KR100194926B1 - 구동회로 일체형 액정표시소자 및 제조방법 - Google Patents

구동회로 일체형 액정표시소자 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

구동회로 일체용 액정표시소자는 기판 위에 버퍼층과 반도체층을 형성한 후, 마스크를 사용하여 화소부와 구동회로부의 A영역을 n+도핑하여 반도체층에 n+층을 형성하며 구동회로부의 B영역에는 p+도핑을 실시하여 반도체층에 p+층을 형성한다. 화소박막트랜지스터는 n-도핑에 의해 LDD구조로 되며, 구동회로부는 NMOS 박막트랜지스터와 PMOS 박막트랜지스터로 구성된 CMOS 박막트랜지스터가 형성한다. 기판과 버퍼층 사이에는 블랙매트릭스가 형성되어 있어 포토레지스트의 패턴시 마스크가 불필요하게 되며 개구율도 향상된다.

Description

구동회로 일체형 액정표시소자 및 제조방법
제1a~제1h도는 종래의 구동회로 일체형 박막트랜지스터의 제조방법을 나타내는 도면.
제2a~제2j도는 본 발명에 따른 구동일체형 박막트랜지스터 제조방법을 나타내는 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
101 : 기판 102 : 블랙매트릭스
103 : 버퍼층 104a,104b,104c : 반도체층
105 : 게이트절연막 106a,106b,106 : 게이트전극
107 : 층간절연막 109 : 투명전극
120a,120b : 포토레지스트 106d : 주사선
112a : 채널층 112b : n-층
112c : n+층 112d : p+층
본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로, 특히 화소구동용 박막트랜지스터와 구동회로부를 하나의 공정으로 액정표시장치의 패널에 일체로 형성한 구동회로 일체형 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
대면적이고 고화질의 액정표시장치에 사용되고 있는 액티브매트릭스 액정표시장치(Active Matrix LCD)는 각 화소마다 형성되어 상기한 화소를 작동시키는 화소(pixel)구동용 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 상기한 화소구동용 박막트랜지스터를 작동하며 주사선(gate line)과 신호선(data line)에 신호를 인가하는 구동회로부가 형성되어 있다.
구동회로부는 일반적으로 2가지의 형태로 나눌 수 있는데, 하나는 액정패널의 외부기판에 상기한 화소구동용 TFT와는 별개로 집적회로를 형성하여 상기한 액정패널에 접속시킨 외부신호선구동 집적회로이고, 다른 하나는 화소구동형 TFT와 일체로 액정패널 위에 형성한 구동회로 일체형 TFT이다. 이러한 구동회로 일체용 TFT에서 주로 사용되는 것은 전계효과 이동도가 큰 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) TFT이다. 이 CMOS TFT는 비정질실리콘으로 구성된 외부신호선구동 직접회로에 비해 다결정실리콘으로 구성되어 스위칭효과가 대단히 크다. 또한, 상기한 CMOS TFT로 이루어진 구동회로 일체형 TFT는 화소구동용 TFT와 하나의 공정으로 제적할 수 있으므로 제조비용이 훨씬 절감되는 장점도 있다.
제1a~제1h도는 종래의 구동회로 일체형 액정표시소자의 제조방법을 나타내는 도면으로, 기판(1)은 각각 화소부와 구동회로부와 나누어진다. 또한, 구동회로부는 각각 A, B영역으로 나누어져 A영역에는 NMOS TFT가 형성되고, B영역에는 PMOS TFT가 형성된다. 우선, 제1a도에 나타낸 바와 같이 기판(1) 위에 버퍼층(3)을 형성한 후, 다결정실리콘을 성막하고 패터닝하여 화소부와 구동회로부에 반도체층(4a),(4b),(4c)을 형성한다. 화소부에는 1개의 반도체층이 형성되고 구동회로부에는 2개의 반도체층이 형성되는데, 화소부에 형성된 반도체층(4a)은 화소 TFT용이며, 구동회로부에 형성된 반도체층은 각각 NMOS와 PMOS TFT용이다.
그리고, 제1b도에 나타낸 바와 같이 기판(1) 전체에 걸쳐서 SiO2나 SiNx와 같은 절연막(5), Al이나 Al합금 또는 Cr 등의 금속막(6), 포토레지스트(20a)를 순차적으로 형성한 후, 제1c도에 나타낸 바와 같이 사진식각공정으로 상기한 절연막(5)과 금속막(6)을 패터닝을 하여 게이트절연막(5)과 게이트전극(6a),(6b),(6c)을 형성한다. 이어서, 제1d도에 나타낸 바와 같이 기판(1)에 전체에 걸쳐서 저농도의 n-도핑을 실시하면, 게이트전극(6a),(6b),(6c)이 상기한 이온을 아래를 제외한 영역이 n-층(12b)이 되며, 게이트전극(6a),(6b),(6c)의 아래의 영역은 채널층(12a)으로 된다.
이후, 제1e도에 나타낸 바와 같이 LDD구조를 형성하기 위해 포토레지스트(20b)를 도포하고 패터닝하여 구동회로부의 B영역과 화소부의 게이트전극(6a)과 활성층의 일부분을 블로킹한 상태에서 고농도의 n+도핑을 실시한다. 즉, 화소부에 형성되는 포토레지스트(20b)는 게이트전극(6a) 보다 크고 반도체 층보다 작은 폭으로 형성되어 n+도핑시 이온이 n-층(12b)의 일부분에만 도핑되도록 한다. 따라서, 상기한 n+도핑에 의해 화소부와 구동회로부의 A영역의 반도체층에는 n+층(12c)이 형성되는데, 특히 화소부의 반도체층에는 고농도의 n+층(12c)과 저농도의 n-층(12b)이 형성되어 LDD(Light Doped Drain)구조가 된다.
제1f도에 나타낸 바와 같이, 포토레지스트(20b)를 제거하고 다시 포토레지스트(20c)를 도포하고 패터닝하여 화소부와 구동회로부의 A영역을 블로킹한 상태에서 고농도의 p+도핑을 실시하면, 구동회로부의 B영역에는 p+층(12d)이 형성된다. 이러한, 도핑방법을 카운터도핑(counter doping) 방식이라 하는데, n-도핑시 반도체층에 도핑되는 이온의 농도(concentration)은 약 1016~1018c/㎥ 정도이고, p+도핑시 반도체층에 도핑되는 이온의 농도는 약 1019~1021c/㎥정도이기 때문에, p+도핑에 의해 n-층(12b)이 p+층(12d)으로 변환된다.
따라서, 화소부에는 n+층(12c) 및 n-층(12b)으로 된 LDD(Light Doped Drain) 구조의 박막트랜지스터가 형성되며, 구동회로부에는 n+층(12c)이 형성된 NMOS TFT와 p+층(12d)이 형성된 PMOS TFT로 이루어진 CMOS TFT가 형성된다.
이후, 제1g도에 나타낸 바와 같이 상기한 포토레지스트(20c)를 제거하고 기판(1)에 전체에 걸쳐서 SiNx와 같은 층간절연막(7)을 성막한 후, 패터닝하여 컨택트홀을 형성하고, Al과 같은 금속을 성막하고 패터닝하여 소스/드레인전극(8)을 형성한다. 그리고, 제1h도에 나타낸 바와 같이 ITO(Induim Tin Oxide)를 성막하고 패터닝하여 투명전극(9)을 형성한 후, 보호막(10)을 성막하여 화소부에는 LDD구조의 TFT가, 구동회로부에는 CMOS가 형성된 구동회로 일체형 액정표시소자가 완성된다.
그리고, 도면에는 표시하지 않았지만, 보호막을 형성한 후 구동회로부와 액정패널 외부에 장착된 외부구동회로를 접속하기 위해 상기한 보호막을 패터닝하여 패드오픈영역을 형성하며, 이어서 배향막을 형성하고 러빙을 실시하여 액정패널을 완성한다. 또한, 상판에는 빛이 누설되는 것을 방지하기 위한 블랙매트릭스(black matrix) 형성공정이 필요하게 된다.
그러므로, 상기한 방법에 의해 제조되는 종래의 구동회로 일체형 액정표시소자는 그 공정시에 반도체층 패턴용, n+도핑을 위한 포토레지스트 패턴용, 게이트절연막 및 게이트전극 패턴용, p+도핑을 위한 포토레지스트 패턴용, 컨택트홀 형성용, 소스/드레인전극 형성용, 투명전극 형성용, 보호막의 패드오픈용, 블랙매트릭스 형성용 등의 10개의 마스크가 필요하게 되어 공정이 복잡하게 되므로, 수율이 저하되고 비용이 증가하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 간단한 공정으로 블랙매트릭스 및 화소부와 구동회로부를 일체로 형성하여 비용을 절감할 수 있고 개구율을 향상시킬 수 있는 구동회로 일체형 액정표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 구동회로 일체형 액정표시소자의 제조방법은 기판 위에 블랙매트릭스(Black Matrix)를 형성한 후 패터닝하는 단계와, 버퍼층(buffer layer)을 형성하는 단계와, 상기한 버퍼층 위에 반도체층을 형성하는 단계와, 반도체층이 형성된 기판 위에 포토레지스트를 도포하고 패터닝하여 구동회로부의 한쪽 반도체층과, 상기한 구동회로부의 다른쪽 반도체층의 일부 및 화소부의 반도체층의 일부를 블로킹한 상태에서 n+도핑하여 화소부의 반도체층과 구동회로부의 한쪽 반도체층에 n+층을 형성하는 단계와, 포토레지스트를 제거하고 게이트절연막을 성막한 후 게이트금속을 성막하고, 패터닝하여 게이트전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막을 패터닝한 후 게이트전극을 마스크로 하여 n-도핑하는 단계와, 포토레지스트를 도포하고 패터닝하여 화소부 및 구동회로부의 n+층이 형성된 반도체층을 블로킹한 상태에서 p+도핑하여 구동회로부의 다른쪽 반도체층에 p+층을 형성하는 단계와, 층간절연막을 성막하고 패터닝하여 컨택트홀을 형성하는 단계와, 상기한 컨택트홀 및 화소부의 화소영역에 투명전극을 형성하는 단계로 구성된다.
화소부에 형성되는 게이트전극은 구동회로부에 형성된 게이트전극 보다 작은 폭으로 형성되어 n-도핑시 화소부의 n+층과 채널층 사이에 n-층이 형성되어 화소부에는 n+층, n-층, 채널층으로 이루어진 LDD구조의 박막트랜지스터가 형성된다.
기판 위에 형성되는 반도체층은 다결정실리콘으로 이루어진 반도체층으로 비정질실리콘을 성막한 후 레이저어닐링을 실시하여 다결정반도체층을 형성한다.
이러한 제조공정에서 사용되는 마스크로서는 블랙매트릭스 패턴용, 반도체층 패턴용, 게이트전극 형성용, p+도핑을 위한 포토레지스트 패턴용, 컨택트홀 형성용, 투명전극 형성용 등의 6개의 마스크가 사용된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 구동회로 일체용 액정표시소자의 제조방법을 상세히 설명한다.
제2a~j도는 본 발명에 따른 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법을 나타내는 도면으로, 기판(101)은 화소구동용 TFT가 형성되는 화소부와 CMOS TFT가 형성되는 구동회로부로 구분되는데, 구동회로부는 NMOS가 형성되는 영역과 PMOS가 형성되는 영역으로 구분된다. 본 실시예에서는 NMOS가 형성되는 영역을 A, PMOS가 형성되는 영역을 B로 나타낸다. 우선, 제2a도에 나타낸 바와 같이 상기한 기판(101) 위에 검은색 수지(black resin) 등을 도포하고 패터닝하여 블랙매트릭스(102)를 형성한다. 블랙매트릭스(102)는 투과형 액정표시장치에서 화상을 나타내는 부분인 화소영역 이외의 영역으로 빛이 새어나가는 것을 방지하기 위한 것으로, 도면에 나타낸 바와 같이 화소부의 TFT가 형성되는 부분과 주사선이 형성되는 부분에 상기한 화소전극의 가장자리부분과 겹치도록 성막된다.
이어서, 제2b도에 나타낸 바와 같이 기판(101) 전체에 걸쳐서 버퍼층(103)를 성막한다. 그리고, 상기한 버퍼층(103) 위에 제2c도에 나타낸 바와같이 비정질실리콘을 성막한 다음, 엑시머(exmer)레이저를 1회 조사하여 어닐링(annealing)을 실시하고 패터닝하여 반도체층(104a),(104b),(104c)을 형성한다. 이 레이저어닐링에 의해 비정질실리콘이 다결정실리콘으로 결정화된다. 또한, 이 반도체층은 화소부에 1개, 구동회로부의 각 영역(A),(B)에 각각 1개씩 형성되는데, 화소부에 형성된 반도체층(104a)은 화소를 구동하는 화소 TFT용이고, 구동회로부에 형성된 반도체층(104b),(104c)은 각각 상기한 화소 TFT를 구동하며 주사선 및 신호선에 신호를 인가하기 위한 CMOS TFT용이다. 여기서, 반도체층을 저온(약 550℃이하)에서 증착한 다결정실리콘을 성막한 후 패터닝하는 방법으로 형성할 수도 있다.
이후, 제2d도에 나타낸 바와 같이 포토레지스트(120a)를 도포하고 패터닝한다. 이 포토레지스트(120a)는 음성 포토레지스트(negative photoresist)로서 배면노광(back illumation)에 의해 상기한 블랙매트릭스(102)에 의해 빛이 차단된 부분의 음성 포토레지스트(102a)만이 제거된다. 따라서, 음성 포토레지스트(120a)를 제거하기 위해 별도의 마스크가 필요없게 된다. 그러므로, 상기한 블랙매트릭스(102)는 액정표시장치가 작동할 때, 화소 이외의 부분으로 빛이 새어나가는 것을 방지할 뿐만 아니라 제조과정에서의 음성 포토레지스트를 제거할 때에도 사용된다. 그리고, 상기한 블랙매트릭스(102)는 구동회로부의 B영역에는 형성되어 있지 않으므로, 상기한 B영역의 반도체층(104b)은 전체가 포토레지스트(102a)에 의패 덮여지며, 그 외의 화소부의 반도체층(104a)과 구동회로부의 A영역의 반도체층(104b) 위에는 중앙에만 포토레지스트(120a)가 형성된다.
이어서, 제2e도에 나타낸 바와 같이 기판(101) 전체에 걸쳐서 n+도핑을 실시하면, 화소부의 반도체층(104a)과 구동회로부의 A영역의 반도체층(104b)에서는 음성 포토레지스트(120a)에 의해 블로킹된 영역은 채널층(112a)으로 되고 이온이 도핑된 영역은 n+층(112c)이 되지만, 구동회로부의 B영역의 반도체층(104c)은 포토레지스트(120a)에 의해 전체가 블로킹되어 아무런 변화가 일어나지 않는다. 그리고, 제2f도에 나타낸 바와 같이 상기한 포토레지스트(120a)를 제거하고 기판(101) 전체에 걸쳐서 SiO2또는 SiNx 등과 같은 게이트절연막(105)을 성막한 후, 그 위에 Al, Al합금, Cr등의 금속을 스퍼터링(sputtering) 방법으로 성막하고 패터닝하여 게이트전극(106a),(106b),(106c) 및 금속층(106d)을 형성하고, 이어서 제2g도에 나타낸 바와 같이 게이트전극(106a),(106b),(106c) 및 금속층(106d)을 마스크로 하여 게이트절연막(105)을 제거한다. 또한, 상기 게이트전극(106a),(106b),(106c)을 마스크로 하여 n-도핑을 실시한다. 구동회로부의 A영역의 반도체층(104b)에는 게이트전극(106b)에 의해 블로킹된 영역을 제외한 부분, 즉 n+층(112c)에 n-이온이 도핑되지만, A영역의 반도체층(104b)에 형성되어 있는 n+층(112c)은 n-도핑에 의해 전혀 영향을 받지 않으므로, 계속해서 n+층(112c)을 유지하게 되며 구동회로부의 B영역의 반도체층(4c)에는 n-층(112b)이 형성된다. 또한, 화소부의 게이트전극(106a)은 상기한 구동회로부의 게이트전극(106b),(106c) 보다 작은 폭으로 형성되기 때문에 반도체층(104a)에는 n-이온이 도핑에 의해 n-층(112b)이 형성되어 LDD구조가 된다.
이어서, 제2h도에 나타낸 바와 같이 양성 포토레지스트(120b)를 도포하고 패터닝하여 화소영역 및 구동회로부의 A영역을 블로킹한 상태에서 p+도핑을 실시한다. 이 도핑에 의해 구동회로부의 B영역의 n-층(112b)이 형성되어 있던 반도체층(104c)이 p+층(112d)으로 되어 구동회로부에는 NMOS TFT와 PMOS TFT로 구성된 CMOS TFT가 형성되는데, 상기한 방법과 같은 도핑방법을 카운터도핑방식이라 한다. 그리고, 제2i도에 나타낸 바와 같이 상기한 포토레지스트(120b)를 제거한후, SiNx이나 SiOx등의 층간절연막(107)을 성막하고 패터닝하여 컨택트홀을 형성하고, 이어서 제2j도에 나타낸 바와 같이 투명전극(109)인 ITO를 성막하고 패터닝하여 화소전극 및 소스/드레인전극을 형성하여 구동회로 일체형 액정표시소자를 완성한다.
그러므로, 액정패널에는 화소전극을 구동하는 화소 TFT와 상기한 화소 TFT를 구동하며 신호선 및 주사선에 신호를 인가하는 CMOS가 일체로 형성된다.
본 발명에서는 종래와는 달리 보호막을 형성하지 않고 배향막을 상기한 기판전체에 성막한 후 러빙을 실시하여 액정패널을 형성하므로, 보호막의 패드오픈 마스크가 필요없게 된다.
그리고, 구동회로 일체용 박막트랜지스터를 제조하는 상기한 공정에서 사용되는 마스크를 블랙매트릭스 패턴용, 반도체층 패턴용, 게이트전극 형성용, p+도핑을 위한 포토레지스트 패턴용, 컨택트홀 형성용, 투명전극 형성용 등의 6개의 마스크가 필요하게 되어 종전 공정에 비해 사용되는 마스크의 수가 줄어들게 된다.
본 발명은 상기한 바와 같이 화소부의 화소 TFT와 회로구동부의 CMOS가 일체로 형성될 뿐만 아니라, 사용되는 마스크의 수도 감소하므로 공정이 간단하게 되어 수율이 향상되고 제조비용이 절감된다. 또한, 블랙매트릭스를 화소 TFT와 CMOS 아래에 동일한 공정으로 형성하였으므로, 개구율이 향상되어 화질이 좋은 액정표시 장치를 제공할 수 있게 된다.

Claims (21)

  1. 화소부와 구동회로부로 나뉘어진 기판 위에 블랙매트릭스를 형성하는 단계와, 블랙매트릭스가 형성된 상기한 기판에 버퍼층을 형성하는 단계와, 상기한 버퍼층 위에 다결정 반도체층을 형성하는 단계와, 반도체층이 형성된 상기한 화소부의 반도체층 및 구동회로부의 한쪽 반도체층에 제1불순물층을 형성하는 단계와, 게이트절연막을 성막한 후 게이트전극 및 주사선을 형성하는 단계와, 상기한 화소부의 반도체층에 제2불순물층을 형성하는 단계와, 구동회로부의 다른쪽 반도체층에 제3불순물층을 형성하는 단계와, 상기한 구동회로부 및 화소부 전체에 걸쳐서 컨택트홀을 가지는 층간절연막을 형성하는 단계와, 상기한 컨택트홀 및 화소영역에 투명전극을 형성하는 단계로 구성된 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 제1불순물층, 제2불순물층, 제3불순물층이 각각 n+층, n-층, p+층인 것을 특징으로 하는 구동회로 일체형 액정표시소자 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 다결정반도체층을 형성하기 위해, 비정질반도체층을 형성하는 단계와, 상기한 비정질반도체층에 레이저를 조사하여 어니링을 실시하는 단계가 추가로 포함된 것을 특징으로 하는 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 제1불순물을 형성하기 위해 음성 포토레지스트를 도포하고 패터닝하는 단계가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기한 음성 포토레지스트의 패터닝이 배면노광에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기한 화소부에 형성된 게이트전극이 상기한 반도체층에 형성된 불순물이 도핑되지 않은 영역 보다 작은 폭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기한 컨택트홀에 성막되는 투명전극이 ITO인 것을 특징으로 하는 구동회로 일체용 액정표시소자 제조방법.
  8. 기판 위에 블랙매트릭스를 형성하는 단계와, 블랙매트릭스가 형성된 상기한 기판 전체에 걸쳐서 버퍼층을 형성하는 단계와, 상기한 버퍼층 위에 다결정반도체층을 형성하는 단계와, 상기한 반도체층 위에 제1불순물층 및 채널층을 형성하는 단계와, 반도체층이 형성된 상기한 기판 전체에 걸쳐서 게이트절연막을 형성하는 단계와, 상기한 게이트절연막 위에 상기한 채널층 보다 작은 쪽으로 게이트전극을 형성하는 단계와, 상기한 제1불순물층과 채널층 사이에 제2불순물층을 형성하는 단계와, 게이트전극과 제1불순물층 및 제2불순물층이 형성된 기판 전체에 걸쳐서 컨택트홀을 가진 층간절연막을 형성하는 단계와, 상기한 층간절연막 및 컨택트홀에 투명전극을 성막하여 소스/드레인 전극을 형성하는 단계로 구성된 액정표시소자의 LDD구조 박막트랜지스터 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기한 제1불순물층 및 제2불순물층이 각각 n+층 및 n-층인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 LDD구조 박막트랜지스터 제조방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기한 제1불순물층을 형성하기 위해 음성 포토레지스트를 도포하고 패터닝하는 단계가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 LDD구조 박막트랜지스터 제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 음성 포토레지스트의 패터닝이 배면노광에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 LDD구조 박막트랜지스터 제조방법.
  12. 기판 위에 블랙매트릭스를 형성하는 단계와, 블랙매트릭스가 형성된 상기한 기판 전체에 걸쳐서 버퍼층을 형성하는 단계와, 상기한 버퍼층 위에 복수의 다결정반도체층을 형성하는 단계와, 한쪽 반도체층 위에 제1불순물층 및 채널층을 형성하는 단계와, 반도체층이 형성된 상기한 기판 전체에 걸쳐서 게이트절연막을 형성하는 단계와, 상기한 게이트절연막 위에 상기한 채널층과 동일한 폭으로 복수의 게이트전극을 형성하는 단계와, 다른쪽 반도체층에 제3불순물층 및 채널층을 형성하는 단계와, 상기한 기판 전체에 거쳐서 컨택트홀을 가진 층간절연막을 형성하는 단계와, 상기한 층간절연막 및 컨택트홀에 투명전극을 성막하여 소스/드레인 전극을 형성하는 단계로 구성된 액정표시소자의 CMOS 박막트랜지스터 제조방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기한 제1불순물층 및 제3불순물층이 각각 n+층 및 p+층인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 CMOS 박막트랜지스터 제조방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기한 제1불순물층을 형성하기 위해, 음성 포토레지스트를 도포하고 패터닝하는 단계가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 CMOS 박막트랜지스터 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기한 음성 포토레지스트의 패터닝이 배면노광에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 CMOS 박막트랜지스터 제조방법.
  16. 구동회로부 및 화소부로 이루어진 기판과, 상기한 구동회로부 및 화소부에 각각 형성된 복수의 블랙매트릭스와, 블랙매트릭스가 형성된 상기한 기판 전체에 걸쳐서 형성된 버퍼층과, 제1불순물층, 채널층, 게이트절연막, 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터 및 제3불순물층, 채널층, 게이트절연막, 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터로 이루어진 구동회로부에 형성된 CMOS 박막트랜지스터와, 제1불순물층, 제2불순물층, 채널층, 게이트절연막, 게이트전극을 포함하는 화소영역에 형성된 화소 박막트랜지스터와, 상기한 기판의 구동회로부 및 화소부위에 형성된 컨택트홀을 가진 층간절연막과, 상기한 층간절연막 위의 화소영역과 및 컨택트홀에 형성된 화소전극 및 소스/드레인 전극으로 구성된 구동회로 일체형 액정표시소자.
  17. 제16항에 있어서, 상기한 제1불순물층, 제2불순물층, 제3불순물층이 각각 n+층, n-층, p+층인 것을 특징으로 하는 구동회로 일체형 액정표시소자.
  18. 제16항에 있어서, 상기한 화소 박막트랜지스터가 LDD구조인 것을 특징으로 하는 구동회로 일체형 액정표시소자.
  19. 제16항에 있어서, 상기한 화소전극 및 소스/드레인 전극이 ITO(Indium Tin Oxide)인 것을 특징으로 하는 구동회로 일체형 액정표시소자.
  20. 제1항에 있어서, 상기한 제3불순물층을 형성하기 위해 양성 포토레지스트를 도포하고 패터닝하는 단계가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 구동회로 일체형 액정표시소자 제조방법.
  21. 제12항에 있어서, 상기한 제3불순물층을 형성하기 위해, 양성 포토레지스트를 패터닝하는 단계가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 CMOS 박막트랜지스터 제조방법.
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