤(23)의 축선 방향 외측으로 연장하도록 형성되며, 그 외주면은 제1슬리브부(43)의 내주면에 맞닿고 있으며, 그 길이는 제2지지 부재(36)의 제3외향 플랜지부(46)와 금속간의 접촉을 방지하기 위해서 약간 짧다. 제2슬리브부(44)와 축(31) 사이에는 제2지지부재(36)의 제3슬리브부(450가 끼워지게 된다. 탄성 롤(23)의 축선 방향 내측에서 제3슬리브부(45)가 끼워지게 된다. 탄성 롤(23)의 축선 방향 내측에서 제3슬리브부(45)의 단면은 제2내향 플랜지부(42)의 외면과 간격을 두고 떨어져 있다. 제3슬리브부(45)의 탄성 롤(23)의 축선 방향 외측에 단부에는 그 단부로부터 반경 방향 외측으로 연장하는 제3외향 플랜지부(46)가 마련되어 있다. 제3외향 플랜지부(46)의 외주부에는 축선 방향 외측을 향하여 직경이 감소하는 경사면(47)이 형성되어 있다. 외향 플랜지부(46)는 이것의 축선 방향 외측이 단면 밀봉 부재(39)를 사이에 두고 측벽(26)에 강제로 고정되어 있다. 제3외향 플랜지부(46)의 축선 방향 내측의 외주부에는 외피 부재(34)의 제1슬리브부(43)의 단면이 회전 접동 접촉하면서, 이 접촉 부분에서 내측의 공간을 밀봉하고 있다. 제1, 제2, 제3 플랜지부를 기술하기 위해 사용되는「내향」및「외향」이라는 표현은 각각 축선 방향에 대하여 내측 또는 외측을 가리키지만, 플랜지부의 방향은 「내측」및「외측」이라는 표현을 또한 사용할 수 있다.
금속 띠(21)는 언뜻 보기에 직진하고 있는 것처럼 보이지만, 실제는 미소한 사행을 반복하고 있고, 금속 띠(21)를 끼우고 있는 탄성 롤(23)은 그 사행의 반력으로 축방향의 추력을 항시 약간 받게 된다. 이 추력은 제1지지 부재(35)의 제2내향 플랜지부(42)와, 외측 베어링(37)에 의해 제3슬리브부(45)의 스냅 링(37a) 또는 단부착부(도시 생략)를 통하여, 제2지지 부재(36)의 제3슬리브부(45)에 전해진다. 즉, 제1지지 부재(35)와 제2지지 부재(36)의 위치 관계는 외측 베어링(37)에 의해서 결정되고 있으며, 추력이 어떻게 변화하더라도 외피 부재(34)의 제1슬리브부(43)의 단면과 제3외향 플랜지부(46)의 축선 방향 내측의 외주부와의 회전 접동 접촉하는 부분은 어떤 일정한 힘(예컨대, 외피 부재(34)의 단부 탄성 반발력)밖에 작용하지 않으며, 금속 띠(21)의 사행이나 탄성 롤(23)의 열팽창으로 발생하는 추력에 대해 영향을 받지 않는다. 따라서, 이 회전 접동 접촉하는 부분은 항상 안정된 밀봉을 행할 수 있다.
고무 피복(33)의 외경과 외피 부재(34)의 외경은 기본적으로 동일하다. 이 외경에 비해, 제3외향 플랜지부(46)의 최대 직경은 △D만큼 작게 해 둔다. △D의 값은 탄성 롤(23) 사이에 끼워지는 금속 띠(21)의 판 두께의 최대치를 t로 할 때, △D≤t 정도로 해 둔다.
이것은 대향하는 탄성 롤(23) 사이에 금속 띠(21)를 끼웠을 때, 대향하는 제3외향 플랜지부(46) 끼리가 맞닿아, 탄성 롤(23)의 압력 상태를 방해하여, 금속 띠(21)의 양단부에서 대향하는 탄성 롤(23)사이에 빈틈이 형성되어, 분위기 가스의 밀봉이 불량하게 되는 것을 방지하기 위함이다. 이 수치는 작을수록 좋지만, 금속 띠(21)를 끼울 때 축(31)의 편향에 대한 허용 공차, 또는 탄성 롤(23)의 탄성 피복(33), 외피 부재(43) 및 단면 밀봉 부재(39)의 외주를 밀봉시키도록 압력에 의한 변형에 대한 허용 공차를 감안할 필요가 있다.
제3도는 제1도에 도시하는 외측 베어링(37)으로 적합하게 사용되는 깊은 홈볼베어링의 구성을 간략하게 도시한다. 이러한 단열의(single) 깊은 홈 볼베어링은 구름 베어링 중에서도 가장 대표적인 종류이며, 강철 볼(51)은 내륜(52)과 외륜(53)에 각각 형성되어 있는 내륜 궤도(54)와 외륜 궤도(55) 사이에 끼워져서 유지된다. 볼(51)의 축선 방향의 양측에는 시일드(shield)(56)를 설치하고, 또 시일드(56)사이에 그리스(57)를 봉입한 것은 시일드형으로 불리고, 마찰 토크가 작으며, 고속성, 그리그 밀봉성 및 방진성이 양호하다. 또한, 깊은 홈 볼베어링은 내륜(52)과 외륜(53) 사이에서 레이디얼력과 축방향의 추력을 동시에 받을 수 있다. 일례로서 일본 세이코주식회사의 강철판제의 밀봉을 사용한 시일드형(ZZ형), 고무제의 밀봉을 사용한 비접촉 고무 밀봉형(VV형) 또는 접촉 고무 밀봉형(DDU형) 등을 사용할 수 있다.
제4도는 제1도에 도시된 립 밀봉부(40)의 구성을 도시한다. 립 밀봉부(40)는 NBR 등 휘기 쉬운 탄력성을 갖는 재료로 이루어지며, 기계적인 진동이나 유체의 압력 변동에 대하여 안정된 밀봉 작용을 유지한다. 립 밀봉부(40)는 대략적으로 밀봉 립부(61)와 끼워맞춤부(62)를 구비한다. 밀봉 랍부(61)의 단면은 쐐기형으로, 선단부에서 대응 부분과 접동 변위를 행하면서 기밀하게 밀봉된다. 밀봉 립부(61)의 선단을 대응 부분으로 누르기 위해서, 스프링(63)이 설치되어 있다. 끼워맞춤부(62)에는 금속 환(64)이 삽입되어 있으며, 끼워맞춤력을 확보하고 있다. 또, 본 실시예에서는 밀봉 립부(61)를 외측으로, 그리고 끼워맞춤부(62)를 내측으로 하고 있지만, 반대로 해도 좋다.
제5도는 본 발명의 제2실시예의 평면도, 제6도는 그 정면도를 각각 도시한다. 제2실시예에 있어서, 제1실시예와 대응하는 부분에는 동일의 참조 부호를 붙인다. 제2실시예의 밀봉 장치(70)에 있어서는 롤의 축(71)의 가스 유로인 통기구멍(72)이 형성되며, 또, 제3슬리브부에도 내측으로부터 외측으로 1개 내지 수개의 통기를 위한 구멍과, 제3슬리브부 외주에 있어서는 그 구멍으로부터 제3외향 플랜지부 내면에 걸쳐서 홈을 파고, 통기 구멍(72)으로부터의 가스를 흐르게 하는 통기로(72a)를 형성하고, 통기 구멍(72)을 통하여 탄성 롤(73)의 양단부에서 제2지지 부재(26)와 외피 부재(34)와의 회전 접동 접촉 위치 보다도 내측에 형성되는 공간의 분위기를 외부로부터의 가압 또는 감압에 의해 조정할 수 있다. 또한, 단면 밀봉 부재로서는 강성 와셔(74a)와, 탄성 링(74b)을 조합한 것을 사용한다. 강성 와셔(74a)는 테플론 수지로 이루어지며, 그 외주면에 고무 재료로 이루어진 탄성 링(74b)이 접착되어 있다. 강성 와셔(74a) 및 탄성 링(74b)은 만일의 대전에 의한 스파크 방지를 위해, 전기 비저항치를 1내지 107Ω·㎝로 하는 것이 바람직하다. 강성 와셔(74a)에는 예컨대 나치아스주식회사 제품의 상품명 엑세라이트가 적합하게 이용된다. 케이싱(75)의 측벽(76)에 설치되는 안내 홈(77)은 직선적으로 형성되어 있다. 축(71)이 안내 홈(77)을 따라 이동할 때, 강성 와셔(74a)가 테플론 수지로 형성되어 있으면 마찰 저항이 작아지므로, 밀봉 장치(70)의 유지 관리가 용이해진다. 제2지지 부재(36)의 제3외향 플랜지부(46)의 외주부에는 경사면은 설치되어 있지 않지만, 금속 띠(21)를 끼웠을 때, 이 외주부 사이에 형서되는 공간에는 축선 방향 외측으로부터 탄성 링(74b), 또는 축선 방향 내측으로부터 외피 부재(34)가 탄성 변형하여 침입하므로, 밀봉성은 향상되고, 또한 통기 구멍(72)을 통하여 분위기가 조정된다. 강성 와셔(74a)는 금속판을 테플론 수지 등으로 코팅하여 형성해도 좋다.
제7도는 제6도의 밀봉 장치(70)에 있어서 분위기 조정을 위한 구성을 도시한다. 제7(a)도는 분위기 가스 공급 장치(80)로부터 질소(N2)나 아르곤(Ar) 등의 불황성 가스, 또는 로 내부의 분위기에 유사한 가스를 공급하고, 광택 풀림로(22)등, 폭발이나 화재의 위험성이 있는 분위기 가스 중에 외부 공기로부터 산소등이 침입하는 것을 방지하고 있다. 제7(b)도에서는 띠체의 합성 수지 필름(81)을 분위기 처리 설비인 가로형의 진공 증착로(82)에 출입시키는 부분의 밀봉성을 향상시키기 위해, 진공 흡입 장치(83)에 의한 흡인을 행하고 있다. 이것에 의해서, 진공 증착로(82)내의 진공도는 양호하게 유지되며, 고품질의 진공 증착을 안정적으로 행할 수 있다.
제8도는 본 발명의 제3실시예의 구성을 도시한다. 제1실시예와 대응하는 부분에는 동일한 참조 부호를 붙인다. 롤 몸체부(30)의 축선 방향 외측에서는 외피 부재(34), 제1지지 부재(35), 제2지지 부재(36), 외측 베어링(37), 스냅 링(37a), 내측 베어링(38), 단면 밀봉 부재(39) 및 밀봉 디스크(40a) 등이 측벽(26)과의 사이에 개재된다. 외피 부재(34) 및 단면 밀봉 부재(39)는 탄성 피복(33)과 같이, 경도가 JIS K 6301 A에서 40∼90°의 실리콘 고무, 불소 고무, 우레탄 고무, EPDM, SBR, NBR, CR 등의 탄성 재료에, 카본 블랙 등을 혼합하여 기계적 특성의 향상과, 만일의 대전 방지를 위해 전기 비저항치 1 내지 107Ω·㎝의 도전성의 부유를 도모하고 있다. 전기 비저항이 107Ω·㎝보다도 크면, 탄성재료는 실질적으로 절연체로 변하지 않아서 부적합하며, 1Ω·㎝보다도 작으면, 장치의 단점을 위해 접근하는 인체 등의 대전체로부터 스파크를 일으킬 우려가 있다. 탄성 재료로서는 또, 천연 고무, 이소프렌 고무, 부틸 고무, 다황화 고무, 아크릴 고무, 히드린 고무, 클로로설폰화 폴리에틸렌, 염소화 폴리에틸렌 등을 이용할 수도 있다. 제1지지 부재(35)와 제2지지 부재(36)는 금속 등의 감성을 갖는 재료로 이루어진다.
외피 부재(34)의 제1내향 플랜지부(41)와, 제1지지 부재(35)의 제2내향 플랜지부(42)는 이 순서대로 탄성 롤(23)의 단면과 맞닿고 있다. 외피 부재(34)의 제1내향 플랜지부(41)의 외주측에서는 제1슬리브부(43)가 탄성 롤(23)의 축선 방향 외측으로 연장하도록 형성되어 있다. 제1지지 부재(35)의 제2슬리브부(44)는 제2내향 플랜지부(42)의 외주로부터 탄성 롤(23)의 축선 방향 외측으로 연장하도록 형성되며, 그 외주면은 제1슬리브부(43)의 내주면에 맞닿고 있으며, 그 길이는 제2지지 부재(36)의 제3외향 플랜지부(46)와 금속간의 접촉을 방지하기 위해 약간 짧으며, 그 민틈에 1㎜, 2㎜ 정도의 두께의 테플론(PTFE) 또는 테플론을 주성분으로 한 밀봉 디스크(40a)를 장착한다. 밀봉 디스크(40a)는 1장이라도 좋고 2장(도시 생략)이라도 좋다. 2장인 경우는 밀봉 디스크(40a)끼리의 슬립에 의해 정전기가 대전할 우려가 있으므로, 외피 부재(34)와 같은 이유로 전기비저항치를 1 내지 107Ω·㎝로 하는 것이 바람직하다. 제2슬리브부(44)와 축(31) 사이에는 제2지지 부재(360의 제3슬리브부(45)가 끼워지게 된다. 탄성 롤(23)의 축선 방향 내측에서 제3슬리브부(45)의 단면은 제2내향 플랜지부(42)의 외면과의 사이에 간격을 두고 있다. 제3슬리브부(45)의 탄성 롤(23)의 축선 방향 외측의 단부로부터는 제3외향 플랜지부(46)가 반경 방향외측으로 연장된다.
제3외향 플랜지부(46)의 외주부는 축선 방향 외측을 향하여 직경이 감소하면 경사면(47)이 형성되어 있다. 제3외향 플랜지부(46)는 이것의 축선 방향 외측이 단면 밀봉 부재(39)를 사이에 두고 케이싱 측벽(26)이 강제로 고정되어 있다. 제3외향 플랜지부(46)의 축선 방향 내측의 외주부에는 외피 부재(34)의 제1슬리브부(43)의 단면이 롤의 추력이 아니라 외피 부재(34)의 단부 탄성 반발력만으로 밀봉 디스크(40a)를 압박하여, 제3외향 플랜지부(46)와의 사이에서 회전 접동 접촉하면서, 이 접촉하는 곳의 내측 공간을 밀봉하고 있다. 또, 롤 축(31)에 가스 유로인 통기 구멍(72)이 형성되고, 제3슬리브부(45)에도 내측으로부터 외측으로 1개 내지 수 개의 통기 구멍(72)이 형성되며, 밀봉된 공간의 분위기를 외부로부터의 가압 또는 감압에 의해서 조정하는 것도 가능하며, 더욱 확실한 외부 공기와의 차단이 실현된다. 탄성 피복(33)의 외경과 플랜지부(46)와 밀봉 디스크(40a)의 최대 직경은 △D만큼 작게 해 둔다. △D의 값은 탄성 롤(23) 사이에 끼워지는 금속 띠(21)의 판두께의 최대치를 t로 할 때, △D≤t 정도로 해 둔다. 이것은 대항하는 탄성 롤(23)의 사이에 금속 띠(21)를 끼웠을 때, 대향하는 제3외향 플랜지부(46)끼리나, 밀봉 디스크(40a) 끼리가 맞닿아 탄성롤(23)의 압력 상태를 방해하여, 금속 띠(21)의 양단부에서 대향하는 탄성 롤(23) 사이에 빈틈이 형성되어 분위기 가스의 밀봉이 불량하게 되는 것을 방지하기 위함이다.
제9도는 본 발명의 제4실시예의 구성을 도시한다. 제1실시예와 제2실시예에 대응하는 부분에는 동일한 참조 부호를 붙인다. 제4실시예의 기본 구성은 제3실시예의 롤측과 반롤측을 교체한 것이다. 내측 베어링(38)은 있어도 좋지만(도시 생략), 제9도와 같이 제3슬리브부(45)를 직접 축(31)에 장착해도 좋다. 제1, 2, 3 실시예의 내측 베어링(38)에 상당하는 위치에서 제3슬리브부(45)를 가공하여 끼워맞춤부(38a)를 형성시킨다. 이렇게 함으로써, 내측 베어링(38)을 생략할 수 있고, 부품수가 적어서 경제적일 뿐만 아니라, 조립이 간단해지는 효과도 있다. 각 부품의 역할은 제3실시예와 동일하므로 설명은 생략한다.
이상의 각 실시예에서는 분위기 설비로서 세로형의 광택 풀림로(22)나 가로형의 진공 증착로(82) 등을 도시하고 있지만, 세로형과 가로형 어느 것이라도 좋다. 또한, 분위기 설비는 광택 플림로나 진공 증착로 뿐만 아니라, 대기압보다도 감압하에서 조업하는 도장 장치나 세척 장치 등의 유기 용제 취급 설비 등이라도 좋다. 특히, 광택 풀림로에서는 안정된 회전 저항을 얻을 수 있기 때문에, 적열(赤熱)된 로 내부에서 금속 띠로의 부가 장력 제어에 외란이 없고, 금속 띠의 열처리 후의 형상이 양호하며, 품질이 향상된다. 또한, 접동에 의한 밀봉 부분이 매우 적어져서 부품의 마모나 마모 가루의 부착을 막을 수 있다.
[산업상의 이용 가능성]
이상과 같이 본 발명에 의하면, 탄성 롤의 단면과 케이싱의 측벽 사이에서, 탄력성을 갖는 재료에 의한 밀봉과, 베어링에 의한 회전 하중의 지지를 행함으로써, 밀봉성의 향상과 회전 부하의 경감을 동시에 만족시킬 수 있다. 또한, 안정된 회전 저항을 얻을 수 있으므로, 띠체의 장력 제어를 외란 없이 안정되게 행하고, 분위기 처리되는 띠체의 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 제2지지 부재의 제3플랜지부 사이에 끼워져서 형성되는 공간에, 단면 밀봉 부재나 외피 부재의 탄력성을 갖는 재료로 이루어지는 부분이 삽입되어, 확실한 밀봉을 행할 수 있기 때문에, 분위기 가스의 유출이 적으며, 띠체의 분위기 처리에 요하는 제조 비용이 염가가 된다.
또한, 본 발명에 의하면, 립 밀봉부에 의하여 탄성 롤의 단면부의 밀봉성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 깊은 홈 볼베어링을 이용하여 탄성 롤의 회전 부하를 경감시키면서, 베어링 자체도 밀봉에 기여하도록 만들어 더욱 밀봉성을 높일 수 있다. 이것에 의하면, 선행 기술에 비하여, ① 접동에 의한 밀봉 부분이 매우 적어 지고, 띠체가 더러워지는 원인이 되는 밀봉재의 마모 가루가 발생하지 않으며, 품질이 향상된다. ② 선행 기술에 비하여, 접동에 의한 부품의 마모가 거의 없고, 장기의 연속 조업이 가능하며 생산성이 향상된다.
또한, 본 발명에 의하면, 고정하는 제2지지 부재의 제3플랜지부와 회전하는 외피 부재의 제1슬리브부가 접촉하는 곳의 내측 공간에 불활성 가스 또는 로내부의 분위기에 유사한 가스를 봉입 조절하여, 분위기 설비내의 분위기 가스가 외부 공기로 누출되거나 외부 공기가 분위기 설비 내부로 침입하는 것을 확실히 방지할 수 있다. 또한, 회전 접동 접촉하는 곳을 불활성 가스가 통과하기 위해서, 일종의 유체 밀봉을 형성하여 마찰 계수가 작아지는 동시에, 냉각이 행해지므로, 고속 회전시의 발열이 없이 안정되고, 고속화에 의해서 생산성이 향상된다.
또한, 본 발명에 의하면, 수소 등을 함유하여 폭발이나 화재의 위험성이 큰 분위기를 외부 공기와 확실히 차단할 수 있으며, 안전성이 향상된다.
또한, 본 발명에 의하면, 금속 띠의 광택 플림을 안전하고 또한 안정적으로 행할 수 있는 동시에, 탄성 롤의 회전 저항을 안정되게 얻을 수 있으므로, 적열된 로 내부에서 금속 띠로 부여하는 장력이 안정되도록 제어할 때 외부 작용력이 없어지며, 금속 띠의 열처리 후의 형상도 양호하고 품질도 향상된다. 또, 종래 선행 기술과 같이, 마찰 와셔나 고무 와셔가 추력과 롤 회전력에 의해서 연속적으로 마찰되고, 비틀림 변형이나, 대전이 발생하는 일이 없으며, 정전기의 스파크에 의한 발화의 위험에 대해서도 안전성을 향상시킨다.
또한, 본 발명에 의하면, 고정되어 있는 제2지지부재의 제3플랜지부와, 회전하는 외피 부재의 제1슬리브부가 접촉하는 곳의 내측 공간을 진공 흡인하므로, 분위기 설비의 압력이 대기압 보다 작을 때, 외부 공기가 분위기 설비 내부로 침입하는 것을 확실히 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 감압하에 조업하는 유기 용제 취급 설비 내부로의 외부 공기의 침입을 방지하여, 안전한 조업을 연속적이고 또한 안정적으로 행할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 높은 진공도를 유지하여 띠체를 연속적으로 통과시킬 수 있으므로, 진공 증착을 효율적이고 또한 안정적으로 행할 수 있고, 띠체에 대한 고품질의 진공 증착막을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 롤 양단의 밀봉 부분에서의 접동 마찰에 따르는 대전을 억제하고, 가연성 가스를 안전하게 밀봉할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 탄성 롤의 단부의 밀봉을 도전성을 부여한 고무계 탄성체를 이용하여, 안전하고 또한 확실하게 행할 수 있다.

Claims (12)

  1. 띠체의 연속적 분위기 처리를 행하기 위해 분위기 설비의 입구 또는 출구에서 적어도 외면을 탄력적으로 한1조의 롤로 띠체를 끼운 밀봉 장치로서, 상기 1조의 롤을 외부에서 감싸는 케이싱과; 각 롤의 외주면에 탄력적으로 맞닿고, 각 롤과 케이싱 사이를 밀봉하는 밀봉판과; 각 롤의 양단에 설치되고, 롤의 단면에 맞닿는 제1플랜지부와, 제1플랜지부의 외주부로부터 롤의 축선 방향 외측으로 연장되는 제1슬리브부를 구비하며, 탄력성을 갖는 재료로 이루어지는 외피 부재와; 각 롤의 양단에서, 제1플랜지부의 외면에 접합되는 제2플랜지부와, 제2플랜지부의 외주부로부터 롤의 축선 방향 외측으로 연장되는 제2슬리브부를 구비하며, 강성을 갖는 재료로 이루어지는 제1지지 부재와; 각 롤의 양단에서, 제2플랜지부보다도 롤의 축선 방향 외측에서, 롤의 축과 제2슬리브부와의 사이에 배치되는 제3슬리브부와, 제3슬리브부의 롤 축선 방향 외측에 단면으로부터 롤의 반경 방향으로 연장되는 제3플랜지부를 구비하며, 강성을 갖는 재료로 이루어지는 제2지지 부재와; 각 롤의 양단에서, 제3슬리브부와 제2슬리브부 사이에 끼워지며, 레이디얼력과 축방향의 추력을 받는 외측 베어링과; 그리고 각 롤의 양단에서, 제3슬리브부와 롤의 축 사이에 끼워지는 내측 베어링과, 각 롤의 양단에서, 케이싱의 측벽면과 제2지지 부재의 제3플랜지부 사이에 끼워지며, 적어도 롤의 반경 방향 외측은 탄력성을 갖는 재료로 이루어지는 단면 밀봉 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2지지 부재의 제3플랜지부에는, 그 외주에 롤의 축선 방향 외측을 향하여 직경이 감소하는 경사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2지지 부재의 제3슬리브부와 상기 제1지지 부재의 제2슬리브부 사이에는, 상기 외측 베어링 보다도 롤의 축선 방향 외측으로 제3슬리브부와 제2슬리브부 사이를 밀봉하는 립 밀봉부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 외측 베어링은 깊은 홈 볼베어링인 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 단면 밀봉 부재를 사이에 두고 상기 측벽면과 접합되는 제2지지 부재의 제3플랜지부와, 롤과 동시에 회전하는 외피 부재가 회전 접동 접촉을 하는 곳의 내측 공간에, 롤의 축내부에 설치한 가스 유로를 경유하여 불활성 가스, 또는 로 내부의 분위기 가스와 유사한 가스를 주입하는 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 분위기 설비 내부에, 수소 가스를 함유하는 가연성 분위기 가스가 대기압 보다도 약간 높은 압력 상태로 유지되어 충만되는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 띠체는 금소 띠이고, 상기 분위기 설비는 광택 풀림로인 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단면 밀봉 부재를 사이에 두고 상기 측벽면과 접합되는 제2지지 부재의 제3플랜지부와, 롤과 동시에 회전하는 외피 부재가 회전 접동 접촉을 하는 곳의 내측 공간에는, 롤의 축내부에 설치한 가스 유로를 경유하여 진공 흡입하는 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 분위기 설비는 대기압 보다 감압하에서 조업하는 유기용제 취급 설비인 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 분위기 설비는 진공 증착로인 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 외피 부재 및 상기 단면 밀봉 부재는 전기 비저항치가 1 내지 107Ω·㎝인 탄성체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 탄성체는 천연 고무, 이소프렌 고무, SBR, NBR, CR, 부틸 고무, 다황화 고무, 실리콘 고무, 불소 고무, 우레탄 고무, 클로로설폰화 폴리에틸렌, 염소화 폴리에틸렌, 부타디엔 고무, EPDM, 아크릴 고무, 또는 히드린 고무인 것을 특징으로 하는 분위기 설비의 입구 또는 출구의 밀봉 장치.
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