KR0179855B1 - 마킹장치가 구비된 얼라이너 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마킹(MARKING)장치가 구비된 얼라이너(ALIGNER)에 관한 것으로, 종래에는 마킹장치와 노광(EXPOSURE)을 실시하기 위하여 조준/정렬을 하는 얼라이너가 별도로 구성되어 있어서, 시간의 절감에 따른 생산성을 향상시키는데 한계가 있는 문제점이 있었던 바, 본 발명은 노광장비의 조명계(10)에서 공급되는 광원을 이용하여 마킹을 실시할 수 있도록 하나의 장비에 마킹장치와 얼라이너를 구성하여, 웨이퍼 이동시간의 절감에 따른 생산성 향상의 효과가 있다.

Description

마킹장치가 구비된 얼라이너
제1도는 종래 마킹장치의 구성을 보인 개략구성도.
제2도는 본 발명 마킹장치가 구비된 얼라이너의 구성을 보인 개략구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 조명계 10a : 광케이블
11 : 확산렌즈 12 : 마스크
13 : 마스크 모듈 14 : 렌즈
15 : 셔터 16 : 스테이지
16a : 척 W : 웨이퍼
본 발명은 마킹장치가 구비된 얼라이너에 관한 것으로, 특히 얼라이너에서 마킹을 실시할 수 있도록 하여 시간의 절감에 따른 생산성을 향상시키도록 하는데 적합한 마킹장치가 구비된 얼라이너에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 제조공정 중 노광(EXPOSURE)공정을 실시하기 전에는 얼라이너(ALIGNER)를 이용한 조준 또는 정렬작업이 필요하고, 노광을 실시한 후에는 별도의 마킹장치로 웨이퍼를 이동하여 웨이퍼(WAFER)에 롯드 넘버(LOTNUMBER) 등을 기록하는 마킹(MARKING)을 실시한다.
상기와 같이 종래의 일반적인 마킹을 위한 마킹장치가 제1도에 도시되어 있는바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.
제1도는 종래 마킹장치의 구성을 보인 개략구성도로서, 도시된 바와 같이, 종래 마킹장치는 문자인쇄를 위한 광원을 공급해 주는 수은 램프(1)의 하부에 여러가지 문자가 표시되어 있는 마스크(MASK)(2)가 설치되어 있고, 그 마스크(2)의 하부에는 광원을 웨이퍼(W)에 공급하기 위한 렌즈(3)가 설치되어 있다.
그리고, 상기 렌즈(3)의 하부에는 웨이퍼(W) 표면에 문자를 인쇄할 수 있는 공정부(4)가 설치되어 있고, 그 공정부(4)의 일측에는 웨이퍼(W)를 로딩(ROADING)하기 위한 센더(5)가 설치되어 있으며, 타측에는 작업이 완료된 웨이퍼(W)를 언로딩(UNROADING) 할 수 있는 리시버(RECEIVER)(6)가 설치되어 있다.
상기와 같이 구성되어 있는 종래 마킹장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
센더(5)에서 공정부(4)에 웨이퍼(W)가 이송되면 일정 프로그램에 의해 인쇄할 문자가 선택되며, 문자 선택이 완료되면, 광원인 수은 램프(1)을 이용하여 마스크(2)와 렌즈(3)를 통하여 웨이퍼(W) 상에 도포된 감광제를 반응시켜 문자를 인쇄시키며, 인쇄가 완료된 웨이퍼(W)는 리시버(6)를 통하여 언로딩된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 마킹공정은 얼라인과 노광을 실시한 후의 공정으로 노광을 실시하기 전의 공정인 얼라인 공정과는 별도로 구성된 장치에서 실시되며, 따라서 웨이퍼 이동시간의 절감에 따른 생산성의 향상에 한계가 있는 문제점이 있었다.
이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 얼라이너에서 마킹을 실시할 수 있도록 함으로써, 시간의 절감에 따른 생산성의 향상에 적합한 마킹장치가 구비된 얼라이너를 제공함에 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 조명계의 하측으로 웨이퍼가 고정된 척을 이동시키기 위한 스테이지가 설치되어 있는 정렬노광장비에 있어서, 상기 조명계의 일측에 연결되는 광케이블과, 그 광케이블을 통하여 공급되는 광원을 확산시키기 위한 확산렌즈와, 여러 종류의 인쇄할 문자가 새겨있는 마스크와, 그 마스크를 선택적으로 구동할 수 있는 마스크 모듈과, 광원을 웨이퍼에 보내기 위한 렌즈와, 광원을 임의 시간동안 선택적으로 개, 폐할 수 있는 셔터를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 마킹장치가 구비된 얼라이너가 제공된다.
이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 마킹장치가 구비된 얼라이너의 실시례를 첨부된 도면을 참고로 하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
얼라이너의 조명계(ILLUMINATOR)(10) 일측으로 광케이블(10a)이 연결되어 있고, 상기 광케이블(10a)의 하부에는 광원을 확산시키기 위한 확산렌즈(11)가 설치되어 있으며, 그 확산렌즈(11)의 하부에는 여러 종류의 인쇄할 문자가 새겨있는 마스크(12)가 설치되어 있다.
그리고, 상기 마스크(12)의 하부에는 그 마스크(12)를 선택적으로 구동할 수 있는 마스크 모듈(MASK MODULE)(13)이 설치되어 있고, 그 마스크 모듈(13)의 하부에는 광원을 웨이퍼에 보내주기 위한 렌즈(14)가 설치되어 있으며, 그 렌즈(14)의 하부에는 광원을 임의 시간동안 선택적으로 개,폐할 수 있는 셔터(15)가 설치되어 있고, 그 셔터(15)의 하부에는 웨이퍼(W)을 이동시키기 위한 척(16a)이 구비된 스테이지(16)가 설치되어 있다.
즉, 얼라이너의 조명계(10) 일측에 조명계(10)의 빛을 이용하여 마킹을 실시할 수 있도록 마킹장치가 설치되어 있다.
상기와 같이 구성되어 있는 마킹장치가 구비된 얼라이너의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
정렬 및 노광공정을 실시하기 위하여 웨이퍼(W)를 스테이지(16) 상면에 설치되어 있는 척(16a)의 상면에 올려 놓으면 스테이지(16)가 제2도의 점선으로 표시된 것과 같이 마킹장치의 렌즈(14) 하측으로 이동한다.
그런 다음, 렌즈(14)의 셔터(15)가 개방되어 조명계(10)에서 공급되는 광원이 확산렌즈(11), 마스크(12), 렌즈(14)를 통하여 웨이퍼(W)의 상면에 도포되어 있는 감광제를 반응시켜 마킹공정이 완료된다.
상기와 같이 마킹공정이 완료된 다음에는 스테이지(18)가 이동하여 웨이퍼(W)를 조명계(10)의 하측에 위치되도록 하고, 얼라인 및 노광을 순차적으로 실시한다.
상기와 같이 노광을 실시하기 이전에 마킹공정과 얼라인 공정을 순차적으로 실시하는 방법을 예로 설명하였으나, 꼭 그에 한정하는 것은 아니며, 노광 공정 중 하나의 장비 안에서 정렬, 노광을 완료하고 특정 스테이지 부분에서 마킹공정을 실시할 수도 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명의 마킹장치가 구비된 얼라이너는 마킹공정과 아울러 노광 실시하기 위한 얼라인 공정을 하나의 장비에서 실시할 수 있도록 함으로써, 종래의 마킹공정과 얼라인 공정을 별도로 하는 경우보다 시간의 절감에 따른 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 조명계의 하측으로 웨이퍼가 고정된 척을 이동시키기 위한 스테이지가 설치되어 있는 정렬노광장비에 있어서, 상기 조명계의 일측에 연결되는 광케이블과, 그 광케이블을 통하여 공급되는 광원을 확산시키기 위한 확산렌즈와, 여러 종류의 인쇄할 문자가 새겨있는 마스크와, 그 마스크를 선택적으로 구동할 수 있는 마스크 모듈과, 광원을 웨이퍼에 보내기 위한 렌즈와, 광원을 임의 시간동안 선택적으로 개,폐할 수 있는 셔터를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 마킹장치가 구비된 얼라이너.
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