JP2726242B2 - 雰囲気設備の入口または出口のシール装置 - Google Patents
雰囲気設備の入口または出口のシール装置Info
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- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
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- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
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- F27M2001/15—Composition, conformation or state of the charge characterised by the form of the articles
- F27M2001/1539—Metallic articles
- F27M2001/1578—Articles of indefinite length
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S277/906—Seal for article of indefinite length, e.g. strip, sheet
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属帯を雰囲気熱処理
したり、金属あるいは合成樹脂に真空蒸着したりするた
めに用いられる雰囲気設備の入口または出口のシール装
置に関する。
したり、金属あるいは合成樹脂に真空蒸着したりするた
めに用いられる雰囲気設備の入口または出口のシール装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図１０に示すようにして、金
属帯などの帯体が連続的に雰囲気設備で処理されてい
る。たとえば、金属帯１は、竪型の光輝焼鈍炉２で非酸
化雰囲気中での焼鈍のための熱処理を受ける。金属帯１
や光輝焼鈍炉２は、接地ライン３によって電気的に大地
に接地されている。金属帯１は、適宜配置されているロ
ール４によって向きを替え、入口シール部５から光輝焼
鈍炉２内に入り、出口シール部６から出てくる。
属帯などの帯体が連続的に雰囲気設備で処理されてい
る。たとえば、金属帯１は、竪型の光輝焼鈍炉２で非酸
化雰囲気中での焼鈍のための熱処理を受ける。金属帯１
や光輝焼鈍炉２は、接地ライン３によって電気的に大地
に接地されている。金属帯１は、適宜配置されているロ
ール４によって向きを替え、入口シール部５から光輝焼
鈍炉２内に入り、出口シール部６から出てくる。
【０００３】光輝焼鈍炉２は、ステンレス鋼帯、その他
の合金鋼帯、高合金帯、銅合金帯、銅帯など金属帯１の
連続焼鈍を、酸化を防止しながら行う。このため、炉内
雰囲気ガス７には、爆発もしくは火災の危険性を有する
可燃性ガス、たとえばアンモニア分解ガスや水素と窒素
との混合ガスなど、水素ガスを含むガスが使用される。
このため、入口シール部５や出口シール部６における封
止が、品質上および安全上から特に重要である。また前
述の接地ライン３も、安全対策の一環として設けられて
いる。
の合金鋼帯、高合金帯、銅合金帯、銅帯など金属帯１の
連続焼鈍を、酸化を防止しながら行う。このため、炉内
雰囲気ガス７には、爆発もしくは火災の危険性を有する
可燃性ガス、たとえばアンモニア分解ガスや水素と窒素
との混合ガスなど、水素ガスを含むガスが使用される。
このため、入口シール部５や出口シール部６における封
止が、品質上および安全上から特に重要である。また前
述の接地ライン３も、安全対策の一環として設けられて
いる。
【０００４】入口または出口のシール装置に関して、典
型的な先行技術は、たとえば特公昭４２−１８８９３号
公報に開示されている。この先行技術では、入口シール
部５および出口シール部６で、金属帯１を一対の弾性ロ
ール８によってそれぞれ挟持する。弾性ロール８の外周
面にはシール板９が押圧され、光輝焼鈍炉２のケーシン
グ１０と弾性ロール８との間の気密封止を行っている。
型的な先行技術は、たとえば特公昭４２−１８８９３号
公報に開示されている。この先行技術では、入口シール
部５および出口シール部６で、金属帯１を一対の弾性ロ
ール８によってそれぞれ挟持する。弾性ロール８の外周
面にはシール板９が押圧され、光輝焼鈍炉２のケーシン
グ１０と弾性ロール８との間の気密封止を行っている。
【０００５】図１１は、前述の先行技術における弾性ロ
ール８の端面部分の封止のための構成を示す。図１１
（Ａ）に示すように、弾性ロール８は、軸１１を中心と
して、金属製のロール本体１２と、その外周面に設けら
れるゴム被覆１３とによって構成される。弾性ロール８
の軸線方向の両端では、ゴムワッシャ１４、摩擦ワッシ
ャ１５および金属密封ワッシャ１６がケーシング１０の
側壁との間に介在される。ゴムワッシャ１４は、弾性ロ
ール８の軸線方向に押圧されて、弾性ロール８の端面と
ケーシング１０の側壁との間を気密封止する。ゴムワッ
シャ１４単独では、たとえば図１１（Ｂ）に示すよう
に、ケーシング１０に設けられている軸１１の案内溝１
７に部分的に膨張して嵌まり込む。ケーシング１０の側
壁は静止し、弾性ロール８は回転するので、図１１
（Ｂ）のようにゴムワッシャ１４が部分的に膨らむと、
弾性ロール８の回転の負荷が大きくなったり、ゴムワッ
シャ１４が摩耗したりしやすくなる。このために、滑り
やすいテフロン樹脂などで形成される摩擦ワッシャ１５
や、金属密封ワッシャ１６が設けられている。
ール８の端面部分の封止のための構成を示す。図１１
（Ａ）に示すように、弾性ロール８は、軸１１を中心と
して、金属製のロール本体１２と、その外周面に設けら
れるゴム被覆１３とによって構成される。弾性ロール８
の軸線方向の両端では、ゴムワッシャ１４、摩擦ワッシ
ャ１５および金属密封ワッシャ１６がケーシング１０の
側壁との間に介在される。ゴムワッシャ１４は、弾性ロ
ール８の軸線方向に押圧されて、弾性ロール８の端面と
ケーシング１０の側壁との間を気密封止する。ゴムワッ
シャ１４単独では、たとえば図１１（Ｂ）に示すよう
に、ケーシング１０に設けられている軸１１の案内溝１
７に部分的に膨張して嵌まり込む。ケーシング１０の側
壁は静止し、弾性ロール８は回転するので、図１１
（Ｂ）のようにゴムワッシャ１４が部分的に膨らむと、
弾性ロール８の回転の負荷が大きくなったり、ゴムワッ
シャ１４が摩耗したりしやすくなる。このために、滑り
やすいテフロン樹脂などで形成される摩擦ワッシャ１５
や、金属密封ワッシャ１６が設けられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１１に示す先行技術
では、弾性ロール８の端面部の気密封止を、弾性ロール
８とケーシング１０の側壁間に種々のワッシャを介在さ
せて行っている。しかしながら、弾性ロール８の回転負
荷の軽減と、端部でのシール性の向上とを両立させるこ
とは非常に困難である。ゴムワッシャ１４のみでは負荷
が大きく、摩擦ワッシャ１５や金属密封ワッシャ１６を
付加すると、適正な押付け力である限りは比較的回転負
荷は軽くなる。一方、金属帯１は一見直進しているよう
に見えても、実際はわずかな蛇行を繰り返しており、金
属帯１を挟持している弾性ロール８はその蛇行の反力で
軸方向のスラスト力をいつもわずか受けている。したが
って、回転摺動をしている箇所は押付け力が大きくなっ
たり、小さくなったり変動する。大きくなった場合は、
摩擦ワッシャ１５と金属密封ワッシャ１６との摺動抵抗
も大きくなることがある。また、固定のケーシングと回
転するロール端面の回転差を、各ワッシャとの滑り摩擦
で逃げているため、各ワッシャは常時摩擦され、摩耗や
発熱による変形、摩耗粉の発生による金属帯の汚れ、摩
耗状態によって回転抵抗が変化してしまい、炉内張力制
御へ外乱を与えて金属帯の形状が悪化すること、ワッシ
ャの連続摩擦によって静電気が発生し、スパークによる
発火の危険があること、ワッシャの消耗が早いので長期
安定操業ができないこと、摩耗や発熱変形のため、高速
運転に適さないこと、回転負荷の軽減や摩耗や発熱・帯
電を避けるために各ワッシャが摩擦されないようにする
とシール性が悪くなること等の欠点がある。
では、弾性ロール８の端面部の気密封止を、弾性ロール
８とケーシング１０の側壁間に種々のワッシャを介在さ
せて行っている。しかしながら、弾性ロール８の回転負
荷の軽減と、端部でのシール性の向上とを両立させるこ
とは非常に困難である。ゴムワッシャ１４のみでは負荷
が大きく、摩擦ワッシャ１５や金属密封ワッシャ１６を
付加すると、適正な押付け力である限りは比較的回転負
荷は軽くなる。一方、金属帯１は一見直進しているよう
に見えても、実際はわずかな蛇行を繰り返しており、金
属帯１を挟持している弾性ロール８はその蛇行の反力で
軸方向のスラスト力をいつもわずか受けている。したが
って、回転摺動をしている箇所は押付け力が大きくなっ
たり、小さくなったり変動する。大きくなった場合は、
摩擦ワッシャ１５と金属密封ワッシャ１６との摺動抵抗
も大きくなることがある。また、固定のケーシングと回
転するロール端面の回転差を、各ワッシャとの滑り摩擦
で逃げているため、各ワッシャは常時摩擦され、摩耗や
発熱による変形、摩耗粉の発生による金属帯の汚れ、摩
耗状態によって回転抵抗が変化してしまい、炉内張力制
御へ外乱を与えて金属帯の形状が悪化すること、ワッシ
ャの連続摩擦によって静電気が発生し、スパークによる
発火の危険があること、ワッシャの消耗が早いので長期
安定操業ができないこと、摩耗や発熱変形のため、高速
運転に適さないこと、回転負荷の軽減や摩耗や発熱・帯
電を避けるために各ワッシャが摩擦されないようにする
とシール性が悪くなること等の欠点がある。
【０００７】本発明の目的は、弾性ロールの端部でのシ
ール性を向上し、弾性ロールの回転負荷を軽減すること
ができ、高速回転に対しても耐久性のある雰囲気設備の
入口または出口のシール装置を提供することである。
ール性を向上し、弾性ロールの回転負荷を軽減すること
ができ、高速回転に対しても耐久性のある雰囲気設備の
入口または出口のシール装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、帯体の連続的
雰囲気処理を行うため、雰囲気設備の入口または出口で
少なくとも外表面を弾力性にした一対のロールで帯体を
挟持するシール装置であって、前記一対のロールを外囲
するケーシングと、各ロールの外周面に弾力的に当接さ
れ、各ロールとケーシングとの間を封止するシール板
と、各ロールの両端に設けられ、ロールの端面に当接す
る第１フランジ部と、第１フランジ部の外周部からロー
ルの軸線方向外方に延びる第１スリーブ部とを有し、弾
力性を有する材料から成る外皮部材と、各ロールの両端
で、第１フランジ部の外表面に接合される第２フランジ
部と、第２フランジ部の外周部からロールの軸線方向外
方に延びる第２スリーブ部とを有し、剛性を有する材料
から成る第１支持部材と、各ロールの両端で、第２フラ
ンジ部よりもロールの軸線方向外方で、ロールの軸と第
２スリーブ部との間に配置される第３スリーブ部と、第
３スリーブ部のロール軸線方向外方の端面からロールの
半径方向に延びる第３フランジ部とを有し、剛性を有す
る材料から成る第２支持部材と、各ロールの両端で、第
３スリーブ部と第２スリーブ部との間に介在され、ラジ
アル力とスラスト力とを受ける外側軸受と、各ロールの
両端で、第３スリーブ部とロールの軸との間に介在され
る内側軸受と、各ロールの両端で、ケーシングの側壁面
と第２支持部材の第３フランジ部との間に介在され、少
なくともロールの半径方向外方側は弾力性を有する材料
から成る端面封止部材とを含むことを特徴とする雰囲気
設備の入口または出口のシール装置である。また本発明
の第２支持部材の第３フランジ部は、その外周にロール
の軸線方向外方に向かって径が減少するような傾斜面が
形成されていることを特徴とする。また本発明は、第２
支持部材の第３スリーブ部と第１支持部材の第２スリー
ブ部との間で、前記外側軸受よりもロールの軸線方向外
方に、第３スリーブ部と第２スリーブ部との間を封止す
るリップシールが設けられることを特徴とする。また本
発明の前記外側軸受は、深溝玉軸受であることを特徴と
する。また本発明は、前記側壁面と端面封止部材を介し
て接合される第２支持部材の第３フランジ部と、ロール
とともに回転する外皮部材とが回転摺動接触をする箇所
から内側の空間に、ロールの軸内部に設けたガス流路を
経由して不活性ガス、あるいは炉内雰囲気に近似したガ
ス（以下、総称して「不活性ガス」と呼称することがあ
る）を注入する手段が設けられることを特徴とする。ま
た本発明は、前記雰囲気設備内に、水素ガスを含む可燃
性雰囲気ガスが、大気圧よりも若干高い圧力状態に保持
され充満されていることを特徴とする。また本発明は、
前記帯体は金属帯であり、前記雰囲気設備は光輝焼鈍炉
であることを特徴とする。また本発明は、前記側壁面と
端面封止部材を介して接合される第２支持部材の第３フ
ランジ部と、ロールとともに回転する外皮部材とが回転
摺動接触をする箇所から内側の空間を、ロールの軸内部
に設けたガス流路を経由して真空吸引する手段が設けら
れることを特徴とする。また本発明の前記雰囲気設備
は、大気圧より減圧下で操業する有機溶剤取扱設備であ
ることを特徴とする。また本発明の前記雰囲気設備は、
真空蒸着炉であることを特徴とする。また本発明の前記
外皮部材および前記端面封止部材は、電気比抵抗値が１
〜１０7Ω・ｃｍの主として弾性体から成ることを特徴
とする。また本発明の前記弾性体は、天然ゴム、イソプ
レンゴム、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲ、ブチルゴム、多硫化
ゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、クロ
ロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ブタ
ジエンゴム、ＥＰＤＭ、アクリルゴム、またはヒドリン
ゴムであることを特徴とする。
雰囲気処理を行うため、雰囲気設備の入口または出口で
少なくとも外表面を弾力性にした一対のロールで帯体を
挟持するシール装置であって、前記一対のロールを外囲
するケーシングと、各ロールの外周面に弾力的に当接さ
れ、各ロールとケーシングとの間を封止するシール板
と、各ロールの両端に設けられ、ロールの端面に当接す
る第１フランジ部と、第１フランジ部の外周部からロー
ルの軸線方向外方に延びる第１スリーブ部とを有し、弾
力性を有する材料から成る外皮部材と、各ロールの両端
で、第１フランジ部の外表面に接合される第２フランジ
部と、第２フランジ部の外周部からロールの軸線方向外
方に延びる第２スリーブ部とを有し、剛性を有する材料
から成る第１支持部材と、各ロールの両端で、第２フラ
ンジ部よりもロールの軸線方向外方で、ロールの軸と第
２スリーブ部との間に配置される第３スリーブ部と、第
３スリーブ部のロール軸線方向外方の端面からロールの
半径方向に延びる第３フランジ部とを有し、剛性を有す
る材料から成る第２支持部材と、各ロールの両端で、第
３スリーブ部と第２スリーブ部との間に介在され、ラジ
アル力とスラスト力とを受ける外側軸受と、各ロールの
両端で、第３スリーブ部とロールの軸との間に介在され
る内側軸受と、各ロールの両端で、ケーシングの側壁面
と第２支持部材の第３フランジ部との間に介在され、少
なくともロールの半径方向外方側は弾力性を有する材料
から成る端面封止部材とを含むことを特徴とする雰囲気
設備の入口または出口のシール装置である。また本発明
の第２支持部材の第３フランジ部は、その外周にロール
の軸線方向外方に向かって径が減少するような傾斜面が
形成されていることを特徴とする。また本発明は、第２
支持部材の第３スリーブ部と第１支持部材の第２スリー
ブ部との間で、前記外側軸受よりもロールの軸線方向外
方に、第３スリーブ部と第２スリーブ部との間を封止す
るリップシールが設けられることを特徴とする。また本
発明の前記外側軸受は、深溝玉軸受であることを特徴と
する。また本発明は、前記側壁面と端面封止部材を介し
て接合される第２支持部材の第３フランジ部と、ロール
とともに回転する外皮部材とが回転摺動接触をする箇所
から内側の空間に、ロールの軸内部に設けたガス流路を
経由して不活性ガス、あるいは炉内雰囲気に近似したガ
ス（以下、総称して「不活性ガス」と呼称することがあ
る）を注入する手段が設けられることを特徴とする。ま
た本発明は、前記雰囲気設備内に、水素ガスを含む可燃
性雰囲気ガスが、大気圧よりも若干高い圧力状態に保持
され充満されていることを特徴とする。また本発明は、
前記帯体は金属帯であり、前記雰囲気設備は光輝焼鈍炉
であることを特徴とする。また本発明は、前記側壁面と
端面封止部材を介して接合される第２支持部材の第３フ
ランジ部と、ロールとともに回転する外皮部材とが回転
摺動接触をする箇所から内側の空間を、ロールの軸内部
に設けたガス流路を経由して真空吸引する手段が設けら
れることを特徴とする。また本発明の前記雰囲気設備
は、大気圧より減圧下で操業する有機溶剤取扱設備であ
ることを特徴とする。また本発明の前記雰囲気設備は、
真空蒸着炉であることを特徴とする。また本発明の前記
外皮部材および前記端面封止部材は、電気比抵抗値が１
〜１０7Ω・ｃｍの主として弾性体から成ることを特徴
とする。また本発明の前記弾性体は、天然ゴム、イソプ
レンゴム、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲ、ブチルゴム、多硫化
ゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、クロ
ロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ブタ
ジエンゴム、ＥＰＤＭ、アクリルゴム、またはヒドリン
ゴムであることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明に従えば、一対の弾性ロールの外周は、
シール板とケーシングによって封止される。各弾性ロー
ルの両端を封止するために、弾力性を有する材料から成
る外皮部材と少なくともロールの半径方向外方側は弾力
性を有する材料から成る端面封止部材とが設けられる。
外皮部材は弾性ロールとともに回転し、その第１スリー
ブの先端は、端面封止部材の弾力性を有する部分および
第２支持部材の第３フランジ部とともに良好な封止を行
う。剛性を有する材料から成る第１支持部材は、その第
２フランジ部が外皮部材の第１フランジ部の外表面に接
合されて、弾性ロールとともに回転する。第１支持部材
の第２スリーブ部は、外側軸受によってラジアル力を第
２支持部材の第３スリーブ部に伝達する。また、スラス
ト力は、外側軸受によって、第３スリーブ部の外周に設
けた溝にはめ込まれた止め輪を介して、あるいは第３ス
リーブ部の外周に設けた段付部（図示しない）を介して
第３スリーブ部に伝達される。第２支持部材に伝達され
たスラスト力は、第２支持部材の第３フランジ部を介し
て端面封止部材によって受けられる。第２支持部材に伝
達されたラジアル力は、内側軸受を介して弾性回転ロー
ルの軸によって受けられる。このように封止には弾力性
を有する材料が寄与し、回転負荷は軸受によって軽減さ
れるので、容易にシール機能の向上と回転負荷の軽減と
を図ることができる。
シール板とケーシングによって封止される。各弾性ロー
ルの両端を封止するために、弾力性を有する材料から成
る外皮部材と少なくともロールの半径方向外方側は弾力
性を有する材料から成る端面封止部材とが設けられる。
外皮部材は弾性ロールとともに回転し、その第１スリー
ブの先端は、端面封止部材の弾力性を有する部分および
第２支持部材の第３フランジ部とともに良好な封止を行
う。剛性を有する材料から成る第１支持部材は、その第
２フランジ部が外皮部材の第１フランジ部の外表面に接
合されて、弾性ロールとともに回転する。第１支持部材
の第２スリーブ部は、外側軸受によってラジアル力を第
２支持部材の第３スリーブ部に伝達する。また、スラス
ト力は、外側軸受によって、第３スリーブ部の外周に設
けた溝にはめ込まれた止め輪を介して、あるいは第３ス
リーブ部の外周に設けた段付部（図示しない）を介して
第３スリーブ部に伝達される。第２支持部材に伝達され
たスラスト力は、第２支持部材の第３フランジ部を介し
て端面封止部材によって受けられる。第２支持部材に伝
達されたラジアル力は、内側軸受を介して弾性回転ロー
ルの軸によって受けられる。このように封止には弾力性
を有する材料が寄与し、回転負荷は軸受によって軽減さ
れるので、容易にシール機能の向上と回転負荷の軽減と
を図ることができる。
【００１０】また本発明に従えば、第３フランジ部は、
ロールの軸線方向外方に向かって径が減少するような傾
斜面が外周に形成されているので、対向する第３フラン
ジ部の傾斜面と外皮部材端面とで形成される空間に、端
面封止部材の弾力性を有する材料から成る外周部が入込
み、良好なシールを行うことができる。これによって、
雰囲気ガスの流出量を減らして、帯体の雰囲気処理に要
する製造コストの低減を図ることができる。
ロールの軸線方向外方に向かって径が減少するような傾
斜面が外周に形成されているので、対向する第３フラン
ジ部の傾斜面と外皮部材端面とで形成される空間に、端
面封止部材の弾力性を有する材料から成る外周部が入込
み、良好なシールを行うことができる。これによって、
雰囲気ガスの流出量を減らして、帯体の雰囲気処理に要
する製造コストの低減を図ることができる。
【００１１】また本発明に従えば、第３スリーブ部と第
２スリーブ部との間は、リップシールによって封止され
ているので、第１支持部材と第２支持部材の間の気密性
を補強することができる。
２スリーブ部との間は、リップシールによって封止され
ているので、第１支持部材と第２支持部材の間の気密性
を補強することができる。
【００１２】また本発明に従えば、外側軸受として深溝
玉軸受を設けるので、一例として日本精工株式会社の鋼
板製のシールを使ったシールド形（ＺＺ形）、ゴム製の
シールを使った非接触ゴムシール形（ＶＶ形）または接
触ゴムシール形（ＤＤＵ形）等が使用でき、軸受自体に
グリースを充填したりしてシール性を向上することがで
きる。またスラスト力とラジアル力とを同時に受けるこ
とができる。
玉軸受を設けるので、一例として日本精工株式会社の鋼
板製のシールを使ったシールド形（ＺＺ形）、ゴム製の
シールを使った非接触ゴムシール形（ＶＶ形）または接
触ゴムシール形（ＤＤＵ形）等が使用でき、軸受自体に
グリースを充填したりしてシール性を向上することがで
きる。またスラスト力とラジアル力とを同時に受けるこ
とができる。
【００１３】また本発明に従えば、側壁面と端面封止部
材を介して接合される第２支持部材の第３フランジ部
と、ロールとともに回転する外皮部材とが回転摺動接触
をする箇所から内側の空間に不活性ガスを封入すること
ができるので、たとえば雰囲気設備内の圧力よりも不活
性ガスの圧力を高めることによって、雰囲気設備内の雰
囲気ガスが外気に漏れることを確実に防止することがで
きる。
材を介して接合される第２支持部材の第３フランジ部
と、ロールとともに回転する外皮部材とが回転摺動接触
をする箇所から内側の空間に不活性ガスを封入すること
ができるので、たとえば雰囲気設備内の圧力よりも不活
性ガスの圧力を高めることによって、雰囲気設備内の雰
囲気ガスが外気に漏れることを確実に防止することがで
きる。
【００１４】また本発明に従えば、雰囲気設備には水素
ガスを含む可燃性雰囲気ガスが充満されるけれども、シ
ール性の向上によって爆発や火災の危険性がある雰囲気
ガスと外気との遮断を確実に行うことができ、安全性の
高い操業を安定に行うことができる。
ガスを含む可燃性雰囲気ガスが充満されるけれども、シ
ール性の向上によって爆発や火災の危険性がある雰囲気
ガスと外気との遮断を確実に行うことができ、安全性の
高い操業を安定に行うことができる。
【００１５】また本発明に従えば、光輝焼鈍炉内を外気
から確実に遮断し、空気中の酸素（Ｏ2）や空気中の水
蒸気（Ｈ2Ｏ）（以下、総称して「酸素」と呼称するこ
とがある）の侵入を防止することができるので、安全性
が高い操業を安定に行うことができるとともに、光輝焼
鈍される金属帯の品質も酸化による着色がないことなど
から安定する。
から確実に遮断し、空気中の酸素（Ｏ2）や空気中の水
蒸気（Ｈ2Ｏ）（以下、総称して「酸素」と呼称するこ
とがある）の侵入を防止することができるので、安全性
が高い操業を安定に行うことができるとともに、光輝焼
鈍される金属帯の品質も酸化による着色がないことなど
から安定する。
【００１６】また本発明に従えば、側壁面と端面封止部
材を介して接合される第２支持部材の第３フランジ部
と、ロールとともに回転する外皮部材とが回転摺動接触
をする箇所から内側の空間を真空吸引するので、特に雰
囲気設備が外気より低い圧力で運転されるときに、雰囲
気設備内への外気の侵入を確実に防止することができ
る。
材を介して接合される第２支持部材の第３フランジ部
と、ロールとともに回転する外皮部材とが回転摺動接触
をする箇所から内側の空間を真空吸引するので、特に雰
囲気設備が外気より低い圧力で運転されるときに、雰囲
気設備内への外気の侵入を確実に防止することができ
る。
【００１７】また本発明に従えば、雰囲気設備は有機溶
剤取扱設備であるので、ロール端面部で前述の第３フラ
ンジと外皮部材とが回転摺動接触する箇所から内側の空
間を真空吸引することによって、良好なシール性を維持
し、安全な操業が可能である。
剤取扱設備であるので、ロール端面部で前述の第３フラ
ンジと外皮部材とが回転摺動接触する箇所から内側の空
間を真空吸引することによって、良好なシール性を維持
し、安全な操業が可能である。
【００１８】また本発明に従えば、雰囲気設備は真空蒸
着炉であるので、ロール端面部で前述の第３フランジと
外皮部材とが回転摺動接触する箇所から内側の空間を真
空吸引することによって、良好な真空条件を維持し、高
品質な真空蒸着を行うことができる。
着炉であるので、ロール端面部で前述の第３フランジと
外皮部材とが回転摺動接触する箇所から内側の空間を真
空吸引することによって、良好な真空条件を維持し、高
品質な真空蒸着を行うことができる。
【００１９】また本発明に従えば、外皮部材と端面封止
部材とは、１〜１０7Ω・ｃｍの電気比抵抗値を有する
ので、帯電を防止し、静電気によるスパークの発生を抑
制することができる。
部材とは、１〜１０7Ω・ｃｍの電気比抵抗値を有する
ので、帯電を防止し、静電気によるスパークの発生を抑
制することができる。
【００２０】また本発明に従えば、ゴム等の弾性体を外
皮部材および端面封止部材として使用するので、ロール
の両端付近の封止を確実に行うことができる。
皮部材および端面封止部材として使用するので、ロール
の両端付近の封止を確実に行うことができる。
【００２１】
【実施例】本発明の実施例につき、図１〜図９によって
説明する。図１および図２は本発明の第１実施例の構成
を示し、図３は本実施例に好適に使用される玉軸受の構
成を示し、図４は本実施例に好適に使用されるリップシ
ールの構成を示し、図５および図６は第２実施例の構成
を示し、図７は第２実施例に用いられる雰囲気調整のた
めの簡略化した配管系統を示し、図８は第３実施例の構
成を示し、図９は第４実施例の構成を示す。
説明する。図１および図２は本発明の第１実施例の構成
を示し、図３は本実施例に好適に使用される玉軸受の構
成を示し、図４は本実施例に好適に使用されるリップシ
ールの構成を示し、図５および図６は第２実施例の構成
を示し、図７は第２実施例に用いられる雰囲気調整のた
めの簡略化した配管系統を示し、図８は第３実施例の構
成を示し、図９は第４実施例の構成を示す。
【００２２】図１は第１実施例のシール装置２０の平面
断面図、図２はその正面図をそれぞれ示す。シール装置
２０は、金属帯２１を光輝焼鈍炉２２に取入れる入口シ
ール部と、光輝焼鈍炉２２から金属帯２１を引出す出口
シール部とに同様に用いることができる。
断面図、図２はその正面図をそれぞれ示す。シール装置
２０は、金属帯２１を光輝焼鈍炉２２に取入れる入口シ
ール部と、光輝焼鈍炉２２から金属帯２１を引出す出口
シール部とに同様に用いることができる。
【００２３】シール装置２０は、金属帯２１をその板厚
方向の両側から挟持する一対の弾性ロール２３、弾性ロ
ール２３の外周面に当接するシール板２４、弾性ロール
２３およびシール板２４を外囲するケーシング２５およ
び側壁２６を含む。側壁２６と、シール板２４との間は
気密に封止されている。弾性ロール２３は、側壁２６に
形成されている案内溝２７に沿って変位可能である。シ
ール板２４は表層が不織布など弾力性を有する材料から
成る。光輝焼鈍炉２２内には、純水素ガス、水素ガスと
窒素ガスとがたとえば７５％と２５％との割合で混合さ
れる混合ガスまたはアンモニア分解ガスなど、水素を含
む可燃性の雰囲気ガス２８が充満される。その圧力は、
大気圧より若干、たとえば約５０ｍｍＡｑ高めの正圧力
状態に保持されている。
方向の両側から挟持する一対の弾性ロール２３、弾性ロ
ール２３の外周面に当接するシール板２４、弾性ロール
２３およびシール板２４を外囲するケーシング２５およ
び側壁２６を含む。側壁２６と、シール板２４との間は
気密に封止されている。弾性ロール２３は、側壁２６に
形成されている案内溝２７に沿って変位可能である。シ
ール板２４は表層が不織布など弾力性を有する材料から
成る。光輝焼鈍炉２２内には、純水素ガス、水素ガスと
窒素ガスとがたとえば７５％と２５％との割合で混合さ
れる混合ガスまたはアンモニア分解ガスなど、水素を含
む可燃性の雰囲気ガス２８が充満される。その圧力は、
大気圧より若干、たとえば約５０ｍｍＡｑ高めの正圧力
状態に保持されている。
【００２４】弾性ロール２３は、大略的に、ロール胴部
３０と、軸３１とから成る。ロール胴部３０には、金属
など剛性を有する材料から成るロール本体３２と、ロー
ル本体３２の外周面に配置される弾性被覆３３から構成
される。
３０と、軸３１とから成る。ロール胴部３０には、金属
など剛性を有する材料から成るロール本体３２と、ロー
ル本体３２の外周面に配置される弾性被覆３３から構成
される。
【００２５】ロール胴部３０の軸線方向外方では、外皮
部材３４、第１支持部材３５、第２支持部材３６、外側
軸受３７、止め輪３７ａ、内側軸受３８、端面封止部材
３９およびリップシール４０などが側壁２６との間に介
在される。外皮部材３４および端面封止部材３９は、弾
性被覆３３と同様に、硬度がＪＩＳ Ｋ ６３０１Ａで
４０〜９０°のシリコンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴ
ム、ＥＰＤＭ、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲなどの弾性材料
に、カーボンブラツクなどを混合して機械的特性の向上
と、万一の帯電防止のために電気比抵抗値１〜１０7Ω
・ｃｍの導電性の付与とを図っている。１０7Ω・ｃｍ
よりも大であると、実質的に絶縁体と変わらなくて不可
であり、１Ω・ｃｍよりも小さいと、装置の点検に近付
いた人体などの帯電体からスパークを飛ばされるおそれ
があるためである。弾性材料としては、さらに、天然ゴ
ム、イソプレンゴム、ブチルゴム、多硫化ゴム、アクリ
ルゴム、ヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレ
ン、塩素化ポリエチレンなどを用いることもできる。第
１支持部材３５、第２支持部材３６は、金属など、剛性
を有する材料から成る。
部材３４、第１支持部材３５、第２支持部材３６、外側
軸受３７、止め輪３７ａ、内側軸受３８、端面封止部材
３９およびリップシール４０などが側壁２６との間に介
在される。外皮部材３４および端面封止部材３９は、弾
性被覆３３と同様に、硬度がＪＩＳ Ｋ ６３０１Ａで
４０〜９０°のシリコンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴ
ム、ＥＰＤＭ、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲなどの弾性材料
に、カーボンブラツクなどを混合して機械的特性の向上
と、万一の帯電防止のために電気比抵抗値１〜１０7Ω
・ｃｍの導電性の付与とを図っている。１０7Ω・ｃｍ
よりも大であると、実質的に絶縁体と変わらなくて不可
であり、１Ω・ｃｍよりも小さいと、装置の点検に近付
いた人体などの帯電体からスパークを飛ばされるおそれ
があるためである。弾性材料としては、さらに、天然ゴ
ム、イソプレンゴム、ブチルゴム、多硫化ゴム、アクリ
ルゴム、ヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレ
ン、塩素化ポリエチレンなどを用いることもできる。第
１支持部材３５、第２支持部材３６は、金属など、剛性
を有する材料から成る。
【００２６】外皮部材３４の第１内向フランジ部４１
と、第１支持部材３５の第２内向フランジ部４２とは、
弾性ロール２３の端面に当接している。外皮部材３４の
第１内向フランジ部４１の外周側では、第１スリーブ部
４３が弾性ロール２３の軸線方向外方に延びるように形
成されている。第１支持部材３５の第２スリーブ部４４
は、第２内向フランジ部４２の外周から弾性ロール２３
の軸線方向外方に延びるように形成され、その外周面は
第１スリーブ部４３の内周面に当接しており、その長さ
は第２支持部材３６の第３外向フランジ４６との金属接
触を防止する為、わずか短い。第２スリーブ部４４と軸
３１との間には、第２支持部材３６の第３スリーブ部４
５が介在される。弾性ロール２３の軸線方向内方側で第
３スリーブ部４５の端面は、第２内向フランジ部４２の
外表面との間に間隔をあけている。第３スリーブ部４５
の弾性ロール２３の軸線方向外方の端部からは、第３外
向フランジ部４６が半径方向外方に延びる。第３外向フ
ランジ部４６の外周部は、軸線方向外方に向けて径が減
少する傾斜面４７として形成されている。外向フランジ
部４６は、軸線方向外方側が端面封止部材３９を介して
側壁２６に押圧され固定されている。第３外向フランジ
部４６の軸線方向内方側の外周部には、外皮部材３４の
第１スリーブ部４３の端面が回転摺動接触しながら、こ
の接触箇所から内側の空間を封止している。第１、第
２、第３フランジ部を記述するのに用いられる「内向」
および「外向」という表現は各々軸線方向に対して、内
方あるいは外方を指すが、フランジの向きは内方・外方
逆もまた可能である。
と、第１支持部材３５の第２内向フランジ部４２とは、
弾性ロール２３の端面に当接している。外皮部材３４の
第１内向フランジ部４１の外周側では、第１スリーブ部
４３が弾性ロール２３の軸線方向外方に延びるように形
成されている。第１支持部材３５の第２スリーブ部４４
は、第２内向フランジ部４２の外周から弾性ロール２３
の軸線方向外方に延びるように形成され、その外周面は
第１スリーブ部４３の内周面に当接しており、その長さ
は第２支持部材３６の第３外向フランジ４６との金属接
触を防止する為、わずか短い。第２スリーブ部４４と軸
３１との間には、第２支持部材３６の第３スリーブ部４
５が介在される。弾性ロール２３の軸線方向内方側で第
３スリーブ部４５の端面は、第２内向フランジ部４２の
外表面との間に間隔をあけている。第３スリーブ部４５
の弾性ロール２３の軸線方向外方の端部からは、第３外
向フランジ部４６が半径方向外方に延びる。第３外向フ
ランジ部４６の外周部は、軸線方向外方に向けて径が減
少する傾斜面４７として形成されている。外向フランジ
部４６は、軸線方向外方側が端面封止部材３９を介して
側壁２６に押圧され固定されている。第３外向フランジ
部４６の軸線方向内方側の外周部には、外皮部材３４の
第１スリーブ部４３の端面が回転摺動接触しながら、こ
の接触箇所から内側の空間を封止している。第１、第
２、第３フランジ部を記述するのに用いられる「内向」
および「外向」という表現は各々軸線方向に対して、内
方あるいは外方を指すが、フランジの向きは内方・外方
逆もまた可能である。
【００２７】金属帯２１は一見直進しているように見え
るが、実際はわずかな蛇行を繰り返しており、金属帯２
１を挟持している弾性ロール２３はその蛇行の反力で軸
方向のスラスト力をいつもわずか受けている。このスラ
スト力は、第１支持部材３５の第２内向フランジ部４２
と、外側軸受３７により第３スリーブ部４５の止め輪３
７ａあるいは段付部（図示しない）を介して、第２支持
部材３６の第３スリーブ部４５に伝えられる。つまり第
１支持部材３５と第２支持部材３６の位置関係は外側軸
受３７によって決まっており、スラスト力がどのように
変化しても、外皮部材３４の第１スリーブ部４３の端面
と第３外向フランジ部４６の軸線方向内方側の外周部と
の回転摺動接触する部分は、ある一定の力（たとえば、
外皮部材３４の端部弾性反発力）しか働かず、金属帯２
１の蛇行や弾性ロール２３の熱膨張で発生するスラスト
力に影響されない。したがって、この回転摺動接触する
部分は常に安定したシールを行うことができる。
るが、実際はわずかな蛇行を繰り返しており、金属帯２
１を挟持している弾性ロール２３はその蛇行の反力で軸
方向のスラスト力をいつもわずか受けている。このスラ
スト力は、第１支持部材３５の第２内向フランジ部４２
と、外側軸受３７により第３スリーブ部４５の止め輪３
７ａあるいは段付部（図示しない）を介して、第２支持
部材３６の第３スリーブ部４５に伝えられる。つまり第
１支持部材３５と第２支持部材３６の位置関係は外側軸
受３７によって決まっており、スラスト力がどのように
変化しても、外皮部材３４の第１スリーブ部４３の端面
と第３外向フランジ部４６の軸線方向内方側の外周部と
の回転摺動接触する部分は、ある一定の力（たとえば、
外皮部材３４の端部弾性反発力）しか働かず、金属帯２
１の蛇行や弾性ロール２３の熱膨張で発生するスラスト
力に影響されない。したがって、この回転摺動接触する
部分は常に安定したシールを行うことができる。
【００２８】ゴム被覆３３の外径と、外皮部材３４の外
径とは、基本的に同一とする。この外径よりも、第３外
向フランジ部４６の最大径はΔＤだけ小さくしておく。
ΔＤの値は、弾性ロール２３間に挟持される金属帯２１
の板厚の最大値をｔとするとき、ΔＤ≦ｔとしておく。
径とは、基本的に同一とする。この外径よりも、第３外
向フランジ部４６の最大径はΔＤだけ小さくしておく。
ΔＤの値は、弾性ロール２３間に挟持される金属帯２１
の板厚の最大値をｔとするとき、ΔＤ≦ｔとしておく。
【００２９】これは対向する弾性ロール２３が間に金属
帯２１を挟持したとき、対向する第３外向フランジ部４
６同士が当たり、弾性ロール２３の圧下を妨げ、金属帯
２１の両端部で、対向する弾性ロール２３間に隙間が形
成され、雰囲気ガスのシールが不良となるのを防止する
ためである。この数値は小さいほどよいが、金属帯２１
を挟持するときの軸３１の撓み代や、弾性ロール２３の
弾性被覆３３、外皮部材４３、および端面封止部材３９
の外周のシールのための圧下による潰れ代、を見込む必
要がある。
帯２１を挟持したとき、対向する第３外向フランジ部４
６同士が当たり、弾性ロール２３の圧下を妨げ、金属帯
２１の両端部で、対向する弾性ロール２３間に隙間が形
成され、雰囲気ガスのシールが不良となるのを防止する
ためである。この数値は小さいほどよいが、金属帯２１
を挟持するときの軸３１の撓み代や、弾性ロール２３の
弾性被覆３３、外皮部材４３、および端面封止部材３９
の外周のシールのための圧下による潰れ代、を見込む必
要がある。
【００３０】図３は、図１に示す外側軸受３７として好
適に使用される深溝玉軸受の簡略化した構成を示す。こ
のような単列深溝玉軸受は、転がり軸受の中でも最も代
表的な形式であり、鋼玉５１が、内輪５２と外輪５３に
それぞれ形成されている内輪軌道５４と外輪軌道５５と
の間に挟持されて転動する。玉５１の軸線方向の両側に
は、シールド５６を設け、さらにシールド５６間にグリ
ース５７を封入したものはシールド型と呼ばれ、摩擦ト
ルクが小さく、高速性、グリース密封性および防塵性が
良好である。また深溝玉軸受は、内輪５２と外輪５３と
の間で、ラジアル力とスラスト力とを同時に受けること
ができる。一例として日本精工株式会社の鋼板製のシー
ルを使ったシールド形（ＺＺ形）、ゴム製のシールを使
った非接触ゴムシール形（ＶＶ形）または接触ゴムシー
ル形（ＤＤＵ形）等が使用できる。
適に使用される深溝玉軸受の簡略化した構成を示す。こ
のような単列深溝玉軸受は、転がり軸受の中でも最も代
表的な形式であり、鋼玉５１が、内輪５２と外輪５３に
それぞれ形成されている内輪軌道５４と外輪軌道５５と
の間に挟持されて転動する。玉５１の軸線方向の両側に
は、シールド５６を設け、さらにシールド５６間にグリ
ース５７を封入したものはシールド型と呼ばれ、摩擦ト
ルクが小さく、高速性、グリース密封性および防塵性が
良好である。また深溝玉軸受は、内輪５２と外輪５３と
の間で、ラジアル力とスラスト力とを同時に受けること
ができる。一例として日本精工株式会社の鋼板製のシー
ルを使ったシールド形（ＺＺ形）、ゴム製のシールを使
った非接触ゴムシール形（ＶＶ形）または接触ゴムシー
ル形（ＤＤＵ形）等が使用できる。
【００３１】図４は、図１に示すリップシール４０の構
成を示す。リップシール４０は、ＮＢＲなどフレキシブ
ルな弾力性を有する材料から成り、機械的な振動や流体
の圧力変動に対し、安定した封止作用を保つ。リップシ
ール４０は、大略的に、シールリップ部６１と、はめあ
い部６２とを有する。シールリップ部６１の断面はくさ
び状であり、先端部で相手側と摺動変位を行いながら気
密に封止する。シールリップ部６１の先端を相手側に押
付けるために、ばね６３が設けられている。はめあい部
６２には、金属環６４が埋込まれており、はめあい力を
確保している。なお、本実施例ではシールリップ部６１
を外側、はめあい部６２を内側にしているけれども、逆
にしてもよい。
成を示す。リップシール４０は、ＮＢＲなどフレキシブ
ルな弾力性を有する材料から成り、機械的な振動や流体
の圧力変動に対し、安定した封止作用を保つ。リップシ
ール４０は、大略的に、シールリップ部６１と、はめあ
い部６２とを有する。シールリップ部６１の断面はくさ
び状であり、先端部で相手側と摺動変位を行いながら気
密に封止する。シールリップ部６１の先端を相手側に押
付けるために、ばね６３が設けられている。はめあい部
６２には、金属環６４が埋込まれており、はめあい力を
確保している。なお、本実施例ではシールリップ部６１
を外側、はめあい部６２を内側にしているけれども、逆
にしてもよい。
【００３２】図５は、本発明の第２実施例の平面断面
図、図６はその正面図をそれぞれ示す。第２実施例にお
いて、第１実施例と対応する部分には同一の参照符を付
す。第２実施例のシール装置７０においては、ロールの
軸７１にガス流路である通気孔７２が形成され、さら
に、第３スリーブ部にも内側から外側へ１個ないし数個
の通気の為の穴と、第３スリーブ部外周においてはその
穴から第３外向フランジ内面に亘り溝とを掘り、通気孔
７２からのガスを流す通気路７２ａを形成し、通気孔７
２を介して弾性ロール７３の両端部で第２支持部材３６
と外皮部材３４との回転摺動接触箇所よりも内側に形成
される空間の雰囲気を外部より加圧または減圧すること
によって調整することができる。また端面封止部材とし
ては、剛性ワッシャ７４ａと、弾性リング７４ｂとを組
合わせたものを使用する。剛性ワッシャ７４ａは、テフ
ロン樹脂から成り、その外周面にゴム材料から成る弾性
リング７４ｂが接着されている。剛性ワッシャ７４ａも
弾性リング７４ｂも、万一の帯電によるスパーク防止の
ため、電気比抵抗値を１〜１０7Ω・ｃｍとすることが
好ましい。剛性ワッシャ７４ａには、たとえばニチアス
株式会社製の商品名エクセライトが好適に用いられる。
ケーシング７５の側壁７６に設けられる案内溝７７は、
直線的に形成されている。軸７１が案内溝７７に沿って
移動するときに、剛性ワッシャ７４ａがテフロン樹脂で
形成されていると摩擦抵抗が小さくなるので、シール装
置７０のメンテナンスが容易になる。第２支持部材３６
の第３外向フランジ部４６の外周部には傾斜面は設けら
れていないけれども、金属帯２１を挟持する際に、この
外周部間に形成される空間には軸線方向外方から弾性リ
ング７４ｂ、また軸線方向内方から外皮部材３４が弾性
変形して侵入するので、シール性は向上し、また通気孔
７２を介して雰囲気が調整される。剛性ワッシャ７４ａ
は、金属板をテフロン樹脂などでコーティングして形成
してもよい。
図、図６はその正面図をそれぞれ示す。第２実施例にお
いて、第１実施例と対応する部分には同一の参照符を付
す。第２実施例のシール装置７０においては、ロールの
軸７１にガス流路である通気孔７２が形成され、さら
に、第３スリーブ部にも内側から外側へ１個ないし数個
の通気の為の穴と、第３スリーブ部外周においてはその
穴から第３外向フランジ内面に亘り溝とを掘り、通気孔
７２からのガスを流す通気路７２ａを形成し、通気孔７
２を介して弾性ロール７３の両端部で第２支持部材３６
と外皮部材３４との回転摺動接触箇所よりも内側に形成
される空間の雰囲気を外部より加圧または減圧すること
によって調整することができる。また端面封止部材とし
ては、剛性ワッシャ７４ａと、弾性リング７４ｂとを組
合わせたものを使用する。剛性ワッシャ７４ａは、テフ
ロン樹脂から成り、その外周面にゴム材料から成る弾性
リング７４ｂが接着されている。剛性ワッシャ７４ａも
弾性リング７４ｂも、万一の帯電によるスパーク防止の
ため、電気比抵抗値を１〜１０7Ω・ｃｍとすることが
好ましい。剛性ワッシャ７４ａには、たとえばニチアス
株式会社製の商品名エクセライトが好適に用いられる。
ケーシング７５の側壁７６に設けられる案内溝７７は、
直線的に形成されている。軸７１が案内溝７７に沿って
移動するときに、剛性ワッシャ７４ａがテフロン樹脂で
形成されていると摩擦抵抗が小さくなるので、シール装
置７０のメンテナンスが容易になる。第２支持部材３６
の第３外向フランジ部４６の外周部には傾斜面は設けら
れていないけれども、金属帯２１を挟持する際に、この
外周部間に形成される空間には軸線方向外方から弾性リ
ング７４ｂ、また軸線方向内方から外皮部材３４が弾性
変形して侵入するので、シール性は向上し、また通気孔
７２を介して雰囲気が調整される。剛性ワッシャ７４ａ
は、金属板をテフロン樹脂などでコーティングして形成
してもよい。
【００３３】図７は、図６のシール装置７０に対する雰
囲気調整のための構成を示す。図７（Ａ）は雰囲気ガス
供給装置８０から窒素（Ｎ2）やアルゴン（Ａｒ）など
の不活性ガス、あるいは炉内雰囲気に近似したガスを供
給し、光輝焼鈍炉２２など、爆発や火災の危険性のある
雰囲気ガス中に外気から酸素などが侵入することを防止
している。図７（Ｂ）では、帯体として合成樹脂フィル
ム８１を雰囲気処理設備としての横型の真空蒸着炉８２
に出入りさせる部分のシール性を向上するため、真空吸
引装置８３による吸引を行っている。これによって、真
空蒸着炉８２内の真空度は良好に維持され、高品質の真
空蒸着を安定に行うことができる。
囲気調整のための構成を示す。図７（Ａ）は雰囲気ガス
供給装置８０から窒素（Ｎ2）やアルゴン（Ａｒ）など
の不活性ガス、あるいは炉内雰囲気に近似したガスを供
給し、光輝焼鈍炉２２など、爆発や火災の危険性のある
雰囲気ガス中に外気から酸素などが侵入することを防止
している。図７（Ｂ）では、帯体として合成樹脂フィル
ム８１を雰囲気処理設備としての横型の真空蒸着炉８２
に出入りさせる部分のシール性を向上するため、真空吸
引装置８３による吸引を行っている。これによって、真
空蒸着炉８２内の真空度は良好に維持され、高品質の真
空蒸着を安定に行うことができる。
【００３４】図８は、本発明の第３実施例の構成を示
す。第１実施例と対応する部分には、同一の参照符を付
す。ロール胴部３０の軸線方向外方では、外皮部材３
４、第１支持部材３５、第２支持部材３６、外側軸受３
７、止め輪３７ａ、内側軸受３８、端面封止部材３９お
よび封止ディスク４０ａなどが側壁２６との間に介在さ
れる。外皮部材３４および端面封止部材３９は、弾性被
覆３３と同様に、硬度がＪＩＳ Ｋ ６３０１ Ａで４
０〜９０°のシリコンゴム、フッソゴム、ウレタンゴ
ム、ＥＰＤＭ、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲ等の弾性材料に、
カーボンブラック等を混合して機械的特性の向上と、万
一の帯電防止のために電気比抵抗値１〜１０7Ω・ｃｍ
の導電性の付与とを図っている。１０7 Ω・ｃｍよりも
大であると、実質的に絶縁体と変わらなくて不可であ
り、１Ω・ｃｍよりも小さいと、装置の点検に近づいた
人体などの帯電体からスパークを飛ばされるおそれがあ
るためである。弾性材料としては、さらに、天然ゴム、
イソプレンゴム、ブチルゴム、多硫化ゴム、アクリルゴ
ム、ヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩
素化ポリエチレンなどを用いることもできる。第１支持
部材３５、第２支持部材３６は、金属など、剛性を有す
る材料からなる。
す。第１実施例と対応する部分には、同一の参照符を付
す。ロール胴部３０の軸線方向外方では、外皮部材３
４、第１支持部材３５、第２支持部材３６、外側軸受３
７、止め輪３７ａ、内側軸受３８、端面封止部材３９お
よび封止ディスク４０ａなどが側壁２６との間に介在さ
れる。外皮部材３４および端面封止部材３９は、弾性被
覆３３と同様に、硬度がＪＩＳ Ｋ ６３０１ Ａで４
０〜９０°のシリコンゴム、フッソゴム、ウレタンゴ
ム、ＥＰＤＭ、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲ等の弾性材料に、
カーボンブラック等を混合して機械的特性の向上と、万
一の帯電防止のために電気比抵抗値１〜１０7Ω・ｃｍ
の導電性の付与とを図っている。１０7 Ω・ｃｍよりも
大であると、実質的に絶縁体と変わらなくて不可であ
り、１Ω・ｃｍよりも小さいと、装置の点検に近づいた
人体などの帯電体からスパークを飛ばされるおそれがあ
るためである。弾性材料としては、さらに、天然ゴム、
イソプレンゴム、ブチルゴム、多硫化ゴム、アクリルゴ
ム、ヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩
素化ポリエチレンなどを用いることもできる。第１支持
部材３５、第２支持部材３６は、金属など、剛性を有す
る材料からなる。
【００３５】外皮部材３４の第１内向フランジ部４１
と、第１支持部材３５の第２内向フランジ部４２とは、
この順序で弾性ロール２３の端面に当接している。外皮
部材３４の第１内向フランジ部４１の外周側では、第１
スリーブ部４３が弾性ロール２３の軸線方向外方に延び
るように形成されている。第１支持部材３５の第２スリ
ーブ部４４は、第２内向フランジ部４２の外周から弾性
ロール２３の軸線方向外方に延びるように形成され、そ
の外周面は第１スリーブ部４３の内周面に当接してお
り、その長さは第２支持部材３６の第３外向フランジ部
４６との金属接触を防止するため、わずかに短く、その
隙間に１ｍｍ〜２ｍｍ程度の厚みのテフロン（ＰＴＦ
Ｅ）またはテフロンを主成分とした封止ディスク４０ａ
を装着する。封止ディスク４０ａは１枚でも２枚（図示
しない）でもよい。２枚の場合は封止ディスク４０ａ同
士のスリップにより静電気が帯電するおそれがあるの
で、外皮部材３４と同様の理由で電気比抵抗値を１〜１
０7 Ω・ｃｍとするのが望ましい。第２スリーブ部４４
と軸３１との間には、第２支持部材３６の第３スリーブ
部４５が介在される。弾性ロール２３の軸線方向内方側
で第３スリーブ部４５の端面は、第２内向フランジ部４
２の外表面との間に間隔をあけている。第３スリーブ部
４５の弾性ロール２３の軸線方向外方の端部からは、第
３外向フランジ部４６が半径方向外方に延びる。
と、第１支持部材３５の第２内向フランジ部４２とは、
この順序で弾性ロール２３の端面に当接している。外皮
部材３４の第１内向フランジ部４１の外周側では、第１
スリーブ部４３が弾性ロール２３の軸線方向外方に延び
るように形成されている。第１支持部材３５の第２スリ
ーブ部４４は、第２内向フランジ部４２の外周から弾性
ロール２３の軸線方向外方に延びるように形成され、そ
の外周面は第１スリーブ部４３の内周面に当接してお
り、その長さは第２支持部材３６の第３外向フランジ部
４６との金属接触を防止するため、わずかに短く、その
隙間に１ｍｍ〜２ｍｍ程度の厚みのテフロン（ＰＴＦ
Ｅ）またはテフロンを主成分とした封止ディスク４０ａ
を装着する。封止ディスク４０ａは１枚でも２枚（図示
しない）でもよい。２枚の場合は封止ディスク４０ａ同
士のスリップにより静電気が帯電するおそれがあるの
で、外皮部材３４と同様の理由で電気比抵抗値を１〜１
０7 Ω・ｃｍとするのが望ましい。第２スリーブ部４４
と軸３１との間には、第２支持部材３６の第３スリーブ
部４５が介在される。弾性ロール２３の軸線方向内方側
で第３スリーブ部４５の端面は、第２内向フランジ部４
２の外表面との間に間隔をあけている。第３スリーブ部
４５の弾性ロール２３の軸線方向外方の端部からは、第
３外向フランジ部４６が半径方向外方に延びる。
【００３６】第３外向フランジ部４６の外周部は、軸線
方向外方に向けて径が減少する傾斜面４７として形成さ
れる。第３外向フランジ部４６は、軸線方向外方側が端
面封止部材３９を介してケーシング側壁２６に押圧され
固定されている。第３外向フランジ部４６の軸線方向内
方側の外周部には、外皮部材３４の第１スリーブ部４３
の端面がロールのスラスト力でなく外皮部材３４の端部
弾性反発力のみで封止ディスク４０ａを押圧し、第３外
向フランジ部４６との間で回転摺動接触しながら、この
接触箇所から内側の空間を封止している。さらに、ロー
ル軸３１にガス流路である通気孔７２が形成され、第３
スリーブ部４５にも内側から外側へ１個ないし数個の通
気孔７２を形成し、封止された空間の雰囲気を外部から
の加圧または減圧によって調整することも可能であり、
一層確実な外気との遮断が実現できる。弾性被覆３３の
外径と、外皮部材３４の外径とは、基本的に同一とす
る。この外径よりも、第３外向フランジ部４６と封止デ
ィスク４０ａの最大径はΔＤだけ小さくしておく。ΔＤ
の値は、弾性ロール２３間に挟持される金属帯２１の板
厚の最大値をｔとするとき、ΔＤ≦ｔ程度としておく。
これは外向する第３弾性ロール２３の間に金属帯２１を
挟持したとき、対向する第３外向フランジ部４６同士
や、封止ディスク４０ａ同士が当たり、弾性ロール２３
の圧下を妨げ、金属帯２１の両端部で、対向する弾性ロ
ール２３間に隙間が形成され雰囲気ガスのシールが不良
となるのを防止するためである。
方向外方に向けて径が減少する傾斜面４７として形成さ
れる。第３外向フランジ部４６は、軸線方向外方側が端
面封止部材３９を介してケーシング側壁２６に押圧され
固定されている。第３外向フランジ部４６の軸線方向内
方側の外周部には、外皮部材３４の第１スリーブ部４３
の端面がロールのスラスト力でなく外皮部材３４の端部
弾性反発力のみで封止ディスク４０ａを押圧し、第３外
向フランジ部４６との間で回転摺動接触しながら、この
接触箇所から内側の空間を封止している。さらに、ロー
ル軸３１にガス流路である通気孔７２が形成され、第３
スリーブ部４５にも内側から外側へ１個ないし数個の通
気孔７２を形成し、封止された空間の雰囲気を外部から
の加圧または減圧によって調整することも可能であり、
一層確実な外気との遮断が実現できる。弾性被覆３３の
外径と、外皮部材３４の外径とは、基本的に同一とす
る。この外径よりも、第３外向フランジ部４６と封止デ
ィスク４０ａの最大径はΔＤだけ小さくしておく。ΔＤ
の値は、弾性ロール２３間に挟持される金属帯２１の板
厚の最大値をｔとするとき、ΔＤ≦ｔ程度としておく。
これは外向する第３弾性ロール２３の間に金属帯２１を
挟持したとき、対向する第３外向フランジ部４６同士
や、封止ディスク４０ａ同士が当たり、弾性ロール２３
の圧下を妨げ、金属帯２１の両端部で、対向する弾性ロ
ール２３間に隙間が形成され雰囲気ガスのシールが不良
となるのを防止するためである。
【００３７】図９は、本発明の第４実施例の構成を示
す。第１実施例、第２実施例と対応する部分には、同一
の参照符を付す。第４実施例の基本構成は第３実施例の
ロール側と反ロール側を入れ替えたものである。内側軸
受３８はあってもよい（図示しない）が、図９の如く第
３スリーブ部４５を直接に軸３１に装着してもよい。第
１，２，３実施例の内側軸受３８に相当する位置で第３
スリーブ部４５を加工して、嵌合部３８ａを形成させ
る。このようにすれば、内側軸受３８が省略でき、部品
数が少なく経済的であるばかりでなく、組立てが簡単と
なる効果もある。各部品の役割は、第３実施例と同様で
あるので説明は省略する。
す。第１実施例、第２実施例と対応する部分には、同一
の参照符を付す。第４実施例の基本構成は第３実施例の
ロール側と反ロール側を入れ替えたものである。内側軸
受３８はあってもよい（図示しない）が、図９の如く第
３スリーブ部４５を直接に軸３１に装着してもよい。第
１，２，３実施例の内側軸受３８に相当する位置で第３
スリーブ部４５を加工して、嵌合部３８ａを形成させ
る。このようにすれば、内側軸受３８が省略でき、部品
数が少なく経済的であるばかりでなく、組立てが簡単と
なる効果もある。各部品の役割は、第３実施例と同様で
あるので説明は省略する。
【００３８】以上の各実施例では、雰囲気設備として竪
型の光輝焼鈍炉２２や横型の真空蒸着炉８２などを示し
ているけれども、竪型と横型とはいずれであってもよ
い。また雰囲気設備は、光輝焼鈍炉や真空蒸着炉ばかり
でなく、大気圧よりも減圧下で操業する塗装装置や洗浄
装置などの有機溶剤取扱設備などであってもよい。特に
光輝焼鈍炉では、安定した回転抵抗が得られるため、赤
熱した炉内金属帯への付加張力制御に外乱がなく、金属
帯の熱処理後の形状が良好になり、品質が向上する。ま
た、摺動によるシール部分が非常に少なくなって、部品
の摩耗や摩耗粉の付着を防ぐことができる。
型の光輝焼鈍炉２２や横型の真空蒸着炉８２などを示し
ているけれども、竪型と横型とはいずれであってもよ
い。また雰囲気設備は、光輝焼鈍炉や真空蒸着炉ばかり
でなく、大気圧よりも減圧下で操業する塗装装置や洗浄
装置などの有機溶剤取扱設備などであってもよい。特に
光輝焼鈍炉では、安定した回転抵抗が得られるため、赤
熱した炉内金属帯への付加張力制御に外乱がなく、金属
帯の熱処理後の形状が良好になり、品質が向上する。ま
た、摺動によるシール部分が非常に少なくなって、部品
の摩耗や摩耗粉の付着を防ぐことができる。
【００３９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、弾性ロー
ルの端面とケーシングの側壁との間で、弾力性を有する
材料による封止と、軸受による回転荷重の支持とを行う
ので、シール性の向上と回転負荷の軽減とを容易に両立
させることができる。また、安定した回転抵抗が得られ
るので、帯体の張力制御を外乱なく安定に行い、雰囲気
処理される帯体の品質を向上させることができる。
ルの端面とケーシングの側壁との間で、弾力性を有する
材料による封止と、軸受による回転荷重の支持とを行う
ので、シール性の向上と回転負荷の軽減とを容易に両立
させることができる。また、安定した回転抵抗が得られ
るので、帯体の張力制御を外乱なく安定に行い、雰囲気
処理される帯体の品質を向上させることができる。
【００４０】また本発明によれば、第２支持部材の第３
フランジ部間に挟持されて形成される空間に、端面封止
部材や外皮部材の弾力性を有する材料から成る部分が入
込み、確実な封止を行うことができることから、雰囲気
ガスの流出が少なく、帯体の雰囲気処理に要する製造コ
ストが安価となる。
フランジ部間に挟持されて形成される空間に、端面封止
部材や外皮部材の弾力性を有する材料から成る部分が入
込み、確実な封止を行うことができることから、雰囲気
ガスの流出が少なく、帯体の雰囲気処理に要する製造コ
ストが安価となる。
【００４１】また本発明によれば、リップシールによっ
て、弾性ロールの端面部のシール性を向上させることが
できる。
て、弾性ロールの端面部のシール性を向上させることが
できる。
【００４２】また本発明によれば、深溝玉軸受を用い
て、弾性ロールの回転負荷を軽減しながら、軸受自体も
封止に寄与させて、一層シール性を高めることができ
る。これによって、先行技術に比べ、摺動によるシー
ル部分が非常に少なくなり、帯体の汚れる原因となるシ
ール材の摩耗粉が発生せず、品質が向上する。先行技
術に比べ、摺動による部品の摩耗がほとんどなく、長期
の連続操業が可能で、生産性が向上する。
て、弾性ロールの回転負荷を軽減しながら、軸受自体も
封止に寄与させて、一層シール性を高めることができ
る。これによって、先行技術に比べ、摺動によるシー
ル部分が非常に少なくなり、帯体の汚れる原因となるシ
ール材の摩耗粉が発生せず、品質が向上する。先行技
術に比べ、摺動による部品の摩耗がほとんどなく、長期
の連続操業が可能で、生産性が向上する。
【００４３】また本発明によれば、固定する第２支持部
材の第３フランジ部と回転する外皮部材の第１スリーブ
部とが接触する箇所の内側の空間に不活性ガスあるいは
炉内雰囲気に近似したガスを封入調節して、雰囲気設備
内の雰囲気ガスの外気への漏出や外気の雰囲気設備内へ
の侵入を確実に防止することができる。また、回転摺動
接触する箇所を不活性ガスが通過するため、一種の流体
シールを形成して摩擦係数が小さくなるとともに、冷却
が行われるので、高速回転時の発熱がなく安定し、高速
化によって生産性が向上する。
材の第３フランジ部と回転する外皮部材の第１スリーブ
部とが接触する箇所の内側の空間に不活性ガスあるいは
炉内雰囲気に近似したガスを封入調節して、雰囲気設備
内の雰囲気ガスの外気への漏出や外気の雰囲気設備内へ
の侵入を確実に防止することができる。また、回転摺動
接触する箇所を不活性ガスが通過するため、一種の流体
シールを形成して摩擦係数が小さくなるとともに、冷却
が行われるので、高速回転時の発熱がなく安定し、高速
化によって生産性が向上する。
【００４４】また本発明によれば、水素などを含んで爆
発や火災の危険性が大きい雰囲気を外気と確実に遮断す
ることができ、安全性が向上する。
発や火災の危険性が大きい雰囲気を外気と確実に遮断す
ることができ、安全性が向上する。
【００４５】また本発明によれば、金属帯の光輝焼鈍を
安全かつ安定に行うことができるとともに、弾性ロール
の回転抵抗が安定して得られるので、赤熱した炉内で金
属帯へ付与する張力が安定するように制御する際の外乱
がなくなり、金属帯の熱処理後の形状も良好で品質も向
上する。さらに、従来先行技術のように、摩擦ワッシャ
やゴムワッシャがスラスト力とロール回転力とによって
連続摩擦され、ねじれ変形や、帯電が発生するようなこ
とがなく、静電気のスパークによる発火の危険に対して
も安全性が向上する。
安全かつ安定に行うことができるとともに、弾性ロール
の回転抵抗が安定して得られるので、赤熱した炉内で金
属帯へ付与する張力が安定するように制御する際の外乱
がなくなり、金属帯の熱処理後の形状も良好で品質も向
上する。さらに、従来先行技術のように、摩擦ワッシャ
やゴムワッシャがスラスト力とロール回転力とによって
連続摩擦され、ねじれ変形や、帯電が発生するようなこ
とがなく、静電気のスパークによる発火の危険に対して
も安全性が向上する。
【００４６】また本発明によれば、固定する第２支持部
材の第３フランジ部と、回転する外皮部材の第１スリー
ブ部とが接触する箇所の内側の空間を真空吸引するの
で、雰囲気設備の圧力が大気圧より小さいようなとき
に、外気が雰囲気設備内に侵入することを確実に防止す
ることができる。
材の第３フランジ部と、回転する外皮部材の第１スリー
ブ部とが接触する箇所の内側の空間を真空吸引するの
で、雰囲気設備の圧力が大気圧より小さいようなとき
に、外気が雰囲気設備内に侵入することを確実に防止す
ることができる。
【００４７】また本発明によれば、減圧下で操業する有
機溶剤取扱設備内への外気の侵入を防止して、安全な操
業を連続的かつ安定に行うことができる。
機溶剤取扱設備内への外気の侵入を防止して、安全な操
業を連続的かつ安定に行うことができる。
【００４８】また本発明によれば、高い真空度を維持し
て、帯体を連続的に通過させることができるので、真空
蒸着を効率的かつ安定に行うことができ、帯体に対する
高品質の真空蒸着膜を形成することができる。
て、帯体を連続的に通過させることができるので、真空
蒸着を効率的かつ安定に行うことができ、帯体に対する
高品質の真空蒸着膜を形成することができる。
【００４９】また本発明によれば、ロール両端の封止部
分での摺動摩擦に伴う帯電を抑制し、可燃性ガスを安全
に封止することができる。
分での摺動摩擦に伴う帯電を抑制し、可燃性ガスを安全
に封止することができる。
【００５０】また本発明によれば、弾性ロールの端部の
封止を、導電性を付与したゴム系弾性体を用いて、安全
かつ確実に行うことができる。
封止を、導電性を付与したゴム系弾性体を用いて、安全
かつ確実に行うことができる。
【図１】本発明の第１実施例の簡略化した構成を示す平
面断面図である。
面断面図である。
【図２】図１の実施例の正面断面図である。
【図３】図１の実施例に好適に使用される深溝玉軸受の
断面図である。
断面図である。
【図４】図１の実施例に好適に使用されるリップシール
の断面図である。
の断面図である。
【図５】本発明の第２実施例の簡略化した平面断面図で
ある。
ある。
【図６】図５の実施例の正面断面図である。
【図７】図５の実施例に好適に使用される雰囲気設備の
簡略化した配管系統図である。
簡略化した配管系統図である。
【図８】本発明の第３実施例の簡略化した平面断面図で
ある。
ある。
【図９】本発明の第４実施例の簡略化した平面断面図で
ある。
ある。
【図１０】雰囲気設備の入口または出口のシール装置の
基本的構成を示す簡略化した正面断面図である。
基本的構成を示す簡略化した正面断面図である。
【図１１】先行技術による弾性ロール端面部の封止構造
を示す簡略化した側断面図である。
を示す簡略化した側断面図である。
２０，７０ シール装置 ２１ 金属帯 ２２ 光輝焼鈍炉 ２３，７３ 弾性ロール ２４ シール板 ２５，７５ ケーシング ２６，７６ 側壁 ２７，７７ 案内溝 ２８ 雰囲気ガス ３１，７１ 軸 ３３ 弾性被覆 ３４ 外皮部材 ３５ 第１支持部材 ３６ 第２支持部材 ３７ 外側軸受 ３７ａ 止め輪 ３８ 内側軸受 ３８ａ 嵌合部 ３９ 端面封止部材 ４０ リップシール ４０ａ 封止ディスク ４１ 第１内向フランジ部 ４２ 第２内向フランジ部 ４３ 第１スリーブ部 ４４ 第２スリーブ部 ４５ 第３スリーブ部 ４６ 第３外向フランジ部 ４７ 傾斜面 ７２ 通気孔 ７２ａ 通気路 ７４ｂ 弾性リング ８０ 不活性ガス供給装置 ８１ 合成樹脂フィルム ８２ 真空蒸着炉 ８３ 真空吸引装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ２７Ｄ 7/06 Ｆ２７Ｄ 7/06 Ｂ // Ｂ０５Ｃ 9/14 Ｂ０５Ｃ 9/14
Claims (12)
- 【請求項１】 帯体の連続的雰囲気処理を行うため、雰
囲気設備の入口または出口で少なくとも外表面を弾力性
にした一対のロールで帯体を挟持するシール装置であっ
て、 前記一対のロールを外囲するケーシングと、 各ロールの外周面に弾力的に当接され、各ロールとケー
シングとの間を封止するシール板と、 各ロールの両端に設けられ、ロールの端面に当接する第
１フランジ部と、第１フランジ部の外周部からロールの
軸線方向外方に延びる第１スリーブ部とを有し、弾力性
を有する材料から成る外皮部材と、 各ロールの両端で、第１フランジ部の外表面に接合され
る第２フランジ部と、第２フランジ部の外周部からロー
ルの軸線方向外方に延びる第２スリーブ部とを有し、剛
性を有する材料から成る第１支持部材と、 各ロールの両端で、第２フランジ部よりもロールの軸線
方向外方で、ロールの軸と第２スリーブ部との間に配置
される第３スリーブ部と、第３スリーブ部のロール軸線
方向外方の端面からロールの半径方向に延びる第３フラ
ンジ部とを有し、剛性を有する材料から成る第２支持部
材と、 各ロールの両端で、第３スリーブ部と第２スリーブ部と
の間に介在され、ラジアル力とスラスト力とを受ける外
側軸受と、 各ロールの両端で、第３スリーブ部とロールの軸との間
に介在される内側軸受と、 各ロールの両端で、ケーシングの側壁面と第２支持部材
の第３フランジ部との間に介在され、少なくともロール
の半径方向外方側は弾力性を有する材料から成る端面封
止部材とを含むことを特徴とする雰囲気設備の入口また
は出口のシール装置。 - 【請求項２】 第２支持部材の第３フランジ部は、その
外周にロールの軸線方向外方に向かって径が減少するよ
うな傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項１
記載の雰囲気設備の入口または出口のシール装置。 - 【請求項３】 第２支持部材の第３スリーブ部と第１支
持部材の第２スリーブ部との間で、前記外側軸受よりも
ロールの軸線方向外方に、第３スリーブ部と第２スリー
ブ部との間を封止するリップシールが設けられることを
特徴とする請求項１記載の雰囲気設備の入口または出口
のシール装置。 - 【請求項４】 前記外側軸受は、深溝玉軸受であること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の雰囲気設
備の入口または出口のシール装置。 - 【請求項５】 前記側壁面と端面封止部材を介して接合
される第２支持部材の第３フランジ部と、ロールととも
に回転する外皮部材とが回転摺動接触をする箇所から内
側の空間に、ロールの軸内部に設けたガス流路を経由し
て不活性ガス、あるいは炉内雰囲気ガスに近似したガス
を注入する手段が設けられることを特徴とする請求項１
〜４のいずれかに記載の雰囲気設備の入口または出口の
シール装置。 - 【請求項６】 前記雰囲気設備内に、水素ガスを含む可
燃性雰囲気ガスが、大気圧よりも若干高い圧力状態に保
持され充満されていることを特徴とする請求項１〜５の
いずれかに記載の雰囲気設備の入口または出口のシール
装置。 - 【請求項７】 前記帯体は金属帯であり、 前記雰囲気設備は光輝焼鈍炉であることを特徴とする請
求項１〜６のいずれかに記載の雰囲気設備の入口または
出口のシール装置。 - 【請求項８】 前記側壁面と端面封止部材を介して接合
される第２支持部材の第３フランジ部と、ロールととも
に回転する外皮部材とが回転摺動接触をする箇所から内
側の空間を、ロールの軸内部に設けたガス流路を経由し
て真空吸引する手段が設けられることを特徴とする請求
項１〜４のいずれかに記載の雰囲気設備の入口または出
口のシール装置。 - 【請求項９】 前記雰囲気設備は、大気圧より減圧下で
操業する有機溶剤取扱設備であることを特徴とする請求
項１〜４または８のいずれかに記載の雰囲気設備の入口
または出口のシール装置。 - 【請求項１０】 前記雰囲気設備は、真空蒸着炉である
ことを特徴とする請求項１〜４または８のいずれかに記
載の雰囲気設備の入口または出口のシール装置。 - 【請求項１１】 前記外皮部材および前記端面封止部材
は、電気比抵抗値が１〜１０7Ω・ｃｍの主として弾性
体から成ることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか
に記載の雰囲気設備の入口または出口のシール装置。 - 【請求項１２】 前記弾性体は、天然ゴム、イソプレン
ゴム、ＳＢＲ、ＮＢＲ、ＣＲ、ブチルゴム、多硫化ゴ
ム、シリコンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、クロロ
スルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ブタジ
エンゴム、ＥＰＤＭ、アクリルゴム、またはヒドリンゴ
ムであることを特徴とする請求項１１記載の雰囲気設備
の入口または出口のシール装置。
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