KR200157365Y1 - 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너 - Google Patents

Abstract

얼라이너 하나로 반도체 웨이퍼의 엣지부분도 노광할 수 있게 하여 작업시간을 단축시키고 장비의 효율적 사용을 꾀하도록 광섬유를 사용하여 얼라이너의 광원의 빛을 웨이퍼 엣지부로 유도하여 노광하도록 한 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 엣지 노광 기능을 구비한 얼라이너에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 엣지 노광 기능을 구비한 얼라이너는 반도체 웨이퍼위에 코팅된 포토레지스트막을 노광하는 얼라이너에 있어서, 노광을 위한 광을 공급하도록 램프를 갖는 광원부와, 코팅된 포토레지스트막을 갖는 웨이퍼를 로딩하여 위치시키고 웨이퍼를 회전시켜 노광시키는 전정렬유닛과, 상기 광원의 빛을 유도하여 상기 전정렬유닛에 연결하여 웨이퍼의 엣지부를 유도된 빛으로 노광할 수 있도록 한 광섬유로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너

제1도는 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너의 개요도,

제2도는 제1도의 고정수단에 대한 상세도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼 위치설정유닛 4 : 웨이퍼

2 : 광섬유 고정수단 21 : 광섬유 결합홀

3 : 광섬유 22 : 나사

5 : 광원부 52 : 수소 아크 램프

53 : 반사경 51 : 셔터

본 고안은 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너에 관한 것으로, 특히 얼라이너 하나로 웨이퍼의 엣지부분도 노광할 수 있게 하여 작업시간을 단축시키고 장비의 효율적 사용을 꾀하도록 광섬유를 사용하여 얼라이너의 광원의 빛을 웨이퍼 엣지부로 유도하여 노광하도록 한 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼상에 일정 패턴을 갖는 막을 형성하기 위해서 사진식각 방법이 사용되며, 이를 위해서 스핀코팅으로 포토레지스트막을 웨이퍼 전면에 입힐 필요가 있다. 노광을 포함하여 이러한 작업을 행하기 위해서는 얼라이너(aligner)라는 반도체 제조장비를 사용한다. 즉, 예를들면 250W용 머큐리아크 램프를 광원으로 하여 여기서 나오는 자외광선을 사용하여 웨이퍼를 360°회전시키면서 웨이퍼를 노광시킨다.

그런데 이와 같이 웨이퍼상에 코팅한 레지스트막을 노광하더라도, 웨이퍼 엣지부분에 레지스트물질을 제거하기 위해서는 엣지 노광기라는 별도의 반도체 제조장비를 사용하여 이에 이송된 웨이퍼의 엣지부분을 다시 노광시키고 있다.

따라서 이러한 번거로운 작업과정 때문에 작업시간이 과도해지고 엣지 노광기 장비가 반드시 별도로 준비되어야 하며, 따라서 램프 교환등 원가절감의 저해 요인이 되고 있다.

본 고안의 목적은 이러한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 얼라이너 하나로 웨이퍼의 엣지부분도 노광할 수 있게 하여 작업시간을 단축시키고 장비의 효율적 사용을 꾀한 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너를 제공하는 것이다.

본 고안의 목적에 따른 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너는 반도체 웨이퍼위에 코팅된 포토레지스트막을 노광하는 얼라이너에 있어서, 노광을 위한 광을 공급하도록 램프를 갖는 광원부와, 코팅된 포토레지스트막을 갖는 웨이퍼를 로딩하여 위치시키고 웨이퍼를 회전시켜 노광시키는 전정렬유닛과, 상기 광원의 빛을 유도하여 상기 전정렬유닛에 연결하여 웨이퍼의 엣지부를 유도된 빛으로 노광할 수 있도록 한 광섬유로 구성되는 것을 특징으로 한다.

다음에 첨부한 도면을 사용하여 본 고안의 장치에 대해 보다 상세히 설명한다.

웨이퍼상에 포토레지스트막을 입히기 위해서는 트랙 코터장비에서 웨이퍼위에 일정량의 코팅액을 분사시켜 회전하면서 고루 코팅액을 분포시켜 레지스트막이 코팅된다. 그런데 웨이퍼 끝부분인 엣지부분에서는 표면 장력에 의하여 코팅용액이 다른 부위에 비해 상당해 두껍게 올라오게 되어 이 끝부위는 얼라이너 장비나 스탭퍼장비에 의해서 노광되지 않는 부위이고 또한 이 부분은 웨이퍼 척을 오염시키는 원인이 되기 때문에 디포커스(defucus)의 주요 원인이 되고 있다. 이러한 이유로 종래에는 별도의 엣지 노광기를 설치하여 이를 통해 웨이퍼의 엣지 부분을 노광시켰던 것이다.

이에 대한 개선으로 제1도에 도시한 바와 같이 본 고안에서는 얼라이너에 설치된 광원으로 부터 출력되는 빛을 광섬유를 통해 웨이퍼가 로딩된 상태에서 광섬유출력측을 웨이퍼의 엣지부분에 위치시키므로서 웨이퍼 엣지 부분이 노광될 수 있게 한다.

도면은 얼라이너의 로딩부를 보이고 있으며 웨이퍼 위치설정유닛(1)이 웨이퍼(4)를 위치시키면 웨이퍼 가장자리 부분에 설치된 광섬유 고정수단(2)의 광섬유 결합홀(21)에 결합한 광섬유(3)를 통해 입사되는 자외선을 웨이퍼 가장자리에 조사되도록 한다. 고정수단은 나사(22)를 사용하여 로딩부에 고정설치되나 3 내지 5mm 길이로 엣지부의 위치를 조절할 수 있게 하고 있다.

광섬유를 통해 전달되는 빛은 광섬유의 타측에 연결된 광원부(5)로 부터 공급된다. 광원부(5)는 내부에 수소 아크 램프(52)를 갖고 있고 이로부터 발산된 빛은 반사경(53)을 거쳐 셔터(51)에 연결한 광섬유로 전송된다.

셔터의 개폐에 의해서 웨이퍼 엣지부분의 노광이 결정된다. 이의 제어는 적절한 제어수단을 통해 노광이 요구될때 셔터를 조작하여 행해질 수 있다.

램프는 광원부의 하우징내에 설치되고 빛은 광섬유를 통해 전달되는데 얼라이너의 전정렬유닛(pre-align unit)까지 유도되고 얼라이너의 전정렬유닛에서는 광섬유를 고정시키되 소정의 미소한 폭으로 노광폭을 조절하게 하여 웨이퍼의 엣지부분을 노광할 수 있게 한다.

실제 작업을 행하기 위해서는 얼라이너의 로딩부에서 웨이퍼가 전정렬유닛으로 이송되게 하고, 웨이퍼가 전정렬유닛에 들어오면 셔터(51)가 작동하여 빛이 광섬유를 통해 전송되게 한다.

이송된 웨이퍼는 전정렬유닛에 의해서 회전을 시작한다.

이어서 광섬유를 통해 자외선이 전정렬유닛부에 고정된 광섬유의 단부를 통해 조사되어 회전하는 웨이퍼의 가장자리를 노광시키게 된다. 이때 웨이퍼가 전정렬유닛에서 360°회전하면서 웨이퍼 끝단 모두가 노광된다.

1장의 웨이퍼가 전정렬 및 에지노광이 종료되면 셔터가 오프되어 엣지노광 과정이 마무리되는 것이다.

얼라이너에는 광원부와 로딩부 즉, 전정렬유닛이 내장되어 있고 본 고안과 같이 광섬유로 빛을 유도하여 엣지 노광을 행하므로 종래와 같이 엣지 노광장비가 요구되지 않는다.

따라서 웨이퍼를 공정처리하는 시간이 절감되고 장비를 효율적으로 사용하므로 원가절감에 효과가 있다.

Claims (3)

1. (정정) 반도체 웨이퍼위에 코팅된 포토레지스트막을 노광하는 얼라이너에 있어서, 노광을 위한 광을 공급하도록 램프를 갖는 광원부와, 코팅된 포토레지스트막을 갖는 웨이퍼를 로딩하여 위치시키고 웨이퍼를 회전시켜 노광시키는 전정렬유닛과, 상기 전정렬유닛에 로딩된 웨이퍼의 엣지를 노광시키기 위한 엣지 노광부로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너.
2. (정정) 제1항에 있어서, 상기 엣지노광부의 일단부가 상기 광원부의 하우징에 설치된 셔터에 연결되고, 상기 노광부의 타단부는 상기 전정렬유닛의 고정수단을 통해 상기 전정렬수단에 로딩된 웨이퍼의 엣지부상에 정렬되도록 구성되어 상기 광원부의 빛이 유도되어 상기 엣지노광부의 광원으로 사용되도록 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너.
3. (정정) 제2항에 있어서, 상기 엣지노광부는 광섬유로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 엣지노광 기능을 구비한 얼라이너.